JP2007015849A - Plate glass transfer device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、板ガラス移送装置に関し、より詳しくは、片板の下部の空気層緩和部を通してエアを円滑に排出させることにより、片板上の空気層を均一に保てる板ガラス移送装置に関する。 The present invention relates to a plate glass transfer device, and more particularly, to a plate glass transfer device that can uniformly maintain an air layer on a single plate by smoothly discharging air through an air layer relaxation portion below the single plate.
一般に、LCD、PDPなどに使用される薄板型の板ガラスの不良の存否を検査するための検査装備において、板ガラスを検査部側に移動させるための移動装置としては、回転軸上に板ガラスの底面を支持し、移動させるための複数のフリーローラが軸着され、このような回転軸が長さ方向に沿って全体として設けられた移動装置が使用されている。 In general, in the inspection equipment for inspecting the existence of defects in thin plate glass used for LCDs, PDPs, etc., as a moving device for moving the plate glass to the inspection section side, the bottom surface of the plate glass is placed on the rotating shaft. A moving device is used in which a plurality of free rollers for supporting and moving are axially mounted, and such a rotating shaft is provided as a whole along the length direction.
しかし、このようなフリーローラを用いた板ガラス移送装置は、基本として板ガラスとフリーローラの外周面とが互いに接触した後、板ガラスの移動が行われることから、接触摩擦による震えや振動などの微小な揺動現象は完全に排除できず、このような揺動により板ガラスの検査の際に不良率を正確に測定することができなくなり、検査精度が低下するなどの問題点があった。 However, the plate glass transfer device using such a free roller basically moves the plate glass after the plate glass and the outer peripheral surface of the free roller come into contact with each other. The rocking phenomenon cannot be completely eliminated, and such a rocking makes it impossible to accurately measure the defect rate during the inspection of the plate glass, resulting in a problem that the inspection accuracy is lowered.
このような問題点を解決するために、本出願人により先に出願された板ガラス移送装置の移送部20は、図1及び図2に示すように、エアチャンバー22の上端部に複数の通孔23aを有するベース板23が設けられ、このベース板23の上にフィルタ24が配置され、再びこのフィルタ24を覆わせると共にベース板23の通孔23aと対応するエア吐出孔25aを有する複数の片板25がそれぞれ所定の間隔だけ離れるようにして配列される構成からなっている。
In order to solve such a problem, the
このように構成された従来の技術は、前記片板25のエア吐出孔25aを通して排出された空気が片板25の上で空気層を形成して、板ガラス40をエア浮上させ、継続的なエア排出により空気層を形成する空気を除いた残余の空気は、片板25の間の通路26を通じて移送部20の外部に排出されるようになっている。
In the conventional technology configured as described above, the air discharged through the
しかし、このような従来の技術による板ガラス移送装置は、各片板25の間の狭い通路26を通してのみエアを外部に排出させていたので、エア排出量に限界が生じ、円滑なエア排出が行われず、その結果、片板25の上に形成されている空気層が全体として、あるいは、部分的にエア量が多くなり、板ガラス40の膨れ上がり現象が発生し、これもやはり板ガラスの検査の際に不良率を正確に測定できなくなる要因となり、検査精度を低下するなどの問題点があった。
However, since the plate glass transfer device according to the conventional technology discharges air to the outside only through the
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、片板の下部の空気層緩和部を通してエアを円滑に排出させることにより、片板上の空気層が均一に保たれ、板ガラスの膨れ上がり現象を防止することにより、板ガラスの検査の際に不良率を正確に測定することが可能となり、これにより、検査精度を向上させ得る板ガラス移送装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and by smoothly discharging air through the air layer relaxation portion at the lower part of the single plate, the air layer on the single plate is kept uniform, and the plate glass swells up. By preventing the phenomenon, it is possible to accurately measure the defect rate at the time of inspection of the plate glass, and an object of the present invention is to provide a plate glass transfer device that can improve the inspection accuracy.
上記の目的を達成するため、本発明による板ガラス移送装置は、作業台10の上面に移送部20が設けられ、この移送部20の一側部に移送部20の上に移された板ガラス40を移動させる移送機30を含み、前記移送部は、内部に吐出ファンを備えたファンハウジングと、このファンハウジングの上部に配置され、上面が開放されたエアチャンバーと、このエアチャンバーの開放された上部を覆わらせて密着して取り付けられ、その表面には上下方向に貫通している複数の通孔が形成されたベース板と、このベース板の上面に配置される片板部とからなる板ガラス移送装置において、前記片板部は、前記ベース板の各通孔上に配置されて取り付けられ、中央にベース板の通孔と連通している貫通孔が形成されたフィルタホルダと、前記フィルタホルダの貫通孔内に配置されるフィルタと、前記フィルタホルダの上面を覆わらせ、このフィルタホルダの貫通孔と対応するエア吐出孔が形成され、互いに離れて配置される複数の片板とから構成されることを特徴する。
In order to achieve the above object, the sheet glass transfer device according to the present invention is provided with a
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記フィルタホルダの貫通孔の内周面には、フィルタを安置するための安置段が形成されたことが好ましい。 Moreover, in the plate glass transfer apparatus according to the present invention, it is preferable that an erection step for locating the filter is formed on the inner peripheral surface of the through hole of the filter holder.
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記各片板は、横方向に配置された他の各片板と板ガラスの進行方向に対して、その先・後端部がジグザグに交互に配置されたことが好ましい。 Further, in the sheet glass transfer device according to the present invention, each piece plate is alternately arranged in a zigzag manner with respect to the traveling direction of the other piece plates arranged in the lateral direction and the plate glass. It is preferable.
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記片板のうち、板ガラスが進入及び排出される先・後端部と、作業台の中央の所定の間隔だけ離れて対向する端部に配置された片板上の各エア吐出孔が密に形成されたことが好ましい。 Further, in the sheet glass transfer device according to the present invention, of the pieces, the pieces arranged at the front and rear end portions where the plate glass enters and exits and the end portions facing each other at a predetermined distance in the center of the work table. It is preferable that the air discharge holes on the plate are formed densely.
また、本発明による板ガラス移送装置において、前記密に形成された各エア吐出孔の底面に配置される各フィルタホルダの外周面には、相互間に直線通路を形成させる直面部がそれぞれ設けられたことが好ましい。 Further, in the plate glass transfer device according to the present invention, the outer peripheral surface of each filter holder disposed on the bottom surface of each of the densely formed air discharge holes is provided with a facing portion for forming a straight passage between each other. It is preferable.
このような本発明による板ガラス移送装置によれば、片板の下部の空気層緩和部を通してエアを円滑に排出させることにより、片板上の空気層が均一に保たれ、膨れ上がり現象を防止できるようにして板ガラスの検査の際に不良率を正確に測定することが可能となり、これにより、検査精度を向上させ得るなどの効果を有する。 According to such a plate glass transfer device according to the present invention, the air layer on the one plate can be kept uniform and the swelling phenomenon can be prevented by smoothly discharging the air through the air layer relaxation portion below the one plate. In this way, it becomes possible to accurately measure the defect rate during the inspection of the plate glass, thereby having the effect of improving the inspection accuracy.
以下、本発明の好ましい実施の形態を、添付図面に基づいて詳しく説明する。図3乃至図5に示すように、本発明による板ガラス移送装置は、上面の中央に検査部11が設けられた作業台10と、この作業台10の前・後部の全体にわたって配置され、互いに対称をなす移送部20と、この移送部20の一側に隣接している作業台10の上に設けられる移送機30とを備えている。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. As shown in FIG. 3 to FIG. 5, the plate glass transfer device according to the present invention is disposed over the work table 10 provided with the
前記作業台10は、台型の四角のテーブル状であり、この作業台10の上面から所定の高さだけ離れた上方には、横方向の全体にわたって光源11aと、カメラ装備11bとを備える検査部11が設けられている。
The work table 10 has a trapezoidal square table shape, and is provided with a
前記移送部20は、作業台10の中央部を基準として所定の間隔だけ離れており、板ガラス40を検査部11の下方に通過させるために、作業台10の前・後部の全体にわたって配置され、互いに対称をなす長方形の板材状からなっている。
The
前記移送機30は、移送部20の一側面と隣接している作業台10の上に長さ方向に沿って摺動可能に設けられ、移送部20の上に移された板ガラス40の一側面を取り付けて移送部20の所定の高さの上方に浮き上がった状態で検査部11の下方を通過するように案内している。
The
ここで、前記作業台10と、検査部11と、移送機30とは、公知の技術をそのまま適用したので、その詳細を省略し、以下に、本願発明の移送部20に対して詳しく説明すると次のようになる。
Here, since the work table 10, the
前記移送部20は、吐出ファン21aを備えたファンハウジング21と、このファンハウジング21の上面に載置されるエアチャンバー22と、このエアチャンバー22の上部を覆わせるベース板23と、このベース板23の上面の該当部位にそれぞれ取り付けられる複数の片板部50とから構成されている。
The
前記ファンハウジング21は、開放された上面にクリーンフィルタ21dが覆われており、内部に上方にエアを吐出させる吐出ファン21aを備えた四角のボックス状からなっている。
The
そして、前記ファンハウジング21の側面や底面などには、開放された上方のクリーンフィルタ21dを通してエアを円滑に排出させるための通孔21bと、吐出ファン21aに電源を供給するための電源ケーブル21cなどを通過させるようにする通孔21bとが形成されている。
Further, on the side surface and bottom surface of the
また、前記ファンハウジング21のクリーンフィルタ21dは、吐出ファン21aから吐出されるエアが直接エアチャンバー22内に流入されず、一次的にエア中に含まれている微細塵埃などの不純物を篩い分けるエア洗浄機能と共にエアの吐出圧を緩和させるための機能を有する。
Further, the
前記エアチャンバー22は、吐出ファン21aにより吐出されたエアを充填させると共に、ベース板23の全ての通孔23aを通してエアを排出させるようにする空間が中央部に形成され、その底面中央と上面の全体が開放された四角のボックス状であり、ファンハウジング21の上面に載置される底面の中央には、ファンハウジング21の開放された上部と連通される通孔22aが形成され、その内部に空間部22bが設けられ、その開放された上面の全体にベース板23が密着して取り付けられる。
The
すなわち、前記吐出ファン21aにより吐出されたエアがエアチャンバー22の内にて一次的に充填された後、継続して吐出ファン21aを通してエアチャンバー22の内に流入されるエアによりこのエアチャンバー22の内部のエアが上方に押し出され、ベース板23の通孔23aに排出されるようになっている。
That is, after the air discharged by the
前記ベース板23は、エアチャンバー22の開放された上部を被せて密着して取り付けられる長方形の板材状であり、その表面には、上・下方に貫通している複数の通孔23aが形成されている。
The
また、前記ベース板23の上面には、均一なエア層を形成させるための片板部50が配置されている。
A
前記片板部50は、ベース板23の各通孔23aの上に配置され取り付けられるフィルタホルダ52と、このフィルタホルダ52の貫通孔52aの内に配置されるフィルタ54と、前記フィルタホルダ52の上面を覆わせる複数の片板56とを備える。
The
前記フィルタホルダ52は、前記ベース板23の全ての通孔23aに対応して配置され、スクリューなどの締付具によりベース板23の上に締め付けられるものであり、その中央部には、ベース板23の通孔23aと同じ直径を有して連通している貫通孔52aが形成されており、この貫通孔52aの内周面には、フィルタ54を安置するための安置段52bが設けられている。
The
ここで、前記フィルタホルダ52の貫通孔52aは、上部にフィルタ54が安置されるように、フィルタ54と同じ直径及び高さに形成されたた大直径部と、この大直径部から直ちに下方につながる小直径部とからなる二段の貫通孔状からなっている。
Here, the
すなわち、前記大直径部と小直径部との境界部分がフィルタ54を安置させるための安置段52bとなる。
That is, the boundary portion between the large diameter portion and the small diameter portion serves as a
一方、前記各フィルタホルダ52のうち、密に形成された各エア吐出孔57aを有する片板57の底面に配置される各フィルタホルダ52の外周面には、互いに当接せずに、所定の間隔だけ離れて直線通路を形成させるための直面部52cがそれぞれ設けられている。
On the other hand, among the
前記フィルタ54は、フィルタホルダ52の貫通孔52aの内に着脱可能に配置され、その表面がフィルタホルダ52の上面と同じ平面を有するようにする円板状であり、前記フィルタ54は、ベース板23の各通孔23aの上でエアチャンバー22内のエアをベース板23の通孔23aに直ちに排出せず、排出圧がある程度緩和されるようにし、エアがこのフィルタ54を通して漏れ出す程度に排出させるためのものであり、主に焼結フィルタを使用することが好ましい。
The
前記片板56は、フィルタホルダ52の上面に被せられ、スクリューなどの締付具でこのフィルタホルダ52に締め付けて固定され、このフィルタホルダ52の貫通孔52aと対応するエア吐出孔56aが形成され、相互間にそれぞれ所定の間隔だけ離れて配置される複数のものからなっている。
The
ここで、前記エア吐出孔56aは、フィルタ54の直径よりも小さく形成され、フィルタ54がこのエア吐出孔56aを通して外部に外れないようにすることが好ましい。
Here, it is preferable that the
そして、前記各片板56は、横方向に配置された他の各片板56と板ガラス40の進行方向に対し、その先・後端部がジグザグに交互に配置されている。すなわち、横方向に隣り合う各エア吐出孔56aが互いに並んで配列されず、ジグザグに配列されている。
And each said
また、前記片板56のうち、板ガラス40が進入及び排出される移送部20の先・後端部と作業台10の中央の所定の間隔だけ離れて対向する移送部20の端部に配置された片板56の上の各エア吐出孔56aは、板ガラス40に向けてエア吐出量を増加させるために互いに密に形成されている。
Further, of the
このような構成からなる本発明による板ガラス移送装置は、吐出ファン21aの回転によりエアが上方に吐出され、一次的にエアチャンバー22に充填されると共に継続的な吐出ファン21aのエア吐出によりエアチャンバー22内のエアが上方に押し出され、エアチャンバー22の上面に取り付けられているベース板23の通孔23aを通して上方に排出される。このとき、このベース板23の通孔23aを通して上方に排出されるエアは、フィルタホルダ52のフィルタ54により排出速度が緩和され、フィルタ54を通して漏れ出すように片板56のエア吐出孔56aに排出され、最終に片板56の上で一種の空気層を形成する。
In the plate glass transfer device according to the present invention having such a configuration, air is discharged upward by the rotation of the
すなわち、板ガラス40と片板56との間に形成された空気層に継続的なエアの補充(流れ)が行われ、空気層が継続的に保たれる。
That is, the air layer formed between the
つまり、前記片板56の上に形成された空気層は、片板56の上に載置される板ガラス40を支持すると共に、継続してこれらの片板56の上部及び片板56の下部の各フィルタホルダ52の間に設けられた空気層緩和部58を通してエアが移送部20の外部に排出される過程を繰り返しながら、板ガラス40を片板56、57の上で所定の高さだけ離れた状態で浮き上がらせる。
That is, the air layer formed on the
そして、前記空気層緩和部58は、片板56の上の全体の空気層のボリュームを下方に低くし、ある程度緩和させると共に移送部20の外部に排出される空気層のエアの流れを円滑にすることにより、板ガラス40の中央部が膨れ上がる膨れ上がり現象を防止している。
The air
これは、例えば、空気層緩和部58の無い平らな平板で空気層を形成させる場合、平板の中央部の空気よりも枠側の空気が外部に迅速に通り抜けるために、全般的に板ガラス40の中央部が上方に膨れ上がる膨れ上がり現象が発生するが、このとき、本発明のように、空気層緩和部58を設けて空気層のエアをこれらの空気層緩和部58を通して外部に円滑に排出させることにより、空気層のボリュームを一部緩和し、板ガラス40の膨れ上がり現象を防止することが可能となる。
This is because, for example, when the air layer is formed by a flat flat plate without the air
このように片板25の上に空気層が形成された状態で、検査対象の板ガラス40が作業台10の上の移送部20に移されると、このときから板ガラス40は、空気層により所定の高さだけ上方に浮き上がった状態となり、このとき、作業台10の移送機30が板ガラス40の一側面を真空吸着して検査部11の側に摺動移動させながら板ガラス40の不良検査が行われると共に、この検査部11を経た板ガラス40は、移動し続けられてその次の段階に案内される。
When the
このように、板ガラス40は、不良検査が行われる間、移送部20と当接せずに、エア浮上された状態で移動されるので、接触摩擦などの何らかの揺動もなく精度よく検査が行われる。
As described above, the
さらに、本発明の板ガラス移送装置は、板ガラスの検査装備の他にもその他の物流や他の用途でも使用することができる。 Furthermore, the plate glass transfer device of the present invention can be used for other physical distribution and other applications besides plate glass inspection equipment.
以上のように、前記実施例を参照して詳細に説明されたが、本発明は、これに限定されるものでなく、このような本発明の基本的な技術的思想を逸脱しない範囲内で、当業界の通常の知識を有する者にとっては、他の多くの変更が可能であろう。また、本発明は、添付の特許請求の範囲により解釈されるべきであることは言うまでもない。 As described above, the present invention has been described in detail with reference to the above-described embodiments. However, the present invention is not limited to this, and the scope of the present invention does not depart from the basic technical idea of the present invention. Many other modifications will be possible for those having ordinary knowledge in the art. Needless to say, the present invention should be construed in accordance with the appended claims.
10 作業台
11 検査部
11a 光源
11b カメラ装備
20 移送部
21 ファンハウジング
21a 吐出ファン
21b 通孔
21c 電源ケーブル
21d クリーンフィルタ
22 エアチャンバー
22a 通孔23 ベース板
23a 通孔
24 フィルタ
25 片板
25a エア吐出孔
26 通路
30 移送機
40 板ガラス
50 片板部
52 フィルタホルダ
52a 貫通孔
52b 安置段
52c 直面部
54 フィルタ
56 片板
56a エア吐出孔
58 空気層緩和部
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記移送部20は、内部に吐出ファン21aを備えたファンハウジング21と、このファンハウジング21の上部に配置され、上面が開放されたエアチャンバー22と、このエアチャンバー22の開放された上部を覆わらせて密着して取り付けられ、その表面には、上下方向に貫通している複数の通孔23aが形成されたベース板23と、このベース板23の上面に配置される片板部50とからなる板ガラス移送装置において、
前記片板部50は、
前記ベース板23の各通孔23aの上に配置されて取り付けられ、中央にベース板23の通孔23aと連通している貫通孔52aが形成されたフィルタホルダ52と、
前記フィルタホルダ52の貫通孔52a内に配置されるフィルタ54と、
前記フィルタホルダ52の上面を覆わらせ、このフィルタホルダ52の貫通孔52aと対応するエア吐出孔56aが形成され、互いに離れて配置される複数の片板56とを備えることを特徴とする板ガラス移送装置。 A transfer unit 20 is provided on the upper surface of the work table 10, and includes a transfer machine 30 that transfers the plate glass 40 transferred onto the transfer unit 20 to one side of the transfer unit 20,
The transfer unit 20 includes a fan housing 21 having a discharge fan 21a therein, an air chamber 22 disposed on the top of the fan housing 21 and having an open upper surface, and an open upper portion of the air chamber 22. A base plate 23 having a plurality of through holes 23a penetrating in the vertical direction is formed on the surface thereof, and a single plate portion 50 disposed on the upper surface of the base plate 23. In a plate glass transfer device comprising:
The one-plate portion 50 is
A filter holder 52 which is disposed and attached on each through hole 23a of the base plate 23 and has a through hole 52a communicating with the through hole 23a of the base plate 23 at the center;
A filter 54 disposed in the through hole 52a of the filter holder 52;
A plate glass characterized in that the upper surface of the filter holder 52 is covered, and a plurality of pieces 56 are arranged apart from each other in which air holes 56a corresponding to the through holes 52a of the filter holder 52 are formed. Transfer device.
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US6736588B1 (en) * | 2003-05-09 | 2004-05-18 | Photon Dynamics, Inc. | Integrated large glass handling system |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009013946A1 (en) * | 2007-07-20 | 2009-01-29 | Ihi Corporation | Levitation transportation system |
JP2009023797A (en) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Ihi Corp | Levitation conveying system |
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