JP2007019244A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 第1の偏向手段及び第2の偏向手段よりも試料側で荷電粒子レンズよりも荷電粒子源側での荷電粒子線の光軸が荷電粒子レンズの光軸と平行に維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する荷電粒子線装置、露光装置およびその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】第1の偏向手段によって偏向され第2の偏向手段によって偏向された荷電粒子線を通過させる開口を有する遮蔽板と、遮蔽板を通過した荷電粒子線を収束して試料上に照射する荷電粒子レンズと、を備え、第1の偏向手段及び第2の偏向手段よりも試料側で荷電粒子レンズよりも荷電粒子源側での荷電粒子線の光軸が荷電粒子レンズの光軸と平行に維持され、収束用の荷電粒子レンズの光軸との平行状態が維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する。
【選択図】 図1
【解決手段】第1の偏向手段によって偏向され第2の偏向手段によって偏向された荷電粒子線を通過させる開口を有する遮蔽板と、遮蔽板を通過した荷電粒子線を収束して試料上に照射する荷電粒子レンズと、を備え、第1の偏向手段及び第2の偏向手段よりも試料側で荷電粒子レンズよりも荷電粒子源側での荷電粒子線の光軸が荷電粒子レンズの光軸と平行に維持され、収束用の荷電粒子レンズの光軸との平行状態が維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、主に半導体集積回路等の露光に用いられる電子ビーム露光装置、イオンビーム露光装置、試料の分析等に用いられる電子顕微鏡、加工に用いられる収束イオンビーム装置等の荷電粒子線装置に関し、特に、複数の荷電粒子線を用いてパターン描画を行う荷電粒子線装置、露光装置およびその露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。
一般に、荷電粒子線装置では荷電粒子線を所望の方向に照射するために偏向器が設けられている。また、荷電粒子線の試料への照射を制御するために試料とは別に荷電粒子線遮蔽板を配置し、試料への照射と遮蔽板への照射を偏向器によって切り替えその目的を達している。この場合、偏向器に電圧、もしくは電流が印加された場合に遮蔽板に荷電粒子線が照射され、電圧もしくは電流が印加されない場合に試料に荷電粒子線が照射される。また、偏向器に電圧もしくは電流が印加された場合に試料に荷電粒子線が照射され、印加されない場合に遮蔽板に荷電粒子線が照射される荷電粒子線装置も存在する。通常、荷電粒子線の直進方向に試料を配置するが、この場合には目的を達するために遮蔽板と試料の位置関係を工夫するか、偏向器を複数配置している。
一方、荷電粒子線装置には荷電粒子を収束させるための静電、電磁レンズが配置されており各々のレンズの中心を荷電粒子が通ることがレンズ特性上好ましい。つまり試料に荷電粒子が照射される場合にはレンズの中心を荷電粒子が通過するように通常設計される。
また、荷電粒子線が複数本存在する場合には複数個の偏向器が設けられ、上記と同様の荷電粒子線の通過、遮断が制御される。
一方、荷電粒子線装置には荷電粒子を収束させるための静電、電磁レンズが配置されており各々のレンズの中心を荷電粒子が通ることがレンズ特性上好ましい。つまり試料に荷電粒子が照射される場合にはレンズの中心を荷電粒子が通過するように通常設計される。
また、荷電粒子線が複数本存在する場合には複数個の偏向器が設けられ、上記と同様の荷電粒子線の通過、遮断が制御される。
以上説明した荷電粒子線の制御方法として特願2003-348354号にて代表的な従来例が提案されている。
本従来例の一方法では、複数個の第2の偏向手段と、第2の偏向手段とは別に第1の偏向手段が設けられ、第2の偏向手段に電圧もしくは電流が印加された場合に試料に荷電粒子線が照射され、印加されない場合に遮蔽板に荷電粒子線が照射されるよう、第1の偏向手段には常時偏向信号を印加し、第2の偏向手段に信号が印加された場合に荷電粒子線が試料に到達するよう設計されている。これは複数個配置されている第2の偏向手段の何れかが故障した場合であっても荷電粒子線が試料に到達せず遮蔽板によって遮蔽されることを主な目的としている。
また、特開2002−296333号公報(特許文献1)にて、電子顕微鏡を含む荷電粒子線光学系を用いた装置において、試料に印加する磁場の方向(光軸と平行、もしくは、垂直)に係らず、荷電粒子線の光軸からのずれが生じないようにする「磁場印加試料観察システム」が提案され、照射光学系と試料との間に、荷電粒子線の進行方向に沿って順に第1及び第2の荷電粒子線偏向系と、試料と結像レンズ系との間に第3及び第4の荷電粒子線偏向系とを備え、各偏向系による荷電粒子線の偏向量及びその方向と該試料に印加する磁場の強さ及び方向とを所定の関係に従って連動させる。
特開2002−296333号公報
本従来例の一方法では、複数個の第2の偏向手段と、第2の偏向手段とは別に第1の偏向手段が設けられ、第2の偏向手段に電圧もしくは電流が印加された場合に試料に荷電粒子線が照射され、印加されない場合に遮蔽板に荷電粒子線が照射されるよう、第1の偏向手段には常時偏向信号を印加し、第2の偏向手段に信号が印加された場合に荷電粒子線が試料に到達するよう設計されている。これは複数個配置されている第2の偏向手段の何れかが故障した場合であっても荷電粒子線が試料に到達せず遮蔽板によって遮蔽されることを主な目的としている。
また、特開2002−296333号公報(特許文献1)にて、電子顕微鏡を含む荷電粒子線光学系を用いた装置において、試料に印加する磁場の方向(光軸と平行、もしくは、垂直)に係らず、荷電粒子線の光軸からのずれが生じないようにする「磁場印加試料観察システム」が提案され、照射光学系と試料との間に、荷電粒子線の進行方向に沿って順に第1及び第2の荷電粒子線偏向系と、試料と結像レンズ系との間に第3及び第4の荷電粒子線偏向系とを備え、各偏向系による荷電粒子線の偏向量及びその方向と該試料に印加する磁場の強さ及び方向とを所定の関係に従って連動させる。
しかしながら上記特願2003-348354号の従来例では荷電粒子線の照射、非照射は良好に制御できるものの、光軸には充分な考慮が払われていなため、第1の偏向手段及び第2の偏向手段によって荷電粒子線が試料に照射される場合、第1の偏向手段及び第2の偏向手段より電子源側の第1の光軸と、第1の偏向手段と第2の偏向手段より試料側の第2の光軸がずれて、第1の偏向手段及び第2の偏向手段より電子源側でレンズ中心を荷電粒子線が通過しても、第1の偏向手段及び第2の偏向手段より試料側ではレンズ中心を通らず収差が悪化し、荷電粒子線の収束作用に悪影響を及ぼし、荷電粒子線が劣化した。
そこで、本発明は、第1の偏向手段及び第2の偏向手段よりも試料側で荷電粒子レンズよりも荷電粒子源側での荷電粒子線の光軸が荷電粒子レンズの光軸と平行に維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する荷電粒子線装置、露光装置およびその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。
そこで、本発明は、第1の偏向手段及び第2の偏向手段よりも試料側で荷電粒子レンズよりも荷電粒子源側での荷電粒子線の光軸が荷電粒子レンズの光軸と平行に維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する荷電粒子線装置、露光装置およびその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために本発明の荷電粒子線装置は、荷電粒子源と、
前記荷電粒子源からの荷電粒子線を偏向制御する第1の偏向手段及び第2の偏向手段と、
前記第1の偏向手段によって偏向され前記第2の偏向手段によって偏向された前記荷電粒子線を通過させる開口を有する遮蔽板と、
前記遮蔽板を通過した前記荷電粒子線を収束して試料上に照射する荷電粒子レンズと、を備え、
前記第1の偏向手段及び前記第2の偏向手段よりも前記試料側で前記荷電粒子レンズよりも前記荷電粒子源側での前記荷電粒子線の光軸が前記荷電粒子レンズの光軸と平行に維持されることを特徴とする。
前記荷電粒子源からの荷電粒子線を偏向制御する第1の偏向手段及び第2の偏向手段と、
前記第1の偏向手段によって偏向され前記第2の偏向手段によって偏向された前記荷電粒子線を通過させる開口を有する遮蔽板と、
前記遮蔽板を通過した前記荷電粒子線を収束して試料上に照射する荷電粒子レンズと、を備え、
前記第1の偏向手段及び前記第2の偏向手段よりも前記試料側で前記荷電粒子レンズよりも前記荷電粒子源側での前記荷電粒子線の光軸が前記荷電粒子レンズの光軸と平行に維持されることを特徴とする。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段のいずれかが動作している場合には、前記遮蔽板に前記荷電粒子線が照射されるように前記第1の偏向手段及び前記第2の偏向手段に電圧又は電流が印加される。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記第1の偏向手段及び前記第2の偏向手段は両者共に静電偏向を行い、もしくは、両者共に電磁偏向を行う。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記レンズの内径に対する前記光軸変化量の比が1%以下であるよう、第1偏向手段及び第2の偏向手段が配置され、また電圧が印加される請求項2記載の荷電粒子線装置。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記第1の偏向手段より前記電子源側に第2の偏向手段が設けられ、前記第1の偏向手段より前記試料側に第3の偏向手段が設けられ、
前記全ての第1の偏向手段、第2の偏向手段及び第3の偏向手段が動作している場合には、前記第2の偏向手段及び第3の偏向手段は前記第1の偏向手段の荷電粒子線偏向方向とは逆方向に荷電粒子線を偏向し、
前記第2の偏向手段より前記電子源側の光軸と、前記第3の偏向手段より前記試料側の光軸とが、前記レンズの光軸と平行状態を維持し、前記レンズの収差が悪化しないように前記電圧もしくは電流が印加される請求項2記載の荷電粒子線装置。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記第1の偏向手段はビーム進行方向に垂直な同一平面上に複数個配置され、前記第2の偏向手段はビーム進行方向に垂直な同一平面上に一つ以上配置される請求項1から請求項5のいずれかに記載の荷電粒子線装置。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段はビーム進行方向に垂直な同一平面上に配置される請求項6記載の荷電粒子線装置。
さらに、本発明の露光装置は、前記荷電粒子線装置から成ることを特徴とする。
さらに、本発明のデバイス製造方法は、前記露光装置を用いて試料を露光する工程と、露光された前記試料を現像する工程と、を備える。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記第1の偏向手段及び前記第2の偏向手段は両者共に静電偏向を行い、もしくは、両者共に電磁偏向を行う。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記レンズの内径に対する前記光軸変化量の比が1%以下であるよう、第1偏向手段及び第2の偏向手段が配置され、また電圧が印加される請求項2記載の荷電粒子線装置。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記第1の偏向手段より前記電子源側に第2の偏向手段が設けられ、前記第1の偏向手段より前記試料側に第3の偏向手段が設けられ、
前記全ての第1の偏向手段、第2の偏向手段及び第3の偏向手段が動作している場合には、前記第2の偏向手段及び第3の偏向手段は前記第1の偏向手段の荷電粒子線偏向方向とは逆方向に荷電粒子線を偏向し、
前記第2の偏向手段より前記電子源側の光軸と、前記第3の偏向手段より前記試料側の光軸とが、前記レンズの光軸と平行状態を維持し、前記レンズの収差が悪化しないように前記電圧もしくは電流が印加される請求項2記載の荷電粒子線装置。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記第1の偏向手段はビーム進行方向に垂直な同一平面上に複数個配置され、前記第2の偏向手段はビーム進行方向に垂直な同一平面上に一つ以上配置される請求項1から請求項5のいずれかに記載の荷電粒子線装置。
さらに、本発明の荷電粒子線装置は、前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段はビーム進行方向に垂直な同一平面上に配置される請求項6記載の荷電粒子線装置。
さらに、本発明の露光装置は、前記荷電粒子線装置から成ることを特徴とする。
さらに、本発明のデバイス製造方法は、前記露光装置を用いて試料を露光する工程と、露光された前記試料を現像する工程と、を備える。
本発明の荷電粒子線装置によれば、第1の偏向手段によって偏向され第2の偏向手段によって偏向された荷電粒子線を通過させる開口を有する遮蔽板と、前記遮蔽板を通過した前記荷電粒子線を収束して試料上に照射する荷電粒子レンズと、を備え、前記第1の偏向手段及び前記第2の偏向手段よりも前記試料側で前記荷電粒子レンズよりも前記荷電粒子源側での前記荷電粒子線の光軸が前記荷電粒子レンズの光軸と平行に維持される。
このため、収束用の荷電粒子レンズの光軸との平行状態が維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する。
さらに、本発明の露光装置によれば、前記荷電粒子線装置から成るため、収束用の荷電粒子レンズの光軸との平行状態が維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する。
さらに、本発明のデバイス製造方法によれば、前記露光装置を用いるため収束用の荷電粒子レンズの光軸との平行状態が維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する。
このため、収束用の荷電粒子レンズの光軸との平行状態が維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する。
さらに、本発明の露光装置によれば、前記荷電粒子線装置から成るため、収束用の荷電粒子レンズの光軸との平行状態が維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する。
さらに、本発明のデバイス製造方法によれば、前記露光装置を用いるため収束用の荷電粒子レンズの光軸との平行状態が維持されないことに起因する収束用の荷電粒子レンズの収差の悪化を防止して荷電粒子線の劣化を防止する。
以下、本発明を、その実施例に基づいて、図面を参照して説明する。
本発明の実施例1の荷電粒子線装置としてマルチ電子ビーム露光装置の例を示す。
なお、本発明の荷電粒子線露光装置は、荷電粒子線である電子ビームに限らずイオンビームを用いた露光装置にも同様に適用でき、マルチ電子ビームに限らずシングルビームについても適用できる。
以下、図1の要部概略図を参照して本発明の実施例1の荷電粒子線装置である露光装置を説明する。
電子源1より放射状に放出される荷電粒子線10はコリメータレンズ2によって所望の大きさを持った面積ビームに成形された後、マスク3にほぼ垂直入射される。マスク3は複数のパターンを持つマスクである。マスク3を通して成形された荷電粒子線子10はレンズアレイ4によってそれぞれブランキングアレイ6に収束される。ブランキングアレイ6は偏向板アレイであり、個々の荷電粒子線10を偏向することが出来る。ブランキングアレイ6の直下には静電型の偏向器5が配置されており、全ての荷電粒子線10を同時に偏向する。ブランキングアレイ6、偏向器5によって偏向された荷電粒子線10はブランキング絞り9によって遮蔽され、ブランキングアレイ6、偏向器5によって偏向されない荷電粒子線10は荷電粒子レンズ7,8によって収束された後に試料11上に照射される。
なお、本発明の荷電粒子線露光装置は、荷電粒子線である電子ビームに限らずイオンビームを用いた露光装置にも同様に適用でき、マルチ電子ビームに限らずシングルビームについても適用できる。
以下、図1の要部概略図を参照して本発明の実施例1の荷電粒子線装置である露光装置を説明する。
電子源1より放射状に放出される荷電粒子線10はコリメータレンズ2によって所望の大きさを持った面積ビームに成形された後、マスク3にほぼ垂直入射される。マスク3は複数のパターンを持つマスクである。マスク3を通して成形された荷電粒子線子10はレンズアレイ4によってそれぞれブランキングアレイ6に収束される。ブランキングアレイ6は偏向板アレイであり、個々の荷電粒子線10を偏向することが出来る。ブランキングアレイ6の直下には静電型の偏向器5が配置されており、全ての荷電粒子線10を同時に偏向する。ブランキングアレイ6、偏向器5によって偏向された荷電粒子線10はブランキング絞り9によって遮蔽され、ブランキングアレイ6、偏向器5によって偏向されない荷電粒子線10は荷電粒子レンズ7,8によって収束された後に試料11上に照射される。
偏向器5を使用せずに、荷電粒子線10のオンオフをブランキングアレイ6のみ使用して行った場合、図2(a)に示されるようにブランキングアレイ6に電圧を印加するとブランキング絞り9に荷電粒子線10が照射され、電圧を印加しないと試料11に荷電粒子線10が照射される。
しかしながら、ブランキングアレイ6は複数の偏向器を持ち、図2(b)に示されるようにブランキングアレイ6内の1つの偏向器でも故障すると試料11上に常時、荷電粒子線10が照射される。
そこで、図2(c)に示されるように偏向器5を使用して常時、荷電粒子線10を偏向した状態におくと、ブランキングアレイ6が動作している場合に試料への荷電粒子線10の照射が行われ、ブランキングアレイ6が動作していない場合にはブランキング絞り9に荷電粒子線10が照射される。
すなわち、例えブランキングアレイ6の何れかが故障した場合においても、荷電粒子線10が試料11に照射されることがない。
しかし、上記の場合においては、図2(c)に示されるように偏向器5、ブランキングアレイ6の上下において荷電粒子線10の位置がシフトしてしまう。偏向器5、ブランキングアレイ6の上下にはそれぞれレンズアレイ4、荷電粒子レンズ7等が配置されており、それぞれのレンズ中心に荷電粒子線10を通すことが出来ず解像度の劣化が避けられない。
図2(c)ではブランキングアレイ6の上に偏向器5が配置されているが、ブランキングアレイ6の下に図1に示されるようにブランキングアレイ6の下に偏向器5が配置されている形態においても同様の問題が生ずる。
しかしながら、ブランキングアレイ6は複数の偏向器を持ち、図2(b)に示されるようにブランキングアレイ6内の1つの偏向器でも故障すると試料11上に常時、荷電粒子線10が照射される。
そこで、図2(c)に示されるように偏向器5を使用して常時、荷電粒子線10を偏向した状態におくと、ブランキングアレイ6が動作している場合に試料への荷電粒子線10の照射が行われ、ブランキングアレイ6が動作していない場合にはブランキング絞り9に荷電粒子線10が照射される。
すなわち、例えブランキングアレイ6の何れかが故障した場合においても、荷電粒子線10が試料11に照射されることがない。
しかし、上記の場合においては、図2(c)に示されるように偏向器5、ブランキングアレイ6の上下において荷電粒子線10の位置がシフトしてしまう。偏向器5、ブランキングアレイ6の上下にはそれぞれレンズアレイ4、荷電粒子レンズ7等が配置されており、それぞれのレンズ中心に荷電粒子線10を通すことが出来ず解像度の劣化が避けられない。
図2(c)ではブランキングアレイ6の上に偏向器5が配置されているが、ブランキングアレイ6の下に図1に示されるようにブランキングアレイ6の下に偏向器5が配置されている形態においても同様の問題が生ずる。
この荷電粒子線10の位置シフト量はレンズ8の収差に影響するため、レンズ収差に影響しない程度であれば問題無いと考えられる。つまり、レンズ内径の1%以下であれば収差への影響はほぼ無視することが出来る。
本発明の実施例1では偏向器5、ブランキングアレイ6より上側では荷電粒子線10のビーム軸とレンズ軸は一致するよう調整されているため、偏向器5、ブランキングアレイ6より下流での軸ずれ量がレンズ内径の1%以下、つまりレンズ7の内径は100mmであるため1mm以下の軸ずれ量をめざすべく偏向器5、ブランキングアレイ6の偏向角度をそれぞれ1mrad、偏向器5とブランキングアレイ6の偏向中心間距離を20mmとしている。この場合軸ずれ量は20ミクロンであり、収差に対しては充分無視できる量である。
上記の偏向器配置において荷電粒子線10のビーム径を試料11上にて測定したところ、偏向器5、ブランキングアレイ6を動作させない場合ではビーム径は50nmであったが、偏向器5、ブランキングアレイ6の両者を動作させた場合には52nmであり、ほぼ無視できる量であることがわかった。
なお、上記実施例1においては偏向器5、ブランキングアレイ6は静電型の例を用いて説明したが、電磁型偏向器を用いても同様の効果を得ることが出来る。
本発明の実施例1では偏向器5、ブランキングアレイ6より上側では荷電粒子線10のビーム軸とレンズ軸は一致するよう調整されているため、偏向器5、ブランキングアレイ6より下流での軸ずれ量がレンズ内径の1%以下、つまりレンズ7の内径は100mmであるため1mm以下の軸ずれ量をめざすべく偏向器5、ブランキングアレイ6の偏向角度をそれぞれ1mrad、偏向器5とブランキングアレイ6の偏向中心間距離を20mmとしている。この場合軸ずれ量は20ミクロンであり、収差に対しては充分無視できる量である。
上記の偏向器配置において荷電粒子線10のビーム径を試料11上にて測定したところ、偏向器5、ブランキングアレイ6を動作させない場合ではビーム径は50nmであったが、偏向器5、ブランキングアレイ6の両者を動作させた場合には52nmであり、ほぼ無視できる量であることがわかった。
なお、上記実施例1においては偏向器5、ブランキングアレイ6は静電型の例を用いて説明したが、電磁型偏向器を用いても同様の効果を得ることが出来る。
次に、本発明の実施例2の荷電粒子線装置について説明する。
実施例1では偏向器5とブランキングアレイ6との距離を規定することにより、偏向器5、ブランキングアレイ6が動作した場合においても収差特性を殆ど損なうことなく試料11への荷電粒子線10のビーム照射を行うことが出来たが、ブランキングアレイ6と偏向器5の距離をいかに小さくしてもレンズ収差への影響は少なからず残る。
そこで、本実施例2では偏向器5、ブランキングアレイ6の上下において軸ずれを完全に無くし、偏向器5、ブランキングアレイ6の動作によってレンズ収差の特性が損なわれない構成を目指した。
図3に本発明の実施例2の荷電粒子線装置を構成する偏向器5、ブランキングアレイ6の配置を示す。
本実施例2ではブランキングアレイ6の上下に静電型の偏向器5−1、偏向器5−2が配置される。偏向器5−1、5−2は全ての荷電粒子線10に共通の偏向器であり、ブランキングアレイ6−1、6−2は個々の荷電粒子線10を偏向するための偏向器である。偏向器5−1、5−2は荷電粒子線10を右側に偏向する作用を持ち、ブランキングアレイ6は荷電粒子線10を左側に偏向する。それぞれの偏向角度は偏向器5−1、5−2が500μrad、ブランキングアレイ6が1mradである。また、偏向器5−1、5−2はブランキングアレイ6に対して対称に配置されている。
以上の構成では、偏向器5−1、5−2のみを動作させた場合には荷電粒子線10はブランキング絞り9に照射され、さらにブランキングアレイ6を動作させた場合には荷電粒子線10は試料11に照射される。
また、ブランキングアレイ6−2の如くブランキングアレイ6中の一部のブランカーが故障した場合にも荷電粒子線10は試料11に到達することなくブランキング絞り9によって遮断される。
以上の構成では荷電粒子線10は偏向器5、ブランキングアレイ6の上下で軸ずれを起こさず、荷電粒子線10のビーム特性の劣化を招くことが無い。
上記の偏向器配置において荷電粒子線10のビーム径を試料11上にて測定したところ、偏向器5、ブランキングアレイ6を動作させない場合ではビーム径は50nmであったが、偏向器5、ブランキングアレイ6の両者を動作させた場合でも50nmであり、偏向器動作によるビーム径の劣化は観測されることが無かった。
なお、上記実施例2においては偏向器5、ブランキングアレイ6は静電型の例を用いて説明したが、電磁型偏向器を用いても同様の効果を得ることが出来る。
また、上記実施例2では偏向器5−1、5−2はブランキングアレイ6に対して対称な位置に配置したが、非対称な位置であっても偏向器5−1、5−2、ブランキングアレイ6の偏向感度と位置関係を調節することによって同様の効果を得ることが出来る。
実施例1では偏向器5とブランキングアレイ6との距離を規定することにより、偏向器5、ブランキングアレイ6が動作した場合においても収差特性を殆ど損なうことなく試料11への荷電粒子線10のビーム照射を行うことが出来たが、ブランキングアレイ6と偏向器5の距離をいかに小さくしてもレンズ収差への影響は少なからず残る。
そこで、本実施例2では偏向器5、ブランキングアレイ6の上下において軸ずれを完全に無くし、偏向器5、ブランキングアレイ6の動作によってレンズ収差の特性が損なわれない構成を目指した。
図3に本発明の実施例2の荷電粒子線装置を構成する偏向器5、ブランキングアレイ6の配置を示す。
本実施例2ではブランキングアレイ6の上下に静電型の偏向器5−1、偏向器5−2が配置される。偏向器5−1、5−2は全ての荷電粒子線10に共通の偏向器であり、ブランキングアレイ6−1、6−2は個々の荷電粒子線10を偏向するための偏向器である。偏向器5−1、5−2は荷電粒子線10を右側に偏向する作用を持ち、ブランキングアレイ6は荷電粒子線10を左側に偏向する。それぞれの偏向角度は偏向器5−1、5−2が500μrad、ブランキングアレイ6が1mradである。また、偏向器5−1、5−2はブランキングアレイ6に対して対称に配置されている。
以上の構成では、偏向器5−1、5−2のみを動作させた場合には荷電粒子線10はブランキング絞り9に照射され、さらにブランキングアレイ6を動作させた場合には荷電粒子線10は試料11に照射される。
また、ブランキングアレイ6−2の如くブランキングアレイ6中の一部のブランカーが故障した場合にも荷電粒子線10は試料11に到達することなくブランキング絞り9によって遮断される。
以上の構成では荷電粒子線10は偏向器5、ブランキングアレイ6の上下で軸ずれを起こさず、荷電粒子線10のビーム特性の劣化を招くことが無い。
上記の偏向器配置において荷電粒子線10のビーム径を試料11上にて測定したところ、偏向器5、ブランキングアレイ6を動作させない場合ではビーム径は50nmであったが、偏向器5、ブランキングアレイ6の両者を動作させた場合でも50nmであり、偏向器動作によるビーム径の劣化は観測されることが無かった。
なお、上記実施例2においては偏向器5、ブランキングアレイ6は静電型の例を用いて説明したが、電磁型偏向器を用いても同様の効果を得ることが出来る。
また、上記実施例2では偏向器5−1、5−2はブランキングアレイ6に対して対称な位置に配置したが、非対称な位置であっても偏向器5−1、5−2、ブランキングアレイ6の偏向感度と位置関係を調節することによって同様の効果を得ることが出来る。
次に、本発明の実施例3の荷電粒子線装置について説明する。
上述の本発明の実施例2では偏向器5−1、5−2をブランキングアレイ6の上下に配置することによって、偏向器5、ブランキングアレイ6の上下において軸ずれをなくすことが出来たが、図3に示されるようにブランキングアレイ6の中心を通っていない。これはブランキングアレイ6を通過する荷電粒子線10のビーム位置の許容誤差を狭めることとなり、偏向器5−1の偏向量によっては荷電粒子線10がブランキングアレイ6を通過させることが困難となる。
そこで本実施例3では以下に示す方法にてブランキングアレイ6中心を荷電粒子線10が通り、かつブランキングアレイ6の上下において荷電粒子線10の軸ずれを生じない方法を実現した。
図4に本発明の実施例3の荷電粒子線装置を構成する偏向器5、ブランキングアレイ6の配置を示す。
本実施例3の場合、偏向器5は電磁偏向器、ブランキングアレイ6−1,6−2は静電偏向器である。そして偏向器5とブランキングアレイ6の荷電粒子線10の各ビームに対する偏向中心は一致するよう、同一面上に配置される。また、偏向器5とブランキングアレイの偏向感度は同じく、向きが反対になるように構成される。
この場合偏向器5のみが動作している場合はビームが偏向され、偏向器5とブランキングアレイ6が動作している場合には荷電粒子線10が偏向されないため、前記実施例2と同様偏向器5を常時動作させ、ブランキングアレイ6をオンオフすることにより荷電粒子線10の試料11、ブランキング絞り9への照射を制御することができ、ブランキングアレイ6を動作させた場合に荷電粒子線10を試料11に照射することが出来る。
また、前実施例2と同様、ブランキングアレイ6−2のようにブランキングアレイ6の一部が故障しても荷電粒子線10が試料11へ常時、照射されることが無い。さらに偏向器5とブランキングアレイ6の偏向位置が同じであるため、偏向器5、ブランキングアレイ6の上下のみならず全ての位置において荷電粒子線10の軸ずれを生ずることが無い。
上記の偏向器配置において荷電粒子線10のビーム径を試料11上にて測定したところ、偏向器5、ブランキングアレイ6を動作させない場合では荷電粒子線10のビーム径は50nmであったが、偏向器5、ブランキングアレイ6の両者を動作させた場合でも50nmであり、偏向器動作による荷電粒子線10のビーム径の劣化は観測されることが無かった。
上述の本発明の実施例2では偏向器5−1、5−2をブランキングアレイ6の上下に配置することによって、偏向器5、ブランキングアレイ6の上下において軸ずれをなくすことが出来たが、図3に示されるようにブランキングアレイ6の中心を通っていない。これはブランキングアレイ6を通過する荷電粒子線10のビーム位置の許容誤差を狭めることとなり、偏向器5−1の偏向量によっては荷電粒子線10がブランキングアレイ6を通過させることが困難となる。
そこで本実施例3では以下に示す方法にてブランキングアレイ6中心を荷電粒子線10が通り、かつブランキングアレイ6の上下において荷電粒子線10の軸ずれを生じない方法を実現した。
図4に本発明の実施例3の荷電粒子線装置を構成する偏向器5、ブランキングアレイ6の配置を示す。
本実施例3の場合、偏向器5は電磁偏向器、ブランキングアレイ6−1,6−2は静電偏向器である。そして偏向器5とブランキングアレイ6の荷電粒子線10の各ビームに対する偏向中心は一致するよう、同一面上に配置される。また、偏向器5とブランキングアレイの偏向感度は同じく、向きが反対になるように構成される。
この場合偏向器5のみが動作している場合はビームが偏向され、偏向器5とブランキングアレイ6が動作している場合には荷電粒子線10が偏向されないため、前記実施例2と同様偏向器5を常時動作させ、ブランキングアレイ6をオンオフすることにより荷電粒子線10の試料11、ブランキング絞り9への照射を制御することができ、ブランキングアレイ6を動作させた場合に荷電粒子線10を試料11に照射することが出来る。
また、前実施例2と同様、ブランキングアレイ6−2のようにブランキングアレイ6の一部が故障しても荷電粒子線10が試料11へ常時、照射されることが無い。さらに偏向器5とブランキングアレイ6の偏向位置が同じであるため、偏向器5、ブランキングアレイ6の上下のみならず全ての位置において荷電粒子線10の軸ずれを生ずることが無い。
上記の偏向器配置において荷電粒子線10のビーム径を試料11上にて測定したところ、偏向器5、ブランキングアレイ6を動作させない場合では荷電粒子線10のビーム径は50nmであったが、偏向器5、ブランキングアレイ6の両者を動作させた場合でも50nmであり、偏向器動作による荷電粒子線10のビーム径の劣化は観測されることが無かった。
次に、図5を参照して、本発明の実施例の露光装置を用いて半導体デバイスを製造する本発明の実施例4のデバイス製造方法を説明する。
図5は微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(露光制御データ作成)では設計した回路パターンに基づいて露光装置の露光制御データを作成する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意した露光制御データが入力された露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
図5は微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ2(露光制御データ作成)では設計した回路パターンに基づいて露光装置の露光制御データを作成する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意した露光制御データが入力された露光装置とウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷(ステップ7)される。
1 電子源 2 コリメータレンズ
3 マスク 4 レンズアレイ
5、5−1、5−2 偏向器
6、6−1,6−2 ブランキングアレイ
7、8 荷電粒子レンズ 9 ブランキング絞り
10 荷電粒子線 11 試料
3 マスク 4 レンズアレイ
5、5−1、5−2 偏向器
6、6−1,6−2 ブランキングアレイ
7、8 荷電粒子レンズ 9 ブランキング絞り
10 荷電粒子線 11 試料
Claims (9)
- 荷電粒子源と、
前記荷電粒子源からの荷電粒子線を偏向制御する第1の偏向手段及び第2の偏向手段と、
前記第1の偏向手段によって偏向され前記第2の偏向手段によって偏向された前記荷電粒子線を通過させる開口を有する遮蔽板と、
前記遮蔽板を通過した前記荷電粒子線を収束して試料上に照射する荷電粒子レンズと、を備え、
前記第1の偏向手段及び前記第2の偏向手段よりも前記試料側で前記荷電粒子レンズよりも前記荷電粒子源側での前記荷電粒子線の光軸が前記荷電粒子レンズの光軸と平行に維持されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段のいずれかが動作している場合には、前記遮蔽板に前記荷電粒子線が照射されるように前記第1の偏向手段及び前記第2の偏向手段に電圧又は電流が印加される請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記第1の偏向手段及び前記第2の偏向手段は両者共に静電偏向を行い、もしくは、両者共に電磁偏向を行う請求項1記載の荷電粒子線装置。
- 前記レンズの内径に対する前記光軸変化量の比が1%以下であるよう、第1偏向手段及び第2の偏向手段が配置され、また電圧が印加される請求項2記載の荷電粒子線装置。
- 前記第1の偏向手段より前記電子源側に第2の偏向手段が設けられ、前記第1の偏向手段より前記試料側に第3の偏向手段が設けられ、
前記全ての第1の偏向手段、第2の偏向手段及び第3の偏向手段が動作している場合には、前記第2の偏向手段及び第3の偏向手段は前記第1の偏向手段の荷電粒子線偏向方向とは逆方向に荷電粒子線を偏向し、
前記第2の偏向手段より前記電子源側の光軸と、前記第3の偏向手段より前記試料側の光軸とが、前記レンズの光軸と平行状態を維持し、前記レンズの収差が悪化しないように前記電圧もしくは電流が印加される請求項2記載の荷電粒子線装置。 - 前記第1の偏向手段はビーム進行方向に垂直な同一平面上に複数個配置され、前記第2の偏向手段はビーム進行方向に垂直な同一平面上に一つ以上配置される請求項1から請求項5のいずれかに記載の荷電粒子線装置。
- 前記第1の偏向手段と前記第2の偏向手段はビーム進行方向に垂直な同一平面上に配置される請求項6記載の荷電粒子線装置。
- 請求項1から7のいずれかに記載の荷電粒子線装置から成ることを特徴とする露光装置
- 請求項8記載の露光装置を用いて試料を露光する工程と、露光された前記試料を現像する工程と、を備えるデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005198839A JP2007019244A (ja) | 2005-07-07 | 2005-07-07 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005198839A JP2007019244A (ja) | 2005-07-07 | 2005-07-07 | 荷電粒子線装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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ID=37756131
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JP2005198839A Pending JP2007019244A (ja) | 2005-07-07 | 2005-07-07 | 荷電粒子線装置 |
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JP (1) | JP2007019244A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010098294A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-30 | Nuflare Technology Inc | 描画装置及び描画方法 |
JP2010223445A (ja) * | 2009-03-19 | 2010-10-07 | Mitsubishi Electric Corp | 流体分配器及びその製造方法 |
-
2005
- 2005-07-07 JP JP2005198839A patent/JP2007019244A/ja active Pending
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