JP2007063060A - Coating material for ceramic green sheet and its manufacturing method, ceramic green sheet, and electronic component provided with the same - Google Patents

Coating material for ceramic green sheet and its manufacturing method, ceramic green sheet, and electronic component provided with the same Download PDF

Info

Publication number
JP2007063060A
JP2007063060A JP2005250150A JP2005250150A JP2007063060A JP 2007063060 A JP2007063060 A JP 2007063060A JP 2005250150 A JP2005250150 A JP 2005250150A JP 2005250150 A JP2005250150 A JP 2005250150A JP 2007063060 A JP2007063060 A JP 2007063060A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic green
green sheet
ceramic
binder resin
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005250150A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4373968B2 (en
Inventor
Tomoyuki Tatemori
知之 舘盛
Osami Kumagai
修美 熊谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP2005250150A priority Critical patent/JP4373968B2/en
Publication of JP2007063060A publication Critical patent/JP2007063060A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4373968B2 publication Critical patent/JP4373968B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating material for a ceramic green sheet by which the ceramic green sheet low in density and also excellent in dispersibility of ceramic powders can surely be obtained. <P>SOLUTION: The coating material for the ceramic green sheet contains ceramic powder, a binder resin, a good solvent for the binder resin and a poor solvent for the binder resin. The coating material for the ceramic green sheet has 90-600 Pa s viscosity in 0.1 sec<SP>-1</SP>shear rate and 320-1,400 Pa s viscosity in 0.01 sec<SP>-1</SP>shear rate, respectively. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、セラミックグリーンシート用塗料及びその製造方法、セラミックグリーンシート、並びに、これを備える電子部品に関する。   The present invention relates to a coating material for a ceramic green sheet and a method for producing the same, a ceramic green sheet, and an electronic component including the same.

セラミック層と導体層とが交互に積層された形態の積層型の電子部品としては、インダクタ、コンデンサ、サーミスタ、バリスタ等が知られている。これらの積層型の電子部品においては、従来、導体層がスクリーン印刷等の印刷法によって形成されることから、導体層の厚さが、セラミック層の厚さよりも薄くなっているのが一般的であった。   Inductors, capacitors, thermistors, varistors, and the like are known as laminated electronic components in which ceramic layers and conductor layers are alternately laminated. In these multilayer electronic components, the conductor layer is conventionally formed by a printing method such as screen printing, so the thickness of the conductor layer is generally smaller than the thickness of the ceramic layer. there were.

近年では、電子機器の小型化に伴って、これらに搭載される電子部品に対しても更なる小型化が要求されている。ところが、このような小型化の流れにもかかわらず、電子部品には、多様な環境下での使用を可能とするために、大電流が流れた場合であっても破壊等を生じ難い耐久性が求められている。   In recent years, with the miniaturization of electronic devices, further miniaturization is required for electronic components mounted on them. However, in spite of this trend toward miniaturization, electronic components can be used in a variety of environments. Durability is unlikely to occur even when a large current flows. Is required.

大電流に対応するためには、導体層の厚さを厚くすればよいが、この場合、電子部品全体のサイズを維持するために、セラミック層には、導体層の厚さの増大に応じた薄型化が求められることになる。つまり、大電流に対応可能な電子部品においては、従来に比して導体層が厚く、セラミック層が薄くされることが多くなる。   In order to cope with a large current, the thickness of the conductor layer may be increased. In this case, in order to maintain the size of the entire electronic component, the ceramic layer has a thickness corresponding to the increase in the thickness of the conductor layer. Thinning is required. That is, in an electronic component that can handle a large current, the conductor layer is thicker and the ceramic layer is often thinner than in the past.

ここで、上述したような積層型の電子部品は、セラミック粉末やバインダー等を含むセラミックグリーンシート上に、所定のパターンとなるように導電ペースト層を印刷し、これを複数積層してプレスした後、得られた積層体を焼成することによって製造されることが多い。   Here, the multilayer electronic component as described above has a conductive paste layer printed on a ceramic green sheet containing ceramic powder, a binder, or the like so as to form a predetermined pattern, and a plurality of these are stacked and pressed. In many cases, the resultant laminate is fired.

しかし、このような方法によって電子部品の製造を行う場合に、上記のように導体層を厚く且つセラミック層を薄く形成しようとすると、プレスの際に厚い導電ペースト層が薄いセラミックグリーンシート中に強く食い込むことになるため、プレス後のセラミックグリーンシートが大きく変形し、これにより大きな応力を有した状態となり易い。こうなると、電子部品の製造においては、積層体の焼成時や焼成後に、上述したセラミックグリーンシートの応力に起因して、導体層とセラミック層との間にクラックやデラミネーションが発生し易くなる。このため、大電流に対応しつつ小型化するために導体層を厚く且つセラミック層を薄く形成した電子部品は、上記のクラックやデラミネーションに起因して、導体層間で短絡等が生じる場合があるなど、その特性が不十分となることが多かった。   However, when an electronic component is manufactured by such a method, if an attempt is made to form a thick conductor layer and a thin ceramic layer as described above, the thick conductive paste layer is strongly applied to the thin ceramic green sheet during pressing. Since it bites in, the ceramic green sheet after pressing is greatly deformed, and thus tends to have a large stress. If it becomes like this, in manufacture of an electronic component, it will become easy to generate | occur | produce a crack and a delamination between a conductor layer and a ceramic layer resulting from the stress of the ceramic green sheet mentioned above at the time of baking of a laminated body or after baking. For this reason, an electronic component having a thick conductor layer and a thin ceramic layer in order to reduce the size while supporting a large current may cause a short circuit between the conductor layers due to the above-described cracks and delamination. In many cases, the characteristics are insufficient.

かかる不都合を低減する方法としては、セラミックグリーンシート中のセラミック粉末の割合を少なくする、すなわち、セラミックグリーンシートを低密度化する方法がある。こうすれば、セラミックグリーンシートは、電子部品の製造の際における導電ペースト層の食い込みに対して柔軟に変形することが可能となり、上記のような応力が発生し難くなる。   As a method of reducing such inconvenience, there is a method of reducing the ratio of the ceramic powder in the ceramic green sheet, that is, a method of reducing the density of the ceramic green sheet. If it carries out like this, it will become possible to deform | transform flexibly with respect to the penetration of the electrically conductive paste layer in the case of manufacture of an electronic component, and it will become difficult to generate | occur | produce the above stress.

セラミックグリーンシートを低密度化する方法としては、セラミックグリーンシートを形成するための塗料として、無機粉末、互いに相溶性のあるバインダー、分散媒及び可塑剤からなるバインダー溶液、並びに、バインダーには相溶性はないがバインダー溶液には相溶性のある添加剤を含むグリーンシート用スラリー組成物を用いる方法が知られている(特許文献1参照)。
特開2004−168642号公報
As a method of reducing the density of the ceramic green sheet, as a coating material for forming the ceramic green sheet, an inorganic powder, a binder solution composed of a mutually compatible binder, a dispersion medium and a plasticizer, and a compatibility with the binder However, there is known a method using a slurry composition for a green sheet containing a compatible additive in the binder solution (see Patent Document 1).
JP 2004-168642 A

ところで、上述したようなセラミックグリーンシートの低密度化を行う場合、均質なセラミック層を得るためには当該シート中でセラミック粉末が均一に分散している必要がある。これは、セラミックグリーンシート中でセラミック粉末が偏在すると、得られるセラミック層において局所的に絶縁不良等の欠陥が生じるおそれがあるからである。そして、これに関し、上記特許文献1に記載されたような組成を有するグリーンシート用スラリー組成物は、用いるセラミック粉末やバインダーの種類によっては、この分散性が不十分となる場合があり、低密度且つ高分散のセラミックグリーンシートを安定して得るのは困難な傾向にあった。   By the way, when reducing the density of the ceramic green sheet as described above, the ceramic powder needs to be uniformly dispersed in the sheet in order to obtain a homogeneous ceramic layer. This is because if the ceramic powder is unevenly distributed in the ceramic green sheet, defects such as poor insulation may occur locally in the obtained ceramic layer. In this regard, the slurry composition for a green sheet having the composition described in Patent Document 1 may have insufficient dispersibility depending on the type of ceramic powder and binder used. In addition, it has been difficult to stably obtain a highly dispersed ceramic green sheet.

そこで、本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、低密度でありセラミック粉末の分散性にも優れるセラミックグリーンシートを確実に得ることができるセラミックグリーンシート用塗料を提供することを目的とする。本発明はまた、かかるセラミックグリーンシートの製造方法、これにより得られたセラミックグリーンシート、及び、かかるセラミックグリーンシートから形成されたセラミック層を備える電子部品を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made in view of such circumstances, and provides a coating for a ceramic green sheet that can reliably obtain a ceramic green sheet having a low density and excellent dispersibility of ceramic powder. Objective. Another object of the present invention is to provide a method for producing such a ceramic green sheet, a ceramic green sheet obtained thereby, and an electronic component comprising a ceramic layer formed from the ceramic green sheet.

上記目的を達成するため、本発明のセラミックグリーンシート用塗料は、セラミック粉末と、バインダー樹脂と、上記バインダー樹脂の良溶媒と、上記バインダー樹脂の貧溶媒とを含み、せん断速度0.1秒−1における粘度が90〜600Pa・sであり、せん断速度0.01秒−1における粘度が320〜1400Pa・sであることを特徴とする。 To achieve the above object, a ceramic green sheet slurry of the present invention, a ceramic powder, a binder resin, wherein the good solvent of the binder resin, and a poor solvent for the binder resin, shear rate of 0.1 sec - The viscosity at 1 is 90 to 600 Pa · s, and the viscosity at a shear rate of 0.01 sec −1 is 320 to 1400 Pa · s.

ここで、バインダー樹脂の良溶媒とは、バインダー樹脂を良好に溶解し得る溶媒であり、また、バインダー樹脂の貧溶媒とは、バインダー樹脂を溶解し難いか全く溶解しない溶媒である。溶媒がバインダー樹脂に対して良溶媒であるか貧溶媒であるかは、例えば、以下の溶解性パラメーター(SP値)に基づいて判断することができる。すなわち、バインダー樹脂のSP値との差の絶対値が1.35以下となるようなSP値を有する溶媒は、「バインダー樹脂の良溶媒」であると判断できる。一方、バインダー樹脂のSP値との差の絶対値が1.35を超えるようなSP値を有する溶媒は、「バインダー樹脂の貧溶媒」であると判断できる。なお、良溶媒としては、バインダー樹脂とのSP値の差の絶対値が0.5以下となるようなものがより好ましい。   Here, the good solvent for the binder resin is a solvent that can dissolve the binder resin well, and the poor solvent for the binder resin is a solvent that hardly dissolves the binder resin or does not dissolve it at all. Whether the solvent is a good solvent or a poor solvent for the binder resin can be determined, for example, based on the following solubility parameter (SP value). That is, it can be determined that a solvent having an SP value such that the absolute value of the difference from the SP value of the binder resin is 1.35 or less is “a good solvent for the binder resin”. On the other hand, a solvent having an SP value such that the absolute value of the difference from the SP value of the binder resin exceeds 1.35 can be determined as a “poor solvent for the binder resin”. In addition, as a good solvent, what has the absolute value of the difference of SP value with binder resin being 0.5 or less is more preferable.

上記本発明のセラミックグリーンシート用塗料は、バインダー樹脂を良好に溶解することができる良溶媒に加え、バインダー樹脂を溶解し難い貧溶媒をも含むものである。かかるセラミックグリーンシート用塗料を用いてセラミックグリーンシートを製造する場合、上記良溶媒によってバインダー樹脂とセラミック粉末とが良好に混合されるとともに、塗料中に分散した上記貧溶媒が、上記良溶媒よりも後に気化されることによってシート内に多数の微細な空孔が形成される。その結果、低密度のセラミックグリーンシートが得られるようになる。   The coating material for a ceramic green sheet of the present invention includes a poor solvent that hardly dissolves the binder resin in addition to a good solvent that can dissolve the binder resin satisfactorily. When producing a ceramic green sheet using such a coating material for ceramic green sheet, the poor resin dispersed in the paint is better than the good solvent while the binder resin and the ceramic powder are mixed well by the good solvent. By being vaporized later, a large number of fine holes are formed in the sheet. As a result, a low-density ceramic green sheet can be obtained.

加えて、本発明のセラミックグリーンシート用塗料は、せん断速度0.1秒−1における粘度が90〜600Pa・sであり、せん断速度0.01秒−1における粘度が320〜1400Pa・sである。通常、液状物の粘度は10〜100秒−1程度のせん断速度で調製されるが、本発明者らが詳細な検討を行ったところ、上記のような通常よりも大幅に低いせん断速度の範囲でセラミックグリーンシート用塗料の粘度を規定することによって、得られるグリーンシートにおけるセラミック粉末の分散性が極めて良好となることを見出した。 In addition, the ceramic green sheet paint of the present invention has a viscosity of 90 to 600 Pa · s at a shear rate of 0.1 second −1 and a viscosity of 320 to 1400 Pa · s at a shear rate of 0.01 second −1 . . Usually, the viscosity of the liquid material is adjusted at a shear rate of about 10 to 100 seconds −1, but when the present inventors have conducted a detailed study, the range of the shear rate that is significantly lower than the normal range as described above. It was found that the dispersibility of the ceramic powder in the obtained green sheet becomes extremely good by defining the viscosity of the coating material for ceramic green sheet.

したがって、上記構成を有する本発明のセラミックグリーンシート用塗料によれば、上述した低密度という特性のみならず、優れた分散性を有するセラミックグリーンシートが確実に得られる。そして、こうして得られたセラミックグリーンシートは、電子部品の製造の際、当該シートよりも厚い導体層を形成する場合であっても、かかる導体層の食い込みに起因して生じる応力を有し難いものとなる。   Therefore, according to the ceramic green sheet coating composition of the present invention having the above-described configuration, a ceramic green sheet having excellent dispersibility as well as the above-described characteristics of low density can be reliably obtained. The ceramic green sheet thus obtained is less likely to have stress caused by the biting of the conductor layer even when a conductor layer thicker than the sheet is formed during the manufacture of the electronic component. It becomes.

また、本発明によるセラミックグリーンシート用塗料の製造方法は、上記本発明のセラミックグリーンシート用塗料を良好に製造するための方法であって、セラミック粉末と、バインダー樹脂と、バインダー樹脂の良溶媒と、バインダー樹脂の貧溶媒とを、せん断速度0.1秒−1における粘度が90〜600Pa・sとなり、せん断速度0.01秒−1における粘度が320〜1400Pa・sとなるように混合する工程を含むことを特徴とする。こうして得られたセラミックグリーンシート用塗料によれば、上述の如く、低密度で且つ高分散のセラミックグリーンシートが得られる。 A method for producing a ceramic green sheet paint according to the present invention is a method for producing the ceramic green sheet paint according to the present invention. The ceramic powder, the binder resin, and the binder resin good solvent And mixing the poor solvent of the binder resin so that the viscosity at a shear rate of 0.1 sec- 1 is 90 to 600 Pa · s and the viscosity at a shear rate of 0.01 sec- 1 is 320 to 1400 Pa · s. It is characterized by including. According to the ceramic green sheet paint thus obtained, a ceramic green sheet having a low density and a high dispersion can be obtained as described above.

上記本発明のセラミックグリーンシート用塗料の製造方法においては、セラミック粉末の配合量及び/又は良溶媒の配合量を変化させて、上記特定のせん断速度における粘度を調整することが好ましい。これにより、セラミック粉末の重量を基準にして配合比の調整ができるため、所望のせん断速度における粘度調整が容易となり、作業性が良好となる。   In the method for producing a coating material for a ceramic green sheet of the present invention, it is preferable to adjust the viscosity at the specific shear rate by changing the blending amount of the ceramic powder and / or the blending amount of the good solvent. Thereby, since a compounding ratio can be adjusted on the basis of the weight of a ceramic powder, the viscosity adjustment in a desired shear rate becomes easy and workability | operativity becomes favorable.

本発明はまた、上記本発明のセラミックグリーンシートを用いて得られるセラミックグリーンシートを提供する。このようなセラミックグリーンシートは、上記本発明のセラミックグリーンシート用塗料から得られたものであるため、低密度であるとともにセラミック粉末の分散性に優れており、電子部品の製造時に厚い導体層を形成しても、極めて応力を生じ難いものとなる。   The present invention also provides a ceramic green sheet obtained using the ceramic green sheet of the present invention. Since such a ceramic green sheet is obtained from the above-mentioned paint for ceramic green sheets of the present invention, it has a low density and excellent dispersibility of the ceramic powder. Even if it is formed, it becomes extremely difficult to generate stress.

さらに、本発明の電子部品は、上記本発明のセラミックグリーンシートから形成されたセラミック層を備えて好適なものであり、導体層及びセラミック層を備え、セラミック層が、上記本発明のセラミックグリーンシートから形成されたものであり、導体層の厚さT(μm)とセラミック層の厚さT(μm)とが、T/T≧1.0を満たすことを特徴とする。 Furthermore, the electronic component of the present invention preferably includes a ceramic layer formed from the ceramic green sheet of the present invention, and includes a conductor layer and a ceramic layer, and the ceramic layer is the ceramic green sheet of the present invention. The conductor layer thickness T 1 (μm) and the ceramic layer thickness T 2 (μm) satisfy T 1 / T 2 ≧ 1.0.

上記構成を有する電子部品は、上記本発明のセラミックグリーンシートから形成されたセラミック層を備えることから、かかるセラミック層と同じかこれよりも厚い導体層を有しているにもかかわらず、導体層の食い込みに起因するセラミック層の応力が大幅に低減されている。その結果、本発明の電子部品は、導体層とセラミック層との間のクラックやデラミネーションが極めて少ないものとなる。   Since the electronic component having the above-described structure includes the ceramic layer formed from the ceramic green sheet of the present invention, the conductor layer is provided with a conductor layer that is the same as or thicker than the ceramic layer. The stress of the ceramic layer due to the bite is greatly reduced. As a result, the electronic component of the present invention has very few cracks and delamination between the conductor layer and the ceramic layer.

本発明によれば、低密度且つ高分散なセラミックグリーンシートを確実に得ることができるセラミックグリーンシート用塗料を提供することが可能となる。また、かかるセラミックグリーンシートの製造方法、これにより得られたセラミックグリーンシート、及び、かかるセラミックグリーンシートから形成されたセラミック層を備える電子部品を提供することが可能となる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to provide the coating material for ceramic green sheets which can obtain a low density and highly dispersed ceramic green sheet reliably. In addition, it is possible to provide a method for producing such a ceramic green sheet, a ceramic green sheet obtained thereby, and an electronic component including a ceramic layer formed from the ceramic green sheet.

以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、全図を通して、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略することとする。   Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Throughout the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant descriptions are omitted.

まず、図1〜図3を参照して、積層型の電子部品の一例である積層型インダクタの構成について説明する。図1は、本実施形態に係る積層型インダクタを示す斜視図である。図2は、本実施形態に係る積層型インダクタの断面構成を説明するための図である。図3は、本実施形態に係る積層型インダクタに含まれる積層体の分解斜視図である。この積層型インダクタ1は、後述する好適な実施形態に係るセラミックグリーンシート用塗料から形成されたセラミックグリーンシートを適用して得られたものである。   First, the configuration of a multilayer inductor that is an example of a multilayer electronic component will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view showing a multilayer inductor according to the present embodiment. FIG. 2 is a diagram for explaining a cross-sectional configuration of the multilayer inductor according to the present embodiment. FIG. 3 is an exploded perspective view of the multilayer body included in the multilayer inductor according to the present embodiment. The multilayer inductor 1 is obtained by applying a ceramic green sheet formed from a ceramic green sheet paint according to a preferred embodiment described later.

積層型インダクタ1は、図1に示されるように、略直方体形状のインダクタ素体10と、インダクタ素体10の長手方向の両側面にそれぞれ形成された一対の端子電極(外部電極)11,12とを備える。なお、インダクタ素体10の底面は、積層型インダクタ1が外部基板(図示せず)に実装されたときに、当該外部基板に対向する面である。   As shown in FIG. 1, the multilayer inductor 1 includes a substantially rectangular parallelepiped inductor element 10 and a pair of terminal electrodes (external electrodes) 11 and 12 formed on both side surfaces of the inductor element 10 in the longitudinal direction. With. The bottom surface of the inductor body 10 is a surface facing the external substrate when the multilayer inductor 1 is mounted on the external substrate (not shown).

インダクタ素体10は、図2及び図3に示されるように、複数(本実施形態では12枚)のセラミック層A1〜A12が積層されることにより構成され、内部に導体パターン(導体層)B1〜B10、スルーホール電極C1〜C9及び導出部B1a,B10aからなるコイルLを備えている。実際の積層型インダクタ1は、セラミック層A1〜A12間の境界が視認できない程度に一体化されている。セラミック層A1〜A12は、後述するように、セラミックグリーンシートの焼成物からなるものであり、絶縁体として機能する。   As shown in FIGS. 2 and 3, the inductor element body 10 is configured by laminating a plurality (12 in this embodiment) of ceramic layers A1 to A12, and a conductor pattern (conductor layer) B1 therein. To B10, through-hole electrodes C1 to C9, and a coil L including lead-out portions B1a and B10a. The actual multilayer inductor 1 is integrated to such an extent that the boundaries between the ceramic layers A1 to A12 cannot be visually recognized. As will be described later, the ceramic layers A1 to A12 are made of a fired product of a ceramic green sheet and function as an insulator.

セラミック層A1〜A12は、電気絶縁性を有する絶縁体であり、後述するようなセラミックグリーンシートの焼成物からなるものである。このセラミック層A1〜A12は、主としてフェライト(例えば、Ni−Cu−Zn系フェライト、Ni−Cu−Zn−Mg系フェライト、Cu−Zn系フェライト、又はNi−Cu系フェライト)から構成される。このセラミック層A1〜A12の厚みは、例えば60μm程度である。   The ceramic layers A1 to A12 are insulators having electrical insulation, and are made of a fired product of a ceramic green sheet as described later. The ceramic layers A1 to A12 are mainly composed of ferrite (for example, Ni—Cu—Zn based ferrite, Ni—Cu—Zn—Mg based ferrite, Cu—Zn based ferrite, or Ni—Cu based ferrite). The ceramic layers A1 to A12 have a thickness of about 60 μm, for example.

導体パターンB1は、コイルLの略5/8ターン分に相当し、セラミック層A2上で略C字状に形成されている。導体パターンB1の一端には、導出部B1aが一体的に形成されている。導体パターンB1の導出部B1aは、セラミック層A2の縁に引き出され、その端部がセラミック層A2の端面に露出している。これにより、導出部B1aは、端子電極11に電気的に接続されることとなる。導体パターンB1の他端は、セラミック層A2を厚み方向に貫通して形成されたスルーホール電極C1と電気的に接続されている。このため、導体パターンB1は、積層された状態で、スルーホール電極C1を介して隣接する導体パターンB2の一端と電気的に接続される。   The conductor pattern B1 corresponds to approximately 5/8 turns of the coil L, and is formed in a substantially C shape on the ceramic layer A2. A lead-out portion B1a is integrally formed at one end of the conductor pattern B1. The lead-out part B1a of the conductor pattern B1 is drawn out to the edge of the ceramic layer A2, and its end is exposed on the end face of the ceramic layer A2. As a result, the lead-out part B1a is electrically connected to the terminal electrode 11. The other end of the conductor pattern B1 is electrically connected to a through-hole electrode C1 formed through the ceramic layer A2 in the thickness direction. For this reason, the conductor pattern B1 is electrically connected to one end of the adjacent conductor pattern B2 through the through-hole electrode C1 in a stacked state.

導体パターンB2〜B9は、それぞれコイルLの略3/4ターン分に相当し、各導体パターンB2,B4,B6,B8については各セラミック層A3,A5,A7,A9上でそれぞれ略U字状に形成され、各導体パターンB3,B5,B7,B9については各セラミック層A4,A6,A8,A10上でそれぞれ略C字状に形成さている。各導体パターンB2〜B9の一端には、積層された状態で各スルーホール電極C1〜C8と電気的に接続される領域がそれぞれ含まれている。各導体パターンB2〜B9の他端は、各セラミック層A3〜A10を厚み方向に貫通して形成された各スルーホール電極C2〜C9とそれぞれ電気的に接続されている。このため、各導体パターンB2〜B9は、積層された状態で、各スルーホール電極C2〜C9を介してそれぞれ隣接している導体パターンB3〜B10の一端と電気的に接続される。   The conductor patterns B2 to B9 correspond to approximately 3/4 turns of the coil L, and the conductor patterns B2, B4, B6, and B8 are substantially U-shaped on the ceramic layers A3, A5, A7, and A9, respectively. The conductor patterns B3, B5, B7, and B9 are formed in a substantially C shape on the ceramic layers A4, A6, A8, and A10. One end of each conductor pattern B2 to B9 includes a region electrically connected to each through-hole electrode C1 to C8 in a stacked state. The other ends of the conductor patterns B2 to B9 are electrically connected to the through-hole electrodes C2 to C9 formed through the ceramic layers A3 to A10 in the thickness direction, respectively. For this reason, each conductor pattern B2-B9 is electrically connected with the end of each conductor pattern B3-B10 which adjoins through each through-hole electrode C2-C9 in the laminated state.

導体パターンB10は、コイルLの略7/8ターン分に相当し、セラミック層A11上で略U字状に形成されている。導体パターンB10の一端には、積層された状態で各スルーホール電極C9と電気的に接続される領域が含まれている。導体パターンB10の他端には、導出部B10aが一体的に形成されている。導体パターンB10の導出部B10aは、セラミック層A11の縁に引き出され、その端部がセラミック層A11の端面に露出している。これにより、導出部B10aは、端子電極12に電気的に接続されることとなる。   The conductor pattern B10 corresponds to approximately 7/8 turns of the coil L, and is formed in a substantially U shape on the ceramic layer A11. One end of the conductor pattern B10 includes a region electrically connected to each through-hole electrode C9 in a stacked state. A lead-out portion B10a is integrally formed at the other end of the conductor pattern B10. The lead-out part B10a of the conductor pattern B10 is drawn out to the edge of the ceramic layer A11, and its end is exposed on the end surface of the ceramic layer A11. As a result, the lead-out portion B10a is electrically connected to the terminal electrode 12.

ここで、インダクタ素体10における導体パターンの厚さT(積層方向の厚さ、図2参照)とセラミック層A1〜A12の厚さT(積層方向の厚さ、図2参照)とは、T/T≧1.0となる関係を有していることが好ましい。すなわち、導体パターンB1〜B10の厚さがセラミック層A1〜A12の厚さ以上であることが好ましい。 Here, the thickness T 1 of the conductor pattern in the inductor body 10 (thickness in the stacking direction, see FIG. 2) and the thickness T 2 of the ceramic layers A1 to A12 (thickness in the stacking direction, see FIG. 2) , T 1 / T 2 ≧ 1.0 is preferable. That is, the thickness of the conductor patterns B1 to B10 is preferably equal to or greater than the thickness of the ceramic layers A1 to A12.

こうすることで、積層型インダクタ1は、大きな断面積を有するコイルLを有するものとなり、大電流にも十分に対応可能なものとなる。また、相対的に隣接する導体パターン間の距離が小さくなることから、コイルLにおけるターン間の磁気的な結合が強くなり、これによりインダクタ値が大きくなる。その結果、所望のインダクタンス値を得るために必要とされるコイルLのターン数を少なくすることができ、積層型インダクタ1の小型化を達成することが容易となる。これらの効果をより良好に得る観点からは、T/Tが1.5以上であると好ましい。 By doing so, the multilayer inductor 1 has a coil L having a large cross-sectional area, and can sufficiently cope with a large current. Further, since the distance between the adjacent conductor patterns becomes relatively small, the magnetic coupling between the turns in the coil L becomes strong, thereby increasing the inductor value. As a result, the number of turns of the coil L required for obtaining a desired inductance value can be reduced, and the multilayer inductor 1 can be easily reduced in size. From the viewpoint of obtaining these effects better, T 1 / T 2 is preferably 1.5 or more.

以上のように、各セラミック層A1〜A12が積層され、各導体パターンB1〜B10が各スルーホール電極C1〜C9を介して相互に電気的に接続されることにより、ターン数が7.5ターンであるコイルLが構成される。ここで、各導体パターンB1〜B10及び導出部B1a,B10aは、銀又はニッケルを主成分とする導体ペーストをスクリーン印刷することにより形成される。   As described above, the ceramic layers A1 to A12 are laminated, and the conductor patterns B1 to B10 are electrically connected to each other through the through hole electrodes C1 to C9, so that the number of turns is 7.5 turns. A coil L is formed. Here, each of the conductor patterns B1 to B10 and the lead-out portions B1a and B10a is formed by screen printing a conductor paste mainly composed of silver or nickel.

次に、図4を参照して積層型インダクタの製造方法について説明する。   Next, a manufacturing method of the multilayer inductor will be described with reference to FIG.

図4は、好適な実施形態に係る積層型インダクタの製造工程の一部を模式的に示す断面図であり、セラミックグリーンシート及び導電ペースト層(導電材料層)を備える積層構造を示す図である。なお、ここでは、説明の便宜上、4層のセラミック層及びこれらの間に設けられた3層の導体パターンからなる構造を例に挙げて積層型インダクタの製造方法について説明する。   FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing a part of the manufacturing process of the multilayer inductor according to a preferred embodiment, and is a diagram showing a multilayer structure including a ceramic green sheet and a conductive paste layer (conductive material layer). . Here, for convenience of explanation, a method for manufacturing a multilayer inductor will be described by taking as an example a structure including four ceramic layers and a three-layer conductor pattern provided therebetween.

まず、セラミック層を形成するためのセラミックグリーンシートG1〜G4を準備する(図4(a)参照)。これらのセラミックグリーンシートG1〜G4は、焼成されることにより積層型インダクタのセラミック層を構成する。これらのセラミックグリーンシートG1〜G4は、セラミックグリーンシート用塗料から形成されたものである。まず、好適なセラミックグリーンシート用塗料について説明する。   First, ceramic green sheets G1 to G4 for forming a ceramic layer are prepared (see FIG. 4A). These ceramic green sheets G1 to G4 constitute a ceramic layer of the multilayer inductor by firing. These ceramic green sheets G1-G4 are formed from the coating material for ceramic green sheets. First, a suitable ceramic green sheet paint will be described.

好適な実施形態に係るセラミックグリーンシート用塗料は、セラミック粉末と、バインダー樹脂と、このバインダー樹脂の良溶媒と、このバインダー樹脂の貧溶媒とを含有するものである。セラミックグリーンシート用塗料を構成するセラミック粉末としては、上述したようなフェライト(例えば、Ni−Cu−Zn系フェライト、Ni−Cu−Zn−Mg系フェライト、Cu−Zn系フェライト、又はNi−Cu系フェライト)からなる粉末が挙げられる。このセラミック粉末の平均粒径は、0.06〜0.6μmであると好ましく、0.1〜0.6μmであると更に好ましい。また、バインダー樹脂としては、通常、セラミック材料と混合して用いられるような樹脂材料であれば特に制限なく用いることができ、例えば、ブチラール系、アクリル系、セルロース系等のバインダー樹脂が挙げられる。   The ceramic green sheet paint according to a preferred embodiment contains ceramic powder, a binder resin, a good solvent for the binder resin, and a poor solvent for the binder resin. The ceramic powder constituting the coating for the ceramic green sheet may be a ferrite as described above (for example, Ni—Cu—Zn based ferrite, Ni—Cu—Zn—Mg based ferrite, Cu—Zn based ferrite, or Ni—Cu based). A powder made of ferrite). The average particle size of the ceramic powder is preferably 0.06 to 0.6 [mu] m, and more preferably 0.1 to 0.6 [mu] m. The binder resin can be used without particular limitation as long as it is usually a resin material used by mixing with a ceramic material, and examples thereof include butyral, acrylic, and cellulose binder resins.

バインダー樹脂の良溶媒は、上述の如く、バインダー樹脂を良好に溶解することができる溶媒であり、このような良溶媒としては、エタノール、イソブチルアルコール、酢酸ブチル、キシレン、トルエン、アセトン、メチルエチルケトンやこれらの混合溶媒が挙げられる。これらは、バインダー樹脂の種類に応じて適宜選択することが好ましい。   As described above, the good solvent for the binder resin is a solvent that can dissolve the binder resin satisfactorily. Examples of such good solvents include ethanol, isobutyl alcohol, butyl acetate, xylene, toluene, acetone, methyl ethyl ketone, and the like. The mixed solvent is mentioned. These are preferably selected appropriately according to the type of the binder resin.

また、バインダー樹脂の貧溶媒は、バインダー樹脂を溶解し難いか溶解し得ない溶媒である。貧溶媒としては、ミネラルスピリット、グリセリン、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコール、エチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコールやこれらの混合溶媒が挙げられ、バインダー樹脂の種類に応じて適宜選択することが好ましい。例えば、ブチラール系のバインダー樹脂の場合、エチレングリコール、ジエチレングリコール、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールジアセテート、ケロシン、ミネラルスピリット等が好ましく、アクリル系のバインダー樹脂の場合、ケロシン、ミネラルスピリット等が好ましく、セルロース系のバインダー樹脂の場合、エチレングリコール、グリセリン、ジエチレングリコール等が好ましい。   The poor solvent for the binder resin is a solvent that is difficult to dissolve or cannot dissolve the binder resin. Examples of the poor solvent include mineral spirit, glycerin, ethylene glycol monoacetate, ethylene glycol, ethylene glycol diacetate, diethylene glycol, and mixed solvents thereof, and it is preferable to select appropriately according to the type of the binder resin. For example, in the case of a butyral binder resin, ethylene glycol, diethylene glycol, ethylene glycol monoacetate, ethylene glycol diacetate, kerosene, mineral spirit, etc. are preferred, and in the case of an acrylic binder resin, kerosene, mineral spirit etc. are preferred, cellulose In the case of a binder resin, ethylene glycol, glycerin, diethylene glycol and the like are preferable.

上記各成分を含むセラミックグリーンシート用塗料は、せん断速度(シアレート)0.1秒−1における粘度(以下、「V0.1」と表記する)が90〜600Pa・sであり、せん断速度0.01秒−1における粘度(以下、「V0.01」と表記する)が320〜1400Pa・sである。ここで、セラミックグリーンシート用塗料の粘度は、円錐円板粘度計により測定することができる。 The coating material for ceramic green sheets containing the above components has a viscosity at shear rate (sialate) of 0.1 sec −1 (hereinafter referred to as “V 0.1 ”) of 90 to 600 Pa · s, and a shear rate of 0 The viscosity at 0.1 seconds −1 (hereinafter referred to as “V 0.01 ”) is 320 to 1400 Pa · s. Here, the viscosity of the coating material for ceramic green sheets can be measured with a conical disk viscometer.

セラミックグリーンシート用塗料の粘度を上記範囲となるように調整することにより、セラミック粉末が極めて良好に分散したセラミックグリーンシートが得られるようになる。かかるセラミック粉末の分散性を向上させる観点からは、セラミックグリーンシート用塗料のV0.1は、好ましくは120〜600Pa・sであり、V0.01は、好ましくは700〜1400Pa・sである。 By adjusting the viscosity of the coating material for the ceramic green sheet so as to be in the above range, a ceramic green sheet in which the ceramic powder is very well dispersed can be obtained. From the viewpoint of improving the dispersibility of the ceramic powder, V 0.1 of the ceramic green sheet coating is preferably 120 to 600 Pa · s, and V 0.01 is preferably 700 to 1400 Pa · s. .

なお、本実施形態のセラミックグリーンシート用塗料は、上記各成分に加えてセラミックグリーンシートに通常含まれる成分を更に含んでいてもよい。例えば、フタル酸エステル系可塑剤、アジピン酸エステル系可塑剤、セバシン酸エステル系可塑剤等の可塑剤が挙げられる。これらのその他成分の添加量は、セラミックグリーンシート用塗料の粘度が上述した範囲内となる程度とすることが好ましい。なお、セラミックグリーンシート用塗料に含まれることが多い分散剤は、当該塗料の密度を過度に増大させる可能性があるため、添加量は少量とすることが好ましく、極力添加しないことが望ましい。   In addition, the coating material for ceramic green sheets of this embodiment may further contain a component that is usually included in the ceramic green sheet in addition to the above components. Examples thereof include plasticizers such as phthalate ester plasticizers, adipic acid ester plasticizers, and sebacic acid ester plasticizers. The amount of these other components added is preferably such that the viscosity of the coating for ceramic green sheets is within the above-described range. In addition, since the dispersing agent which is often contained in the ceramic green sheet coating material may excessively increase the density of the coating material, it is preferable to add a small amount, and it is desirable not to add as much as possible.

このようなセラミックグリーンシート用塗料は、セラミック粉末、バインダー樹脂、良溶媒、貧溶媒及び必要に応じてその他成分を混合することにより調製することができる。例えば、バインダー樹脂を良溶媒に溶解した後、得られた溶液にセラミック粉末、貧溶媒及びその他成分を混合することにより得ることができる。これらの各成分の混合は、例えば、ボールミル(20〜200リットル)を用いて行うことが好ましい。   Such a coating for ceramic green sheets can be prepared by mixing ceramic powder, a binder resin, a good solvent, a poor solvent, and other components as required. For example, it can be obtained by dissolving a binder resin in a good solvent and then mixing ceramic powder, a poor solvent and other components into the resulting solution. It is preferable to mix these components using, for example, a ball mill (20 to 200 liters).

そして、セラミックグリーンシート用塗料の調製においては、これらの各成分の配合量や混合時間を適宜変化させて、塗料のV0.1及びV0.01が上述した特定の範囲内となるように調節する。例えば、セラミックグリーンシート用塗料の粘度は、セラミック粉末の配合量及び/又は良溶媒の配合量を変化させることにより調節することができる。すなわち、上記各成分を混合している最中にV0.1やV0.01の測定を行い、その値が上述した特定の範囲外であった場合には、セラミック粉末又は良溶媒を添加することにより粘度を調整することが好ましい。そして、かかる工程を、所望のV0.1及びV0.01が得られるまで繰り返すことで、好適なセラミックグリーンシート用塗料が得られる。 And in the preparation of the coating material for ceramic green sheets, the blending amount and mixing time of these components are appropriately changed so that the V 0.1 and V 0.01 of the coating material are within the specific range described above. Adjust. For example, the viscosity of the coating material for ceramic green sheets can be adjusted by changing the blending amount of the ceramic powder and / or the blending amount of the good solvent. That is, V 0.1 or V 0.01 is measured while mixing the above components, and if the value is outside the above-mentioned specific range, ceramic powder or good solvent is added. It is preferable to adjust the viscosity. And the suitable coating material for ceramic green sheets is obtained by repeating this process until desired V0.1 and V0.01 are obtained.

より具体的には、各成分の配合量は、セラミックグリーンシート用塗料中の各成分の含有量が次に示す範囲となるように調整することが好ましい。すなわち、セラミック粉末及び良溶媒の総量中、セラミック粉末の好ましい含有量は40〜70質量%であり、より好ましくは45〜60質量%である。また、良溶媒の好ましい含有量は25〜55質量%であり、より好ましくは30〜50質量%である。   More specifically, the blending amount of each component is preferably adjusted so that the content of each component in the ceramic green sheet paint is within the following range. That is, in the total amount of the ceramic powder and the good solvent, the preferable content of the ceramic powder is 40 to 70% by mass, and more preferably 45 to 60% by mass. Moreover, preferable content of a good solvent is 25-55 mass%, More preferably, it is 30-50 mass%.

さらに、バインダー樹脂の含有量は、セラミック粉末の含有量100質量部に対して4〜13質量部とすることが好ましく、5〜9質量部とすることが好ましい。またさらに、貧溶媒の含有量は、セラミック粉末の含有量100質量部に対して0.5〜12質量部とすることが好ましく、3〜9質量部とすることがより好ましい。セラミックグリーンシート用塗料において、各成分が上記の含有量を満たすように配合されていると、セラミックグリーンシート用塗料の粘度が上述した条件を満たし易くなる。なお、本明細書においては、質量基準の値(質量%、質量部等)は、重量基準の値(重量%、重量部等)と実質的に同等であるとする(以下同様)。   Furthermore, the content of the binder resin is preferably 4 to 13 parts by mass, and more preferably 5 to 9 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. Furthermore, the content of the poor solvent is preferably 0.5 to 12 parts by mass and more preferably 3 to 9 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the ceramic powder. In the ceramic green sheet paint, when each component is blended so as to satisfy the above content, the viscosity of the ceramic green sheet paint easily satisfies the above-described conditions. In this specification, values based on mass (mass%, parts by mass, etc.) are assumed to be substantially equivalent to values (weight%, parts by weight, etc.) based on weight (the same applies hereinafter).

以下、再び図4を参照して積層型インダクタの好適な製造方法について説明する。セラミックグリーンシートG1〜G4は、例えば、上述したセラミックグリーンシート用塗料を、PETフィルム等の基材上に塗布した後、乾燥させることにより得ることができる。この際、まず、塗料中の良溶媒が先に揮発し、乾燥が進むとともに貧溶媒が揮発する。こうして、得られるセラミックグリーンシート内には、微小の空孔が無数に形成されることとなる。得られたセラミックグリーンシートG1〜G4は、基材から剥離した状態としてもよく、そのままの状態で後述する導電ペースト層の形成や積層を行った後に、基材を剥離するようにして用いてもよい。   Hereinafter, a preferred method for manufacturing a multilayer inductor will be described with reference to FIG. 4 again. The ceramic green sheets G1 to G4 can be obtained, for example, by applying the above-described ceramic green sheet coating material on a substrate such as a PET film and then drying it. At this time, first, the good solvent in the paint volatilizes first, and the drying proceeds and the poor solvent volatilizes. Thus, innumerable minute holes are formed in the obtained ceramic green sheet. The obtained ceramic green sheets G1 to G4 may be peeled off from the base material, or may be used as they are after peeling off the base material after forming or laminating a conductive paste layer to be described later. Good.

このようにして得られたセラミックグリーンシートG1〜G4は、上記のようなセラミックグリーンシート用塗料を用いて形成されたものであるため、シート内に貧溶媒の揮発に起因する空孔等を多く含んでいる。このため、従来のセラミックグリーンシートに比して低密度であるという特徴を有するものとなる。例えば、好適な場合、セラミックグリーンシートG1〜G4の密度は、2.61〜3.35g/cmであり、より好ましくは2.61〜2.83g/cmであり、更に好ましくは2.61〜2.77g/cmである。 Since the ceramic green sheets G1 to G4 thus obtained are formed using the ceramic green sheet paint as described above, there are many voids and the like due to volatilization of the poor solvent in the sheet. Contains. For this reason, it has the characteristic that it is a low density compared with the conventional ceramic green sheet. For example, when suitable, the density of the ceramic green sheets G1 to G4 is 2.61 to 3.35 g / cm 3 , more preferably 2.61 to 2.83 g / cm 3 , and still more preferably 2. 61 to 2.77 g / cm 3 .

ここで、セラミックグリーンシートG1〜G4の密度が2.61未満であると、得られるセラミック層の厚さや特性のばらつきが生じ易くなる場合がある。一方、密度が3.35g/cmを超えると、セラミック層の柔軟性が不十分となり、電子部品の製造時における応力を緩和する特性が十分に得られ難くなる傾向にある。 Here, when the density of the ceramic green sheets G1 to G4 is less than 2.61, variation in thickness and characteristics of the obtained ceramic layer may easily occur. On the other hand, when the density exceeds 3.35 g / cm 3 , the flexibility of the ceramic layer becomes insufficient, and it is difficult to obtain sufficient characteristics to relieve stress during the manufacture of electronic components.

こうしてセラミックグリーンシートG1〜G4を得た後、これらの所定の位置、すなわち上述したようなスルーホール電極が形成される予定の位置に、レーザー加工等によってスルーホールをそれぞれ形成する(図示せず)。   After obtaining the ceramic green sheets G1 to G4 in this way, through holes are respectively formed by laser processing or the like in these predetermined positions, that is, positions where the through hole electrodes as described above are to be formed (not shown). .

次に、導電粉末及びバインダー等を含む導電ペーストを印刷する等して、セラミックグリーンシートG1〜G4上に、焼成後に導体パターンを構成する導電ペースト層P1〜P3(図4(a)参照)を形成する。これらの導電ペースト層P1〜P3は、それぞれが積層後に積層型インダクタにおけるコイルの一部を構成し得るパターン(例えば、図3における導体パターンB1〜B10のような形状)とする。なお、この際、導電ペーストは、上述したスルーホールにも充填されるように塗布する。これにより、後述する焼成において、導体パターンとスルーホール電極とが同時に形成されることとなる。   Next, the conductive paste layers P1 to P3 (see FIG. 4A) constituting the conductor pattern after firing are formed on the ceramic green sheets G1 to G4 by printing a conductive paste containing conductive powder and a binder. Form. These conductive paste layers P1 to P3 each have a pattern (for example, a shape like the conductor patterns B1 to B10 in FIG. 3) that can constitute a part of a coil in the multilayer inductor after lamination. At this time, the conductive paste is applied so as to fill the through holes described above. Thereby, in the baking mentioned later, a conductor pattern and a through-hole electrode will be formed simultaneously.

その後、セラミックグリーンシートG1〜G4を積層し(図4(a)参照)、それから積層方向に圧力を加えて各セラミックグリーンシートG1〜G4間に隙間が生じないように圧着して、積層体20を得る(図4(b)参照)。図示されるように、積層体20においては、導電ペースト層P1〜P3が、それぞれ隣接する両側のセラミックグリーンシートG1〜G4に食い込んだ状態となる。換言すれば、セラミックグリーンシートG1〜G4は、導電ペースト層P1〜P3に接している領域において大きく窪んだ形状とされる。しかし、セラミックグリーンシートG1〜G4は、上述の如く、低密度であるという特徴を有することから、このような窪んだ状態とされても、応力の発生が極めて少ないものである。   Thereafter, the ceramic green sheets G1 to G4 are stacked (see FIG. 4A), and then pressure is applied in the stacking direction so that no gap is generated between the ceramic green sheets G1 to G4. (See FIG. 4B). As shown in the figure, in the laminate 20, the conductive paste layers P1 to P3 are in a state of being bitten into the adjacent ceramic green sheets G1 to G4 on both sides. In other words, the ceramic green sheets G <b> 1 to G <b> 4 have a shape that is greatly depressed in a region in contact with the conductive paste layers P <b> 1 to P <b> 3. However, since the ceramic green sheets G1 to G4 have the characteristic of low density as described above, even if they are in such a depressed state, the generation of stress is extremely small.

それから、得られた積層体20をチップ単位に切断した後、所定温度(例えば、870℃程度)にて焼成を行い、インダクタ素体を形成する。このインダクタ素体は、例えば、焼成後における長手方向の長さが2.0mm、幅が1.25mm、高さが0.8mmとなるようにする。かかる焼成により、セラミックグリーンシートG1〜G4がセラミック層となり、また導電ペースト層P1〜P3が導体パターンとなる。つまり、セラミック層及び導体パターンは、それぞれセラミックグリーンシートG1〜G4の焼成物及び導電ペースト層P1〜P3の焼成物から構成される。   Then, the obtained stacked body 20 is cut into chips, and then fired at a predetermined temperature (for example, about 870 ° C.) to form an inductor body. For example, the length of the inductor body in the longitudinal direction after firing is 2.0 mm, the width is 1.25 mm, and the height is 0.8 mm. By such firing, the ceramic green sheets G1 to G4 become ceramic layers, and the conductive paste layers P1 to P3 become conductor patterns. That is, the ceramic layer and the conductor pattern are composed of fired products of ceramic green sheets G1 to G4 and fired products of conductive paste layers P1 to P3, respectively.

そして、このインダクタ素体に対し、端子電極を形成することで、積層型インダクタが得られる。端子電極は、インダクタ素体の長手方向の両端面にそれぞれ銀、ニッケル又は銅を主成分とする電極ペーストを転写した後、所定温度(例えば700℃程度)で焼き付けを行い、さらに電気めっきを施すことにより形成することができる。この電気めっきには、Cu、Ni及びSu等を用いることができる。   A multilayer inductor can be obtained by forming a terminal electrode for the inductor body. The terminal electrode is baked at a predetermined temperature (for example, about 700 ° C.) and electroplated after transferring an electrode paste mainly composed of silver, nickel, or copper to both end faces in the longitudinal direction of the inductor body. Can be formed. For this electroplating, Cu, Ni, Su or the like can be used.

以上のように、本実施形態の積層型インダクタの製造方法においては、セラミック層の形成材料として、セラミックグリーンシートG1〜G4を用いている。このセラミックグリーンシートG1〜G4は、上述の如く、上記セラミックグリーンシート用塗料を用いて得られたものであり、従来に比して低密度であるという特性を有している。このため、プレス等により積層体20を形成する際には、このセラミックグリーンシートG1〜G4は、導電ペースト層P1〜P3の形状に合わせて柔軟に変形することができ、導電ペースト層P1〜P3の食い込みに伴う応力の発生が少ない。その結果、焼成時や焼成後において、セラミックグリーンシートに生じた応力に起因するセラミック層と導体層との間のクラックやデラミネーションが極めて生じ難くなる。   As described above, in the multilayer inductor manufacturing method of the present embodiment, the ceramic green sheets G1 to G4 are used as the material for forming the ceramic layer. The ceramic green sheets G1 to G4 are obtained by using the ceramic green sheet paint as described above, and have a characteristic that the density is lower than that in the past. For this reason, when the laminated body 20 is formed by pressing or the like, the ceramic green sheets G1 to G4 can be flexibly deformed in accordance with the shapes of the conductive paste layers P1 to P3, and the conductive paste layers P1 to P3. There is little generation of stress due to bite. As a result, cracks and delamination between the ceramic layer and the conductor layer due to the stress generated in the ceramic green sheet are hardly caused during firing or after firing.

また、セラミックグリーンシートG1〜G4は、上記のような特定の粘度を有するセラミックグリーンシート用塗料から得られたものであるため、当該シート中でセラミック粉末が均一に分散している。このため、かかるセラミックシートG1〜G4から得られるセラミック層は均質なものとなる。その結果、得られる積層型インダクタは、従来、セラミックグリーンシートの低密度化を試みた場合にセラミック粉末の偏在等に起因して生じ易かった局所的な絶縁不良等が極めて少ないものとなる。   Further, since the ceramic green sheets G1 to G4 are obtained from the ceramic green sheet paint having a specific viscosity as described above, the ceramic powder is uniformly dispersed in the sheet. For this reason, the ceramic layer obtained from the ceramic sheets G1 to G4 is homogeneous. As a result, the obtained multilayer inductor has extremely few local insulation defects that have been easily caused by the uneven distribution of ceramic powder when the density of the ceramic green sheet is attempted.

以上、好適な実施形態に係る積層インダクタ及びその製造方法について説明したが、本発明は必ずしも上述した形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を行うことができる。   The multilayer inductor and the manufacturing method thereof according to the preferred embodiment have been described above. However, the present invention is not necessarily limited to the above-described embodiment, and modifications can be made as appropriate without departing from the spirit of the present invention.

例えば、まず、上述した積層型インダクタにおいて、セラミック層として各種フェライト材料からなる磁性体層を例示したが、これに限定されず、非磁性材料からなる非磁性層としてもよい。   For example, in the multilayer inductor described above, the magnetic layer made of various ferrite materials is exemplified as the ceramic layer. However, the present invention is not limited to this, and a nonmagnetic layer made of a nonmagnetic material may be used.

また、本発明は、上述した積層型インダクタに限られず、導体層とセラミック層とが交互に積層された構造を有するものであれば、特に制限なく適用することができる。具体的には、例えば、コンデンサ、サーミスタ、バリスタやこれらの複合品等が例示できる。これらのインダクタ以外の電子部品は、それぞれの電子部品に適したセラミック層の構成材料や導体層の形状等を適宜選択することによって得ることができる。   The present invention is not limited to the multilayer inductor described above, and can be applied without particular limitation as long as it has a structure in which conductor layers and ceramic layers are alternately stacked. Specifically, for example, a capacitor, a thermistor, a varistor, or a composite product thereof can be exemplified. Electronic components other than these inductors can be obtained by appropriately selecting the constituent material of the ceramic layer, the shape of the conductor layer, and the like suitable for each electronic component.

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
[セラミックグリーンシート用塗料の調製及び評価]
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention still in detail, this invention is not limited to these Examples.
[Preparation and Evaluation of Ceramic Green Sheet Paint]

(実施例1〜4、比較例1〜6)
まず、バインダー樹脂であるブチラール樹脂を、良溶媒であるトルエン及びイソブチルアルコールに溶解した。次いで、得られた溶液に、セラミック粉末であるNi−Cu−Znフェライト粉末、貧溶媒であるエチレングリコール及び可塑剤を加えてボールミルに投入し、24時間分散を行った。各実施例又は比較例における各成分の配合量(重量部)は、表1に示すようにした。
(Examples 1-4, Comparative Examples 1-6)
First, a butyral resin as a binder resin was dissolved in toluene and isobutyl alcohol as good solvents. Next, Ni—Cu—Zn ferrite powder as a ceramic powder, ethylene glycol as a poor solvent, and a plasticizer were added to the obtained solution, and the mixture was placed in a ball mill and dispersed for 24 hours. The blending amount (parts by weight) of each component in each example or comparative example was as shown in Table 1.

そして、得られた各セラミックグリーンシート用塗料の、せん断速度が0.1秒−1のときの粘度(V0.1)及び0.01秒−1のときの粘度(V0.01)を、円錐円板粘度計により測定した。得られたV0.1及びV0.01をまとめて表1に示した。 Then, the ceramic green sheet slurry obtained, the viscosity when the viscosity at a shear rate of 0.1 sec -1 (V 0.1) and 0.01 sec -1 (V 0.01) Measured with a conical disk viscometer. The obtained V 0.1 and V 0.01 are collectively shown in Table 1.

また、各セラミックグリーンシート用塗料の調製において、10時間分散させた時点での各塗料の一部を抜き取り、これを用いてガラス面上に厚み10〜50μm程度の塗膜を形成し、これを100倍の顕微鏡により観察した。そして、各塗料に含まれるセラミック粉末の粒径の最大値を測定することにより各セラミックグリーンシート用塗料の分散性を評価した。この粒径が小さいほど分散性に優れていることを表している。得られた結果を表1に示した。なお、表1中、評価は以下の基準に基づいて行った。この評価においては、最大粒径が40μm以下である場合(A又はB)が、分散性が良く実用に足る良品であると判断することができる。
A:最大粒径が20μm以下
B:最大粒径が20μmを超え40μm以下
C:最大粒径が40μmを超え60μm以下
D:最大粒径が60μmより大

Figure 2007063060

[セラミックグリーンシートの作製及び評価] Moreover, in the preparation of each ceramic green sheet paint, a part of each paint at the time of dispersion for 10 hours is extracted, and a coating film having a thickness of about 10 to 50 μm is formed on the glass surface using this. It observed with the microscope of 100 time. And the dispersibility of each ceramic green sheet coating material was evaluated by measuring the maximum value of the particle size of the ceramic powder contained in each coating material. The smaller the particle size, the better the dispersibility. The obtained results are shown in Table 1. In Table 1, the evaluation was performed based on the following criteria. In this evaluation, when the maximum particle size is 40 μm or less (A or B), it can be determined that the product has good dispersibility and is sufficient for practical use.
A: Maximum particle size is 20 μm or less B: Maximum particle size is more than 20 μm and 40 μm or less C: Maximum particle size is more than 40 μm and 60 μm or less D: Maximum particle size is larger than 60 μm
Figure 2007063060

[Production and evaluation of ceramic green sheets]

実施例2のセラミックグリーンシート用塗料を、ドクターブレード法により厚みが45μmとなるように設定してPETフィルム上にそれぞれ塗布した後、乾燥させてセラミックグリーンシートを得た。   The ceramic green sheet paint of Example 2 was applied to a PET film by a doctor blade method so as to have a thickness of 45 μm, and then dried to obtain a ceramic green sheet.

得られたセラミックグリーンシートの密度を測定したところ2.72g/cmであった。これは、貧溶媒であるエチレングリコールを含まないこと以外は同様の組成を有するセラミックグリーンシート用塗料を用いて得られたセラミックグリーンシートに比して、14.2%低下した値であることが確認された。
[積層型インダクタの作製及び評価]
The density of the obtained ceramic green sheet was measured and found to be 2.72 g / cm 3 . This is a value that is 14.2% lower than the ceramic green sheet obtained by using the ceramic green sheet paint having the same composition except that it does not contain ethylene glycol, which is a poor solvent. confirmed.
[Production and evaluation of multilayer inductors]

実施例2のセラミックグリーンシート用塗料から得られるセラミックグリーンシートを複数形成した後、それぞれに対し、レーザーを用いて所望の位置にスルーホールを形成した。それから、各セラミックグリーンシート上に、メタルマスクを介して銀を主成分とする導電ペーストを塗布し、厚さが約40μmであり、パターン幅が160μmである所定のパターンの導電ペースト層を形成した。そして、得られた各セラミックグリーンシートを積層することで、導電ペースト層及びスルーホールからなるコイル状パターンを内蔵する積層体を得た。なお、得られたコイル状パターンのターン数は、7.5ターンであった。   After forming a plurality of ceramic green sheets obtained from the coating material for ceramic green sheets of Example 2, through holes were formed at desired positions using a laser. Then, on each ceramic green sheet, a conductive paste mainly composed of silver was applied through a metal mask to form a conductive paste layer having a predetermined pattern having a thickness of about 40 μm and a pattern width of 160 μm. . And the laminated body which incorporates the coil-like pattern which consists of an electrically conductive paste layer and a through hole was obtained by laminating | stacking each obtained ceramic green sheet. The number of turns of the obtained coiled pattern was 7.5 turns.

その後、この積層体を、完成寸法が長さ;2.0mm、幅;1.25mm、高さ;0.8mmとなるように切断して単体のチップとした。そして得られたチップを約870℃で焼成した後、焼成物の両端面に銀、銅又はニッケルを主成分とする導電ペーストを塗布した後、約700℃で焼き付け、さらにその上に電気めっきによりCu、Ni及びSnめっきを施し、端子電極を形成した。こうして、図1〜3に示したような構成を有する積層型インダクタを得た。   Then, this laminated body was cut | disconnected so that a completion dimension might be length; 2.0mm, width | variety; 1.25mm, height; 0.8mm, and it was set as the single-piece | unit chip | tip. And after baking the obtained chip | tip at about 870 degreeC, after apply | coating the electrically conductive paste which has silver, copper, or nickel as a main component to both ends of a baked product, it baked at about 700 degreeC, and also by electroplating on it. Cu, Ni, and Sn plating were performed to form terminal electrodes. Thus, a multilayer inductor having a configuration as shown in FIGS.

得られた積層型インダクタの内部状態をDPAにより解析した結果、導体パターンの厚さTが21.8μmであり、導体パターンの幅が140μmであり、この導体パターンの層間距離Tが15.6μmであることが確認された。このように、得られた積層型インダクタのT/Tは1.4であった。 As a result of analyzing the internal state of the obtained multilayer inductor by DPA, the thickness T 1 of the conductor pattern is 21.8 μm, the width of the conductor pattern is 140 μm, and the interlayer distance T 2 of this conductor pattern is 15. It was confirmed to be 6 μm. Thus, T 1 / T 2 of the obtained multilayer inductor was 1.4.

また、この積層型インダクタのインダクタンスを測定したところ、1.03μHであり、直流抵抗を測定したところ0.11Ωであった。このことから、定格電流を0.5Aとした場合であっても十分に使用できるレベルであることが判明した。これらの値は、同ロットの積層型インダクタから100個抜き取り、これらについて測定を行い得られた平均値である。   Further, when the inductance of this multilayer inductor was measured, it was 1.03 μH, and when the DC resistance was measured, it was 0.11Ω. From this, it was found that even when the rated current was 0.5 A, the level was sufficient. These values are average values obtained by extracting 100 pieces from the multilayer inductor of the same lot and measuring them.

さらに、同ロットの積層型インダクタから1000個抜き取り、これらの全てについて、積層構造中にデラミネーション又はクラックが発生しているか否かを判定した。その結果、1000個中、デラミネーションが発生しているものの割合は0.8%であり、クラックが発生しているものの割合は1.4%であった。なお、これらは全て外観上の問題を有していなかった。   Furthermore, 1000 pieces were extracted from the multilayer inductor of the same lot, and it was determined whether or not delamination or cracks were generated in the multilayer structure for all of these. As a result, of 1000 pieces, the ratio of occurrence of delamination was 0.8%, and the ratio of occurrence of cracks was 1.4%. All of these did not have an appearance problem.

これに対し、貧溶媒を含まない塗料を用いて製造された従来の積層型インダクタについても同様の評価を行ったところ、デラミネーション又はクラックの発生率はほぼ100%であった。   On the other hand, when the same evaluation was performed on a conventional multilayer inductor manufactured using a paint not containing a poor solvent, the occurrence rate of delamination or cracks was almost 100%.

これより、本実施例で得られた積層型インダクタは、従来に比してデラミネーションやクラック等の発生が少なく、信頼性及び量産性に優れることが判明した。   From this, it was found that the multilayer inductor obtained in this example has less occurrence of delamination and cracks, and is excellent in reliability and mass productivity as compared with the conventional case.

実施形態に係る積層型インダクタを示す斜視図である。1 is a perspective view showing a multilayer inductor according to an embodiment. 実施形態に係る積層型インダクタの断面構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the cross-sectional structure of the multilayer inductor which concerns on embodiment. 実施形態に係る積層型インダクタに含まれる積層体の分解斜視図である。1 is an exploded perspective view of a multilayer body included in a multilayer inductor according to an embodiment. 実施形態に係る積層型インダクタの製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the multilayer inductor which concerns on embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…積層型インダクタ、10…インダクタ素体、11,12…端子電極、A1〜A12…セラミック層、B1〜B10…導体パターン、C1〜C9…スルーホール電極、G1〜G4…セラミックグリーンシート、P1〜P3…導電ペースト層。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer inductor, 10 ... Inductor body, 11, 12 ... Terminal electrode, A1-A12 ... Ceramic layer, B1-B10 ... Conductor pattern, C1-C9 ... Through-hole electrode, G1-G4 ... Ceramic green sheet, P1 ~ P3 ... conductive paste layer.

Claims (5)

セラミック粉末と、バインダー樹脂と、前記バインダー樹脂の良溶媒と、前記バインダー樹脂の貧溶媒と、を含み、
せん断速度0.1秒−1における粘度が90〜600Pa・sであり、せん断速度0.01秒−1における粘度が320〜1400Pa・sであることを特徴とするセラミックグリーンシート用塗料。
Ceramic powder, binder resin, good solvent for the binder resin, poor solvent for the binder resin,
A ceramic green sheet paint having a viscosity of 90 to 600 Pa · s at a shear rate of 0.1 sec −1 and a viscosity of 320 to 1400 Pa · s at a shear rate of 0.01 sec −1 .
セラミック粉末と、バインダー樹脂と、前記バインダー樹脂の良溶媒と、前記バインダー樹脂の貧溶媒と、を、
せん断速度0.1秒−1における粘度が90〜600Pa・sとなり、且つ、せん断速度0.01秒−1における粘度が320〜1400Pa・sとなるように混合する工程を含むことを特徴とするセラミックグリーンシート用塗料の製造方法。
Ceramic powder, binder resin, good solvent for the binder resin, and poor solvent for the binder resin,
Viscosity 90~600Pa · s next at a shear rate of 0.1 sec -1, and a viscosity at a shear rate of 0.01 sec -1 is characterized in that it comprises the step of mixing so that 320~1400Pa · s A method for producing a coating for a ceramic green sheet.
前記セラミック粉末の配合量及び/又は前記良溶媒の配合量を変化させて、粘度を調整することを特徴とする請求項2記載のセラミックグリーンシート用塗料の製造方法。   The method for producing a coating material for a ceramic green sheet according to claim 2, wherein the blending amount of the ceramic powder and / or the blending amount of the good solvent is changed to adjust the viscosity. 請求項1記載のセラミックグリーンシート用塗料を用いて得られるセラミックグリーンシート。   A ceramic green sheet obtained using the ceramic green sheet paint according to claim 1. 導体層及びセラミック層を備え、
前記セラミック層が、請求項4記載のセラミックグリーンシートから形成されたものであり、
前記導体層の厚さT(μm)と前記セラミック層の厚さT(μm)とが、T/T≧1.0を満たすことを特徴とする電子部品。

Comprising a conductor layer and a ceramic layer;
The ceramic layer is formed from the ceramic green sheet according to claim 4,
An electronic component characterized in that a thickness T 1 (μm) of the conductor layer and a thickness T 2 (μm) of the ceramic layer satisfy T 1 / T 2 ≧ 1.0.

JP2005250150A 2005-08-30 2005-08-30 CERAMIC GREEN SHEET COATING AND ITS MANUFACTURING METHOD, CERAMIC GREEN SHEET, AND ELECTRONIC COMPONENT EQUIPPED WITH THE SAME Active JP4373968B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005250150A JP4373968B2 (en) 2005-08-30 2005-08-30 CERAMIC GREEN SHEET COATING AND ITS MANUFACTURING METHOD, CERAMIC GREEN SHEET, AND ELECTRONIC COMPONENT EQUIPPED WITH THE SAME

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005250150A JP4373968B2 (en) 2005-08-30 2005-08-30 CERAMIC GREEN SHEET COATING AND ITS MANUFACTURING METHOD, CERAMIC GREEN SHEET, AND ELECTRONIC COMPONENT EQUIPPED WITH THE SAME

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007063060A true JP2007063060A (en) 2007-03-15
JP4373968B2 JP4373968B2 (en) 2009-11-25

Family

ID=37925668

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005250150A Active JP4373968B2 (en) 2005-08-30 2005-08-30 CERAMIC GREEN SHEET COATING AND ITS MANUFACTURING METHOD, CERAMIC GREEN SHEET, AND ELECTRONIC COMPONENT EQUIPPED WITH THE SAME

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4373968B2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010037146A (en) * 2008-08-05 2010-02-18 Nippon Soken Inc Method for preparing dispersed slurry and dispersed slurry production device
US8188828B2 (en) 2007-12-26 2012-05-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer electronic component and electronic component module including the same
JP2021174817A (en) * 2020-04-21 2021-11-01 株式会社村田製作所 Laminated coil component

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8188828B2 (en) 2007-12-26 2012-05-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer electronic component and electronic component module including the same
JP2010037146A (en) * 2008-08-05 2010-02-18 Nippon Soken Inc Method for preparing dispersed slurry and dispersed slurry production device
JP2021174817A (en) * 2020-04-21 2021-11-01 株式会社村田製作所 Laminated coil component
US11996226B2 (en) 2020-04-21 2024-05-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer coil component

Also Published As

Publication number Publication date
JP4373968B2 (en) 2009-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4650794B2 (en) Conductive paste for multilayer electronic component and multilayer electronic component using the same
TWI798292B (en) Conductive paste, electronic parts and laminated ceramic capacitors
WO2020137290A1 (en) Conductive paste, electronic component, and laminated ceramic capacitor
JP5299904B2 (en) Conductive paste for internal electrode of multilayer electronic component and multilayer electronic component using the same
JP2024032861A (en) Conductive paste, electronic component, and multilayer ceramic capacitor
JP2024072824A (en) Manufacturing method of multilayer inductor
JP4373968B2 (en) CERAMIC GREEN SHEET COATING AND ITS MANUFACTURING METHOD, CERAMIC GREEN SHEET, AND ELECTRONIC COMPONENT EQUIPPED WITH THE SAME
WO2020166361A1 (en) Electroconductive paste, electronic component, and laminated ceramic capacitor
JP4434052B2 (en) Ceramic green sheet, electronic component using the same, and manufacturing method thereof
JP7206671B2 (en) Conductive paste, electronic parts and laminated ceramic capacitors
JP2004096010A (en) Laminated ceramic electronic component fabricating process
JP2012184124A (en) Coating material for green sheet, method for manufacturing green sheet, and method for manufacturing electronic component
JP4385726B2 (en) Conductive paste and method for producing multilayer ceramic capacitor using the same
JP4968309B2 (en) Paste composition, electronic component and method for producing multilayer ceramic capacitor
JP2004014338A (en) Conductive paste
JP2008218532A (en) Green-sheet laminated unit, manufacturing method for electronic part and electronic part
JP2004022798A (en) Laminated impedance element and its manufacturing method
TWI829835B (en) Silver paste
TWI829834B (en) Silver paste
JP4374858B2 (en) Ceramic green sheet, method for producing the same, and laminate using the same
JP2000269073A (en) Multilayer ceramic capacitor and manufacture thereof
JP4653971B2 (en) Nickel-containing paste for internal electrodes
JP2021064607A (en) Conductive paste, electronic component, and laminated ceramic capacitor
JP2015149259A (en) Conductive paste for multilayer circuit board and manufacturing method therefor
JP2011071365A (en) Method of manufacturing internal electrode of electronic component, and electronic component

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080723

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081014

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081215

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090519

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090721

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090901

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090904

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120911

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4373968

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130911

Year of fee payment: 4