JP2007028271A - 圧電振動子の周波数調整方法および圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 発振周波数の調整を容易、迅速に行なえるようにする。
【解決手段】 圧電振動子20は、パッケージ22に収容した圧電振動片を有する。パッケージ22の下面34には、コンデンサブロック38、40が設けてある。各コンデンサブロック38、40は、複数のコンデンサ素子48(48a〜48d)、50(50a〜50d)からなる。これらのコンデンサ素子48、50は、静電容量が公比を2とする等比数列となるように形成してある。各コンデンサ素子48の一方の電極52(52a〜52d)は、配線パターン42を介して外部電極36aに接続してある。各コンデンサ素子50の一方の電極52は、配線パターン46を介して外部電極36dに接続してある。外部電極36a、36dは、圧電振動片の励振電極に電気的に接続してある。配線パターン42、46の適宜の箇所を切断することにより、容量値を変えて周波数調整をすることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 圧電振動子20は、パッケージ22に収容した圧電振動片を有する。パッケージ22の下面34には、コンデンサブロック38、40が設けてある。各コンデンサブロック38、40は、複数のコンデンサ素子48(48a〜48d)、50(50a〜50d)からなる。これらのコンデンサ素子48、50は、静電容量が公比を2とする等比数列となるように形成してある。各コンデンサ素子48の一方の電極52(52a〜52d)は、配線パターン42を介して外部電極36aに接続してある。各コンデンサ素子50の一方の電極52は、配線パターン46を介して外部電極36dに接続してある。外部電極36a、36dは、圧電振動片の励振電極に電気的に接続してある。配線パターン42、46の適宜の箇所を切断することにより、容量値を変えて周波数調整をすることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、圧電振動片をパッケージ内に収容した圧電振動子の周波数調整方法および圧電振動子に関する。
水晶振動子などの圧電振動子は、各種電子機器の基準クロックを発生させる発振回路などに広く用いられている。図8は、圧電振動子を用いた発振回路の一例であって、インバータ発振回路の基本回路を示した図である。図8において、発振回路10は、水晶振動子などの圧電振動子12が帰還抵抗Rfとともにインバータ14に並列に接続してある。そして、圧電振動子12の入出力端子には、負荷容量CG、CDが接続してある。なお、図8に示した符号CSは回路の浮遊容量であり、CICはインバータ14を構成している半導体集積回路(IC)の内部容量である。
このようになっている発振回路10は、圧電振動子12に内蔵してある圧電振動片の製作誤差や浮遊容量CS、ICの内部容量CICなどが圧電振動子12、ICごとに異なっているため、発振周波数(以下、単に周波数ということがある)が目標周波数からずれる場合がある。このため、一般に負荷容量CG、CDを外付けにし、負荷容量CG、CDの容量の値を変えることによって発振回路10の発振周波数を目標周波数となるように調整している。そして、発振回路10の周波数調整を容易にするために、予め圧電振動子12のパッケージに負荷容量(コンデンサ)を設けたものがある。例えば、特許文献1には、圧電振動子のパッケージの底面に凹部を形成し、その凹部にチップコンデンサを交換可能に取り付けた圧電振動子が記載してある。また、特許文献2は、パッケージの積層間に誘電体を挟み込み、誘電体をレーザ光によって一部を消失させて容量の値を調節することができるようにした圧電振動子を提案している。
特開平11−145768号公報
特開2004−282621号公報
しかし、特許文献1に記載の圧電振動子は、振動子の周波数に合わせてチップコンデンサの容量値を選択して取り付ける必要があり、工数が多くなるとともに、予め複数種類のチップコンデンサを用意しておかなければならず部品管理も容易でない。また、予めパッケージにチップコンデンサを実装した場合、圧電振動子の小型化が困難となる欠点がある。
一方、特許文献2に記載の圧電振動子は、積層間に誘電体のパターンを形成し、レーザ光によってパターンを徐々に消失させるようにしているため、パッケージの一部を透光性の材料を用いて形成する必要があり、パッケージの構造が複雑となる。また、レーザ光によってパターンを徐々に消失させて周波数を調節するため、レーザ光を二次元的に走査させてパターンを加工する必要があり、周波数調整に多くの時間を必要とする。
本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、発振周波数の調整を容易、迅速に行なえるようにすることを目的としている。
また、本発明は、高い精度で発振周波数を調整できるようにすることを目的としている。
さらに、本発明は、小型で正確な周波数を発振できるようにすることなどを目的としている。
また、本発明は、高い精度で発振周波数を調整できるようにすることを目的としている。
さらに、本発明は、小型で正確な周波数を発振できるようにすることなどを目的としている。
上記の目的を達成するために、本発明に係る圧電振動子の周波数調整方法は、圧電振動片を収容したパッケージを備えた圧電振動子の周波数調整方法であって、前記パッケージに、静電容量が相互に異なる複数のコンデンサ素子からなるコンデンサブロックと、少なくとも一部が前記パッケージから露出し、前記各コンデンサ素子を前記圧電振動片に並列接続する配線部とを設け、圧電振動子の発振周波数を測定し、測定周波数が目標周波数と異なるときに、前記配線部の前記パッケージから露出した部分を切断して、前記圧電振動子の発振周波数を前記目標周波数に調整する、ことを特徴としている。
このようになっている本発明は、圧電振動子の発振周波数を測定し、目標周波数と比較する。そして、測定した発振周波数が目標周波数からずれている場合に、そのずれ量をなくすのに必要とする静電容量の値を求める。その後、パッケージに作り込んであるコンデンサブロックを構成している適宜のコンデンサ素子の配線部をレーザ光などによって切断し、静電容量の値を変えて発振周波数が目標周波数となるようにする。したがって、本発明の周波数調整方法は、細い配線パターンを切断するだけで発振周波数の調整を行なうことができ、発振周波数の調整を容易、迅速に行なうことができる。しかも、複数のコンデンサ素子は、相互に静電容量の値が異なっているため、これらを組み合わせることによって細かな容量値を求めることができ、少ないコンデンサ素子数によって高精度な周波数調整を行なえ、小型で正確な発振周波数を有する圧電振動子とすることができる。前記コンデンサブロックは、前記圧電振動片の励振電極に対応して設けることにより、周波数調整を容易に行なえるとともに、圧電振動子の入力側と出力側とのインピーダンスをバランスさせることができる。
本発明に係る圧電振動子は、圧電振動片と、前記圧電振動片を収容したパッケージと、前記パッケージに設けられ、静電容量が相互に異なる複数のコンデンサ素子からなるコンデンサブロックと、少なくとも一部が露出して切断可能に形成され、各コンデンサ素子の一方の電極を前記圧電振動片に並列に接続した配線部と、を有することを特徴としている。
このようになっている本発明に係る圧電振動子は、測定した発振周波数が目標周波数からずれている場合に、ずれ量に応じたコンデンサの容量値を求め、コンデンサブロックを構成している適宜のコンデンサ素子の露出している配線部を切断する。したがって上記したように、発振周波数の調整を容易、迅速に行なうことができ、高精度な周波数調整を行なうことができ、小型で正確な発振周波数を有する圧電振動子とすることができる。しかも、発振用のコンデンサを圧電振動子側に配置したことにより、集積回路側にとって付加価値が少なく、比較的大きな面積を占めるコンデンサを、集積回路側において不要にすることができる。
前記コンデンサブロックは、前記圧電振動片の励振電極に対応して設けるとよい。これにより、周波数調整を容易に行なえ、圧電振動子の入力側と出力側とのインピーダンスのバランスをとることができる。
前記コンデンサブロックを構成している前記各コンデンサ素子は、静電容量の値を等比数列的に異ならせるとよい。このように容量値を変えると、少ない素子数で細かな容量値を容易に得ることができ、高精度な周波数調整を行なうことが可能となる。前記等比数列は、公比が1.5から2.5であることが望ましい。公比が1.5より小さいと、各コンデンサ素子間の静電容量の値が近すぎ、2.5より大きいと、各コンデンサ素子間の静電容量の値が離れすぎて、所望の容量値を得ることが困難となり、正確な周波数調整が困難となるおそれがある。
前記コンデンサブロックは、前記パッケージの下面に形成することができる。コンデンサブロックをパッケージの下面に形成すると、配線部となる配線パターンの形成が容易となる。前記コンデンサブロックは、前記パッケージを構成する積層体中に設けることができる。コンデンサブロックを積層体中に形成すると、コンデンサブロックを形成する面積を大きくすることができる。
前記コンデンサブロックは、前記パッケージの下面に形成した凹部内に設けてもよい。コンデンサブロックを凹部に配置することにより、圧電振動子を基板に実装したときに、基板に他の配線パターンが存在している場合であっても、短絡を防ぐことができる。なお、この場合、周波数を調整したのち、凹部に樹脂をポッティングし、コンデンサブロックを樹脂によって覆ってもよい。
本発明に係る圧電振動子の周波数調整方法および圧電振動子の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。なお、背景技術において説明した部分に対応する部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。
図2は、本発明の実施の形態に係る圧電振動子の説明図であって、(1)は断面図、(2)は底面図である。図2において、圧電振動子20は、パッケージ22の内部に圧電振動片24が収容してある。パッケージ22は、パッケージ本体26と蓋体28とからなっている。パッケージ本体26は、例えばセラミックシートを積層して圧電振動片24の収容空間30を有する箱型に形成してある。そして、パッケージ本体26は、収容空間30内に圧電振動片24を実装する段部32が形成してある。この段部32には、一対のマウント電極(図示せず)が設けてある。また、蓋体28は、金属やセラミック、ガラスなどによって板状に形成してある。この蓋体28は、パッケージ本体26の上端面に、金属ロウ材や低融点ガラスなどによって接合され、パッケージ本体26の収容空間30を気密に封止している。
図2は、本発明の実施の形態に係る圧電振動子の説明図であって、(1)は断面図、(2)は底面図である。図2において、圧電振動子20は、パッケージ22の内部に圧電振動片24が収容してある。パッケージ22は、パッケージ本体26と蓋体28とからなっている。パッケージ本体26は、例えばセラミックシートを積層して圧電振動片24の収容空間30を有する箱型に形成してある。そして、パッケージ本体26は、収容空間30内に圧電振動片24を実装する段部32が形成してある。この段部32には、一対のマウント電極(図示せず)が設けてある。また、蓋体28は、金属やセラミック、ガラスなどによって板状に形成してある。この蓋体28は、パッケージ本体26の上端面に、金属ロウ材や低融点ガラスなどによって接合され、パッケージ本体26の収容空間30を気密に封止している。
一方、圧電振動片24は、例えばATカット水晶板などの圧電体から形成してあって、上下の両面に図示しない励振電極が設けてある。また、圧電振動片24は、実施の形態の場合、図の左右方向となる長手方向の一側に、励振電極と一体に形成した接続電極が設けてある。この接続電極は、導電性接着剤を介してパッケージ本体26の段部32に形成したマウント電極に接合される。なお、圧電振動片24は、AT振動片であっても、音叉型振動片などであってもよい。また、圧電体は、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなど、水晶以外のものであってもよい。
パッケージ22は、平面視矩形状に形成してあって、パッケージ本体26の下面34の四隅に外部電極36(36a〜36d)が設けてある。外部電極36は、図示しない基板に圧電振動子20を接合し、圧電振動子20を基板に設けた電気回路に接続するためのものである。そして、実施形態の場合、下面34の外部電極36a、36dが図示しないスルーホール、配線パターンなどを介してパッケージ本体26内のマウント電極に接続され、圧電振動片24の励振電極に電気的に接続してある。他の外部電極36b、36cは、実施形態の場合、基板に形成したグランドパターンに接続される。
パッケージ本体26の下面34の中央部には、負荷容量となる一対のコンデンサブロック38、40が設けてある。各コンデンサブロック38、40は、詳細を後述するように、複数のコンデンサ素子から構成してある。そして、一方のコンデンサブロック38は、各コンデンサ素子の一方の電極が配線部である配線パターン42を介して外部電極36aに接続してあり、他方の電極が配線パターン44を介して外部電極36b、36cに接続してある。他方のコンデンサブロック40は、コンデンサブロック38と同様に、各コンデンサ素子の一方の電極が配線パターン46を介して外部電極36dに接続してあり、他方の電極が配線パターン44を介して外部電極36b、36cに接続してある。なお、実施形態の場合、コンデンサブロック38がゲートコンデンサCGを構成し、コンデンサブロック40がドレインコンデンサCDを構成している。
コンデンサブロック38、40は、図1に示したように、実施形態の場合、それぞれが4つのコンデンサ素子48(48a〜48d)、50(50a〜50d)によって構成してある。これらのコンデンサ素子48、50は、一方の電極52(52a〜52d)と他方の電極54(54a〜54d)とが、両者の間に設けた誘電体層56を介して重なるように形成してある。そして、コンデンサブロック38を構成している各コンデンサ素子48は、静電容量が相互に異なっている。すなわち、コンデンサ素子48a〜48dは、一方の電極52の面積がそれぞれ異なっていて、図の下方の電極52aから上方の電極52dに向けて電極面積を大きくしてある。実施形態の場合、電極52bの面積は、電極52aの面積の2倍となっている。同様に、電極52cの面積は電極52bの面積の2倍であり、電極52dの面積は電極52cの面積の2倍となっている。したがって、コンデンサ素子48a〜48dは、静電容量が公比を2とした等比数列的に変えてある。そして、各コンデンサ素子48の一方の電極52は、配線パターン42を介して外部電極36aに並列に接続してある。各コンデンサ素子48の他方の電極54は、配線パターン44に接続してあって、配線パターン44を介して外部電極36b、36cに接続してある。
また、他方のコンデンサブロック40を構成している各コンデンサ素子50も同様に形成してあって、静電容量が公比を2とする等比数列的に変えてある。そして、各コンデンサ素子50の一方の電極52は、配線パターン46を介して外部電極36dに並列に接続してある。コンデンサ素子50の他方の電極は、配線パターン44を介して外部電極36b、36dに接続してある。したがって、圧電振動子20は、回路的には図3のように表すことができる。そして、圧電振動子20を用いて発振回路を形成すると、図4のようになる。なお、インバータ14と帰還抵抗Rfは、集積回路(IC)58として形成されている。
なお、コンデンサブロック38、40は、実施形態の場合、対応するコンデンサ素子48、50の静電容量の値が同じになるように形成してあるが、異なっていてもよい。そして、コンデンサブロック38、40は、コンデンサ素子48、50の電極パターンと誘電体層のパターンとを順次印刷することにより、容易に形成することができる。また、コンデンサブロック38、40を構成しているコンデンサ素子48、50は、任意の個数設けることができる。また、コンデンサ素子48、50の一方の電極52を下側にし、他方の電極54を上側にして露出させてもよい。
このようになっている圧電振動子20の発振周波数の調整は、次のようにして行なう。まず、圧電振動子20を形成する。その後、すべてのコンデンサ素子48、50が接続された状態で圧電振動子20の発振周波数を測定し、測定した周波数(測定周波数)を目標周波数と比較し、両者の偏差を求める。次に、測定周波数を目標周波数とするための負荷容量であるコンデンサブロック38、40の静電容量、すなわちゲートコンデンサの容量CGとドレインコンデンサCDとの静電容量の値を求める。そして、この求めた容量値に基づいて、配線パターン42、46を切断して外部電極36a、36dから切り離すべきコンデンサ素子48、50を選択する。次に、選択したコンデンサ素子48、50と外部電極36a、36dとを接続している配線パターン42、46の適宜の箇所、例えば図1の破線60で示した位置においてレーザ光を用いて切断する。そして、圧電振動子20の周波数を測定して発振周波数の目標周波数に対するずれ量を求め、ずれ量が許容範囲に入っていることを確認する。
このように、実施の形態においては、外部電極36a、36bに接続してあるコンデンサ素子48、50の配線パターン42、46をレーザ光で切断するだけで周波数調整を行なうことができる。したがって、圧電振動子の周波数調整を容易、迅速に行なうことができる。しかも、コンデンサブロック38、40を構成している複数のコンデンサ素子48、50の静電容量の値を公比が2である等比数列的に異ならせているため、少ないコンデンサ素子数で細かな容量値を設定することができ、高精度な周波数調整を行なうことができる。また、実施形態の圧電振動子20は、複数のコンデンサ素子48、50からなるコンデンサブロック38、40をパッケージ22に設けたことにより、小型で高い精度の発振周波数を有する圧電振動子とすることができる。そして、実施形態においては、発振用のコンデンサを圧電振動子側に設けたことにより、IC側にとって付加価値が少なく、比較的大きな面積を必要とするコンデンサをIC側に設ける必要がない。
なお、実施形態においては、コンデンサブロック38、40を構成しているコンデンサ素子48、50の静電容量を公比が2である等比数列的に変えた場合について説明したが、公比は2でなくともよい。しかし、公比は1.5ないし2.5とすることが望ましい。公比が1.5より小さいと、コンデンサ素子間の静電容量値が近く、公比が2より大きいとコンデンサ素子間の静電容量値が離れすぎるため、適切な容量値を得ることが困難となり、正確な周波数調整をすることが難しくなるおそれがある。
図5は、第2実施形態の要部の説明図である。この実施形態に係る圧電振動子62は、パッケージ22の下面34にコンデンサブロック38、40が形成してある。これらのコンデンサブロック38、40は、それぞれが複数のコンデンサ素子48、50から形成してある。そして、コンデンサブロック38を構成している各コンデンサ素子48の一方の電極52は、配線パターン42を介して外部電極36aに接続してある。また、他方のコンデンサブロック40を構成している各コンデンサ素子50の一方の電極52は、配線パターン46を介して外部電極36dに接続してある。
一方、これらのコンデンサ素子48、50の他方の電極64は、一体に形成してあって配線パターン44を介して外部電極36b、36cに接続してある。また、各コンデンサ素子48、50の一方の電極52と他方の電極64との間に設けた誘電体層56は、他方の電極64と同様に一体に形成してある。他の構成は、第1実施形態と同様に形成してある。
このようになっている第2実施形態の圧電振動子62は、前記と同様の作用効果が得られるとともに、コンデンサブロック30、40の形成が容易となる。
このようになっている第2実施形態の圧電振動子62は、前記と同様の作用効果が得られるとともに、コンデンサブロック30、40の形成が容易となる。
図6は、第3実施形態の説明図である。この実施形態に係る圧電振動子70は、パッケージ本体26が複数のセラミックシートを積層して形成した積層体となっている。また、パッケージ本体26のベース部が第1ベースシート72と第2ベースシート74とからなっている。そして、第1ベースシート72と第2ベースシート74との間には、それぞれが複数のコンデンサ素子からなるコンデンサブロック38、40が設けてある。各コンデンサ素子の一方の電極と他方の電極とは、パッケージ本体26の下面に設けた配線パターン42、44、46に電気的に接続してある。
すなわち、コンデンサブロック38を構成している各コンデンサ素子の一方の電極は、配線パターン76と第1ベースシート72に設けたスルーホール78とを介して配線パターン42に電気的に接続してある。また、コンデンサブロック40を構成している各コンデンサ素子の一方の電極は、配線パターン80、スルーホール78を介して配線パターン46に電気的に接続してある。さらに、各コンデンサブロック38、40の他方の電極は、配線パターン82、スルーホール78を介して配線パターン44に電気的に接続してある。
このようになっている圧電振動子70は、パッケージ本体26の下面に露出している配線パターン42、46の適宜の箇所を、レーザ光を用いて切断することにより、前記したように静電容量の値を変えることができ、発振周波数の調整を行なうことができる。なお、第1ベースシート72は、コンデンサブロック38、40を印刷により形成したのち、第2ベースシート74が積層される。
図7は、第4実施形態の説明図である。この実施形態に係る圧電振動子90は、パッケージ92が蓋体28とパッケージ本体94とからなっている。パッケージ本体94は、図7(1)に示したように、断面が略H状に形成してある。すなわち、パッケージ本体94は、下面の中央部に凹部96が形成してある。そして、この凹部96の底面にコンデンサブロック38、40が設けてある。また、パッケージ本体94は、下端面となる額縁状の縁部98下面の四隅に外部電極36が設けてある。外部電極36aには、配線パターン42を介してコンデンサブロック38を構成している各コンデンサ素子の一方の電極が並列に接続してある。外部電極36dには、配線パターン46を介してコンデンサブロック40を構成している各コンデンサ素子の一方の電極が並列に接続してある。これらのコンデンサ素子の他方の電極は、配線パターン44を介して外部端子36b、36cに接続してある。
この実施形態に係る圧電振動子90においても、配線パターン42、46の適宜の箇所を切断することにより、発振周波数の調整を行なうことができる。また、圧電振動子90は、パッケージ本体94の凹部96にコンデンサブロック38、40を配置しているため、圧電振動子90を基板に実装したときに、コンデンサブロック38、40が基板に接触することがない。したがって、圧電振動子90を基板に実装したときに、圧電振動子の下に他の配線パターンなどが存在したとしても、短絡するおそれがない。なお、周波数調整をしたのち、図7(1)の2点鎖線に示したように、凹部96に樹脂100をポッティングしてコンデンサブロック38、40を樹脂100によって覆ってもよい。
20………圧電振動子、22………パッケージ、24………圧電振動片、38、40………コンデンサブロック、36a〜36d………外部電極、42、44、46………配線部(配線パターン)、48a〜48e………コンデンサ素子、50a〜50e………コンデンサ素子、62、70、90………圧電振動子、92………パッケージ、94………パッケージ本体、96………凹部。
Claims (9)
- 圧電振動片を収容したパッケージを備えた圧電振動子の周波数調整方法であって、
前記パッケージに、静電容量が相互に異なる複数のコンデンサ素子からなるコンデンサブロックと、少なくとも一部が前記パッケージから露出し、前記各コンデンサ素子を前記圧電振動片に並列接続する配線部とを設け、
圧電振動子の発振周波数を測定し、測定周波数が目標周波数と異なるときに、前記配線部の前記パッケージから露出した部分を切断して、前記圧電振動子の発振周波数を前記目標周波数に調整する、
ことを特徴とする圧電振動子の周波数調整方法。 - 請求項1に記載の圧電振動子の周波数調整方法において、
前記コンデンサブロックは、前記圧電振動片の励振電極に対応して設けてあることを特徴とする圧電振動子の周波数調整方法。 - 圧電振動片と、
前記圧電振動片を収容したパッケージと、
前記パッケージに設けられ、静電容量が相互に異なる複数のコンデンサ素子からなるコンデンサブロックと、
少なくとも一部が露出して切断可能に形成され、各コンデンサ素子の一方の電極を前記圧電振動片に並列に接続した配線部と、
を有することを特徴とする圧電振動子。 - 請求項3に記載の圧電振動子において、
前記コンデンサブロックは、前記圧電振動片の励振電極に対応して設けてあることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項3または4に記載の圧電振動子において、
前記コンデンサブロックを構成している前記各コンデンサ素子は、静電容量の値が等比数列的に異なっていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項5に記載の圧電振動子において、
前記等比数列は、公比が1.5から2.5であることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項3ないし6のいずれかに記載の圧電振動子において、
前記コンデンサブロックは、前記パッケージの下面に形成してあることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項3ないし6のいずれかに記載の圧電振動子において、
前記コンデンサブロックは、前記パッケージを構成する積層体中に設けてあることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項3ないし6に記載の圧電振動子において、
前記コンデンサブロックは、前記パッケージの下面に形成した凹部内に設けてあることを特徴とする圧電振動子。
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JP2005208391A Pending JP2007028271A (ja) | 2005-07-19 | 2005-07-19 | 圧電振動子の周波数調整方法および圧電振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007028271A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014030217A (ja) * | 2013-09-06 | 2014-02-13 | Seiko Epson Corp | 半導体集積回路及び発振回路 |
JP2017073646A (ja) * | 2015-10-06 | 2017-04-13 | 富士通株式会社 | 水晶振動子、及び水晶振動子の調整方法 |
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2005
- 2005-07-19 JP JP2005208391A patent/JP2007028271A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014030217A (ja) * | 2013-09-06 | 2014-02-13 | Seiko Epson Corp | 半導体集積回路及び発振回路 |
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