JP2007042850A - pn接合型化合物半導体発光ダイオード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方の極性のオーミック電極を、開口率を領域により異にして開口部を設けた導電性薄膜から構成する。特に、双方の極性の電極間に在る領域に、開口率を、周辺のその他の領域より大として開口部を設けた導電性薄膜を配置してオーミック電極を構成する。また、他方の極性の電極に近接する領域に、間口率を特に小とする導電性薄膜を配置してオーミック電極を構成する。さらに一方の台座電極と他方の電極とを結ぶ帯状部分の領域の開口率を他の領域より大きくする。
【選択図】 図1
Description
本発明の目的は、電極間での素子駆動電流の短絡的で集中的な流通を回避して、外部への発光の取り出しを妨げることなく、尚且つ、静電耐圧に優れるpn接合型化合物半導体発光素子を提供することにある。
(1)第1の伝導型の導電層と、発光層と、第2の伝導型の導電層と、発光層からの発光を外部に取り出す方向に在る一方のオーミック(Ohmic)電極と、これに対向する他方のオーミック電極とを有し、前記一方のオーミック電極を開口部を有する導電性薄膜で構成したpn接合型化合物半導体発光ダイオードに於いて、前記導電性薄膜の開口部の開口率が領域により異なるように構成とした、ことを特徴とするpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
(2)上記一方のオーミック電極に、電気的に導通させて結線用の台座電極が設けられている、ことを特徴とする上記(1)に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
(4)上記一方のオーミック電極が、該電極上の台座電極から、上記他方のオーミック電極の方向に向けて開口率を減少させた導電性薄膜から構成されている、ことを特徴とする上記(1)乃至(3)のいずれか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
(6)上記一方のオーミック電極の、上記他方のオーミック電極と近接する領域が、開口率を20%以下とする導電性薄膜から構成されている、ことを特徴とする上記(1)乃至(5)の何れか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
(8)上記導電性薄膜が金属膜である上記(1)乃至(7)の何れか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
(9)上記(1)乃至(8)の何れか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオードと蛍光体とを組合せた発光ダイオード。
(10)上記(9)に記載の発光ダイオードを用いた照明器具。
上記において、一方のオーミック電極が、該電極上の台座電極から、上記他方のオーミック電極の方向に向けて開口率を減少させた導電性薄膜から構成することにより、静電気耐性に優れるpn接合型化合物半導体発光ダイオードを提供できる。
また、本発明に依れば、光の取り出し方向と反対側のオーミック電極に近接する領域に、開口率の特に小さな導電性薄膜を配置した構成では、前記領域の電位を均等化することができ、静電耐圧に優れるpn接合型化合物半導体発光ダイオードを提供できる。
緑色帯の光を発する量子井戸構造の発光層は、また、ZnSe1−QSQ(0≦Q≦1)等のII−VI族化合物半導体材料からも構成できる。
上記の様な導電性薄膜から構成したオーミック電極の一部の領域上には、素子駆動電流を供給するための導線を結線するための台座(pad)電極を設ける。台座電極は、合計の層厚を0.5μm以上で5μm以下とする金属材料の厚膜から構成する。金属薄膜を多層に重層させて台座電極を構成する場合、表面は、結線を容易になすため、金(Au)またはその合金膜から構成するのが好ましい。台座電極は、導電性薄膜からなるオーミック電極に電気的に接触させて設ける。
開口率を領域により異にする構成は、例えば、開口率を異にする形状が描画されているフォトマスクを利用して、公知のフォトリソグラフィー技術に依り、フォトレジスト材料をパターンニングし、選択エッチングを施せば同一の金属材料から簡便に形成できる。
本発明の発光ダイオードにおいて、一方の電極に対向する他方のオーミック電極、台座電極(オーミック電極を兼ねても良い)としては Ti、Zr、W、Mo、Cr、Al、Ni、Au、Sn、などおよびその合金や積層構造などが用いられる。最表面層は、ボンディング性を良くするため、AuかAlとすることが望ましい。
一方の極性の電極と、他方の極性の電極との間に在る平面領域に、開口率を他の周辺領域より大として設けた開口部は、結果として金属膜の接続部の幅を縮小させ、従って、電極間の素子駆動電流の短絡的な通流を阻止する作用をもたらす。
窒化物系化合物半導体からなる青色発光素子を以下のとおり作製した。
サファイア基板上にAlN層を介してアンドープGaNからなる厚さ4μmの下地層、Geドープ(濃度1×1019/cm3)GaNからなる厚さ2μmのn側コンタクト層、Siドープ(濃度1×1018/cm3)In0.1Ga0.9Nからなる厚さ12.5nmのn側クラッド層、GaNからなる厚さ16nmの障壁層とIn0.2Ga0.8Nからなる厚さ2.5nmの井戸層を交互に5回積層させた後、最後に障壁層を設けた多重量子井戸構造の発光層、Mgドープ(濃度1×1020/cm3)Al0.07Ga0.93Nからなる厚さ2.5nmのp側クラッド層およびMgドープ(濃度8×1019/cm3)Al0.02Ga0.98Nからなる厚さ0.16μmのp側コンタクト層を順次積層して窒化物系化合物半導体積層構造を形成した。
続いて、公知のフォトリソグラフィー技術を用い、半導体側からAu/Ti/Al/Ti/Au層構造よりなる正極ボンディング用パッドを形成した。
実施例と同じ積層構造のウエーハを用い、積層の構造は同じとしてp層のほぼ全面を均一に覆うようにp側電極を形成するようにパターンを変更して素子を作製した。n電極のパターンや積層構造は実施例と同じとした。
更に、静電耐圧測定(ESD)においては、2000V以上示したのは面内20点中3点のみであった。
またこの発光ダイオードと蛍光体とを組み合わせて、白色光等の発光ダイオードとして自動車のヘッドランプ、またはスポットライトや天井灯、街灯などの照明器具等に利用できる。
11 開口部
12 開口部を設けたオーミック電極上の台座電極
13 他方の極性のオーミック電極
Claims (10)
- 第1の伝導型の導電層と、発光層と、第2の伝導型の導電層と、発光層からの発光を外部に取り出す方向に在る一方のオーミック(Ohmic)電極と、これに対向する他方のオーミック電極とを有し、前記一方のオーミック電極を開口部を有する導電性薄膜で構成したpn接合型化合物半導体発光ダイオードに於いて、前記導電性薄膜の開口部の開口率が領域により異なるように構成とした、ことを特徴とするpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
- 上記一方のオーミック電極に、電気的に導通させて結線用の台座電極が設けられている、ことを特徴とする請求項1に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
- 上記一方のオーミック電極上に設けられた台座電極の周辺と上記他方のオーミック電極の周辺で導電性薄膜の開口率が異なっている、ことを特徴とする請求項1または2に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
- 上記一方のオーミック電極が、該電極上の台座電極から、上記他方のオーミック電極の方向に向けて開口率を減少させた導電性薄膜から構成されている、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
- 上記一方のオーミック電極が、該電極上の台座電極と、上記他方のオーミック電極との間を結ぶ帯状の領域での開口率を、その他の領域より大とした導電性薄膜から構成されている、ことを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
- 上記一方のオーミック電極の、上記他方のオーミック電極と近接する領域が、開口率を20%以下とする導電性薄膜から構成されている、ことを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
- 上記一方のオーミック電極が、発光層からの発光を透過できる導電性薄膜から構成されている、ことを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
- 上記導電性薄膜が金属膜である請求項1乃至7の何れか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオード。
- 請求項1乃至8の何れか1項に記載のpn接合型化合物半導体発光ダイオードと蛍光体とを組合せた発光ダイオード。
- 請求項9に記載の発光ダイオードを用いた照明器具。
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