JP2007019288A - 薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 - Google Patents
薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 フォトレジスト法を用いてパターン化された薄膜を形成するに当たり、パターン化前の薄膜200の一面を、乳酸エステルを含有する処理液300で処理し、その後に、フォトレジストマスクを形成する。乳酸エステルとしては、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸メチルから選択された少なくとも一種を用いることができる。薄膜200は、一面に水酸基を含むもの、具体的には、Al2O3を主成分とするものが適している。
【選択図】 図2
Description
(a)フォトレジストの塗布ムラを低減し得る薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法を提供することができる。
(b)フォトレジストの密着性を向上し得る薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法を提供することができる。
CH3CH(OH)COOC2H5と表わすことができる。この化学式における水酸基(−OH)が、薄膜の表面に存在する水酸基OHまたはH2O分子と結びつき、薄膜の表面に、疎水性のメチル基(−CH3)やエチル基(−C2H5)が残り、これらが、フォトレジストに対する濡れ性を生じさせる。
実施例1
図1において、Al2O3薄膜200を形成し、その一面を、図2を参照して説明したように、乳酸エチルで処理し、その後、図3〜図9に示したプロセスを実行した。
比較例1
乳酸エチルに代えて、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)を用いたほかは、実施例1と同様にして、図1〜図9に示したプロセスを実行した。
比較例2
乳酸エチルに代えて、ペグミア(PGME+PGMEA)を用いたほかは、実施例1と同様にして、図1〜図9に示したプロセスを実行した。
比較例3
乳酸エチルに代えて、リン酸塩を用いたほかは、実施例1と同様にして、図1〜図9に示したプロセスを実行した。
200 薄膜
300 乳酸エステル処理液
400 第1のフォトレジスト層
500 第2のフォトレジスト層
Claims (10)
- フォトレジスト法を用いてパターン化された薄膜を得る方法であって、
パターン化前の前記薄膜の一面を、乳酸エステルを含有する処理液で処理し、
その後に、前記薄膜の一面上にフォトレジストを塗布し、フォトレジストマスクを形成し、前記フォトレジストマスクを用いて前記薄膜をパターン化する、
工程を含む薄膜形成方法。 - 請求項1に記載された方法であって、前記薄膜をパターン化する工程は、前記薄膜にスルーホールを形成する工程を含む、薄膜形成方法。
- 請求項2に記載された方法であって、前記スルーホール内に前記薄膜と材質の異なる薄膜を形成する工程を含む、薄膜形成方法。
- 請求項1乃至3の何れかに記載された方法であって、前記乳酸エステルは、乳酸エチル、乳酸ブチル、乳酸メチルから選択された少なくとも一種である薄膜形成方法。
- 請求項1乃至4の何れかに記載された方法であって、前記薄膜は、前記一面に水酸基を含む薄膜形成方法。
- 請求項5に記載された方法であって、前記薄膜は、Al2O3を主成分とする薄膜形成方法。
- 請求項1乃至6の何れかに記載された方法であって、前記フォトレジストの層は、前記薄膜の前記一面に付着される層がポリ・ジメチル・グルタルイミドである薄膜形成方法。
- 請求項7に記載された方法であって、前記フォトレジスト層は、前記ポリ・ジメチル・グルタルイミドの層の上に、第2の層を有する薄膜形成方法。
- 薄膜を含むマイクロデバイスの製造方法において、前記薄膜を、請求項1乃至8の何れかに記載された方法によって形成する工程を含むマイクロデバイスの製造方法。
- 請求項9に記載されたマイクロデバイスの製造方法であって、前記マイクロデバイスは薄膜磁気ヘッドであるマイクロデバイスの製造方法。
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JP2005199742A JP2007019288A (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 薄膜形成方法およびマイクロデバイスの製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009140979A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2010232352A (ja) * | 2009-03-26 | 2010-10-14 | Ulvac Japan Ltd | ドライエッチング方法及び金属薄膜のパターニング方法 |
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2005
- 2005-07-08 JP JP2005199742A patent/JP2007019288A/ja active Pending
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