JP2007005363A - Exposure system and method of manufacturing device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an exposure system capable of maintaining exposure accuracy and measurement accuracy by preventing a liquid filled in an optical path space of an exposure light from flowing out. <P>SOLUTION: The exposure system EX is provided with a recovery port 22 provided on a predetermined position with respect to an optical path space K1 of an exposure light EL and recovering a liquid LQ; a first jetting port 32 provided on the outside of the recovery port 22 with respect to the optical path space K1 and jetting a gas; and a second jetting port 52 provided on the outside of the first jetting port 32 with respect to the optical path space K1 and jetting a gas. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液体を介して基板を露光する露光装置、及びデバイス製造方法に関するものである。   The present invention relates to an exposure apparatus that exposes a substrate through a liquid and a device manufacturing method.

半導体デバイス等のマイクロデバイスの製造工程の一つであるフォトリソグラフィ工程では、マスクのパターン像を感光性の基板上に露光する露光装置が用いられる。マイクロデバイスの製造においては、デバイスの高密度化のために、基板上に形成されるパターンの微細化が要求されている。この要求に応えるために露光装置の更なる高解像度化が望まれており、その高解像度化を実現するための手段の一つとして、下記特許文献に開示されているような、露光光の光路空間を液体で満たし、その液体を介して基板を露光する液浸露光装置が案出されている。
特開２００４−２８９１２６号公報 In a photolithography process that is one of manufacturing processes of microdevices such as semiconductor devices, an exposure apparatus that exposes a pattern image of a mask onto a photosensitive substrate is used. In the manufacture of micro devices, miniaturization of patterns formed on a substrate is required in order to increase the density of devices. In order to meet this demand, it is desired to further increase the resolution of the exposure apparatus. As one of means for realizing the higher resolution, the optical path of the exposure light as disclosed in the following patent document An immersion exposure apparatus has been devised that fills a space with a liquid and exposes a substrate through the liquid.
JP 2004-289126 A

ところで、露光装置においては、デバイスの生産性向上等を目的として、基板の移動速度の高速化が要求される。ところが、移動速度を高速化した場合、露光光の光路空間に満たされた液体を良好に保持することが困難となる可能性がある。例えば、移動速度の高速化に伴って、露光光の光路空間に満たされた液体が流出する可能性があり、露光精度や各種計測精度が劣化する虞がある。   By the way, in the exposure apparatus, it is required to increase the moving speed of the substrate for the purpose of improving device productivity. However, when the moving speed is increased, it may be difficult to satisfactorily hold the liquid filled in the optical path space of the exposure light. For example, as the moving speed increases, the liquid filled in the optical path space of the exposure light may flow out, which may deteriorate the exposure accuracy and various measurement accuracy.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、露光光の光路空間に満たされた液体の流出を抑え、露光精度及び計測精度を維持できる露光装置、及びその露光装置を用いるデバイス製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an exposure apparatus capable of suppressing the outflow of liquid filled in the optical path space of exposure light and maintaining exposure accuracy and measurement accuracy, and a device using the exposure apparatus An object is to provide a manufacturing method.

上記の課題を解決するため、本発明は実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。   In order to solve the above-described problems, the present invention employs the following configurations corresponding to the respective drawings shown in the embodiments. However, the reference numerals with parentheses attached to each element are merely examples of the element and do not limit each element.

本発明の第１の態様に従えば、露光光（ＥＬ）の光路空間（Ｋ１）に満たされた液体（ＬＱ）を介して基板（Ｐ）上に露光光（ＥＬ）を照射して基板（Ｐ）を露光する露光装置において、光路空間（Ｋ１）に対して所定位置に設けられ、液体（ＬＱ）を回収する回収口（２２）と、光路空間（Ｋ１）に対して回収口（２２）の外側に設けられ、気体（ＧＳ）を吹き出す第１吹出口（３２）と、光路空間（Ｋ１）に対して第１吹出口（３２）の外側に設けられ、気体（ＧＳ）を吹き出す第２吹出口（５２）とを備えた露光装置（ＥＸ）が提供される。   According to the first aspect of the present invention, the substrate (P) is irradiated with the exposure light (EL) through the liquid (LQ) filled in the optical path space (K1) of the exposure light (EL), and the substrate ( In the exposure apparatus for exposing P), a recovery port (22) provided at a predetermined position with respect to the optical path space (K1) and recovering the liquid (LQ), and a recovery port (22) with respect to the optical path space (K1) A first air outlet (32) that blows out gas (GS) and a second air outlet (32) that is provided outside the first air outlet (32) with respect to the optical path space (K1) and blows out gas (GS). An exposure apparatus (EX) provided with an outlet (52) is provided.

本発明の第１の態様によれば、第１吹出口及び第２吹出口から吹き出された気体によって、露光光の光路空間に満たされた液体の流出を抑えることができる。   According to the 1st aspect of this invention, the outflow of the liquid with which the optical path space of exposure light was filled with the gas blown off from the 1st blower outlet and the 2nd blower outlet can be suppressed.

本発明の第２の態様に従えば、露光光（ＥＬ）の光路空間（Ｋ１）に満たされた液体（ＬＱ）を介して基板（Ｐ）上に露光光（ＥＬ）を照射して基板（Ｐ）を露光する露光装置において、光路空間（Ｋ１）に対して所定位置に設けられ、液体（ＬＱ）を回収する回収口（２２）を有する第１部材（１０）と、光路空間（Ｋ１）に対して回収口（２２）の外側に設けられ、気体（ＧＳ）を吹き出す吹出口（５２）を有する下面（５５）を有し、基板（Ｐ）の表面との間でガスベアリングを形成する第２部材（５０）と、第１部材（１０）を支持する第１支持機構（８１）と、第１支持機構（８１）とは別に設けられ、第２部材（５０）を揺動可能に支持する第２支持機構（８３）とを備えた露光装置（ＥＸ）が提供される。   According to the second aspect of the present invention, the substrate (P) is irradiated with the exposure light (EL) through the liquid (LQ) filled in the optical path space (K1) of the exposure light (EL), and the substrate ( In the exposure apparatus for exposing P), a first member (10) provided at a predetermined position with respect to the optical path space (K1) and having a recovery port (22) for recovering the liquid (LQ), and the optical path space (K1) The bottom surface (55) is provided outside the recovery port (22) and has a blowout port (52) for blowing out gas (GS), and forms a gas bearing with the surface of the substrate (P). The second member (50), the first support mechanism (81) that supports the first member (10), and the first support mechanism (81) are provided separately, and the second member (50) can swing. An exposure apparatus (EX) including a second support mechanism (83) for supporting is provided.

本発明の第２の態様によれば、基板の表面との間でガスベアリングを形成する第２部材によって、露光光の光路空間に満たされた液体の流出を抑えることができる。   According to the 2nd aspect of this invention, the outflow of the liquid with which the optical path space of exposure light was filled can be suppressed by the 2nd member which forms a gas bearing between the surfaces of a board | substrate.

本発明の第３の態様に従えば、露光光（ＥＬ）の光路空間（Ｋ１）に満たされた液体（ＬＱ）を介して基板（Ｐ）上に露光光（ＥＬ）を照射して基板（Ｐ）を露光する露光装置において、光路空間（Ｋ１）に対して所定位置に設けられ、液体（ＬＱ）を回収する回収口（２２）を有する第１部材（１０）と、光路空間（Ｋ１）に対して回収口（２２）の外側に設けられ、気体（ＧＳ）を吹き出す吹出口（５２）を有し、基板（Ｐ）の表面と対向する下面（５５）を有する第２部材（５０）と、第１部材（１０）を支持する第１支持機構（８１）と、第１支持機構（８１）とは別に設けられ、第２部材（５０）を揺動可能に支持する第２支持機構（８３）と、基板（Ｐ）の表面と第２部材（５０）の下面（５５）とのギャップ（Ｄ４）を略一定に維持するギャップ調整機構（３）とを備えた露光装置（ＥＸ）が提供される。   According to the third aspect of the present invention, the substrate (P) is irradiated with the exposure light (EL) through the liquid (LQ) filled in the optical path space (K1) of the exposure light (EL), and the substrate ( In the exposure apparatus for exposing P), a first member (10) provided at a predetermined position with respect to the optical path space (K1) and having a recovery port (22) for recovering the liquid (LQ), and the optical path space (K1) The second member (50) is provided outside the recovery port (22), has a blowout port (52) for blowing out gas (GS), and has a lower surface (55) facing the surface of the substrate (P). And a first support mechanism (81) that supports the first member (10) and a second support mechanism that is provided separately from the first support mechanism (81) and supports the second member (50) so as to be swingable. (83) and the gap (D4) between the surface of the substrate (P) and the lower surface (55) of the second member (50) are substantially constant. Maintained to gap adjusting mechanism (3) and an exposure apparatus equipped with (EX) is provided.

本発明の第３の態様によれば、基板の表面と第２部材の下面との間に形成されるギャップを略一定に維持することによって、露光光の光路空間に満たされた液体の流出を抑えることができる。   According to the third aspect of the present invention, the gap formed between the surface of the substrate and the lower surface of the second member is maintained substantially constant, so that the liquid filled in the optical path space of the exposure light can flow out. Can be suppressed.

本発明の第４の態様に従えば、上記態様の露光装置（ＥＸ）を用いるデバイス製造方法が提供される。   According to the fourth aspect of the present invention, there is provided a device manufacturing method using the exposure apparatus (EX) of the above aspect.

本発明の第４の態様によれば、光路空間に満たされた液体の流出が抑えられた露光装置を用いてデバイスを製造することができる。   According to the fourth aspect of the present invention, a device can be manufactured using an exposure apparatus in which the outflow of the liquid filled in the optical path space is suppressed.

本発明によれば、露光光の光路空間に満たされた液体の流出を抑え、露光精度及び計測精度を維持することができる。   According to the present invention, it is possible to suppress the outflow of the liquid filled in the optical path space of the exposure light and maintain the exposure accuracy and the measurement accuracy.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited thereto.

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は第１実施形態に係る露光装置を示す概略構成図である。図１において、露光装置ＥＸは、マスクＭを保持して移動可能なマスクステージ４と、基板Ｐを保持して移動可能な基板ステージ５と、マスクステージ４に保持されているマスクＭを露光光ＥＬで照明する照明光学系ＩＬと、露光光ＥＬで照明されたマスクＭのパターン像を基板ステージ５に保持されている基板Ｐに投影する投影光学系ＰＬと、露光装置ＥＸ全体の動作を制御する制御装置７とを備えている。なお、ここでいう基板は半導体ウエハ等の基材上に感光材（フォトレジスト）を塗布したものを含み、マスクは基板上に縮小投影されるデバイスパターンを形成されたレチクルを含む。 <First Embodiment>
A first embodiment will be described. FIG. 1 is a schematic block diagram that shows an exposure apparatus according to the first embodiment. In FIG. 1, an exposure apparatus EX exposes a mask stage 4 that can move while holding a mask M, a substrate stage 5 that can move while holding a substrate P, and a mask M held by the mask stage 4. The illumination optical system IL that illuminates with EL, the projection optical system PL that projects the pattern image of the mask M illuminated with the exposure light EL onto the substrate P held on the substrate stage 5, and the overall operation of the exposure apparatus EX are controlled. And a control device 7 for performing the operation. Here, the substrate includes a substrate in which a photosensitive material (photoresist) is coated on a base material such as a semiconductor wafer, and the mask includes a reticle on which a device pattern to be reduced and projected on the substrate is formed.

本実施形態の露光装置ＥＸは、露光波長を実質的に短くして解像度を向上するとともに焦点深度を実質的に広くするために液浸法を適用した液浸露光装置であって、投影光学系ＰＬの像面側における露光光ＥＬの光路空間Ｋ１を液体ＬＱで満たすための液浸機構１を備えている。液浸機構１は、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１に対して所定位置に設けられ、光路空間Ｋ１に液体ＬＱを供給する供給口１２及び供給口１２から供給された液体ＬＱを回収する回収口２２を有するノズル部材１０と、液体供給管１３を介して供給口１２に液体ＬＱを供給する液体供給装置１１と、回収口２２及び液体回収管２３を介して液体ＬＱを回収する液体回収装置２１とを備えている。ノズル部材１０は、投影光学系ＰＬの光学素子のうち、投影光学系ＰＬの像面に最も近い最終光学素子ＦＬを囲むように環状に形成されている。液浸機構１の動作は制御装置７に制御される。   The exposure apparatus EX of the present embodiment is an immersion exposure apparatus to which an immersion method is applied in order to substantially shorten the exposure wavelength to improve the resolution and substantially widen the depth of focus. A liquid immersion mechanism 1 is provided for filling the optical path space K1 of the exposure light EL on the image plane side of the PL with the liquid LQ. The liquid immersion mechanism 1 is provided at a predetermined position with respect to the optical path space K1 of the exposure light EL, the supply port 12 that supplies the liquid LQ to the optical path space K1, and the recovery port 22 that recovers the liquid LQ supplied from the supply port 12. A liquid supply device 11 that supplies the liquid LQ to the supply port 12 via the liquid supply tube 13, and a liquid recovery device 21 that recovers the liquid LQ via the recovery port 22 and the liquid recovery tube 23. It has. The nozzle member 10 is formed in an annular shape so as to surround the final optical element FL closest to the image plane of the projection optical system PL among the optical elements of the projection optical system PL. The operation of the liquid immersion mechanism 1 is controlled by the control device 7.

露光装置ＥＸは、少なくともマスクＭのパターン像を基板Ｐ上に露光している間、液浸機構１を用いて、投影光学系ＰＬの最終光学素子ＦＬと、投影光学系ＰＬの像面側に配置された基板Ｐとの間の露光光ＥＬの光路空間Ｋ１を液体ＬＱで満たす。露光装置ＥＸは、投影光学系ＰＬと光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱとを介してマスクＭを通過した露光光ＥＬを基板Ｐ上に照射することによって、マスクＭのパターン像を基板Ｐ上に露光する。また、本実施形態の露光装置ＥＸは、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱが、投影光学系ＰＬの投影領域ＡＲを含む基板Ｐ上の一部の領域に、投影領域ＡＲよりも大きく且つ基板Ｐよりも小さい液体ＬＱの液浸領域ＬＲを局所的に形成する局所液浸方式を採用している。制御装置７は、液浸機構１を制御して、液体供給装置１１による液体供給動作と液体回収装置２１による液体回収動作とを並行して行うことで、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１を液体ＬＱで満たし、基板Ｐ上の一部の領域に液体ＬＱの液浸領域ＬＲを局所的に形成する。   The exposure apparatus EX uses the liquid immersion mechanism 1 to expose the final optical element FL of the projection optical system PL and the image plane side of the projection optical system PL at least while exposing the pattern image of the mask M on the substrate P. The optical path space K1 of the exposure light EL with respect to the arranged substrate P is filled with the liquid LQ. The exposure apparatus EX irradiates the substrate P with the exposure light EL that has passed through the mask M via the projection optical system PL and the liquid LQ filled in the optical path space K1, whereby the pattern image of the mask M is applied to the substrate P. To expose. Further, in the exposure apparatus EX of the present embodiment, the liquid LQ filled in the optical path space K1 of the exposure light EL is transferred from the projection area AR to a partial area on the substrate P including the projection area AR of the projection optical system PL. A local liquid immersion method is used in which a liquid immersion region LR of the liquid LQ that is larger and smaller than the substrate P is locally formed. The control device 7 controls the liquid immersion mechanism 1 to perform the liquid supply operation by the liquid supply device 11 and the liquid recovery operation by the liquid recovery device 21 in parallel, thereby changing the optical path space K1 of the exposure light EL to the liquid LQ. The liquid immersion region LR of the liquid LQ is locally formed in a partial region on the substrate P.

なお本実施形態においては、投影光学系ＰＬと基板Ｐとが対向している状態で光路空間Ｋ１に液体ＬＱが満たされる場合を主に説明するが、基板Ｐ以外の物体（例えば基板ステージ５の上面）が投影光学系ＰＬと対向している状態で光路空間Ｋ１に液体ＬＱを満たす場合も同様である。   In the present embodiment, the case where the optical path space K1 is filled with the liquid LQ with the projection optical system PL and the substrate P facing each other will be mainly described. However, an object other than the substrate P (for example, the substrate stage 5) The same applies to the case where the optical path space K1 is filled with the liquid LQ with the upper surface facing the projection optical system PL.

また、露光装置ＥＸは、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１に対して回収口２２の外側に設けられ、気体ＧＳを吹き出す第１吹出口３２を有するシール機構２を備えている。シール機構２は、第１吹出口３２を有するシール部材３０と、第１供給管３３を介して第１吹出口３２に気体ＧＳを供給する第１気体供給装置３１とを備えている。シール部材３０は、ノズル部材１０を囲むように環状に形成されている。シール機構２の動作は制御装置７に制御される。   Further, the exposure apparatus EX includes a seal mechanism 2 that is provided outside the recovery port 22 with respect to the optical path space K1 of the exposure light EL and has a first air outlet 32 that blows out the gas GS. The seal mechanism 2 includes a seal member 30 having a first air outlet 32 and a first gas supply device 31 that supplies a gas GS to the first air outlet 32 via a first supply pipe 33. The seal member 30 is formed in an annular shape so as to surround the nozzle member 10. The operation of the sealing mechanism 2 is controlled by the control device 7.

また、露光装置ＥＸは、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１に対して第１吹出口３２の外側に設けられ、気体ＧＳを吹き出す第２吹出口５２を有するガスベアリング機構３を備えている。ガスベアリング機構３は、第２吹出口５２を有するベアリング部材５０と、第２供給管５３を介して第２吹出口５２に気体ＧＳを供給する第２気体供給装置５１とを備えている。ベアリング部材５０は、シール部材３０を囲むように環状に形成されている。ガスベアリング機構３の動作は制御装置７に制御される。   Further, the exposure apparatus EX includes a gas bearing mechanism 3 having a second air outlet 52 that is provided outside the first air outlet 32 with respect to the optical path space K1 of the exposure light EL and blows out the gas GS. The gas bearing mechanism 3 includes a bearing member 50 having a second air outlet 52 and a second gas supply device 51 that supplies a gas GS to the second air outlet 52 via a second supply pipe 53. The bearing member 50 is formed in an annular shape so as to surround the seal member 30. The operation of the gas bearing mechanism 3 is controlled by the control device 7.

本実施形態では、露光装置ＥＸとしてマスクＭと基板Ｐとを走査方向に同期移動しつつマスクＭのパターン像を基板Ｐに露光する走査型露光装置（所謂スキャニングステッパ）を使用する場合を例にして説明する。以下の説明において、水平面内においてマスクＭと基板Ｐとの同期移動方向（走査方向）をＹ軸方向、水平面内においてＹ軸方向と直交する方向をＸ軸方向（非走査方向）、Ｘ軸及びＹ軸方向に垂直で投影光学系ＰＬの光軸ＡＸと一致する方向をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。   In this embodiment, a case where a scanning exposure apparatus (so-called scanning stepper) that exposes the pattern image of the mask M onto the substrate P while synchronously moving the mask M and the substrate P in the scanning direction is used as the exposure apparatus EX is taken as an example. I will explain. In the following description, the synchronous movement direction (scanning direction) of the mask M and the substrate P in the horizontal plane is the Y-axis direction, the direction orthogonal to the Y-axis direction in the horizontal plane is the X-axis direction (non-scanning direction), the X-axis, and A direction perpendicular to the Y-axis direction and coincident with the optical axis AX of the projection optical system PL is defined as a Z-axis direction. Further, the rotation (inclination) directions around the X axis, Y axis, and Z axis are the θX, θY, and θZ directions, respectively.

露光装置ＥＸは、床面上に設けられたベース部材６と、そのベース部材６上に設けられたメインコラム８とを備えている。メインコラム８には、内側に向けて突出する上側段部８Ａ及び下側段部８Ｂが形成されている。照明光学系ＩＬは、メインコラム８の上部に固定された支持フレーム９によって支持されている。   The exposure apparatus EX includes a base member 6 provided on the floor surface and a main column 8 provided on the base member 6. The main column 8 is formed with an upper step 8A and a lower step 8B that protrude inward. The illumination optical system IL is supported by a support frame 9 fixed to the upper part of the main column 8.

照明光学系ＩＬは、マスクステージ４に保持されたマスクＭ上の所定の照明領域を均一な照度分布の露光光ＥＬで照明するものである。照明光学系ＩＬから射出される露光光ＥＬとしては、例えば水銀ランプから射出される輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）や、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）及びＦ２レーザ光（波長１５７ｎｍ）等の真空紫外光（ＶＵＶ光）などが用いられる。本実施形態においてはＡｒＦエキシマレーザ光が用いられる。 The illumination optical system IL illuminates a predetermined illumination area on the mask M held on the mask stage 4 with the exposure light EL having a uniform illuminance distribution. The exposure light EL emitted from the illumination optical system IL is, for example, far ultraviolet light (DUV light) such as emission lines (g line, h line, i line) and KrF excimer laser light (wavelength 248 nm) emitted from a mercury lamp. Alternatively, vacuum ultraviolet light (VUV light) such as ArF excimer laser light (wavelength 193 nm) and F 2 laser light (wavelength 157 nm) is used. In this embodiment, ArF excimer laser light is used.

マスクステージ４は、マスクＭを保持した状態で、リニアモータ等のアクチュエータを含むマスクステージ駆動装置４Ｄの駆動により、マスクステージ定盤４Ｂ上で、Ｘ軸、Ｙ軸、及びθＺ方向に移動可能である。マスクステージ４の下面には非接触軸受であるガスベアリング４Ｇが設けられており、マスクステージ４はガスベアリング４Ｇによりマスクステージ定盤４Ｂの上面（ガイド面）に対して非接触支持されている。マスクステージ４及びマスクステージ定盤４Ｂのそれぞれの中央部にはマスクＭのパターン像を通過させる開口が形成されている。   The mask stage 4 is movable in the X axis, Y axis, and θZ directions on the mask stage surface plate 4B by driving a mask stage driving device 4D including an actuator such as a linear motor while holding the mask M. is there. A gas bearing 4G as a non-contact bearing is provided on the lower surface of the mask stage 4, and the mask stage 4 is supported in a non-contact manner on the upper surface (guide surface) of the mask stage surface plate 4B by the gas bearing 4G. An opening through which the pattern image of the mask M passes is formed at the center of each of the mask stage 4 and the mask stage surface plate 4B.

マスクステージ４（ひいてはマスクＭ）の位置情報はレーザ干渉計４Ｌによって計測される。レーザ干渉計４Ｌはマスクステージ４上に設けられた移動鏡４Ｋを用いてマスクステージ４の位置情報を計測する。制御装置７は、レーザ干渉計４Ｌの計測結果に基づいてマスクステージ駆動装置４Ｄを駆動し、マスクステージ４に保持されているマスクＭの位置制御を行う。   Position information of the mask stage 4 (and consequently the mask M) is measured by the laser interferometer 4L. The laser interferometer 4L measures the position information of the mask stage 4 using a moving mirror 4K provided on the mask stage 4. The control device 7 drives the mask stage driving device 4D based on the measurement result of the laser interferometer 4L, and controls the position of the mask M held on the mask stage 4.

マスクステージ定盤４Ｂは、メインコラム８の上側段部８Ａに防振装置４Ｓを介して支持されている。すなわち、マスクステージ４は、防振装置４Ｓ及びマスクステージ定盤４Ｂを介してメインコラム８に支持された構成となっている。防振装置４Ｓによって、メインコラム８の振動がマスクステージ４を支持するマスクステージ定盤４Ｂに伝わらないように、マスクステージ定盤４Ｂとメインコラム８とが振動的に分離されている。   The mask stage surface plate 4B is supported on the upper step 8A of the main column 8 via a vibration isolator 4S. That is, the mask stage 4 is supported by the main column 8 via the vibration isolator 4S and the mask stage surface plate 4B. The anti-vibration device 4S vibrationally separates the mask stage surface plate 4B and the main column 8 so that the vibration of the main column 8 is not transmitted to the mask stage surface plate 4B that supports the mask stage 4.

投影光学系ＰＬは、マスクＭのパターン像を所定の投影倍率で基板Ｐに投影するものであって、複数の光学素子を有しており、それら光学素子は鏡筒ＰＫで保持されている。本実施形態の投影光学系ＰＬは、その投影倍率が例えば１／４、１／５、１／８等の縮小系である。なお、投影光学系ＰＬは等倍系及び拡大系のいずれでもよい。また、投影光学系ＰＬは、反射光学素子を含まない屈折系、屈折光学素子を含まない反射系、反射光学素子と屈折光学素子とを含む反射屈折系のいずれであってもよい。また、投影光学系ＰＬは、倒立像と正立像とのいずれを形成してもよい。また本実施形態においては、投影光学系ＰＬの複数の光学素子のうち、投影光学系ＰＬの像面に最も近い最終光学素子ＦＬは鏡筒ＰＫより露出している。   The projection optical system PL projects the pattern image of the mask M onto the substrate P at a predetermined projection magnification, and has a plurality of optical elements, and these optical elements are held by a lens barrel PK. The projection optical system PL of the present embodiment is a reduction system whose projection magnification is, for example, 1/4, 1/5, 1/8 or the like. Note that the projection optical system PL may be either an equal magnification system or an enlargement system. The projection optical system PL may be any of a refractive system that does not include a reflective optical element, a reflective system that does not include a refractive optical element, and a catadioptric system that includes a reflective optical element and a refractive optical element. Further, the projection optical system PL may form either an inverted image or an erect image. In the present embodiment, among the plurality of optical elements of the projection optical system PL, the final optical element FL closest to the image plane of the projection optical system PL is exposed from the barrel PK.

投影光学系ＰＬを保持する鏡筒ＰＫの外周にはフランジＰＦが設けられており、投影光学系ＰＬはフランジＰＦを介して鏡筒定盤ＰＢに支持されている。鏡筒定盤ＰＢは、メインコラム８の下側段部８Ｂに防振装置ＰＳを介して支持されている。すなわち、投影光学系ＰＬは、防振装置ＰＳ及び鏡筒定盤ＰＢを介してメインコラム８に支持された構成となっている。防振装置ＰＳによって、メインコラム８の振動が投影光学系ＰＬを支持する鏡筒定盤ＰＢに伝わらないように、鏡筒定盤ＰＢとメインコラム８とが振動的に分離されている。   A flange PF is provided on the outer periphery of the lens barrel PK that holds the projection optical system PL, and the projection optical system PL is supported by the lens barrel surface plate PB via the flange PF. The lens barrel surface plate PB is supported by the lower step portion 8B of the main column 8 via the vibration isolator PS. That is, the projection optical system PL is supported by the main column 8 via the image stabilizer PS and the lens barrel surface plate PB. By the vibration isolator PS, the lens barrel base plate PB and the main column 8 are vibrationally separated so that the vibration of the main column 8 is not transmitted to the lens barrel base plate PB supporting the projection optical system PL.

基板ステージ５は、基板Ｐを保持する基板ホルダ５Ｈを有しており、基板ホルダ５Ｈに基板Ｐを保持した状態で、リニアモータ等のアクチュエータを含む基板ステージ駆動装置５Ｄの駆動により、基板ステージ定盤５Ｂ上で、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向の６自由度の方向に移動可能である。基板ステージ５の下面には非接触軸受であるガスベアリング５Ｇが設けられており、基板ステージ５はガスベアリング５Ｇにより基板ステージ定盤５Ｂの上面（ガイド面）に対して非接触支持されている。   The substrate stage 5 has a substrate holder 5H that holds the substrate P. The substrate stage 5 is fixed by driving a substrate stage driving device 5D including an actuator such as a linear motor while holding the substrate P on the substrate holder 5H. On the board 5B, it can move in directions of six degrees of freedom of the X axis, Y axis, Z axis, θX, θY, and θZ directions. A gas bearing 5G which is a non-contact bearing is provided on the lower surface of the substrate stage 5, and the substrate stage 5 is supported in a non-contact manner on the upper surface (guide surface) of the substrate stage surface plate 5B by the gas bearing 5G.

基板ホルダ５Ｈは、基板ステージ５上に設けられた凹部５Ｒに配置されており、基板ステージ５のうち凹部５Ｒ以外の上面５Ｆは、基板ホルダ５Ｈに保持された基板Ｐの表面とほぼ同じ高さ（面一）になるような平坦面となっている。なお、基板ホルダ５Ｈに保持された基板Ｐの表面と基板ステージ５の上面５Ｆとの間に段差があってもよい。   The substrate holder 5H is disposed in a recess 5R provided on the substrate stage 5, and the upper surface 5F of the substrate stage 5 other than the recess 5R is substantially the same height as the surface of the substrate P held by the substrate holder 5H. The surface is flat. There may be a step between the surface of the substrate P held by the substrate holder 5H and the upper surface 5F of the substrate stage 5.

基板ステージ５（ひいては基板Ｐ）の位置情報はレーザ干渉計５Ｌによって計測される。レーザ干渉計５Ｌは、基板ステージ５に設けられた移動鏡５Ｋを用いて、基板ステージ５のＸ軸、Ｙ軸、及びθＺ方向に関する位置情報を計測する。また、基板ステージ５に保持されている基板Ｐの表面の面位置情報（Ｚ軸、θＸ、及びθＹ方向に関する位置情報）は、不図示のフォーカス・レベリング検出系によって検出される。制御装置７は、レーザ干渉計５Ｌの計測結果及びフォーカス・レベリング検出系の検出結果に基づいて基板ステージ駆動装置５Ｄを駆動し、基板ステージ５（基板ホルダ５Ｈ）に保持されている基板Ｐの位置制御を行う。   The position information of the substrate stage 5 (and consequently the substrate P) is measured by the laser interferometer 5L. The laser interferometer 5L measures positional information regarding the X axis, the Y axis, and the θZ direction of the substrate stage 5 using a moving mirror 5K provided on the substrate stage 5. Further, surface position information (position information regarding the Z-axis, θX, and θY directions) of the surface of the substrate P held by the substrate stage 5 is detected by a focus / leveling detection system (not shown). The control device 7 drives the substrate stage driving device 5D based on the measurement result of the laser interferometer 5L and the detection result of the focus / leveling detection system, and the position of the substrate P held by the substrate stage 5 (substrate holder 5H). Take control.

基板ステージ定盤５Ｂは、ベース部材６上に防振装置５Ｓを介して支持されている。防振装置５Ｓによって、ベース部材６（床面）やメインコラム８の振動が基板ステージ５を支持する基板ステージ定盤５Ｂに伝わらないように、基板ステージ定盤５Ｂとメインコラム８及びベース部材６（床面）とが振動的に分離されている。   The substrate stage surface plate 5B is supported on the base member 6 via a vibration isolator 5S. The vibration isolator 5S prevents the vibration of the base member 6 (floor surface) and the main column 8 from being transmitted to the substrate stage surface plate 5B that supports the substrate stage 5, so that the substrate stage surface plate 5B, the main column 8, and the base member 6 are vibrated. (Floor surface) is separated vibrationally.

液浸機構１の液体供給装置１１は、液体ＬＱを収容するタンク、加圧ポンプ、供給する液体ＬＱの温度を調整する温度調整装置、供給する液体ＬＱ中の気体成分を低減する脱気装置、及び液体ＬＱ中の異物を取り除くフィルタユニット等を備えており、クリーンで温度調整された液体ＬＱを送出可能である。本実施形態においては、液体供給装置１１は、液体ＬＱとして純水を供給する。液浸機構１の液体回収装置２１は、真空ポンプ等の真空系、回収された液体ＬＱと気体とを分離する気液分離器、及び回収した液体ＬＱを収容するタンク等を備えており、液体ＬＱを回収可能である。なお、液体供給装置１１や液体回収装置２１の少なくとも一部を構成する機器を、露光装置ＥＸが設置される工場等の設備で代用してもよい。   The liquid supply device 11 of the liquid immersion mechanism 1 includes a tank that stores the liquid LQ, a pressure pump, a temperature adjustment device that adjusts the temperature of the supplied liquid LQ, a deaeration device that reduces the gas components in the supplied liquid LQ, And a filter unit or the like that removes foreign matter in the liquid LQ, and is capable of delivering clean and temperature-adjusted liquid LQ. In the present embodiment, the liquid supply device 11 supplies pure water as the liquid LQ. The liquid recovery device 21 of the immersion mechanism 1 includes a vacuum system such as a vacuum pump, a gas-liquid separator that separates the recovered liquid LQ and gas, a tank that stores the recovered liquid LQ, and the like. LQ can be recovered. In addition, you may substitute the apparatus which comprises at least one part of the liquid supply apparatus 11 and the liquid collection | recovery apparatus 21 with facilities, such as a factory in which the exposure apparatus EX is installed.

シール機構２の第１気体供給装置３１は、供給する気体ＧＳの温度を調整する温度調整装置、及びケミカルフィルタやパーティクル除去フィルタ等を含むフィルタユニット等を備えており、クリーンで温度調整された気体ＧＳを送出可能である。第１気体供給装置３１は、露光装置ＥＸが収容されたチャンバ内部の気体とほぼ同じ気体ＧＳを供給する。本実施形態においては、第１気体供給装置３１は、空気（ドライエア）を供給する。   The first gas supply device 31 of the seal mechanism 2 includes a temperature adjustment device that adjusts the temperature of the gas GS to be supplied, a filter unit including a chemical filter, a particle removal filter, and the like, and is a clean and temperature-adjusted gas GS can be sent out. The first gas supply device 31 supplies substantially the same gas GS as the gas inside the chamber in which the exposure apparatus EX is accommodated. In the present embodiment, the first gas supply device 31 supplies air (dry air).

ガスベアリング機構３の第２気体供給装置５１は、供給する気体ＧＳの温度を調整する温度調整装置、及びケミカルフィルタやパーティクル除去フィルタ等を含むフィルタユニット等を備えており、クリーンで温度調整された気体ＧＳを送出可能である。第２気体供給装置５１は、露光装置ＥＸが収容されたチャンバ内部の気体とほぼ同じ気体ＧＳを供給する。本実施形態においては、第２気体供給装置５１は、空気（ドライエア）を供給する。   The second gas supply device 51 of the gas bearing mechanism 3 includes a temperature adjustment device that adjusts the temperature of the gas GS to be supplied, a filter unit including a chemical filter, a particle removal filter, and the like, and is clean and temperature adjusted. Gas GS can be delivered. The second gas supply device 51 supplies substantially the same gas GS as the gas inside the chamber in which the exposure apparatus EX is accommodated. In the present embodiment, the second gas supply device 51 supplies air (dry air).

また、露光装置ＥＸは、ノズル部材１０、シール部材３０、及びベアリング部材５０を支持する支持装置８０を備えている。支持装置８０はメインコラム８に取り付けられている。支持装置８０は、メインコラム８の下側段部８Ｂに接続部材８４を介して接続された支持構造体８５と、支持構造体８５に取り付けられ、ノズル部材１０を支持する第１支持機構８１と、支持構造体８５に取り付けられ、シール部材３０を支持する第２支持機構８２と、支持構造体８５に取り付けられ、ベアリング部材５０を揺動可能に支持する第３支持機構８３とを備えている。第１支持機構８１、第２支持機構８２、及び第３支持機構８３は別々に設けられている。したがって、本実施形態においては、ノズル部材１０、シール部材３０、及びベアリング部材５０のそれぞれは、支持構造体８５（メインコラム８）に対して、互いに異なる支持機構で支持された構成となっている。   Further, the exposure apparatus EX includes a support device 80 that supports the nozzle member 10, the seal member 30, and the bearing member 50. The support device 80 is attached to the main column 8. The support device 80 includes a support structure 85 connected to the lower step portion 8B of the main column 8 via a connection member 84, a first support mechanism 81 attached to the support structure 85 and supporting the nozzle member 10. The second support mechanism 82 is attached to the support structure 85 and supports the seal member 30, and the third support mechanism 83 is attached to the support structure 85 and supports the bearing member 50 in a swingable manner. . The first support mechanism 81, the second support mechanism 82, and the third support mechanism 83 are provided separately. Therefore, in the present embodiment, each of the nozzle member 10, the seal member 30, and the bearing member 50 is configured to be supported by different support mechanisms with respect to the support structure 85 (main column 8). .

支持装置８０が取り付けられたメインコラム８と鏡筒定盤ＰＢとは、防振装置ＰＳを介して振動的に分離されているので、支持装置８０やその支持装置８０に支持されたノズル部材１０、シール部材３０、及びベアリング部材５０等で発生した振動が、投影光学系ＰＬに伝達されることは防止されている。同様に、メインコラム８と基板ステージ定盤５Ｂとは、防振装置５Ｓを介して振動的に分離されているので、支持装置８０やその支持装置８０に支持されたノズル部材１０、シール部材３０、及びベアリング部材５０等で発生した振動が、メインコラム８及びベース部材６を介して基板ステージ５に伝達されることが防止されている。また、メインコラム８とマスクステージ定盤４Ｂとは、防振装置４Ｓを介して振動的に分離されているので、支持装置８０やその支持装置８０に支持されたノズル部材１０、シール部材３０、及びベアリング部材５０等で発生した振動が、メインコラム８を介してマスクステージ４に伝達されることが防止されている。   Since the main column 8 to which the support device 80 is attached and the lens barrel surface plate PB are vibrationally separated via the vibration isolation device PS, the support device 80 and the nozzle member 10 supported by the support device 80 are used. The vibration generated by the seal member 30 and the bearing member 50 is prevented from being transmitted to the projection optical system PL. Similarly, since the main column 8 and the substrate stage surface plate 5B are vibrationally separated via the vibration isolator 5S, the nozzle device 10 and the seal member 30 supported by the support device 80 and the support device 80 are also provided. In addition, vibration generated in the bearing member 50 and the like is prevented from being transmitted to the substrate stage 5 through the main column 8 and the base member 6. Further, since the main column 8 and the mask stage surface plate 4B are vibrationally separated via the vibration isolator 4S, the support device 80, the nozzle member 10 supported by the support device 80, the seal member 30, In addition, vibration generated in the bearing member 50 and the like is prevented from being transmitted to the mask stage 4 through the main column 8.

次に、図２〜図５を参照しながら、ノズル部材１０、シール部材３０、及びベアリング部材５０について説明する。図２は概略斜視図の一部破断図、図３は下側から見た斜視図、図４はＹＺ平面と平行な側断面図、図５はＸＺ平面と平行な側断面図である。なお図面を見やすくするために、図２〜図５の各図において一部の部材の図示が省略されている場合がある。   Next, the nozzle member 10, the seal member 30, and the bearing member 50 will be described with reference to FIGS. 2 is a partially broken view of the schematic perspective view, FIG. 3 is a perspective view seen from below, FIG. 4 is a side sectional view parallel to the YZ plane, and FIG. 5 is a side sectional view parallel to the XZ plane. In order to make the drawings easy to see, some members may not be shown in each of FIGS.

ノズル部材１０は、光路空間Ｋ１に液体ＬＱを供給する供給口１２及び液体ＬＱを回収する回収口２２を有しており、投影光学系ＰＬの像面に最も近い最終光学素子ＦＬの近傍に設けられている。ノズル部材１０は環状部材であって、基板Ｐ（基板ステージ５）の上方において最終光学素子ＦＬを囲むように配置されている。ノズル部材１０は、全体として平面視略円環状に形成されており、その中央部に投影光学系ＰＬ（最終光学素子ＦＬ）を配置可能な穴部を有している。   The nozzle member 10 has a supply port 12 for supplying the liquid LQ to the optical path space K1 and a recovery port 22 for recovering the liquid LQ, and is provided in the vicinity of the final optical element FL closest to the image plane of the projection optical system PL. It has been. The nozzle member 10 is an annular member, and is arranged so as to surround the final optical element FL above the substrate P (substrate stage 5). The nozzle member 10 is formed in a generally annular shape in plan view as a whole, and has a hole in the center portion where the projection optical system PL (final optical element FL) can be arranged.

図４に示すように、投影光学系ＰＬの最終光学素子ＦＬは、傾斜した側面ＬＳを有している。ノズル部材１０は、最終光学素子ＦＬの側面ＬＳと対向し、その側面ＬＳに沿うように形成された内側面１０Ｔを有している。最終光学素子ＦＬの側面ＬＳ及びノズル部材１０の内側面１０Ｔは、光路空間Ｋ１の外側から内側に向かうにつれて基板Ｐとの間隔（距離）が小さくなるように傾斜している。最終光学素子ＦＬの側面ＬＳとノズル部材１０の内側面１０Ｔとの間には所定のギャップＧ１が設けられている。   As shown in FIG. 4, the final optical element FL of the projection optical system PL has an inclined side surface LS. The nozzle member 10 has an inner side surface 10T that faces the side surface LS of the final optical element FL and is formed along the side surface LS. The side surface LS of the final optical element FL and the inner side surface 10T of the nozzle member 10 are inclined so that the distance (distance) from the substrate P decreases from the outside to the inside of the optical path space K1. A predetermined gap G1 is provided between the side surface LS of the final optical element FL and the inner side surface 10T of the nozzle member 10.

また、ノズル部材１０は、最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１と対向する上面１８Ｆを有する底板１８を有している。底板１８の一部は、Ｚ軸方向に関して、投影光学系ＰＬの最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１と基板Ｐ（基板ステージ５）との間に配置されている。また、底板１８の中央部には、露光光ＥＬが通過する開口１８Ｋが形成されている。開口１８Ｋは、露光光ＥＬが照射される投影領域ＡＲよりも大きく形成されている。これにより、投影光学系ＰＬを通過した露光光ＥＬは、底板１８に遮られることなく、基板Ｐ上に到達できる。本実施形態においては、開口１８Ｋは、露光光ＥＬの断面形状（すなわち投影領域ＡＲ）に応じた平面視略矩形状に形成されている。なお、底板１８の開口１８Ｋの形状は、露光光ＥＬを通過可能であれば、適宜変更可能である。   Further, the nozzle member 10 has a bottom plate 18 having an upper surface 18F facing the lower surface T1 of the final optical element FL. A part of the bottom plate 18 is disposed between the lower surface T1 of the final optical element FL of the projection optical system PL and the substrate P (substrate stage 5) in the Z-axis direction. Further, an opening 18K through which the exposure light EL passes is formed at the center of the bottom plate 18. The opening 18K is formed larger than the projection area AR irradiated with the exposure light EL. Thus, the exposure light EL that has passed through the projection optical system PL can reach the substrate P without being blocked by the bottom plate 18. In the present embodiment, the opening 18K is formed in a substantially rectangular shape in plan view corresponding to the cross-sectional shape of the exposure light EL (that is, the projection area AR). The shape of the opening 18K of the bottom plate 18 can be changed as appropriate as long as the exposure light EL can pass through.

ノズル部材１０のうち、基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面と対向する下面１７は、ＸＹ平面と平行な平坦面となっている。ノズル部材１０の下面１７とは、底板１８の下面を含むものである。ここで、基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面はＸＹ平面とほぼ平行であるため、ノズル部材１０の下面１７は、基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面と対向するように、且つ基板Ｐの表面と略平行となるように設けられた構成となっている。以下の説明においては、ノズル部材１０の下面１７を適宜、ランド面１７と称する。ランド面１７は、ノズル部材１０のうち、基板ステージ５に保持された基板Ｐに最も近い位置に設けられており、投影光学系ＰＬの最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１と基板Ｐの表面との間において、投影領域ＡＲを囲むように設けられている。   Of the nozzle member 10, the lower surface 17 facing the surface of the substrate P held by the substrate stage 5 is a flat surface parallel to the XY plane. The lower surface 17 of the nozzle member 10 includes the lower surface of the bottom plate 18. Here, since the surface of the substrate P held on the substrate stage 5 is substantially parallel to the XY plane, the lower surface 17 of the nozzle member 10 faces the surface of the substrate P held on the substrate stage 5 and The structure is provided so as to be substantially parallel to the surface of the substrate P. In the following description, the lower surface 17 of the nozzle member 10 is appropriately referred to as a land surface 17. The land surface 17 is provided in the nozzle member 10 at a position closest to the substrate P held by the substrate stage 5, and between the lower surface T1 of the final optical element FL of the projection optical system PL and the surface of the substrate P. Are provided so as to surround the projection area AR.

基板Ｐの表面と最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１との距離Ｄ１は、基板Ｐの表面とランド面１７との距離Ｄ２よりも長くなっている。すなわち、最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１は、ランド面１７より高い位置に設けられている。本実施形態においては、基板Ｐの表面と最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１との距離Ｄ１は、約３ｍｍ程度に設定されている。また、基板Ｐの表面とランド面１７との距離Ｄ２は、約１ｍｍ程度に設定されている。そして、ランド面１７には光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱが接触するようになっており、最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１にも光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱが接触するようになっている。すなわち、ノズル部材１０のランド面１７及び最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１は、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱと接触する液体接触面となっている。   A distance D1 between the surface of the substrate P and the lower surface T1 of the final optical element FL is longer than a distance D2 between the surface of the substrate P and the land surface 17. That is, the lower surface T <b> 1 of the final optical element FL is provided at a position higher than the land surface 17. In the present embodiment, the distance D1 between the surface of the substrate P and the lower surface T1 of the final optical element FL is set to about 3 mm. The distance D2 between the surface of the substrate P and the land surface 17 is set to about 1 mm. The liquid LQ filled in the optical path space K1 comes into contact with the land surface 17, and the liquid LQ filled in the optical path space K1 comes into contact with the lower surface T1 of the final optical element FL. Yes. That is, the land surface 17 of the nozzle member 10 and the lower surface T1 of the final optical element FL are liquid contact surfaces that come into contact with the liquid LQ filled in the optical path space K1.

底板１８は、最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１及び基板Ｐ（基板ステージ５）とは接触しないように設けられている。そして、最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１と底板１８の上面１８Ｆとの間には、所定のギャップを有する空間が設けられている。以下の説明においては、最終光学素子ＦＬの下面Ｔ１と底板１８の上面１８Ｆとの間の空間を含むノズル部材１０の内側の空間を適宜、内部空間Ｋ２と称する。   The bottom plate 18 is provided so as not to contact the lower surface T1 of the final optical element FL and the substrate P (substrate stage 5). A space having a predetermined gap is provided between the lower surface T1 of the final optical element FL and the upper surface 18F of the bottom plate 18. In the following description, a space inside the nozzle member 10 including a space between the lower surface T1 of the final optical element FL and the upper surface 18F of the bottom plate 18 is appropriately referred to as an internal space K2.

ノズル部材１０の内部には、供給口１２に接続する液体供給流路１４が形成されている。液体供給流路１４は、ノズル部材１０を傾斜方向に沿って貫通するスリット状の貫通孔によって形成されている。液体供給流路１４は、光路空間Ｋ１の外側から内側に向かうにつれて基板Ｐとの間隔（距離）が小さくなるように傾斜しており、本実施形態においては、内側面１０Ｔとほぼ平行に設けられている。また、本実施形態においては、液体供給流路１４は、光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）に対してＹ軸方向両側のそれぞれに設けられている。そして、液体供給流路１４の上端部と液体供給装置１１とが液体供給管１３を介して接続されている。一方、液体供給流路１４の下端部は、最終光学素子ＦＬと底板１８との間の内部空間Ｋ２に接続されており、この液体供給流路１４の下端部が供給口１２となっている。したがって、供給口１２と液体供給装置１１とは、液体供給管１３及び液体供給流路１４を介して接続されている。本実施形態においては、供給口１２は、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１の外側において、光路空間Ｋ１を挟んだＹ軸方向両側のそれぞれの所定位置に設けられている。液体供給管１３及び液体供給流路１４は、複数（２つ）の供給口１２に対応するように複数設けられている。   A liquid supply channel 14 connected to the supply port 12 is formed inside the nozzle member 10. The liquid supply channel 14 is formed by a slit-like through hole that penetrates the nozzle member 10 along the tilt direction. The liquid supply channel 14 is inclined so that the distance (distance) from the substrate P decreases from the outside to the inside of the optical path space K1, and in this embodiment, the liquid supply channel 14 is provided substantially parallel to the inner side surface 10T. ing. In the present embodiment, the liquid supply channel 14 is provided on both sides in the Y-axis direction with respect to the optical path space K1 (projection area AR). The upper end of the liquid supply channel 14 and the liquid supply device 11 are connected via a liquid supply pipe 13. On the other hand, the lower end portion of the liquid supply channel 14 is connected to the internal space K2 between the final optical element FL and the bottom plate 18, and the lower end portion of the liquid supply channel 14 serves as the supply port 12. Accordingly, the supply port 12 and the liquid supply device 11 are connected via the liquid supply pipe 13 and the liquid supply flow path 14. In the present embodiment, the supply ports 12 are provided at predetermined positions on both sides in the Y-axis direction across the optical path space K1 outside the optical path space K1 of the exposure light EL. A plurality of liquid supply pipes 13 and liquid supply channels 14 are provided so as to correspond to a plurality of (two) supply ports 12.

図４に示すように、液体供給管１３の途中には、液体供給装置１１から送出され、供給口１２に供給される液体ＬＱの単位時間当たりの量を調整する調整装置１９が設けられている。調整装置１９は、例えばバルブ機構を含んで構成されている。調整装置１９の動作は制御装置７により制御される。制御装置７は、調整装置１９を用いて、供給口１２から光路空間Ｋ１に対して供給される単位時間当たりの液体供給量を調整可能である。   As shown in FIG. 4, an adjusting device 19 that adjusts the amount per unit time of the liquid LQ sent from the liquid supply device 11 and supplied to the supply port 12 is provided in the middle of the liquid supply pipe 13. . The adjusting device 19 includes, for example, a valve mechanism. The operation of the adjusting device 19 is controlled by the control device 7. The control device 7 can adjust the liquid supply amount per unit time supplied from the supply port 12 to the optical path space K1 using the adjustment device 19.

また、ノズル部材１０は、内部空間Ｋ２の気体を外部空間Ｋ３に排出（排気）する排出口１６と、排出口１６に接続する排出流路１５とを備えている。一例として、本実施形態では外部空間Ｋ３を大気空間とするがこれに限定されない。排出流路１５は、ノズル部材１０を傾斜方向に沿って貫通するスリット状の貫通孔によって形成されている。排出流路１５は、光路空間Ｋ１の外側から内側に向かうにつれて基板Ｐとの間隔（距離）が小さくなるように傾斜しており、本実施形態においては、内側面１０Ｔとほぼ平行に設けられている。また、本実施形態においては、排出流路１５は、光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）に対してＸ軸方向両側のそれぞれに設けられている。そして、排出流路１５の上端部は外部空間（大気空間）Ｋ３に接続されており、大気開放された状態となっている。一方、排出流路１５の下端部は、最終光学素子ＦＬと底板１８との間の内部空間Ｋ２に接続されており、この排出流路１５の下端部が排出口１６となっている。排出口１６は、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１の外側において、光路空間Ｋ１を挟んだＸ軸方向両側のそれぞれの所定位置に設けられている。排出口１６は、内部空間Ｋ２の気体、すなわち投影光学系ＰＬの像面周囲の気体と接続されている。したがって、内部空間Ｋ２の気体は、排出口１６を介して、排出流路１５の上端部より、外部空間Ｋ３に排出（排気）可能となっている。   Further, the nozzle member 10 includes a discharge port 16 that discharges (exhausts) the gas in the internal space K2 to the external space K3, and a discharge flow path 15 that is connected to the discharge port 16. As an example, in the present embodiment, the external space K3 is an atmospheric space, but is not limited thereto. The discharge channel 15 is formed by a slit-shaped through hole that penetrates the nozzle member 10 along the tilt direction. The discharge flow path 15 is inclined so that the distance (distance) from the substrate P decreases from the outside to the inside of the optical path space K1, and in this embodiment, the discharge flow path 15 is provided substantially parallel to the inner side surface 10T. Yes. In the present embodiment, the discharge channels 15 are provided on both sides in the X-axis direction with respect to the optical path space K1 (projection area AR). And the upper end part of the discharge flow path 15 is connected to external space (atmosphere space) K3, and is in the state open to the atmosphere. On the other hand, the lower end portion of the discharge flow path 15 is connected to the internal space K2 between the final optical element FL and the bottom plate 18, and the lower end portion of the discharge flow path 15 serves as a discharge port 16. The discharge ports 16 are provided at predetermined positions on both sides in the X-axis direction across the optical path space K1 outside the optical path space K1 of the exposure light EL. The discharge port 16 is connected to the gas in the internal space K2, that is, the gas around the image plane of the projection optical system PL. Therefore, the gas in the internal space K2 can be discharged (exhausted) to the external space K3 from the upper end of the discharge flow path 15 via the discharge port 16.

ノズル部材１０の内部には、回収口２２に接続する液体回収流路２４が形成されている。ノズル部材１０には、下向きに開口する空間部が形成されており、液体回収流路２４はその空間部によって構成されている。そして、回収口２２は、下向きに開口する空間部の開口によって構成されている。液体回収流路２４は、光路空間Ｋ１に対して液体供給流路１４及び排出流路１５の外側に設けられている。   A liquid recovery flow path 24 connected to the recovery port 22 is formed inside the nozzle member 10. The nozzle member 10 is formed with a space portion that opens downward, and the liquid recovery flow path 24 is constituted by the space portion. And the collection | recovery port 22 is comprised by opening of the space part opened downward. The liquid recovery channel 24 is provided outside the liquid supply channel 14 and the discharge channel 15 with respect to the optical path space K1.

回収口２２は、基板ステージ５に保持された基板Ｐの上方において、その基板Ｐの表面と対向する位置に設けられている。基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面とノズル部材１０に設けられた回収口２２とは所定距離だけ離れている。回収口２２は、投影光学系ＰＬの像面側の光路空間Ｋ１に対して供給口１２及び排出口１６の外側に設けられており、光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）、ランド面１７、供給口１２、及び排出口１６を囲むように環状に形成されている。本実施形態においては、回収口２２は平面視円環状に形成されている。そして、液体回収流路２４と液体回収装置２１とが液体回収管２３を介して接続されている。したがって、回収口２２と液体回収装置２１とは、液体回収管２３及び液体回収流路２４を介して接続されている。   The recovery port 22 is provided above the substrate P held by the substrate stage 5 at a position facing the surface of the substrate P. The surface of the substrate P held on the substrate stage 5 and the recovery port 22 provided in the nozzle member 10 are separated by a predetermined distance. The recovery port 22 is provided outside the supply port 12 and the discharge port 16 with respect to the optical path space K1 on the image plane side of the projection optical system PL, and includes the optical path space K1 (projection area AR), the land surface 17, and the supply port. 12 and the discharge port 16 are formed in an annular shape. In the present embodiment, the recovery port 22 is formed in an annular shape in plan view. The liquid recovery channel 24 and the liquid recovery device 21 are connected via the liquid recovery pipe 23. Therefore, the recovery port 22 and the liquid recovery device 21 are connected via the liquid recovery pipe 23 and the liquid recovery flow path 24.

図４に示すように、液体回収管２３の途中には、回収口２２から回収される液体ＬＱの単位時間当たりの量を調整する調整装置２９が設けられている。調整装置２９は、例えばバルブ機構を含んで構成されている。調整装置２９の動作は制御装置７により制御される。制御装置７は、調整装置２９を用いて、真空系を含む液体回収装置２１による液体回収流路２４に対する吸引力を調整することによって、回収口２２を介して回収される単位時間当たりの液体回収量を調整可能である。   As shown in FIG. 4, an adjusting device 29 that adjusts the amount per unit time of the liquid LQ recovered from the recovery port 22 is provided in the middle of the liquid recovery pipe 23. The adjustment device 29 includes, for example, a valve mechanism. The operation of the adjusting device 29 is controlled by the control device 7. The control device 7 uses the adjustment device 29 to adjust the suction force with respect to the liquid recovery flow path 24 by the liquid recovery device 21 including the vacuum system, thereby recovering the liquid recovered per unit time through the recovery port 22. The amount can be adjusted.

ノズル部材１０は、回収口２２を覆うように配置され、複数の孔を有する多孔部材２５を備えている。多孔部材２５は、例えばチタン製のメッシュ部材、あるいはセラミックス製の多孔体によって構成可能である。多孔部材２５は、基板ステージ５に保持された基板Ｐと対向する下面２５Ｂを有している。多孔部材２５の基板Ｐと対向する下面２５Ｂはほぼ平坦である。多孔部材２５は、その下面２５Ｂが基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面（すなわちＸＹ平面）とほぼ平行になるように回収口２２に設けられている。液体ＬＱは、回収口２２に配置された多孔部材２５を介して回収される。また、回収口２２は、光路空間Ｋ１を囲むように環状に形成されているため、その回収口２２に配置される多孔部材２５は、回収口２２に対応するように、光路空間Ｋ１を囲むように環状に形成されている。   The nozzle member 10 is disposed so as to cover the recovery port 22 and includes a porous member 25 having a plurality of holes. The porous member 25 can be composed of, for example, a titanium mesh member or a ceramic porous body. The porous member 25 has a lower surface 25 </ b> B that faces the substrate P held by the substrate stage 5. The lower surface 25B facing the substrate P of the porous member 25 is substantially flat. The porous member 25 is provided in the recovery port 22 so that the lower surface 25B thereof is substantially parallel to the surface of the substrate P held on the substrate stage 5 (ie, the XY plane). The liquid LQ is recovered through the porous member 25 disposed in the recovery port 22. Further, since the recovery port 22 is formed in an annular shape so as to surround the optical path space K <b> 1, the porous member 25 disposed in the recovery port 22 surrounds the optical path space K <b> 1 so as to correspond to the recovery port 22. It is formed in an annular shape.

また、多孔部材２５は、その下面２５Ｂとランド面１７とがＺ軸方向においてほぼ同じ位置（高さ）になるように、且つ下面２５Ｂとランド面１７とが連続するように、回収口２２に設けられている。すなわち、ランド面１７と多孔部材２５の下面２５Ｂとはほぼ面一に設けられている。   Further, the porous member 25 is provided in the recovery port 22 so that the lower surface 25B and the land surface 17 are substantially at the same position (height) in the Z-axis direction, and the lower surface 25B and the land surface 17 are continuous. Is provided. That is, the land surface 17 and the lower surface 25B of the porous member 25 are provided substantially flush with each other.

また、本実施形態においては、液浸機構１は、多孔部材２５の各孔の径、多孔部材２５と液体ＬＱとの接触角、及び液体ＬＱの表面張力などに応じて、液体回収流路２４の圧力と外部空間（大気空間）Ｋ３の圧力との差を最適化することによって、回収口２２を介して液体ＬＱのみを回収するように設けられている。具体的には、液浸機構１は、調整装置２９を用いて、液体回収装置２１による液体回収流路２４に対する吸引力を制御して、液体回収流路２４の圧力を最適化することによって、液体ＬＱのみを回収する。これにより、液体ＬＱと気体とを一緒に吸引することに起因する振動の発生が抑制されている。   Further, in the present embodiment, the liquid immersion mechanism 1 is configured such that the liquid recovery flow path 24 corresponds to the diameter of each hole of the porous member 25, the contact angle between the porous member 25 and the liquid LQ, the surface tension of the liquid LQ, and the like. By optimizing the difference between this pressure and the pressure in the external space (atmospheric space) K 3, only the liquid LQ is recovered through the recovery port 22. Specifically, the liquid immersion mechanism 1 uses the adjusting device 29 to control the suction force with respect to the liquid recovery flow path 24 by the liquid recovery apparatus 21 to optimize the pressure of the liquid recovery flow path 24. Only liquid LQ is recovered. Thereby, generation | occurrence | production of the vibration resulting from attracting | sucking the liquid LQ and gas together is suppressed.

シール機構２の一部を構成するシール部材３０は、気体ＧＳを吹き出す第１吹出口３２を有している。シール部材３０は、ノズル部材１０とは別の部材であって、ノズル部材１０の近傍に設けられ、光路空間Ｋ１に対してノズル部材１０よりも外側に設けられている。シール部材３０は環状部材であって、基板Ｐ（基板ステージ５）の上方において、光路空間Ｋ１及びノズル部材１０を囲むように配置されている。シール部材３０は、全体として平面視略円環状に形成されており、その中央部にノズル部材１０を配置可能な穴部を有している。   The seal member 30 that constitutes a part of the seal mechanism 2 has a first air outlet 32 that blows out the gas GS. The seal member 30 is a member different from the nozzle member 10, is provided in the vicinity of the nozzle member 10, and is provided outside the nozzle member 10 with respect to the optical path space K <b> 1. The seal member 30 is an annular member, and is disposed so as to surround the optical path space K1 and the nozzle member 10 above the substrate P (substrate stage 5). The seal member 30 is formed in a generally annular shape in plan view as a whole, and has a hole portion in which the nozzle member 10 can be disposed at the center thereof.

シール部材３０は、光路空間Ｋ１に向けて傾斜方向に延びる突起部３５を有している。突起部３５は、ノズル部材１０の側面１０Ｓと対向し、その側面１０Ｓに沿うように形成された内側面３０Ｔを有している。ノズル部材１０の側面１０Ｓ及びシール部材３０の内側面３０Ｔは、光路空間Ｋ１の外側から内側に向かうにつれて基板Ｐとの間隔（距離）が小さくなるように傾斜している。本実施形態においては、ノズル部材１０の側面１０Ｓ及びシール部材３０の内側面３０Ｔのそれぞれは、ノズル部材１０の内側面１０Ｔとほぼ平行に設けられている。そして、第１吹出口３２は、突起部３５のほぼ先端部に設けられている。   The seal member 30 has a protrusion 35 extending in the tilt direction toward the optical path space K1. The protrusion 35 has an inner side surface 30T that is opposed to the side surface 10S of the nozzle member 10 and is formed along the side surface 10S. The side surface 10S of the nozzle member 10 and the inner side surface 30T of the seal member 30 are inclined so that the distance (distance) from the substrate P decreases from the outside to the inside of the optical path space K1. In the present embodiment, each of the side surface 10S of the nozzle member 10 and the inner side surface 30T of the seal member 30 is provided substantially parallel to the inner side surface 10T of the nozzle member 10. The first outlet 32 is provided substantially at the tip of the protrusion 35.

第１吹出口３２は、投影光学系ＰＬの像面側の光路空間Ｋ１に対してノズル部材１０に設けられた回収口２２の外側に設けられており、光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）、及びノズル部材１０の回収口２２を囲むように環状に形成されている。本実施形態においては、第１吹出口３２は平面視円環状に形成され、所定のスリット幅を有するスリット状に形成されている。   The first air outlet 32 is provided outside the recovery port 22 provided in the nozzle member 10 with respect to the optical path space K1 on the image plane side of the projection optical system PL, and the optical path space K1 (projection area AR), and An annular shape is formed so as to surround the recovery port 22 of the nozzle member 10. In this embodiment, the 1st blower outlet 32 is formed in planar view annular shape, and is formed in the slit shape which has a predetermined slit width.

突起部３５の先端部は、基板ステージ５に保持された基板Ｐの上方において、基板Ｐの表面と対向する位置に設けられている。したがって、第１吹出口３２は、基板ステージ５に保持された基板Ｐの上方において、その基板Ｐの表面と対向する位置に設けられている。基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面とシール部材３０の突起部３５の先端部に設けられた第１吹出口３２とは所定距離Ｄ３だけ離れている。基板Ｐの表面と第１吹出口３２との距離Ｄ３は、基板Ｐの表面とランド面１７との距離Ｄ２とほぼ同じか、距離Ｄ２よりも短くなっている。本実施形態においては、基板Ｐの表面と第１吹出口３２との距離Ｄ３は、０．５〜１．０ｍｍ程度に設定されている。   The tip of the protrusion 35 is provided at a position facing the surface of the substrate P above the substrate P held by the substrate stage 5. Accordingly, the first air outlet 32 is provided at a position facing the surface of the substrate P above the substrate P held by the substrate stage 5. The surface of the substrate P held on the substrate stage 5 and the first air outlet 32 provided at the tip of the projection 35 of the seal member 30 are separated by a predetermined distance D3. A distance D3 between the surface of the substrate P and the first air outlet 32 is substantially the same as or shorter than the distance D2 between the surface of the substrate P and the land surface 17. In the present embodiment, the distance D3 between the surface of the substrate P and the first air outlet 32 is set to about 0.5 to 1.0 mm.

ノズル部材１０の側面１０Ｓとシール部材３０の内側面３０Ｔとの間には所定のギャップＧ２が設けられている。また、ノズル部材１０の側面１０Ｓとシール部材３０の内側面３０ＴとのギャップＧ２は、例えば基板Ｐの表面と突起部３５の先端に設けられた第１吹出口３２との距離Ｄ３よりも大きく設けられている。ただし、それに限定されるものではなく、ギャップＧ２の間隔を距離Ｄ３よりも小さく、または等しくなるように設定してもよい。   A predetermined gap G <b> 2 is provided between the side surface 10 </ b> S of the nozzle member 10 and the inner surface 30 </ b> T of the seal member 30. Further, a gap G2 between the side surface 10S of the nozzle member 10 and the inner side surface 30T of the seal member 30 is provided, for example, larger than the distance D3 between the surface of the substrate P and the first outlet 32 provided at the tip of the projection 35. It has been. However, the present invention is not limited to this, and the gap G2 may be set to be smaller than or equal to the distance D3.

シール部材３０は、第１吹出口３２に気体ＧＳを供給する第１供給流路３４を有している。第１供給流路３４はシール部材３０の内部に設けられており、その下端部が第１吹出口３２に接続されている。第１供給流路３４の上端部と第１気体供給装置３１とは第１供給管３３を介して接続されている。   The seal member 30 has a first supply flow path 34 that supplies the gas GS to the first air outlet 32. The first supply channel 34 is provided inside the seal member 30, and the lower end thereof is connected to the first outlet 32. The upper end of the first supply channel 34 and the first gas supply device 31 are connected via a first supply pipe 33.

第１供給流路３４の途中にはバッファ空間３７が設けられている。また、第１供給流路３４は、光路空間Ｋ１の外側から内側に向かうにつれて、すなわち光路空間Ｋ１に近づくにつれて基板Ｐとの間隔（距離）が小さくなるように傾斜する傾斜領域を有しており、その傾斜領域の下端部が第１吹出口３２となっている。本実施形態においては、第１供給流路３４の傾斜領域は、シール部材３０の内側面３０Ｔとほぼ平行に設けられている。   A buffer space 37 is provided in the middle of the first supply flow path 34. Further, the first supply flow path 34 has an inclined region that is inclined so that the distance (distance) from the substrate P decreases as it goes from the outside to the inside of the optical path space K1, that is, as it approaches the optical path space K1. The lower end portion of the inclined area is the first air outlet 32. In the present embodiment, the inclined region of the first supply channel 34 is provided substantially parallel to the inner side surface 30T of the seal member 30.

第１供給流路３４の傾斜領域は、環状のスリット状に形成された第１吹出口３２に対応するように、ＸＹ平面に沿った断面視において環状に形成されており、第１吹出口３２のスリット幅とほぼ同じ幅を一様に有したスリット状の流路である。バッファ空間３７は、第１供給流路３４の傾斜領域や第１吹出口３２のスリット幅よりも十分に大きい幅を一様に有している。そして、第１吹出口３２と第１気体供給装置３１とは、第１供給流路３４及び第１供給管３３を介して接続されている。   The inclined region of the first supply channel 34 is formed in an annular shape in a sectional view along the XY plane so as to correspond to the first outlet 32 formed in an annular slit shape. It is a slit-like flow path having a width substantially equal to the slit width. The buffer space 37 has a width that is sufficiently larger than the inclined region of the first supply flow path 34 and the slit width of the first air outlet 32. The first air outlet 32 and the first gas supply device 31 are connected via a first supply flow path 34 and a first supply pipe 33.

図４等に示すように、第１供給管３３の途中には、第１気体供給装置３１から送出され、第１吹出口３２に供給される気体ＧＳの単位時間当たりの量を調整する調整装置３９が設けられている。調整装置３９は、例えばバルブ機構を含んで構成されている。調整装置３９の動作は制御装置７により制御される。制御装置７は、調整装置３９を用いて、第１吹出口３２から吹き出される単位時間当たりの気体吹き出し量を調整可能である。   As shown in FIG. 4 etc., in the middle of the 1st supply pipe | tube 33, the adjustment apparatus which adjusts the quantity per unit time of gas GS sent from the 1st gas supply apparatus 31 and supplied to the 1st blower outlet 32 39 is provided. The adjusting device 39 includes, for example, a valve mechanism. The operation of the adjusting device 39 is controlled by the control device 7. The control device 7 can adjust the amount of gas blown out per unit time that is blown out from the first air outlet 32 by using the adjusting device 39.

第１気体供給装置３１から送出された気体ＧＳは、第１供給管３３を介して第１供給流路３４のバッファ空間３７に流入した後、傾斜領域を介して第１吹出口３２に供給される。第１吹出口３２に供給された気体ＧＳは、第１吹出口３２よりシール部材３０の外部に吹き出される。上述のように、第１供給流路３４の傾斜領域は、光路空間Ｋ１に近づくにつれて基板Ｐとの間隔（距離）が小さくなるように傾斜しており、第１供給流路３４の傾斜領域の下端部に設けられた第１吹出口３２は、光路空間Ｋ１に向けて基板Ｐに対して傾斜方向に気体ＧＳを吹き出す。   The gas GS delivered from the first gas supply device 31 flows into the buffer space 37 of the first supply flow path 34 via the first supply pipe 33 and then is supplied to the first outlet 32 via the inclined region. The The gas GS supplied to the first outlet 32 is blown out of the seal member 30 from the first outlet 32. As described above, the inclined region of the first supply channel 34 is inclined so that the distance (distance) from the substrate P decreases as the optical path space K1 is approached. The 1st blower outlet 32 provided in the lower end part blows off gas GS in the inclination direction with respect to the board | substrate P toward the optical path space K1.

バッファ空間３７は、第１気体供給装置３１から第１供給管３３を介して供給された気体ＧＳのエネルギー（圧力、流速）を分散して均一化し、バッファ空間３７から傾斜領域に流入する気体ＧＳの単位時間当たりの量（流速）を、スリット状の流路である傾斜領域の各位置において均一化する。バッファ空間３７を設けたことにより、シール機構２は、バッファ空間３７を含む第１供給流路３４を介して第１吹出口３２に供給された気体ＧＳを、スリット状の第１吹出口３２からほぼ均一に吹き出すことができる。バッファ空間３７を設けて第１供給管３３から供給された気体ＧＳのエネルギーを分散して均一化することによって、第１供給流路３４を介してスリット状の第１吹出口３２の各位置に供給される気体ＧＳの流量（流速）を均一化することができ、円環状のスリット状の第１吹出口３２の各位置においてほぼ均一な吹き出し量で気体ＧＳを吹き出すことができる。   The buffer space 37 disperses and equalizes the energy (pressure, flow velocity) of the gas GS supplied from the first gas supply device 31 via the first supply pipe 33, and flows into the inclined region from the buffer space 37. The amount per unit time (flow velocity) is made uniform at each position of the inclined region which is a slit-like flow path. By providing the buffer space 37, the sealing mechanism 2 allows the gas GS supplied to the first air outlet 32 through the first supply channel 34 including the buffer space 37 to be supplied from the slit-like first air outlet 32. Can blow out almost uniformly. A buffer space 37 is provided to disperse and equalize the energy of the gas GS supplied from the first supply pipe 33, so that each position of the slit-like first outlet 32 is provided via the first supply channel 34. The flow rate (flow velocity) of the supplied gas GS can be made uniform, and the gas GS can be blown out with a substantially uniform blowing amount at each position of the annular slit-like first blower outlet 32.

ガスベアリング機構３の一部を構成するベアリング部材５０は、気体ＧＳを吹き出す第２吹出口５２を有している。ベアリング部材５０は、ノズル部材１０及びシール部材３０とは別の部材であって、シール部材３０の近傍に設けられ、光路空間Ｋ１に対してノズル部材１０及びシール部材３０よりも外側に設けられている。ベアリング部材５０は環状部材であって、基板Ｐ（基板ステージ５）の上方において、光路空間Ｋ１、ノズル部材１０、及びシール部材３０を囲むように配置されている。ベアリング部材５０は、全体として平面視略円環状に形成されており、その中央部にシール部材３０を配置可能な穴部を有している。   The bearing member 50 that constitutes a part of the gas bearing mechanism 3 has a second outlet 52 that blows out the gas GS. The bearing member 50 is a member different from the nozzle member 10 and the seal member 30, is provided in the vicinity of the seal member 30, and is provided outside the nozzle member 10 and the seal member 30 with respect to the optical path space K <b> 1. Yes. The bearing member 50 is an annular member, and is disposed so as to surround the optical path space K <b> 1, the nozzle member 10, and the seal member 30 above the substrate P (substrate stage 5). The bearing member 50 is formed in a generally annular shape in plan view as a whole, and has a hole portion in which the seal member 30 can be disposed at the center thereof.

ベアリング部材５０は、シール部材３０の側面３０Ｓと対向する内側面５０Ｔを有している。シール部材３０の側面３０Ｓ及びベアリング部材５０の内側面５０Ｔのそれぞれは、光路空間Ｋ１の外側から内側に向かうにつれて基板Ｐとの間隔（距離）が小さくなるように傾斜している。本実施形態においては、シール部材３０の側面３０Ｓ及びベアリング部材５０の内側面５０Ｔのそれぞれは、ノズル部材１０の内側面１０Ｔとほぼ平行に設けられている。シール部材３０の側面３０Ｓとベアリング部材５０の内側面５０Ｔとの間には所定のギャップＧ３が設けられている。   The bearing member 50 has an inner side surface 50T that faces the side surface 30S of the seal member 30. Each of the side surface 30S of the seal member 30 and the inner side surface 50T of the bearing member 50 is inclined so that the distance (distance) from the substrate P decreases from the outside to the inside of the optical path space K1. In the present embodiment, each of the side surface 30S of the seal member 30 and the inner side surface 50T of the bearing member 50 is provided substantially parallel to the inner side surface 10T of the nozzle member 10. A predetermined gap G <b> 3 is provided between the side surface 30 </ b> S of the seal member 30 and the inner surface 50 </ b> T of the bearing member 50.

ベアリング部材５０は、基板ステージ５に保持された基板Ｐの上方において、その基板Ｐの表面と対向する下面５５を有しており、第２吹出口５２は下面５５に設けられている。したがって、第２吹出口５２は、基板ステージ５に保持された基板Ｐの上方において、その基板Ｐの表面に対向する位置に設けられた構成となっている。   The bearing member 50 has a lower surface 55 facing the surface of the substrate P above the substrate P held by the substrate stage 5, and the second outlet 52 is provided on the lower surface 55. Therefore, the second outlet 52 is configured to be provided at a position facing the surface of the substrate P above the substrate P held by the substrate stage 5.

第２吹出口５２は、投影光学系ＰＬの像面側の光路空間Ｋ１に対してシール部材３０に設けられた第１吹出口３２の外側に設けられており、光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）、ノズル部材１０の回収口２２、及びシール部材３０の第１吹出口３２を囲むように環状に形成されている。   The second air outlet 52 is provided outside the first air outlet 32 provided in the seal member 30 with respect to the optical path space K1 on the image plane side of the projection optical system PL, and the optical path space K1 (projection area AR). The annular shape is formed so as to surround the recovery port 22 of the nozzle member 10 and the first outlet 32 of the seal member 30.

また、ベアリング部材５０は、複数の孔を有する多孔部材５６を備えている。多孔部材５６は、第２吹出口５２を覆うように配置され、例えばチタン製のメッシュ部材、あるいはセラミックス製の多孔体によって構成可能である。多孔部材５６は、基板ステージ５に保持された基板Ｐと対向する下面５６Ｂを有している。多孔部材５６の下面５６Ｂはほぼ平坦である。多孔部材５６はベアリング部材５０の下面５５に設けられた凹部５５Ｃに配置されている。多孔部材５６は、その下面５６Ｂが基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面（すなわちＸＹ平面）とほぼ平行になるように下面５５の凹部５５Ｃに設けられている。そして、下面５５の凹部５５Ｃに設けられた多孔部材５６の下面５６Ｂと、その凹部５５Ｃ以外の下面５５とはＺ軸方向においてほぼ同じ位置（高さ）になるように、且つ下面５６Ｂと下面５５とが連続するように設けられている。すなわち、ベアリング部材５０の下面５５と多孔部材５６の下面５６Ｂとはほぼ面一に設けられている。したがって、多孔部材５６の下面５６Ｂを含むベアリング部材５０の下面５５は、基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面と対向するように、且つ基板Ｐの表面と略平行となるように、ＸＹ平面と平行な平坦面となっている。   The bearing member 50 includes a porous member 56 having a plurality of holes. The porous member 56 is disposed so as to cover the second air outlet 52, and can be constituted by, for example, a titanium mesh member or a ceramic porous body. The porous member 56 has a lower surface 56 </ b> B that faces the substrate P held by the substrate stage 5. The lower surface 56B of the porous member 56 is substantially flat. The porous member 56 is disposed in a recess 55 </ b> C provided on the lower surface 55 of the bearing member 50. The porous member 56 is provided in the concave portion 55 </ b> C of the lower surface 55 so that the lower surface 56 </ b> B is substantially parallel to the surface (that is, the XY plane) of the substrate P held on the substrate stage 5. The lower surface 56B of the porous member 56 provided in the concave portion 55C of the lower surface 55 and the lower surface 55 other than the concave portion 55C are substantially at the same position (height) in the Z-axis direction, and the lower surface 56B and the lower surface 55 And are provided so as to be continuous. That is, the lower surface 55 of the bearing member 50 and the lower surface 56B of the porous member 56 are provided substantially flush with each other. Accordingly, the lower surface 55 of the bearing member 50 including the lower surface 56B of the porous member 56 is opposed to the surface of the substrate P held by the substrate stage 5 and is substantially parallel to the surface of the substrate P. It is a flat surface parallel to.

また、多孔部材５６は、下面５５に沿って略円環状に形成されている。第２吹出口５２は、多孔部材５６を介して、基板Ｐの表面に向けて気体ＧＳを吹き出す。第２吹出口５２から吹き出された気体ＧＳによって、基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５（多孔部材５６の下面５６Ｂを含む）との間でガスベアリング（本実施形態においては、空気を用いたエアベアリングを想定している）が形成される。   The porous member 56 is formed in a substantially annular shape along the lower surface 55. The second outlet 52 blows out the gas GS toward the surface of the substrate P through the porous member 56. A gas bearing (in the present embodiment, air is used) between the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the bearing member 50 (including the lower surface 56B of the porous member 56) by the gas GS blown out from the second outlet 52. Air bearings are assumed).

多孔部材５６の下面５６Ｂを含むベアリング部材５０の下面５５と基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面とは所定距離Ｄ４だけ離れている。そして、第２吹出口５２が設けられたベアリング部材５０の下面５５と基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面との間の距離（ギャップ）Ｄ４は、シール部材３０の第１吹出口３２と基板Ｐの表面との間の距離Ｄ３よりも小さくなっている。すなわち、ベアリング部材５０の下面５５に設けられた第２吹出口５２（多孔部材５６の下面５６Ｂを含む）は、第１吹出口３２よりも、基板ステージ５に保持された基板Ｐの表面に近い位置に設けられている。本実施形態においては、ガスベアリングを形成する基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５との間の距離（ギャップ）Ｄ４は、例えば５μｍ〜１００μｍ程度に設定される。   The lower surface 55 of the bearing member 50 including the lower surface 56B of the porous member 56 is separated from the surface of the substrate P held by the substrate stage 5 by a predetermined distance D4. The distance (gap) D4 between the lower surface 55 of the bearing member 50 provided with the second air outlet 52 and the surface of the substrate P held by the substrate stage 5 is equal to the first air outlet 32 of the seal member 30. It is smaller than the distance D3 between the surface of the substrate P. That is, the second air outlet 52 (including the lower surface 56B of the porous member 56) provided on the lower surface 55 of the bearing member 50 is closer to the surface of the substrate P held on the substrate stage 5 than the first air outlet 32. In the position. In the present embodiment, a distance (gap) D4 between the surface of the substrate P forming the gas bearing and the lower surface 55 of the bearing member 50 is set to about 5 μm to 100 μm, for example.

このように、基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５との間でガスベアリングが形成されており、ベアリング部材５０は、その下面５５と基板Ｐの表面との間にギャップＤ４を形成した状態で、基板Ｐの表面に対して非接触支持された構成となっている。   Thus, a gas bearing is formed between the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the bearing member 50, and the bearing member 50 has a gap D4 formed between the lower surface 55 and the surface of the substrate P. Thus, it is configured to be supported in a non-contact manner on the surface of the substrate P.

また、シール部材３０の側面３０Ｓとベアリング部材５０の内側面５０ＴとのギャップＧ３は、基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５との間の距離（ギャップ）Ｄ４よりも大きく設けられている。   Further, a gap G3 between the side surface 30S of the seal member 30 and the inner side surface 50T of the bearing member 50 is provided larger than a distance (gap) D4 between the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the bearing member 50.

ベアリング部材５０は、第２吹出口５２に気体ＧＳを供給する第２供給流路５４を有している。第２供給流路５４はベアリング部材５０の内部に設けられており、その下端部が第２吹出口５２に接続されている。第２供給流路５４と第２気体供給装置５１とは第２供給管５３を介して接続されている。   The bearing member 50 includes a second supply channel 54 that supplies the gas GS to the second outlet 52. The second supply channel 54 is provided inside the bearing member 50, and the lower end portion thereof is connected to the second outlet 52. The second supply channel 54 and the second gas supply device 51 are connected via a second supply pipe 53.

図４等に示すように、第２供給管５３の途中には、第２気体供給装置５１から送出され、第２吹出口５２に供給される気体ＧＳの単位時間当たりの量を調整する調整装置５９が設けられている。調整装置５９は、例えばバルブ機構を含んで構成されている。調整装置５９の動作は制御装置７により制御される。制御装置７は、調整装置５９を用いて、第２吹出口５２から吹き出される単位時間当たりの気体吹き出し量を調整可能である。   As shown in FIG. 4 and the like, in the middle of the second supply pipe 53, an adjustment device that adjusts the amount per unit time of the gas GS sent from the second gas supply device 51 and supplied to the second outlet 52. 59 is provided. The adjusting device 59 includes, for example, a valve mechanism. The operation of the adjusting device 59 is controlled by the control device 7. The control device 7 can adjust the amount of gas blown out per unit time that is blown out from the second air outlet 52 using the adjusting device 59.

次に、支持装置８０について説明する。支持装置８０は、ノズル部材１０を支持する第１支持機構８１と、シール部材３０を支持する第２支持機構８２と、ベアリング部材５０を支持する第３支持機構８３とを備えている。第１支持機構８１は、ノズル部材１０を支持構造体８５に対してほぼ動かないように支持する。第２支持機構８２は、シール部材３０を支持構造体８５に対してほぼ動かないように支持する。   Next, the support device 80 will be described. The support device 80 includes a first support mechanism 81 that supports the nozzle member 10, a second support mechanism 82 that supports the seal member 30, and a third support mechanism 83 that supports the bearing member 50. The first support mechanism 81 supports the nozzle member 10 so as not to move substantially with respect to the support structure 85. The second support mechanism 82 supports the seal member 30 so as not to move with respect to the support structure 85.

第３支持機構８３は、ベアリング部材５０を支持構造体８５に対して揺動可能に支持する。第３支持機構８３は、弾性部材８６を備えている。弾性部材８６は、気体が満たされる内部空間８７を有している。本実施形態においては、弾性部材８６は、ベローズ部材を含んで構成されている。図２等に示すように、第３支持機構８３は、円環状に形成された第１ベローズ部材８６Ａと、円環状に形成され、第１ベローズ部材８６Ａを囲むように設けられた第２ベローズ部材８６Ｂとを備えている。第１、第２ベローズ部材８６Ａ、８６Ｂは、支持構造体８５の下面に接続された第１板部材８８と、ベアリング部材５０の上面に接続された第２板部材８９とを接続するように設けられている。第１、第２板部材８８、８９はそれぞれ円環状に形成されている。そして、第１、第２板部材８８、８９と、第１、第２ベローズ部材８６Ａ、８６Ｂとで囲まれた内部空間８７に気体が満たされるようになっている。   The third support mechanism 83 supports the bearing member 50 so as to be swingable with respect to the support structure 85. The third support mechanism 83 includes an elastic member 86. The elastic member 86 has an internal space 87 filled with gas. In the present embodiment, the elastic member 86 includes a bellows member. As shown in FIG. 2 and the like, the third support mechanism 83 includes an annular first bellows member 86A and an annular second bellows member provided to surround the first bellows member 86A. 86B. The first and second bellows members 86 </ b> A and 86 </ b> B are provided to connect the first plate member 88 connected to the lower surface of the support structure 85 and the second plate member 89 connected to the upper surface of the bearing member 50. It has been. The first and second plate members 88 and 89 are each formed in an annular shape. The internal space 87 surrounded by the first and second plate members 88 and 89 and the first and second bellows members 86A and 86B is filled with gas.

弾性部材８６を含む第３支持機構８３は、ベアリング部材５０をＺ軸、θＸ、及びθＹ方向に関して揺動可能（移動可能）に支持する。また、第３支持機構８３は、ベアリング部材５０をＸ軸、Ｙ軸、及びθＺ方向には大きく動かさないように支持する。基板Ｐの表面との間でガスベアリングを形成するベアリング部材５０は、第３支持機構８３によって揺動可能に支持されているので、基板Ｐと衝突することなく、ギャップＤ４を維持しつつ、基板Ｐの動きに追従することができる。したがって、基板ＰがＺ軸、θＸ、及びθＹ方向に移動した場合でも、ガスベアリング機構３は、基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５とのギャップＤ４を略一定に維持することができる。すなわち、ベアリング部材５０を揺動可能に支持する第３支持機構８３の作用（弾性部材８６の弾性作用）と、ガスベアリングの作用（ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間に形成された気体の層の作用）とによって、基板ＰがＺ軸、θＸ、及びθＹ方向に移動した場合でも、基板Ｐとベアリング部材５０との衝突を防止しつつ、微小なギャップＤ４を維持することができる。   The third support mechanism 83 including the elastic member 86 supports the bearing member 50 so as to be swingable (movable) in the Z-axis, θX, and θY directions. The third support mechanism 83 supports the bearing member 50 so as not to move significantly in the X axis, Y axis, and θZ directions. Since the bearing member 50 that forms a gas bearing with the surface of the substrate P is swingably supported by the third support mechanism 83, the substrate D can be maintained without colliding with the substrate P while maintaining the gap D 4. It is possible to follow the movement of P. Therefore, even when the substrate P moves in the Z-axis, θX, and θY directions, the gas bearing mechanism 3 can maintain the gap D4 between the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the bearing member 50 substantially constant. That is, the action of the third support mechanism 83 (the elastic action of the elastic member 86) that supports the bearing member 50 in a swingable manner and the action of the gas bearing (formed between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P). The gas gap), even when the substrate P moves in the Z-axis, θX, and θY directions, the collision between the substrate P and the bearing member 50 is prevented, and the minute gap D4 is maintained. Can do.

また、支持装置８０は、シール部材３０とベアリング部材５０とを離した状態で支持しているので、第３支持機構８３に支持されているベアリング部材５０が揺動しても、シール部材３０とベアリング部材５０とは衝突しないようになっている。   Further, since the support device 80 supports the seal member 30 and the bearing member 50 in a separated state, even if the bearing member 50 supported by the third support mechanism 83 swings, It does not collide with the bearing member 50.

また、図４等に示すように、露光装置ＥＸは、第３支持機構８３の弾性部材８６の内部空間８７の圧力を調整する調整装置９０を備えている。調整装置９０は、内部空間８７に気体を供給する供給口９１と、内部空間８７の気体を吸引する吸引口９２と、供給口９１と不図示の気体供給装置とを接続する供給管９３の途中に設けられたバルブ機構９５と、吸引口９２と不図示の真空系を含む吸引装置とを接続する吸引管９４の途中に設けられたバルブ機構９６とを備えている。制御装置７は、気体供給装置や吸引装置、バルブ機構９５、９６を制御して、供給口９１を介した内部空間８７に対する気体の供給動作及び吸引口９２を介した内部空間８７の気体の吸引動作の少なくとも一方を行うことによって、弾性部材８６の内部空間８７の圧力を調整することができる。   Further, as shown in FIG. 4 and the like, the exposure apparatus EX includes an adjustment device 90 that adjusts the pressure in the internal space 87 of the elastic member 86 of the third support mechanism 83. The adjusting device 90 includes a supply port 91 that supplies gas to the internal space 87, a suction port 92 that sucks gas in the internal space 87, and a supply pipe 93 that connects the supply port 91 and a gas supply device (not shown). And a valve mechanism 96 provided in the middle of a suction pipe 94 connecting the suction port 92 and a suction device including a vacuum system (not shown). The control device 7 controls the gas supply device, the suction device, and the valve mechanisms 95 and 96 to supply the gas to the internal space 87 through the supply port 91 and to suck the gas in the internal space 87 through the suction port 92. By performing at least one of the operations, the pressure in the internal space 87 of the elastic member 86 can be adjusted.

そして、制御装置７は、調整装置９０を用いて弾性部材８６の内部空間８７の圧力を調整することによって、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間で形成されるガスベアリングの特性、具体的にはガスベアリングの剛性を調整することができる。   And the control apparatus 7 adjusts the pressure of the internal space 87 of the elastic member 86 using the adjustment apparatus 90, The characteristic of the gas bearing formed between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the board | substrate P Specifically, the rigidity of the gas bearing can be adjusted.

また、制御装置７は、調整装置９０を用いて弾性部材８６の内部空間８７の圧力を調整することによって、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面とのギャップ（距離）Ｄ４を調整することも可能である。   Further, the control device 7 adjusts the gap (distance) D4 between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P by adjusting the pressure in the internal space 87 of the elastic member 86 using the adjusting device 90. Is also possible.

また、制御装置７は、第２気体供給装置５１から第２吹出口５２に対する単位時間当たりの気体供給量、ひいては第２吹出口５２からベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間に供給する気体の圧力（供給圧）を調整することによって、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間で形成されるガスベアリングの剛性を調整することができる。また、制御装置７は、第２吹出口５２からベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間に供給する気体の圧力（供給圧）を調整することによって、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間のギャップＧ４を調整することも可能である。また、制御装置７は、第３支持機構８３の弾性部材８６の内部空間８７の圧力や、第２吹出口５２からベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間に供給する気体の圧力（供給圧）を調整することによって、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間で形成されるガスベアリングの減衰比を調整することも可能である。   In addition, the control device 7 supplies the gas supply amount per unit time from the second gas supply device 51 to the second air outlet 52, and thus between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P from the second air outlet 52. The rigidity of the gas bearing formed between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P can be adjusted by adjusting the pressure of the gas to be supplied (supply pressure). Further, the control device 7 adjusts the pressure (supply pressure) of the gas supplied between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P from the second air outlet 52, thereby reducing the lower surface 55 of the bearing member 50. It is also possible to adjust the gap G4 between the surface of the substrate P. In addition, the control device 7 controls the pressure of the internal space 87 of the elastic member 86 of the third support mechanism 83 and the pressure of the gas supplied from the second air outlet 52 between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P. It is also possible to adjust the damping ratio of the gas bearing formed between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P by adjusting (supply pressure).

また、露光装置ＥＸは、回収口２２と第１吹出口３２との間に設けられた第１排気口４２と、第１吹出口３２と第２吹出口５２との間に設けられた第２排気口４４とを備えている。第１排気口４２は、ノズル部材１０とシール部材３０との間のギャップＧ２によって形成される空間を含む流路（第１排気流路）４３の下端部によって構成されている。第１排気流路４３は外部空間（大気空間）Ｋ３と接続されており、第１排気口４２は第１排気流路４３を介して外部空間（大気空間）Ｋ３と接続されている。第２排気口４４は、シール部材３０とベアリング部材５０との間のギャップＧ３によって形成される空間を含む流路（第２排気流路）４５の下端部によって構成されている。第２排気流路４５は外部空間（大気空間）Ｋ３と接続されており、第２排気口４４は第２排気流路４５を介して外部空間（大気空間）Ｋ３と接続されている。   Further, the exposure apparatus EX has a first exhaust port 42 provided between the recovery port 22 and the first air outlet 32, and a second air port provided between the first air outlet 32 and the second air outlet 52. And an exhaust port 44. The first exhaust port 42 is configured by a lower end portion of a flow path (first exhaust flow path) 43 including a space formed by a gap G <b> 2 between the nozzle member 10 and the seal member 30. The first exhaust passage 43 is connected to the external space (atmosphere space) K3, and the first exhaust port 42 is connected to the external space (atmosphere space) K3 via the first exhaust passage 43. The second exhaust port 44 is configured by a lower end portion of a flow path (second exhaust flow path) 45 including a space formed by a gap G <b> 3 between the seal member 30 and the bearing member 50. The second exhaust passage 45 is connected to the external space (atmosphere space) K3, and the second exhaust port 44 is connected to the external space (atmosphere space) K3 via the second exhaust passage 45.

次に、上述した構成を有する露光装置ＥＸを用いてマスクＭのパターン像を基板Ｐに露光する方法について説明する。   Next, a method for exposing the pattern image of the mask M onto the substrate P using the exposure apparatus EX having the above-described configuration will be described.

露光光ＥＬの光路空間Ｋ１を液体ＬＱで満たすために、制御装置７は、液体供給装置１１及び液体回収装置２１のそれぞれを駆動する。制御装置７の制御のもとで液体供給装置１１から送出された液体ＬＱは、液体供給管１３を流れた後、ノズル部材１０の液体供給流路１４を介して、供給口１２より投影光学系ＰＬの最終光学素子ＦＬと底板１８との間の内部空間Ｋ２に供給される。内部空間Ｋ２に液体ＬＱが供給されることにより、内部空間Ｋ２に存在していた気体部分は排出口１６や開口１８Ｋを介して外部に排出される。   In order to fill the optical path space K1 of the exposure light EL with the liquid LQ, the control device 7 drives each of the liquid supply device 11 and the liquid recovery device 21. The liquid LQ delivered from the liquid supply device 11 under the control of the control device 7 flows through the liquid supply pipe 13 and then from the supply port 12 through the liquid supply channel 14 of the nozzle member 10 to the projection optical system. It is supplied to the internal space K2 between the last optical element FL of the PL and the bottom plate 18. By supplying the liquid LQ to the internal space K2, the gas portion existing in the internal space K2 is discharged to the outside through the discharge port 16 and the opening 18K.

内部空間Ｋ２に供給された液体ＬＱは、開口１８Ｋを介してランド面１７と基板Ｐ（基板ステージ５）との間の空間に流入し、光路空間Ｋ１を満たす。このとき、制御装置７は、液体回収装置２１を用いて、単位時間当たり所定量の液体ＬＱを回収している。ランド面１７と基板Ｐとの間の空間の液体ＬＱは、ノズル部材１０の回収口２２を介して液体回収流路２４に流入し、液体回収管２３を流れた後、液体回収装置２１に回収される。   The liquid LQ supplied to the internal space K2 flows into the space between the land surface 17 and the substrate P (substrate stage 5) through the opening 18K and fills the optical path space K1. At this time, the control device 7 uses the liquid recovery device 21 to recover a predetermined amount of the liquid LQ per unit time. The liquid LQ in the space between the land surface 17 and the substrate P flows into the liquid recovery channel 24 via the recovery port 22 of the nozzle member 10, flows through the liquid recovery pipe 23, and then recovers to the liquid recovery device 21. Is done.

このように、制御装置７は、液浸機構１を用いて、光路空間Ｋ１に対して単位時間当たり所定量の液体ＬＱを供給するとともに単位時間当たり所定量の液体ＬＱを回収することで、投影光学系ＰＬと基板Ｐとの間の露光光ＥＬの光路空間Ｋ１を液体ＬＱで満たし、基板Ｐ上に液体ＬＱの液浸領域ＬＲを局所的に形成する。そして、制御装置７は、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１を液体ＬＱで満たした状態で、投影光学系ＰＬと基板Ｐとを相対的に移動しながらマスクＭのパターン像を投影光学系ＰＬ及び光路空間Ｋ１の液体ＬＱを介して基板Ｐ上に露光する。本実施形態の露光装置ＥＸは、Ｙ軸方向を走査方向とする走査型露光装置であるため、制御装置７は、基板ステージ５を制御して、基板Ｐを所定速度でＹ軸方向に移動しながら露光する。   In this way, the control device 7 uses the liquid immersion mechanism 1 to supply a predetermined amount of liquid LQ per unit time to the optical path space K1 and collect a predetermined amount of liquid LQ per unit time, thereby projecting. The optical path space K1 of the exposure light EL between the optical system PL and the substrate P is filled with the liquid LQ, and an immersion region LR of the liquid LQ is locally formed on the substrate P. Then, the control device 7 moves the projection optical system PL and the substrate P relative to each other while the optical path space K1 of the exposure light EL is filled with the liquid LQ, and transfers the pattern image of the mask M to the projection optical system PL and the optical path. Exposure is performed on the substrate P through the liquid LQ in the space K1. Since the exposure apparatus EX of the present embodiment is a scanning exposure apparatus whose scanning direction is the Y-axis direction, the control device 7 controls the substrate stage 5 to move the substrate P in the Y-axis direction at a predetermined speed. While exposing.

このような走査型露光装置において、ノズル部材の構造によっては、例えば基板Ｐの移動速度（走査速度）の高速化に伴って、回収口２２を介して液体ＬＱを十分に回収することができず、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱが基板Ｐとノズル部材１０との間の空間（回収口２２）よりも外側へ流出する可能性がある。   In such a scanning exposure apparatus, depending on the structure of the nozzle member, for example, as the moving speed (scanning speed) of the substrate P increases, the liquid LQ cannot be sufficiently recovered through the recovery port 22. There is a possibility that the liquid LQ filled in the optical path space K1 flows out of the space between the substrate P and the nozzle member 10 (the recovery port 22).

例えば、図６（Ａ）の模式図に示すように、ノズル部材１０の下面と基板Ｐの表面との間を液体ＬＱで満たし、その液体ＬＱの液浸領域ＬＲに対して基板Ｐを走査方向（Ｙ軸方向）に移動したとき、液浸領域ＬＲの液体ＬＱとその外側の空間との界面（気液界面）ＬＧの移動距離や移動速度が大きくなり、液体ＬＱが流出する可能性がある。すなわち、図６（Ａ）の模式図に示すような第１状態から、液浸領域ＬＲに対して基板Ｐを−Ｙ方向に所定速度で所定距離だけ移動し、図６（Ｂ）に示すような基板Ｐの移動中における第２状態となった場合、基板Ｐの移動速度（走査速度）が高速化されると、液浸領域ＬＲの液体ＬＱとその外側の空間との界面ＬＧの移動距離や移動速度が大きくなり、液浸領域ＬＲが拡大して、液浸領域ＬＲの液体ＬＱが回収口２２の外側に流出する可能性がある。   For example, as shown in the schematic diagram of FIG. 6A, the space between the lower surface of the nozzle member 10 and the surface of the substrate P is filled with the liquid LQ, and the substrate P is scanned in the liquid immersion area LR of the liquid LQ. When moving in the (Y-axis direction), the moving distance and moving speed of the interface (gas-liquid interface) LG between the liquid LQ of the liquid immersion region LR and the space outside thereof may increase, and the liquid LQ may flow out. . That is, from the first state as shown in the schematic diagram of FIG. 6A, the substrate P is moved at a predetermined speed in the −Y direction by a predetermined distance with respect to the liquid immersion region LR, as shown in FIG. If the movement state (scanning speed) of the substrate P is increased when the substrate P is in the second state during movement, the movement distance of the interface LG between the liquid LQ in the immersion region LR and the outer space thereof There is a possibility that the moving speed increases, the liquid immersion area LR expands, and the liquid LQ in the liquid immersion area LR flows out of the recovery port 22.

また、図６（Ｃ）の模式図に示すように、例えば基板Ｐの移動速度の高速化に伴って、基板Ｐの移動中に、ノズル部材１０の下面の一部から離れた（剥離した）液体ＬＱが、基板Ｐ上に液体ＬＱの膜（薄膜）を形成する可能性がある。形成された液体ＬＱの膜は回収口２２（多孔部材２５）に対して離れるため、回収口２２によってその液体ＬＱの膜を回収できない状況が生じる可能性がある。すなわち、形成された液体ＬＱの膜は回収口２２に配置された多孔部材２５に接触しないため、回収口２２が液体ＬＱを回収できない状況が発生する可能性がある。すると、液体ＬＱが回収口２２の外側に流出したり、あるいは、形成された液体ＬＱの膜が基板Ｐ上でちぎれて基板Ｐ上に液滴となって液体ＬＱが残留する等の不都合が生じる可能性がある。   Further, as shown in the schematic diagram of FIG. 6C, for example, as the movement speed of the substrate P increases, the substrate P moves away from a part of the lower surface of the nozzle member 10 (separates). The liquid LQ may form a film (thin film) of the liquid LQ on the substrate P. Since the formed liquid LQ film is separated from the recovery port 22 (porous member 25), there is a possibility that the recovery L22 may not recover the liquid LQ film. That is, since the formed film of the liquid LQ does not contact the porous member 25 disposed in the recovery port 22, there is a possibility that the recovery port 22 cannot recover the liquid LQ. Then, the liquid LQ flows out of the recovery port 22, or the formed film of the liquid LQ is broken on the substrate P, and the liquid LQ remains as a droplet on the substrate P. there is a possibility.

そこで、本実施形態においては、液体ＬＱの流出等の不都合の発生を抑えるために、第１吹出口３２及び第２吹出口５２のそれぞれから気体ＧＳを吹き出し、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱをシールする（封じ込める）ための気流を生成する。   Therefore, in this embodiment, in order to suppress the occurrence of inconvenience such as outflow of the liquid LQ, the gas GS is blown out from each of the first outlet 32 and the second outlet 52, and the liquid LQ filled in the optical path space K1. Generates an air flow to seal (contain)

図７は光路空間Ｋ１に液体ＬＱが満たされているときに、第１吹出口３２及び第２吹出口５２のそれぞれから気体ＧＳが吹き出されている状態を示す模式図である。制御装置７は、液浸機構１を用いて光路空間Ｋ１を液体ＬＱで満たしているときに、シール機構２及びガスベアリング機構３のそれぞれを駆動し、第１吹出口３２及び第２吹出口５２のそれぞれより気体ＧＳを吹き出す。制御装置７は、少なくとも液浸機構１を用いて光路空間Ｋ１に対する液体ＬＱの供給動作及び回収動作を行って液浸領域ＬＲを形成しているとき、シール機構２の第１気体供給装置３１及びガスベアリング機構３の第２気体供給装置５１の駆動を継続する。また、制御装置７は、液浸機構１による液体ＬＱの供給動作及び回収動作を停止しているときであっても、液浸領域ＬＲが形成されているときには、シール機構２の第１気体供給装置３１及びガスベアリング機構３の第２気体供給装置５１の駆動を継続する。   FIG. 7 is a schematic diagram showing a state in which the gas GS is blown out from each of the first outlet 32 and the second outlet 52 when the optical path space K1 is filled with the liquid LQ. When the optical path space K1 is filled with the liquid LQ using the liquid immersion mechanism 1, the control device 7 drives each of the seal mechanism 2 and the gas bearing mechanism 3, and the first air outlet 32 and the second air outlet 52. The gas GS is blown out from each of the above. The control device 7 performs the supply operation and the recovery operation of the liquid LQ with respect to the optical path space K1 using at least the liquid immersion mechanism 1 to form the liquid immersion region LR, and the first gas supply device 31 of the seal mechanism 2 and The driving of the second gas supply device 51 of the gas bearing mechanism 3 is continued. In addition, even when the liquid LQ supply operation and the recovery operation by the liquid immersion mechanism 1 are stopped, the control device 7 supplies the first gas of the seal mechanism 2 when the liquid immersion region LR is formed. The driving of the device 31 and the second gas supply device 51 of the gas bearing mechanism 3 is continued.

また、少なくとも第２吹出口５２から気体ＧＳを吹き出しているとき、制御装置７は、調整装置９０を用いて第３支持機構８３の弾性部材８６の内部空間８７の圧力を調整し、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間で形成されるガスベアリングの特性（剛性）を調整する。   Further, at least when the gas GS is blown out from the second outlet 52, the control device 7 uses the adjustment device 90 to adjust the pressure in the internal space 87 of the elastic member 86 of the third support mechanism 83, and the bearing member 50. The characteristic (rigidity) of the gas bearing formed between the lower surface 55 of the substrate and the surface of the substrate P is adjusted.

制御装置７は、第１吹出口３２から気体ＧＳを吹き出すために、第１気体供給装置３１を駆動する。第１気体供給装置３１から送出された気体ＧＳは、第１供給管３３を介して、シール部材３０の第１供給流路３４に流入する。上述のように、第１供給流路３４の途中にバッファ空間３７が設けられていることにより、バッファ空間３７を含む第１供給流路３４を介してスリット状の第１吹出口３２に供給された気体ＧＳは、第１吹出口３２の各位置からほぼ均一に吹き出される。また、第１吹出口３２から気体ＧＳを吹き出すとき、制御装置７は、調整装置３９を使って、シール部材３０に設けられた第１吹出口３２より吹き出す単位時間当たりの気体吹き出し量を調整する。   The control device 7 drives the first gas supply device 31 in order to blow out the gas GS from the first air outlet 32. The gas GS delivered from the first gas supply device 31 flows into the first supply flow path 34 of the seal member 30 via the first supply pipe 33. As described above, since the buffer space 37 is provided in the middle of the first supply flow path 34, the first supply flow path 34 including the buffer space 37 is supplied to the slit-shaped first outlet 32. The gas GS is blown out almost uniformly from each position of the first outlet 32. In addition, when the gas GS is blown out from the first air outlet 32, the control device 7 uses the adjusting device 39 to adjust the gas blowing amount per unit time that is blown out from the first air outlet 32 provided in the sealing member 30. .

第１吹出口３２は、基板Ｐの表面と対向する位置に設けられており、光路空間Ｋ１に向けて基板Ｐの表面に対して傾斜方向に気体ＧＳを吹き出す。光路空間Ｋ１に対して回収口２２の外側に設けられた第１吹出口３２より吹き出された気体ＧＳの一部は、基板Ｐに吹き付けられた後、基板Ｐの表面に沿って光路空間Ｋ１に向かい、回収口２２周縁近傍において光路空間Ｋ１に向かう気流を生成する。すなわち、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱの界面ＬＧに外側から気体ＧＳが供給される。これにより、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱ（液体ＬＱの界面ＬＧ）が光路空間Ｋ１の外側に移動しようとしても、気体ＧＳの力によってその液体ＬＱを封じ込めることができ、液体ＬＱの流出を防止することができる。   The 1st blower outlet 32 is provided in the position facing the surface of the board | substrate P, and blows off gas GS in the inclination direction with respect to the surface of the board | substrate P toward the optical path space K1. A part of the gas GS blown from the first outlet 32 provided outside the recovery port 22 with respect to the optical path space K1 is blown onto the substrate P and then into the optical path space K1 along the surface of the substrate P. An airflow is generated toward the optical path space K1 in the vicinity of the periphery of the recovery port 22. That is, the gas GS is supplied from the outside to the interface LG of the liquid LQ filled in the optical path space K1. Thereby, even if the liquid LQ filled in the optical path space K1 (interface LG of the liquid LQ) tries to move to the outside of the optical path space K1, the liquid LQ can be contained by the force of the gas GS, and the liquid LQ can be prevented from flowing out. Can be prevented.

また、第１吹出口３２から吹き出された気体ＧＳの残りの一部は、第１排気口４２を介して第１排気流路４３に流入する。第１排気口４２を介して第１排気流路４３に流入した気体ＧＳの一部は外部空間Ｋ３に排気される。第１吹出口３２から吹き出された気体ＧＳの一部が第１排気口４２から排気されることにより、回収口２２近傍において、光路空間Ｋ１に向かって乱れの少ない気流を良好に生成することができる。したがって、液体ＬＱが光路空間Ｋ１に対して第１排気口４２よりも外側に流出することを防止することができる。また、ノズル部材１０の側面１０Ｓとシール部材３０の内側面３０Ｔとの間のギャップＧ２は、シール部材３０の先端部の第１吹出口３２と基板Ｐの表面との間の距離Ｄ３よりも大きく設けられているため、第１吹出口３２より吹き出された気体ＧＳの一部は第１排気流路４３に円滑に流れる。また、第１吹出口３２はシール部材３０の突起部３５の先端部に設けられており、ノズル部材１０の回収口２２の近くに第１吹出口３２を配置することができる。   Further, the remaining part of the gas GS blown out from the first outlet 32 flows into the first exhaust passage 43 through the first exhaust port 42. A part of the gas GS that flows into the first exhaust flow path 43 via the first exhaust port 42 is exhausted to the external space K3. A part of the gas GS blown out from the first outlet 32 is exhausted from the first exhaust port 42, so that an air flow with less turbulence toward the optical path space K1 can be generated well in the vicinity of the recovery port 22. it can. Therefore, the liquid LQ can be prevented from flowing out of the first exhaust port 42 with respect to the optical path space K1. Further, the gap G2 between the side surface 10S of the nozzle member 10 and the inner side surface 30T of the seal member 30 is larger than the distance D3 between the first air outlet 32 at the tip of the seal member 30 and the surface of the substrate P. Since it is provided, a part of the gas GS blown from the first blower outlet 32 flows smoothly into the first exhaust flow path 43. Further, the first air outlet 32 is provided at the tip of the protrusion 35 of the seal member 30, and the first air outlet 32 can be disposed near the recovery port 22 of the nozzle member 10.

また、制御装置７は、第２吹出口５２から気体ＧＳを吹き出すために、第２気体供給装置５１を駆動する。第２気体供給装置５１から送出された気体ＧＳは、第２供給管５３を介して、ベアリング部材５０の第２供給流路５４に流入する。第２吹出口５２から気体ＧＳを吹き出すとき、制御装置７は、調整装置５９を使って、ベアリング部材５０に設けられた第２吹出口５２より吹き出す単位時間当たりの気体吹き出し量を調整する。またこのとき、制御装置７は、調整装置９０を用いて第３支持機構８３の弾性部材８６の内部空間８７の圧力を調整し、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間で形成されるガスベアリングの特性（剛性）を調整する。   Further, the control device 7 drives the second gas supply device 51 in order to blow out the gas GS from the second air outlet 52. The gas GS sent from the second gas supply device 51 flows into the second supply flow path 54 of the bearing member 50 through the second supply pipe 53. When the gas GS is blown out from the second air outlet 52, the control device 7 uses the adjusting device 59 to adjust the gas blowing amount per unit time that is blown out from the second air outlet 52 provided in the bearing member 50. At this time, the control device 7 uses the adjusting device 90 to adjust the pressure in the internal space 87 of the elastic member 86 of the third support mechanism 83, and is formed between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P. Adjust the characteristics (rigidity) of the gas bearing.

第２吹出口５２は、基板Ｐの表面と対向する位置に設けられており、多孔部材５６を介して基板Ｐの表面に向けて気体ＧＳを吹き出す。本実施形態においては、ガスベアリング機構３は、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間にガスベアリングを形成しており、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間には、高い圧力を有する気体の層（膜）が形成される。そのため、その高い圧力を有する気体の層によって、液体ＬＱの流出を防止することができる。   The second outlet 52 is provided at a position facing the surface of the substrate P, and blows out the gas GS toward the surface of the substrate P through the porous member 56. In the present embodiment, the gas bearing mechanism 3 forms a gas bearing between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P, and between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P. A gas layer (film) having a high pressure is formed. Therefore, the outflow of the liquid LQ can be prevented by the gas layer having the high pressure.

また、ガスベアリングを形成するベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間のギャップＧ４は微小である。したがって、図６（Ｃ）を参照して説明したように、回収口２２の外側に流出した液体ＬＱが基板Ｐ上で膜（薄膜）を形成した場合でも、ガスベアリング機構３によって形成されるガスベアリングによって、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱをシールすることができる。すなわち、図８に示すように、回収口２２で回収しきれずにその回収口２２の外側に流出した液体ＬＱが基板Ｐ上で膜（薄膜）を形成した場合、シール機構２の第１吹出口３２から気体ＧＳを吹き出しても、液体ＬＱの流出を防止することが困難となる状況が発生する可能性がある。本実施形態においては、ガスベアリング機構３が、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間でガスベアリングを形成しており、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間には高い圧力を有する気体の層が形成されるとともに、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間のギャップＧ４は微小であるため、たとえ基板Ｐ上に液体ＬＱの薄膜が形成されても、その液体ＬＱが光路空間Ｋ１に対して第２排気口４４よりも外側に流出することを防止することができる。また、基板Ｐ上に形成された液体ＬＱの薄膜に限らず、微量の液体（液滴）が、例えば第１排気口４２よりも外側に流出（飛散）する可能性があるが、ガスベアリング機構３によって、その液体（液滴）が光路空間Ｋ１に対して第２排気口４４よりも外側に流出することを防止することができる。   Further, the gap G4 between the lower surface 55 of the bearing member 50 forming the gas bearing and the surface of the substrate P is very small. Therefore, as described with reference to FIG. 6C, even when the liquid LQ flowing out of the recovery port 22 forms a film (thin film) on the substrate P, the gas formed by the gas bearing mechanism 3 The liquid LQ filled in the optical path space K1 can be sealed by the bearing. That is, as shown in FIG. 8, when the liquid LQ that has not been recovered by the recovery port 22 and has flowed outside the recovery port 22 forms a film (thin film) on the substrate P, the first air outlet of the seal mechanism 2. Even if the gas GS is blown out from 32, there is a possibility that it may be difficult to prevent the liquid LQ from flowing out. In the present embodiment, the gas bearing mechanism 3 forms a gas bearing between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P, and between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P. Since a gas layer having a high pressure is formed and the gap G4 between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P is very small, a thin film of liquid LQ is formed on the substrate P. However, the liquid LQ can be prevented from flowing out from the second exhaust port 44 to the optical path space K1. Further, not only the thin film of the liquid LQ formed on the substrate P, but a small amount of liquid (droplet) may flow out (scatter) outside the first exhaust port 42, for example. 3 can prevent the liquid (droplet) from flowing out of the second exhaust port 44 with respect to the optical path space K1.

そして、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間のギャップＧ４は、調整装置９０を用いて第３支持機構８３の内部空間８７の圧力を調整することによって調整可能である。したがって、制御装置７は、調整装置９０を用いてギャップＧ４を調整することで、液体ＬＱの流出を抑制することができる。   The gap G4 between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P can be adjusted by adjusting the pressure in the internal space 87 of the third support mechanism 83 using the adjusting device 90. Therefore, the control device 7 can suppress the outflow of the liquid LQ by adjusting the gap G4 using the adjusting device 90.

また、ギャップＧ４が微小であっても、ベアリング部材５０を揺動可能に支持する第３支持機構８３の作用（弾性部材８６の弾性作用）と、ガスベアリングの作用（ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間に形成された気体の層の作用）とによって、基板ＰがＺ軸、θＸ、及びθＹ方向に移動した場合でも、基板Ｐの位置及び姿勢に追従するように、ベアリング部材５０を動かすことができる。したがって、基板Ｐとベアリング部材５０との衝突を防止しつつ、基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５との間の微小なギャップＧ４を略一定に維持することができる。   Even if the gap G4 is very small, the third support mechanism 83 (the elastic action of the elastic member 86) that supports the bearing member 50 in a swingable manner and the action of the gas bearing (the lower surface 55 of the bearing member 50) Bearings so as to follow the position and posture of the substrate P even when the substrate P moves in the Z-axis, θX, and θY directions due to the action of the gas layer formed between the surface of the substrate P). The member 50 can be moved. Therefore, the minute gap G4 between the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the bearing member 50 can be maintained substantially constant while preventing the substrate P and the bearing member 50 from colliding with each other.

また、第２吹出口５２より吹き出された気体ＧＳの一部は、基板Ｐに吹き付けられた後、基板Ｐの表面に沿うように、光路空間Ｋ１に向かう気流を生成する。光路空間Ｋ１に向かう気流が生成されることにより、その気体ＧＳの力によって、液体ＬＱの流出を防止することができる。このように、２重に設けられた第１、第２吹出口３２、５２から吹き出された気体ＧＳによって、液体ＬＱ（液浸領域ＬＲ）を封じ込めるような気流を生成することができる。   Further, a part of the gas GS blown from the second outlet 52 is blown onto the substrate P, and then generates an air flow toward the optical path space K1 along the surface of the substrate P. By generating an air flow toward the optical path space K1, the liquid LQ can be prevented from flowing out by the force of the gas GS. Thus, the gas GS blown out from the first and second outlets 32 and 52 provided in duplicate can generate an air flow that can contain the liquid LQ (immersion region LR).

また、第２吹出口５２から吹き出された気体ＧＳの残りの一部は、第２排気口４４を介して第２排気流路４５に流入する。第２排気口４３を介して第２排気流路４５に流入した気体の一部は外部空間Ｋ３に排気される。第２吹出口５２から吹き出された気体の一部が第１排気口４４より排気されることにより、光路空間Ｋ１に向かって乱れの少ない気流を良好に生成することができる。また、シール部材３０の側面３０Ｓとベアリング部材５０の内側面５０Ｔとの間のギャップＧ３は、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間のギャップＤ４よりも大きく設けられているため、第２吹出口５２より吹き出された気体ＧＳの一部は、第２排気流路４５に円滑に流れる。   Further, the remaining part of the gas GS blown out from the second outlet 52 flows into the second exhaust passage 45 through the second exhaust port 44. A part of the gas flowing into the second exhaust passage 45 through the second exhaust port 43 is exhausted to the external space K3. A part of the gas blown out from the second outlet 52 is exhausted from the first exhaust port 44, so that an air flow with less turbulence toward the optical path space K1 can be generated satisfactorily. Further, the gap G3 between the side surface 30S of the seal member 30 and the inner side surface 50T of the bearing member 50 is larger than the gap D4 between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P. Part of the gas GS blown out from the second outlet 52 flows smoothly into the second exhaust passage 45.

また、制御装置７は、調整装置９０を用いて、第３支持機構８３の弾性部材８６の内部空間８７の圧力を調整することによって、ベアリング部材５０の位置を調整することができる。例えば、制御装置７は、調整装置９０を用いて、弾性部材８６の内部空間８７を負圧にする。これにより、弾性部材８６が縮むので、弾性部材８６を含む第３支持機構８３に支持されたベアリング部材５０を上昇させることができる。例えば、図９に示すように、ベアリング部材５０の下面５５と対向する位置に基板Ｐが無い状態であっても、制御装置７は、調整装置９０を用いて、弾性部材８６の内部空間８７を負圧にすることによって、ベアリング部材５０の下面５５のＺ軸方向に関する位置が、シール部材３０の第１吹出口３２よりも上方になるように、ベアリング部材５０の位置を調整することができる。例えば、基板Ｐの液浸露光が終了した後、基板ステージ５上の基板Ｐをアンロードするために、基板Ｐを保持した基板ステージ５を基板交換位置に移動した場合、ベアリング部材５０の下面５５との間でガスベアリングを形成するための基板Ｐ（あるいは基板ステージの上面などの物体）が、ベアリング部材５０の下面５５と対向しない位置に移動される可能性がある。ベアリング部材５０の下面５５と対向する位置に基板Ｐが無いと、ベアリング部材５０が下降し（垂れ下がり）、周辺機器や部材と衝突してしまう不都合が生じる可能性がある。本実施形態においては、制御装置７は、調整装置９０を用いて、弾性部材８６の内部空間８７を負圧にすることによって、ベアリング部材５０の下面５５のＺ軸方向の位置を調整することができるので、ベアリング部材５０が下降する（垂れ下がる）ことを防止することができる。もちろん、ベアリング部材５０の下面５５と対向する位置に基板Ｐが有る状態であっても、制御装置７は、調整装置９０を用いて、弾性部材８６の内部空間８７を調整することによって、ベアリング部材５０の下面５５のＺ軸方向に関する位置を調整することができる。例えば、制御装置７は、調整装置９０を用いて、弾性部材８６の内部空間８７を負圧にすることによって、基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５との距離Ｄ４が、基板Ｐの表面とシール部材３０の第１吹出口３２との距離Ｄ３よりも大きくなるように、ベアリング部材５０の位置を調整することができる。   Further, the control device 7 can adjust the position of the bearing member 50 by adjusting the pressure in the internal space 87 of the elastic member 86 of the third support mechanism 83 using the adjusting device 90. For example, the control device 7 uses the adjusting device 90 to set the internal space 87 of the elastic member 86 to a negative pressure. Thereby, since the elastic member 86 contracts, the bearing member 50 supported by the third support mechanism 83 including the elastic member 86 can be raised. For example, as shown in FIG. 9, even when the substrate P is not in a position facing the lower surface 55 of the bearing member 50, the control device 7 uses the adjustment device 90 to define the internal space 87 of the elastic member 86. By setting the negative pressure, the position of the bearing member 50 can be adjusted so that the position of the lower surface 55 of the bearing member 50 in the Z-axis direction is higher than the first air outlet 32 of the seal member 30. For example, when the substrate stage 5 holding the substrate P is moved to the substrate replacement position in order to unload the substrate P on the substrate stage 5 after the immersion exposure of the substrate P is completed, the lower surface 55 of the bearing member 50 There is a possibility that the substrate P (or an object such as the upper surface of the substrate stage) for forming a gas bearing between the first and second members is moved to a position not facing the lower surface 55 of the bearing member 50. If the substrate P is not located at a position facing the lower surface 55 of the bearing member 50, the bearing member 50 may drop (hang down), causing a disadvantage that it collides with peripheral devices and members. In the present embodiment, the control device 7 can adjust the position in the Z-axis direction of the lower surface 55 of the bearing member 50 by using the adjusting device 90 to make the internal space 87 of the elastic member 86 negative pressure. Therefore, it is possible to prevent the bearing member 50 from descending (sagging). Of course, even when the substrate P is in a position facing the lower surface 55 of the bearing member 50, the control device 7 uses the adjustment device 90 to adjust the internal space 87 of the elastic member 86, thereby The position of the lower surface 55 of 50 in the Z-axis direction can be adjusted. For example, the control device 7 uses the adjusting device 90 to set the internal space 87 of the elastic member 86 to a negative pressure, whereby the distance D4 between the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the bearing member 50 is changed to the surface of the substrate P. And the position of the bearing member 50 can be adjusted so that it may become larger than the distance D3 with the 1st blower outlet 32 of the sealing member 30. FIG.

以上説明したように、回収口２２の外側に第１吹出口３２及び第２吹出口５２を設けたので、第１吹出口３２及び第２吹出口５２から吹き出された気体ＧＳによって、回収口２２の近傍（光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱの界面ＬＧ近傍）に、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱをシールするための気流を生成することができる。したがって、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱの流出を抑えることができ、液浸領域ＬＲの巨大化を抑制することができる。   As described above, since the first outlet 32 and the second outlet 52 are provided outside the recovery port 22, the recovery port 22 is generated by the gas GS blown from the first outlet 32 and the second outlet 52. Near the interface LG of the liquid LQ filled in the optical path space K1 can be generated in order to seal the liquid LQ filled in the optical path space K1. Accordingly, it is possible to suppress the outflow of the liquid LQ filled in the optical path space K1 of the exposure light EL, and it is possible to suppress the enlargement of the liquid immersion area LR.

そして、液体ＬＱの流出を抑えることができるので、例えば、基板ステージ５に保持されている基板Ｐの表面の面位置情報を検出するフォーカス・レベリング検出系が、光路空間Ｋ１に対して第２吹出口５２よりも外側で基板Ｐの面位置情報を検出する構成の場合、そのフォーカス・レベリング検出系の検出精度を維持することができる。すなわち、フォーカス・レベリング検出系が、光路空間Ｋ１の液体ＬＱを介さずに、光路空間Ｋ１に対して第２吹出口５２よりも外側の基板Ｐの表面に基板Ｐの面位置情報を検出するための検出光を照射する構成の場合、液体ＬＱの流出を防止することで、フォーカス・レベリング検出系は液体ＬＱを介さずに基板Ｐの面位置情報を精度良く検出することができる。また、フォーカス・レベリング検出系に限らず、第２吹出口５２の外側に設けられ、液体ＬＱを介さずに所定面上に検出光を照射して検出処理を行う所定の検出装置、例えば、基板Ｐ上のアライメントマークや基板ステージ５上に設けられた基準マークなどを検出するオフアクシス方式のアライメント系の検出精度を維持することができる。   Then, since the outflow of the liquid LQ can be suppressed, for example, a focus / leveling detection system that detects surface position information of the surface of the substrate P held by the substrate stage 5 performs the second blowing on the optical path space K1. In the case where the surface position information of the substrate P is detected outside the outlet 52, the detection accuracy of the focus / leveling detection system can be maintained. That is, the focus / leveling detection system detects the surface position information of the substrate P on the surface of the substrate P outside the second air outlet 52 with respect to the optical path space K1 without using the liquid LQ in the optical path space K1. In the configuration in which the detection light is irradiated, by preventing the liquid LQ from flowing out, the focus / leveling detection system can accurately detect the surface position information of the substrate P without using the liquid LQ. In addition to a focus / leveling detection system, a predetermined detection device that is provided outside the second air outlet 52 and performs detection processing by irradiating detection light onto a predetermined surface without passing through the liquid LQ, for example, a substrate The detection accuracy of an off-axis alignment system that detects an alignment mark on P, a reference mark provided on the substrate stage 5, and the like can be maintained.

また、第１吹出口３２及び第２吹出口５２のそれぞれは、光路空間Ｋ１を囲むように環状に形成されているので、光路空間Ｋ１を囲む周方向のいずれの位置においても液体ＬＱの流出を防止することができる。また、回収口２２も光路空間Ｋ１を囲むように環状に形成されているので、液体ＬＱを良好に回収することができ、液体ＬＱの流出を抑制することができる。   Further, since each of the first air outlet 32 and the second air outlet 52 is formed in an annular shape so as to surround the optical path space K1, the liquid LQ flows out at any position in the circumferential direction surrounding the optical path space K1. Can be prevented. Further, since the recovery port 22 is also formed in an annular shape so as to surround the optical path space K1, the liquid LQ can be recovered satisfactorily and the outflow of the liquid LQ can be suppressed.

また、第２吹出口５２はベアリング部材５０の下面５５に設けられており、基板Ｐの表面に向けて気体ＧＳを吹き出す構成である。そのため、第２吹出口５２から吹き出された気体ＧＳは、基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５とにガイドされつつ、ほぼ基板Ｐの表面に沿って、光路空間Ｋ１に向かって流れる。光路空間Ｋ１の液体ＬＱの流出を抑えるためには、基板Ｐの表面になるべく近い位置において、基板Ｐの表面に沿うように（ＸＹ平面に沿うように）気体を流すことが効果的であると考えられるが、気体を吹き出す吹出口を有する部材の形態によっては、その部材を光路空間から離れた位置に設ける必要が生じる。その場合、露光装置ＥＸ全体の巨大化を招く。本実施形態においては、揺動可能に支持されたベアリング部材５０の下面５５に第２吹出口５２を設け、その第２吹出口５２より基板Ｐの表面に向けて気体ＧＳを吹き出すようにしているので、ベアリング部材５０と基板Ｐとの衝突を防止しつつ、基板Ｐの表面になるべく近い位置において、基板Ｐの表面に沿うように、気体ＧＳを流すことができる。   The second air outlet 52 is provided on the lower surface 55 of the bearing member 50 and is configured to blow out the gas GS toward the surface of the substrate P. Therefore, the gas GS blown out from the second outlet 52 flows toward the optical path space K1 substantially along the surface of the substrate P while being guided by the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the bearing member 50. In order to suppress the outflow of the liquid LQ in the optical path space K1, it is effective to flow a gas along the surface of the substrate P (along the XY plane) at a position as close as possible to the surface of the substrate P. Although it is conceivable, depending on the form of the member having the air outlet for blowing out gas, it is necessary to provide the member at a position away from the optical path space. In that case, the exposure apparatus EX as a whole is enlarged. In the present embodiment, the second air outlet 52 is provided on the lower surface 55 of the bearing member 50 supported so as to be swingable, and the gas GS is blown out from the second air outlet 52 toward the surface of the substrate P. Therefore, the gas GS can be made to flow along the surface of the substrate P at a position as close as possible to the surface of the substrate P while preventing the bearing member 50 and the substrate P from colliding with each other.

また、第１吹出口３２や第２吹出口５２から吹き出す単位時間当たりの気体吹き出し量を調整することにより、光路空間Ｋ１に満たされている液体ＬＱ中に気泡が生成されることを防止しつつ、液体ＬＱの流出を抑制することができる。   Further, by adjusting the amount of gas blown out per unit time blown out from the first blower outlet 32 or the second blower outlet 52, it is possible to prevent bubbles from being generated in the liquid LQ filled in the optical path space K1. The outflow of the liquid LQ can be suppressed.

また、本実施形態においては、光路空間Ｋ１を含む投影光学系ＰＬの像面側の所定空間は、第１、第２排気口４２、４４、及び第１、第２排気流路４３、４５を介して大気開放された構成となっているため、所定空間に所望の気流を生成することができる。ここで、所定空間とは、第２排気口４４よりも内側の空間を含む。   In the present embodiment, the predetermined space on the image plane side of the projection optical system PL including the optical path space K1 includes the first and second exhaust ports 42 and 44 and the first and second exhaust passages 43 and 45. Therefore, a desired airflow can be generated in the predetermined space. Here, the predetermined space includes a space inside the second exhaust port 44.

また、ベアリング部材５０を支持する第３支持機構８３は、気体が満たされる内部空間８７を有する弾性部材８６を有しているので、その内部空間８７の圧力を調整装置９０を用いて調整することで、ガスベアリングの特性（剛性）やギャップＧ４を調整しつつ、基板Ｐを露光することができる。   Further, since the third support mechanism 83 that supports the bearing member 50 includes the elastic member 86 having the internal space 87 filled with gas, the pressure in the internal space 87 is adjusted using the adjusting device 90. Thus, the substrate P can be exposed while adjusting the characteristics (rigidity) of the gas bearing and the gap G4.

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。 Second Embodiment
Next, a second embodiment will be described. In the following description, the same or equivalent components as those of the above-described embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is simplified or omitted.

図１０は第２実施形態を示す図である。本実施形態の特徴的な部分は、第１排気口４２に接続され、気体ＧＳを吸引する吸引装置を備えた点にある。図１０において、露光装置ＥＸは、第１排気口４２に接続され、気体ＧＳを吸引する吸引装置４６を備えている。吸引装置４６は真空系を含んで構成されており、第１排気流路４３の上端部に接続されている。制御装置７は、第１、第２吹出口３２、５２から気体ＧＳを吹き出すとき、吸引装置４６を駆動する。すなわち、制御装置７は、第１、第２吹出口３２、５２からの気体吹き出し動作と並行して、吸引装置４６による吸引動作を実行する。吸引装置４６が第１排気流路４３の気体ＧＳを吸引することにより、換言すれば、第１排気流路４３を適度に負圧にすることにより、第１排気流路４３のうち第１排気口４２が設けられた下端部から、吸引装置４６が設けられた上端部へと向かう気流が生成される。これにより、回収口２２近傍の空間の気体ＧＳを能動的に排気して、光路空間Ｋ１に向かう所望の気流を円滑に生成することができ、液体ＬＱの流出を防止することができる。また、第１排気口４２から気体ＧＳを排気することにより、第１吹出口３２や第２吹出口５２から吹き出された気体ＧＳが過剰に光路空間Ｋ１に向かって流れることを抑制することができる。第１吹出口３２等から吹き出された気体ＧＳが光路空間Ｋ１に向かって過剰に流れた場合、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱ中に気泡が生成されてしまったり、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱの圧力を大きく変動させてしまう不都合が生じる可能性があるが、第１排気口４２から気体ＧＳを排気することで、上述の不都合の発生を抑制することができる。   FIG. 10 is a diagram showing a second embodiment. A characteristic part of the present embodiment is that a suction device that is connected to the first exhaust port 42 and sucks the gas GS is provided. In FIG. 10, the exposure apparatus EX includes a suction device 46 that is connected to the first exhaust port 42 and sucks the gas GS. The suction device 46 includes a vacuum system and is connected to the upper end portion of the first exhaust passage 43. The control device 7 drives the suction device 46 when the gas GS is blown out from the first and second outlets 32 and 52. That is, the control device 7 performs the suction operation by the suction device 46 in parallel with the gas blowing operation from the first and second outlets 32 and 52. When the suction device 46 sucks the gas GS in the first exhaust flow path 43, in other words, the first exhaust flow path 43 is appropriately negative pressure, so that the first exhaust flow path 43 has a first exhaust gas. An air flow is generated from the lower end portion where the mouth 42 is provided toward the upper end portion where the suction device 46 is provided. Thereby, the gas GS in the space near the recovery port 22 can be actively exhausted, and a desired airflow toward the optical path space K1 can be generated smoothly, and the outflow of the liquid LQ can be prevented. Further, by exhausting the gas GS from the first exhaust port 42, it is possible to suppress the gas GS blown out from the first air outlet 32 and the second air outlet 52 from flowing excessively toward the optical path space K1. . When the gas GS blown out from the first outlet 32 or the like flows excessively toward the optical path space K1, bubbles are generated in the liquid LQ filled in the optical path space K1, or the optical path space K1 is filled. Although there is a possibility that the inconvenience of greatly changing the pressure of the liquid LQ may occur, the occurrence of the inconvenience described above can be suppressed by exhausting the gas GS from the first exhaust port 42.

なお、本実施形態においては、第１排気口４２に吸引装置４６を接続しているが、第２排気口４４に吸引装置を接続してもよい。こうすることによっても、第２排気口４４近傍や第２排気流路４５に所望の気流を生成し、回収口２２近傍及び第１吹出口３２近傍の空間に所望の気流を円滑に生成することができる。また、吸引装置は、第１排気口４２及び第２排気口４４の両方に接続してもよいし、いずれか一方に接続するようにしてもよい。また、第１、第２排気口４２、４４のそれぞれに第１、第２吸引装置を接続し、光路空間Ｋ１を含む回収口２２近傍の所定空間に所望の気流が生成されるように、例えば基板Ｐの移動や、第１、第２吹出口３２、５２からの気体吹き出し量などに応じて、第１吸引装置の吸引動作と第２吸引装置の吸引動作とを個別に制御するようにしてもよい。   In the present embodiment, the suction device 46 is connected to the first exhaust port 42, but a suction device may be connected to the second exhaust port 44. Also by doing this, a desired airflow is generated in the vicinity of the second exhaust port 44 and the second exhaust passage 45, and the desired airflow is smoothly generated in the space in the vicinity of the recovery port 22 and the first outlet 32. Can do. Further, the suction device may be connected to both the first exhaust port 42 and the second exhaust port 44, or may be connected to one of them. Further, the first and second suction devices are connected to the first and second exhaust ports 42 and 44, respectively, so that a desired airflow is generated in a predetermined space near the recovery port 22 including the optical path space K1, for example. The suction operation of the first suction device and the suction operation of the second suction device are individually controlled according to the movement of the substrate P and the amount of gas blown out from the first and second outlets 32 and 52. Also good.

＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態について説明する。図１１は第３実施形態を示す側断面図、図１２はベアリング部材５０の下面５５を示す図である。本実施形態の特徴的な部分は、ベアリング部材５０の下面５５に、気体を吹き出す第２吹出口５２と、気体を吸引する吸引口５８とが設けられている点にある。 <Third Embodiment>
Next, a third embodiment will be described. FIG. 11 is a side sectional view showing the third embodiment, and FIG. 12 is a view showing a lower surface 55 of the bearing member 50. A characteristic part of the present embodiment is that a second air outlet 52 that blows out gas and a suction port 58 that sucks in gas are provided on the lower surface 55 of the bearing member 50.

図１２に示すように、ベアリング部材５０の下面５５には絞り溝（表面絞り）５９が形成されている。そして、絞り溝５９の内側の所定位置に、第２吹出口５２と吸引口５８とのそれぞれが設けられている。吸引口５８には真空系を含む不図示の吸引装置が吸引流路５８Ｌを介して接続されている。ガスベアリング機構３は、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面とを対向させた状態で、第２吹出口５２から気体を吹き出すとともに、吸引口５８を介して気体を吸引することにより、第２吹出口５２からの気体の吹き出しによる反発力と吸引口５８による吸引力との釣り合いにより、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面と間に所定のギャップＧ４を形成する。ガスベアリング機構３は、吸引口５８において下面５５に予圧を発生させることができる。すなわち、本実施形態のガスベアリング機構３は、第２吹出口５２からの気体の吹き出しによる反発力と、吸引口５８による吸引力との釣り合いとによって、ベアリング部材５０と基板Ｐとの間に所定のギャップＤ４を維持する予圧型のガスベアリングを形成する。そして、制御装置７は、第２吹出口５２からの単位時間当たりの気体吹き出し量と、吸引口５８を介した単位時間当たりの気体吸引量とを調整することによって、ギャップＧ４やガスベアリングの特性（剛性、減衰比など）を調整することができる。なお、ベアリング部材５０の下面５５の形態としては、オリフィス絞り、自成絞り等を採用してもよい。   As shown in FIG. 12, an aperture groove (surface aperture) 59 is formed on the lower surface 55 of the bearing member 50. Each of the second air outlet 52 and the suction port 58 is provided at a predetermined position inside the throttle groove 59. A suction device (not shown) including a vacuum system is connected to the suction port 58 via a suction flow path 58L. The gas bearing mechanism 3 blows out gas from the second blowout port 52 in a state where the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P face each other, and sucks the gas through the suction port 58, thereby A predetermined gap G <b> 4 is formed between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P by the balance between the repulsive force generated by blowing the gas from the two outlets 52 and the suction force generated by the suction port 58. The gas bearing mechanism 3 can generate a preload on the lower surface 55 at the suction port 58. That is, the gas bearing mechanism 3 of the present embodiment has a predetermined gap between the bearing member 50 and the substrate P by the balance between the repulsive force caused by the gas blown from the second blower outlet 52 and the suction force by the suction port 58. The preload type gas bearing that maintains the gap D4 is formed. And the control apparatus 7 adjusts the amount of gas blowout per unit time from the 2nd blower outlet 52, and the amount of gas suction per unit time via the suction opening 58, The characteristic of gap G4 or a gas bearing (Stiffness, damping ratio, etc.) can be adjusted. As the form of the lower surface 55 of the bearing member 50, an orifice diaphragm, a self-contained diaphragm, or the like may be adopted.

また、本実施形態の第３支持機構８３は、バネ部材（コイルバネ部材）８３Ｂを有しており、ベアリング部材５０を揺動可能に支持する。本実施形態の第３支持機構８３は、上述の第１、第２実施形態のような、内部空間８７を有する弾性部材８６や調整装置９０を備えていない。   Further, the third support mechanism 83 of the present embodiment has a spring member (coil spring member) 83B, and supports the bearing member 50 so as to be swingable. The third support mechanism 83 of the present embodiment does not include the elastic member 86 having the internal space 87 and the adjusting device 90 as in the first and second embodiments described above.

このように、本実施形態においては、ベアリング部材５０の下面５５に設けられた第２吹出口５２と吸引口５８とによって、ギャップＧ４やガスベアリングの特性を調整することができる。したがって、第３支持機構８３の構成を簡易化することができる。なお、図１１に示す例では、第３支持機構８３はコイルバネ部材８３Ｂを有しているが、板バネ部材等、他の弾性部材を有した構成であってもよい。また、第３支持機構８３は、ベローズ部材やバネ部材などの弾性部材に限られず、例えばヒンジ機構や、ゴム等の可撓性を有する可撓性部材などを有した構成であってもよい。要は、第３支持機構８３は、ベアリング部材５０を揺動可能な部材あるいは機構を有していればよい。なお、第３実施形態において、第３支持機構８３が、上述の第１、第２実施形態のような、内部空間８７を有する弾性部材８６や調整装置９０を備えていてもよい。   Thus, in the present embodiment, the characteristics of the gap G4 and the gas bearing can be adjusted by the second blowout port 52 and the suction port 58 provided on the lower surface 55 of the bearing member 50. Therefore, the configuration of the third support mechanism 83 can be simplified. In the example shown in FIG. 11, the third support mechanism 83 includes the coil spring member 83 </ b> B. However, the third support mechanism 83 may have another elastic member such as a leaf spring member. Further, the third support mechanism 83 is not limited to an elastic member such as a bellows member or a spring member, and may have a configuration including a hinge mechanism or a flexible member having flexibility such as rubber. In short, the third support mechanism 83 only needs to have a member or mechanism capable of swinging the bearing member 50. In the third embodiment, the third support mechanism 83 may include the elastic member 86 having the internal space 87 and the adjusting device 90 as in the first and second embodiments described above.

なお、上述の第１、第２実施形態においては、ベアリング部材５０の下面５５には、気体を吹き出す吹出口のみが設けられている構成であって、気体を吸引する吸引口は設けられていない構成である。このような構成とすることにより、仮に液体ＬＱがベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間に浸入した場合でも、液体ＬＱが吸引口から吸引されてしまうといった不都合を防止することができる。   In the first and second embodiments described above, the lower surface 55 of the bearing member 50 is provided with only a blowout port for blowing out gas, and is not provided with a suction port for sucking gas. It is a configuration. By adopting such a configuration, even if the liquid LQ enters between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P, it is possible to prevent the disadvantage that the liquid LQ is sucked from the suction port. it can.

＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態について説明する。図１３は第４実施形態を示す図である。上述の第１〜第３実施形態においては、基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５の間にガスベアリングを形成するガスベアリング機構３と、ベアリング部材５０を揺動可能に支持する第３支持機構８３とを含むギャップ調整機構によって、基板Ｐの表面とベアリング部材５０の下面５５との間のギャップＤ４を略一定に維持しているが、本実施形態の特徴的な部分は、アクチュエータ及びセンサを含むギャップ調整機構３’によって、基板Ｐの表面と第２吹出口５２を有する部材（第２ノズル部材）５０’の下面５５とのギャップＤ４を維持する点にある。 <Fourth embodiment>
Next, a fourth embodiment will be described. FIG. 13 is a diagram showing a fourth embodiment. In the first to third embodiments described above, the gas bearing mechanism 3 that forms a gas bearing between the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the bearing member 50, and the third support that supports the bearing member 50 in a swingable manner. The gap D4 between the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the bearing member 50 is maintained substantially constant by a gap adjusting mechanism including the mechanism 83, but the characteristic part of this embodiment is that the actuator and sensor The gap adjustment mechanism 3 ′ including the above structure is to maintain a gap D 4 between the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the member (second nozzle member) 50 ′ having the second outlet 52.

図１３に示すように、露光装置ＥＸは、第２ノズル部材５０’と基板Ｐとの位置関係を検出する検出装置７０を備えている。検出装置７０は、支持構造体８５（又はメインコラム８）と第２ノズル部材５０’との位置関係を検出する第１検出装置７１と、支持構造体８５（又はメインコラム８）と基板ステージ４に保持されている基板Ｐとの位置関係を検出する第２検出装置７２とを備えている。第１検出装置７１は、例えばレーザ干渉計などを含んで構成されており、第２ノズル部材５０’に設けられた反射面７１Ｌを用いて、支持構造体８５に対する第２ノズル部材５０’の位置を光学的に検出する。第２検出装置７２も、支持構造体８５に対する基板Ｐの位置を光学的に検出する。   As shown in FIG. 13, the exposure apparatus EX includes a detection device 70 that detects the positional relationship between the second nozzle member 50 ′ and the substrate P. The detection device 70 includes a first detection device 71 that detects the positional relationship between the support structure 85 (or main column 8) and the second nozzle member 50 ′, the support structure 85 (or main column 8), and the substrate stage 4. And a second detection device 72 for detecting a positional relationship with the substrate P held by the substrate. The first detection device 71 includes, for example, a laser interferometer and the like, and the position of the second nozzle member 50 ′ with respect to the support structure 85 using the reflection surface 71L provided on the second nozzle member 50 ′. Is detected optically. The second detection device 72 also optically detects the position of the substrate P with respect to the support structure 85.

第１検出装置７１は、第２ノズル部材５０’のＺ軸、θＸ、及びθＹ方向に関する位置を検出可能である。ここで、反射面７１Ｌと第２ノズル部材５０’の下面５５との位置関係は、設計値等によって既知であるため、第１検出装置７１は、反射面７１Ｌを用いて、第２ノズル部材５０’の下面のＺ軸、θＸ、及びθＹ方向に関する位置を検出可能である。また、第２検出装置７２は、基板ステージ４に保持された基板Ｐの表面のＺ軸、θＸ、及びθＹ方向に関する位置を検出可能である。第１、第２検出装置７１、７２の検出結果は制御装置７に出力され、制御装置７は、第１、第２検出装置７１、７２の検出結果に基づいて、第２ノズル部材５０’の下面５５と基板Ｐの表面とのＺ軸、θＸ、及びθＹ方向に関する位置関係を求めることができる。なお、検出装置７０としては、レーザ干渉計に限られず、例えば静電容量センサ、エンコーダ等、他の構成を有する検出装置を用いることも可能である。   The first detection device 71 can detect the position of the second nozzle member 50 ′ in the Z axis, θX, and θY directions. Here, since the positional relationship between the reflective surface 71L and the lower surface 55 of the second nozzle member 50 ′ is known from a design value or the like, the first detection device 71 uses the reflective surface 71L to make the second nozzle member 50. It is possible to detect the position of the lower surface of 'in the Z-axis, θX, and θY directions. Further, the second detection device 72 can detect the position of the surface of the substrate P held on the substrate stage 4 in the Z axis, θX, and θY directions. The detection results of the first and second detection devices 71 and 72 are output to the control device 7, and the control device 7 detects the second nozzle member 50 ′ based on the detection results of the first and second detection devices 71 and 72. The positional relationship between the lower surface 55 and the surface of the substrate P in the Z axis, θX, and θY directions can be obtained. The detection device 70 is not limited to a laser interferometer, and for example, a detection device having another configuration such as a capacitance sensor or an encoder can be used.

また、第２ノズル部材５０’を支持する第３支持機構８３’は、第２ノズル部材５０’駆動する駆動装置８３Ｄを備えている。駆動装置８３Ｄは、例えばローレンツ力で駆動するボイスコイルモータやリニアモータ等によって構成されており、第２ノズル部材５０’を、少なくともＺ軸、θＸ、及びθＹ方向に駆動可能である。また、ローレンツ力で駆動するボイスコイルモータ等はコイル部とマグネット部とを有し、それらコイル部とマグネット部とは非接触状態で駆動する。そのため、第２ノズル部材５０’を駆動する駆動装置８３Ｄを、ボイスコイルモータ等のローレンツ力で駆動する駆動装置によって構成することで、振動の発生を抑制することができる。   Further, the third support mechanism 83 ′ that supports the second nozzle member 50 ′ includes a driving device 83 </ b> D that drives the second nozzle member 50 ′. The driving device 83D is configured by, for example, a voice coil motor or a linear motor that is driven by a Lorentz force, and can drive the second nozzle member 50 'in at least the Z-axis, θX, and θY directions. A voice coil motor or the like that is driven by Lorentz force has a coil portion and a magnet portion, and the coil portion and the magnet portion are driven in a non-contact state. Therefore, by forming the driving device 83D that drives the second nozzle member 50 'by a driving device that is driven by a Lorentz force such as a voice coil motor, the occurrence of vibration can be suppressed.

基板Ｐの走査露光中など、基板Ｐの位置及び姿勢が変化する場合においても、制御装置７は、検出装置７０の検出結果に基づいて、基板Ｐの表面と第２ノズル部材５０’の下面５５’とのギャップＧ４を略一定に維持するように、駆動装置８３Ｄを駆動する。これにより、基板Ｐと第２ノズル部材５０’との衝突を防止しつつ、液体ＬＱの流出を防止することができる。   Even when the position and orientation of the substrate P change, such as during scanning exposure of the substrate P, the control device 7 determines the surface of the substrate P and the lower surface 55 of the second nozzle member 50 ′ based on the detection result of the detection device 70. The driving device 83D is driven so as to maintain the gap G4 with the 'substantially constant. Accordingly, it is possible to prevent the liquid LQ from flowing out while preventing a collision between the substrate P and the second nozzle member 50 '.

なお、本実施形態の第２ノズル部材５０’は、上述の第１、第２実施形態のベアリング部材５０と同等の構成を有しているように説明したが、ベアリング部材５０とは異なる形態であってもよい。すなわち、第２ノズル部材５０’は、基板Ｐの表面と対向し、第２吹出口５２を有する下面５５を有していればよく、基板Ｐの表面との間でガスベアリングを形成しなくてもよい。   In addition, although 2nd nozzle member 50 'of this embodiment demonstrated as having the structure equivalent to the bearing member 50 of the above-mentioned 1st, 2nd embodiment, it is a form different from the bearing member 50. There may be. That is, the second nozzle member 50 ′ only needs to have a lower surface 55 that faces the surface of the substrate P and has the second air outlet 52, and does not form a gas bearing with the surface of the substrate P. Also good.

＜第５実施形態＞
次に、第５実施形態について説明する。図１４は第５実施形態を示す図である。本実施形態の特徴的な部分は、第１吹出口３２と第２吹出口５２とが同じ部材に設けられている点にある。換言すれば、第１吹出口３２が、第２吹出口５２を有する第２ノズル部材５０’に設けられている点にある。 <Fifth Embodiment>
Next, a fifth embodiment will be described. FIG. 14 is a diagram showing a fifth embodiment. The characteristic part of this embodiment is that the first air outlet 32 and the second air outlet 52 are provided on the same member. In other words, the first air outlet 32 is provided in the second nozzle member 50 ′ having the second air outlet 52.

図１４において、露光装置ＥＸは、供給口１２及び回収口２２を有するノズル部材１０と、光路空間Ｋ１に対してノズル部材１０よりも外側に設けられた第２ノズル部材５０’とを備えている。第２ノズル部材５０’は、光路空間Ｋ１に対して回収口２２の外側に設けられ、気体ＧＳを吹き出す第１吹出口３２と、光路空間Ｋ１に対して第１吹出口３２の外側に設けられ、気体ＧＳを吹き出す第２吹出口５２とを備えている。第２ノズル部材５０’は、第２吹出口５２が設けられた下面５５を有しており、下面５５と基板Ｐの表面との間にガスベアリングが形成される。   In FIG. 14, the exposure apparatus EX includes a nozzle member 10 having a supply port 12 and a recovery port 22, and a second nozzle member 50 ′ provided outside the nozzle member 10 with respect to the optical path space K1. . The second nozzle member 50 ′ is provided outside the recovery port 22 with respect to the optical path space K1, and is provided outside the first air outlet 32 with respect to the optical path space K1 and the first air outlet 32 that blows out the gas GS. And a second outlet 52 for blowing out the gas GS. The second nozzle member 50 ′ has a lower surface 55 provided with a second air outlet 52, and a gas bearing is formed between the lower surface 55 and the surface of the substrate P.

第２ノズル部材５０’は、支持機構８３’に支持されている。支持機構８３’は、円環状に形成された第１ベローズ部材８６Ａと、円環状に形成され、第１ベローズ部材８６Ａを囲むように設けられた第２ベローズ部材８６Ｂと、円環状に形成され、第２ベローズ部材８６Ｂを囲むように設けられた第３ベローズ部材８６Ｃとを備えている。第１、第２、第３ベローズ部材８６Ａ、８６Ｂ、８６Ｃは、支持構造体８５の下面に接続された第１板部材８８と、第２ノズル部材５０’の上面とを接続するように設けられている。そして、第１板部材８８と、第２ノズル部材５０’の上面と、第１、第２ベローズ部材８６Ａ、８６Ｂとで囲まれた第１内部空間８７Ａに気体が満たされるとともに、第１板部材８８と、第２ノズル部材５０’の上面と、第２、第３ベローズ部材８６Ｂ、８６Ｃとで囲まれた第２内部空間８７Ｂに気体が満たされるようになっている。   The second nozzle member 50 'is supported by the support mechanism 83'. The support mechanism 83 ′ is formed in an annular shape, a first bellows member 86A formed in an annular shape, a second bellows member 86B formed in an annular shape so as to surround the first bellows member 86A, and an annular shape, And a third bellows member 86C provided so as to surround the second bellows member 86B. The first, second, and third bellows members 86A, 86B, and 86C are provided to connect the first plate member 88 connected to the lower surface of the support structure 85 and the upper surface of the second nozzle member 50 ′. ing. The first plate member 88, the upper surface of the second nozzle member 50 ', and the first inner space 87A surrounded by the first and second bellows members 86A and 86B are filled with gas, and the first plate member 88, the upper surface of the second nozzle member 50 ′, and the second internal space 87B surrounded by the second and third bellows members 86B and 86C are filled with gas.

第１内部空間８７Ａの圧力は第１調整装置９０Ａによって調整され、第２内部空間８７Ｂの圧力は第２調整装置９０Ｂによって調整される。第１、第２調整装置９０Ａ、９０Ｂは、上述の調整装置９０とほぼ同等の構成を有している。第１調整装置９０Ａは、供給口９１Ａから第１内部空間８７Ａに対して気体を供給するとともに、吸引口９２Ａを介して第１内部空間８７Ａの気体を吸引することで、第１内部空間８７Ａの圧力を調整可能である。同様に、第２調整装置９０Ｂは、供給口９１Ｂから第２内部空間８７Ｂに対して気体を供給するとともに、吸引口９２Ｂを介して第２内部空間８７Ｂの気体を吸引することで、第２内部空間８７Ｂの圧力を調整可能である。   The pressure in the first internal space 87A is adjusted by the first adjustment device 90A, and the pressure in the second internal space 87B is adjusted by the second adjustment device 90B. The first and second adjustment devices 90A and 90B have substantially the same configuration as the adjustment device 90 described above. The first adjustment device 90A supplies gas from the supply port 91A to the first internal space 87A, and sucks the gas in the first internal space 87A through the suction port 92A, so that the first internal space 87A The pressure can be adjusted. Similarly, the second adjustment device 90B supplies the gas from the supply port 91B to the second internal space 87B and sucks the gas in the second internal space 87B through the suction port 92B, so that the second internal space 87B The pressure in the space 87B can be adjusted.

また、本実施形態においては、第１供給流路３４の上端部は第１内部空間８７Ａに接続されており、第１吹出口３２と第１内部空間８７Ａとが第１供給流路３４を介して接続されている。また、第２供給流路５４の上端部は第２内部空間８７Ｂに接続されており、第２吹出口５２と第２内部空間８７Ｂとが第２供給流路５４を介して接続されている。   Further, in the present embodiment, the upper end portion of the first supply flow path 34 is connected to the first internal space 87A, and the first air outlet 32 and the first internal space 87A are connected via the first supply flow path 34. Connected. Further, the upper end portion of the second supply channel 54 is connected to the second internal space 87B, and the second outlet 52 and the second internal space 87B are connected via the second supply channel 54.

そして、第１内部空間８７Ａの気体が第１吹出口３２から吹き出され、第２内部空間８７Ｂの気体が第２吹出口５２から吹き出されるようになっている。例えば第２吹出口５２から気体を吹き出す場合には、制御装置７は、第２調整装置９０Ｂを用いて、第２内部空間８７Ｂの圧力を陽圧にすることで、第２内部空間８７Ｂの気体を、第２供給流路５４を介して第２吹出口５２に供給することができる。そして、第２内部空間８７Ｂの圧力を調整することによって、第２吹出口５２から吹き出される単位時間当たりの気体吹き出し量を調整することができ、ギャップＧ４を調整することができる。同様に、制御装置７は、第１調整装置９０Ａを用いて、第１内部空間８７Ａの圧力を陽圧にすることで、第１内部空間８７Ａの気体を、第１供給流路３４を介して第１吹出口３２に供給することができ、第１内部空間８７Ａの圧力を調整することによって、第１吹出口３２から吹き出される単位時間当たりの気体吹き出し量を調整することができる。   The gas in the first internal space 87A is blown out from the first air outlet 32, and the gas in the second internal space 87B is blown out from the second air outlet 52. For example, when gas is blown out from the second air outlet 52, the control device 7 uses the second adjustment device 90B to set the pressure in the second internal space 87B to a positive pressure, whereby the gas in the second internal space 87B. Can be supplied to the second outlet 52 via the second supply flow path 54. Then, by adjusting the pressure in the second internal space 87B, the amount of gas blown out per unit time blown out from the second blowout port 52 can be adjusted, and the gap G4 can be adjusted. Similarly, the control device 7 uses the first adjustment device 90 </ b> A to change the pressure in the first internal space 87 </ b> A to a positive pressure, thereby causing the gas in the first internal space 87 </ b> A to pass through the first supply channel 34. The amount of gas blown out per unit time blown out from the first blower outlet 32 can be adjusted by adjusting the pressure in the first inner space 87A.

以上説明したように、基板Ｐの表面との間でガスベアリングを形成する下面５５を有する第２ノズル部材５０’に第１吹出口３２を設けることにより、第１吹出口３２を有する第２ノズル部材５０’を基板Ｐの動きに追従させることができるので、第２ノズル部材５０’と基板Ｐとの衝突を防止しつつ、第１吹出口３２を基板Ｐに近い位置に設けることができる。   As described above, the second nozzle having the first air outlet 32 is provided by providing the first air outlet 32 in the second nozzle member 50 ′ having the lower surface 55 that forms a gas bearing with the surface of the substrate P. Since the member 50 ′ can follow the movement of the substrate P, the first air outlet 32 can be provided at a position close to the substrate P while preventing a collision between the second nozzle member 50 ′ and the substrate P.

そして、第１内部空間８７Ａの気体が第１吹出口３２から吹き出され、第２内部空間８７Ｂの気体が第２吹出口５２から吹き出されるようにすることで、上述の第１〜第４実施形態に比べて、例えば第２供給管５３を省略することができるなど、装置構成を簡略化することができる。また、第２供給管５３等の各種部材を省略することができるので、それら部材に起因する振動の発生を抑制し、第２ノズル部材５０’を円滑に揺動させることができる。一方、上述の第１〜第４実施形態のように、第１吹出口３２を有する部材（シール部材３０）と、第２吹出口５２を有する部材（ベアリング部材５０）とを別々に設ける場合には、ベアリング部材５０をコンパクト化できるので、ベアリング部材５０の制御性を向上することができる。また、第１吹出口３２を有する部材（シール部材３０）と、第２吹出口５２を有する部材（ベアリング部材５０）とを別々に設けることにより、各部材の設計の自由度や配置の自由度を向上することができる。   The gas in the first internal space 87A is blown out from the first air outlet 32, and the gas in the second internal space 87B is blown out from the second air outlet 52, so that the first to fourth embodiments described above are performed. Compared to the configuration, the apparatus configuration can be simplified, for example, the second supply pipe 53 can be omitted. In addition, since various members such as the second supply pipe 53 can be omitted, generation of vibrations caused by these members can be suppressed, and the second nozzle member 50 'can be smoothly swung. On the other hand, when providing the member (seal member 30) which has the 1st blower outlet 32, and the member (bearing member 50) which has the 2nd blower outlet 52 separately like the above-mentioned 1st-4th embodiment. Since the bearing member 50 can be made compact, the controllability of the bearing member 50 can be improved. Further, by separately providing a member having the first air outlet 32 (seal member 30) and a member having the second air outlet 52 (bearing member 50), the degree of freedom of design and the degree of arrangement of each member. Can be improved.

また、本実施形態においても、第１内部空間８７Ａには吸引口９２Ａが接続され、第２内部空間８７Ｂには吸引口９２Ｂが接続されているので、吸引口９２Ａ、９２Ｂを用いた吸引動作によって、第１、第２内部空間８７Ａ、８７Ｂを負圧にすることができる。したがって、第２ノズル部材５０’を上昇させたり、第２ノズル部材５０’の位置を調整することができる。   Also in this embodiment, since the suction port 92A is connected to the first internal space 87A and the suction port 92B is connected to the second internal space 87B, the suction operation using the suction ports 92A and 92B is performed. The first and second inner spaces 87A and 87B can be set to a negative pressure. Therefore, the second nozzle member 50 'can be raised and the position of the second nozzle member 50' can be adjusted.

なお、第５実施形態において、第１吹出口３２と第１内部空間８７Ａとを接続する流路の所定位置に、第１内部空間８７Ａから第１吹出口３２に供給される気体の単位時間当たりの量を調整可能な調整装置を設け、その調整装置を用いて、第１吹出口３２から吹き出される気体の量を調整するようにしてもよい。同様に、第２吹出口５２と第２内部空間８７Ｂとを接続する流路の所定位置に、第２内部空間８７Ｂから第２吹出口５２に供給される気体の単位時間当たりの量を調整可能な調整装置を設け、その調整装置を用いて、第２吹出口５２から吹き出される気体の量を調整するようにしてもよい。   In the fifth embodiment, per unit time of the gas supplied from the first inner space 87A to the first outlet 32 at a predetermined position of the flow path connecting the first outlet 32 and the first inner space 87A. It is also possible to provide an adjusting device capable of adjusting the amount of gas and adjust the amount of gas blown out from the first air outlet 32 using the adjusting device. Similarly, the amount per unit time of the gas supplied from the second internal space 87B to the second air outlet 52 can be adjusted to a predetermined position in the flow path connecting the second air outlet 52 and the second internal space 87B. An adjustment device may be provided, and the amount of gas blown out from the second outlet 52 may be adjusted using the adjustment device.

なお、第５実施形態においては、第１内部空間８７Ａと第１吹出口３２とが接続され、第２内部空間８７Ｂと第２吹出口５２とが接続されているが、例えば、第１吹出口３２を第１内部空間８７Ａと接続し、第２吹出口５２を第２供給管５３を介して気体供給装置に接続するようにしてもよい。あるいは、第２吹出口５２を第２内部空間８７Ｂと接続し、第１吹出口３２を第１供給管３３を介して気体供給装置に接続するようにしてもよい。   In the fifth embodiment, the first internal space 87A and the first air outlet 32 are connected, and the second internal space 87B and the second air outlet 52 are connected. For example, the first air outlet 32 may be connected to the first internal space 87 </ b> A, and the second outlet 52 may be connected to the gas supply device via the second supply pipe 53. Alternatively, the second outlet 52 may be connected to the second internal space 87 </ b> B, and the first outlet 32 may be connected to the gas supply device via the first supply pipe 33.

また、本実施形態においては、第１吹出口３２と第２吹出口５２とは同じ部材（第２ノズル部材）５０’に設けられているが、例えば上述の第１実施形態のように、第１吹出口３２をシール部材３０に設けるとともに第２吹出口５２をベアリング部材５０に設け、ベアリング部材５０を支持する弾性部材５６の内部空間５７と第２吹出口５２とを第２供給流路５４を介して接続するようにしてもよい。   In the present embodiment, the first air outlet 32 and the second air outlet 52 are provided in the same member (second nozzle member) 50 ′. For example, as in the first embodiment described above, The first air outlet 32 is provided in the seal member 30, the second air outlet 52 is provided in the bearing member 50, and the internal space 57 of the elastic member 56 that supports the bearing member 50 and the second air outlet 52 are connected to the second supply channel 54. You may make it connect via.

＜第６実施形態＞
次に、第６実施形態について説明する。図１５は第６実施形態を示す図である。図１５において、露光装置ＥＸは、光路空間Ｋ１に対して所定位置に設けられ、液体ＬＱを回収する回収口２２を有するノズル部材１０と、光路空間Ｋ１に対して回収口２２の外側に設けられ、気体を吹き出す吹出口５２を有する下面５５を有し、基板Ｐの表面との間でガスベアリングを形成するベアリング部材５０と、ノズル部材１０を支持する支持機構８１と、支持機構８１とは別に設けられ、ベアリング部材５０を揺動可能に支持する支持機構８３とを備えている。このように、第１吹出口３２（シール部材３０）を省略することも可能である。ガスベアリング機構３は、ベアリング部材５０と基板Ｐとの衝突を防止しつつ、ベアリング部材５０の下面５５と基板Ｐの表面との間に微小のギャップＤ４を形成可能であるため、光路空間Ｋ１に満たされた液体ＬＱの流出を効果的に防止することができる。 <Sixth Embodiment>
Next, a sixth embodiment will be described. FIG. 15 is a diagram showing a sixth embodiment. In FIG. 15, the exposure apparatus EX is provided at a predetermined position with respect to the optical path space K1, and is provided outside the recovery port 22 with respect to the nozzle member 10 having the recovery port 22 for recovering the liquid LQ and the optical path space K1. Separately from the support mechanism 81 which has the lower surface 55 which has the blower outlet 52 which blows off gas, and forms the gas bearing between the surfaces of the board | substrate P, the support mechanism 81 which supports the nozzle member 10, and the support mechanism 81 And a support mechanism 83 that supports the bearing member 50 in a swingable manner. Thus, the 1st blower outlet 32 (seal member 30) is also omissible. The gas bearing mechanism 3 can form a minute gap D4 between the lower surface 55 of the bearing member 50 and the surface of the substrate P while preventing the collision between the bearing member 50 and the substrate P, and therefore, in the optical path space K1. Outflow of the filled liquid LQ can be effectively prevented.

なお、上述の各実施形態において、最終光学素子ＦＬ、ノズル部材１０、シール部材３０、及びベアリング部材５０（第２シール部材５０’）の各表面の所定領域に、適宜、液体ＬＱに対して撥液性を発現させる撥液化処理（撥水化処理）を施すようにしてもよい。撥液化処理としては、例えば、フッ素系樹脂材料、アクリル系樹脂材料、シリコン系樹脂材料等の撥液性材料を被覆する処理等が挙げられる。例えば、最終光学素子ＦＬの側面ＬＳ及びノズル部材１０の内側面１０Ｔに撥液化処理を施すことにより、液体ＬＱがギャップＧ１に浸入することを抑制することができる。また、ノズル部材１０の側面１０Ｓやシール部材３０の内側面３０Ｔに撥液化処理を施すことにより、液体ＬＱがギャップＧ２に浸入することを抑制することができる。同様に、シール部材３０の側面３０Ｓや、ベアリング部材５０の内側面５０Ｔ、ベアリング部材５０の下面５５の所定領域（多孔部材２６以外の領域など）に撥液化処理を施すことができる。   In each of the embodiments described above, the final optical element FL, the nozzle member 10, the seal member 30, and the bearing member 50 (second seal member 50 ′) are appropriately repelled with respect to the liquid LQ in predetermined regions on the respective surfaces. You may make it perform the liquid-repellent process (water-repellent process) which expresses liquidity. Examples of the liquid repellency treatment include a treatment for coating a liquid repellent material such as a fluorine resin material, an acrylic resin material, or a silicon resin material. For example, the liquid LQ can be prevented from entering the gap G1 by performing the liquid repellent treatment on the side surface LS of the final optical element FL and the inner side surface 10T of the nozzle member 10. Further, by applying a liquid repellency treatment to the side surface 10S of the nozzle member 10 and the inner side surface 30T of the seal member 30, it is possible to prevent the liquid LQ from entering the gap G2. Similarly, a liquid repellent treatment can be performed on a predetermined region (such as a region other than the porous member 26) on the side surface 30S of the seal member 30, the inner surface 50T of the bearing member 50, and the lower surface 55 of the bearing member 50.

なお、上述の各実施形態においては、ノズル部材１０に設けられた排出流路１５の上端部は外部空間（大気空間）Ｋ３と接続されているが、内部空間Ｋ２に接続された排出流路１５の上端部と吸引装置とを接続して、内部空間Ｇ２の気体を強制的に排出するようにしてもよい。   In each of the above-described embodiments, the upper end portion of the discharge channel 15 provided in the nozzle member 10 is connected to the external space (atmospheric space) K3, but the discharge channel 15 connected to the internal space K2. The upper end portion of the gas and the suction device may be connected to forcibly discharge the gas in the internal space G2.

なお、上述の各実施形態において、第１気体供給装置３１から供給され、第１吹出口３２から吹き出される気体は、空気（ドライエア）であるが、第１気体供給装置３１から供給される気体としては、窒素ガス（ドライ窒素）等であってもよい。同様に、第２気体供給装置５１から供給される気体としては、空気（ドライエア）に代えて、窒素ガス（ドライ窒素）等であってもよい。また、第１気体供給装置３１から供給される気体と、第２気体供給装置５１から供給される気体とは同じ種類の気体であってもよいし、別の種類の気体であってもよい。また、上述の実施形態においては、第１吹出口３２から吹き出される気体は第１気体供給装置３１から供給されたものであり、第２気体吹出口５２から吹き出される気体は第２気体供給装置５１から供給されたものであるが、シール機構２とガスベアリング機構３とが同じ気体供給装置を兼用し、第１吹出口３２から吹き出される気体と第２気体吹出口５２から吹き出される気体とが同じ気体供給装置から供給されたものであってもよい。   In each of the embodiments described above, the gas supplied from the first gas supply device 31 and blown out from the first air outlet 32 is air (dry air), but the gas supplied from the first gas supply device 31. For example, nitrogen gas (dry nitrogen) may be used. Similarly, the gas supplied from the second gas supply device 51 may be nitrogen gas (dry nitrogen) or the like instead of air (dry air). In addition, the gas supplied from the first gas supply device 31 and the gas supplied from the second gas supply device 51 may be the same type of gas, or may be different types of gas. In the above-described embodiment, the gas blown from the first blower outlet 32 is supplied from the first gas supply device 31, and the gas blown from the second gas blower outlet 52 is the second gas supply. Although supplied from the device 51, the seal mechanism 2 and the gas bearing mechanism 3 also serve as the same gas supply device, and are blown from the gas blown from the first blower outlet 32 and the second gas blower 52. The gas may be supplied from the same gas supply device.

また、第１気体供給装置５１と第２気体供給装置５２とは、共に露光装置ＥＸが収容されたチャンバ内部の気体とほぼ同じ気体を供給するように設定されるものとしたが、これに限定されるものではない。例えば、各供給装置５１、５２によって気体の状態（温度、湿度、流量、流速等）を適宜設定してもよく、また、互いに独立に設定するようにしてもよい。   Further, both the first gas supply device 51 and the second gas supply device 52 are set so as to supply substantially the same gas as the gas inside the chamber in which the exposure apparatus EX is accommodated. However, the present invention is not limited to this. Is not to be done. For example, the gas state (temperature, humidity, flow rate, flow rate, etc.) may be set as appropriate by the supply devices 51 and 52, or may be set independently of each other.

また、シール機構２やガスベアリング機構３によって生成された気流に起因する基板Ｐの温度変化を補償するための補償機構を設けるようにしてもよい。例えば第１吹出口３２や第２吹出口５２から吹き出された気体によって、液体ＬＱの一部が気化し、その液体ＬＱが気化することによって生じる気化熱によって、基板Ｐの温度が変化（低下）する可能性がある。そのような基板Ｐの温度変化（低下）を抑制するために、例えば、第１吹出口３２から吹き出される気体の温度を、供給口１２から供給される液体ＬＱの温度よりも高くする。第１吹出口３２に気体を供給する第１気体供給装置３１は、供給する気体の温度を調整する温度調整装置を備えており、制御装置７は、第１気体供給装置３１を制御することによって、基板Ｐの温度変化を補償するための所望の温度を有する気体を第１吹出口３２から吹き出すことができる。あるいは、制御装置７は、基板Ｐの温度変化を補償するために、第２吹出口５２から吹き出す気体の温度を調整するようにしてもよい。あるいは、基板Ｐを保持する基板ホルダ５Ｈに、基板Ｐの温度を調整可能な温度調整装置を設け、この温度調整装置を用いて基板Ｐの温度変化（低下）を補償するようにしてもよい。   Further, a compensation mechanism for compensating for a temperature change of the substrate P caused by the air flow generated by the seal mechanism 2 or the gas bearing mechanism 3 may be provided. For example, a part of the liquid LQ is vaporized by the gas blown from the first blower outlet 32 or the second blower outlet 52, and the temperature of the substrate P is changed (decreased) by the heat of vaporization caused by vaporization of the liquid LQ. there's a possibility that. In order to suppress such temperature change (decrease) of the substrate P, for example, the temperature of the gas blown from the first blower outlet 32 is made higher than the temperature of the liquid LQ supplied from the supply port 12. The first gas supply device 31 that supplies gas to the first air outlet 32 includes a temperature adjustment device that adjusts the temperature of the gas to be supplied, and the control device 7 controls the first gas supply device 31 to control the temperature. The gas having a desired temperature for compensating for the temperature change of the substrate P can be blown out from the first air outlet 32. Alternatively, the control device 7 may adjust the temperature of the gas blown from the second air outlet 52 in order to compensate for the temperature change of the substrate P. Alternatively, a temperature adjustment device that can adjust the temperature of the substrate P may be provided in the substrate holder 5H that holds the substrate P, and the temperature change (decrease) of the substrate P may be compensated using this temperature adjustment device.

なお、上述の各実施形態において、ノズル部材１０やシール部材３０を支持構造体８５（メインコラム８）に対して移動可能に設けてもよい。例えば、弾性部材を含む支持機構によって、ノズル部材１０やシール部材３０を揺動可能に支持するようにしてもよい。この場合、ノズル部材１０やシール部材３０の一部に、基板Ｐの表面との間でガスベアリングを形成可能な面を設けることにより、基板Ｐとの衝突を防止することができる。あるいは、アクチュエータを含む駆動機構を備えた支持機構によって、ノズル部材１０やシール部材３０を移動可能に支持するようにしてもよい。   In each of the above-described embodiments, the nozzle member 10 and the seal member 30 may be provided so as to be movable with respect to the support structure 85 (main column 8). For example, the nozzle member 10 and the seal member 30 may be swingably supported by a support mechanism including an elastic member. In this case, a collision with the substrate P can be prevented by providing a part that can form a gas bearing with the surface of the substrate P in a part of the nozzle member 10 or the seal member 30. Alternatively, the nozzle member 10 and the seal member 30 may be movably supported by a support mechanism including a drive mechanism including an actuator.

また、上述の各実施形態では、回収口２２、第１吹出口３２、第２吹出口５２は、共に光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）を囲むように平面視円環状に形成されているが、これに限定されるものではない。例えば、光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）を平面視で四角枠状に囲むように構成してもよく、その形状は特に限定されるものではない。また、光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）の全域を囲むように限定されるものでもない。例えば、光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）のＹ軸方向の両側のみ、あるいはＸ軸方向の両側のみといったように、光路空間Ｋ１（投影領域ＡＲ）の一部を囲むように配置してもよく、液体ＬＱの流出を防止できる条件で適宜変更することが可能である。   In each of the above-described embodiments, the recovery port 22, the first air outlet 32, and the second air outlet 52 are all formed in an annular shape in plan view so as to surround the optical path space K1 (projection area AR). It is not limited to this. For example, the optical path space K1 (projection area AR) may be enclosed in a square frame shape in plan view, and the shape is not particularly limited. Further, the present invention is not limited to surround the entire optical path space K1 (projection area AR). For example, the optical path space K1 (projection area AR) may be disposed so as to surround a part of the optical path space K1 (projection area AR), such as only on both sides in the Y-axis direction or only on both sides in the X-axis direction. It is possible to appropriately change the conditions under which the outflow of the liquid LQ can be prevented.

上述したように、本実施形態における液体ＬＱは純水により構成されている。純水は、半導体製造工場等で容易に大量に入手できるとともに、基板Ｐ上のフォトレジストや光学素子（レンズ）等に対する悪影響がない利点がある。また、純水は環境に対する悪影響がないとともに、不純物の含有量が極めて低いため、基板Ｐの表面、及び投影光学系ＰＬの先端面に設けられている光学素子の表面を洗浄する作用も期待できる。なお工場等から供給される純水の純度が低い場合には、露光装置が超純水製造器を持つようにしてもよい。   As described above, the liquid LQ in the present embodiment is composed of pure water. Pure water has an advantage that it can be easily obtained in large quantities at a semiconductor manufacturing factory or the like, and has no adverse effect on the photoresist, optical element (lens), etc. on the substrate P. In addition, pure water has no adverse effects on the environment, and since the impurity content is extremely low, it can be expected to clean the surface of the substrate P and the surface of the optical element provided on the front end surface of the projection optical system PL. . When the purity of pure water supplied from a factory or the like is low, the exposure apparatus may have an ultrapure water production device.

そして、波長が１９３ｎｍ程度の露光光ＥＬに対する純水（水）の屈折率ｎはほぼ１．４４程度と言われており、露光光ＥＬの光源としてＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）を用いた場合、基板Ｐ上では１／ｎ、すなわち約１３４ｎｍに短波長化されて高い解像度が得られる。更に、焦点深度は空気中に比べて約ｎ倍、すなわち約１．４４倍に拡大されるため、空気中で使用する場合と同程度の焦点深度が確保できればよい場合には、投影光学系ＰＬの開口数をより増加させることができ、この点でも解像度が向上する。   The refractive index n of pure water (water) with respect to the exposure light EL having a wavelength of about 193 nm is said to be about 1.44, and when ArF excimer laser light (wavelength 193 nm) is used as the light source of the exposure light EL On the substrate P, the wavelength is shortened to 1 / n, that is, about 134 nm, and a high resolution can be obtained. Furthermore, since the depth of focus is enlarged by about n times, that is, about 1.44 times compared with that in the air, the projection optical system PL can be used when it is sufficient to ensure the same depth of focus as that in the air. The numerical aperture can be further increased, and the resolution is improved in this respect as well.

本実施形態では、投影光学系ＰＬの先端に光学素子ＦＬが取り付けられており、この光学素子により投影光学系ＰＬの光学特性、例えば収差（球面収差、コマ収差等）の調整を行うことができる。なお、投影光学系ＰＬの先端に取り付ける光学素子としては、投影光学系ＰＬの光学特性の調整に用いる光学プレートであってもよい。あるいは露光光ＥＬを透過可能な平行平面板であってもよい。   In the present embodiment, an optical element FL is attached to the tip of the projection optical system PL, and the optical characteristics of the projection optical system PL, for example, aberration (spherical aberration, coma aberration, etc.) can be adjusted by this optical element. . The optical element attached to the tip of the projection optical system PL may be an optical plate used for adjusting the optical characteristics of the projection optical system PL. Alternatively, it may be a plane parallel plate that can transmit the exposure light EL.

なお、液体ＬＱの流れによって生じる投影光学系ＰＬの先端の光学素子と基板Ｐとの間の圧力が大きい場合には、その光学素子を交換可能とするのではなく、その圧力によって光学素子が動かないように堅固に固定してもよい。   When the pressure between the optical element at the tip of the projection optical system PL generated by the flow of the liquid LQ and the substrate P is large, the optical element is not exchangeable but the optical element is moved by the pressure. It may be fixed firmly so that there is no.

なお、本実施形態では、投影光学系ＰＬと基板Ｐ表面との間は液体ＬＱで満たされている構成であるが、例えば基板Ｐの表面に平行平面板からなるカバーガラスを取り付けた状態で液体ＬＱを満たす構成であってもよい。   In the present embodiment, the space between the projection optical system PL and the surface of the substrate P is filled with the liquid LQ. However, for example, the liquid with the cover glass made of a plane-parallel plate attached to the surface of the substrate P is used. The structure which satisfy | fills LQ may be sufficient.

また、上述の実施形態の投影光学系は、先端の光学素子の像面側の光路空間を液体で満たしているが、国際公開第２００４／０１９１２８号パンフレットに開示されているように、先端の光学素子の物体面側の光路空間も液体で満たす投影光学系を採用することもできる。   In the projection optical system of the above-described embodiment, the optical path space on the image plane side of the optical element at the tip is filled with liquid, but as disclosed in International Publication No. 2004/019128, the optical at the tip is used. It is also possible to employ a projection optical system in which the optical path space on the object plane side of the element is filled with liquid.

なお、本実施形態の液体ＬＱは水であるが、水以外の液体であってもよい、例えば、露光光ＥＬの光源がＦ２レーザである場合、このＦ２レーザ光は水を透過しないので、液体ＬＱとしてはＦ２レーザ光を透過可能な例えば、過フッ化ポリエーテル（ＰＦＰＥ）やフッ素系オイル等のフッ素系流体であってもよい。この場合、液体ＬＱと接触する部分には、例えばフッ素を含む極性の小さい分子構造の物質で薄膜を形成することで親液化処理する。また、液体ＬＱとしては、その他にも、露光光ＥＬに対する透過性があってできるだけ屈折率が高く、投影光学系ＰＬや基板Ｐ表面に塗布されているフォトレジストに対して安定なもの（例えばセダー油）を用いることも可能である。 The liquid LQ of the present embodiment is water, but may be a liquid other than water. For example, when the light source of the exposure light EL is an F 2 laser, the F 2 laser light does not pass through water. The liquid LQ may be, for example, a fluorinated fluid such as perfluorinated polyether (PFPE) or fluorinated oil that can transmit F 2 laser light. In this case, a lyophilic treatment is performed by forming a thin film with a substance having a small molecular structure including fluorine, for example, in a portion in contact with the liquid LQ. In addition, as the liquid LQ, the liquid LQ is transparent to the exposure light EL, has a refractive index as high as possible, and is stable with respect to the photoresist applied to the projection optical system PL and the surface of the substrate P (for example, Cedar). Oil) can also be used.

また、液体ＬＱとしては、屈折率が１．６〜１．８程度のものを使用してもよい。更に、石英や蛍石よりも屈折率が高い（例えば１．６以上）材料で光学素子ＦＬを形成してもよい。   Moreover, as the liquid LQ, a liquid having a refractive index of about 1.6 to 1.8 may be used. Furthermore, the optical element FL may be formed of a material having a refractive index higher than that of quartz or fluorite (for example, 1.6 or more).

なお、上記各実施形態の基板Ｐとしては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版（合成石英、シリコンウエハ）等が適用される。   The substrate P in each of the above embodiments is not only a semiconductor wafer for manufacturing a semiconductor device, but also a glass substrate for a display device, a ceramic wafer for a thin film magnetic head, or an original mask or reticle used in an exposure apparatus. (Synthetic quartz, silicon wafer) or the like is applied.

露光装置ＥＸとしては、マスクＭと基板Ｐとを同期移動してマスクＭのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置（スキャニングステッパ）の他に、マスクＭと基板Ｐとを静止した状態でマスクＭのパターンを一括露光し、基板Ｐを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパ）にも適用することができる。   As the exposure apparatus EX, in addition to the step-and-scan type scanning exposure apparatus (scanning stepper) that scans and exposes the pattern of the mask M by moving the mask M and the substrate P synchronously, the mask M and the substrate P Can be applied to a step-and-repeat type projection exposure apparatus (stepper) in which the pattern of the mask M is collectively exposed while the substrate P is stationary and the substrate P is sequentially moved stepwise.

また、露光装置ＥＸとしては、第１パターンと基板Ｐとをほぼ静止した状態で第１パターンの縮小像を投影光学系（例えば１／８縮小倍率で反射素子を含まない屈折型投影光学系）を用いて基板Ｐ上に一括露光する方式の露光装置にも適用できる。この場合、更にその後に、第２パターンと基板Ｐとをほぼ静止した状態で第２パターンの縮小像をその投影光学系を用いて、第１パターンと部分的に重ねて基板Ｐ上に一括露光するスティッチ方式の一括露光装置にも適用できる。また、スティッチ方式の露光装置としては、基板Ｐ上で少なくとも２つのパターンを部分的に重ねて転写し、基板Ｐを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。   Further, as the exposure apparatus EX, a reduced image of the first pattern is projected with the first pattern and the substrate P being substantially stationary (for example, a refraction type projection optical system that does not include a reflecting element at 1/8 reduction magnification). The present invention can also be applied to an exposure apparatus that performs batch exposure on the substrate P using the above. In this case, after that, with the second pattern and the substrate P substantially stationary, a reduced image of the second pattern is collectively exposed onto the substrate P by partially overlapping the first pattern using the projection optical system. It can also be applied to a stitch type batch exposure apparatus. Further, the stitch type exposure apparatus can be applied to a step-and-stitch type exposure apparatus in which at least two patterns are partially transferred on the substrate P, and the substrate P is sequentially moved.

また、本発明は、特開平１０−１６３０９９号公報、特開平１０−２１４７８３号公報、特表２０００−５０５９５８号公報などに開示されているような複数の基板ステージを備えたツインステージ型の露光装置にも適用できる。   The present invention also relates to a twin stage type exposure apparatus having a plurality of substrate stages as disclosed in JP-A-10-163099, JP-A-10-214783, JP-T 2000-505958, and the like. It can also be applied to.

更に、特開平１１−１３５４００号公報や特開２０００−１６４５０４号公報に開示されているように、基板を保持する基板ステージと基準マークが形成された基準部材や各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも本発明を適用することができる。   Further, as disclosed in JP-A-11-135400 and JP-A-2000-164504, a measurement stage equipped with a substrate stage for holding a substrate, a reference member on which a reference mark is formed, and various photoelectric sensors. The present invention can also be applied to an exposure apparatus including the above.

露光装置ＥＸの種類としては、基板Ｐに半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置や、薄膜磁気ヘッド、撮像素子（ＣＣＤ）あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。   The type of the exposure apparatus EX is not limited to an exposure apparatus for manufacturing a semiconductor element that exposes a semiconductor element pattern onto the substrate P, but an exposure apparatus for manufacturing a liquid crystal display element or a display, a thin film magnetic head, an image sensor (CCD) ) Or an exposure apparatus for manufacturing reticles or masks.

なお、上述の実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン（又は位相パターン・減光パターン）を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第６，７７８，２５７号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する電子マスクを用いてもよい。   In the above-described embodiment, a light-transmitting mask in which a predetermined light-shielding pattern (or phase pattern / dimming pattern) is formed on a light-transmitting substrate is used. As disclosed in Japanese Patent No. 6,778,257, an electronic mask that forms a transmission pattern, a reflection pattern, or a light emission pattern based on electronic data of a pattern to be exposed may be used.

また、国際公開第２００１／０３５１６８号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板Ｐ上に形成することによって、基板Ｐ上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置（リソグラフィシステム）にも本発明を適用することができる。   Further, as disclosed in International Publication No. 2001/035168, an exposure apparatus (lithography system) that exposes a line-and-space pattern on a substrate P by forming interference fringes on the substrate P. The present invention can also be applied.

以上のように、本願実施形態の露光装置ＥＸは、本願特許請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。   As described above, the exposure apparatus EX according to the present embodiment maintains various mechanical subsystems including the respective constituent elements recited in the claims of the present application so as to maintain predetermined mechanical accuracy, electrical accuracy, and optical accuracy. Manufactured by assembling. In order to ensure these various accuracies, before and after assembly, various optical systems are adjusted to achieve optical accuracy, various mechanical systems are adjusted to achieve mechanical accuracy, and various electrical systems are Adjustments are made to achieve electrical accuracy. The assembly process from the various subsystems to the exposure apparatus includes mechanical connection, electrical circuit wiring connection, pneumatic circuit piping connection, and the like between the various subsystems. Needless to say, there is an assembly process for each subsystem before the assembly process from the various subsystems to the exposure apparatus. When the assembly process of the various subsystems to the exposure apparatus is completed, comprehensive adjustment is performed to ensure various accuracies as the entire exposure apparatus. The exposure apparatus is preferably manufactured in a clean room where the temperature, cleanliness, etc. are controlled.

半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図１６に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造するステップ２０３、前述した実施形態の露光装置ＥＸによりマスクのパターンを基板に露光する露光処理ステップ２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製造される。   As shown in FIG. 16, a microdevice such as a semiconductor device includes a step 201 for designing a function / performance of the microdevice, a step 202 for producing a mask (reticle) based on the design step, and a substrate as a substrate of the device. Manufacturing step 203, exposure processing step 204 for exposing the mask pattern onto the substrate by the exposure apparatus EX of the above-described embodiment, device assembly step (including dicing process, bonding process, packaging process) 205, inspection step 206, etc. It is manufactured after.

第１実施形態に係る露光装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the exposure apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る露光装置の要部を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows the principal part of the exposure apparatus which concerns on 1st Embodiment. 図２を下方から見た斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of FIG. 2 viewed from below. 図２のＹＺ平面と平行な側断面図である。FIG. 3 is a side sectional view parallel to the YZ plane of FIG. 2. 図２のＸＺ平面と平行な側断面図である。FIG. 3 is a side sectional view parallel to the XZ plane of FIG. 2. 液体の挙動を説明するための模式図である。It is a schematic diagram for demonstrating the behavior of a liquid. 第１実施形態に係る露光装置の動作を説明するための要部を拡大した図である。It is the figure which expanded the principal part for demonstrating operation | movement of the exposure apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る露光装置の動作を説明するための要部を拡大した図である。It is the figure which expanded the principal part for demonstrating operation | movement of the exposure apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第１実施形態に係る露光装置の動作を説明するための要部を拡大した図である。It is the figure which expanded the principal part for demonstrating operation | movement of the exposure apparatus which concerns on 1st Embodiment. 第２実施形態に係る露光装置の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the exposure apparatus which concerns on 2nd Embodiment. 第３実施形態に係る露光装置の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the exposure apparatus which concerns on 3rd Embodiment. 第３実施形態に係るベアリング部材の下面を示す図である。It is a figure which shows the lower surface of the bearing member which concerns on 3rd Embodiment. 第４実施形態に係る露光装置の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the exposure apparatus which concerns on 4th Embodiment. 第５実施形態に係る露光装置の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the exposure apparatus which concerns on 5th Embodiment. 第６実施形態に係る露光装置の要部を示す図である。It is a figure which shows the principal part of the exposure apparatus which concerns on 6th Embodiment. マイクロデバイスの製造工程の一例を説明するためのフローチャート図である。It is a flowchart figure for demonstrating an example of the manufacturing process of a microdevice.

符号の説明Explanation of symbols

１…液浸機構、２…シール機構、３…ガスベアリング機構、１０…ノズル部材、１２…供給口、２２…回収口、３０…シール部材、３２…第１吹出口、４２…第１排気口、４４…第２排気口、４６…吸引装置、５０…ベアリング部材、５０’…第２ノズル部材、５２…第２吹出口、５５…下面、８０…支持装置、８１…第１支持機構、８２…第２支持機構、８３…第３支持機構、８６…弾性部材、８７…内部空間、９０…調整装置、ＥＬ…露光光、ＥＸ…露光装置、ＧＳ…気体、Ｋ１…光路空間、Ｋ２…内部空間、Ｋ３…外部空間（大気空間）、ＬＱ…液体、Ｐ…基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Liquid immersion mechanism, 2 ... Sealing mechanism, 3 ... Gas bearing mechanism, 10 ... Nozzle member, 12 ... Supply port, 22 ... Recovery port, 30 ... Seal member, 32 ... 1st outlet, 42 ... 1st exhaust port 44 ... Second exhaust port, 46 ... Suction device, 50 ... Bearing member, 50 '... Second nozzle member, 52 ... Second air outlet, 55 ... Lower surface, 80 ... Support device, 81 ... First support mechanism, 82 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... 2nd support mechanism, 83 ... 3rd support mechanism, 86 ... Elastic member, 87 ... Internal space, 90 ... Adjustment apparatus, EL ... Exposure light, EX ... Exposure apparatus, GS ... Gas, K1 ... Optical path space, K2 ... Inside Space, K3 ... External space (atmosphere space), LQ ... Liquid, P ... Substrate

Claims (24)

露光光の光路空間に満たされた液体を介して基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
前記光路空間に対して所定位置に設けられ、液体を回収する回収口と、
前記光路空間に対して前記回収口の外側に設けられ、気体を吹き出す第１吹出口と、
前記光路空間に対して前記第１吹出口の外側に設けられ、気体を吹き出す第２吹出口とを備えた露光装置。 In an exposure apparatus that exposes the substrate by irradiating the substrate with exposure light through a liquid filled in an optical path space of the exposure light,
A recovery port provided at a predetermined position with respect to the optical path space and recovering the liquid;
A first air outlet that is provided outside the recovery port with respect to the optical path space and blows out a gas;
An exposure apparatus comprising a second air outlet that is provided outside the first air outlet and blows out gas relative to the optical path space. 前記第１吹出口及び前記第２吹出口のそれぞれは、前記光路空間に満たされた液体をシールするための気流を生成する請求項１記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 1, wherein each of the first air outlet and the second air outlet generates an air flow for sealing the liquid filled in the optical path space. 前記第１吹出口及び前記第２吹出口のそれぞれは、前記基板と対向する位置に設けられている請求項１又は２記載の露光装置。   3. The exposure apparatus according to claim 1, wherein each of the first air outlet and the second air outlet is provided at a position facing the substrate. 前記第２吹出口は、前記第１吹出口よりも前記基板に近い位置に設けられている請求項１〜３のいずれか一項記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 1, wherein the second air outlet is provided at a position closer to the substrate than the first air outlet. 前記第１吹出口は、前記光路空間に向けて前記基板の表面に対して傾斜方向に気体を吹き出し、
前記第２吹出口は、前記基板の表面に向けて気体を吹き出す請求項１〜４のいずれか一項記載の露光装置。 The first air outlet blows gas in an inclined direction with respect to the surface of the substrate toward the optical path space,
The exposure apparatus according to claim 1, wherein the second air outlet blows gas toward the surface of the substrate. 前記第１吹出口及び前記第２吹出口のそれぞれは、前記光路空間を囲むように環状に形成されている請求項１〜５のいずれか一項記載の露光装置。   6. The exposure apparatus according to claim 1, wherein each of the first air outlet and the second air outlet is formed in an annular shape so as to surround the optical path space. 前記回収口は、前記光路空間を囲むように環状に形成されている請求項１〜６のいずれか一項記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 1, wherein the recovery port is formed in an annular shape so as to surround the optical path space. 前記回収口と前記第１吹出口との間に設けられた排気口を有する請求項１〜７のいずれか一項記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 1, further comprising an exhaust port provided between the recovery port and the first air outlet. 前記排気口は、外部空間と接続されている請求項８記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 8, wherein the exhaust port is connected to an external space. 前記排気口に接続され、前記気体を吸引する吸引装置を備えた請求項８又は９記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 8, further comprising a suction device that is connected to the exhaust port and sucks the gas. 前記回収口を有する第１部材と、
前記光路空間に対して前記第１部材よりも外側に設けられ、前記第２吹出口を有する第２部材と、
前記第１部材を支持する第１支持機構と、
前記第１支持機構とは別に設けられ、前記第２部材を揺動可能に支持する第２支持機構とを備えた請求項１〜１０のいずれか一項記載の露光装置。 A first member having the recovery port;
A second member provided outside the first member with respect to the optical path space and having the second outlet;
A first support mechanism for supporting the first member;
The exposure apparatus according to claim 1, further comprising a second support mechanism that is provided separately from the first support mechanism and supports the second member in a swingable manner. 前記第１吹出口は、前記第１部材及び第２部材とは別の第３部材に設けられている請求項１１記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 11, wherein the first air outlet is provided in a third member different from the first member and the second member. 前記第１吹出口は、前記第２部材に設けられている請求項１１記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 11, wherein the first air outlet is provided in the second member. 前記第２部材は、前記基板の表面と対向する下面を有し、前記第２吹出口は、前記第２部材の下面に設けられ、
前記基板の表面と前記第２部材の下面との間でガスベアリングが形成される請求項１１〜１３のいずれか一項記載の露光装置。 The second member has a lower surface facing the surface of the substrate, and the second outlet is provided on the lower surface of the second member,
The exposure apparatus according to claim 11, wherein a gas bearing is formed between a surface of the substrate and a lower surface of the second member. 前記第２部材は、前記基板の表面と対向する下面を有し、前記第２吹出口は、前記第２部材の下面に設けられ、
前記基板の表面と前記第２部材の下面とのギャップが略一定に維持される請求項１１〜１３のいずれか一項記載の露光装置。 The second member has a lower surface facing the surface of the substrate, and the second outlet is provided on the lower surface of the second member,
The exposure apparatus according to claim 11, wherein a gap between the surface of the substrate and the lower surface of the second member is maintained substantially constant. 露光光の光路空間に満たされた液体を介して基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
前記光路空間に対して所定位置に設けられ、液体を回収する回収口を有する第１部材と、
前記光路空間に対して前記回収口の外側に設けられ、気体を吹き出す吹出口を有する下面を有し、前記基板の表面との間でガスベアリングを形成する第２部材と、
前記第１部材を支持する第１支持機構と、
前記第１支持機構とは別に設けられ、前記第２部材を揺動可能に支持する第２支持機構とを備えた露光装置。 In an exposure apparatus that exposes the substrate by irradiating the substrate with exposure light through a liquid filled in an optical path space of the exposure light,
A first member provided at a predetermined position with respect to the optical path space and having a recovery port for recovering the liquid;
A second member that is provided outside the recovery port with respect to the optical path space, has a lower surface having a blow-out port for blowing out gas, and forms a gas bearing with the surface of the substrate;
A first support mechanism for supporting the first member;
An exposure apparatus comprising: a second support mechanism that is provided separately from the first support mechanism and supports the second member in a swingable manner. 前記ガスベアリングによって、前記光路空間に満たされた液体をシールする請求項１６記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 16, wherein the liquid filled in the optical path space is sealed by the gas bearing. 前記第２支持機構は、気体が満たされる内部空間を有する弾性部材を有し、
前記内部空間の圧力を調整する調整装置を備えた請求項１６又は１７記載の露光装置。 The second support mechanism has an elastic member having an internal space filled with gas,
The exposure apparatus according to claim 16 or 17, further comprising an adjusting device for adjusting a pressure in the internal space. 前記調整装置は、前記内部空間の圧力を調整することによって、前記ガスベアリングの剛性を調整する請求項１８記載の露光装置。   19. The exposure apparatus according to claim 18, wherein the adjustment device adjusts the rigidity of the gas bearing by adjusting the pressure in the internal space. 前記調整装置は、前記内部空間の圧力を調整することによって、前記第２部材の下面と前記基板の表面との距離を調整する請求項１８又は１９記載の露光装置。   The exposure apparatus according to claim 18 or 19, wherein the adjustment device adjusts a distance between a lower surface of the second member and a surface of the substrate by adjusting a pressure in the internal space. 前記吹出口と前記内部空間とは接続されており、
前記内部空間の気体が前記吹出口から吹き出される請求項１８〜２０のいずれか一項記載の露光装置。 The outlet and the internal space are connected,
21. The exposure apparatus according to any one of claims 18 to 20, wherein the gas in the internal space is blown out from the outlet. 露光光の光路空間に満たされた液体を介して基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
前記光路空間に対して所定位置に設けられ、液体を回収する回収口を有する第１部材と、
前記光路空間に対して前記回収口の外側に設けられ、気体を吹き出す吹出口を有し、前記基板の表面と対向する下面を有する第２部材と、
前記第１部材を支持する第１支持機構と、
前記第１支持機構とは別に設けられ、前記第２部材を揺動可能に支持する第２支持機構と、
前記基板の表面と前記第２部材の下面とのギャップを略一定に維持するギャップ調整機構とを備えた露光装置。 In an exposure apparatus that exposes the substrate by irradiating the substrate with exposure light through a liquid filled in an optical path space of the exposure light,
A first member provided at a predetermined position with respect to the optical path space and having a recovery port for recovering the liquid;
A second member that is provided outside the recovery port with respect to the optical path space, has a blow-out port for blowing out gas, and has a lower surface facing the surface of the substrate;
A first support mechanism for supporting the first member;
A second support mechanism which is provided separately from the first support mechanism and supports the second member in a swingable manner;
An exposure apparatus comprising: a gap adjusting mechanism that maintains a substantially constant gap between the surface of the substrate and the lower surface of the second member. 前記基板を所定の走査方向に移動しながら露光する請求項１〜２２のいずれか一項記載の露光装置。   The exposure apparatus according to any one of claims 1 to 22, wherein the exposure is performed while moving the substrate in a predetermined scanning direction. 請求項１〜請求項２３のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
A device manufacturing method using the exposure apparatus according to any one of claims 1 to 23.
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