JP2007046967A - 振動式センサ - Google Patents

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Abstract

【課題】 ダイアフラムと振動子の共振による出力電圧の低下及び振動子を小さくした場合の出力電圧の低下を改善することが可能な振動式センサを実現する。
【解決手段】 振動子に直交する磁界と駆動電流により生じるローレンツ力により振動子が励振される振動式センサにおいて、シリコン基板の一部に形成されたダイアフラムと、このダイアフラムの表面上に設けられ、平行に配置された第1の梁と第2の梁及びこの第1の梁と第2の梁を連結する連結部から成る振動子と、振動子の第1の梁の一端及び第2の梁の一端にそれぞれ接続された駆動端子と、振動子の第1の梁の他端及び第2の梁の他端にそれぞれ接続された検出端子とを備える。
【選択図】 図1

Description

本発明は、振動式センサに関し、特に出力電圧の改善が可能な振動式センサに関する。
従来の振動式センサに関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
特開2002−296130号公報 特開2005−140614号公報 特開2005−140735号公報
図6はこのような従来の振動式センサの一例を示す部分断面斜視図である。図6において、1はシリコン基板の一部に形成された圧力が加わる板であるダイアフラム、2はダイアフラム1の表面上に形成された振動子、3は振動子2を保護するシェル、4は駆動端子、5は検出端子、100は印加される磁界、101はダイアフラム1に加わる圧力である。
ここで、図6に示す従来例の動作を図7、図8及び図9を用いて説明する。図7は振動子の駆動原理を説明する説明図、図8及び図9は振動子の振動の様子を説明する斜視図である。図7において2,4,5及び100は図6と同一符号を付してある。
振動子2は2本の平行梁とこれら平行梁と直交するように連結する連結辺とで”H字型”に形成されていて、一方の梁には駆動端子4が接続され、他方の梁には検出端子5が接続される。
振動子2には磁界100が直交するように印加され、駆動端子4には振動子2の一方の梁を流れるように交流の駆動電流”i0”が印加される。
このような状況下において、梁にはローレンツ力が発生し、振動子2は図8及び図9に示すように垂直方向に振動を開始する。
一方、”H字型”の振動子2の他方の梁は印加されている磁界100を上記振動により横切ることになるので誘導起電力である出力電圧が発生する。そして、この出力電圧を検出端子5で検出して駆動側に正帰還させることにより、振動子2はその固有振動数で自励振動する。
この結果、振動子2に磁界100を印加すると共に駆動端子4に駆動電流を印加して振動子2を自励振動させ、この振動数を検出端子5で検出することにより、ダイアフラム1に加わった圧力を検出することが可能になる。
しかし、図6に示す従来例では、ダイアフラム1と振動子2の固有振動数が接近した場合、固定部を介してダイアフラム1と振動子2が共振し、振動子2の振動エネルギーがダイアフラム1に奪われてしまうため、振動子2の振幅が小さくなり、検出端子5に現れる出力電圧が小さくなるという問題点があった。
また、検出端子5に現れる出力電圧は振動子2の長さにほぼ比例する。すなわち、振動子2が長い場合には検出端子5に現れる出力電圧は大きくなり、振動子2が短い場合には検出端子5に現れる出力電圧は小さくなる。
振動子2を長くすることにより振動子2の振幅は大きくなり、検出端子5に現れる出力電圧を大きくすることができるが、振動子2の振幅が大きくなると振動周波数がハードスプリング効果により非線形的に大きくなり、振動式センサの性能が劣化するという問題点があった。
また、振動式センサを小型化するために振動子2の長さを短くした場合、検出端子5に現れる出力電圧が小さくなるため、S/N比が低下するという問題点もあった。
従って本発明が解決しようとする課題は、ダイアフラムと振動子の共振による出力電圧の低下及び振動子を小さくした場合の出力電圧の低下を改善することが可能な振動式センサを実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
振動子に直交する磁界と駆動電流により生じるローレンツ力により前記振動子が励振される振動式センサにおいて、
シリコン基板の一部に形成されたダイアフラムと、このダイアフラムの表面上に設けられ、平行に配置された第1の梁及び第2の梁とこの第1の梁と第2の梁を連結する連結部から成る前記振動子と、前記振動子の前記第1の梁の一端及び前記第2の梁の一端にそれぞれ接続された駆動端子と、前記振動子の前記第1の梁の他端及び前記第2の梁の他端にそれぞれ接続された検出端子とを備えたことにより、ダイアフラムと振動子の共振による出力電圧の低下を改善することが可能になる。
請求項2記載の発明は、
請求項1記載の発明である振動式センサにおいて、
前記連結部が、
前記第1の梁及び前記第2の梁の長手方向のそれぞれの中央部より前記駆動端子側に設けられたことにより、振動子を小さくした場合の出力電圧の低下を改善することが可能になる。
本発明によれば次のような効果がある。
請求項1の発明によれば、振動子の一方の梁と他方の梁が逆相で振動することにより、振動子及びダイアフラムが固定部を介して共振することがなくなり、出力電圧の低下を改善することが可能となる。
請求項2の発明によれば、梁の長手方向の中央部より駆動端子側に連結部が設けられたことにより、振動子の出力電圧が大きくなり、振動子を小さくした場合でも出力電圧の低下を改善することが可能となる。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明に係る振動式センサの一実施例を示す説明図、図2及び図3は振動子の振動の様子を説明する斜視図である。
図1において6は振動子、7は検出端子、8は駆動端子、9は連結部、100aは振動子6に直交するように印加される磁界である。
振動子6は”H字型”、すなわち、平行に配置された2本の梁が連結部9により連結された形をしており、2本の梁の同一方向のそれぞれの一端には駆動端子8が接続され、他端には検出端子7が接続される。
振動子6には磁界100aが直交するように印加され、駆動端子8には一方の梁の一端−連結部9−他方の梁の一端に流れるように交流の駆動電流”i1”が印加される。
このような状況下において、梁にはローレンツ力が発生し、振動子6は図2及び図3に示すように垂直方向に振動を開始する。このとき、振動子6に流れる電流”i1”の向きが一方の梁と他方の梁で逆になるので、図2及び図3に示すように一方の梁と他方の梁は逆相で振動する。
一方、振動子6の2本の梁の同一方向のそれぞれの他端の部分は印加されている磁界100aを上記振動により横切ることになるので誘導起電力である出力電圧が発生する。
この結果、振動子6の一方の梁と他方の梁が逆相で振動することにより、振動子6及びダイアフラムが固定部を介して共振することがなくなり、出力電圧の低下を改善することが可能になる。
図4は本発明に係る振動式センサの他の実施例を示す説明図である。図4において10は振動子、11は検出端子、12は駆動端子、13は連結部、100bは振動子10に直交するように印加される磁界である。
振動子10は”H字型”、すなわち、平行に配置された2本の梁が連結部13により連結された形をしており、2本の梁の同一方向のそれぞれの一端には駆動端子12が接続され、他端には検出端子11が接続される。
振動子10には磁界100bが直交するように印加され、駆動端子12には一方の梁の一端−連結部13−他方の梁の一端に流れるように交流の駆動電流”i2”が印加される。
このような状況下において、梁にはローレンツ力が発生し、振動子10は図1に示す振動子6と同様に一方の梁と他方の梁が逆相となる振動を開始する。
一方、振動子10の2本の梁の同一方向のそれぞれの他端の部分は印加されている磁界100bを上記振動により横切ることになるので誘導起電力である出力電圧が発生する。
ここで、計算式及び図5を用いて連結部13の位置に対する出力電圧の変化について説明する。図5は振動子の連結部の位置に対する出力電圧の特性曲線図である。
材料をシリコン、振動子10の長さを”L”及び振動子10の振動数を”100kHz”として計算を行う。
基礎データとしてシリコンの 密度”ρ”及びヤング率”E”はそれぞれ、
ρ=2.328×10−3kgcm−3 (1)
E=187×10Pa (2)
となる。
振動子10のデータとして振動子10の幅”w”、厚さ”t”、長さ”l”及び断面積”S”はそれぞれ、
w=35×10−4cm (3)
t=1.8×10−4cm (4)
l=0.1cm (5)
S=wt (6)
とする。
また、断面2次モーメント”I”、実測値としてのQ値”Q”及び減衰係数”ζ”はそれぞれ、
I=wt/12 (7)
Q=80000 (8)
ζ=1/2Q (9)
とする。
また、実測値としての円振動数”ω”及び磁束密度”B”はそれぞれ、
ω=100000×2π/S (10)
B=1×10G (11)
とする。
振動子10の振動時の形状を両端固定(張力なし)の梁と同じ形状になると仮定すると、1次振動の固有値”λ”及び固有円振動数”ω”はそれぞれ、
λ=4.73 (12)
Figure 2007046967
となる。
出力電圧が”50uVpp”になるように調整された振動子10の振幅”D”及び係数”β”はそれぞれ、
D=−8.5×10−8m (14)
Figure 2007046967
となる。
また、振動子10の振幅”Y(x)”は梁の駆動端子側からの距離を”x”とすると
Y(x)=D[(-sin(λ)+sinh(λ))(cos(βx)-cosh(βx))+(-cos(λ)+cosh(λ))(-sin(βx)+sinh(βx))] (16)
となる。
上記各式よりピーク値の出力電圧”V(y)”、振動のエネルギー”P”及び振幅の減衰”Y(t)”はそれぞれ、
Figure 2007046967
Figure 2007046967
Figure 2007046967
となる。
また、エネルギーは振幅の2乗に比例するのでエネルギーの減衰率”d/dt・P(t)”は
Figure 2007046967
となる。
単位時間当たりの入力に必要なエネルギー”Pin”はエネルギーの減衰率を励振電流で補えばよいので
in=2ζωP (21)
となる。
入力エネルギー”Pin”はピーク電流による力”BIin”と振幅”Y(x)”の積で求めることができ、共振時には、力に対して変位は90°位相が遅れているので、
Figure 2007046967
より、
Figure 2007046967
となる。
したがって、入力電流”Iin(y)”は
Figure 2007046967
となる。
以上より、振動子10の振幅が一定の時、出力電圧が最大になるように連結部13の位置を計算する。
連結部13の抵抗”RCT”は、振動子のシート抵抗を5.4Ω/□とすると、1aの連結部が4.7シートであるから、25Ωとなる。1a振動用のパターンはねじれに対応するために、クランク状にしたため4.7シートとなっている。通常の形では、1.3シートなので、7Ωとなる。
入力電流”Iin(y)”に連結部の抵抗”RCT”を掛けたものが出力電圧へのクロストークとなる。入力と出力の位相は180°ずれているので、クロストーク分を出力電圧”V(y)”から引けばよい。
CT=25ohm (25)
oCT(y)=V(y)−Iin(y)RCT (26)
したがって、クロストーク分を差し引いた出力電圧”VoCT(y)”が最大になる連結部13の位置は式(25)より
Maximize(VoCT,xcm)=2.522×10−4m (27)
となる。
つまり、連結部13の位置が振動子10の長さの0.25倍の位置の時に出力電圧”VoCT(y)”が最大となる。
また、図5より連結部13の位置”x”と振動子10の長さ”L”の関係が
0.11≦xc/L<0.5
となる時、出力電圧”VoCT(xc)”は”x/L=0.5”の時より大きくなる。
この結果、梁の長手方向の中央部より駆動端子側に連結部が設けられたことにより、振動子の出力電圧が大きくなり、振動子を小さくした場合でも出力電圧の低下を改善することが可能になる。
なお、振動子を用いて歪みを周波数の変化として検出する方式のセンサにおいて、振動子とその固定部の共振による出力低下対策として本発明を適用しても構わない。
また、センサが検出する対象(歪みの発生源)は、圧力だけでなく、温度、湿度、荷重などの様々な物理量を対象としてもよい。
本発明に係る振動式センサの一実施例を示す説明図である。 振動子の振動の様子を説明する斜視図である。 振動子の振動の様子を説明する斜視図である。 本発明に係る振動式センサの他の実施例を示す説明図である。 振動子の連結部の位置に対する出力電圧の特性曲線図である。 従来の振動式センサの一例を示す部分断面斜視図である。 振動子の駆動原理を説明する説明図である。 振動子の振動の様子を説明する斜視図である。 振動子の振動の様子を説明する斜視図である。
符号の説明
1 ダイアフラム
2,6,10 振動子
3 シェル
4,8,12 駆動端子
5,7,11 検出端子
9,13 連結部
100,100a,100b 磁界
101 圧力

Claims (2)

  1. 振動子に直交する磁界と駆動電流により生じるローレンツ力により前記振動子が励振される振動式センサにおいて、
    シリコン基板の一部に形成されたダイアフラムと、
    このダイアフラムの表面上に設けられ、平行に配置された第1の梁と第2の梁及びこの第1の梁と第2の梁を連結する連結部から成る前記振動子と、
    前記振動子の第1の梁の一端及び第2の梁の一端にそれぞれ接続された駆動端子と、
    前記振動子の第1の梁の他端及び第2の梁の他端にそれぞれ接続された検出端子とを備えたことを特徴とする振動式センサ。
  2. 前記連結部が、
    前記振動子の第1の梁及び第2の梁の長手方向のそれぞれの中央部より前記駆動端子側に設けられたことを特徴とする
    請求項1記載の振動式センサ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102507050A (zh) * 2011-10-11 2012-06-20 北京航空航天大学 激励和拾振合一的电热激励-压阻拾振谐振梁压力传感器
RU2601221C1 (ru) * 2015-08-24 2016-10-27 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Резонансный преобразователь давления

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01114730A (ja) * 1987-10-28 1989-05-08 Yokogawa Electric Corp 振動形半導体トランスデューサ
JP2002296130A (ja) * 2001-03-30 2002-10-09 Yokogawa Electric Corp 振動式圧力センサ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01114730A (ja) * 1987-10-28 1989-05-08 Yokogawa Electric Corp 振動形半導体トランスデューサ
JP2002296130A (ja) * 2001-03-30 2002-10-09 Yokogawa Electric Corp 振動式圧力センサ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102507050A (zh) * 2011-10-11 2012-06-20 北京航空航天大学 激励和拾振合一的电热激励-压阻拾振谐振梁压力传感器
RU2601221C1 (ru) * 2015-08-24 2016-10-27 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Резонансный преобразователь давления

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