JP5086733B2 - Magnetic detection probe and method of manufacturing magnetic detection probe - Google Patents
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Description
本発明は、磁気の検出や測定を行う磁気測定装置に用いられる磁気検出プローブ、磁気検出プローブの製造方法に関するものである。 The present invention relates to a magnetic detection probe used in a magnetic measurement device that detects and measures magnetism, and a method of manufacturing the magnetic detection probe.
磁気の測定には、例えば、ホール素子等の磁気検出素子を備えた磁気検出プローブが使用されている(例えば、特許文献1)。実際の測定は、この磁気検出プローブを磁気測定装置に接続し、磁気検出プローブの先端付近に配置されたホール素子等の磁気検出素子を測定対象物である磁石等に近接して配置した状態で行う。したがって、磁気検出プローブの先端がさらに小型化されれば、より狭い位置において磁気測定が可能となる。また、曲面の内周側で測定を行う場合には、磁気検出プローブの先端がさらに小型化されれば、測定対象物により接近させて測定を行うことができ、測定精度を高めることができる。このような理由から、磁気検出プローブの小型化が要求されている。
しかし、特許文献1に記載のホールプローブ(磁気検出プローブ)の構造では、小型化をさらに進めることが困難であった。例えば、特許文献1に記載のホールプローブのうち、基板に孔を開けてその中にホール素子を配置する構成では、孔が開口している部分の基板の強度を確保するために基板の幅を狭くすることができなかった。また、特許文献1に記載のホールプローブは、いずれも基板とホール素子との電気的接続をワイヤボンディングによって行っているので、この接続部分が厚くなっていた。
However, with the structure of the Hall probe (magnetic detection probe) described in
本発明の課題は、磁気検出素子が設けられている部分が小型の磁気検出プローブ、磁気検出プローブの製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a magnetic detection probe having a small magnetic detection element and a method for manufacturing the magnetic detection probe.
前記課題を解決するために、請求項1の発明は、配線パターンの一部が露出したランド部を有する基板と、前記基板のランド部に対向して電気的に直接接続して表面実装された磁気検出素子と、前記磁気検出素子の周囲を覆い、その磁気検出素子の検出面側の表面を覆わないように形成された素子保護部と、前記基板の前記磁気検出素子が表面実装されている側の面であって、かつ、前記磁気検出素子が表面実装されていない部分に接合され、前記基板の強度を補強する補強部と、を備え、前記補強部が設けられている部分の総厚は、前記磁気検出素子が設けられている部分の総厚と略等しく、前記磁気検出素子の検出面側の表面から突出するものがないこと、を特徴とする磁気検出プローブを提供する。
In order to solve the above-mentioned problem, the invention of
請求項2の発明は、基板上の配線パターンの一部が露出したランド部に対向して電気的に直接接続して表面実装する第1ステップと、前記磁気検出素子の周囲を覆い、その磁気検出素子の検出面側の表面を覆わないように素子保護部を形成する第2ステップと、前記基板の前記磁気検出素子が表面実装されている側の面であって、かつ、前記磁気検出素子が表面実装されていない部分、又は、表面実装される予定の側の面であって、かつ、前記磁気検出素子が表面実装されない予定の部分に対して、前記基板の強度を補強する補強部を接合する第3ステップと、を備え、前記第3ステップは、前記補強部が設けられている部分の総厚が、前記磁気検出素子が設けられている部分の総厚と略等しく、前記磁気検出素子の検出面側の表面から突出するものがないこと、を特徴とする磁気検出プローブの製造方法を提供する。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a first step in which a surface is mounted by being directly directly connected to a land portion where a part of a wiring pattern on a substrate is exposed, and the magnetic detection element is covered with a first step. A second step of forming an element protection portion so as not to cover the detection surface side surface of the detection element; a surface of the substrate on which the magnetic detection element is surface-mounted; and the magnetic detection element A reinforcing portion that reinforces the strength of the substrate with respect to a portion that is not surface-mounted or a surface that is to be surface-mounted and that is not to be surface-mounted. A third step of joining, wherein the total thickness of the portion where the reinforcing portion is provided is substantially equal to the total thickness of the portion where the magnetic detection element is provided, and the magnetic detection Projecting from the detection surface side of the element The absence shall, to provide a method of manufacturing a magnetic detection probe according to claim.
本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
(1)基板に表面実装された磁気検出素子を備える磁気検出プローブであるので、ワイヤボンディング時のワイヤ、及び、基板上におけるワイヤ接続用のランドが不要となり、磁気検出素子が設けられている部分の厚さ及び幅を小さくできる。
また、ワイヤボンディングを用いる場合には、ワイヤが磁気検出素子の検出面側に突出することとなるので、そのワイヤの突出寸法分は、磁気検出素子の検出面が被測定物に接近することができなかった。しかし、本発明では、ワイヤを用いないので、磁気検出素子の検出面をより磁気検出プローブの表面付近に配置できる。よって、測定時に、磁気検出素子の検出面を被測定物に接近させることができる。
According to the present invention, the following effects can be obtained.
(1) Since the magnetic detection probe includes a magnetic detection element mounted on the surface of a substrate, a wire for wire bonding and a land for wire connection on the substrate are not required, and the magnetic detection element is provided. The thickness and width can be reduced.
Further, when wire bonding is used, the wire protrudes toward the detection surface side of the magnetic detection element. Therefore, the protrusion size of the wire is such that the detection surface of the magnetic detection element approaches the object to be measured. could not. However, in the present invention, since no wire is used, the detection surface of the magnetic detection element can be arranged closer to the surface of the magnetic detection probe. Therefore, at the time of measurement, the detection surface of the magnetic detection element can be brought close to the object to be measured.
(2)磁気検出素子の少なくとも一部を覆うように形成された素子保護部を有するので、磁気検出素子の脱落等を防止でき、信頼性の高い磁気検出プローブとすることができる。 (2) Since the element protection portion is formed so as to cover at least a part of the magnetic detection element, the magnetic detection element can be prevented from falling off, and a highly reliable magnetic detection probe can be obtained.
(3)基板の磁気検出素子が表面実装されている側の面であって、かつ、磁気検出素子が表面実装されていない部分に接合され基板の強度を補強する補強部を有するので、補強部により全体の剛性を確保することができる。したがって、磁気検出素子を表面実装する部分に薄い基板を用いることができ、例えばフレキシブルプリント配線板を用いることも可能となり、小型の磁気検出プローブとすることができる。
(4)補強部が設けられている部分の総厚は、磁気検出素子が設けられている部分の総厚と略等しいので、補強部が設けられている部分の総厚が厚くならず、磁気検出プローブ全体の厚さを薄くできる。
(3) Since there is a reinforcing portion that is bonded to a portion of the substrate on which the magnetic detection element is surface-mounted and is not surface-mounted and reinforces the strength of the substrate, the reinforcing portion Thus, the overall rigidity can be ensured. Therefore, a thin substrate can be used for the surface mounting portion of the magnetic detection element. For example, a flexible printed wiring board can be used, and a small magnetic detection probe can be obtained.
(4) Since the total thickness of the portion provided with the reinforcing portion is substantially equal to the total thickness of the portion provided with the magnetic detection element, the total thickness of the portion provided with the reinforcing portion is not increased. The entire thickness of the detection probe can be reduced.
(5)基板上に磁気検出素子を表面実装するステップと、表面実装された磁気検出素子の少なくとも一部を覆うように素子保護部を形成するステップとを備える磁気検出プローブの製造方法によれば、ワイヤボンディング時のワイヤ、及び、基板上におけるワイヤ接続用のランドが不要となるとともに、磁気検出素子の脱落等を防止でき、小型であって信頼性の高い磁気検出プローブを製造できる。 (5) According to a method of manufacturing a magnetic detection probe comprising the steps of surface mounting a magnetic detection element on a substrate and forming an element protection portion so as to cover at least a part of the surface mounted magnetic detection element. In addition, a wire for wire bonding and a land for wire connection on the substrate are not required, and the magnetic detection element can be prevented from falling off, and a small and highly reliable magnetic detection probe can be manufactured.
(6)基板の磁気検出素子が表面実装されている側の面であって、かつ、磁気検出素子が表面実装されていない部分、又は、表面実装される予定の側の面であって、かつ、磁気検出素子が表面実装されない予定の部分に対して、前記基板の強度を補強する補強部を接合するステップを有する磁気検出プローブの製造方法によれば、補強部により全体の剛性を確保した磁気検出プローブを製造できる。したがって、磁気検出素子を表面実装する部分に薄い基板を用いることができ、小型の磁気検出プローブを製造できる。 (6) The surface of the substrate on which the magnetic detection element is surface-mounted, and the portion on which the magnetic detection element is not surface-mounted, or the surface to be surface-mounted, and According to the method of manufacturing a magnetic detection probe having the step of joining a reinforcing portion that reinforces the strength of the substrate to a portion on which the magnetic detection element is not to be surface-mounted, a magnetic device that secures overall rigidity by the reinforcing portion. A detection probe can be manufactured. Therefore, a thin substrate can be used for the portion where the magnetic detection element is surface-mounted, and a small magnetic detection probe can be manufactured.
磁気検出素子が設けられている部分が小型の磁気検出プローブ、磁気検出プローブの製造方法を提供するという目的を、磁気検出素子と基板との接続形態を改良することにより、構造を複雑にすることなく実現した。 The purpose of providing a magnetic detection probe having a small magnetic detection element and a method for manufacturing the magnetic detection probe is to make the structure complicated by improving the connection form of the magnetic detection element and the substrate. Realized without.
(実施形態)
図1は、磁気検出プローブの実施形態を示す図である。
図2は、磁気検出プローブの先端付近を拡大して示した図である。図2(a)は、検出面側から見た図であり、図2(b)は、図2(a)中に示した矢印A1−A2で切断した断面図である。以下、図2(b)の上方を検出面側と呼び、図2(b)の下方を裏面側と呼ぶ。
なお、図1を含め、以下に示す各図は、模式的に示した図であり、各部の大きさ、形状は、理解を容易にするために、適宜誇張して示している。
また、以下の説明では、具体的な数値、形状、材料等を示して説明を行うが、これらは、適宜変更することができる。
本実施形態の磁気検出プローブ1は、基板2と、磁気検出素子3と、素子保護部4と、補強部5と、半田部6と、リード線7と、被覆部8とを備えている。
(Embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a magnetic detection probe.
FIG. 2 is an enlarged view showing the vicinity of the tip of the magnetic detection probe. 2A is a view seen from the detection surface side, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along arrows A1-A2 shown in FIG. 2A. Hereinafter, the upper side of FIG. 2B is referred to as the detection surface side, and the lower side of FIG. 2B is referred to as the back surface side.
In addition, each figure shown below including FIG. 1 is the figure shown typically, and the magnitude | size and shape of each part are exaggerated suitably for easy understanding.
In the following description, specific numerical values, shapes, materials, and the like are shown and described, but these can be changed as appropriate.
The
基板2は、検出面側から見た形状が長方形形状のフレキシブルプリント配線板であり、検出面側の表面2aに配線パターンが形成され、カバーレイが形成されず配線パターンの一部が露出したランド部2c,2dが形成されている(図3参照)。基板2には、基板2の先端側(磁気検出素子3が設けられている側)のランド部2c(図3(a)参照)と、他端側(以下、後端側)のランド部2dが形成されている。本実施形態では、裏面2bには、配線パターンは形成されていない。
本実施形態の基板2は、厚さt1=0.1mm、幅B=0.6mmである。
The
The
磁気検出素子3は、磁気量を電気量に変換する磁電変換素子であり、本実施形態では、ガリウム砒素タイプのホール素子を用いている。磁気検出素子3は、検出面側からみた形状が、一辺の幅C=0.3mmの略正方形であり、その厚さt2=0.1mmである。磁気検出素子3は、基板2の先端付近において、その表面2aに表面実装されている。基板2と磁気検出素子3との間には半田部6が形成されており、基板2のランド部2c(図3(a)参照)と磁気検出素子3の電極(不図示)とを接続している。半田部6の厚さt3=0.1mmである。したがって、磁気検出素子3が実装されている部分全体の厚さは、略0.3mmである。
The
素子保護部4は、磁気検出素子3の周囲を覆うように形成された樹脂製の部分である。ここで、覆うとは、磁気検出素子3の外観部分のいずれかの部分に接触するように素子保護部4が形成されている状態を指しており、全体を覆い尽くす形態を指すものではない。本実施形態では、素子保護部4は、磁気検出素子3の検出面側の表面を覆わないように設けられており、素子保護部4の検出面側の表面は、磁気検出素子3の検出面側の表面と略同一面となっている。素子保護部4は、例えば、エポキシ樹脂等を塗布して硬化することにより形成される。素子保護部4を設けることにより、基板2に対して表面実装された磁気検出素子3が基板2から脱落することを防止し、磁気検出プローブ1の信頼性を向上している。
The
補強部5は、基板2の磁気検出素子3が実装されている側の面である表面2a上であって、磁気検出素子3及び素子保護部4が形成されていない部分に接合されている。補強部5は、基板2の後端側に形成されたランド部2dを覆わないように設けられている。本実施形態では、補強部5は、幅0.6mm、厚さ0.15mmの非磁性体の板材を厚さ0.05mmの両面テープ(不図示)を用いて接合している。したがって、補強部5を設けた部分の厚さは、磁気検出素子3を設けた部分の厚さと略等しくなっている。補強部5を設けることにより、基板2のみとするよりも磁気検出プローブ1の剛性が高くなり、測定時に磁気検出素子3の位置が不定とならず、安定した測定を行える。
The reinforcing
リード線7は、基板2の後端側に形成されたランド部2dに一端が半田付けされ、他端が不図示のコネクタに接続されている。本実施形態では、リード線7は、4本設けられている。
被覆部8は、熱収縮チューブを熱収縮させることにより形成された被覆であり、本実施形態では、電子線架橋軟質ポリオレフィン樹脂製のチューブを使用している。被覆部8は、基板2の後端付近であって、補強部5を覆う位置から、リード線7が不図示のコネクタに接続される位置までを被覆している。
One end of the lead wire 7 is soldered to a
The
次に、本実施形態の磁気検出プローブ1の製造方法について説明する。
図3は、磁気検出プローブの製造方法を示す図である。図3は、磁気検出プローブの先端側を拡大して示している。
まず、基板2を作製する(図3(a))。基板2の表面2a側の先端側には、4つのランド部2cを形成する。このランド部2cは、磁気検出素子3の不図示の電極に対応した位置に設けられている。なお、4つのランド部2cからは、カバーレイに覆われた配線部2eが後端側に向かって形成され、後端の4つのランド部2dと接続されている。
Next, the manufacturing method of the
FIG. 3 is a diagram showing a method for manufacturing a magnetic detection probe. FIG. 3 shows an enlarged view of the distal end side of the magnetic detection probe.
First, the
次に、基板2の表面2a上に、磁気検出素子3を半田付け(本実施形態では、リフロー半田付け)により表面実装する。以下、この工程について説明する。
基板2を用意したら、ランド部2cに半田ペースト(後に半田部6となる)を印刷塗布する(図3(b))。
ランド部2cに印刷塗布された半田ペーストと磁気検出素子3の不図示の電極とが対応する位置となるようにして、磁気検出素子3を半田ペーストを挟んで基板2の表面2aに載せる。その後、半田ペーストの溶融温度に達するまで基板2を加熱し、半田ペーストを溶かして、ランド部2cと磁気検出素子3の不図示の電極とを半田付けする(図3(c))。
Next, the
When the
The
基板2の表面2a上に対して磁気検出素子3の表面実装がされた後、補強部5を基板2の表面2a上へ接合する(図3(d))。この補強部5の基板2の表面2a上への接合は、両面テープにより行ったが、接着剤を用いてもよい。
補強部5を基板2に接合した後、磁気検出素子3の周囲にエポキシ樹脂を塗布して硬化させ、素子保護部4を形成する(図3(e))。
その後、ランド部2dにリード線7を半田付けするとともに、リード線を不図示のコネクタに接続する。さらに、熱収縮チューブを必要な範囲に被せて加熱し、被覆部8(図1参照)を形成することで、磁気検出プローブ1の製造を完了する。
After the
After joining the reinforcing
Thereafter, the lead wire 7 is soldered to the
本実施形態の磁気検出プローブ1は、上述した構成及び製造方法により、先端の小型化を実現した。この効果を説明するために、比較実験を行った。
本実施形態の磁気検出プローブ1は、上述したように、幅0.6mmであり、厚さ0.3mmである。これと比較するために、磁気検出素子と基板とがワイヤボンディングにより接続された従来の形態の磁気検出プローブを用意した。この比較例の磁気検出プローブは、幅1.5mmであり、厚さ1.2mmである。
本実施形態の磁気検出プローブ1と比較例の磁気検出プローブとを用いて、円環状の磁石の内周において、磁束密度を測定した。測定対象の磁石は、内径が10mmの8極着磁された磁石である。各磁気検出プローブは、マグネットアナライザ MAD−300(株式会社ディー・エム・ティー製)に接続し、各磁気検出プローブ先端の検出面側を磁石の内径に接触する直前まで接近させて配置し、磁石を回転させながら測定を行った。
The
As described above, the
Using the
図4は、比較実験結果を示すグラフである。
実線で示した測定結果L1は、本実施形態の磁気検出プローブ1を用いたときの測定結果を示し、破線で示した測定結果L2は、比較例の磁気検出プローブを用いたときの測定結果を示している。
比較例の場合に対して、本実施形態の場合には、より高い磁束密度の値が得られており、また、波形の変化がより細かくなっている。これは、以下の2つの理由により得られる効果である。
(理由1)
本実施形態の磁気検出プローブ1は、比較例のものよりも幅が狭いことから、磁石の内壁に対してより接近でき、磁気変化をより高い精度で検出できる。
(理由2)
本実施形態の磁気検出プローブ1は、磁気検出素子3が面実装されていることから、ワイヤボンディングにより磁気検出素子が実装された比較例のものよりも磁気検出素子3の検出面が磁気検出プローブ1の表面付近に位置するようになっている。よって、磁気検出素子3の検出面が磁石の内壁に対してより接近でき、磁気変化をより高い精度で検出できる。
FIG. 4 is a graph showing the results of comparative experiments.
The measurement result L1 indicated by the solid line indicates the measurement result when the
In contrast to the case of the comparative example, in the case of the present embodiment, a higher magnetic flux density value is obtained, and the waveform change is finer. This is an effect obtained for the following two reasons.
(Reason 1)
Since the
(Reason 2)
In the
また、本実施形態の磁気検出プローブ1は、比較例のものよりも厚さが薄くなっているので、より薄い部分や、閉磁路が形成されたより薄い空間に挿入することができる。
図5は、本実施形態の磁気検出プローブの使用例を示した図である。
図5に示す例では、磁気検出プローブ1は、閉磁路が形成されたコア100とマグネット200との間に挿入され、狭い閉磁路の磁束を測定している状態である。
以上のように、本実施形態の磁気検出プローブ1を用いることにより、以下のような測定が簡単かつ精度よく行える。
(1)今まで測定出来なかった狭いギャップの磁束測定。
(2)マグネットのコア間等の非常に狭い隙間における閉磁路磁束測定。
(3)測定ギャップが出来やすい小径マグネットの内周磁束測定
Further, since the
FIG. 5 is a diagram showing a usage example of the magnetic detection probe of the present embodiment.
In the example shown in FIG. 5, the
As described above, by using the
(1) Magnetic flux measurement in a narrow gap that could not be measured until now.
(2) Closed magnetic path magnetic flux measurement in very narrow gaps such as between magnet cores.
(3) Inner magnetic flux measurement of small-diameter magnets where measurement gaps are easy to create
本実施形態によれば、磁気検出素子3を基板2に表面実装したので、ワイヤボンディングの配線部分の厚さ方向へ突出する部分が無くなる。よって、本実施形態の磁気検出プローブ1は、ワイヤボンディングにより接続する場合と比べて、厚さを薄くできる。
また、ワイヤを用いないので、磁気検出素子の検出面をより磁気検出プローブの表面付近に配置でき、測定時に、磁気検出素子の検出面を被測定物により接近させることができる。
さらに、磁気検出素子3を基板2に表面実装したので、基板2上の磁気検出素子3の周囲にワイヤボンディング用のランドを設ける必要が無くなる。よって、基板2の幅を狭くすることができ、その結果として、磁気検出プローブ1は、ワイヤボンディングにより接続する場合と比べて、幅を狭くできる。
According to this embodiment, since the
Further, since no wire is used, the detection surface of the magnetic detection element can be arranged closer to the surface of the magnetic detection probe, and the detection surface of the magnetic detection element can be brought closer to the object to be measured during measurement.
Further, since the
(変形形態)
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の範囲内である。
(1)本実施形態において、磁気検出素子3の周囲に素子保護部4を設けた例を示したが、これに限らず、素子保護部を設けないようにして、さらに磁気検出プローブの先端の幅を狭くしてもよい。
(Deformation)
The present invention is not limited to the embodiment described above, and various modifications and changes are possible, and these are also within the scope of the present invention.
(1) In this embodiment, the example in which the
(2)本実施形態において、補強部5を設けた例を示したが、これに限らず、補強部5を設けなくてもよい。
(3)本実施形態において、磁気検出プローブ1の製造方法として、磁気検出素子3の表面実装を行い、その後、補強部5の接合、素子保護部4の形成をこの順番に行う例を示したが、これに限らず、例えば、素子保護部4を形成した後に補強部5を接合してもよい。
(2) In this embodiment, although the example which provided the
(3) In the present embodiment, as an example of the method of manufacturing the
(4)本実施形態において、磁気検出素子3は、ホール素子である例を示したが、これに限らず、例えば、MI(Magneto Impedance)センサ、磁気共鳴型磁界検出素子、MR(Magneto-Resistance)素子等、磁気を感知する他のものを用いてもよい。
(4) In the present embodiment, the
(5)本実施形態において、磁気検出素子3は、周囲に素子保護部4が設けられ、磁気検出素子3の表面は露出している例を示したが、これに限らず、例えば、素子保護部4により表面を覆ってもよいし、別途用意した保護テープ等により表面を覆ってもよい。
なお、本実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した本実施形態によって限定されることはない。
(5) In the present embodiment, the
In addition, although this embodiment and modification can also be used in combination as appropriate, detailed description is abbreviate | omitted. Further, the present invention is not limited to the present embodiment described above.
1 磁気検出プローブ
2 基板
3 磁気検出素子
4 素子保護部
5 補強部
6 半田部
7 リード線
8 被覆部
DESCRIPTION OF
Claims (2)
前記基板のランド部に対向して電気的に直接接続して表面実装された磁気検出素子と、
前記磁気検出素子の周囲を覆い、その磁気検出素子の検出面側の表面を覆わないように形成された素子保護部と、
前記基板の前記磁気検出素子が表面実装されている側の面であって、かつ、前記磁気検出素子が表面実装されていない部分に接合され、前記基板の強度を補強する補強部と、を備え、
前記補強部が設けられている部分の総厚は、前記磁気検出素子が設けられている部分の総厚と略等しく、前記磁気検出素子の検出面側の表面から突出するものがないこと、
を特徴とする磁気検出プローブ。 A substrate having a land portion where a part of the wiring pattern is exposed ;
A magnetic sensing element that is surface-mounted in direct electrical connection opposite the land portion of the substrate ;
An element protection part that covers the periphery of the magnetic detection element and is formed so as not to cover the surface on the detection surface side of the magnetic detection element;
A reinforcing portion that is bonded to a portion of the substrate on which the magnetic detection element is surface-mounted and is not surface-mounted and reinforces the strength of the substrate. ,
The total thickness of the portion where the reinforcing portion is provided is substantially equal to the total thickness of the portion where the magnetic detection element is provided, and there is no one protruding from the surface on the detection surface side of the magnetic detection element,
Magnetic detection probe characterized by.
前記磁気検出素子の周囲を覆い、その磁気検出素子の検出面側の表面を覆わないように素子保護部を形成する第2ステップと、
前記基板の前記磁気検出素子が表面実装されている側の面であって、かつ、前記磁気検出素子が表面実装されていない部分、又は、表面実装される予定の側の面であって、かつ、前記磁気検出素子が表面実装されない予定の部分に対して、前記基板の強度を補強する補強部を接合する第3ステップと、を備え、
前記第3ステップは、前記補強部が設けられている部分の総厚が、前記磁気検出素子が設けられている部分の総厚と略等しく、前記磁気検出素子の検出面側の表面から突出するものがないこと、
を特徴とする磁気検出プローブの製造方法。 A first step of surface mounting by electrically connecting directly to a land portion where a part of the wiring pattern on the substrate is exposed ;
A second step of covering the periphery of the magnetic detection element and forming an element protection portion so as not to cover the surface on the detection surface side of the magnetic detection element ;
The surface of the substrate on which the magnetic detection element is surface-mounted, and the portion on which the magnetic detection element is not surface-mounted, or the surface to be surface-mounted, and A third step of joining a reinforcing portion for reinforcing the strength of the substrate to a portion where the magnetic detection element is not to be surface-mounted,
In the third step, the total thickness of the portion provided with the reinforcing portion is substantially equal to the total thickness of the portion provided with the magnetic detection element, and protrudes from the surface on the detection surface side of the magnetic detection element. That there is nothing,
A method of manufacturing a magnetic detection probe characterized by
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