JP2007059725A - Magnetic sensor package and manufacturing method thereof - Google Patents

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正也 関戸
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Tokai Rika Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic sensor package for reducing the number of components, and to provide a manufacturing method of the magnetic sensor package. <P>SOLUTION: The magnetic sensor package 10 comprises a magnetic sensor 12 and a housing 20 that stores the magnetic sensor 12. The housing 20 has a magnetized lid 22 on the detection side of a magnetic body J as a housing component. By allowing the lid 22 to function as a magnet, the lid 22 is given the role of components in a magnetic bias circuit, thus dispensing with having to provide the magnet in the magnetic sensor package as in conventional, and hence reducing the number of components in the magnetic sensor package 10. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、磁性体を検出するのに用いる磁気センサパッケージ及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a magnetic sensor package used for detecting a magnetic material and a manufacturing method thereof.

磁気センサを有する磁気センサパッケージが広く使用されている。この磁気センサパッケージは、ハウジングが非磁性体で構成されているとともに磁場発生用のマグネットを備えており、パッケージの近くを磁性体が通過すると、磁場が乱れるため磁気センサで検出する磁束量が変化する。この変化に基づいて、磁気センサパッケージは磁性体の通過や近接などを検出している(例えば特許文献1参照)。   Magnetic sensor packages having a magnetic sensor are widely used. In this magnetic sensor package, the housing is made of a non-magnetic material and includes a magnet for generating a magnetic field. When a magnetic material passes near the package, the magnetic field is disturbed and the amount of magnetic flux detected by the magnetic sensor changes. To do. Based on this change, the magnetic sensor package detects passage or proximity of a magnetic material (see, for example, Patent Document 1).

ところで、この磁気センサパッケージは、小型化、軽量化が益々進んできており、部品点数の削減が望まれている。
特開2005−3477号公報
By the way, the magnetic sensor package has been increasingly reduced in size and weight, and a reduction in the number of parts is desired.
JP 2005-3477 A

本発明は、上記事実を考慮して、部品点数を削減した磁気センサパッケージ及びその製造方法を提供することを課題とする。   In view of the above facts, an object of the present invention is to provide a magnetic sensor package with a reduced number of parts and a method for manufacturing the same.

請求項1に記載の発明は、磁性体を検出するのに用いる磁気センサパッケージであって、磁気センサと、前記磁気センサを収容するハウジングと、を備え、前記ハウジングは、磁性体の検出側に、磁化された壁部材をハウジング構成部材として有することを特徴とする。   The invention according to claim 1 is a magnetic sensor package used for detecting a magnetic material, comprising: a magnetic sensor; and a housing for housing the magnetic sensor, wherein the housing is provided on a detection side of the magnetic material. The magnet has a magnetized wall member as a housing constituent member.

このように、壁部材にマグネットとしての機能を持たせることにより、壁部材に磁気バイアス回路の構成部材としての役割をさせることができる。従って、従来のようにマグネットを磁気センサパッケージに設ける必要がなくなる。よって、部品点数を削減した磁気センサパッケージとすることができる。また、この磁気センサパッケージを製造する際、マグネットを組付けする工程を省略することができるので、製造時間を短縮することができる。   Thus, by giving the wall member a function as a magnet, the wall member can serve as a constituent member of the magnetic bias circuit. Therefore, it is not necessary to provide a magnet in the magnetic sensor package as in the prior art. Therefore, it can be set as the magnetic sensor package which reduced the number of parts. In addition, when manufacturing the magnetic sensor package, the step of assembling the magnet can be omitted, so that the manufacturing time can be shortened.

請求項2に記載の発明は、前記壁部材が、前記ハウジング内を封止する蓋であることを特徴とする。   The invention according to claim 2 is characterized in that the wall member is a lid for sealing the inside of the housing.

蓋(LID)で封止する方法は、接着剤による接着、シーム溶接、ソルダリングなどでよく、封止方法は特に限定しない。   The method of sealing with a lid (LID) may be adhesion with an adhesive, seam welding, soldering, etc., and the sealing method is not particularly limited.

請求項2に記載の発明により、磁気センサパッケージをハウジング内に封止し易い。また、簡易な構成で磁性体の検出面を広くし易い。   According to the second aspect of the present invention, the magnetic sensor package can be easily sealed in the housing. Moreover, it is easy to widen the detection surface of the magnetic material with a simple configuration.

請求項3に記載の発明は、前記磁気センサで計測される磁束量の変化に基づいて磁性体の検出の判断を行うICチップが前記ハウジング内に設けられていることを特徴とする。   The invention described in claim 3 is characterized in that an IC chip for making a judgment of detection of a magnetic material based on a change in the amount of magnetic flux measured by the magnetic sensor is provided in the housing.

これにより、磁性体の検出の判断を行う判断手段を磁気センサパッケージの外部に設ける必要がない。   Thereby, there is no need to provide a judgment means for judging the detection of the magnetic body outside the magnetic sensor package.

請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の磁気センサパッケージの製造方法であって、前記壁部材で前記ハウジング内を封止する際、前記ハウジング内を無酸素状態にして封止することを特徴とする。   The invention according to claim 4 is the method for manufacturing the magnetic sensor package according to claim 1, wherein when the inside of the housing is sealed by the wall member, the inside of the housing is sealed in an oxygen-free state. It is characterized by that.

無酸素状態にするには、不活性ガス雰囲気にしてもよいし、予めゲルなどでハウジング内を満たしておいてもよい。   In order to obtain an oxygen-free state, an inert gas atmosphere may be used, or the inside of the housing may be filled with a gel or the like in advance.

請求項4に記載の発明により、高い信頼性が得られるとともに、応力による出力変化を防ぐことが可能となる。   According to the invention described in claim 4, high reliability can be obtained, and output change due to stress can be prevented.

本発明は上記構成としたので、以下の効果を奏することができる。   Since the present invention has the above configuration, the following effects can be obtained.

請求項1に記載の発明によれば、部品点数を削減した磁気センサパッケージとすることができる。また、マグネットを組付けする工程を省略することができるので、製造時間を短縮することができる。   According to the first aspect of the present invention, a magnetic sensor package with a reduced number of parts can be obtained. Moreover, since the process of assembling the magnet can be omitted, the manufacturing time can be shortened.

請求項2に記載の発明によれば、磁気センサパッケージをハウジング内に封止し易い。また、簡易な構成で磁性体の検出面を広くし易い。   According to invention of Claim 2, it is easy to seal a magnetic sensor package in a housing. Moreover, it is easy to widen the detection surface of the magnetic material with a simple configuration.

請求項3に記載の発明によれば、磁性体の検出の判断を行う判断手段を磁気センサパッケージの外部に設ける必要がない。   According to the third aspect of the present invention, there is no need to provide determination means for determining the detection of the magnetic material outside the magnetic sensor package.

請求項4に記載の発明によれば、高い信頼性が得られるとともに、応力による出力変化を防ぐことが可能となる。   According to the invention described in claim 4, high reliability can be obtained and output change due to stress can be prevented.

以下、実施形態を挙げ、本発明の実施の形態について説明する。なお、第2実施形態以下では、既に説明した構成要素と同様のものには同じ符号を付して、その説明を省略する。   Hereinafter, embodiments will be described and embodiments of the present invention will be described. In the second and subsequent embodiments, the same components as those already described are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

[第1実施形態]
まず、第1実施形態について説明する。図1〜図3に示すように、本実施形態に係る磁気センサパッケージ10は、磁気センサ12を有する磁気センサチップ14と、磁気センサ12で計測される磁束量の変化に基づいて磁性体Jの検出の判断を行うICチップ16と、が実装されたパッケージ基板18をハウジング20内に有する。
[First Embodiment]
First, the first embodiment will be described. As shown in FIGS. 1 to 3, the magnetic sensor package 10 according to the present embodiment includes a magnetic sensor chip 14 having a magnetic sensor 12 and a magnetic material J based on a change in the amount of magnetic flux measured by the magnetic sensor 12. The housing 20 has a package substrate 18 on which an IC chip 16 for determining detection is mounted.

ハウジング20を構成する蓋(LID)22は磁化されてN極とS極とが形成されており、マグネットとしての機能を有している。この蓋22は、ハウジング20を構成する封止部材として磁性体Jの検出側に設けられている。また、蓋22以外のハウジング部分を形成しているハウジング本体24はセラミック部材で構成されている。   A lid (LID) 22 constituting the housing 20 is magnetized to form an N pole and an S pole, and has a function as a magnet. The lid 22 is provided on the detection side of the magnetic body J as a sealing member constituting the housing 20. The housing main body 24 forming the housing portion other than the lid 22 is made of a ceramic member.

この構成により、磁気センサチップ14は磁気バイアスされた状態になっている。なお、この磁気バイアスされた状態とは、蓋22によって磁気センサチップ14に一定磁界が加えられた状態のことをいう。   With this configuration, the magnetic sensor chip 14 is magnetically biased. The magnetically biased state means a state in which a constant magnetic field is applied to the magnetic sensor chip 14 by the lid 22.

この磁気センサパッケージ10の蓋22の近くを磁性体Jが通過すると、蓋22によって形成されている磁場が乱れる。従って、磁気センサ12で計測される磁束量に変化が生じる。ICチップ16は、この磁束量の変化を検知して、磁性体Jが通過したと判断する。   When the magnetic body J passes near the lid 22 of the magnetic sensor package 10, the magnetic field formed by the lid 22 is disturbed. Accordingly, a change occurs in the amount of magnetic flux measured by the magnetic sensor 12. The IC chip 16 detects the change in the amount of magnetic flux and determines that the magnetic body J has passed.

磁性体Jが蓋22に近づいて停止した場合であっても、磁場が変化したままの状態になるので、磁気センサ12で計測される磁束量は変化したままの状態になる。従って、ICチップ16はこれを検知して、磁性体Jが蓋22に近づいた状態が維持されていると判断する。   Even when the magnetic body J approaches the lid 22 and stops, the magnetic field remains in the changed state, so that the amount of magnetic flux measured by the magnetic sensor 12 remains in the changed state. Therefore, the IC chip 16 detects this and determines that the state where the magnetic body J is close to the lid 22 is maintained.

磁気センサパッケージ10を製造するには、まず、パッケージ基板18に磁気センサチップ14及びICチップ16を実装する。   In order to manufacture the magnetic sensor package 10, first, the magnetic sensor chip 14 and the IC chip 16 are mounted on the package substrate 18.

そして、磁気センサチップ14及びICチップ16が実装されたパッケージ基板18と側壁部材26とでハウジング本体24を形成する。更に、ハウジング本体24の周囲を不活性ガス雰囲気にして、蓋22をハウジング本体24に接合する。この接合は、接着剤による接着、シーム溶接、ソルダリング(はんだ付け)などで行う。   The housing body 24 is formed by the package substrate 18 on which the magnetic sensor chip 14 and the IC chip 16 are mounted and the side wall member 26. Further, the lid 22 is joined to the housing body 24 by setting the periphery of the housing body 24 to an inert gas atmosphere. This joining is performed by bonding with an adhesive, seam welding, soldering (soldering), or the like.

なお、不活性ガス雰囲気にすることに代えて、ゲル状の封止剤でハウジング本体24内を封止してもよい。   Note that the inside of the housing main body 24 may be sealed with a gel-like sealant instead of an inert gas atmosphere.

以上説明したように、本実施形態に係る磁気センサパッケージ10は、蓋22にマグネットとしての機能を持たせることにより、蓋22に磁気バイアス回路の構成部材としての役割をさせることができる。従って、従来のようにマグネットを磁気センサパッケージに設ける必要がなくなる。よって、部品点数を削減した磁気センサパッケージ10とすることができる。また、この磁気センサパッケージ10を製造する際、マグネットを組付けする工程を省略することができるので、製造時間を短縮することができる。   As described above, the magnetic sensor package 10 according to this embodiment can cause the lid 22 to function as a component of the magnetic bias circuit by providing the lid 22 with a function as a magnet. Therefore, it is not necessary to provide a magnet in the magnetic sensor package as in the prior art. Therefore, it can be set as the magnetic sensor package 10 which reduced the number of parts. Further, when the magnetic sensor package 10 is manufactured, the process of assembling the magnet can be omitted, so that the manufacturing time can be shortened.

また、この蓋22によってハウジング20内が封止されているので、磁気センサパッケージ10をハウジング20内に封止し易く、しかも、簡易な構成で磁性体Jの検出面を広くし易い。   Further, since the inside of the housing 20 is sealed by the lid 22, the magnetic sensor package 10 can be easily sealed in the housing 20, and the detection surface of the magnetic body J can be easily widened with a simple configuration.

更に、磁気センサ12で計測される磁束量の変化に基づいて磁性体Jの検出の判断を行うICチップ16がハウジング20内に設けられている。これにより、磁性体Jの検出の判断を行う判断手段を磁気センサパッケージ10の外部に設ける必要がない。   Further, an IC chip 16 that determines whether to detect the magnetic body J based on a change in the amount of magnetic flux measured by the magnetic sensor 12 is provided in the housing 20. Thereby, it is not necessary to provide a determination means for determining the detection of the magnetic body J outside the magnetic sensor package 10.

また、磁気センサパッケージ10を製造するとき、蓋22でハウジング20内を封止する際、ハウジング20内を無酸素状態にして封止している。これにより、高い信頼性が得られるとともに、応力による出力変化を防ぐことが可能となる。   Further, when the magnetic sensor package 10 is manufactured, when the inside of the housing 20 is sealed with the lid 22, the inside of the housing 20 is sealed in an oxygen-free state. As a result, high reliability can be obtained and output change due to stress can be prevented.

[第2実施形態]
次に、第2実施形態について説明する。本実施形態に係る磁気センサパッケージは、第1実施形態に比べ、蓋22に代えて、図4に示すような蓋32を有する。この蓋32は、第1実施形態で説明した蓋22よりも強磁性体の部材で構成されているので、蓋22に比べ、厚みを薄くした蓋32とすることができている。蓋32の材質は例えばネオジウムであり、蓋32の厚みは例えば0.3mmである。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment will be described. The magnetic sensor package according to the present embodiment has a lid 32 as shown in FIG. 4 instead of the lid 22 as compared with the first embodiment. Since the lid 32 is made of a ferromagnetic member than the lid 22 described in the first embodiment, the lid 32 can be made thinner than the lid 22. The material of the lid 32 is, for example, neodymium, and the thickness of the lid 32 is, for example, 0.3 mm.

本実施形態により、磁気センサパッケージの更なる薄型化、軽量化を実現できる。   According to this embodiment, the magnetic sensor package can be further reduced in thickness and weight.

以上、実施形態を挙げて本発明の実施の形態を説明したが、これらの実施形態は一例であり、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。また、本発明の権利範囲が上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。   The embodiments of the present invention have been described above with reference to the embodiments. However, these embodiments are merely examples, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say, the scope of rights of the present invention is not limited to the above embodiment.

第1実施形態に係る磁気センサパッケージの側面断面図である(ハウジング本体及びパッケージ基板ではハッチの描画を省略)。It is side surface sectional drawing of the magnetic sensor package which concerns on 1st Embodiment (The drawing of a hatch is abbreviate | omitted in the housing main body and a package board | substrate). 第1実施形態に係る磁気センサパッケージで、蓋を接合する前の状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state before joining a lid | cover with the magnetic sensor package which concerns on 1st Embodiment. 図3(A)及び(B)は、それぞれ、第1実施形態に係る磁気センサパッケージを構成する蓋の平面図及び側面図である。FIGS. 3A and 3B are a plan view and a side view, respectively, of a lid constituting the magnetic sensor package according to the first embodiment. 図4(A)及び(B)は、それぞれ、第2実施形態に係る磁気センサパッケージを構成する蓋の平面図及び側面図である。FIGS. 4A and 4B are a plan view and a side view, respectively, of a lid constituting the magnetic sensor package according to the second embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

10 磁気センサパッケージ
12 磁気センサ
16 ICチップ
20 ハウジング
22 蓋
32 蓋
10 Magnetic Sensor Package 12 Magnetic Sensor 16 IC Chip 20 Housing 22 Lid 32 Lid

Claims (4)

磁性体を検出するのに用いる磁気センサパッケージであって、
磁気センサと、
前記磁気センサを収容するハウジングと、
を備え、
前記ハウジングは、磁性体の検出側に、磁化された壁部材をハウジング構成部材として有することを特徴とする磁気センサパッケージ。
A magnetic sensor package used for detecting a magnetic material,
A magnetic sensor;
A housing for housing the magnetic sensor;
With
The housing has a magnetized wall member as a housing component on the detection side of the magnetic material.
前記壁部材が、前記ハウジング内を封止する蓋であることを特徴とする請求項1に記載の磁気センサパッケージ。   The magnetic sensor package according to claim 1, wherein the wall member is a lid for sealing the inside of the housing. 前記磁気センサで計測される磁束量の変化に基づいて磁性体の検出の判断を行うICチップが前記ハウジング内に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気センサパッケージ。   3. The magnetic sensor package according to claim 1, wherein an IC chip that determines whether to detect a magnetic material based on a change in the amount of magnetic flux measured by the magnetic sensor is provided in the housing. 4. 請求項1に記載の磁気センサパッケージの製造方法であって、
前記壁部材で前記ハウジング内を封止する際、前記ハウジング内を無酸素状態にして封止することを特徴とする磁気センサパッケージの製造方法。
It is a manufacturing method of the magnetic sensor package according to claim 1,
A method of manufacturing a magnetic sensor package, wherein when sealing the inside of the housing with the wall member, the inside of the housing is sealed in an oxygen-free state.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022160054A (en) * 2021-04-06 2022-10-19 三菱電機株式会社 Rotation angle detector

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