JP2007057243A - 半導体梁を有する構造体およびその製造方法並びにその構造体を用いたトランスデューサ - Google Patents
半導体梁を有する構造体およびその製造方法並びにその構造体を用いたトランスデューサ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 単結晶シリコンの基板と、
この基板に設けられた単結晶シリコンの梁と、
この基板に重ねられ、梁を囲んで空洞部を形成するシェルと、
梁とシェルとの間に設けられ、梁とシェルを電気的に絶縁し、梁の中間部に相当する位置に開口部を有する酸化膜と、
を備え、
基板と梁は、PN接合を形成することを特徴とする半導体梁を有する構造体。
【選択図】 図1
Description
図4において、41は半導体単結晶基板であり、42は半導体基板41に設けられ、測定圧Pmを受圧する測定ダイアフラムである。43は測定ダイアフラム42内に埋め込んで設けられた歪み検出センサで、梁(振動子)が使用されている。
図5(a)において、51は単結晶シリコン基板、56はシリコン酸化膜、52はポリシリコン層,52aは梁、57はCVD(Chemical Vapor Deposition)などによる酸化膜、53はポリシリコン層(シェル)である。
(S1)単結晶シリコン基板51上にシリコン酸化膜56を生成する。
(S2)シリコン酸化膜56上にポリシリコン層52を生成する。
(S3)ポリシリコン層52に梁形状にパターニングを行い、梁52aを残して他のポリシリコン層をアルカリ溶液であるヒドラジン,KOHなどによりエッチングで取り除く。パターニングは、高濃度の不純物(例えばボロン)をドープすることにより行い、エッチングに耐性を持たせる。
(S4)シリコン酸化膜56および梁52aの上に酸化膜57を生成する。
(S5)酸化膜57上にポリシリコン層53を生成する。
(S6)ポリシリコン層53の一部を除去して酸化膜57に達する穴を形成し、その穴から酸性溶液であるフッ化水素水溶液を入れて、梁52a周囲のシリコン酸化膜56や酸化膜57を除去する。
図6において、61は単結晶シリコン基板、62はポリシリコン層、62aは梁、63はポリシリコン層(シェル)である。
この基板に設けられた単結晶シリコンの梁と、
この基板に重ねられ、梁を囲んで空洞部を形成するシェルと、
梁とシェルとの間に設けられ、梁とシェルを電気的に絶縁し、梁の中間部に相当する位置に開口部を有する酸化膜と、
を備え、
基板と梁は、PN接合を形成することを特徴とする半導体梁を有する構造体。
前記基板の上に梁の長さを決める位置に開口部を有する絶縁膜を形成する工程と、
前記開口部に酸化膜を形成し、絶縁膜および酸化膜の上にシェルとなるポリシリコン層を形成する工程と、
前記シェルの一部から、梁上部の中空部となる酸化膜を露出させ、酸性溶液でエッチングして、梁上部の中空部を形成する工程と、
この中空部を通して、アルカリ溶液で梁の横や下側のシリコンをエッチングして中空部を形成する工程と、
から構成されることを特徴とする半導体梁を有する構造体の製造方法。
前記梁に磁界を印加する磁界発生手段と、
前記梁の固有振動数で自励発振を起こし、前記梁に加えられた歪みを共振周波数の変化として検出する検出回路と、
から構成されるトランスデューサ。
図1は、本発明の半導体梁を有する構造体に係る一実施例を示す構成図である。
図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)のA−A’における断面図、図1(c)は図1(a)のB−B’における断面図である。
図1の半導体梁を有する構造体は、例えば以下のような概略工程で製造する。
この時、マスクにより、絶縁膜4に方形の開口部7を、図1(a)のXY平面において45°回転させた方向に設ける。つまり、N型シリコン基板1の面方位が<100>(またはそれと等価な結晶格子面)の場合、絶縁膜4の開口部7のエッジを面方位<110>(またはそれと等価な結晶格子面)方向の直線にする(図1(a))。
この時、梁2となる部分は、高濃度P型不純物(ボロン)を導入しているため、アルカリ溶液に耐性をもつ。また、中空部6の側壁は面方向<111>となる。
シェル3となるポリシリコンはP型でもN型でも良いが、高濃度P型不純物(ボロン)を導入するか、ブラスの電圧を印加(陽極酸化)してアルカリ溶液に対する耐性を確保する。
図3において、31は、梁(振動子)2の略中央上部に梁2に直行して非接触の状態で設けられた磁石である。32a,32bは、梁2を延長したリード部にAlなどの金属を蒸着してパターニングした電極である。
2 梁(振動子)
3 シェル
4 絶縁膜
5、6 中空部
7 開口部
8 絶縁膜
31 磁石
32a,32b 電極
33 増幅器
34 トランス
Claims (5)
- 単結晶シリコンの基板と、
この基板に設けられた単結晶シリコンの梁と、
この基板に重ねられ、梁を囲んで空洞部を形成するシェルと、
梁とシェルとの間に設けられ、梁とシェルを電気的に絶縁し、梁の中間部に相当する位置に開口部を有する酸化膜と、
を備え、
基板と梁は、PN接合を形成することを特徴とする半導体梁を有する構造体。 - 前記梁の設けられる基板面は<100>面またはそれと等価な結晶格子面であって、前記酸化膜の開口部のエッジは<110>面またはそれと等価な結晶格子面方向の直線であることを特徴とする請求項1に記載の半導体梁を有する構造体。
- N型シリコンの基板表面の梁に相当する部分にP型の不純物を導入する工程と、
前記基板の上に梁の長さを決める位置に開口部を有する絶縁膜を形成する工程と、
前記開口部に酸化膜を形成し、絶縁膜および酸化膜の上にシェルとなるポリシリコン層を形成する工程と、
前記シェルの一部から、梁上部の中空部となる酸化膜を露出させ、酸性溶液でエッチングして、梁上部の中空部を形成する工程と、
この中空部を通して、アルカリ溶液で梁の横や下側のシリコンをエッチングして中空部を形成する工程と、
から構成されることを特徴とする半導体梁を有する構造体の製造方法。 - 前記梁の設けられる基板面は<100>面またはそれと等価な結晶格子面であって、前記酸化膜の開口部のエッジは<110>面またはそれと等価な結晶格子面方向の直線であることを特徴とする請求項3に記載の半導体梁を有する構造体の製造方法。
- 請求項1または請求項2に記載の半導体梁を有する構造体と、
前記梁に磁界を印加する磁界発生手段と、
前記梁の固有振動数で自励発振を起こし、前記梁に加えられた歪みを共振周波数の変化として検出する検出回路と、
から構成されるトランスデューサ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101273303B1 (ko) * | 2011-11-23 | 2013-06-11 | 국민대학교산학협력단 | 열 효과를 이용한 마이크로 역학 진동자 기반의 압력센서 및 이를 이용한 압력 측정 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6263828A (ja) * | 1985-09-06 | 1987-03-20 | Yokogawa Electric Corp | 振動式トランスジューサ |
JPH01299428A (ja) * | 1988-05-27 | 1989-12-04 | Yokogawa Electric Corp | 振動式トランスデューサとその製造方法 |
-
2005
- 2005-08-22 JP JP2005239611A patent/JP5007912B2/ja not_active Expired - Fee Related
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