JP2007047021A - 平坦度計測方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ワークWは、基準筒面Wbと基準筒面Wbの中心軸線と直交する平坦面Wcとを有する。ワークWは、中心軸線を略中心にして回転される。第1,第2の計測手段60,70は、軸方向に離れ基準筒面Wbに対峙して配置され、ワークWが所定角度回転する度に、基準筒面Wbにおいて計測手段60,70に対峙する環状領域の位置を計測する。第3計測手段80は平坦面Wcに対峙して配置され、ワークが所定角度回転する度に、平坦面Wcの位置を計測する。計測手段60,70の位置情報から、基準筒面Wbの中心軸線と直交する基準平面を実質的に求め、第3計測手段で計測された位置情報をこの基準平面からの位置情報に補正し、この補正情報に基づき平坦度を演算する。
【選択図】 図1
Description
第1,第2の計測手段を、上記ワークの軸方向に離して上記基準筒面に対峙させるとともに、第3計測手段を上記ワークの平坦面に対峙させ、上記ワークを、回転軸線がワークの中心軸線と略一致するようにして回転させ、この回転に伴ない、上記第1,第2計測手段から、上記基準筒面において第1,第2計測手段に対峙する第1,第2環状領域の多数箇所の位置情報を得るとともに、第3計測手段から上記平坦面において第3計測手段に対峙する第3環状領域の多数箇所の位置情報を得、上記第1計測手段により計測した位置情報から、上記第1環状領域の中心点位置を求め、上記第2計測手段により計測した位置情報から、上記第2環状領域の中心点位置を求め、さらに、これら第1,第2環状領域の中心点位置情報から、上記基準筒面の中心軸線と直交する基準平面を実質的に求め、上記第3計測手段で計測した第3環状領域の位置情報を上記基準平面からの位置情報に補正し、この補正された位置情報から上記ワークの平坦面の平坦度を演算することを特徴とする。
回転軸線を上記基準筒面の中心軸線と略一致させて上記ワークを回転させる回転手段と、固定系に支持された第1,第2,第3の計測手段と、演算手段とを備え、上記第1,第2の計測手段は、互いに上記回転軸線方向に離れるとともに上記ワークの基準筒面に対峙して配置され、ワークが所定角度回転する度に、上記ワークの基準筒面において当該第1,第2の計測手段に対峙する第1,第2環状領域の位置をそれぞれ計測し、上記第3計測手段は、上記ワークの平坦面に対峙して配置され、ワークが所定角度回転する度に、上記平坦面において当該第3計測手段に対峙する第3環状領域の位置を計測し、上記演算手段は、上記第1計測手段により計測した位置情報から、上記基準筒面の第1環状領域の中心点位置を求め、上記第2計測手段により計測した位置情報から、上記基準筒面の第2環状領域の中心点位置を求め、これら第1,第2環状領域の中心点位置情報から、上記基準筒面の中心軸線と直交する基準平面を実質的に求め、さらに上記演算手段は、上記第3計測手段で計測された位置情報を上記基準平面からの位置情報に補正し、この補正された位置情報から上記ワークの平面の平坦度を演算することを特徴とする。
これによれば、ワークをしっかりとクランプしながら回転させることができ、しかも、ワークを設置する回転体が筒状をなして支持シャフトを中心にして回転するので、ワークを高精度で回転させることができ、ひいては平坦度をより一層高精度で計測することができる。
これによれば、環状ワークの内側の空間を、第1,第2計測手段を配置することにより有効活用するため、計測装置を小型化することができる。
これによれば、クランプ機構は摺接抵抗を受けることなくワークをクランプしながら回転体とともに回転することができる。
一方、ハウジング11の上壁にはステッピングモータ26(回転駆動手段)が固定されており、このステッピングモータ26の出力軸に設けたプーリ(図示しない)と上記プーリ25との間にはタイミングベルト27が掛け渡されている。後述するように、このモータ26の駆動により、上記回転体20が所定角度ずつ間欠回転するようになっている。
上記回転体20と上記モータ26により、ワークWを回転させる回転手段が構成されている。
このクランプ機構30は、複数本例えば4本のクランプアーム31と、昇降筒32と、クランプアーム31と同数のリンク33と、圧縮コイルバネ34(バネ)とを備えている。複数のクランプアーム31は周方向に等間隔で配置され、回転筒20の上端拡径部の外周にブラケット37を介して回転可能に支持されている。昇降筒32は、回転筒20の外周に昇降可能に支持されている。リンク33は昇降筒32の上端とクランクアーム31の下端に掛け渡され、これらに回転可能に連結されている。
第1計測手段60と第2計測手段70は、後述する回転軸線100方向(ワークWの軸方向)に離れて配置されており、ワークWが所定角度回転する毎に、ワークWの内周面Wbにおいてこれら計測手段60,70が対峙する第1,第2の環状領域の位置を、それぞれ計測するものである。
第3計測手段80は、ワークWが所定角度回転する毎に、ワークWの端面Wc,Wdのうち上側に位置する端面Wcにおいて第3計測手段80が対峙する第3環状領域の位置を、計測するものである。
上記支持板部61bの中央には左方向に突出する当接部材65が設けられている。この当接部材65は、ワークWの内周面Wbに対峙するとともにこの内周面Wbと等しい曲率半径の円弧面からなる当接面65aを有している。
上記当て板部61bの他端には、当接部材66が挿入固定されている。この当接部材66は平坦な当接面66aを有しており、この当接面66aに、位置センサ67が対峙している。この位置センサ67は支持テーブル14の上面に固定されており、その先端に接触子67aを有している。この接触子67aは、図示しないバネにより常に突出方向に付勢されており、押圧された時に移動台61の移動方向に後退する。
上記支持板部71bの中央には外方に突出する当接部材75が設けられている。この当接部材75は、ワークWの内周に対峙するとともにこの内周面Wbと等しい曲率半径の円弧面からなる当接面75aを有している。
第1,第2の計測手段60,70の当接面65a,75aは、周方向位置が一致している。換言すれば、回転軸線100と平行な1つの直線上にある。
また、カム87をレバー操作により回して第3計測手段80の位置センサ84を下降させることにより、その接触子84aがワークWの端面Wcに当たるようにする。
まず、ワークWが静止していて第3計測手段80が所定角度Θ毎に計測を行なうものとして、三次元空間における回転軸線100に対するワークWの中心軸線200の位置を求める。
Gn(x)={Pn(x)+Pn+1(x)}/3 …(1)
Gn(y)={Pn(y)+Pn+1(y)}/3 …(2)
また、上記三角形の面積を下記式から求める。
Sn=Dn・Dn+1・sinΘ/2 …(3)
G1(x)=(G1x・S1+G2x・S2 …GNx・SN)/(S1+S2 …SN)…(4)
G1(y)=(G1y・S1+G2y・S2 …GNy・SN)/(S1+S2 …SN)…(5)
M=M’+ΔM …(6)
ここで、面振れ量M’は、計測位置が仮想平面PL1より低い場合にマイナス,高い場合にプラスで表される。
ワークが軸方向に長い場合には、ワークの基準筒面を3つ以上の計測手段で計測し、各環状領域の中心に基づき、最小2乗法により中心軸線を決定してもよい。
上記実施形態では計測手段は接触式であったが、非接触式であってもよい。
2 回転系
12 支持シャフト
20 回転体
23a 設置面
26 モータ(回転駆動手段)
30 クランプ機構
31 クランプアーム
32 昇降筒
33 リンク
34 圧縮コイルバネ(バネ)
40 クランプ解除手段
60 第1計測手段
70 第2計測手段
80 第3計測手段
90 制御・演算手段(演算手段)
100 回転軸線
200 中心軸線
W ワーク
Wa 外周面
Wb 内周面(基準筒面)
Wc,Wd 端面(平坦面)
Claims (6)
- 基準筒面と、この基準筒面の中心軸線と直交する平坦面とを有するワークにおける、当該平坦面の平坦度を高精度で計測する方法であって、
第1,第2の計測手段を、上記ワークの軸方向に離して上記基準筒面に対峙させるとともに、第3計測手段を上記ワークの平坦面に対峙させ、
上記ワークを、回転軸線がワークの中心軸線と略一致するようにして回転させ、この回転に伴ない、上記第1,第2計測手段から、上記基準筒面において第1,第2計測手段に対峙する第1,第2環状領域の多数箇所の位置情報を得るとともに、第3計測手段から上記平坦面において第3計測手段に対峙する第3環状領域の多数箇所の位置情報を得、
上記第1計測手段により計測した位置情報から、上記第1環状領域の中心点位置を求め、
上記第2計測手段により計測した位置情報から、上記第2環状領域の中心点位置を求め、
さらに、これら第1,第2環状領域の中心点位置情報から、上記基準筒面の中心軸線と直交する基準平面を実質的に求め、
上記第3計測手段で計測した第3環状領域の位置情報を上記基準平面からの位置情報に補正し、この補正された位置情報から上記ワークの平坦面の平坦度を演算することを特徴とする平坦度計測方法。 - 基準筒面と、この基準筒面の中心軸線と直交する平坦面とを有するワークにおける、当該平坦面の平坦度を高精度で計測する装置であって、
回転軸線を上記基準筒面の中心軸線と略一致させて上記ワークを回転させる回転手段と、固定系に支持された第1,第2,第3の計測手段と、演算手段とを備え、
上記第1,第2の計測手段は、互いに上記回転軸線方向に離れるとともに上記ワークの基準筒面に対峙して配置され、ワークが所定角度回転する度に、上記ワークの基準筒面において当該第1,第2の計測手段に対峙する第1,第2環状領域の位置をそれぞれ計測し、
上記第3計測手段は、上記ワークの平坦面に対峙して配置され、ワークが所定角度回転する度に、上記平坦面において当該第3計測手段に対峙する第3環状領域の位置を計測し、
上記演算手段は、上記第1計測手段により計測した位置情報から、上記基準筒面の第1環状領域の中心点位置を求め、上記第2計測手段により計測した位置情報から、上記基準筒面の第2環状領域の中心点位置を求め、これら第1,第2環状領域の中心点位置情報から、上記基準筒面の中心軸線と直交する基準平面を実質的に求め、
さらに上記演算手段は、上記第3計測手段で計測された位置情報を上記基準平面からの位置情報に補正し、この補正された位置情報から上記ワークの平面の平坦度を演算することを特徴とする平坦度計測装置。 - 上記演算手段は、上記基準平面からの位置情報の最小値と最大値の差に基づき平坦度を数値化することを特徴とする請求項2に記載の平坦度計測装置。
- 上記固定系は垂直に起立する支持シャフトを備え、この支持シャフトに上記第1,第2計測手段が設けられ、
上記回転手段は、上記支持シャフトに回転可能に支持された筒状の回転体と、この回転体を回転させる回転駆動手段とを備え、この回転体の上面がワークの設置面として提供され、
さらに、クランプ機構が装備され、このクランプ機構は上記回転体に設けられて上記ワークをクランプすることを特徴とする請求項2または3に記載の平坦度計測装置。 - 上記ワークが環状をなし、その内周面が上記基準筒面として提供され、上記第1,第2計測手段は、上記回転体に設置されたワークの内側に配置され、上記クランプ機構は、上記回転体の外周に設けられて上記ワークの外周をクランプすることを特徴とする請求項4に記載の平坦度計測装置。
- 上記クランプ機構は、中間部が上記回転体の外周に回動可能に支持された複数のクランクアームと、上記回転体の外周に昇降可能に設けられた昇降筒と、この昇降筒とクランプアームの下端部とを連結する複数のリンクと、上記昇降筒を上方へ付勢することにより、クランプアームの上端部を上記ワークの外周に押し付けるバネとを有し、
上記固定系には上記昇降筒を押し下げてクランプアームを開くクランプ解除手段が設けられていることを特徴とする請求項5に記載の平坦度計測装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015172520A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 株式会社ヤクルト本社 | 容器測定装置及び測定方法 |
JP2017015615A (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-19 | サムテック株式会社 | 位置度検査装置 |
CN113238173A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-08-10 | 宝武集团马钢轨交材料科技有限公司 | 轴类零件通电接触面贴合性能检测装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4898860A (ja) * | 1972-03-29 | 1973-12-14 | ||
JPS4929858A (ja) * | 1972-07-14 | 1974-03-16 | ||
JPH01195309A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-07 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | 円筒体測定装置 |
JPH01267405A (ja) * | 1988-04-19 | 1989-10-25 | Sanko Senzai Kogyo Kk | 環状部品の多項目同時測定装置 |
JPH03197804A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転板の平面形状測定方法 |
JPH08201053A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | 平面度測定装置および平面度測定方法 |
JP2003240543A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-27 | Tohoku Techno Arch Co Ltd | 測定装置 |
JP2006003112A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 偏芯測定装置、偏芯測定方法、レンズ用金型、および撮像モジュール |
-
2005
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4898860A (ja) * | 1972-03-29 | 1973-12-14 | ||
JPS4929858A (ja) * | 1972-07-14 | 1974-03-16 | ||
JPH01195309A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-07 | Sumitomo Rubber Ind Ltd | 円筒体測定装置 |
JPH01267405A (ja) * | 1988-04-19 | 1989-10-25 | Sanko Senzai Kogyo Kk | 環状部品の多項目同時測定装置 |
JPH03197804A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-08-29 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 回転板の平面形状測定方法 |
JPH08201053A (ja) * | 1995-01-23 | 1996-08-09 | Mitsubishi Electric Corp | 平面度測定装置および平面度測定方法 |
JP2003240543A (ja) * | 2002-02-20 | 2003-08-27 | Tohoku Techno Arch Co Ltd | 測定装置 |
JP2006003112A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Fuji Photo Film Co Ltd | 偏芯測定装置、偏芯測定方法、レンズ用金型、および撮像モジュール |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015172520A (ja) * | 2014-03-12 | 2015-10-01 | 株式会社ヤクルト本社 | 容器測定装置及び測定方法 |
JP2017015615A (ja) * | 2015-07-03 | 2017-01-19 | サムテック株式会社 | 位置度検査装置 |
CN113238173A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-08-10 | 宝武集团马钢轨交材料科技有限公司 | 轴类零件通电接触面贴合性能检测装置 |
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