JP2007040521A - 電磁駆動装置 - Google Patents

Abstract

【課題】長期間にわたり安定して固定子と可動子との間の摩耗、および移動力の変化が低減される電磁駆動装置を提供する。
【解決手段】可動コア５０の磁性本体５３は、固定コア４１と対向する側に粗面状の壁部５６を形成している。粗面状の壁部５６は不規則な凹凸を形成している。粗面状の壁部５６は、外周側が無電解めっきによるめっき層部５４によって覆われている。めっき層部５４は、さらに潤滑粒子５７を含む潤滑層部５５によって覆われている。可動コア５０の磁性本体５３が形成する粗面状の壁部５６の凹部には、潤滑層部５５に含まれる潤滑粒子５７が蓄えられている。そのため、固定コア４１と可動コア５０との摺動にともない可動コア５０の潤滑層部５５が摩耗しても、固定コア４１と可動コア５０との摺動部分に潤滑粒子５７が補給される。これにより、固定コア４１および可動コア５０は摩耗が低減され、寿命が延長される。
【選択図】図１

Description

本発明は、固定子の内側を固定子に支持されている可動子が移動する電磁駆動装置に関する。

部品点数を低減し、構造を簡素化するため、筒状の固定子の内周側に可動子を直接支持する電磁駆動装置が公知である。このような電磁駆動装置では、コイルへの通電または非通電時における可動子のヒステリシスを低減するため、固定子または可動子の少なくともいずれか一方にコーティング部が設置されている（特許文献１、２参照）。コーティング部は、接触しながら相対移動する固定子と可動子との間を潤滑し、可動子の円滑な移動を確保している。

特開２００１−２６３５２４公報 特開２００２−２２２７１０公報

しかしながら、固定子または可動子にコーティング部を形成する場合、長期間の固定子と可動子との相対移動によってコーティング部は摩耗する。そして、摩耗にともないコーティング部が消滅すると、固定子または可動子の磁性本体が露出する。そのため、コーティング部の消滅によって急激に摩擦係数が増大し、固定子および可動子の摩耗を招く。その結果、可動子の移動抵抗が増大し、ヒステリシスの増大によって制御性の悪化を招いたり、可動子の移動が妨げられるおそれがある。

また、コーティング部の寿命を延長するためにコーティング部の厚さを増大すると、コーティング部の摩耗によって固定子と可動子との間の隙間が拡大する。そのため、可動子の移動力が低下するという問題がある。
そこで、本発明は、長期間にわたり安定して固定子と可動子との間の摩耗、および移動力の変化が低減される電磁駆動装置を提供することにある。

請求項１記載の発明では、固定子または可動子の少なくともいずれか一方は他方と対向する側に粗面状の壁部を有する磁性本体を備えている。磁性本体は、粗面状の壁部と、粗面状の壁部の表層に形成されている微細凹凸部とを有している。微細凹凸部の凸部と凸部との間隔は、凹凸を形成する粗面状の壁部の凸部と凸部との間隔よりも小さく形成されている。すなわち、磁性本体は、固定子または可動子のうちのいずれか他方と対向する面側に、凹凸の凸部と凸部との間隔が大きな粗面状の壁部を有し、その粗面状の壁部の表層に凸部と凸部との間隔が小さな微細凹凸部を有している。そして、磁性本体は、外周側が潤滑粒子を含む潤滑層部によって覆われている。そのため、潤滑粒子を含む潤滑層部は、粗面状の壁部の凹部に充填される。これにより、摩耗によって潤滑層部の一部が減少しても、粗面状の壁部の凹部に充填されている潤滑粒子が固定子と可動子との摺動部分に補給される。その結果、補給された潤滑粒子によって、常に固定子と可動子との摺動部分に極薄膜の潤滑層が形成される。したがって、長期間にわたり安定して固定子と可動子との間の摩耗を低減することができる。また、潤滑層部の一部が減少しても潤滑粒子が補給されるため、潤滑層部の厚さを増大する必要がない。したがって、可動子の移動力は長期間安定して維持することができる。さらに、潤滑粒子は、微細凹凸部の凸部と凸部との間隔より大きく、粗面状の壁部凹凸の凸部と凸部との間隔より小さい。そのため、潤滑粒子は、粗面状の壁部の凹部に蓄えられる一方、微細凹凸部の凹部に入り込まない。そのため、微細凹凸部の凹部には、潤滑粒子を保持する担体部のみが侵入する。その結果、磁性本体と潤滑層部とが接する面積は増大する。したがって、磁性本体と潤滑層部との密着性を向上することができる。

請求項２記載の発明では、磁性本体と潤滑層部との間にはめっき層部を有している。めっき層部は、非磁性の無電解めっきにより形成されている。無電解めっきによりめっき層部を形成することにより、めっき層部は磁性本体の表面形状を反映して形成される。そのため、固定子または可動子を形成する磁性本体を粗面状に形成したとき、無電解めっきによるめっき層部は磁性本体の粗面状の壁部の形状を反映する。その結果、めっき層部を形成する場合でも、潤滑層部の潤滑粒子を蓄える凹部が形成される。また、めっき層部により固定子と可動子との間に非磁性の層を形成することによって、軸に垂直な方向の磁力を低減することができる。したがって、長期間にわたり安定して固定子と可動子との間の摩耗を低減することができる。

請求項３記載の発明では、潤滑層部は潤滑粒子を少なくとも４０質量％以上含んでいる。潤滑粒子は、固定子と可動子との間の摺動部分における摩耗を低減するため、濃度は高いほど望ましい。一方、潤滑粒子の濃度が大きくなると、潤滑層部の形成が困難になる。そのため、潤滑粒子の濃度は下限を４０質量％に設定している。また、潤滑粒子の濃度の上限は、潤滑層部を形成する固定子または可動子の表面の材質、形状あるいは大きさなどによって変化する。したがって、潤滑粒子の濃度の上限は、潤滑層部が形成される程度に可能な限り高く設定すればよい。

以下、本発明の一実施形態による電磁駆動装置を適用したパージバルブを図面に基づいて説明する。
図２に示すパージバルブ１０は、図示しない燃料タンクで蒸発した燃料を処理する蒸発燃料処理装置に適用される。パージバルブ１０は、図示しないキャニスタと吸気通路とを接続するパージ配管に設置されている。パージバルブ１０は、パージ配管を流れる燃料蒸気を含む空気の流量を制御する。

パージバルブ１０は、ハウジングを構成するボディ１２およびカバー１４を備えている。ボディ１２とカバー１４とは、例えば溶着などにより一体に構成されている。ボディ１２とカバー１４とは、内部にパージ通路１６を形成している。
ボディ１２は、樹脂で形成され、入口ポート２１を有している。入口ポート２１は、図示しないキャニスタのパージポートに接続している。カバー１４は、ボディ１２と同様に樹脂で形成され、出口ポート２３を有している。出口ポート２３は、図示しないエンジンの吸気通路に接続している。これにより、ボディ１２およびカバー１４は、入口ポート２１と出口ポート２３との間に図示しないキャニスタと吸気通路とを接続するパージ通路１６を形成している。ボディ１２とカバー１４とが内部に形成するパージ通路１６には、フィルタ２５が設置されている。フィルタ２５は、キャニスタから吸気管へ流れる空気中に含まれる異物を除去する。カバー１４は、弁座２７を形成している。弁座２７は、カバー１４が形成する出口ポート２３の吸気通路とは反対側の端部に設置されている。

パージバルブ１０は、電磁駆動装置３０を備えている。電磁駆動装置３０は、ボディ１２の内側に収容されている。電磁駆動装置３０は、コイル部、固定子としての固定コア４１、可動子としての可動コア５０および弾性部材としてのスプリング３１を備えている。コイル部は、筒状のボビン３２およびボビン３２の外周側に巻かれている巻線３３を有している。巻線３３は、端部がターミナル３４と電気的に接続している。ターミナル３４は、ボディ１２が形成するコネクタ１８に突出している。

固定コア４１は、例えば鉄などの磁性材料により略円筒状に形成されている。固定コア４１は、コイル部のボビン３２の内周側に収容されている。固定コア４１は、軸方向の途中に板厚が小さくなる薄肉部４３を有している。ヨーク４２は、例えば鉄などの磁性材料から形成されている。ヨーク４２は、巻線３３の径方向外側を覆うとともに、軸方向の両端部が固定コア４１と磁気的に接続している。図２に示す場合、ヨーク４２は、紙面の手前側および奥側において巻線３３の外周側を覆っている。これにより、ヨーク４２は、巻線３３の外周側において周方向の一部を覆っている。なお、ヨーク４２は、巻線３３の外周側を周方向へ連続して覆ってもよい。

可動コア５０は、例えば鉄などの磁性材料により固定コア４１と同心の略円筒状に形成されている。可動コア５０は、軸方向の一方の端部に径方向内側に突出する底部５１を有している。底部５１には、シート部材５２が設置されている。シート部材５２は、例えば樹脂などにより形成されている。シート部材５２は、カバー１４が形成する弁座２７に着座可能である。シート部材５２が弁座２７に着座することにより、入口ポート２１と出口ポート２３との間のパージ通路１６は遮断される。これにより、シート部材５２が弁座２７から離座または弁座２７に着座することにより、パージ通路１６は開閉される。

固定コア４１の内側には、ストッパ３５が固定されている。ストッパ３５は、例えば樹脂や非磁性の金属などにより形成されている。ストッパ３５は、軸方向の一方の端部すなわちシート部材５２側の端部がシート部材５２と接触可能である。シート部材５２がストッパ３５と接することにより、シート部材５２を一体に有する可動コア５０はストッパ３５側への移動が規制される。

スプリング３１は、軸方向の一方の端部が可動コア５０の底部５１に接し、他方の端部がストッパ３５に接している。スプリング３１は、軸方向へ伸長する力を有している。これにより、スプリング３１は、可動コア５０を弁座２７方向へ押し付ける。コイル部に通電されていないとき、可動コア５０はスプリング３１の押し付け力により弁座２７側に押し付けられ、シート部材５２は弁座２７に着座している。

可動コア５０は、固定コア４１の内周側に収容されている。そのため、可動コア５０は、固定コア４１に直接支持されつつ軸方向へ移動する。固定コア４１は、軸方向の途中に薄肉部４３を有している。そのため、コイル部への通電時に固定コア４１を流れる磁束は、薄肉部４３で飽和する。一方、可動コア５０は、薄肉部４３の内周側に位置しているため、固定コア４１の薄肉部４３で飽和した磁束は固定コア４１から可動コア５０へ漏れ、可動コア５０を経由して固定コア４１へ流れる。このとき、可動コア５０へ漏れた磁束は、固定コア４１の薄肉部４３の弁座２７とは反対側に位置する厚肉の吸引部４４に流れる。その結果、コイル部への通電時、可動コア５０と固定コア４１との間には磁気吸引力が発生する。可動コア５０と固定コア４１との間に発生する磁気吸引力がスプリング３１の押し付け力よりも大きくなると、可動コア５０は固定コア４１の吸引部４４側へ移動する。

可動コア５０は、図１に示すように磁性本体５３、めっき層部５４および潤滑層部５５を有している。めっき層部５４および潤滑層部５５は、磁性本体５３の固定コア４１側すなわち磁性本体５３の外周側に形成されている。可動コア５０は、外径が固定コア４１の内径と概ね同一またはやや小さく設定されている。そのため、可動コア５０は、固定コア４１の内周側を固定コア４１の内壁に案内されて軸方向へ移動する。その結果、固定コア４１と可動コア５０とは摺動する。

可動コア５０は、磁性本体５３の固定コア４１と対向する側に粗面状の壁部５６を形成している。これにより、磁性本体５３は、固定コア４１の内壁と対向する外周側の壁が不規則な凹凸を有する粗面状に形成されている。磁性本体５３の粗面状の壁部５６は、例えばショット加工など任意の手法により形成することができる。磁性本体５３の粗面状の壁部５６は、めっき層部５４で覆われている。めっき層部５４は、例えばニッケル−リンめっきなどの無電解の硬質めっきにより形成されている。めっき層部５４を無電解めっきで形成することにより、めっき層部５４は凹凸を有する磁性本体５３の粗面状の壁部５６に沿って形成される。したがって、めっき層部５４は、磁性本体５３の粗面状の壁部５６の凹凸形状を反映しつつ形成することができる。

めっき層部５４は、さらに潤滑層部５５によって覆われている。これにより、可動コア５０の磁性本体５３は、粗面状の壁部５６の外周側にめっき層部５４および潤滑層部５５が順に重ねて形成されている。潤滑層部５５は、潤滑粒子５７および潤滑粒子５７を保持する樹脂からなる担体部６０によって形成されている。潤滑粒子５７としては、例えばポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素含有樹脂で形成されている粒子、あるいは硫化モリブデンなどの金属化合物で形成されている粒子など、固体潤滑物質を採用することができる。

潤滑層部５５は、潤滑粒子５７を保持する担体部６０として固形状または半固形状の樹脂や油脂を適用することができる。固形状の担体部６０を用いる場合、潤滑層部５５はめっき層部５４が形成された磁性本体５３に固体の膜として形成される。一方、半固形状の担体部６０を用いる場合、潤滑層部５５はめっき層部５４が形成された磁性本体５３に流動性を有する膜として形成される。固形状の担体部６０としては例えばポリアミドなどの樹脂を適用することができ、半固形状の担体部６０としてはグリースなどの油脂を適用することができる。

めっき層部５４は、磁性本体５３に形成された後、表面に微細な微細凹凸部５８が形成される。めっき層部５４に形成する微細凹凸部５８は、凸部と凸部との間隔が磁性本体５３の粗面状の壁部５６の凹凸の凸部と凸部との間隔に比較して小さい。すなわち、磁性本体５３には、凸部から凸部までの間隔つまり凹凸の周期の大きな粗面状の壁部５６と、この粗面状の壁部５６の表層に沿って凸部から凸部までの間隔つまり周期の小さな微細凹凸部５８とが形成される。めっき層部５４に微細凹凸部５８を形成することにより、潤滑層部５５のめっき層部５４への密着力は向上する。すなわち、めっき層部５４に微細凹凸部５８を形成することにより、めっき層部５４と潤滑層部５５との接触表面積が拡大し、めっき層部５４と潤滑層部５５との密着力が大きくなる。めっき層部５４の不規則な微細凹凸部５８は、例えばショット加工などの任意の手法により形成することができる。

図１に示すように、潤滑層部５５に含まれる潤滑粒子５７の外径Ｄは、微細凹凸部５８の凸部と凸部との間隔ｄ１よりも大きく、粗面状の壁部５６の凹凸の凸部と凸部との間隔Ｄ１よりも小さい。また、潤滑粒子５７の外径Ｄは、粗面状の壁部５６の凹凸の深さＤ２よりも小さい。そのため、潤滑粒子５７は、めっき層部５４が形成された粗面状の壁部５６の凹部に充填されるものの、微細凹凸部５８の凹部に入り込まない。これにより、めっき層部５４を潤滑層部５５で覆ったとき、粗面状の壁部５６の凹部に潤滑層部５５の潤滑粒子５７が蓄えられる。一方、微細凹凸部５８の凹部には、潤滑粒子５７が入り込まない。そのため、微細凹凸部５８の凹部には、潤滑層部５５のうち担体部６０のみが充填される。その結果、担体部６０とめっき層部５４とは、微細凹凸部５８において潤滑粒子５７によって妨げられることなく密着する。したがって、めっき層部５４と潤滑層部５５との密着性を高めることができる。

潤滑層部５５は、４０質量％以上の潤滑粒子５７を含んでいる。潤滑粒子５７は、潤滑層部５５に含まれる濃度が高いほど、固定コア４１と可動コア５０との間の摩耗を低減する。そのため、潤滑層部５５に含まれる潤滑粒子５７は、濃度が高い方が好ましい。一方、潤滑粒子５７の濃度が高くなると、担体部６０に対する潤滑粒子５７の割合が増大し、安定した潤滑層部５５の形成は困難になる。そのため、潤滑粒子５７の濃度は下限を４０質量％に設定している。また、潤滑粒子５７の濃度の上限は、潤滑層部５５が形成される固定コア４１または可動コア５０などの材質、形状あるいは大きさなどによって変化する。したがって、潤滑粒子５７の濃度の上限は、潤滑層部５５が形成される程度に可能な限り高く設定すればよい。

本実施形態の場合、固定コア４１は磁性本体４５とめっき層部４６とを有している。固定コア４１は、磁性本体４５の内周側にめっき層部４６を有している。本実施形態の場合、磁性本体４５は平滑な壁部４７を有している。そのため、めっき層部４６は、平滑な磁性本体４５の壁部４７を反映して平滑に形成されている。めっき層部４６は、可動コア５０と同様に例えばニッケル−リンめっきなどの非磁性の無電解めっきによって形成されている。

可動コア５０の潤滑層部５５は、磁性本体５３およびめっき層部５４の外周側すなわち固定コア４１側を覆っている。そのため、固定コア４１と可動コア５０との摺動の初期は、固定コア４１のめっき層部４６と可動コア５０の潤滑層部５５とが摺動する。これにより、固定コア４１と可動コア５０との間の摺動抵抗は比較的小さい。固定コア４１と可動コア５０との摺動が継続するにつれて、潤滑層部５５は摩耗していく。本実施形態では、固定コア４１と可動コア５０との摺動によって潤滑層部５５が摩耗すると、潤滑層部５５に含まれ粗面状の壁部５６の凹部に蓄えられている潤滑粒子５７が固定コア４１と可動コア５０との摺動部分に供給される。すなわち、固定コア４１と可動コア５０とが摺動する場合、その摩擦力によって粗面状の壁部５６の凹部に蓄えられている潤滑粒子５７は、固定コア４１と可動コア５０との摺動部分へ進入する。そのため、固定コア４１と可動コア５０との摺動部分には、常に継続して潤滑粒子５７による薄膜が形成される。その結果、固定コア４１の磁性本体４５およびめっき層部４６、ならびに可動コア５０の磁性本体５３およびめっき層部５４は摩耗が低減される。

図３は、固定コア４１と可動コア５０との摺動部分に加わる力と移動距離との積に対する摩耗体積を示している。すなわち、図３は、横軸を固定コア４１および可動コア５０の寿命とみなすことがき、縦軸を固定コア４１および可動コア５０の摩耗量とみなすことができる。このとき、従来のように可動コアの平滑な磁性本体の表面に潤滑層部を形成した電磁駆動装置と比較して、本実施形態による電磁駆動装置３０は寿命が約２倍になっている。これは、本実施形態の場合、上述のように固定コア４１と可動コア５０との摺動の繰り返しにより潤滑層部５５が摩耗しても、粗面状の壁部５６の凹部から潤滑粒子５７が供給されるためである。

固定コア４１と可動コア５０との摺動の初期では、図３に示すように本実施形態の場合でも従来の場合でも、定常的に潤滑層部５５の摩耗が進行する。従来の場合、潤滑層部の定常的な摩耗が進行し潤滑層部が消滅すると、磁性本体が露出する。そのため、定常的な摩耗の後に急激に摩耗が進行する。一方、本実施形態の場合、定常的な摩耗が進行し磁性本体５３の一部すなわち粗面状の壁部５６の凸部が露出しても、凹部から潤滑粒子５７が供給される。そのため、露出した可動コア５０の磁性本体５３と固定コア４１との間には補給された潤滑粒子５７による潤滑膜が形成される。その結果、本実施形態の電磁駆動装置３０の場合、定常的な摩耗が進行した後でも、一定期間は摩耗の進行が停滞する。したがって、本実施形態の電磁駆動装置では、固定コア４１および可動コア５０の寿命を延長することができる。

次に、上記構成のパージバルブ１０の作動について説明する。
コイル部の巻線３３に通電されていないとき、可動コア５０はスプリング３１の押し付け力により弁座２７方向へ移動する。これにより、可動コア５０に設置されているシート部材５２は、弁座２７に着座する。そのため、コイル部に通電されていないとき、入口ポート２１と出口ポート２３とを接続するパージ通路１６は遮断される。

図示しない外部のＥＣＵからコイル部に通電されると磁界が発生する。発生した磁界により、コイル部の巻線３３を囲むヨーク４２、固定コア４１および可動コア５０には磁気回路が形成され、磁束が流れる。このとき、上述のように固定コア４１の薄肉部４３では磁束が飽和するため、固定コア４１から漏れた磁束は可動コア５０を経由して固定コア４１の吸引部４４へ流れる。そのため、固定コア４１の吸引部４４と可動コア５０との間には磁気吸引力が発生する。固定コア４１と可動コア５０との間の磁気吸引力がスプリング３１の押し付け力よりも大きくなると、可動コア５０は固定コア４１の吸引部４４側へ移動する。可動コア５０は、シート部材５２がストッパ３５と接するまで移動する。

可動コア５０が吸引部４４側へ移動すると、可動コア５０に設置されているシート部材５２は弁座２７から離座する。そのため、入口ポート２１と出口ポート２３とを接続するパージ通路１６は開放される。これにより、キャニスタから入口ポート２１へ流入した空気は、パージ通路１６を経由して出口ポート２３から吸気通路へ排出される。

コイル部への通電を停止すると、固定コア４１と可動コア５０との間の磁気吸引力は消滅する。そのため、可動コア５０は、スプリング３１の押し付け力により吸引部４４とは反対側へ移動する。これにより、可動コア５０に設置されているシート部材５２は弁座２７に着座し、パージ通路１６は再び遮断される。
以上説明したように、本実施形態によるパージバルブ１０の電磁駆動装置３０では、固定コア４１と可動コア５０との摺動にともない可動コア５０の潤滑層部５５が摩耗しても、固定コア４１と可動コア５０との摺動部分に潤滑粒子５７が補給される。そのため、可動コア５０の磁性本体５３またはめっき層部５４の摩耗が低減される。したがって、固定コア４１および可動コア５０の寿命を延長することができる。また、摩耗を考慮して潤滑層部５５の厚さを拡大する必要はない。したがって、固定コア４１と可動コア５０との間に形成される隙間が低減され、可動コア５０の推力を長期間安定して維持することができる。

さらに、本実施形態によるパージバルブ１０の電磁駆動装置３０では、潤滑層部５５に含まれる潤滑粒子５７の外径Ｄを、粗面状の壁部５６の間隔Ｄ１よりも小さく設定している。そのため、潤滑層部５５の潤滑粒子５７は、粗面状の壁部５６の凹部に十分に蓄えられる。したがって、潤滑層部５５が摩耗しても潤滑粒子５７を摺動部分に補給することができる。また、潤滑粒子５７の外径Ｄは、微細凹凸部５８の間隔ｄ１よりも大きく設定している。そのため、潤滑粒子５７は、微細凹凸部５８の凹部に入り込まない。その結果、めっき層部５４の微細凹凸部５８と潤滑層部５５の担体部６０とは直接接触し、その接触が潤滑粒子５７によって妨げられない。したがって、めっき層部５４と潤滑層部５５との密着力を高めることができる。

（その他の実施形態）
上述した本発明の一実施形態では、可動コア５０にのみ潤滑層部５５を形成する例について説明した。しかし、固定コア４１に潤滑層部を形成してもよい。すなわち、可動コア５０と対向する固定コア４１の内周側に粗面状の壁を形成し、めっき層部および潤滑層部を形成することができる。また、可動コア５０および固定コア４１の双方に上記の構成の潤滑層部を形成してもよい。これにより、可動コア５０だけでなく固定コア４１からも潤滑粒子が摺動部分に供給される。したがって、固定コア４１および可動コア５０の摩耗をさらに低減することができる。

上述した本発明の一実施形態では、可動コア５０の磁性本体５３と潤滑層部５５との間にめっき層部５４を形成する例について説明した。しかし、磁性本体５３と潤滑層部５５との間のめっき層部５４は省略してもよい。固定コア４１に潤滑層部を形成する場合も、可動コア５０と同様にめっき層部を省略してもよい。

さらに、上述した本発明の一実施形態では、電磁駆動装置３０をパージバルブ１０に適用する例について説明した。しかし、例えば上述の特許文献に開示されているように油圧を調整するスプール弁の電磁駆動部、あるいはその他可動コア５０によって駆動される被駆動部材を備える装置に本発明の電磁駆動装置３０を適用することができる。

以上のように本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。

図２のＩ部分を拡大した拡大図。 本発明の一実施形態による電磁駆動装置を適用したパージバルブの概略を示す断面図。 固定コアと可動コアとの間に加わる力と移動距離との積に対する摩耗体積を示す模式図。

符号の説明

３０：電磁駆動装置、３２：ボビン（コイル）、３３：巻線（コイル）、４１：固定コア（固定子）、４２：ヨーク、５０：可動コア（可動子）、５３：磁性本体、５４：めっき層部、５５：潤滑層部、５６：壁部、５７：潤滑粒子、５８：微細凹凸部、６０：担体部

Claims (3)

1. 筒状の固定子と、
   前記固定子の内周側に支持され、コイルへの通電時に前記固定子との間に発生する磁気吸引力により軸方向へ移動する可動子とを備える電磁駆動装置であって、
   前記固定子または前記可動子の少なくともいずれか一方は、
   磁性材料から形成され、前記固定子または前記可動子の他方と対向する側に、凹凸を形成する粗面状の壁部、および前記粗面状の壁部の凹凸の表層に形成されている微細凹凸部を有し、前記微細凹凸部の凸部と凸部との間隔は前記粗面状の壁部の凹凸の凸部と凸部との間隔よりも小さい磁性本体と、
   潤滑粒子および前記潤滑粒子を保持する担体部を有し、前記磁性本体の外周側を覆っている潤滑層部とを備え、
   前記潤滑粒子の外径は、前記微細凹凸部の凸部と凸部との間隔よりも大きく、前記粗面状の壁部の凹凸の凸部と凸部との間隔よりも小さい電磁駆動装置。
2. 前記磁性本体と前記潤滑層部との間に、非磁性の無電解めっきによるめっき層部を有する請求項１記載の電磁駆動装置。
3. 前記潤滑層部は、前記潤滑粒子を少なくとも４０質量％以上含む請求項１または２記載の電磁駆動装置。
   
   
   
   

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