JP2007048629A - 重水素ランプ - Google Patents

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Abstract

【課題】 出射光の光軸を分析装置等の取付側に高精度に位置決めすることができると共に、放熱を向上し出射光を安定して出射することが可能であり、密封容器の破損の虞が低減された重水素ランプを提供する。
【解決手段】 突出部19の外面と管状部材20の内面との間に充填封止層21を形成し、この充填封止層21によって、突出部19と光軸Xとのズレを吸収し光軸Xと管状部材20の管軸Lとを一致させて管状部材20を突出部19に固定し、この管軸Lと光軸Xとが一致した管状部材20を取付側に対し装着可能とする。また、突出部19に管状部材20を外挿して、管状部材20が放熱の妨げとなることを防止し側管部15の放熱の向上を図る。また、管状部材20を、充填封止層21を介して突出部19に固定し、突出部19に伝達される応力を減少させる。
【選択図】 図3

Description

本発明は、所定波長の光を出射する重水素ランプに関し、特に、分析装置の分光器等の光源として使用される重水素ランプに関する。
従来、このような分野の技術として、下記の特許文献1及び特許文献2に示すようなものがある。これらの特許文献に記載の重水素ランプは、その光出射窓が分光器等の真空室内に光を出射可能に配置され、真空室内の真空状態を維持するようにして、真空室外壁等に設けられた固定部に固定されている。例えば、特許文献1に記載の重水素ランプでは、放電を発生させる陽極部及び陰極部を収容する側管部と、この側管部の軸線方向に直交する方向に連通され放電による光の光軸方向に延在する筒状の突出部とを有する密封容器を備え、この突出部の前端に光出射窓が設けられている。この突出部は、その外表面にOリングが装着される環状の凹溝を有し、筒状の固定部(開口部)に嵌合されて、真空室内はOリングによって気密封止されている。また、特許文献2に記載の重水素ランプでは、陽極部及び陰極部を収容する筒状の密封容器(側管部)を備え、この密封容器の一端側に光出射窓が形成されている。そして、重水素ランプは、一端側に口金を有し、この口金によって固定部に固定されている。
実開昭54−156976号公報 特開平6−215734号公報
しかしながら、上記特許文献1に記載の従来技術では、製作誤差により突出部の管軸と出射光の光軸とが一致せずにズレを生じる場合が有り、分析装置等に装着する際に、突出部を精度良く装置に固定しても光軸が装置に対してズレてしまい、位置精度の向上が求められていた。また、重水素ランプの突出部を筒状の固定部に嵌合して固定するため、突出部に係る応力によって、ガラス製の密封容器が破損する虞があった。
また、上記特許文献2に記載の重水素ランプにあっても、分析装置等に装着する際に、出射光の光軸を位置合わせして固定することが難しく、位置精度の向上が求められていた。また、陽極部及び陰極部を収容する側管部の外面が口金に覆われているため、放熱が悪く、出射光が不安定になる虞があった。
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、分析装置等の取付側に対して出射光を高精度に位置決めすることができると共に、放熱が向上されて出射光を安定して出射することが可能であり、密封容器の破損の虞が低減された重水素ランプを提供することを目的とする。
本発明による重水素ランプは、ガスが封入された密封容器を具備し、この密封容器は、放電を発生させる陰極部と陽極部とを収容する側管部と、側管部に連通し放電による光の出射方向に突出する筒状の突出部とを有し、この突出部に設けられた光出射窓から外部に出射光を出射する重水素ランプにおいて、突出部に外挿された管状部材を備え、この管状部材の内面と突出部の外面との間には、接着剤により構成された充填封止層が形成され、この充填封止層によって、出射光の光軸と管状部材の管軸とが一致するように、当該管状部材が突出部に固定されていることを特徴としている。
このような重水素ランプによれば、突出部の外面と管状部材の内面との間に充填封止層が形成されているため、この充填封止層の厚さを変えることで、突出部と光軸とのズレを吸収し光軸と管状部材の管軸とを一致させて管状部材を突出部に固定することができ、この管軸と光軸とが一致した管状部材を分析装置等の取付側に装着することが可能となる。このため、分析装置等の取付側に対して重水素ランプの出射光を高精度に位置決めすることができる。また、密封容器は、陰極部及び陽極部を収容する側管部と、この側管部に連通し光の出射方向に突出する突出部とを有し、この突出部に管状部材を外挿するため、管状部材が放熱の妨げとなることなく側管部の放熱が向上され、出射光を安定して出射することができる。また、管状部材は、充填封止層を介して突出部に固定されているため、管状部材に作用する応力が充填封止層によって緩和されて、突出部に伝達される応力が減少し、密封容器の破損の虞が低減される。なお、「管状部材」の縦断面形状は、円形、矩形、その他の多角形等であっても良い。また、ここでいう「管軸」とは、管状部材の軸心を通り、管状部材の長手方向に延在する軸線である。
ここで、突出部は側管部の軸線方向に直交する方向に突出し、突出部の前端に光出射窓が設けられ、この光出射窓より前方に管状部材の前端が位置する構成であると、光出射窓が管状部材により保護される。なお、「側管部の軸線方向」とは、側管部の軸心を通り、側管部の長手方向に延在する軸線である。
また、充填封止層は、前後方向に2層以上形成され、管状部材を固定する固定層と、この固定層より前方に配置された封止層とを有する構成であると、固定層によって管状部材を仮止し、その後に、封止層を形成することで、真空室等の気密封止を確実に行うことができると共に、管状部材の管軸を光軸に対して一致させ易くなり、位置精度を一層向上させることが可能となる。
また、光出射窓は、充填封止層より前方に位置する構成であるのが好ましく、これにより充填封止層を形成する際に接着剤が光出射窓に付着することがなく、充填封止層の形成が容易とされる。
また、管状部材の前端には、フランジ部が設けられていると、重水素ランプを確実且つ容易に分析装置等の取付側に固定することができる。
本発明の重水素ランプによれば、分析装置等の取付側に装着する際に、出射光の光軸を高精度に取付側に位置決めすることができると共に、放熱が向上されて出射光を安定して出射することが可能であり、密封容器の破損の虞を低減することができる。
以下、本発明による重水素ランプの好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図1は、本発明の第1実施形態に係る重水素ランプを備えた分析装置の概略断面図、図2は、図1中の重水素ランプの斜視図、図3は、図1中の重水素ランプの断面図、図4は、図1中の重水素ランプ及びこの重水素ランプを保持するランプホルダを示す断面図である。なお、以下の説明において、出射光の進行方向を「前方」と定め、「前」、「後」、「正面」、「背面」等の方向を表す語を用いることとし、「上」、「下」等の方向を示す語については各図の状態において言うものとする。
図1に示すように、分析装置1は、所定波長の紫外光を出射する重水素ランプ10と、重水素ランプ10からの出射光を分光する分光器2と、この分光器2で分光された光を検出する光検出器3と、を備えている。
分光器2は、内部を真空環境(低圧状態)に維持可能な筐体4を具備し、この筐体4内に、レンズ5a,5b、スリット6a,6b、グレーティング7を収容している。筐体4は、連絡管8を介して真空ポンプ(不図示)に接続され、内部の真空状態が保たれている。そして、重水素ランプ10の出射光は、レンズ5a、スリット6a、グレーティング7、スリット6b、レンズ5bを順次経由して、所定に分光され光検出器3によって検出される。なお、筐体4内に希ガスを充填するようにしても良い。
筐体4のレンズ5aに対向する外壁には、重水素ランプ10の出射光を入射する光入射口4aが開口され、この入射口4aを囲繞する外壁には、重水素ランプ10を保持するためのランプホルダ9が固定されている。なお、ランプホルダ9の詳細については後述する。
次に、重水素ランプ10について詳説する。図2(なお、図2においては、後述する固定用金具20及び充填封止層21の図示を省略している。)及び図3に示すように、重水素ランプ10は、サイドから紫外光を出射する所謂サイドオン型の重水素ランプである。この重水素ランプ10は、重水素ガスが数百Pa程度封入されたガラス製の密封容器11を具備し、この密封容器11は、紫外光を発光させる発光部組立体14を収容する側管部15と、この側管部15に連通し前方(光軸X方向;側管部15の軸線方向Yに直交する方向)に突出する円筒状の突出部19とを備えている。そして、この突出部19の正面側は、紫外光を出射する光出射窓17によって封止されている。
側管部15は、図2に示すように、一端(図示上端)側が封止された円筒状を成し、その他端側はステム部16によって封止されている。側管部15の正面には、突出部19が連通する開口部15a(図3参照)が形成され、この開口部15aを囲むように突出部19の後端側が気密に連結されている。ステム部16には、複数(本実施形態では7本)の導電性のステムピン18a〜18gが各々挿通されて密封固定されている。そして、このステムピン18a〜18gは、側管部15における軸線方向Y(図示上下方向)に沿って延在している。
側管部15内に収容される発光部組立体14は、アーク放電を発生させて紫外光を発生させるためのもので、図3に示すように、放電に寄与する熱電子を発生させる陰極部13、この陰極部13からの熱電子を受容する陽極部12、陰極部13と陽極部12との間の放電路を制限する放電路制限部26、この放電路制限部26を支持する放電路制限部支持部材23、この放電路制限部支持部材23の正面側を覆うと共に紫外光が通過する光通過口24aが形成されたフロントカバー24を備えている。
放電路制限部支持部材23は、電気絶縁性を有するセラミックス等から形成され、ステムピン18b,18cにより支持され、中央の開口部内に放電路制限部26を支持している。放電路制限部26は、例えば、モリブデン、タングステン、あるいはこれらからなる合金等の高融点金属から形成されて導電性を有し、ステムピン18e,18fに電気的に接続されている。放電路制限部26の背面側には陽極部12が配置され、この陽極部12は、ステムピン18dによって支持されると共に電気的に接続されている。
陰極部13はタングステン製のコイルから成り、その表面には熱電子を発生させるべく電子放出物質が塗布されている。この陰極部13は、放電路制限部支持部材23より正面側(図示下側)で光軸Xから外れた位置に配置され、ステムピン18a,18c(図2参照)に電気的に接続されている。また、陰極部13はその正面側がフロントカバー24によって覆われ、陰極部13から生じるスパッタ物、蒸発物が光出射窓17に付着することを防止している。
ここで、重水素ランプ10はステンレス製チューブからなる固定用金具(管状部材)20を備え、この固定用金具20は突出部19に外挿され、固定用金具20の内面と突出部19の外面との間には、接着剤により構成された充填封止層21が形成されて、この充填封止層21により、出射光の光軸Xと固定用金具20の管軸Lとが一致するように、固定用金具20が突出部19の外面に固定されている。
固定用金具20の前端面20aは、平坦面を成して光出射窓17より前方に位置し、この前端面20aと発光部組立体14の放電路制限部26における発光点Pとの距離Dは、所望の長さとされている。固定用金具20の前端面20aは光出射窓17より前方に位置しているため、光出射窓17は固定用金具20によって保護されている。
充填封止層21は、光軸X方向において、固定用金具20の後端から突出部19の前端近傍まで形成されると共に、周方向おいて、全周にわたり形成され、固定用金具20内を気密封止可能とする。すなわち、固定用金具20内は、充填封止層21によって、分光器2内の真空状態を維持すべく気密封止されている。充填封止層21が突出部19の前端近傍まで形成され、光出射窓17は充填封止層21より前方に位置しているため、充填封止層21を形成する際に接着剤が光出射窓17に付着することなく、充填封止層21の形成が容易とされている。
次に、固定用金具20を突出部19に固定する方法について説明する。まず、正面視において、カメラ等を用い放電路制限部26の放電路狭窄用小孔の位置を確認し、固定用金具20の管軸Lと光軸Xとが同軸となるように位置合わせを行うと共に、光軸X方向において、固定用金具20の前端面20aと発光部組立体14の発光点Pとの距離Dが所定の長さとなるように、固定用金具20と突出部19との位置決めを行う。そして、固定用金具20の内面と突出部19の外面との隙間に、充填封止層21を構成する接着剤を充填し、加熱することで硬化させて、固定用金具20を突出部19に接着固定する。このようにして、光軸Xと突出部19の管軸Lとが一致した重水素ランプ10を得ることができる。
次に、このように構成された重水素ランプ10を分光器2(図1参照)に固定するためのランプホルダ9について説明する。このランプホルダ9は、図4に示すように、分光器2の筐体4の外壁に固定され重水素ランプ10の固定用金具20を保持するランプホルダ本体27と、ランプホルダ本体27と固定用金具20との間に配置されるOリング28と、円環状を成しOリング28の後方に配置されるスペーサー29と、このスペーサー29を後方から押圧することでOリング28を締め付ける締付部材30とを備えている。
ランプホルダ本体27は、固定用金具20が挿入される筒体27aを具備し、この筒体27aの前端には、ランプホルダ本体27を分光器2に固定するためのフランジ27bが設けられている。また、筒体27aの前端には、内方(軸心側)に円環状に突出する鍔部27cが形成され、この鍔部27cの後面27dは、固定用金具20の前端20aが押し当てられる平坦面を構成している。筒体27aの内径は、固定用金具20の外径と略同じとされ、軸線方向中程に設けられる傾斜面27eを介して、後端側は大径とされスペーサー29を内挿可能な大きさとされている。また、筒体27aの外周面27fには、締付部材30を螺合させるためのネジ部が形成されている。
スペーサー29の縦断面形状は台形とされ、内周前端より外周前端が前側に伸びる傾斜面29aを有する構成とされている。そして、Oリング28は、ランプホルダ本体27の傾斜面27eとスペーサー29の傾斜面29aとの間に挟まれて配置されている。
締付部材30は円筒体を成し、その後端には内方(軸心側)に突出しスペーサー29を後方から押圧するための円環状の鍔部30aが形成されている。そして、重水素ランプ10は、その固定用金具20がランプホルダ本体27の筒体27a内に挿入され、固定用金具20の前端面20aがランプホルダ本体27の鍔部27cの後面27dに突き当てられた状態で締付部材30がランプホルダ本体27に螺合することで、スペーサー29が押圧されOリング28が締め付けられて、重水素ランプ10の固定用金具20が確実に気密に固定され、重水素ランプ10の光軸Xは分光器2内のレンズ5aに対し高精度に位置決めされている。
このような重水素ランプ10を備えた分析装置1では、重水素ランプ10に電力が供給され、陽極部12と陰極部13との間で放電が発生し、放電路制限部26によって放電が収束し、光出射窓17から紫外光が出射される。光出射窓17から出射された出射光は、固定用金具20内、光入射口4aを通過して、分光器2内のレンズ5a(図1参照)に軸ズレ無く正確に入射される。
このように本実施形態によれば、例えば製作誤差等により突出部19の管軸Lと出射光の光軸Xとが一致していない場合であっても、突出部19の外面と固定用金具20の内面との間に充填封止層21が形成されているため、この充填封止層21の周方向における厚さを変えることで、突出部19と光軸Xとのズレを吸収し光軸Xと固定用金具20の管軸Lとを一致させて固定用金具20を突出部19に固定することが可能となり、この管軸Lと光軸Xとが一致した固定用金具20を分光器2のランプホルダ9に装着することができる。このため、分光器2内のレンズ5a等に対して重水素ランプ10の出射光を高精度に位置決めすることができる。また、密封容器11は、陰極部13及び陽極部12を収容する側管部15と、この側管部15に連通し光軸X方向に突出する突出部19とを有し、この突出部19に固定用金具20を外挿しているため、固定用金具20が放熱の妨げとなることなく側管部15内の発光部組立体14の放熱が向上され、出射光を安定して出射することが可能とされている。また、固定用金具20は、充填封止層21を介して突出部19に固定されているため、固定用金具20に作用する応力が充填封止層21によって緩和されて、突出部19に伝達される応力が減少し、密封容器11の破損の虞が低減されている。具体的には、重水素ランプ10を分光器2に対して着脱する際に、密封容器11に作用する応力が低減されるため、密封容器11の破損が防止され、重水素ランプ10の長寿命化を図ることができる。
次に、本発明の第2実施形態に係る重水素ランプについて、図5を参照しながら説明する。この第2実施形態の重水素ランプ40が第1実施形態の重水素ランプ10と違う点は、同一の材質からなる突出部19に代えて、異なる材質からなり、異なる材質を連結する段シール部49aを有する突出部49を用いた点と、1層からなる充填封止層21に代えて、2層からなる充填封止層51を用いた点である。
突出部49の前端側は、紫外光を出射する光出射窓47によって封止され、この光出射窓47は、例えば、フッ化マグネシウム(MgF)から構成されている。また、突出部49は、光出射窓47が設けられた前半部49bがフッ化マグネシウムから成り、側管部15に連結された後半部49cが例えば硼珪酸ガラスによって構成されている。これらのフッ化マグネシウムと硼珪酸ガラスとは互いの熱膨張率が大きく異なり、フッ化マグネシウムと硼珪酸ガラスとを直接融着させると、この融着部に割れやクラックが生じる虞があるため、前半部49bと後半部49cとの間の中間部に、段シール部49aが設けられている。この段シール部49aは、複数種類の中間ガラスを用いて、熱膨張率が徐々に変化するようにシールする構成とされている。
充填封止層51は、前後方向に隣接された2層構造を成し、後側に形成され固定用金具20を仮止めする仮止層(固定層)51aと、これより前側に形成され固定用金具20内を封止する封止層51bとを有している。仮止層51aは、仮止め用接着剤として、硬化時間が短く、硬化後の硬度が大きいものが好ましく、例えば、シリカ−アルミナ系の無機接着剤が挙げられる。
封止層51bは、封止用接着剤(シール剤)として、気密性が高く、それ自体にガス放出が無く、吸湿性が無いものが好ましく、例えば、エポキシ系の接着剤が挙げられる。なお、封止層51bの前端は、段シール部49aより後方に位置し、段シール部49aは、充填封止層51に覆われていない状態となっている。
次に、固定用金具20を突出部49に固定する方法について説明する。まず、正面視において、カメラ等を用い放電路制限部26の放電路狭窄用小孔の位置を確認し、固定用金具20の管軸Lと光軸Xとが同軸となるように位置合わせを行うと共に、光軸X方向において、固定用金具20の前端面20aと発光部組立体14の発光点Pとの距離Dが所定の長さとなるように、固定用金具20と突出部49との位置決めを行う。そして、固定用金具20の内面と突出部49の外面との隙間に、仮止め用接着剤を充填し、加熱することで硬化させて、固定用金具20を突出部49に接着固定する。仮止め用接着剤として、シリカ−アルミナ系の無機接着剤を使用した場合には、加熱温度を約100℃、加熱時間を約1分として、硬化させる。
次に、前方から、固定用金具20の内面と突出部49の外面との隙間に、封止用接着剤を充填し、硬化させる。封止用接着剤として、エポキシ系接着剤を使用した場合には、室温にて約2時間で硬化させることができる。このようにして、光軸Xと突出部49の管軸Lとが一致した重水素ランプ40を得ることができる。
このように構成しても第1実施形態の重水素ランプ10と同様の効果を得ることができ、加えて、充填封止層51は、前後方向に2層形成され、固定用金具20を固定する固定層51aと、この固定層51aより前側に配置された封止層51bとを有する構成であるため、固定層51aにより固定用金具20を仮止し、その後に、封止層51bを形成することで、分光器内の気密封止を確実に行うことができると共に、固定用金具20の管軸Lを光軸Xに対して一致させ易くなり、重水素ランプ40が装着される分光器等に対する位置精度を一層向上させることができる。
また、仮止層51aは仮止め用接着剤によって構成されているため、短時間(数分程度)で硬化させることでき、重水素ランプ40の製作時の作業性を向上させることが可能となる。また、仮止め用接着剤の硬化後の硬度が大きいため、重水素ランプ40の位置ズレを防止することができる。
また、封止層51bは封止用接着剤によって構成されているため、気密性が有り、重水素ランプ40が装着される分光器内の高真空環境に対応可能とされている。また、封止用接着剤は、この接着剤からのガスの放出が無いため、接着剤中の成分の溶出が無く、真空環境を汚染することが防止されている。また、封止用接着剤は、吸湿性が無いため、高真空環境に対応可能とされている。
次に、本発明の第3実施形態に係る重水素ランプについて、図6を参照しながら説明する。この第3実施形態の重水素ランプ60が第1実施形態の重水素ランプ10と違う点は、円筒体の固定用金具20に代えて、円筒体70aの前端にフランジ部70bを有する固定用金具70を用いた点である。そして、重水素ランプ60は、そのフランジ部70bが、分光器2における筐体4の外壁に位置決め固定されている。また、筐体4の外面とフランジ部70bの設置面との間は、Oリング71によって封止されている。
このように構成しても第1実施形態の重水素ランプ10と同様の効果を得ることができ、加えて固定用金具70の前端に、フランジ部70bが設けられているため、重水素ランプ70を確実且つ容易に分光器2等の取付側に固定することができる。
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、重水素ランプを、サイドオン型の重水素ランプとしているが、ヘッドオン型の重水素ランプであってもよい。
また、上記実施形態において、重水素ランプ10,40,60は、光出射窓17,47が保護されるとして、管状部材(固定用金具)20,70が、光出射窓17,47より前方に突出する構成としているが、光出射窓が管状部材より前方に突出する構成としても良い。
また、上記実施形態において、管状部材をステンレスチューブ等の金属製としているが、管状部材の材質は、その他の材料を用いて構成しても良い。また、管状部材の断面形状は、矩形等のその他の形状であっても良い。
本発明の第1実施形態に係る重水素ランプを備えた分析装置の概略断面図である。 図1中の重水素ランプの斜視図である。 図1中の重水素ランプの断面図である。 図1中の重水素ランプ及びこの重水素ランプを保持するランプホルダを示す断面図である。 本発明の第2実施形態に係る重水素ランプの断面図である。 本発明の第3実施形態に係る重水素ランプの断面図である。
符号の説明
1…分析装置、10,40,60…重水素ランプ、11…密封容器、12…陽極部、13…陰極部、17,47…光出射窓、19,49…突出部、20,70…固定用金具(管状部材)、21,51…充填封止層、51a…仮止層(固定層)、51b…封止層、70b…フランジ部、X…光軸、L…管軸。

Claims (5)

  1. ガスが封入された密封容器を具備し、この密封容器は、放電を発生させる陰極部と陽極部とを収容する側管部と、前記側管部に連通し放電による光の出射方向に突出する筒状の突出部とを有し、この突出部に設けられた光出射窓から外部に出射光を出射する重水素ランプにおいて、
    前記突出部に外挿された管状部材を備え、
    この管状部材の内面と前記突出部の外面との間には、接着剤により構成された充填封止層が形成され、
    この充填封止層によって、出射光の光軸と前記管状部材の管軸とが一致するように、当該管状部材が前記突出部に固定されていることを特徴とする重水素ランプ。
  2. 前記突出部は前記側管部の軸線方向に直交する方向に突出し、
    前記突出部の前端に前記光出射窓が設けられ、
    この光出射窓より前方に前記管状部材の前端が位置することを特徴とする請求項1記載の重水素ランプ。
  3. 前記充填封止層は、前後方向に2層以上形成され、前記管状部材を固定する固定層と、この固定層より前方に配置された封止層とを有することを特徴とする請求項1又は2記載の重水素ランプ。
  4. 前記光出射窓は、前記充填封止層より前方に位置することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の重水素ランプ。
  5. 前記管状部材の前端には、フランジ部が設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の重水素ランプ。
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