JP2007051942A - 質量流量計 - Google Patents
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Abstract
【課題】 従来の質量流量計は、内外からの振動が測定チューブに加わると、測定量が影響を受けやすく、質量流量のゼロ点が安定しないという問題があるので、この課題を解決する。
【解決手段】 支持部に一対の直管チューブが固定されこれらにほぼ直角方向に曲げられた曲管状チューブで結んで形成され測定流体が内部を流れる測定チューブと、先の支持部を中心として先の測定チューブを先の測定流体の走行面に対してほぼ直交方向に振動させる励振手段と、先の測定チューブを流れる先の測定流体と先の振動により発生するコリオリ信号を検出するコリオリセンサを具備し、先のコリオリ信号により先の測定流体の流量を測定する質量流量計であって、先の直管チューブの近傍にノイズセンサが固定され、先のノイズセンサで検出されたノイズ信号により先のコリオリ信号に含まれるノイズを補正するようにしたものである。
【選択図】 図1
【解決手段】 支持部に一対の直管チューブが固定されこれらにほぼ直角方向に曲げられた曲管状チューブで結んで形成され測定流体が内部を流れる測定チューブと、先の支持部を中心として先の測定チューブを先の測定流体の走行面に対してほぼ直交方向に振動させる励振手段と、先の測定チューブを流れる先の測定流体と先の振動により発生するコリオリ信号を検出するコリオリセンサを具備し、先のコリオリ信号により先の測定流体の流量を測定する質量流量計であって、先の直管チューブの近傍にノイズセンサが固定され、先のノイズセンサで検出されたノイズ信号により先のコリオリ信号に含まれるノイズを補正するようにしたものである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、支持部に固定された測定チューブをこの支持部を中心として直交方向に振動させ、測定チューブを流れる測定流体と振動により発生するコリオリ信号により測定流体の流量を測定する質量流量計に係り、特にノイズの影響を除去できるように改良した質量流量計に関する。
図3に従来の質量流量計の構成を示す。図3において、支持部10,11には、直管チューブ12,13が固定され、支持部10,11にほぼ直角方向にU字状に曲げられた曲管状チューブ14が滑らかに結合されて測定流体が矢印方向fに流れる測定チューブ15が形成されている。そして、測定流体が流れる測定チューブ15で構成される面が測定流体の走行面となる。
曲管状チューブ14は、支持部10,11を連結する筐体16の一部が開口部17、18で開口されて,開口部17、18を貫通して外部に突き出されており、直管チューブ12,13の内側の端部は、内枠19で互いに連結固定されている。
支持部10と11を結ぶ軸線X−X‘の中央部で直交する軸線Y−Y’上にある測定チューブ15には励振子20が固定され、軸線Y−Y’に対して左右対称の測定チューブ15上の位置に励振子20から所定距離を置いてコリオリセンサ21,22が固定されている。
以上の構成において、軸線X−X‘のまわりの固有振動数に共振するように、励振子20は軸線X−X‘の回りに、測定チューブ15を電磁的に揺動的に駆動している。
測定流体が流れていない場合には、軸線Y−Y’に対して測定流体の流入側(軸線Y−Y’に対して左側)と流出側(軸線Y−Y’に対して右側)の測定チューブ15は軸線X−X‘を中心として純粋なビームの形態、即ち捩れなしで曲がる。
しかし、矢印方向fに測定流体の流れが始まると、軸線X−X‘から半径方向に動く流入側の流体は、流れの方向に垂直で軸線X−X‘に垂直な第1のコリオリ力を受ける
一方、流出側の測定流体は、やはり流れの半径方向に垂直な第2のコリオリ力を受けるが、この第2のコリオリ力の方向は流れの方向が第1のコリオリ力の場合と反対方向であるから第1のコリオリ力とは反対の向きである。
したがって、上方向の励振の角速度における時相では、揺動の中点を通過するときには、流入側と流出側に生じるコリオリ力は測定チューブ15に対して、力の偶力となり、これにより測定チューブ15を軸線Y−Y’の回りに角度旋回させる。
下方向の励振の角速度における時相では、軸線Y−Y’の回りに反対方向に測定チューブ15が角度旋回される。
この振動数、或いは振幅がほぼ一定に保持されているものとすると、揺動の中点における軸線Y−Y’の回りの角度的捩れをコリオリセンサ21、22で計測することにより流量を得ることができる。
下記の特許文献1には、流体が流れる片持ち梁状のオメガ形のパイプを振動させて発生するコリオリ力を利用して質量流量を測定する質量流量計が開示されている。
また、下記の特許文献2には、U字形導管を音叉状にお互いに反対位相に駆動することにより、発生するコリオリの力を検出して質量流量を測定する質量流量計が開示されている。
しかし、このような質量流量計には、次のような課題があった。図3に示す従来の質量流量計は、外部からの振動が測定チューブに加わると、測定量が影響を受けやすく、質量流量のゼロ点が安定しない、といった問題があった。
さらに、ノイズは、外部振動によるもののほかにも、各直管チューブと各支持部との固定の具合にも影響され、また寸法の大きなサイズの場合、流入側と流出側の各直管チューブでは振動の様子が異なる、といった問題があった。
従って、本発明の目的は、直管チューブにノイズセンサを追加し、このノイズセンサで内外からの振動をモニタし、これと測定チューブの振動との差を求めることにより正確な質量流量を測定できる質量流量計を提供することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1に記載の発明は、支持部に一対の直管チューブが固定されこれらにほぼ直角方向に曲げられた曲管状チューブで結んで形成され測定流体が内部を流れる測定チューブと、先の支持部を中心として先の測定チューブを先の測定流体の走行面に対してほぼ直交方向に振動させる励振手段と、先の測定チューブを流れる先の測定流体と先の振動により発生するコリオリ信号を検出するコリオリセンサを具備し、先のコリオリ信号により先の測定流体の流量を測定する質量流量計であって、
先の直管チューブの近傍にノイズセンサが固定され、先のノイズセンサで検出されたノイズ信号により先のコリオリ信号に含まれるノイズを補正するようにしたものである
先の直管チューブの近傍にノイズセンサが固定され、先のノイズセンサで検出されたノイズ信号により先のコリオリ信号に含まれるノイズを補正するようにしたものである
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、先のノイズセンサは、先の直管チューブと曲管状チューブのほぼ境界に設けるようにしたものである。
請求項3に記載の発明は、請求項1若しくは請求項2のいずれかに記載の発明において、先のノイズセンサは、流入側と流出側の先の直管チューブに設けるようにしたものである。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の発明において、先のコリオリセンサは、先の直管チューブの流入側と流出側に設けられ、流入側の先のコリオリ信号は流入側のノイズ信号で、流出側の先のコリオリ信号は流出側のノイズ信号で、それぞれ別個に補正したコリオリ信号により流量を測定するようにしたものである。
以上の手段により、本発明によれば次のような効果が生じる。請求項1、2、3、4に記載の発明によれば、直管チューブの近傍に固定されたノイズセンサで検出されたノイズ信号によりコリオリ信号に含まれるノイズを補正するようにしたので、ノイズが外部振動、各直管チューブと各支持部との固定の具合、或いは流入側と流出側の各直管チューブの振動の相違など各種の形態で混入するノイズの影響を除去でき、正確で安定な質量流量計が得られる効果がある。
請求項2に記載の発明によれば、請求項1の発明の効果に加えて、ノイズセンサは、直管チューブと曲管状チューブのほぼ境界に設けるようにしたので、測定チューブにはコリオリ力は働かず、振動ノイズは拡大されて、効率良くノイズを検出できる効果がある。
請求項3に記載の発明によれば、請求項1の発明の効果に加えて、ノイズセンサを1個所でなく、流入側と流出側の直管チューブの2個所に設けたので、きめ細かく振動ノイズを検出できる効果がある。
また、請求項4に記載の発明によれば、請求項1の発明効果に加えて、直管チューブの流入側からコリオリセンサに混入したノイズは流入側に設置したノイズセンサにより検出したノイズ信号により、また、流出側からコリオリセンサに混入したノイズは流出側に設置したノイズセンサにより検出したノイズ信号によりキャンセルするようにしたので、流入側と流出側とでノイズの性質が異なる場合でも、各ノイズの性質に対応してノイズを除去でき、効果的にノイズを除去できる効果がある。
以下、本発明について図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明に係る質量流量計の一実施例を示す構成図である。なお、図1において、図3に示す従来の質量流量計と同一の機能を有する部分には同一の符号を付し、これを用いて、適宜にその説明を省略する。
励振装置30は、励振子20内のセンスコイルからの信号に応答してこれを増幅し励振子20内のフオースコイルに駆動電流を供給して、測定チューブ15を軸線X−X‘の回りに固有振動数で揺動的に駆動する。
一方、コリオリセンサ21からのコリオリ信号C1と、コリオリセンサ22からのコリオリ信号C2は、減算器31に入力され、減算器31でコリオリ信号C1とコリオリ信号C2との差が演算されてコリオリ信号C3として出力される。
この部分までの動作は図3に示す従来の質量流量計と同様に動作する。ただし、このコリオリ信号C3にはノイズが混入されている点が相違する。
次に、ノイズセンサ32は、直管チューブ12と曲管状チューブ14との境目近傍の測定チューブ15に固定され、ノイズセンサ33は、直管チューブ13と曲管状チューブ14との境目近傍の測定チューブ15に固定されている。
ノイズセンサ32からのノイズ信号N1と、ノイズセンサ33からのノイズ信号N2は、加算器34に入力され、加算器34でノイズ信号N1とノイズ信号N2は加算されて、ノイズ信号N3として出力される。
減算器35には、コリオリ信号C3とノイズ信号N3が入力され、コリオリ信号C3に含まれるノイズをノイズ信号N3により減算して、ノイズの含まれないコリオリ信号C4として出力する。そして、コリオリ信号C4は測定チューブ15を流れる測定流体の質量流量に対応している。
また、減算器35において、減算するノイズ信号N3の量を調節することができ、これによりゼロ点を調節することもできる。
図2は本発明に係る質量流量計の他の実施例を示す構成図である。図1に対して、信号処理の仕方が異なっている。
コリオリセンサ21からのコリオリ信号C1と、ノイズセンサ32からのノイズ信号N1とは、減算器36に入力され、減算器36はノイズが含まれるコリオリ信号C1からノイズ信号N1によりノイズを除去してコリオリ信号C5を出力する。
またコリオリセンサ22からのコリオリ信号C1と、ノイズセンサ33からのノイズ信号N2とは、減算器37に入力され、減算器37はノイズが含まれるコリオリ信号C2からノイズ信号N2によりノイズを除去してコリオリ信号C6を出力する。
減算器38には、ノイズの含まれないコリオリ信号C5と、ノイズの含まれないコリオリ信号C6が入力され、ノイズの含まれないコリオリ信号C7として出力する。
図1に示す信号処理に対して図2の場合の信号処理は、振動ノイズが、直管チューブ12,13と支持部10,11との固定の具合にも影響され、また寸法の大きなサイズの場合には測定チューブ15の測定流体の流入側と流出側の各直管チューブでは振動の様子が異なる点に着目してノイズ除去を行う点が異なっている。
つまり、流入側のコリオリセンサ21に混入するノイズは流入側のノイズセンサ32からのノイズ信号N1で除去し、流出側のコリオリセンサ22に混入するノイズは流出側のノイズセンサ33からのノイズ信号N2で除去することにより、性質の同じノイズを用いて効果的にノイズ除去することができる。
10,11 支持部
12,13 直管チュ−ブ
14 曲管状チューブ
15 測定チューブ
16 筐体
17、18 開口部
19 内枠
20 励振子
21,22 コリオリセンサ
30 励振装置
31,35、36,37,38 減算器
32,33 ノイズセンサ
34 加算器
C1,C2、C3、C4、C5,C6、C7 コリオリ信号
N1,N2,N3 ノイズ信号
X−X‘、Y−Y’ 軸線
12,13 直管チュ−ブ
14 曲管状チューブ
15 測定チューブ
16 筐体
17、18 開口部
19 内枠
20 励振子
21,22 コリオリセンサ
30 励振装置
31,35、36,37,38 減算器
32,33 ノイズセンサ
34 加算器
C1,C2、C3、C4、C5,C6、C7 コリオリ信号
N1,N2,N3 ノイズ信号
X−X‘、Y−Y’ 軸線
Claims (4)
- 支持部に一対の直管チューブが固定されこれらにほぼ直角方向に曲げられた曲管状チューブで結んで形成され測定流体が内部を流れる測定チューブと、前記支持部を中心として前記測定チューブを前記測定流体の走行面に対してほぼ直交方向に振動させる励振手段と、前記測定チューブを流れる前記測定流体と前記振動により発生するコリオリ信号を検出するコリオリセンサを具備し、前記コリオリ信号により前記測定流体の流量を測定する質量流量計において、
前記直管チューブの近傍にノイズセンサが固定され、前記ノイズセンサで検出されたノイズ信号により前記コリオリ信号に含まれるノイズを補正することを特徴とする質量流量計。 - 前記ノイズセンサは、前記直管チューブと曲管状チューブのほぼ境界に設けたことを特徴とする請求項1に記載の質量流量計。
- 前記ノイズセンサは、流入側と流出側の前記直管チューブに設けたことを特徴とする請求項1叉は2に記載の質量流量計。
- 前記コリオリセンサは、前記直管チューブの流入側と流出側に設けられ、流入側の前記コリオリ信号は流入側のノイズ信号で、流出側の前記コリオリ信号は流出側のノイズ信号で、それぞれ別個に補正したコリオリ信号により流量を測定することを特徴とする請求項3に記載の質量流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005237494A JP2007051942A (ja) | 2005-08-18 | 2005-08-18 | 質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005237494A JP2007051942A (ja) | 2005-08-18 | 2005-08-18 | 質量流量計 |
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JP2007051942A true JP2007051942A (ja) | 2007-03-01 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP2007051942A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010038540A (ja) * | 2008-07-09 | 2010-02-18 | Keyence Corp | 流量計 |
-
2005
- 2005-08-18 JP JP2005237494A patent/JP2007051942A/ja active Pending
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