JP2007027088A - フィールドエミッタの陰極及びその製造方法、並びに平面光源 - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、フィールドエミッタの陰極及びその製造方法、並びに平面光源に関する。
【解決手段】本発明に係るフィールドエミッタの陰極は、陰極導電層と、該陰極導電層に形成した電子放出層と、を含む。本発明に係る平面光源は、前記フィールドエミッタの陰極と、陽極と、を含む。本発明はフィールドエミッタの陰極の製造方法も提供する。
【選択図】図3

Description

本発明は、フィールドエミッタの陰極及びその製造方法、並びに該フィールドエミッタの陰極を使用する平面光源に関する。
カーボンナノチューブ(Carbon Nanotube, CNT)は、新型のカーボン材料であり、日本の研究員Iijimaによって1991年に発見された(非特許文献1を参照する)。カーボンナノチューブは良好な導電性能を有し、その先端の面積が理論的な最良の寸法に達するので、先端の面積が小さいほど局部の電界が集中するという理論により、カーボンナノチューブは現在最良のフィールドエミッタ材料の一種である。また、カーボンナノチューブは、超低の電子放出電圧で超高密度の電流を伝送でき、該電流が非常に安定であるので、フィールドエミッタディスプレイのフィールドエミッタ材料として利用される。現在、カーボンナノチューブを平面表示装置に利用する研究としては、例えば、文字や画像などの表示技術が注目され、また、例えば、液晶表示装置のバックライトの開発も進んでいる。特に、現在省エネルギー型光源には一般に水銀が利用されており、環境保護に不利であるので、カーボンナノチューブ・フィールドエミッタを光源として利用する研究が必要となる。
従来、複数のカーボンナノチューブを利用する平面光源は、陰極導電層と、この陰極導電層に形成した電子放出層と、陽極導電層と、この陽極導電層に形成した蛍光層と、を含む。前記蛍光層は前記電子放出層に対向して設置される。前記複数のカーボンナノチューブは移植方法によって前記陰極導電層に設置されて前記電子放出層の機能部分として利用される。しかし、前記複数のカーボンナノチューブはそれぞれ異なる方向に向いて、前記陰極導電層から離脱し易いので、光源の寿命が低減し、フィールドエミッタの電子放出性能が低くになる課題がある。
「Helical Microtubules of Graphitic Carbon」、Nature、S.Iijima、1991年、第354巻、第56頁
前記課題を解決するために、本発明は、フィールドエミッタの陰極及びその製造方法、並びにこのフィールドエミッタの陰極を利用する平面光源を提供する。
本発明に係るフィールドエミッタの陰極は、陰極導電層と、該陰極導電層に形成した電子放出層と、を含む。前記電子放出層は、カーボンナノチューブ、低融点のガラス、導電性の金属粒子などを含む。
本発明に係るフィールドエミッタの陰極の製造方法は、次の工程を含む。陰極導電層を準備する。カーボンナノチューブ、導電性の金属粒子、低融点のガラス、有機基材などを混合させてペーストを形成する。このペーストを前記陰極導電層に塗布して電子放出層を形成した後、乾燥させて焼結するように加工を行う。最後に、前記電子放出層の表面に対して研磨加工する。
本発明に係る平面光源は、フィールドエミッタの陰極と、陽極と、を含む。前記フィールドエミッタの陰極は、陰極導電層及びこの陰極導電層に形成した電子放出層を有する。前記陽極は、陽極導電層及びこの陽極導電層に形成した蛍光層を有する。前記蛍光層は前記電子放出層に対向して設置される。前記電子放出層は、カーボンナノチューブ、低融点のガラス、導電性の金属粒子からなる。
従来技術と比べて、本発明に係るフィールドエミッタの陰極は次の優れた点がある。シルク印刷方法で電子放出層を製造することにより、製造工程が減少し、コストを低下することができる。前記製造工程に形成されたペーストには低融点のガラスを混入するので、焼結加工によってカーボンナノチューブと陰極導電層とを密着させ、前記フィールドエミッタの陰極の寿命を延長することができる。さらに、前記電子放出層を研磨して、カーボンナノチューブの端部を外部に突出させ、同一の方向へ向けるように形成することにより、カーボンナノチューブのエミッタ性能を高める。本発明に係るフィールドエミッタを利用する平面光源は、コストが低下し、使用寿命が長くなる。
以下、図面を参照して本発明の実施例について詳しく説明する。
(実施例1)
図1及び図2を参照して、本実施例に係るフィールドエミッタの陰極214は、陰極導電層207及び電子放出層206を有する。
前記電子放出層206は、カーボンナノチューブ211、低融点ガラス212、導電性の金属粒子213を含む。前記カーボンナノチューブ211の長さは5〜15μmに設定されることが好ましい。前記カーボンナノチューブ211の長さは5μmより短くなる場合、電子放出性能が低くなり、前記カーボンナノチューブ211の長さは15μmより長くなる場合、損傷が容易に生じる。融点が400℃〜500℃である前記低融点ガラス212を利用するので、前記カーボンナノチューブ211と前記陰極導電層207とが密着され、前記フィールドエミッタ214の寿命が長くなる。前記導電の金属粒子213はITO(Indium Tin Oxide)又は銀からなるので、前記カーボンナノチューブ211と前記陰極導電層207とは電気的に接続することができる。前記陰極導電層207は透明的な、導電のITOからなる。
(実施例2)
本発明の実施例2に、前記実施例1に係るフィールドエミッタの陰極214の製造方法を提供する。前記フィールドエミッタの陰極214の製造方法は、前記陰極導電層207を準備する段階と、前記カーボンナノチューブ211、低融点ガラス212、導電性の金属粒子213及び有機基材を混合させてペーストを形成する段階と、前記ペーストを前記陰極導電層207に塗布して前記電子放出層206を形成する段階と、前記電子放出層206を形成した前記陰極導電層207を乾燥させて焼結するように加工を行う段階と、を含む。
本実施例において、前記ペーストは、5〜15wt%のカーボンナノチューブ211と、10〜20wt%の導電性金属粒子213と、5wt%の低融点のガラス212と、60〜80wt%の有機基材と、からなる。前記導電の金属粒子213は、ITO又は銀からなる。前記有機基材は、主要成分であるエチルセルロース(Ethyl Cellulose)と、少量の安定剤であるテルピネオール(Terpineol)、可塑剤であるフタル酸ジ-n-ブチル(Di−n−butyl phthalate、DBP)を混合して、超音波発振の方法でかき混ぜて得られるものである。
化学気相堆積法、アーク放電法、レーザ蒸着法などによって得られたものには他の不純物を含むので、さらに遠心清澄法で高純度のカーボンナノチューブ211を抜き出して、長さが5〜15μmのカーボンナノチューブを選定する。
シルク印刷方法を前記塗布方法として利用する場合、前記ペーストに可塑剤であるフタル酸ジ-n-ブチルを混合することにより、製品の質量を高め、コストを低減することができる。
前記電子放出層206を形成した前記陰極導電層207を乾燥させる工程により、前記電子放出層20の有機基材を除去する。次の焼結工程により、前記低融点のガラス212を溶融させ、前記カーボンナノチューブ211及び前記陰極導電層207を密着させる。さらに、前記導電性の金属粒子213によって前記カーボンナノチューブ211と前記陰極導電層207とは電気的に接続されることができる。前記陰極導電層207は融点が前記低融点のガラス212より高い材料からなる。さらに、前記フィールドエミッタの陰極214の電子放出性能を高めるために、前記乾燥工程及び前記焼結工程を行った後、前記電子放出層206の表面に対して研磨加工して、前記カーボンナノチューブ211が前記研磨加工による静電で端部が突出し、且つ同一の方向に向くので、前記フィールドエミッタの陰極214の電子放出性能を高めることができる。
(実施例3)
図3を参照して、本実施例に係る平面光源20は、陰極基板208と、フィールドエミッタの陰極214と、陽極基板201と、陽極215と、密封部205と、を含む。
前記実施例1に係る前記フィールドエミッタの陰極214を平面光源20の内部に向かせて前記陰極基板208に設置する。前記陰極基板208は透明的なガラスからなる。
前記陽極215は、前記平面光源20の内部に向いて前記陽極基板201に設置され、陽極導電層202及び蛍光層203を含む。前記蛍光層203は前記電子放出層206と所定の距離で対向するように設置される。前記蛍光層203は、光電変換効率が高く、電圧が低く、発光時間が長い蛍光材料からなる。実際の条件により、前記蛍光層203の発光色を変換して、前記平面光源20から白光又は色鮮やかな光を放出させる。前記陽極基板201は透明的なガラス、前記陽極導電層202は透明的な導電性のITOからなるので、光の射出に有利する。
前記平面光源20の発光輝度を高めるために、前記平面光源20の内部に向いて前記蛍光層203にアルミ膜204をさらに設置する。前記アルミ膜204は非常に薄く、本実施例に1μm程度に設定されるので、電子(図示せず)は高速に前記電子放出層206から放出されると、前記アルミ膜204に容易に透過し、前記蛍光層203に働突し、前記蛍光層203を発光させてスポットを形成する。前記アルミ膜204は内反射の特性を有するので、前記スポットの輝度を高め、前記平面光源20の発光輝度を高める。また、前記アルミ膜204は、熱放出などの特性を有する。
密封部205を利用して前記陰極基板208及び前記陽極基板201の周辺を密封して、密封の空間を形成する。前記密封部205が前記平面光源20の内部に対向する側に、非蒸発型ゲッターポンプ(NEG)210を設置する。この非蒸発型ゲッターポンプ210は前記平面光源20を所定の真空環境に動作し、前記平面光源20の使用寿命を延長するために設置される。
また、前記平面光源20の内部に所定の真空環境を形成するので、寸法が異なる光源は外部の大気圧に耐えて安定に作業するために、前記平面光源20の中に支持棒209を設置する。前記支持棒209は透明的な堅固の材料からなることが好ましい。また、前記支持棒209の寸法は実際の条件によって設定される。
従来技術と比べて、本実施例に係るフィールドエミッタの陰極214は次の優れた点がある。シルク印刷方法で電子放出層206を製造することにより、製造工程を減少し、コストを低減することができる。前記製造工程のペーストには低融点のガラス212を混入するので、焼結加工によってカーボンナノチューブ211と陰極導電層207と密着させ、前記フィールドエミッタの陰極214の寿命を延長することができる。さらに前記電子放出層206を研磨してカーボンナノチューブ211の高さ及び成長方向を同一にさせるので、カーボンナノチューブ211のエミッタ性能を高めることができる。本発明に係るフィールドエミッタを利用する平面光源20は、コストが低下し、使用寿命が長くなる。
本発明の実施例1に係るフィールドエミッタの陰極の断面図である。 本発明の実施例1に係るフィールドエミッタのA部の拡大図である。 本発明の実施例3に係る平面光源の断面図である。
符号の説明
20 平面光源
201 陰極基板
202 陽極導電層
203 蛍光層
204 アルミ膜
205 密封部
206 電子放出層
207 陰極導電層
208 陰極基板
209 支持棒
210 非蒸発型ゲッターポンプ
211 カーボンナノチューブ
212 ガラス
213 導電の金属粒子
214 フィールドエミッタの陰極
215 陽極

Claims (8)

  1. 陰極導電層と、該陰極導電層に形成した電子放出層と、を含むフィールドエミッタの陰極において、
    前記電子放出層は、カーボンナノチューブ、低融点のガラス、導電性の金属粒子を有することを特徴とするフィールドエミッタの陰極。
  2. 前記導電性の金属粒子は、ITO又は銀からなることを特徴とする、請求項1に記載のフィールドエミッタの陰極。
  3. 前記カーボンナノチューブの長さは5〜15μmに設定されることを特徴とする、請求項1に記載のフィールドエミッタの陰極。
  4. 陰極導電層を準備する段階と、
    カーボンナノチューブ、導電の金属粒子、低融点のガラス、有機基材をペーストに形成する段階と、
    前記ペーストを前記陰極導電層に塗布して電子放出層を形成した後、乾燥させて焼結するように加工を行う段階と、
    を含むことを特徴とするフィールドエミッタの陰極の製造方法。
  5. 前記乾燥及び焼結加工を行った後、前記電子放出層に対して研磨加工することを特徴とする、請求項4に記載のフィールドエミッタの陰極の製造方法。
  6. 前記ペーストは、5〜15wt%のカーボンナノチューブと、10〜20wt%の導電性金属粒子と、5wt%の低融点のガラスと、60〜80wt%の有機基材と、からなることを特徴とする、請求項4に記載のフィールドエミッタの陰極の製造方法。
  7. 前記カーボンナノチューブの長さは5〜15μmに設定されることを特徴とする、請求項4又は6に記載のフィールドエミッタの陰極の製造方法。
  8. 請求項1〜3の何れか一項に記載のフィールドエミッタの陰極と、
    陽極導電層及び該陽極導電層に形成した蛍光層を有し、前記蛍光層が前記電子放出層に対向して設置された陽極と、を含むことを特徴とする平面光源。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8733339B2 (en) 2008-04-18 2014-05-27 Tsinghua University Solar collector and solar heating system using same
US9010315B2 (en) 2008-04-11 2015-04-21 Tsinghua University Solar collector based on carbon nanotubes and solar heating system using the same
JP2016018779A (ja) * 2014-07-10 2016-02-01 ツィンファ ユニバーシティ 電界放出陰極素子及び電界放出装置
US9263660B2 (en) 2009-02-20 2016-02-16 Tsinghua University Generator

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101192493B (zh) * 2006-11-22 2011-02-02 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 阳极装置及其制造方法
CN101266180A (zh) * 2007-03-16 2008-09-17 清华大学 电离规
CN101285960B (zh) * 2007-04-13 2012-03-14 清华大学 场发射背光源
CN101303955B (zh) 2007-05-09 2010-05-26 清华大学 离子源组件
CN101303264B (zh) * 2007-05-09 2010-05-26 清华大学 电离规
CN101303960B (zh) * 2007-05-11 2012-03-14 清华大学 场发射背光源
KR100879301B1 (ko) * 2007-06-28 2009-01-19 삼성에스디아이 주식회사 발광 장치 및 이 발광 장치를 광원으로 사용하는 표시 장치
CN102254765B (zh) * 2010-05-20 2013-04-24 清华大学 场发射装置的制备方法
CN102347180B (zh) * 2010-07-29 2015-06-10 海洋王照明科技股份有限公司 碳纳米管阴极材料及其制备方法
JP5926709B2 (ja) * 2012-08-29 2016-05-25 国立大学法人東北大学 電界電子放出膜、電界電子放出素子、発光素子およびそれらの製造方法
CN103775909A (zh) * 2012-10-24 2014-05-07 海洋王照明科技股份有限公司 地埋灯
CN103117205B (zh) * 2013-01-30 2016-03-30 深圳市华星光电技术有限公司 显示设备、背光模组及其场发射光源装置和制造方法
CN103646847A (zh) * 2013-12-07 2014-03-19 四川天微电子有限责任公司 紫外线发射器
US10175005B2 (en) * 2015-03-30 2019-01-08 Infinera Corporation Low-cost nano-heat pipe
WO2022188003A1 (zh) * 2021-03-08 2022-09-15 中国科学院深圳先进技术研究院 碳纳米管阴极的制作方法、碳纳米管阴极及电子设备
CN113517164B (zh) * 2021-03-08 2024-03-29 中国科学院深圳先进技术研究院 碳纳米管阴极的制作方法、碳纳米管阴极及电子设备

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6537427B1 (en) * 1999-02-04 2003-03-25 Micron Technology, Inc. Deposition of smooth aluminum films
JP4323679B2 (ja) * 2000-05-08 2009-09-02 キヤノン株式会社 電子源形成用基板及び画像表示装置
EP1315191B1 (en) * 2001-11-23 2007-08-22 Samsung SDI Co. Ltd. Composite for paste including carbon nanotubes, electron emitting device using the same, and manufacturing method thereof
JP2004178891A (ja) 2002-11-26 2004-06-24 Mitsubishi Electric Corp 電子放出型発光素子の製造方法
KR100879293B1 (ko) * 2002-12-26 2009-01-19 삼성에스디아이 주식회사 다층 구조로 형성된 전자 방출원을 구비한 전계 방출표시장치
JP2004253201A (ja) 2003-02-19 2004-09-09 Nitta Ind Corp 電界放出型冷陰極およびその製造方法
JP4851704B2 (ja) 2003-10-24 2012-01-11 太陽ホールディングス株式会社 カーボンナノチューブのパターン形成方法およびそのパターン形成物
KR20050120196A (ko) * 2004-06-18 2005-12-22 삼성에스디아이 주식회사 전자 방출 소자

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9010315B2 (en) 2008-04-11 2015-04-21 Tsinghua University Solar collector based on carbon nanotubes and solar heating system using the same
US8733339B2 (en) 2008-04-18 2014-05-27 Tsinghua University Solar collector and solar heating system using same
US9263660B2 (en) 2009-02-20 2016-02-16 Tsinghua University Generator
JP2016018779A (ja) * 2014-07-10 2016-02-01 ツィンファ ユニバーシティ 電界放出陰極素子及び電界放出装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20070051965A1 (en) 2007-03-08
CN1897204A (zh) 2007-01-17
CN100583349C (zh) 2010-01-20
US7728504B2 (en) 2010-06-01
JP4481948B2 (ja) 2010-06-16

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