JP2007059725A - Magnetic sensor package and manufacturing method thereof - Google Patents
Magnetic sensor package and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007059725A JP2007059725A JP2005245031A JP2005245031A JP2007059725A JP 2007059725 A JP2007059725 A JP 2007059725A JP 2005245031 A JP2005245031 A JP 2005245031A JP 2005245031 A JP2005245031 A JP 2005245031A JP 2007059725 A JP2007059725 A JP 2007059725A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic sensor
- housing
- sensor package
- magnetic
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
Description
本発明は、磁性体を検出するのに用いる磁気センサパッケージ及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a magnetic sensor package used for detecting a magnetic material and a manufacturing method thereof.
磁気センサを有する磁気センサパッケージが広く使用されている。この磁気センサパッケージは、ハウジングが非磁性体で構成されているとともに磁場発生用のマグネットを備えており、パッケージの近くを磁性体が通過すると、磁場が乱れるため磁気センサで検出する磁束量が変化する。この変化に基づいて、磁気センサパッケージは磁性体の通過や近接などを検出している(例えば特許文献1参照)。 Magnetic sensor packages having a magnetic sensor are widely used. In this magnetic sensor package, the housing is made of a non-magnetic material and includes a magnet for generating a magnetic field. When a magnetic material passes near the package, the magnetic field is disturbed and the amount of magnetic flux detected by the magnetic sensor changes. To do. Based on this change, the magnetic sensor package detects passage or proximity of a magnetic material (see, for example, Patent Document 1).
ところで、この磁気センサパッケージは、小型化、軽量化が益々進んできており、部品点数の削減が望まれている。
本発明は、上記事実を考慮して、部品点数を削減した磁気センサパッケージ及びその製造方法を提供することを課題とする。 In view of the above facts, an object of the present invention is to provide a magnetic sensor package with a reduced number of parts and a method for manufacturing the same.
請求項1に記載の発明は、磁性体を検出するのに用いる磁気センサパッケージであって、磁気センサと、前記磁気センサを収容するハウジングと、を備え、前記ハウジングは、磁性体の検出側に、磁化された壁部材をハウジング構成部材として有することを特徴とする。 The invention according to claim 1 is a magnetic sensor package used for detecting a magnetic material, comprising: a magnetic sensor; and a housing for housing the magnetic sensor, wherein the housing is provided on a detection side of the magnetic material. The magnet has a magnetized wall member as a housing constituent member.
このように、壁部材にマグネットとしての機能を持たせることにより、壁部材に磁気バイアス回路の構成部材としての役割をさせることができる。従って、従来のようにマグネットを磁気センサパッケージに設ける必要がなくなる。よって、部品点数を削減した磁気センサパッケージとすることができる。また、この磁気センサパッケージを製造する際、マグネットを組付けする工程を省略することができるので、製造時間を短縮することができる。 Thus, by giving the wall member a function as a magnet, the wall member can serve as a constituent member of the magnetic bias circuit. Therefore, it is not necessary to provide a magnet in the magnetic sensor package as in the prior art. Therefore, it can be set as the magnetic sensor package which reduced the number of parts. In addition, when manufacturing the magnetic sensor package, the step of assembling the magnet can be omitted, so that the manufacturing time can be shortened.
請求項2に記載の発明は、前記壁部材が、前記ハウジング内を封止する蓋であることを特徴とする。 The invention according to claim 2 is characterized in that the wall member is a lid for sealing the inside of the housing.
蓋(LID)で封止する方法は、接着剤による接着、シーム溶接、ソルダリングなどでよく、封止方法は特に限定しない。 The method of sealing with a lid (LID) may be adhesion with an adhesive, seam welding, soldering, etc., and the sealing method is not particularly limited.
請求項2に記載の発明により、磁気センサパッケージをハウジング内に封止し易い。また、簡易な構成で磁性体の検出面を広くし易い。 According to the second aspect of the present invention, the magnetic sensor package can be easily sealed in the housing. Moreover, it is easy to widen the detection surface of the magnetic material with a simple configuration.
請求項3に記載の発明は、前記磁気センサで計測される磁束量の変化に基づいて磁性体の検出の判断を行うICチップが前記ハウジング内に設けられていることを特徴とする。 The invention described in claim 3 is characterized in that an IC chip for making a judgment of detection of a magnetic material based on a change in the amount of magnetic flux measured by the magnetic sensor is provided in the housing.
これにより、磁性体の検出の判断を行う判断手段を磁気センサパッケージの外部に設ける必要がない。 Thereby, there is no need to provide a judgment means for judging the detection of the magnetic body outside the magnetic sensor package.
請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の磁気センサパッケージの製造方法であって、前記壁部材で前記ハウジング内を封止する際、前記ハウジング内を無酸素状態にして封止することを特徴とする。 The invention according to claim 4 is the method for manufacturing the magnetic sensor package according to claim 1, wherein when the inside of the housing is sealed by the wall member, the inside of the housing is sealed in an oxygen-free state. It is characterized by that.
無酸素状態にするには、不活性ガス雰囲気にしてもよいし、予めゲルなどでハウジング内を満たしておいてもよい。 In order to obtain an oxygen-free state, an inert gas atmosphere may be used, or the inside of the housing may be filled with a gel or the like in advance.
請求項4に記載の発明により、高い信頼性が得られるとともに、応力による出力変化を防ぐことが可能となる。 According to the invention described in claim 4, high reliability can be obtained, and output change due to stress can be prevented.
本発明は上記構成としたので、以下の効果を奏することができる。 Since the present invention has the above configuration, the following effects can be obtained.
請求項1に記載の発明によれば、部品点数を削減した磁気センサパッケージとすることができる。また、マグネットを組付けする工程を省略することができるので、製造時間を短縮することができる。 According to the first aspect of the present invention, a magnetic sensor package with a reduced number of parts can be obtained. Moreover, since the process of assembling the magnet can be omitted, the manufacturing time can be shortened.
請求項2に記載の発明によれば、磁気センサパッケージをハウジング内に封止し易い。また、簡易な構成で磁性体の検出面を広くし易い。 According to invention of Claim 2, it is easy to seal a magnetic sensor package in a housing. Moreover, it is easy to widen the detection surface of the magnetic material with a simple configuration.
請求項3に記載の発明によれば、磁性体の検出の判断を行う判断手段を磁気センサパッケージの外部に設ける必要がない。 According to the third aspect of the present invention, there is no need to provide determination means for determining the detection of the magnetic material outside the magnetic sensor package.
請求項4に記載の発明によれば、高い信頼性が得られるとともに、応力による出力変化を防ぐことが可能となる。 According to the invention described in claim 4, high reliability can be obtained and output change due to stress can be prevented.
以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。なお、第2実施形態以下では、既に説明した構成要素と同様のものには同じ符号を付して、その説明を省略する。 Hereinafter, embodiments will be described and embodiments of the present invention will be described. In the second and subsequent embodiments, the same components as those already described are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
[第1実施形態]
まず、第1実施形態について説明する。図1〜図3に示すように、本実施形態に係る磁気センサパッケージ10は、磁気センサ12を有する磁気センサチップ14と、磁気センサ12で計測される磁束量の変化に基づいて磁性体Jの検出の判断を行うICチップ16と、が実装されたパッケージ基板18をハウジング20内に有する。
[First Embodiment]
First, the first embodiment will be described. As shown in FIGS. 1 to 3, the
ハウジング20を構成する蓋(LID)22は磁化されてN極とS極とが形成されており、マグネットとしての機能を有している。この蓋22は、ハウジング20を構成する封止部材として磁性体Jの検出側に設けられている。また、蓋22以外のハウジング部分を形成しているハウジング本体24はセラミック部材で構成されている。
A lid (LID) 22 constituting the
この構成により、磁気センサチップ14は磁気バイアスされた状態になっている。なお、この磁気バイアスされた状態とは、蓋22によって磁気センサチップ14に一定磁界が加えられた状態のことをいう。
With this configuration, the
この磁気センサパッケージ10の蓋22の近くを磁性体Jが通過すると、蓋22によって形成されている磁場が乱れる。従って、磁気センサ12で計測される磁束量に変化が生じる。ICチップ16は、この磁束量の変化を検知して、磁性体Jが通過したと判断する。
When the magnetic body J passes near the
磁性体Jが蓋22に近づいて停止した場合であっても、磁場が変化したままの状態になるので、磁気センサ12で計測される磁束量は変化したままの状態になる。従って、ICチップ16はこれを検知して、磁性体Jが蓋22に近づいた状態が維持されていると判断する。
Even when the magnetic body J approaches the
磁気センサパッケージ10を製造するには、まず、パッケージ基板18に磁気センサチップ14及びICチップ16を実装する。
In order to manufacture the
そして、磁気センサチップ14及びICチップ16が実装されたパッケージ基板18と側壁部材26とでハウジング本体24を形成する。更に、ハウジング本体24の周囲を不活性ガス雰囲気にして、蓋22をハウジング本体24に接合する。この接合は、接着剤による接着、シーム溶接、ソルダリング(はんだ付け)などで行う。
The
なお、不活性ガス雰囲気にすることに代えて、ゲル状の封止剤でハウジング本体24内を封止してもよい。
Note that the inside of the housing
以上説明したように、本実施形態に係る磁気センサパッケージ10は、蓋22にマグネットとしての機能を持たせることにより、蓋22に磁気バイアス回路の構成部材としての役割をさせることができる。従って、従来のようにマグネットを磁気センサパッケージに設ける必要がなくなる。よって、部品点数を削減した磁気センサパッケージ10とすることができる。また、この磁気センサパッケージ10を製造する際、マグネットを組付けする工程を省略することができるので、製造時間を短縮することができる。
As described above, the
また、この蓋22によってハウジング20内が封止されているので、磁気センサパッケージ10をハウジング20内に封止し易く、しかも、簡易な構成で磁性体Jの検出面を広くし易い。
Further, since the inside of the
更に、磁気センサ12で計測される磁束量の変化に基づいて磁性体Jの検出の判断を行うICチップ16がハウジング20内に設けられている。これにより、磁性体Jの検出の判断を行う判断手段を磁気センサパッケージ10の外部に設ける必要がない。
Further, an
また、磁気センサパッケージ10を製造するとき、蓋22でハウジング20内を封止する際、ハウジング20内を無酸素状態にして封止している。これにより、高い信頼性が得られるとともに、応力による出力変化を防ぐことが可能となる。
Further, when the
[第2実施形態]
次に、第2実施形態について説明する。本実施形態に係る磁気センサパッケージは、第1実施形態に比べ、蓋22に代えて、図4に示すような蓋32を有する。この蓋32は、第1実施形態で説明した蓋22よりも強磁性体の部材で構成されているので、蓋22に比べ、厚みを薄くした蓋32とすることができている。蓋32の材質は例えばネオジウムであり、蓋32の厚みは例えば0.3mmである。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment will be described. The magnetic sensor package according to the present embodiment has a
本実施形態により、磁気センサパッケージの更なる薄型化、軽量化を実現できる。 According to this embodiment, the magnetic sensor package can be further reduced in thickness and weight.
以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、これらの実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲が上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。 The embodiments of the present invention have been described above with reference to the embodiments. However, these embodiments are merely examples, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say, the scope of rights of the present invention is not limited to the above embodiment.
10 磁気センサパッケージ
12 磁気センサ
16 ICチップ
20 ハウジング
22 蓋
32 蓋
10
Claims (4)
磁気センサと、
前記磁気センサを収容するハウジングと、
を備え、
前記ハウジングは、磁性体の検出側に、磁化された壁部材をハウジング構成部材として有することを特徴とする磁気センサパッケージ。 A magnetic sensor package used for detecting a magnetic material,
A magnetic sensor;
A housing for housing the magnetic sensor;
With
The housing has a magnetized wall member as a housing component on the detection side of the magnetic material.
前記壁部材で前記ハウジング内を封止する際、前記ハウジング内を無酸素状態にして封止することを特徴とする磁気センサパッケージの製造方法。 It is a manufacturing method of the magnetic sensor package according to claim 1,
A method of manufacturing a magnetic sensor package, wherein when sealing the inside of the housing with the wall member, the inside of the housing is sealed in an oxygen-free state.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005245031A JP2007059725A (en) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | Magnetic sensor package and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005245031A JP2007059725A (en) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | Magnetic sensor package and manufacturing method thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007059725A true JP2007059725A (en) | 2007-03-08 |
Family
ID=37922935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005245031A Pending JP2007059725A (en) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | Magnetic sensor package and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007059725A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022160054A (en) * | 2021-04-06 | 2022-10-19 | 三菱電機株式会社 | Rotation angle detector |
-
2005
- 2005-08-25 JP JP2005245031A patent/JP2007059725A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022160054A (en) * | 2021-04-06 | 2022-10-19 | 三菱電機株式会社 | Rotation angle detector |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1295514C (en) | Current sensor and current sensor manufacturing method | |
KR102096033B1 (en) | Integrated circuit package having a split lead frame and a magnet | |
JP4433024B2 (en) | Method for manufacturing rotation detection device | |
EP1884979A3 (en) | Self-passivating plasma resistant material for joining chamber components | |
JPH02303176A (en) | Semiconductor device and manufacture thereof | |
JP2007059725A (en) | Magnetic sensor package and manufacturing method thereof | |
US10571529B2 (en) | Electrical structural member and production method for producing such an electrical structural member | |
JP2015141121A (en) | magnetic sensor | |
JP2007214315A (en) | Electronic component sealing body | |
JP2005250307A (en) | Optical deflector | |
JP4315759B2 (en) | Magnetic sensor for pointing device | |
JP4270312B2 (en) | Semiconductor sensor | |
JP2006329922A (en) | Sensor device | |
JP5086733B2 (en) | Magnetic detection probe and method of manufacturing magnetic detection probe | |
US20200284676A1 (en) | Coil actuated pressure sensor and deflectable substrate | |
JP2002368304A (en) | Hall element | |
JPWO2010122944A1 (en) | Magnetic sensor package | |
US7414307B2 (en) | Electronic device and pressure sensor | |
US7768124B2 (en) | Semiconductor sensor having a flat mounting plate with banks | |
JP2004257953A (en) | Electric current sensor device | |
JP2009031005A (en) | Semiconductor pressure sensor | |
JP2011022035A (en) | Magnetic sensor | |
JP2009300130A (en) | Metal approach detection system | |
JP5589961B2 (en) | Angular velocity sensor device | |
JP2006071456A (en) | Current measuring device |