JP2007012973A5 - - Google Patents

Claims (17)

1. 複数の半導体レーザを定電流制御あるいは定出力制御する半導体レーザの駆動方法において、
   前記定電流制御あるいは定出力制御による目標光出力と略同じ光出力が得られる半導体レーザの駆動電流値を、駆動開始からの経過時間に応じて規定したパターンを予め作成しておき、
   半導体レーザを駆動開始させてから所定の期間、該半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させ、
   前記パターンを１つだけ用い、そのパターンを複数の半導体レーザに対して共通に使用することを特徴とする半導体レーザの駆動方法。
2. 半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させる処理を、複数の半導体レーザに対して共通のタイミングで行うことを特徴とする請求項１記載の半導体レーザの駆動方法。
3. 前記複数の半導体レーザの各々から出射したレーザ光が合波される場合に、
   これら複数の半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させる処理を、複数の半導体レーザ間で時間的遅延を付けて行うことを特徴とする請求項１記載の半導体レーザの駆動方法。
4. 前記パターンとして、半導体レーザの駆動電流値を所定電流値に対する比で規定したパターンを用いることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の半導体レーザの駆動方法。
5. 複数の半導体レーザと、それらから各々出射したレーザ光が入力されて該レーザ光を合波する光ファイバとを有する装置において、前記複数の半導体レーザを駆動することを特徴とする請求項１から４いずれか１項記載の半導体レーザの駆動方法。
6. 前記半導体レーザとして、ＧａＮ系半導体レーザを駆動することを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載の半導体レーザの駆動方法。
7. 複数の半導体レーザを定電流制御あるいは定出力制御する構成を備えた半導体レーザの駆動装置において、
   前記定電流制御あるいは定出力制御による目標光出力と略同じ光出力が得られる半導体レーザの駆動電流値を、駆動開始からの経過時間に応じて規定したパターンを記憶した記憶手段と、
   半導体レーザを駆動開始させてから所定の期間、該半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させ、かつ、１つの前記パターンを複数の半導体レーザに対して共通に使用するように構成された電流制御手段とを備えたことを特徴とする半導体レーザの駆動装置。
8. 前記電流制御手段が、半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させる処理を、複数の半導体レーザに対して共通のタイミングで行うように構成されていることを特徴とする請求項７記載の半導体レーザの駆動装置。
9. 前記複数の半導体レーザの各々から出射したレーザ光が合波される構成において、該複数の半導体レーザを駆動する装置であって、
   前記電流制御手段が、前記複数の半導体レーザの駆動電流を前記パターンに従って段階的に変化させる処理を、複数の半導体レーザ間で時間的遅延を付けて行うように構成されていることを特徴とする請求項７記載の半導体レーザの駆動装置。
10. 前記記憶手段が記憶している前記パターンが、半導体レーザの駆動電流値を所定電流値に対する比で規定したパターンであることを特徴とする請求項７から９いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置。
11. 複数の半導体レーザと、それらから各々出射したレーザ光が入力されて該レーザ光を合波する光ファイバとを有する装置において、前記複数の半導体レーザを駆動することを特徴とする請求項７から１０いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置。
12. 前記半導体レーザとして、ＧａＮ系半導体レーザを駆動することを特徴とする請求項７から１１いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置。
13. 請求項１から６いずれか１項記載の半導体レーザの駆動方法に用いられる前記パターンを導出する方法であって、
    駆動対象の半導体レーザを、所定電流を供給して駆動し、
    そのとき該半導体レーザから発せられる光の少なくとも一部を光検出器により検出し、
    該光検出器の出力が一定になるように前記所定電流を増減させ、
    この所定電流を検出して、その増減のパターンを前記パターンとして採取することを特徴とする半導体レーザ駆動電流パターンの導出方法。
14. 複数の半導体レーザを同時に駆動し、
    そのとき該複数の半導体レーザから発せられる光の少なくとも一部を光検出器により検出し、
    該光検出器の出力が一定になるように、各半導体レーザに供給される前記所定電流を同時に増減させることを特徴とする請求項１３記載の半導体レーザ駆動電流パターンの導出方法。
15. 請求項７から１２いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置に用いられる前記パターンを導出する装置であって、
    駆動対象の半導体レーザを、所定電流を供給して駆動する定電流回路と、
    そのとき該半導体レーザから発せられる光の少なくとも一部を検出する光検出器と、
    該光検出器の出力が一定になるように前記所定電流を増減させる手段と、
    この所定電流を検出して、その増減のパターンを前記パターンとして採取する手段とを備えたことを特徴とする半導体レーザ駆動電流パターンの導出装置。
16. 前記定電流回路が、複数の半導体レーザを同時に駆動するように構成され、
    前記光検出器が、そのとき該複数の半導体レーザから発せられる光の少なくとも一部を検出可能に構成され、
    前記所定電流を増減させる手段が、前記光検出器の出力が一定になるように、各半導体レーザに供給される前記所定電流を同時に増減させるように構成されていることを特徴とする請求項１５記載の半導体レーザ駆動電流パターンの導出装置。
17. 半導体レーザから発せられた光を空間光変調素子によって変調し、その変調された光により感光材料を露光させる露光装置において、
    半導体レーザを駆動する装置として、請求項７から１２いずれか１項記載の半導体レーザの駆動装置が用いられたことを特徴とする露光装置。