JP2007040714A - 光学測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】反射率の低い測定対象物における測定時間の短縮を図ることが可能な光学測定装置を提供すること。
【解決手段】光学測定装置10は、波長選択手段と感度変更手段を備える。波長選択手段は、光源21から受光素子41までの光路上に配置され通過する光の波長を選択する波長選択部22により構成されている。受光素子41にはバイアス電圧Vbが供給され、該受光素子41はそのバイアス電圧Vbに応じた受光感度にて入射光に応じたレベルを持つ受光信号S3を出力する。そして、測定部26は、受光信号S3のレベルが計測レベルよりも低い場合には感度変更部44によりバイアス電圧Vbを変更する。
【選択図】 図1
【解決手段】光学測定装置10は、波長選択手段と感度変更手段を備える。波長選択手段は、光源21から受光素子41までの光路上に配置され通過する光の波長を選択する波長選択部22により構成されている。受光素子41にはバイアス電圧Vbが供給され、該受光素子41はそのバイアス電圧Vbに応じた受光感度にて入射光に応じたレベルを持つ受光信号S3を出力する。そして、測定部26は、受光信号S3のレベルが計測レベルよりも低い場合には感度変更部44によりバイアス電圧Vbを変更する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光学測定装置に係り、詳しくは共焦点を利用して測定対象物の位置変位を測定する光学測定装置に関するものである。
従来、被測定物体の位置変位等を測定する光学測定装置として、共焦点を利用した変位測定を行う装置がある(例えば、特許文献1参照)。この光学測定装置は、光源から照射される複数の波長を含む光を、色収差を有する対物レンズを含む光学系により各波長の光の焦点位置を距離方向において異ならせ、測定対象物の反射光を分光し、各分光をイメージセンサなど蓄積型の複数の受光素子で受光し、強度の一番強い波長が焦点を結ぶ焦点位置を測定対象物(反射面)の位置とする。
特開平08−211296号公報
ところで、反射率が低い測定対象物の場合、受光素子に入射する光量、即ち受光量が少ないため、測定不能になる。受光量の不足を補うため、受光素子における蓄積量を多くする、つまり蓄積時間を長くする方法がある。即ち、1回目の計測で感度が不足た場合、1回目の測定結果に応じて調整した蓄積時間にて2回目の計測を実施する。蓄積時間は感度上昇率に比例するため、感度を高くするほど計測時間が長くなる。このため、1回目の受光量によって2回目の蓄積時間、即ち測定時間が変わるため、反射率の低い測定対象物ほど測定時間が長くなってしまうという問題がある。
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、反射率の低い測定対象物における測定時間の短縮を図ることができる光学測定装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、複数の異なる波長を含む光を出射する投光手段と、少なくとも光学的収差を持つ対物レンズを含み前記投光手段からの光を測定対象物に向けて集光させる集光手段と、前記測定対象物からの反射光を分岐する分岐手段と、前記分岐手段により分岐された光を受光する受光手段と、前記投光手段から前記受光手段までの光路上に配置され前記受光手段に入射される光の波長を選択する波長選択手段と、前記波長選択手段により選択された光に対する選択波長情報と前記受光手段の受光量に基づいて、測定対象物の光軸方向における距離を測定する測定手段と、前記受光手段の受光感度を変更する感度変更手段と、を備えたものである。
従って、この構成によれば、1回目の測定において受光感度が不足していた場合、受光素子の受光感度を変更することで、2回目の測定により測定対象物の距離を測定することができる。その2回目の測定は、受光素子の受光感度が変更されているため、1回目の測定と同程度の時間にて測定が終了する。このため、蓄積型の受光手段を備える構成に比べて、受光量が少ない場合における測定時間が短縮される。
請求項2に記載の発明は、請求項1記載の光学測定装置において、前記受光手段は単一の非電荷蓄積型の受光素子から構成され、前記感度変更手段は、前記受光素子の受光感度を変更するものである。従って、この構成によれば、受光手段は非電荷蓄積型である受光素子であるため、容易に短時間で受光感度を変更することができる。
請求項3に記載の発明は、請求項1記載の光学測定装置において、前記受光手段は互いに受光感度が異なる複数の非電荷蓄積型の受光素子から構成され、前記各受光素子には、前記分岐手段により分岐された分岐光が分割して入射され、前記感度変更手段は、前記複数の受光素子のうちの1つを選択することで前記受光手段に入射される光に対する実効的な受光感度を変更するものである。
従って、この構成によれば、受光手段は非電荷蓄積型の受光素子であるため、短時間で容易に受光感度を変更することができる。更に、異なる受光感度の受光素子にて光を同時に受光するため、測定対象物の反射率に応じて選択した受光信号により1回分の測定時間により測定対象物の距離が測定される。
請求項4に記載の発明は、請求項2又は請求項3に記載の光学測定装置において、前記受光素子は、アバランシェフォトダイオードである。従って、この構成によれば、アバランシェフォトダイオードは一般的に用いられ価格も低いため、受光素子を容易に準備することができるとともに、光学測定装置のコスト上昇をおさえることができる。
請求項5に記載の発明は、複数の異なる波長を含む光を出射する投光手段と、少なくとも光学的収差を持つ対物レンズを含み前記投光手段からの光を測定対象物に向けて集光させる集光手段と、前記測定対象物からの反射光を分岐する分岐手段と、前記分岐手段により分岐された光を受光する受光手段と、前記投光手段から前記受光手段までの光路上に配置され前記受光手段に入射される光の波長を選択する波長選択手段と、前記波長選択手段により選択された波長に対する選択波長情報と前記受光手段の受光量に基づいて、測定対象物の光軸方向における距離を測定する測定手段と、前記投光手段から出射される出射光量を変更して前記受光手段の受光感度を相対的に変更する感度変更手段を備えたものである。
従って、この構成によれば、1回目の測定において受光感度が不足していた場合、投光手段から出射される出射光量を変更して受光手段の受光感度を相対的に変更することで、2回目の測定により測定対象物の距離を測定することができる。その2回目の測定は、受光手段の受光感度が相対的に変更されているため、1回目の測定と同程度の時間にて測定が終了する。このため、蓄積型の受光手段を備える構成に比べて、受光量が少ない場合における測定時間が短縮される。
請求項6に記載の発明は、請求項1〜請求項5のうちの何れか一項に記載の光学測定装置において、前記波長選択手段は、透過光の波長が互いに異なる複数のフィルタを有するフィルタ板と、該フィルタ板を前記複数のフィルタの配列方向に沿って移動させる駆動部と、から構成されたものである。
従って、この構成によれば、透過光の波長が互いに異なる複数のフィルタを有するフィルタ板を移動させることで、容易に透過光の波長が変更され、それにより測定対象物に向かって集光される光の焦点が容易に変更される。
請求項7に記載の発明は、請求項1〜請求項5のうちの何れか一項に記載の光学測定装置において、前記波長選択手段は、所定の方向に沿って延びるように形成され、該形成方向に沿って透過光の波長が連続的に変化するように形成された1つのフィルタを有するフィルタ板と、該フィルタ板を前記フィルタの形成方向に沿って移動させる駆動部と、から構成されたものである。
従って、この構成によれば、透過光の波長を連続的に変更するように構成されたフィルタを有するフィルタ板を移動させることで、容易に透過光の波長が連続的に変更され、それにより測定対象物に向かって集光される光の焦点が容易に連続的に変更される。
請求項8に記載の発明は、請求項1〜請求項7のうちの何れか一項に記載の光学測定装置において、前記測定手段は、基準閾値を有し、前記受光手段からの受光信号のレベルが前記基準閾値に満たない場合には前記感度変更手段により前記受光手段の感度を調整して再度測定を行うようにした。
従って、この構成によれば、受光信号のレベルが基準閾値よりも大きい場合には1回の測定により測定対象物までの距離を測定することができるため、測定時間が短縮される。
請求項9に記載の発明のように、前記測定手段は、基準閾値を有し、前記受光手段からの受光信号のレベルが前記基準閾値に満たない場合には、前記感度変更手段により前記受光手段に入射される各波長の光に対応する受光信号のうちの最小値を前記基準閾値以上とするように前記受光手段の感度を調整して再度測定を行う。
請求項9に記載の発明のように、前記測定手段は、基準閾値を有し、前記受光手段からの受光信号のレベルが前記基準閾値に満たない場合には、前記感度変更手段により前記受光手段に入射される各波長の光に対応する受光信号のうちの最小値を前記基準閾値以上とするように前記受光手段の感度を調整して再度測定を行う。
請求項10に記載の発明によれば、請求項1〜請求項9のうちの何れか一項に記載の光学測定装置において、前記投光手段は、複数の異なる波長を含む光として白色光を出射するものである。従って、この構成によれば、発振波長が互いに異なる複数の光源を用意する必要が無く、容易に測定を行うことができる。また、発振波長が異なる複数の光源の場合、光軸を一致させる光学系の作成は難しいが、1つの白色光源を用いることで、光軸を一致させる必要が無く、容易に光学系を構成することができる。
以上記述したように、本発明によれば、反射率の低い測定対象物における測定時間の短縮を図ることが可能な光学測定装置を提供することができる。
(第1の実施の形態)
以下、本発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。
図1(a)に示すように、本実施の形態の光学測定装置は、測定対象物Wの位置変位又は表面変位を測定するものである。
以下、本発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。
図1(a)に示すように、本実施の形態の光学測定装置は、測定対象物Wの位置変位又は表面変位を測定するものである。
光学測定装置10は、載置テーブル11と、変位測定部12とを備えている。変位測定部12は、載置テーブル11上に載置された測定対象物Wに対して光を照射し、該測定対象物Wの反射光を受光し該反射光に基づいて測定対象物Wの位置変位又は表面変位を測定する。
変位測定部12の構成を、光の進路に従って説明する。
変位測定部12は、測定対象物Wに照射する光を出射する投光手段としての光源21を備えている。光源21は、複数の異なる波長を含む光(例えば白色光)を出射する。光源21から出射された光は、波長選択手段としての波長選択部22と集光手段としての集光部23を介して測定対象物Wに照射される。
変位測定部12は、測定対象物Wに照射する光を出射する投光手段としての光源21を備えている。光源21は、複数の異なる波長を含む光(例えば白色光)を出射する。光源21から出射された光は、波長選択手段としての波長選択部22と集光手段としての集光部23を介して測定対象物Wに照射される。
波長選択部22は、フィルタ板22aと駆動手段としての駆動部22bとから構成されている。図1(b)に示すように、フィルタ板22aは、保持板31と、該保持板31に保持された複数(本実施形態では6個)のフィルタ32a〜32fとを備えている。フィルタ32a〜32fは直線状に配列されている。駆動手段としての駆動部22bは、保持板31をフィルタ32a〜32fの配列方向(図において左右方向)に移動させ、各フィルタ32a〜32fを選択的に光軸L1に配置する。各フィルタ32a〜32fは、それぞれ異なる透過帯域特性を持つフィルタ(バンドパスフィルタ)である。従って、波長選択部22は、各フィルタ32a〜32fを選択的に光軸L1上に配置することで、光源21から出射される光から任意の波長を選択し、該波長の光を透過させる、つまり透過する光の波長を選択的に変更する。また、波長選択部22は、フィルタ板22aの移動位置、つまり選択的に透過する光の波長の情報(選択波長情報)S1を出力する。
集光部23は、コリメータレンズ23aと対物レンズ23bを備えている。コリメータレンズ23aは、光源21から出射され光軸L1に対して所定の角度にて広がる光を平行光に変更する。対物レンズ23bは、光源21から出射される光に含まれる複数の波長に対して光学的収差(色収差、より詳しくは光学的軸上色収差)を持つレンズであり、図に実線,破線等で示すように、波長に応じた焦点にて光を集光する。
即ち、集光部23は、波長選択部22により選択された光の波長に応じた焦点にて光を集束する。そして、その光の焦点は、光の波長、即ち波長選択部22における波長選択情報に対応する。従って、波長選択部22及び集光部23は、光の焦点を移動させる焦点移動手段を構成する。
測定対象物Wにて反射した光(反射光)は、該測定対象物Wに照射される光(照射光)の光軸L1とほぼ同じ方向の経路を進行する。集光部23と波長選択部22との間には光分岐手段としてのビームスプリッタ24が配置されている。ビームスプリッタ24は、反射光を照射光の光軸L1と異なる軸方向(本実施形態では光軸L1に対して直交する光軸L2の方向)に分岐するように配置されている。
光軸L2上には、受光手段としての受光部25が配置されている。受光部25は、受光素子41と、受光素子41の受光面の前方に配置されたピンホール板42と、受光素子41にバイアス電圧を供給するバイアス供給部43とを備えている。
受光素子41は単一のフォトダイオード(例えばアバランシェフォトダイオード)であり、供給されるバイアス電圧Vbに応じた受光感度を持つ。ピンホール板42には所定径のピンホールが形成され、ピンホール板42はそのピンホールの中心が光軸L2と一致するように配置されている。
バイアス供給部43は、高電位電源Vddと低電位電源(本実施形態ではグランドGND)との間に直列接続された固定抵抗R1及び可変抵抗Vrと、該可変抵抗Vrの抵抗値を制御する感度変更部44とを備えている。感度変更部44は、後述する測定部26から入力される制御信号S2に基づいて可変抵抗Vrの抵抗値を制御する。従って、固定抵抗R1及び可変抵抗Vrは、高電位電源VddとグランドGNDとの間の電位差をそれぞれの抵抗値により分圧した分圧電圧を生成する。この分圧電圧がバイアス電圧Vbとして受光素子41に供給される。そして感度変更部44が可変抵抗Vrの抵抗値を制御することは、分圧電圧の電圧値、即ちバイアス電圧Vbの電圧値を制御することとなる。つまり、バイアス供給部43は、受光素子41に供給するバイアス電圧Vbの電圧値を制御信号S2に基づいて変更する。
受光素子41は、受光量及びバイアス電圧Vbに応じたレベルの受光信号S3を出力する。尚、集光部23による収束光が測定対象物Wの測定面(本実施形態では表面)で焦点を結ぶと、その反射光がピンホール板42のピンホール位置で結像し、受光素子41での受光量が最大となる。一方、集光部23を透過した収束光が測定対象物Wの測定面に焦点を結んでいないときには、その反射光の受光量は著しく少なくなる。
測定手段としての測定部26は、駆動部22bからの選択波長情報S1と、受光素子41からの受光信号S3を入力し、選択波長情報S1と受光信号S3とに基づいて、測定対象物Wの位置変位又は表面変位(測定対象物Wの光軸L1方向における距離)を測定する。詳しくは、測定部26は、受光信号S3のレベルを監視し、該レベルが最も高い(受光素子41における受光量が最も多い)時の選択波長情報S1により、受光素子41における受光強度が最も強い周波数を検出する。上記したように、受光素子41における受光強度が最も強い場合、光源21から出射された光は、測定対象物Wの測定面にて収束される、つまり測定面で焦点が結ばれている。従って、測定部26は、測定面で焦点が結ばれている光の波長により、測定対象物Wの位置変位又は表面変位(測定対象物Wの光軸L1方向における距離)を測定する。
また、測定部26は、受光信号S3に基づいて、受光素子41における受光量が少ない場合、受光素子41における受光感度を変更するべく制御信号S2を感度変更部44に出力する。測定部26は、受光信号S3のレベルを監視し、この受光信号S3の最大値が予め定めた計測レベル(基準閾値)より低い場合に受光量が少ないと判断する。そして、測定部26は、受光量が少ない1回目の測定における受光信号S3のレベルの最大値が計測レベル以上となるように制御信号S2を出力する。例えば、測定部26は、受光信号S3の最大値と計測レベルとの差を持つ受光信号S3を出力し、感度変更部44はその受光信号S3に応じて可変抵抗Vrの抵抗値を大きくする。これにより、バイアス電圧Vbの電位が高くなり、受光素子41の受光感度が高くなって受光信号S3のレベルが高くなる。
光学測定装置10は、感度変更部44による受光素子41の感度調整が終了した後、2回目の測定を行う。この時、受光素子41の感度調整が終了しており、受光信号S3の最大値は、計測可能なレベルの範囲内(計測レベル以上)である。従って、測定部26は、受光信号S3と選択波長情報S1とに基づき、測定対象物Wの測定面で焦点を結ぶ光の波長を測定する。
以上記述したように、本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
(1)光学測定装置10は、波長選択手段と感度変更手段を備える。波長選択手段は、光源21から受光素子41までの光路上に配置され通過する光の波長を選択する波長選択部22により構成されている。受光素子41にはバイアス電圧Vbが供給され、該受光素子41はそのバイアス電圧Vbに応じた受光感度にて入射光に応じたレベルを持つ受光信号S3を出力する。そして、測定部26は、受光信号S3のレベルが計測レベルよりも低い場合には感度変更部44によりバイアス電圧Vbを変更するようにした。従って、1回目の測定において受光感度が不足していた場合、受光素子41に供給するバイアス電圧Vbを制御して該受光素子41の受光感度を変更することで、2回目の測定により測定対象物Wの距離を測定することができる。その2回目の測定は、受光素子41の受光感度が変更されているため、1回目の測定と同程度の時間にて測定が終了する。このため、蓄積型の受光手段を備える構成に比べて、受光量が少ない場合における測定時間を短縮することができる。
(1)光学測定装置10は、波長選択手段と感度変更手段を備える。波長選択手段は、光源21から受光素子41までの光路上に配置され通過する光の波長を選択する波長選択部22により構成されている。受光素子41にはバイアス電圧Vbが供給され、該受光素子41はそのバイアス電圧Vbに応じた受光感度にて入射光に応じたレベルを持つ受光信号S3を出力する。そして、測定部26は、受光信号S3のレベルが計測レベルよりも低い場合には感度変更部44によりバイアス電圧Vbを変更するようにした。従って、1回目の測定において受光感度が不足していた場合、受光素子41に供給するバイアス電圧Vbを制御して該受光素子41の受光感度を変更することで、2回目の測定により測定対象物Wの距離を測定することができる。その2回目の測定は、受光素子41の受光感度が変更されているため、1回目の測定と同程度の時間にて測定が終了する。このため、蓄積型の受光手段を備える構成に比べて、受光量が少ない場合における測定時間を短縮することができる。
(2)波長選択部22は、透過光の波長が互いに異なる複数のフィルタ32a〜32fを有するフィルタ板22aと、該フィルタ板22aを複数のフィルタ32a〜32fの配列方向に沿って移動させる駆動部22bと、から構成されている。従って、フィルタ板22aを移動させることで、容易に透過光の波長が変更され、それにより測定対象物Wに向かって集光される光の焦点が容易に変更することができる。
(第2の実施の形態)
以下、本発明を具体化した第2の実施の形態を図面に従って説明する。
尚、本実施の形態において、第1の実施の形態と同じ構成部材については同じ符号を付し説明を省略する。
以下、本発明を具体化した第2の実施の形態を図面に従って説明する。
尚、本実施の形態において、第1の実施の形態と同じ構成部材については同じ符号を付し説明を省略する。
図2に示すように、光学測定装置50は、載置テーブル11と、変位測定部52とを備えている。変位測定部52は、載置テーブル11上に載置された測定対象物Wに対して光を照射し、該測定対象物Wの反射光を受光し該反射光に基づいて測定対象物Wの位置変位又は表面変位を測定する。
変位測定部52の構成を、光の進路に従って説明する。
変位測定部52は、測定対象物Wに照射する光を出射する投光手段としての光源61を備えている。光源61は、複数の異なる波長を含む光(例えば白色光)を出射する。また、光源61は、制御信号S2に応答して出射光の光量を変更する機能を有している。
変位測定部52は、測定対象物Wに照射する光を出射する投光手段としての光源61を備えている。光源61は、複数の異なる波長を含む光(例えば白色光)を出射する。また、光源61は、制御信号S2に応答して出射光の光量を変更する機能を有している。
光源61から出射された光は、波長選択手段としての波長選択部22を介して分岐手段としての光カプラ62に入射される。
光カプラ62は、第1ファイバ62aと、第2ファイバ62bと、第1ファイバ62aを通過する光を第2ファイバ62bに分岐するべく第1ファイバ62aと第2ファイバ62bとを結合する結合部62cとから構成されている。
光カプラ62は、第1ファイバ62aと、第2ファイバ62bと、第1ファイバ62aを通過する光を第2ファイバ62bに分岐するべく第1ファイバ62aと第2ファイバ62bとを結合する結合部62cとから構成されている。
波長選択部22を通過した光は、第1ファイバ62aに入射され、該第1ファイバ62aを通過した光が集光部23を介して測定対象物Wに照射される。測定対象物Wからの反射光は、先ず第1ファイバ62aに入射され、結合部62cにおいて第1ファイバ62aから第2ファイバ62bに分岐される。
第2ファイバ62bの先端には受光手段としての光電子増倍管63が接続されている。光電子増倍管63は、入射光を増幅した電気信号に変換し、該電気信号を受光信号S3として出力する。
測定部64は、駆動部22bからの選択波長情報S1と、光電子増倍管63からの受光信号S3を入力し、選択波長情報S1と受光信号S3とに基づいて、測定対象物Wの位置変位又は表面変位(測定対象物Wの光軸L1方向における距離)を測定する。
また、測定部64は、受光信号S3に基づいて、光電子増倍管63における入射光量が少ない場合、光電子増倍管63における入射光量を増加するべく制御信号S2を光源61に出力する。測定部64は、受光信号S3のレベルを監視し、この受光信号S3の最大値が予め定めた計測レベル(しきい値)より低い場合に入射光量が少ないと判断する。そして、測定部64は、入射光量が少ない1回目の測定における受光信号S3のレベルの最大値が計測レベル以上となるように制御信号S2を出力する。例えば、測定部64は、受光信号S3の最大値と計測レベルとの差を持つ受光信号S3を出力し、光源61はその受光信号S3に応じて出射光量を増加させる。これにより、光電子増倍管63における入射光量、即ち受光感度が高くなって受光信号S3のレベルが高くなる。
光学測定装置50は、測定部64及び光源61による出射光量の調整、即ち光電子増倍管63の感度調整が終了した後、2回目の測定を行う。この時、光電子増倍管63の感度調整が終了しており、受光信号S3の最大値は、計測可能なレベルの範囲内(計測レベル以上)である。従って、測定部64は、受光信号S3と選択波長情報S1とに基づき、測定対象物Wの測定面で焦点を結ぶ光の波長を測定する。
以上記述したように、本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
(1)光学測定装置50は、1回目の測定において受光感度が不足していた場合、光源61の出射光量を変更して光電子増倍管63の受光感度を相対的に変更するようにした。従って、2回目の測定により測定対象物Wの距離を測定することができる。その2回目の測定は、光電子増倍管63の受光感度が相対的に変更されているため、1回目の測定と同程度の時間にて測定が終了する。このため、蓄積型の受光手段を備える構成に比べて、受光量が少ない場合における測定時間が短縮される。
(1)光学測定装置50は、1回目の測定において受光感度が不足していた場合、光源61の出射光量を変更して光電子増倍管63の受光感度を相対的に変更するようにした。従って、2回目の測定により測定対象物Wの距離を測定することができる。その2回目の測定は、光電子増倍管63の受光感度が相対的に変更されているため、1回目の測定と同程度の時間にて測定が終了する。このため、蓄積型の受光手段を備える構成に比べて、受光量が少ない場合における測定時間が短縮される。
(2)反射光を分岐する分岐手段を光カプラ62により構成し、分岐光が通過する第2ファイバ62bの先端を光電子増倍管63に接続した。従って、第1の実施の形態のように、ビームスプリッタ24にて分岐された分岐光の光軸L2と、ピンホール板42のピンホールの中心を一致させる必要が無く、それらの位置ずれを考慮する必要がないため、安定して測定を行うことができる。
尚、上記各実施の形態は、以下の態様で実施してもよい。
・上記各実施の形態において、波長選択部22の構成を適宜変更しても良い。例えば、図3(a)に示す波長選択部71とする。この波長選択部71は、図3(b)に示すように、円盤状に形成されたフィルタ板72と、該フィルタ板72を回転駆動する駆動部73とから構成される。駆動部73は、例えばモータよりなる。フィルタ板72は、円周方向に沿って配列された複数のフィルタ32a〜32fを有している。尚、フィルタ板22a,72において、フィルタの数を適宜変更しても良い。
・上記各実施の形態において、波長選択部22の構成を適宜変更しても良い。例えば、図3(a)に示す波長選択部71とする。この波長選択部71は、図3(b)に示すように、円盤状に形成されたフィルタ板72と、該フィルタ板72を回転駆動する駆動部73とから構成される。駆動部73は、例えばモータよりなる。フィルタ板72は、円周方向に沿って配列された複数のフィルタ32a〜32fを有している。尚、フィルタ板22a,72において、フィルタの数を適宜変更しても良い。
・上記各実施の形態において、フィルタ板22a,72は透過波長が異なる複数のフィルタ32a〜32fを備える構成としたが、透過光の波長を連続的に変更する構成としてもよい。例えば、図4(a)に示すように、円盤状に形成されたフィルタ板81は、その周方向に沿って透過光の波長が連続的に変化するように形成されたフィルタ82を有している。また、図4(b)に示すように、長方形板状に形成されたフィルタ板83は、その長手方向(移動方向)に沿って透過光の波長が連続的に変化するように形成されたフィルタ84を有している。これらフィルタ板81,83を備えることで、測定対象物Wに照射する光の波長を連続的に変更する、つまり光の焦点位置を光軸L1方向に沿って連続的に変更することができる。
尚、駆動部にステッピングモータ等の駆動ステップを有するアクチュエータにてフィルタ板を移動させる場合、その移動方向に沿って駆動ステップの幅を持つフィルタを隣接配列して構成されたフィルタ板を用いても良い。また、透過波長が異なる複数の波長板を移動方向に沿って隣接配列したフィルタ板であっても、各フィルタの幅と駆動ステップにより、透過する光の波長が連続的に変化するものであればよい。また、フィルタに当る光のスポット径と駆動ステップとにより、駆動ステップがスポット径と同じ、又は駆動ステップがスポット径よりも小さい(即ち光が透過する領域がステップ的に移動するフィルタの各ステップにおいて重なり合う)ものであってもよい。
・上記第2の実施の形態において、光電子増倍管63に替えて第1の実施の形態の受光部25を備える構成としてもよい。
・上記各実施の形態では、コリメータレンズ23a及び対物レンズ23bにより集光手段を構成したが、対物レンズのみ、又は3枚以上のレンズ群により集光手段を構成しても良い。
・上記各実施の形態では、コリメータレンズ23a及び対物レンズ23bにより集光手段を構成したが、対物レンズのみ、又は3枚以上のレンズ群により集光手段を構成しても良い。
・上記各実施の形態では、波長選択部22,71を、光源21,61と分岐手段(ビームスプリッタ24,光カプラ62)との間に配置したが、光源21,61から受光手段としての受光部25、光電子増倍管63との間の光路上に配置されていればよい。
・上記第1の実施の形態では、単一の受光素子41に供給するバイアス電圧Vbを変更することで受光感度を変更する構成としたが、その他の構成により受光感度を変更するようにしてもよい。例えば、図5(a)に示す受光部91とする。この受光部91は、受光素子91を備えている。この受光素子91は、図5(b)に示すように、複数(図において4つ)の受光素子91a,91b,91c,91dから構成され、各受光素子91a〜91dはそれぞれ異なる受光感度に設定されている。例えば、第1受光素子91aの受光感度を基準(X1)とした場合、第2受光素子91bの受光感度は第1受光素子91aの受光感度の2倍(X2)、第3受光素子91cの受光感度は第1受光素子91aの受光感度の4倍(X4)、第4受光素子91dの受光感度は第1受光素子91aの受光感度の8倍(X8)に設定されている。そして、図において一点鎖線で示すように、各受光素子91a〜91dに対して同量の光が入射するように設定する。この場合、測定部92は、各受光素子91a〜91dからそれぞれ出力される受光信号のうちの何れか1つを各受光信号のレベルに応じて選択し、その選択した受光信号と波長選択情報とに基づいて測定対象物Wの距離を測定する。即ち、互いに異なる受光感度が設定された複数の受光素子91a〜91dと測定部92とにより受光素子91に入射される光に対する実効的な受光感度を変更する感度変更手段が構成される。受光感度が異なる複数の受光素子91a〜91dにて入射光を同時に検出するため、測定部92は、測定対象物Wの反射率に応じて選択した受光信号により測定対象物Wの距離を測定する。この構成によれば、反射率が低い場合であっても、1回の測定により測定対象物Wの距離を測定することができ、測定時間を短縮することができる。
尚、各受光素子91a〜91dは、図6に示すように、独立した受光素子としてもよい。この場合、各受光素子91a〜91dには、ビームスプリッタ95a〜95dや光カプラなどにより受光部への入射光を分岐して入射する。ビームスプリッタ95a〜95dの反射率やカプラの分岐比を変えることにより各受光素子への異なる量の光を入射することで、実効的な受光感度を変えるようにしてもよい。
・上記各実施形態において、測定部26,64は、受光信号S3の最大値が計測レベル(基準閾値)以上となるように受光感度を変更するようにしたが、受光信号S3の最小値が計測レベル以上となるように受光感度を変更するようにしてもよい。
また、測定部26,64は、基準閾値より低く、最大値と最小値との間のレベルに設定された第2閾値を有し、その第2閾値とほぼ等しい受光信号のレベルが計測レベル以上となるように受光感度を変更するようにしてもよい。
・上記各実施形態において、測定部26,64は、感度調整の結果を保持し、所定のリセット信号又は電源投入などによって感度調整をリセットするようにしてもよい。この場合、測定対象物Wを交換する等した次の測定においてその測定対象物Wの反射率が前の測定の測定対象物Wの反射率と同程度の場合に感度調整を行う必要がなく、1回の測定により測定対象物Wの変位を測定することができ、測定時間を短縮することができる。また、感度調整をリセットすることで、反射率が異なる測定対象物Wの測定を行うことができるようになる。
21,61…光源、22,71…波長選択部、22a,72,81,83…フィルタ板、22b,73…駆動部、23…集光部、23b…対物レンズ、32a〜32f,82,84…フィルタ、24…ビームスプリッタ、25…受光部、26,64…測定部、41…受光素子、62…光カプラ、63…光電子増倍管、W…測定対象物、S3…受光信号。
Claims (10)
- 複数の異なる波長を含む光を出射する投光手段と、
少なくとも光学的収差を持つ対物レンズを含み前記投光手段からの光を測定対象物に向けて集光させる集光手段と、
前記測定対象物からの反射光を分岐する分岐手段と、
前記分岐手段により分岐された光を受光する受光手段と、
前記投光手段から前記受光手段までの光路上に配置され前記受光手段に入射される光の波長を選択する波長選択手段と、
前記波長選択手段により選択された光に対する選択波長情報と前記受光手段の受光量に基づいて、測定対象物の光軸方向における距離を測定する測定手段と、
前記受光手段の受光感度を変更する感度変更手段と、
を備えたことを特徴とする光学測定装置。 - 請求項1記載の光学測定装置において、
前記受光手段は単一の非電荷蓄積型の受光素子から構成され、
前記感度変更手段は、前記受光素子の受光感度を変更することを特徴とする光学測定装置。 - 請求項1記載の光学測定装置において、
前記受光手段は互いに受光感度が異なる複数の非電荷蓄積型の受光素子から構成され、
前記各受光素子には、前記分岐手段により分岐された分岐光が分割して入射され、
前記感度変更手段は、前記複数の受光素子のうちの1つを選択することで前記受光手段に入射される光に対する実効的な受光感度を変更することを特徴とする光学測定装置。 - 請求項2又は請求項3に記載の光学測定装置において、
前記受光素子は、アバランシェフォトダイオードであることを特徴とする光学測定装置。 - 複数の異なる波長を含む光を出射する投光手段と、
少なくとも光学的収差を持つ対物レンズを含み前記投光手段からの光を測定対象物に向けて集光させる集光手段と、
前記測定対象物からの反射光を分岐する分岐手段と、
前記分岐手段により分岐された光を受光する受光手段と、
前記投光手段から前記受光手段までの光路上に配置され前記受光手段に入射される光の波長を選択する波長選択手段と、
前記波長選択手段により選択された波長に対する選択波長情報と前記受光手段の受光量に基づいて、測定対象物の光軸方向における距離を測定する測定手段と、
前記投光手段から出射される出射光量を変更して前記受光手段の受光感度を相対的に変更する感度変更手段と、
を備えたことを特徴とする光学測定装置。 - 請求項1〜請求項5のうちの何れか一項に記載の光学測定装置において、
前記波長選択手段は、透過光の波長が互いに異なる複数のフィルタを有するフィルタ板と、該フィルタ板を前記複数のフィルタの配列方向に沿って移動させる駆動部と、から構成されたことを特徴とする光学測定装置。 - 請求項1〜請求項5のうちの何れか一項に記載の光学測定装置において、
前記波長選択手段は、所定の方向に沿って延びるように形成され、該形成方向に沿って透過光の波長が連続的に変化するように形成された1つのフィルタを有するフィルタ板と、該フィルタ板を前記フィルタの形成方向に沿って移動させる駆動部と、から構成されたことを特徴とする光学測定装置。 - 請求項1〜請求項7のうちの何れか一項に記載の光学測定装置において、
前記測定手段は、基準閾値を有し、前記受光手段からの受光信号のレベルが前記基準閾値に満たない場合には前記感度変更手段により前記受光手段の感度を調整して再度測定を行うことを特徴とする光学測定装置。 - 請求項1〜請求項8のうちの何れか一項に記載の光学測定装置において、
前記測定手段は、基準閾値を有し、前記受光手段からの受光信号のレベルが前記基準閾値に満たない場合には、前記感度変更手段により前記受光手段に入射される各波長の光に対応する受光信号のうちの最小値を前記基準閾値以上とするように前記受光手段の感度を調整して再度測定を行うことを特徴とする光学測定装置。 - 請求項1〜請求項9のうちの何れか一項に記載の光学測定装置において、
前記投光手段は、複数の異なる波長を含む光として白色光を出射することを特徴とする光学測定装置。
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JP2005222090A JP2007040714A (ja) | 2005-07-29 | 2005-07-29 | 光学測定装置 |
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- 2005-07-29 JP JP2005222090A patent/JP2007040714A/ja active Pending
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