JP2007005353A - 載置台 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】載置台本体12とヒータブロック14とのスペースを、プラズマ入熱の際に、一定とするために、載置台本体12とヒータブロック14とをボルト17とコイルスプリング19とで弾性的に保持する。このコイルスプリング19によって、載置台本体12とヒータブロック14とは垂直方向に拘束され、水平方向に自由となり、スペースは、プラズマ入熱の際にも一定となる。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 支持部材に固定された載置台本体と、載置台本体上に配置されたヒータブロックとを備えたプラズマ処理される基板の載置台において、
前記ヒータブロックと載置台本体とを連結する複数のボルトと、
前記ボルトの頭部と載置台本体との間に介在する弾性体とを設け、
前記弾性体は、プラズマ入熱の熱流束の方向に一定荷重でヒータブロックを保持し、ヒータブロックが熱膨張して自由に移動する方向をプラズマ入熱の熱流束の方向とは直角方向とすることを特徴とする載置台 - 前記弾性体が、コイルスプリングであることを特徴とする請求項1に記載の載置台
- 前記弾性体が、ゴムリングであることを特徴とする請求項1に記載の載置台
- 前記ヒータブロックと載置台本体との間に、熱インシュレータを介在させることを特徴とする請求項1に記載の載置台
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