JP2007019139A - Feedback correction method and unit, part mounting method and device, and part mounting system - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a feedback correction method which is capable of displaying the correction effect of feedback in the minimum production number of pieces in a part mounting process of mounting electronic parts on the side edges of a liquid crystal panel. <P>SOLUTION: A feedback correction unit 100 reads out from a deviation inspection unit F the inspection result of a deviation volume as a position difference between the center point of an electronic part and the center point of a mounting target position, and the feedback volume of the electronic part whose deviation volume is checked when it is mounted on a board. Furthermore, the feedback correction unit 100 is equipped with a calculation unit 101 calculating the feedback volume of a board that is manufactured next, a memory unit 102 storing parameters used in a temporary crimping operation, and a control unit 103 carrying out a mounting position correcting operation etc of the electronic part on the basis of a feedback volume for a temporary crimping unit C based on a calculation result from the calculation unit 101. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子部品の基板への実装時におけるフィードバック補正方法に関し、特に、電子部品を液晶パネルに実装する部品実装工程に用いるフィードバック補正方法に関する。   The present invention relates to a feedback correction method when an electronic component is mounted on a substrate, and more particularly, to a feedback correction method used in a component mounting process for mounting an electronic component on a liquid crystal panel.

従来、液晶パネルなどの電子機器の表示パネルは、表示パネルの端部に沿って形成された電極に、例えばドライバーICのような電子部品の電極をボンディングして組み立てられる。そして、電子部品のドライバーICと表示パネルの電極は狭ピッチであって、高い位置合わせ精度が要求されることから、ドライバーICと表示パネルの電極の間に異方性導電シート(以下「ACF」)を介在させてボンディングする方法が多用されている。   Conventionally, a display panel of an electronic device such as a liquid crystal panel is assembled by bonding an electrode of an electronic component such as a driver IC to an electrode formed along an end portion of the display panel. Since the driver IC of the electronic component and the electrode of the display panel have a narrow pitch and high alignment accuracy is required, an anisotropic conductive sheet (hereinafter referred to as “ACF”) is provided between the driver IC and the electrode of the display panel. ) Is often used for bonding.

このACFは、粘着性を有する合成樹脂シートから成っており、このACFを予め表示パネルの電極の上面、若しくはドライバーICの下面に貼着させておき、ドライバーICを圧着ツールにより表示パネルの電極にボンディングするのに先立って、カメラなどの測定装置によりドライバーICと表示パネルの電極を予め観察して電子部品と表示パネルの相対的な位置ズレを検出し、例えば表示パネルが載置されたXYθテーブルなどの位置合わせ手段により表示パネルをX方向、Y方向、θ方向(水平回転方向)に移動させるなどして上記位置ズレを補正した後、圧着ツールにドライバーICを表示パネルの電極に圧着してボンディングする。   The ACF is made of an adhesive synthetic resin sheet. The ACF is previously attached to the upper surface of the display panel electrode or the lower surface of the driver IC, and the driver IC is attached to the display panel electrode by a crimping tool. Prior to bonding, an electrode such as a camera IC and a display panel is observed in advance by a measuring device such as a camera to detect a relative displacement between the electronic component and the display panel. For example, an XYθ table on which the display panel is mounted After correcting the above-mentioned misalignment by moving the display panel in the X, Y, and θ directions (horizontal rotation direction) using alignment means such as the above, the driver IC is crimped onto the electrodes of the display panel using a crimping tool. Bond.

そして、従来、ドライバーICを、表示パネル(LCD)の電極に圧着する際に生じるずれを見込んで、ドライバーICを表示パネルの電極にボンディングする手段を備える装置が開示されている(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, there has been disclosed an apparatus including means for bonding a driver IC to an electrode of a display panel in consideration of a shift that occurs when the driver IC is crimped to an electrode of a display panel (LCD) (for example, Patent Documents). 1).

このボンディング装置は、仮圧着部及び第一本圧着部、第二本圧着部を備え、電子部品のボンディング装置において、電子部品をLCDに圧着する際に生じる位置ずれを見込んでおいて、電子部品とLCDの位置あわせを行うものである。   This bonding apparatus includes a temporary crimping section, a first main crimping section, and a second main crimping section. In the electronic component bonding apparatus, the electronic component is expected to be misaligned when the electronic component is crimped to the LCD. And LCD alignment.

図19は、従来のフィードバック補正装置1900におけるフィードバック補正法の説明図である。   FIG. 19 is an explanatory diagram of a feedback correction method in the conventional feedback correction apparatus 1900.

本図に示すように、部品実装工程は、例えば、電子部品の位置合わせを行いACF上に仮圧着する仮圧着工程、液晶パネルのゲート方向及びソース方向における本圧着処理を行う本圧着工程1及び本圧着工程2、電子部品の実際の実装位置と目標の実装位置とのズレ量を検出するズレ検査工程を含む。   As shown in the figure, the component mounting process includes, for example, a temporary pressure bonding process in which electronic components are aligned and temporarily pressure-bonded on the ACF, a main pressure bonding process 1 in which a liquid crystal panel is subjected to a pressure bonding process in the gate direction and the source direction, and This includes a displacement inspection step of detecting a displacement amount between an actual mounting position of the electronic component and a target mounting position.

そして、フィードバック補正装置1900には、ズレ検査部における検査結果が順次記憶され、一定数のズレ検査結果が蓄積された後に平均値をとり、このズレ量の平均値に所定のフィードバック係数(例えば0.1等)を乗じた値をフィードバック量として算出し、仮圧着工程において、このフィードバック量に基づいて補正後の実装位置に仮圧着する。具体的には、本図において、例えば、基板14の仮圧着工程において、基板1〜10の検出されるズレ量の平均値を算出して、この値にフィードバック係数を乗ずることにより電子部品の実装位置補正に用いるフィードバック量を算出する。
特開平7−201932号公報
The feedback correction apparatus 1900 sequentially stores the inspection results in the deviation inspection unit, takes an average value after a certain number of deviation inspection results are accumulated, and adds a predetermined feedback coefficient (for example, 0) to the average value of the deviation amounts. .1, etc.) is calculated as a feedback amount, and in the temporary press-bonding step, temporary press-bonding is performed on the corrected mounting position based on this feedback amount. Specifically, in this figure, for example, in the temporary press-bonding process of the substrate 14, the average value of the detected displacement amounts of the substrates 1 to 10 is calculated, and the electronic component mounting is performed by multiplying this value by the feedback coefficient. A feedback amount used for position correction is calculated.
JP-A-7-201932

しかしながら、上記図19に示す従来のフィードバック補正装置1900においては、複数枚の検査結果を平均したズレ量に基づいてフィードバック量を算出しているために、補正が有効になるまでに一定数の基板を生産する必要があり、時間やフィードバックによる位置補正を早期に反映できないという問題がある。特に、近年の部品実装工程における液晶パネルへの電子部品の実装においては、3〜5ミクロン単位程度の高精度の実装精度が要求され、より早期に適切な実装位置補正を反映する必要がある。   However, in the conventional feedback correction apparatus 1900 shown in FIG. 19, since a feedback amount is calculated based on a deviation amount obtained by averaging a plurality of inspection results, a certain number of substrates are required until the correction becomes effective. There is a problem that position correction by time and feedback cannot be reflected at an early stage. In particular, in mounting electronic components on a liquid crystal panel in a recent component mounting process, a high mounting accuracy of about 3 to 5 microns is required, and it is necessary to reflect an appropriate mounting position correction earlier.

また、従来のフィードバック補正方法においては、既にフィードバック量による実装位置補正が行われている基板に対しても単にズレ量の平均値に基づいてフィードバック量を算出するために、仮圧着工程において既に行ったフィードバック補正とズレ検査機で検出されるズレ量との相関関係が考慮されておらず、結果として意図しない補正を行う場合があることから、この影響を緩和するためにズレ量の平均値にフィードバック係数を乗じて補正する必要があり、実装位置が適切に補正されるまでに多くの基板を生産する必要があるという問題もある。   In addition, in the conventional feedback correction method, since the feedback amount is simply calculated based on the average value of the deviation amounts even for the substrate that has already been subjected to the mounting position correction by the feedback amount, it is already performed in the temporary crimping process. The correlation between the feedback correction and the amount of deviation detected by the deviation inspection machine is not taken into account, and as a result, unintended correction may be performed. There is also a problem that it is necessary to correct by multiplying by a feedback coefficient, and it is necessary to produce many substrates before the mounting position is appropriately corrected.

そこで、本発明は、上述の事情を考慮してなされたもので、より細かな精度が要求される電子部品の液晶パネル等への圧着工程において、電子部品を液晶パネルの電極に圧着する際に生じる位置ずれをより適切に防止するフィードバック補正方法を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made in consideration of the above-described circumstances, and in the process of crimping an electronic component to an electrode of a liquid crystal panel in a crimping process of the electronic component to a liquid crystal panel or the like that requires finer precision. It is an object of the present invention to provide a feedback correction method that more appropriately prevents the generated positional deviation.

以上の課題を解決するために、本発明に係るフィードバック補正方法は、電子部品を基板に実装する部品実装工程において、実際に実装された電子部品の実装位置のズレ量を用いて、以降に生産する電子部品の基板上への実装位置の補正を行うフィードバック補正方法であって、前記電子部品の基板上への実装時になされたフィードバック量を記憶する記憶ステップと、電子部品の基板への実際の実装位置と目標実装位置とのズレ量、及び前記記憶ステップにおいて記憶され、当該基板への電子部品の実装時に既になされた前記フィードバック量に基づいて、新たに生産する基板へのフィードバック量を演算する演算ステップと、前記演算ステップにおける演算結果に基づいて前記電子部品の基板上への実装位置を制御する制御ステップとを含むことを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, the feedback correction method according to the present invention uses the amount of deviation of the mounting position of the actually mounted electronic component in the component mounting process for mounting the electronic component on the board, and subsequently produces A feedback correction method for correcting the mounting position of the electronic component on the substrate, the storage step storing the feedback amount made when the electronic component is mounted on the substrate, and the actual mounting of the electronic component on the substrate Based on the amount of deviation between the mounting position and the target mounting position, and the amount of feedback stored in the storage step and already made when the electronic component is mounted on the substrate, the amount of feedback to the newly produced substrate is calculated. A calculation step; and a control step for controlling a mounting position of the electronic component on the substrate based on a calculation result in the calculation step. And wherein the Mukoto.

また、本発明に係るフィードバック補正方法の前記制御ステップにおいては、前記演算ステップにおける演算結果であるフィードバック量を用いて、次に前記部品実装工程において生産する基板に対する電子部品の実装位置の補正を行うことを特徴とする。   Further, in the control step of the feedback correction method according to the present invention, the mounting position of the electronic component on the board to be produced in the component mounting step is corrected using the feedback amount that is the calculation result in the calculation step. It is characterized by that.

これらの構成により、演算ステップにおいて、ズレ量の検査結果と、既に行ったフィードバック量との相関関係に基づいて、新たに生産する基板に対するフィードバック量を算出できるために、制御ステップにおいて、フィードバック係数を乗ずることなくダイレクトに次に生産する基板に対してフィードバック補正ができ、より早く電子部品の実装位置のフィードバック補正を行うことが可能となる。   With these configurations, in the calculation step, the feedback amount for the newly produced substrate can be calculated based on the correlation between the inspection result of the deviation amount and the feedback amount already performed. Feedback correction can be performed directly on the board to be produced next without multiplication, and feedback correction of the mounting position of the electronic component can be performed more quickly.

また、本発明に係る部品実装方法における部品実装工程の各工程間には、フィードバック補正に関する連絡信号のやり取りを行う信号線が設けられ、前記仮圧着工程においては、前記ズレ検査工程で得られたズレ量に基づくフィードバック量が更新される毎に、前記連絡信号のON/OFFを交互に変更し、前記ズレ検査工程においては、前記連絡信号をトリガとして、前記連絡信号のON/OFFが切り替わることにより、前記フィードバック補正がなされたかを判断することを特徴とする。   In addition, a signal line for exchanging a contact signal related to feedback correction is provided between the component mounting steps in the component mounting method according to the present invention. In the temporary press-bonding step, the signal line is obtained in the shift inspection step. Each time the feedback amount based on the deviation amount is updated, ON / OFF of the communication signal is alternately changed. In the deviation inspection process, ON / OFF of the communication signal is switched using the communication signal as a trigger. To determine whether the feedback correction has been performed.

この構成により、部品実装の各工程間の連絡信号を送信する信号線を一本追加して、従来の部品実装工程の構成により本発明の部品実装方法を実現することが可能となる。   With this configuration, it is possible to add one signal line for transmitting a communication signal between each component mounting process, and to realize the component mounting method of the present invention by the configuration of the conventional component mounting process.

尚、前記目的を達成するために、本発明は、フィードバック補正方法の特徴的なステップを構成手段とするフィードバック補正装置としたり、このフィードバック補正方法を備える部品実装装置としても用いることができる。   In order to achieve the above object, the present invention can be used as a feedback correction apparatus having the characteristic steps of the feedback correction method as a constituent means, or as a component mounting apparatus provided with this feedback correction method.

本発明に係るフィードバック補正方法においては、電子部品の液晶パネルへの実装時において、より正確なデータに基づいて実装位置補正を行い、電子部品の液晶パネルへの圧着における位置ズレの発生を低減して、実装精度を向上できる。   In the feedback correction method according to the present invention, when the electronic component is mounted on the liquid crystal panel, the mounting position is corrected based on more accurate data, and the occurrence of positional deviation in the pressure bonding of the electronic component to the liquid crystal panel is reduced. Mounting accuracy can be improved.

また、フィードバック補正を行うのに所定数以上のズレ量の検出や時間を要せず、最低限の基板の生産枚数で、正確なフィードバック補正を実現できる。   In addition, accurate feedback correction can be realized with a minimum number of substrates to be produced, without detecting a predetermined amount or more time and performing time for feedback correction.

さらに、より正確な電子部品の目標実装位置へのズレ量を検出でき、より正確に複数基板の検査結果を統計処理したフィードバック補正が行える。   Furthermore, it is possible to detect a more accurate displacement amount of the electronic component to the target mounting position, and it is possible to more accurately perform feedback correction by statistically processing the inspection results of a plurality of substrates.

さらに、本発明に係るフィードバック補正方法は、フィードバック補正を行う専用のフィードバック補正装置を設けることなく、従来の部品実装工程の構成を用いて本発明に係るフィードバック補正を実現することもできる。   Furthermore, the feedback correction method according to the present invention can also realize the feedback correction according to the present invention using the configuration of the conventional component mounting process without providing a dedicated feedback correction device for performing feedback correction.

以下、本発明に係るフィードバック補正装置の実施の形態を、各図面を参照しながら説明する。   Embodiments of a feedback correction apparatus according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1は、本実施の形態1に係るフィードバック補正装置を用いる部品実装工程の全体構成を示す平面図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a plan view showing an overall configuration of a component mounting process using the feedback correction apparatus according to the first embodiment.

本図の部品実装工程は、表示パネルである液晶パネル(LCD)の供給部A、異方性導電シート貼着部B、仮圧着部C、第一本圧着部D、第二本圧着部E、ズレ検査部F、電子部品がボンディングされたLCDを回収する回収部G、装置全体の稼動状況や各種データの通信等を管理するラインコントローラH、ラインコントローラHと各部を接続する通信ケーブルIなどから構成されている。   The component mounting process in this figure includes a liquid crystal panel (LCD) supply unit A, an anisotropic conductive sheet adhering unit B, a temporary crimping unit C, a first primary crimping unit D, and a second final crimping unit E. , Misalignment inspection unit F, collection unit G for collecting LCD with electronic parts bonded thereto, line controller H for managing the operation status of the entire apparatus and communication of various data, communication cable I for connecting the line controller H and each unit, etc. It is composed of

図中、液晶パネル1は、各部に沿うように設けられた搬送部2において搬送される。搬送部2には、一定ピッチでアーム3が多数設けられており、アーム3の先端部には液晶パネル1を真空吸着するパット4が取り付けられている。各パット4は載置台W1,W2,W3、W4上の液晶パネル1を真空吸着し、X方向に往復動作を行うことにより、液晶パネル1を各部に設けられたXYθテーブルに移載したり、XYθテーブル上の液晶パネル1を次の載置台W2、W3、W4へ搬出する。   In the drawing, the liquid crystal panel 1 is transported in a transport section 2 provided along each section. The transport unit 2 is provided with a large number of arms 3 at a constant pitch, and a pad 4 for vacuum-sucking the liquid crystal panel 1 is attached to the tip of the arm 3. Each pad 4 vacuum-sucks the liquid crystal panel 1 on the mounting tables W1, W2, W3, W4, and reciprocates in the X direction to transfer the liquid crystal panel 1 to an XYθ table provided in each part, The liquid crystal panel 1 on the XYθ table is carried out to the next mounting table W2, W3, W4.

図2は、本実施の形態1に係る電子部品28のボンディング装置である仮圧着部Cの部分斜視図である。   FIG. 2 is a partial perspective view of a temporary crimping portion C which is a bonding apparatus for the electronic component 28 according to the first embodiment.

図2において、第一の電子部品28を液晶パネル1に搭載している様子を示し、液晶パネル1はガラス板からなる下板1aと上板1bを貼り合わせて形成されており、下板1aの端部には電極27が狭ピッチで形成されている。また吸着ヘッド21はその下面に第一のフィルムキャリア20aを真空吸着している。ノズルシャフト22は吸着ヘッド21に結合され、このノズルシャフト22を通して第一のフィルムキャリア20aを真空吸着する。   FIG. 2 shows a state in which the first electronic component 28 is mounted on the liquid crystal panel 1. The liquid crystal panel 1 is formed by bonding a lower plate 1a made of a glass plate and an upper plate 1b, and the lower plate 1a. Electrodes 27 are formed at a narrow pitch at the end of each. The suction head 21 vacuum-sucks the first film carrier 20a on its lower surface. The nozzle shaft 22 is coupled to the suction head 21, and the first film carrier 20 a is vacuum-sucked through the nozzle shaft 22.

そして、仮圧着ヘッドに備えられた仮圧着ツール26を用いて、電子部品28のアウターリードをACF23に押し付けて仮圧着する。この仮圧着は、後述する第一本圧着部Dによる第一の電子部品の本圧着及び第二本圧着部Eによる第二の電子部品の本圧着に先立って行われる。仮圧着ツール26にはアウターリードをACF23に軽く仮圧着できるように図示しないヒータにより加熱されている。なおACF23は、異方性導電シート貼着部Bにおいて、電極上に予め貼着されているものである。   Then, using the temporary pressure bonding tool 26 provided in the temporary pressure bonding head, the outer leads of the electronic component 28 are pressed against the ACF 23 for temporary pressure bonding. This temporary crimping is performed prior to the final crimping of the first electronic component by the first regular crimping portion D and the final crimping of the second electronic component by the second final crimping portion E, which will be described later. The temporary crimping tool 26 is heated by a heater (not shown) so that the outer lead can be lightly temporarily crimped to the ACF 23. In addition, ACF23 is affixed beforehand on an electrode in the anisotropic conductive sheet sticking part B. FIG.

また、図2において、仮圧着ツール26の下方には、第一のカメラ24aと第二のカメラ24bが設置されている。また下板の電極の近傍にはサークル上のマーク25a及び25bが形成されている。   In FIG. 2, a first camera 24 a and a second camera 24 b are installed below the temporary crimping tool 26. In addition, marks 25a and 25b on the circle are formed in the vicinity of the electrode on the lower plate.

図3は、本実施の形態1における仮圧着直前の液晶パネル1と電子部品28の底面図であって、第一のカメラ24aと第二のカメラ24bによる観察状態を示している。図中、フィルムキャリアの両端部にスポット上のマーク25a及び25bが形成され、第一のカメラ24aは図において左側のマーク25aを観察し、また第二のカメラ24bは右側のマーク25bを観察する。また、電子部品28のアウターリード30の部分が液晶パネル1に形成されている電極27に位置合わせされて仮圧着処理が行われる。   FIG. 3 is a bottom view of the liquid crystal panel 1 and the electronic component 28 immediately before provisional pressure bonding in the first embodiment, and shows a state of observation by the first camera 24a and the second camera 24b. In the figure, marks 25a and 25b on the spots are formed at both ends of the film carrier, the first camera 24a observes the left mark 25a in the figure, and the second camera 24b observes the right mark 25b. . Further, the portion of the outer lead 30 of the electronic component 28 is aligned with the electrode 27 formed on the liquid crystal panel 1 and a temporary pressure bonding process is performed.

図4は、本実施の形態1の仮圧着部Cの制御系のブロック図である。   FIG. 4 is a block diagram of a control system of the temporary crimping section C according to the first embodiment.

本図に示すように、仮圧着部CのCPU41は、仮圧着部Cの全体の制御、電子部品28と液晶パネル1のX方向の位置ズレSx、Y方向の位置ズレSy等の演算などを行う。ROM42は、装置動作のプログラムなどが格納されている。RAM43は、オフセットデータTx、Tyなどを記憶する。なおSx、Sy、Tx、Tyについては後で説明する。認識部44は、上記した第一のカメラ24aと第二のカメラ24bに接続されており、入手された画像データに基づいてマークの座標を求める。XYθテーブルコントローラ45は、XYθテーブル50を制御する。吸着ヘッドコントローラ46は、吸着ヘッド21を制御する。仮圧着ヘッドコントローラ47は、仮圧着ヘッド51を制御する。上記した各手段はバス48に接続されており、さらに外部の通信を制御する通信部49を介して上記通信ケーブルHに接続されている。   As shown in the figure, the CPU 41 of the temporary crimping section C performs overall control of the temporary crimping section C, calculation of the positional deviation Sx in the X direction and the positional deviation Sy in the Y direction of the electronic component 28 and the liquid crystal panel 1, and the like. Do. The ROM 42 stores a program for operating the apparatus. The RAM 43 stores offset data Tx, Ty and the like. Sx, Sy, Tx, and Ty will be described later. The recognizing unit 44 is connected to the first camera 24a and the second camera 24b described above, and obtains the coordinates of the mark based on the obtained image data. The XYθ table controller 45 controls the XYθ table 50. The suction head controller 46 controls the suction head 21. The temporary pressure bonding head controller 47 controls the temporary pressure bonding head 51. Each means described above is connected to the bus 48, and is further connected to the communication cable H via a communication unit 49 that controls external communication.

図5は、本実施の形態1の電子部品28がボンディングされた液晶パネル1の平面図、図6は本実施の形態1における部品実装工程のズレ検査部Fの要部斜視図である。   FIG. 5 is a plan view of the liquid crystal panel 1 to which the electronic component 28 according to the first embodiment is bonded, and FIG. 6 is a perspective view of a main part of a displacement inspection unit F in the component mounting process according to the first embodiment.

図5に示すようにボンディング位置♯1〜♯8には電子部品28がボンディングされている。また、これらの電子部品28は、仮圧着時及び本圧着時に位置ズレを起こし、このため正規の位置からずれた位置にボンディングされていることがある。そこで第二本圧着部Eの後に、図6に示すような観察部60に2台のカメラ61,62を備えているズレ検査部Fで上述した位置ズレの位置ズレ量Tx,Tyを計測する。   As shown in FIG. 5, an electronic component 28 is bonded to bonding positions # 1 to # 8. In addition, these electronic components 28 may be misaligned during temporary pressure bonding and main pressure bonding, and thus may be bonded at positions deviated from normal positions. Accordingly, after the second main crimping portion E, the positional displacement amounts Tx and Ty of the positional displacement described above are measured by the displacement inspection portion F provided with the two cameras 61 and 62 in the observation portion 60 as shown in FIG. .

図7は、本実施の形態1の部品実装工程におけるズレ検査部Fの制御系のブロック図である。CPU71は、ズレ検査部Fの全体の制御、電子部品28と液晶パネル1のX方向の位置ズレSx、Y方向の位置ズレSy等の演算などを行う。ROM72には装置動作のプログラムなどが格納されている。RAM73は、オフセットデータTx、Tyなどを記憶する。認識部74は、上記した第三のカメラ61と第四のカメラ62に接続されており、入手された画像データに基づいてマークのセンター座標を求める。XYθテーブルコントローラ75は、XYθテーブル50を制御する。NG基板搬送部コントローラ76は、NG基板搬送部79を制御する。上記した各手段はバス78に接続されており、さらに外部の通信を制御する通信部77を介して上記通信ケーブルHに接続されている。   FIG. 7 is a block diagram of a control system of the deviation inspection unit F in the component mounting process of the first embodiment. The CPU 71 performs overall control of the deviation inspection unit F, calculation of the positional deviation Sx in the X direction between the electronic component 28 and the liquid crystal panel 1, the positional deviation Sy in the Y direction, and the like. The ROM 72 stores a device operation program and the like. The RAM 73 stores offset data Tx, Ty and the like. The recognition unit 74 is connected to the third camera 61 and the fourth camera 62 described above, and obtains the center coordinates of the mark based on the obtained image data. The XYθ table controller 75 controls the XYθ table 50. The NG substrate transport unit controller 76 controls the NG substrate transport unit 79. Each means described above is connected to the bus 78 and further connected to the communication cable H via a communication unit 77 that controls external communication.

図8および図9は、本実施の形態1に係るズレ検査部Fにおいて用いる電子部品28の位置ズレ量の算出方法の説明図である。   8 and 9 are explanatory diagrams of a method for calculating the positional deviation amount of the electronic component 28 used in the deviation inspection unit F according to the first embodiment.

ズレ検出は、ズレ検査部Fに備えられているカメラ61,62を用い、液晶パネル1に形成されたマークと電子部品28に形成されたマークを観察するものであり、このカメラ61,62に接続された計測部においてマーク同士の位置ズレ及び中心点81及び82の位置ズレ量を算出することができる。   The displacement detection is performed by observing the mark formed on the liquid crystal panel 1 and the mark formed on the electronic component 28 using the cameras 61 and 62 provided in the displacement inspection unit F. It is possible to calculate the positional deviation between the marks and the positional deviations of the center points 81 and 82 in the connected measuring unit.

図9は液晶パネル1の角度が設備上の座標系に対して平行である場合の説明図である。   FIG. 9 is an explanatory diagram when the angle of the liquid crystal panel 1 is parallel to the coordinate system on the equipment.

図9(a)は、目標実装位置の中心点91が実際の実装位置の中心点90の座標と重なっている場合を示し、この場合には、電子部品28の圧着処理後のズレ量(X,Y,V)=(0,0,0)となる。また、図9(b)は、液晶パネル1の角度が設備上の座標系と平行である場合を示し、この場合には、電子部品28の圧着処理後のズレ量(X,Y,V)=(Xa,Ya,Va)となる。
ところが、図8に示すように、液晶パネル1の角度が設備上の座標系と平行でない場合には、液晶パネル1の座標系が設備上の座標系と異なる。
FIG. 9A shows a case where the center point 91 of the target mounting position overlaps the coordinates of the center point 90 of the actual mounting position. In this case, the amount of displacement (X , Y, V) = (0, 0, 0). FIG. 9B shows a case where the angle of the liquid crystal panel 1 is parallel to the coordinate system on the equipment. In this case, the amount of deviation (X, Y, V) after the electronic component 28 is crimped. = (Xa, Ya, Va).
However, as shown in FIG. 8, when the angle of the liquid crystal panel 1 is not parallel to the coordinate system on the equipment, the coordinate system of the liquid crystal panel 1 is different from the coordinate system on the equipment.

このような場合に、設備上の座標系に基づいて液晶パネル1と電子部品28に形成されている4点のマークを用いてズレ量を算出すると、ズレ量(X,Y,V)=(Xb,Yb,Va)となる。しかし、このズレ量をフィードバック量として適用した場合、液晶パネル1の角度と設備上の座標系の関係次第で正しく補正できないことになる。
そこで、液晶パネル1の2点のマークから設備上の座標系に対する液晶パネル1の角度を求め、この求められた角度に基づく座標系(液晶パネル1基準の座標系)上でのズレ量(X,Y,V)=(Xa,Ya,Va)を算出する。即ち、本図に示すように、ズレ量(X,Y,V)=(Xa,Ya,Va)≠(Xb,Yb,Va)であり、液晶パネル1基準の座標系に基づいて目標実装位置の中心点82と実際の実装位置の中心点81の座標と差分を求めることにより、液晶パネル1の姿勢が設備座標と異なるときにおいても、中心点80及び81間の真のズレ量を検出できる。
In such a case, when the shift amount is calculated using the four marks formed on the liquid crystal panel 1 and the electronic component 28 based on the coordinate system on the equipment, the shift amount (X, Y, V) = ( Xb, Yb, Va). However, when this amount of deviation is applied as a feedback amount, it cannot be corrected correctly depending on the relationship between the angle of the liquid crystal panel 1 and the coordinate system on the equipment.
Therefore, the angle of the liquid crystal panel 1 with respect to the coordinate system on the equipment is obtained from the two marks on the liquid crystal panel 1, and the amount of deviation (X on the coordinate system (the coordinate system based on the liquid crystal panel 1) based on the obtained angle is calculated. , Y, V) = (Xa, Ya, Va) is calculated. That is, as shown in this figure, the amount of deviation (X, Y, V) = (Xa, Ya, Va) ≠ (Xb, Yb, Va), and the target mounting position based on the reference coordinate system of the liquid crystal panel 1 By obtaining the difference between the coordinates of the center point 82 and the center point 81 of the actual mounting position, the true deviation amount between the center points 80 and 81 can be detected even when the orientation of the liquid crystal panel 1 is different from the equipment coordinates. .

このように、本実施の形態1に係るズレ検査部Fにおいては、液晶パネル1基準の座標系に基づいて電子部品28の中心点と液晶パネル1上の実装位置の中心点とのズレを算出するために、液晶パネル1の姿勢が設備座標と異なるときにおいても、ズレ量を正しく算出することができる。また、部品実装工程の設備形態に影響されずにズレ量を検出できるために、設備形態が変更したとしても仮圧着部Cにおける補正量およびズレ検査部Fにおけるズレ量に誤差が生じることがない。   As described above, in the deviation inspection unit F according to the first embodiment, the deviation between the center point of the electronic component 28 and the center point of the mounting position on the liquid crystal panel 1 is calculated based on the reference coordinate system of the liquid crystal panel 1. Therefore, even when the orientation of the liquid crystal panel 1 is different from the equipment coordinates, the amount of deviation can be calculated correctly. In addition, since the amount of deviation can be detected without being affected by the equipment configuration in the component mounting process, even if the equipment configuration is changed, there is no error in the correction amount in the temporary crimping section C and the amount of deviation in the deviation inspection section F. .

図10は、本実施の形態1に係るフィードバック補正装置100の補正法を説明するための参考図である。尚、本実施の形態1の説明においては、フィードバック補正装置100が部品実装工程の上位コントローラとして外部に設けられている構成を示しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、仮圧着部Cやズレ検査部Fがフィードバック補正装置を備えることも可能である。   FIG. 10 is a reference diagram for explaining a correction method of the feedback correction apparatus 100 according to the first embodiment. In the description of the first embodiment, a configuration is shown in which the feedback correction apparatus 100 is provided externally as a host controller in the component mounting process, but the present invention is not limited to this, The crimping part C and the displacement inspection part F can also be provided with a feedback correction device.

本発明のフィードバック補正装置100は、次に生産する基板のフィードバック量の演算を行う演算部101と、仮圧着におけるパラメータ、例えば、基板毎に付与される基板ID毎に、フィードバック量、実装位置、何枚目の基板かに関する情報である実装基板を関連づけて1セットで記憶する記憶部102と、演算部101からの演算結果に基づいて仮圧着部Cに対してフィードバック量に基づく補正を制御する制御部103とからなっている。演算部101はズレ検査部Fから電子部品の中心点と目標実装位置の中心点との差分となるズレ量の検査結果を取得するとともに、記憶部102からズレ量が検査された電子部品の基板実装時のフィードバック量の読み出しを行い、次に生産する基板のフィードバック量を演算して制御部103に通知する。制御部103は演算部101からの演算結果に基づいて仮圧着部Cに対してフィードバック量に基づく補正を制御すると共に、仮圧着部C、第一圧着部D及び第二本圧着部Eの搬送の監視を行い、基板とフィードバック量との整合性を確保する。なお、制御部103は仮圧着部C、第一圧着部D及び第二本圧着部Eにそれぞれ備えるようにしてもよい。   The feedback correction apparatus 100 according to the present invention includes a calculation unit 101 that calculates a feedback amount of a substrate to be produced next, and a parameter in provisional pressure bonding, for example, a feedback amount, a mounting position, Controls correction based on the feedback amount for the temporary press-bonding portion C based on the calculation result from the storage unit 102 and the calculation unit 101 based on the calculation result from the calculation unit 101 in association with the mounting substrate, which is information about the number of substrates. It consists of a control unit 103. The arithmetic unit 101 acquires from the misalignment inspection unit F the inspection result of the misalignment amount that is the difference between the center point of the electronic component and the center point of the target mounting position, and the electronic component substrate whose misalignment amount has been inspected from the storage unit 102. The feedback amount at the time of mounting is read, and the feedback amount of the board to be produced next is calculated and notified to the control unit 103. The control unit 103 controls correction based on the feedback amount with respect to the temporary crimping unit C based on the calculation result from the calculation unit 101 and transports the temporary crimping unit C, the first crimping unit D, and the second final crimping unit E. To ensure the consistency between the substrate and the feedback amount. Note that the controller 103 may be provided in each of the provisional crimping section C, the first crimping section D, and the second final crimping section E.

図11は、フィードバック補正装置100の記憶部102に記憶されるデータテーブル110の一例を示す参考図である。データテーブル110には、基板毎に付与される固有の基板ID110a、基板の仮圧着時に補正されたフィードバック量110b、液晶パネル上のX方向及びY方向の実装位置110c等が記憶されている。   FIG. 11 is a reference diagram illustrating an example of the data table 110 stored in the storage unit 102 of the feedback correction apparatus 100. The data table 110 stores a unique substrate ID 110a assigned to each substrate, a feedback amount 110b corrected when the substrate is temporarily bonded, a mounting position 110c in the X and Y directions on the liquid crystal panel, and the like.

図12は、演算部101においてズレ検査部Fにおける検査結果を用いて演算されるフィードバック量を示すテーブル120の参考図である。   FIG. 12 is a reference diagram of the table 120 showing the feedback amount calculated by using the inspection result in the deviation inspection unit F in the arithmetic unit 101.

テーブル120には、基板ごとの基板ID120a、基板毎に実際に行われたフィードバック量120b、ズレ検査部Fにおいて基板毎に検出されたズレ量120c、基板毎の実際のズレ量120d等が記録される。   The table 120 records a substrate ID 120a for each substrate, a feedback amount 120b actually performed for each substrate, a displacement amount 120c detected for each substrate in the displacement inspection unit F, an actual displacement amount 120d for each substrate, and the like. The

そして、本図に示すように、基板1〜4に対してはフィードバック量0で電子部品の圧着処理が行われるが、基板1に対してはズレ検査部Fにおいてズレ量Faが検出されている。
演算部101は、基板5に対して、ズレ検査部Fにおける基板1の検査結果に基づいて実際に行うフィードバック量(−Fa)を演算して、制御部103に伝える。制御部103は、仮圧着部Cに対してフィードバック量(−Fa)として電子部品の実装位置の補正を行う。
また、演算部101は、基板9に対して、ズレ検査部Fにおける基板5の実際のズレ量Fb、及び基板5に対して与えられているフィードバック量(−Fa)を演算したフィードバック量(−Fa)+(−Fb)を演算する。即ち、本発明のフィードバック補正装置100においては、基板5に対しては、既にフィードバック量(−Fa)が加えられており、基板9に対してフィードバック補正を行う際に、ズレ検査部Fにおいて検出された基板9のズレ量Fbを検出して、演算部101で真のズレ量=Fb+Faを算出して、この「真のズレ量」をフィードバック量とする。そして、制御部103は、仮圧着部Cに対してフィードバック量−(Fa+Fb)とした電子部品の実装位置の補正を行うように制御する。
And as shown in this figure, although the electronic component crimping process is performed with the feedback amount 0 for the substrates 1 to 4, the displacement amount Fa is detected for the substrate 1 in the displacement inspection unit F. .
The calculation unit 101 calculates a feedback amount (−Fa) actually performed on the substrate 5 based on the inspection result of the substrate 1 in the displacement inspection unit F, and transmits the calculated feedback amount (−Fa) to the control unit 103. The control unit 103 corrects the mounting position of the electronic component as a feedback amount (−Fa) with respect to the temporary crimping portion C.
Further, the arithmetic unit 101 calculates a feedback amount (−) by calculating an actual deviation amount Fb of the substrate 5 in the deviation inspection unit F and a feedback amount (−Fa) given to the substrate 5 with respect to the substrate 9. Fa) + (− Fb) is calculated. That is, in the feedback correction apparatus 100 of the present invention, the feedback amount (−Fa) has already been added to the substrate 5, and is detected by the deviation inspection unit F when performing feedback correction on the substrate 9. The detected deviation amount Fb of the substrate 9 is detected, and the arithmetic unit 101 calculates the true deviation amount = Fb + Fa, and this “true deviation amount” is set as the feedback amount. Then, the control unit 103 performs control so as to correct the mounting position of the electronic component with respect to the provisional pressure-bonding portion C so that the feedback amount is − (Fa + Fb).

尚、本実施の形態1の説明においては、ズレ量をFa等として説明を行うが、実際には図5(b)に示すように、ズレ検査部FにおいてX方向の位置ズレSxと、Y方向の位置ズレSyを検出し、次に演算部101は、記憶部102に格納された実際に行ったフィードバック量Tx,Tyを補正値としてこのSx,Syに加算して、最終的な補正値Ux,Uyを求める処理を行う。   In the description of the first embodiment, the amount of deviation is described as Fa. However, in actuality, as shown in FIG. 5B, in the deviation inspection unit F, the positional deviation Sx in the X direction and Y Next, the calculation unit 101 adds the actual feedback amounts Tx and Ty stored in the storage unit 102 to the Sx and Sy as correction values and detects the final correction value. Processing for obtaining Ux and Uy is performed.

図13は、上述した本発明に係るフィードバック補正装置100からフィードバック補正の制御を受けた仮圧着部Cの動作手順を示すフローチャートである。
最初に、電子部品のアウターリードと液晶パネルの電極との位置決め処理を行う(S1301)。
FIG. 13 is a flowchart showing the operation procedure of the temporary crimping section C that has received feedback correction control from the feedback correction apparatus 100 according to the present invention described above.
First, positioning processing between the outer lead of the electronic component and the electrode of the liquid crystal panel is performed (S1301).

次に、実装位置のマークを観察して電子部品を液晶パネルとの相対的な位置ズレを求め(S1302)、フィードバック補正装置100からのフィードバック量を反映してXYθテーブルを駆動して電子部品の実装位置の補正を行う(S1303)。   Next, the mounting position mark is observed to obtain a positional shift of the electronic component relative to the liquid crystal panel (S1302), and the XYθ table is driven by reflecting the feedback amount from the feedback correction device 100 to determine the electronic component. The mounting position is corrected (S1303).

そして、決定された液晶パネル上の実装位置に電子部品の仮圧着処理を行う(S1304)。   Then, a temporary pressure bonding process of the electronic component is performed on the determined mounting position on the liquid crystal panel (S1304).

以上のように、本発明に係るフィードバック補正装置100においては、演算部101は、ズレ検査部Fの検査結果及び記憶部103に記憶されている各基板にたいして実際に行ったフィードバック量の相関関係を用いて、次に生産される基板に対するフィードバック量の演算を行う。   As described above, in the feedback correction apparatus 100 according to the present invention, the calculation unit 101 calculates the correlation between the inspection result of the deviation inspection unit F and the feedback amount actually performed on each substrate stored in the storage unit 103. The calculation of the feedback amount for the substrate to be produced next is performed.

このため、ズレ検査部Fによる検査結果と、次に生産される基板の実装パラメータとの整合性を確保でき、ズレ検査部Fにおいて検出されたズレ量を用いてダイレクトに次に生産する基板に対してフィードバック補正ができ、より早く電子部品の実装位置のフィードバック補正を行える。従って、より早期に、電子部品の液晶パネルへの実装位置補正を行って、高精度の実装処理が実現できる。   For this reason, the consistency between the inspection result by the deviation inspection unit F and the mounting parameters of the board to be produced next can be ensured, and the next production substrate can be directly produced using the deviation amount detected by the deviation inspection unit F. On the other hand, feedback correction can be performed, and feedback correction of the mounting position of the electronic component can be performed earlier. Therefore, the mounting position of the electronic component on the liquid crystal panel is corrected earlier, and a highly accurate mounting process can be realized.

また、統計処理を行ってフィードバック補正を行う場合においても、既に行ったフィードバック量をも考慮した補正が行えるために、より正確なズレ量のデータに基づいた電子部品の実装位置補正を実現できる。   Further, even when the feedback correction is performed by performing the statistical processing, the correction considering the feedback amount that has already been performed can be performed, so that the mounting position correction of the electronic component based on the more accurate deviation amount data can be realized.

尚、本実施の形態1においては、フィードバック補正装置100における補正を仮圧着部Cにおいて反映させる構成としているが、その他の工程、例えば本圧着部D又はEにおいても圧着条件の補正を行うことも考え得る。   In the first embodiment, the correction in the feedback correction apparatus 100 is reflected in the provisional crimping section C. However, the crimping conditions may be corrected in other processes, for example, the final crimping section D or E. I can think.

(実施の形態2)
次に、本発明に係るフィードバック補正装置の第二の実施の形態について図面を参照して説明を行う。尚、本実施の形態2のフィードバック補正装置を用いる部品実装の各工程は上述した実施の形態1と同様であるために、その説明を省略する。
(Embodiment 2)
Next, a second embodiment of the feedback correction apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, since each process of component mounting using the feedback correction apparatus of this Embodiment 2 is the same as that of Embodiment 1 mentioned above, the description is abbreviate | omitted.

また、本実施の形態2においては、電子部品の基板への実装時に、同一のフィードバック量による補正が実施された液晶パネルのズレ量の平均値を用いて、新たに生産する基板に対するフィードバック量を算出することを特徴とする。   Further, in the second embodiment, when the electronic component is mounted on the board, the feedback amount for the newly produced board is calculated using the average value of the deviation amount of the liquid crystal panel corrected by the same feedback amount. It is characterized by calculating.

図14は、本実施の形態2に係るフィードバック補正装置1400の補正法を説明するための参考図である。   FIG. 14 is a reference diagram for explaining a correction method of feedback correction apparatus 1400 according to the second embodiment.

フィードバック補正装置1400は、上述した実施の形態1と同様に、演算部101と、記憶部102と、制御部1401とから構成される。尚、本実施の形態2においては、制御部1401は、仮圧着部Cのみに対するフィードバック制御を行う。   The feedback correction apparatus 1400 includes the calculation unit 101, the storage unit 102, and the control unit 1401, as in the first embodiment. In the second embodiment, the control unit 1401 performs feedback control only on the temporary crimping part C.

また、本実施の形態2においては、演算部101は、ズレ検査部Fにおいて検出された基板1〜4のズレ量の平均値を用いて、基板9〜12のフィードバック量Faとする。   In the second embodiment, the calculation unit 101 uses the average value of the shift amounts of the substrates 1 to 4 detected by the shift inspection unit F as the feedback amount Fa of the substrates 9 to 12.

また、基板13以降に対しては、ズレ検査部Fにおいて検出された基板1〜4のズレ量の平均値Faに基板5〜8のズレ量の平均値Fbを加算したFa+Fbを基板13〜16のフィードバック量とする。   For the substrate 13 and subsequent substrates, Fa + Fb obtained by adding the average value Fb of the shift amounts of the substrates 5 to 8 to the average value Fa of the shift amounts of the substrates 1 to 4 detected in the shift inspection unit F is set to the substrates 13 to 16. Feedback amount.

図15は、本実施の形態2に係るフィードバック補正装置1400の演算部101においてズレ検査部Fにおける検査結果を用いて演算されるフィードバック量を示すテーブル150の参考図である。   FIG. 15 is a reference diagram of a table 150 showing the feedback amount calculated using the inspection result in the deviation inspection unit F in the arithmetic unit 101 of the feedback correction apparatus 1400 according to the second embodiment.

テーブル150には、基板ごとの基板ID150a、基板毎に実際に行われたフィードバック量150b、ズレ検査部Fにおいて基板毎に検出されたズレ量150c、ズレ量の平均値150d等が記録される。   The table 150 records a substrate ID 150a for each substrate, a feedback amount 150b actually performed for each substrate, a displacement amount 150c detected for each substrate in the displacement inspection unit F, an average value 150d of the displacement amount, and the like.

そして、本図に示すように、基板1〜8に対してはフィードバック量0で電子部品の圧着処理が行われる。   And as shown in this figure, with respect to the board | substrates 1-8, the crimping | compression-bonding process of an electronic component is performed by the feedback amount of 0. FIG.

また、演算部101は、基板9〜12に対して、ズレ検査部Fにおける基板1〜4のズレ量の平均値Faを実際に行うフィードバック量として制御部103に伝える。制御部103は、基板9〜12に対しては、仮圧着部Cに対してフィードバック量Faとして電子部品の実装位置の補正を行う。
また、演算部101は、基板13〜16に対して、ズレ検査部Fにおける基板1〜4の実際のズレ量の平均値Fa、及び基板5〜8の実際のずれ量の平均値Fbを加算したフィードバック量(Fa+Fb)を演算して、フィードバック量とする。そして、制御部103は、基板13〜16に対しては、仮圧着部Cに対してフィードバック量Fa+Fbとした電子部品の実装位置の補正を行う。
また、図16のテーブル160に示すように基板1〜4のズレ量の平均値を基板9に適用した後、基板5以降の検査結果を順次積算、平均してフィードバック量としてもよい。
In addition, the calculation unit 101 transmits the average value Fa of the shift amounts of the substrates 1 to 4 in the shift inspection unit F to the substrates 9 to 12 as a feedback amount that is actually performed. For the substrates 9 to 12, the control unit 103 corrects the mounting position of the electronic component as the feedback amount Fa with respect to the temporary crimping portion C.
Further, the arithmetic unit 101 adds the average value Fa of the actual shift amount of the substrates 1 to 4 and the average value Fb of the actual shift amount of the substrates 5 to 8 to the substrates 13 to 16. The calculated feedback amount (Fa + Fb) is calculated as the feedback amount. And the control part 103 correct | amends the mounting position of the electronic component made into feedback amount Fa + Fb with respect to the temporary crimping | compression-bonding part C with respect to the boards 13-16.
Further, as shown in the table 160 of FIG. 16, after applying the average value of the shift amounts of the substrates 1 to 4 to the substrate 9, the inspection results after the substrate 5 may be sequentially integrated and averaged to obtain the feedback amount.

以上の説明のように、本実施の形態2に係るフィードバック補正装置1400は、基板のズレ検査部Fにおいて検出されるズレ量の平均値を用いてフィードバック量を演算して、電子部品の実装位置補正を行うことにより、例えば電子部品の形状不良等の突発的な要因による実装位置ズレの影響を緩和することができる。尚、本発明に係るフィードバック補正装置1400は、必ずしも複数基板のズレ量の平均値に基づくフィードバック補正を行う必要性はなく、例えば、正規分布によるピーク値に基づいてフィードバック量を算出することも考え得る。   As described above, the feedback correction apparatus 1400 according to the second embodiment calculates the feedback amount using the average value of the deviation amounts detected by the deviation inspection unit F of the board, and mounts the electronic component. By performing the correction, it is possible to mitigate the influence of the mounting position shift due to a sudden factor such as a defective shape of the electronic component. The feedback correction apparatus 1400 according to the present invention is not necessarily required to perform feedback correction based on the average value of the deviation amounts of a plurality of substrates. For example, the feedback correction apparatus 1400 may calculate the feedback amount based on a peak value based on a normal distribution. obtain.

また、実装位置ズレ量の平均値を求めるのに用いるデータ数は本実施例に限らず、自由に設定することも可能であり、フィードバックにより実装位置は安定するため生産が進むにつれて平均値を求めるのに用いるデータ数を変更してもよい。   Further, the number of data used for obtaining the average value of the mounting position deviation amount is not limited to this embodiment, and can be set freely. The mounting position is stabilized by feedback, and the average value is obtained as production proceeds. You may change the number of data used for.

(実施の形態3)
次に、本発明に係るフィードバック補正方法の第三の実施の形態について図面を参照して説明を行う。尚、本実施の形態3に係るフィードバック補正方法は、部品実装工程において、基板搬送と同時に次工程の装置にフィードバック補正に関する情報の通知を行うことで、上位システムとしてのフィードバック補正装置を設けずに、従来の部品実装工程の構成で本発明に係るフィードバック補正方法を実現することを特徴とする。
(Embodiment 3)
Next, a third embodiment of the feedback correction method according to the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the feedback correction method according to the third embodiment provides a notification of information related to feedback correction to the next process apparatus at the same time as the board transfer in the component mounting process, so that a feedback correction apparatus as a host system is not provided. The feedback correction method according to the present invention is realized by the configuration of the conventional component mounting process.

図17は、本実施の形態3に係るフィードバック補正法を説明するための説明図である。尚、本図においては、液晶パネル1〜4は、仮圧着工程においてフィードバック量0、液晶パネル5〜14は仮圧着工程においてフィードバック量Fa、液晶パネル15〜16はフィードバック量Fbで補正が行われることを前提としている。
そして、本実施の形態3においては、各工程間のパネルハンドリング時の信号のやり取りに、フィードバック用の信号を一つ追加することを特徴とする。この信号は、そのパネルに対しての状態であり、仮圧着部Cは、フィードバックによるフィードバック量を更新するたびに、その信号のON/OFFを交互に更新する。そして、次のフィードバックによるオフセットが更新されるまでは、その信号状態を保持する。
FIG. 17 is an explanatory diagram for explaining a feedback correction method according to the third embodiment. In this figure, the liquid crystal panels 1 to 4 are corrected with a feedback amount of 0 in the temporary press-bonding step, the liquid crystal panels 5 to 14 are corrected with the feedback amount Fa in the temporary press-bonding step, and the liquid crystal panels 15 to 16 are corrected with the feedback amount Fb. It is assumed that.
The third embodiment is characterized in that one feedback signal is added to the exchange of signals during panel handling between the processes. This signal is a state for the panel, and the temporary crimping section C alternately updates ON / OFF of the signal every time the feedback amount by feedback is updated. The signal state is maintained until the offset by the next feedback is updated.

図17においては、基板1〜4までの信号状態は「OFF」であり、フィードバック量Faの補正がなされた基板5〜14までの信号状態は「ON」に変更され、さらに、フィードバック量Fbの補正がなされた基板15〜16の信号状態は「OFF」に変更される。   In FIG. 17, the signal states of the substrates 1 to 4 are “OFF”, the signal states of the substrates 5 to 14 for which the feedback amount Fa has been corrected are changed to “ON”, and the feedback amount Fb The signal states of the corrected substrates 15 to 16 are changed to “OFF”.

また、仮圧着部C以降の工程においては、液晶パネルを受け取ったときに、その信号状態を受信し、その液晶パネルを搬出する時に、受信した搬入時と同様の信号状態を下流側に通知して搬出する。   Further, in the processes after the temporary crimping section C, when the liquid crystal panel is received, the signal state is received, and when the liquid crystal panel is unloaded, the signal state similar to the received state is notified to the downstream side. And carry it out.

ズレ検査部Fは、液晶パネルを受け取る時に、その信号をフィードバック量が更新された液晶パネルか否かのトリガとして、演算式を切り替えるタイミングを判定することが可能となる。   When receiving the liquid crystal panel, the displacement inspection unit F can determine the timing for switching the arithmetic expression using the signal as a trigger for determining whether or not the liquid crystal panel has an updated feedback amount.

図18は、本実施の形態3に係るズレ検査部Fの動作手順を示すフローチャートである。   FIG. 18 is a flowchart showing an operation procedure of the deviation inspection unit F according to the third embodiment.

最初に、ズレ検査部Fは新たな基板を搬入する(S1801)。   First, the displacement inspection unit F carries in a new substrate (S1801).

次に、ズレ検査部Fは、信号状態の変更があるか否かを判定する(S1802)。そして、信号状態の変更がある場合には(S1802でYes)、上述した実施の形態1又は2と同様の方法を用いてズレ検査部Fにおいて検出されたズレ量及び仮圧着部Cにおいて既に電子部品に付与されているフィードバック量の通知を行う(S1803)。尚、ズレ検査部Fは、信号状態の変更がない場合(S1802でNo)には、新たな基板の搬入処理を行う。   Next, the deviation inspection unit F determines whether there is a change in the signal state (S1802). If there is a change in the signal state (Yes in S1802), the amount of deviation detected in the deviation inspection unit F using the same method as in the first or second embodiment described above and the electronic component already in the temporary crimping unit C are used. The feedback amount given to the component is notified (S1803). When the signal state is not changed (No in S1802), the deviation inspection unit F performs a new substrate loading process.

以上のように、本実施の形態3に係るフィードバック補正方法は、部品実装の各工程間の連絡信号を送信する信号線を一本追加することにより、従来の部品実装工程の構成により本発明のフィードバック補正方法を実現するものであり、上述した実施の形態1又は2のように部品実装工程の上位システムとしてのフィードバック補正装置を設ける必要性がなく、簡易なシステム構成を用いて本発明に係るフィードバック補正を行うことが可能となる。
また、連絡信号をON/OFFに変更することにより、ズレ検査部Fにおいて、フィードバック補正を行った基板のトリガを確認できるため、ズレ検査部Fは既に行ったフィードバック補正に関するデータを蓄積して適切なフィードバック量を算出して、電子部品の実装位置補正を行うことが可能となる。
尚、本実施の形態3に係るフィードバック補正方法においては、ライン構成により仮圧着部Cからズレ検査部Fまでの間に保持されている液晶パネル数が変わったり、途中の装置上で液晶パネルがラインから抜き取られてもフィードバック補正を行うトリガとなる基板を判断できる。
As described above, the feedback correction method according to the third embodiment adds one signal line for transmitting a communication signal between each process of component mounting, and thus the configuration of the conventional component mounting process is used. A feedback correction method is realized, and there is no need to provide a feedback correction device as a host system in the component mounting process as in the first or second embodiment described above, and the present invention uses a simple system configuration. Feedback correction can be performed.
In addition, by changing the contact signal to ON / OFF, the deviation inspection unit F can confirm the trigger of the substrate that has been subjected to feedback correction. Therefore, the deviation inspection unit F appropriately accumulates data relating to feedback correction that has already been performed. It is possible to correct the mounting position of the electronic component by calculating an appropriate feedback amount.
In the feedback correction method according to the third embodiment, the number of liquid crystal panels held between the temporary crimping portion C and the displacement inspection portion F varies depending on the line configuration, or the liquid crystal panel is installed on the device in the middle. Even if the substrate is removed from the line, the substrate serving as a trigger for performing feedback correction can be determined.

本発明に係るフィードバック補正方法は、例えば、液晶パネルに半導体部品等の電子部品を実装する部品実装工程において用いることができる。   The feedback correction method according to the present invention can be used, for example, in a component mounting process for mounting an electronic component such as a semiconductor component on a liquid crystal panel.

実施の形態1に係るフィードバック補正装置を用いる部品実装工程の全体構成を示す平面図The top view which shows the whole structure of the component mounting process using the feedback correction apparatus which concerns on Embodiment 1. FIG. 実施の形態1に係る電子部品のボンディング装置である仮圧着部の部分斜視図The fragmentary perspective view of the temporary crimping | compression-bonding part which is the electronic device bonding apparatus which concerns on Embodiment 1. FIG. 実施の形態1における仮圧着直前の液晶パネルと電子部品の底面図Bottom view of liquid crystal panel and electronic component immediately before provisional pressure bonding in Embodiment 1 実施の形態1の仮圧着部の制御系のブロック図Block diagram of the control system of the temporary crimping portion of the first embodiment 実施の形態1の電子部品がボンディングされた液晶パネルの平面図Plan view of a liquid crystal panel to which the electronic component of the first embodiment is bonded 実施の形態1における部品実装工程のズレ検査部の要部斜視図The principal part perspective view of the shift | offset | difference test | inspection part of the component mounting process in Embodiment 1 実施の形態1の部品実装工程におけるズレ検査部の制御系のブロック図Block diagram of a control system of a deviation inspection unit in the component mounting process of the first embodiment 実施の形態1に係るズレ検査部において用いる電子部品の位置ズレ量の算出方法の説明図Explanatory drawing of the calculation method of the positional offset amount of the electronic component used in the shift | offset | difference inspection part which concerns on Embodiment 1. FIG. 従来のズレ検査機の位置ズレ量の算出の説明図Explanatory drawing of calculation of displacement amount of conventional displacement inspection machine 実施の形態1に係るフィードバック補正装置の補正法を説明するための参考図Reference diagram for explaining a correction method of the feedback correction apparatus according to the first embodiment フィードバック補正装置の記憶部に記憶されるデータテーブルの一例を示す参考図Reference diagram showing an example of a data table stored in the storage unit of the feedback correction device 演算部においてズレ検査部Fにおける検査結果を用いて演算されるフィードバック量を示すテーブルの参考図Reference diagram of the table showing the feedback amount calculated using the inspection result in the deviation inspection unit F in the arithmetic unit 本発明に係るフィードバック補正装置からフィードバック補正の制御を受けた仮圧着部の動作手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the operation | movement procedure of the temporary crimping | compression-bonding part which received control of feedback correction from the feedback correction apparatus which concerns on this invention. 実施の形態2に係るフィードバック補正装置の補正法を説明するための参考図Reference diagram for explaining a correction method of the feedback correction apparatus according to the second embodiment 実施の形態2に係るフィードバック補正装置の演算部においてズレ検査部における検査結果を用いて演算されるフィードバック量を示すテーブルの参考図FIG. 6 is a reference diagram of a table showing the feedback amount calculated using the inspection result in the deviation inspection unit in the arithmetic unit of the feedback correction apparatus according to the second embodiment. 実施の形態2に係るフィードバック補正装置の演算部においてズレ検査部における検査結果を用いて演算されるフィードバック量の他の一例を示すテーブルの参考図Reference diagram of a table showing another example of the feedback amount calculated using the inspection result in the deviation inspection unit in the arithmetic unit of the feedback correction device according to the second embodiment. 実施の形態3に係るフィードバック補正法を説明するための説明図Explanatory drawing for demonstrating the feedback correction method which concerns on Embodiment 3. FIG. 実施の形態3に係るズレ検査部の動作手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the operation | movement procedure of the deviation test | inspection part which concerns on Embodiment 3. FIG. 従来のフィードバック補正装置におけるフィードバック補正法の説明図Explanatory drawing of the feedback correction method in the conventional feedback correction device

符号の説明Explanation of symbols

C 仮圧着部
D 第一本圧着部
E 第二本圧着部
F ズレ検査部
1 液晶パネル
2 搬送部
21 吸着ヘッド
22 ノズルシャフト
23 ACF
27 電極
28 電子部品
30 アウターリード
41,71 CPU
42,72 ROM
43,73 RAM
44,74 認識部
45,75 XYθテーブルコントローラ
46 吸着ヘッドコントローラ
47 仮圧着ヘッドコントローラ
48,78 バス
49,77 通信部
76 NG基板搬送部コントローラ
100,1400 フィードバック補正装置
101 演算部
102 記憶部
103,1401 制御部
C Temporary pressure bonding part D First main pressure bonding part E Second main pressure bonding part F Misalignment inspection part 1 Liquid crystal panel 2 Transport part 21 Suction head 22 Nozzle shaft 23 ACF
27 Electrode 28 Electronic component 30 Outer lead 41, 71 CPU
42,72 ROM
43, 73 RAM
44, 74 Recognition unit 45, 75 XYθ table controller 46 Suction head controller 47 Temporary pressure bonding head controller 48, 78 Bus 49, 77 Communication unit 76 NG substrate transport unit controller 100, 1400 Feedback correction device 101 Calculation unit 102 Storage unit 103, 1401 Control unit

Claims (14)

電子部品を基板に実装する部品実装工程において、実際に実装された電子部品の実装位置のズレ量を用いて、以降に生産する電子部品の基板上への実装位置の補正を行うフィードバック補正方法であって、
前記電子部品の基板上への実装時になされたフィードバック量を記憶する記憶ステップと、
電子部品の基板への実際の実装位置と目標実装位置とのズレ量、及び前記記憶ステップにおいて記憶され、当該基板への電子部品の実装時に既になされた前記フィードバック量に基づいて、新たに生産する基板へのフィードバック量を演算する演算ステップと、
前記演算ステップにおける演算結果に基づいて前記電子部品の基板上への実装位置を制御する制御ステップとを含む
ことを特徴とするフィードバック補正方法。
In the component mounting process for mounting electronic components on a board, a feedback correction method is used to correct the mounting position of electronic components to be produced on the board using the amount of deviation of the mounting position of the actually mounted electronic component. There,
A storage step of storing a feedback amount made at the time of mounting the electronic component on the substrate;
Based on the amount of deviation between the actual mounting position of the electronic component on the board and the target mounting position, and the feedback amount stored in the storage step and already performed when the electronic component is mounted on the board, new production is performed. A calculation step for calculating a feedback amount to the substrate;
And a control step of controlling a mounting position of the electronic component on the substrate based on a calculation result in the calculation step.
前記制御ステップにおいては、前記演算ステップにおける演算結果であるフィードバック量を用いて、次に前記部品実装工程において生産する基板に対する電子部品の実装位置の補正を行う
ことを特徴とする請求項1記載のフィードバック補正方法。
2. The mounting position of an electronic component with respect to a board to be produced in the component mounting step is corrected using the feedback amount that is a calculation result in the calculating step in the control step. Feedback correction method.
前記演算ステップにおいては、複数の基板に対する電子部品の実装位置の前記ズレ量の平均値又は正規分布のピーク値、及び以前に行った前記フィードバック量に基づいて、新たに生産する基板のフィードバック量を算出する
ことを特徴とする請求項1記載のフィードバック補正方法。
In the calculation step, based on the average value of the deviation amount of electronic component mounting positions on a plurality of substrates or the peak value of a normal distribution, and the feedback amount performed previously, the feedback amount of a newly produced substrate is calculated. The feedback correction method according to claim 1, wherein calculation is performed.
前記記憶ステップにおいては、さらに、
前記フィードバック量である実装パラメータ、実装位置、及び何枚目の基板かを示す実装基板情報が基板毎に関連付けて記憶される
ことを特徴とする請求項1記載のフィードバック補正方法。
In the storing step,
The feedback correction method according to claim 1, wherein the mounting parameter, which is the feedback amount, the mounting position, and the mounting board information indicating the number of boards are stored in association with each board.
電子部品の基板上への実装処理におけるフィードバック補正を行うフィードバック補正装置によって前記基板の搬送状態を監視する第一工程と、電子部品を基板上に実装する第二工程とを含む部品実装方法であって、
前記第一工程は、
前記電子部品の基板上への実装時になされたフィードバック量を記憶する記憶ステップと、
電子部品の基板への実際の実装位置と目標実装位置とのズレ量、及び前記記憶ステップにおいて記憶され、当該基板への電子部品の実装時に既になされた前記フィードバック量に基づいて、新たに生産する基板へのフィードバック量を演算する演算ステップと、
前記演算ステップにおける演算結果に基づいて前記電子部品の基板上への実装位置を制御する制御ステップとを含み、
前記第二工程は、
前記制御ステップからの制御に基づいて前記電子部品を前記基板の側縁に仮圧着する仮圧着工程と、
前記仮圧着後の電子部品を基板上に本圧着する本圧着工程と、
電子部品の基板への実際の実装位置と目標実装位置とのズレ量を検査するズレ検査工程とを含み、
前記演算ステップにおける演算時に前記演算ステップが前記ズレ量を取得する
ことを特徴とする部品実装方法。
The component mounting method includes a first step of monitoring a conveyance state of the substrate by a feedback correction device that performs feedback correction in a mounting process of the electronic component on the substrate, and a second step of mounting the electronic component on the substrate. And
The first step includes
A storage step of storing a feedback amount made at the time of mounting the electronic component on the substrate;
Based on the amount of deviation between the actual mounting position of the electronic component on the board and the target mounting position, and the feedback amount stored in the storage step and already performed when the electronic component is mounted on the board, new production is performed. A calculation step for calculating a feedback amount to the substrate;
A control step of controlling a mounting position of the electronic component on a substrate based on a calculation result in the calculation step,
The second step includes
A temporary crimping step of temporarily crimping the electronic component to a side edge of the substrate based on the control from the control step;
A main pressure bonding step of pressure bonding the electronic component after the temporary pressure bonding onto a substrate;
Including a deviation inspection process for inspecting a deviation amount between the actual mounting position of the electronic component on the substrate and the target mounting position,
The component mounting method, wherein the calculation step acquires the deviation amount at the time of calculation in the calculation step.
前記制御ステップにおいては、前記演算ステップにおける演算結果であるフィードバック量を用いて、次に前記部品実装工程において生産する基板に対する電子部品の実装位置の補正を行う
ことを特徴とする請求項5記載の部品実装方法。
6. The control step includes correcting a mounting position of an electronic component with respect to a board to be produced next in the component mounting step by using a feedback amount that is a calculation result in the calculation step. Component mounting method.
前記制御ステップにおいては、前記フィードバック量に基づいて、前記仮圧着工程における電子部品の実装位置の補正を行う
ことを特徴とする請求項5記載の部品実装方法。
The component mounting method according to claim 5, wherein in the control step, the mounting position of the electronic component in the temporary crimping process is corrected based on the feedback amount.
前記部品実装工程の各工程間には、フィードバック補正に関する連絡信号のやり取りを行う信号線が設けられ、
前記仮圧着工程においては、前記ズレ検査工程で得られたズレ量に基づくフィードバック量が更新される毎に、前記連絡信号のON/OFFを交互に変更し、
前記ズレ検査工程においては、前記連絡信号をトリガとして、前記連絡信号のON/OFFが切り替わることにより、前記フィードバック補正がなされたかを判断する
ことを特徴とする請求項5記載の部品実装方法。
Between each process of the component mounting process, a signal line for exchanging a communication signal related to feedback correction is provided,
In the temporary crimping step, each time the feedback amount based on the deviation amount obtained in the deviation inspection step is updated, ON / OFF of the contact signal is alternately changed,
6. The component mounting method according to claim 5, wherein in the misalignment inspection step, it is determined whether the feedback correction has been performed by switching the ON / OFF of the communication signal using the communication signal as a trigger.
前記ズレ検査工程においては、前記基板の生産と並行してズレ量を検査した場合に再度演算ステップに通知する
ことを特徴とする請求項5記載の部品実装方法。
The component mounting method according to claim 5, wherein, in the deviation inspection step, when the deviation amount is inspected in parallel with the production of the board, the calculation step is notified again.
電子部品を基板に実装する部品実装工程において、実際に実装された電子部品の実装位置のズレ量を用いて、以降に生産する電子部品の基板上への実装位置の補正を行うフィードバック補正装置であって、
前記電子部品の基板上への実装時になされたフィードバック量を記憶する記憶手段と、
電子部品の基板への実際の実装位置と目標実装位置とのズレ量、及び前記記憶手段において記憶され、当該基板への電子部品の実装時に既になされた前記フィードバック量に基づいて、新たに生産する基板へのフィードバック量を演算する演算手段とを備える
ことを特徴とするフィードバック補正装置。
In a component mounting process for mounting electronic components on a board, a feedback correction device that corrects the mounting position of the electronic component to be produced on the board using the amount of deviation of the mounting position of the actually mounted electronic component. There,
Storage means for storing a feedback amount made when the electronic component is mounted on the substrate;
Based on the amount of deviation between the actual mounting position of the electronic component on the board and the target mounting position, and the feedback amount stored in the storage unit and already made when the electronic component is mounted on the board, new production is performed. A feedback correction apparatus comprising: a calculation means for calculating a feedback amount to the substrate.
電子部品を基板に実装する部品実装工程において、実際に実装された電子部品の実装位置のズレ量を用いて、以降に生産する電子部品の基板上への実装位置の補正を行うフィードバック補正方法を用いて電子部品の実装を行う部品実装装置であって、
前記電子部品の基板上への実装時になされたフィードバック量を記憶する記憶手段と、
電子部品の基板への実際の実装位置と目標実装位置とのズレ量、及び前記記憶手段において記憶され、当該基板への電子部品の実装時に既になされた前記フィードバック量に基づいて、新たに生産する基板へのフィードバック量を演算する演算手段と、
前記演算手段における演算結果に基づいて前記電子部品の基板上への実装位置を制御する制御手段とを備える
ことを特徴とする部品実装装置。
In the component mounting process for mounting electronic components on a board, a feedback correction method for correcting the mounting position of electronic components to be produced on the board using the amount of deviation of the mounting position of the actually mounted electronic component is provided. A component mounting apparatus for mounting electronic components using:
Storage means for storing a feedback amount made when the electronic component is mounted on the substrate;
Based on the amount of deviation between the actual mounting position of the electronic component on the board and the target mounting position, and the feedback amount stored in the storage unit and already made when the electronic component is mounted on the board, new production is performed. A computing means for computing the amount of feedback to the substrate;
A component mounting apparatus comprising: a control unit that controls a mounting position of the electronic component on a substrate based on a calculation result in the calculation unit.
前記制御手段は、前記演算手段における演算結果であるフィードバック量を用いて、次に前記部品実装工程において生産する基板に対する電子部品の実装位置の補正を行う
ことを特徴とする請求項11記載の部品実装装置。
The component according to claim 11, wherein the control unit corrects the mounting position of the electronic component with respect to the board to be produced in the component mounting step next, using a feedback amount that is a calculation result in the calculation unit. Mounting device.
前記部品実装工程の各工程間には、フィードバック補正に関する連絡信号のやり取りを行う信号線が設けられ、
前記仮圧着工程においては、前記ズレ検査工程で得られたズレ量に基づくフィードバック量が更新される毎に、前記連絡信号のON/OFFを交互に変更し、
前記ズレ検査工程においては、前記連絡信号をトリガとして、前記連絡信号のON/OFFが切り替わることにより、前記フィードバック補正がなされたかを判断する
ことを特徴とする請求項11記載の部品実装装置。
Between each process of the component mounting process, a signal line for exchanging a communication signal related to feedback correction is provided,
In the temporary crimping step, each time the feedback amount based on the deviation amount obtained in the deviation inspection step is updated, ON / OFF of the contact signal is alternately changed,
The component mounting apparatus according to claim 11, wherein in the misalignment inspection step, it is determined whether the feedback correction has been performed by switching the ON / OFF of the communication signal using the communication signal as a trigger.
電子部品の基板上への実装処理におけるフィードバック補正を行うフィードバック補正装置によって前記基板の搬送状態を監視する第一工程と、電子部品を基板上に実装する第二工程とからなる部品実装システムであって、
前記第一工程は、
前記電子部品の基板上への実装時になされたフィードバック量を記憶する記憶ステップと、
電子部品の基板への実際の実装位置と目標実装位置とのズレ量、及び前記記憶ステップにおいて記憶され、当該基板への電子部品の実装時に既になされた前記フィードバック量に基づいて、新たに生産する基板へのフィードバック量を演算する演算ステップと、
前記演算ステップにおける演算結果に基づいて前記電子部品の基板上への実装位置を制御する制御ステップとを含み、
前記第二工程は、
前記制御ステップからの制御に基づいて前記電子部品を前記基板の側縁部に仮圧着する仮圧着工程と、
前記仮圧着後の電子部品を基板上に本圧着する本圧着工程と、
電子部品の基板への実際の実装位置と目標実装位置とのズレ量を検査するズレ検査工程とを含み、
前記演算ステップにおける演算時に前記演算ステップが前記ズレ量を取得する
ことを特徴とする部品実装システム。
A component mounting system comprising a first step of monitoring the state of conveyance of the substrate by a feedback correction device that performs feedback correction in the mounting process of the electronic component on the substrate, and a second step of mounting the electronic component on the substrate. And
The first step includes
A storage step of storing a feedback amount made at the time of mounting the electronic component on the substrate;
Based on the amount of deviation between the actual mounting position of the electronic component on the board and the target mounting position, and the feedback amount stored in the storage step and already performed when the electronic component is mounted on the board, new production is performed. A calculation step for calculating a feedback amount to the substrate;
A control step of controlling a mounting position of the electronic component on a substrate based on a calculation result in the calculation step,
The second step includes
A temporary crimping step of temporarily crimping the electronic component to a side edge of the substrate based on the control from the control step;
A main pressure bonding step of pressure bonding the electronic component after the temporary pressure bonding onto a substrate;
Including a deviation inspection process for inspecting a deviation amount between the actual mounting position of the electronic component on the substrate and the target mounting position,
The component mounting system, wherein the calculation step acquires the deviation amount at the time of calculation in the calculation step.
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