JP2006505795A - マイクロ片持ばりアレイ用の多重照明器、および素子読取装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 この発明は、多重照明器を備える素子読取装置と、多重照明器と、多数のマイクロ片持ばりの偏向の読取方法を提供する。
【解決手段】 この多重照明器は、電磁光線のアレイを発生させる複数のＶＣＳＥＬ（１０１ａ）を備え、その光線を片持ばり（１０３ａ）に焦点を合わせる片持ばりのアレイ（１０３）を照らすためのマイクロ光学の半組立品（照明器）（１０１）を備える。片持ばりの偏向は、片持ばりから反射される光線の角度の変化を引き起こす。そして、その変化は、複数の位置高感度装置（１０６ａ）を備えるアレイ（１０６）によって記録される。素子の中に備えられる検出器アレイの読取方法が、少なくとも一つの電磁光線が検出器アレイの少なくとも一つの検出器を照らすものであって、アレイに配列した複数の電磁光線によって各検出器アレイを照らすことと、検出器から反射した複数の電磁光線を検出することとを含むことを特徴とする。

Description

この発明の態様は、マイクロ片持ばりの偏向を読み取る装置とその方法、および多数の電磁光線を発生させ、焦点を合わせ、検出する装置とその方法を提供することを目的にする。

成形加工の分野とマイクロ片持ばりの使用方法の発達は、多量の試料の中から極めて少ない量の様々な物質を迅速に検出する技術をもたらした。この検出技術は、診断と環境測定の分野に利用される。さらに、軍事的な重要性を持つ化学物質や病原体の測定の分野にも利用される。

このマイクロ片持ばりは、２０００年４月１８日に発行された米国特許番号６，０５０，７２２と、２０００年８月１日に発行された米国特許番号６，０９６，５５９に記載されている。一つの面を有するマイクロ片持ばりは、環境中に存在する数種類のマイクロ力の一つ以上を検出するために特製される。このマイクロ力は、片持ばりの偏向に結びつく片持ばりの表面張力の変化を引き起こす。マイクロ力は、２０００年９月１２日に発行された米国特許番号６，１１８，１２４と、２００１年１２月４日に発行された米国特許番号６，３２５，９０４に記載されている。そして、この出願の明細書では、これらに記載された技術を取り入れている。一般的に、マイクロ片持ばりは、マイクロ力がない場合の最初の位置、または休止の位置から、マイクロ力がある場合の位置に偏向する。化学的なマイクロ力は、流体試料中の化学成分の存在下で、片持ばりと接触して発生する。この成分は、特製された片持ばりアレイの片持ばり面の成分と相互に作用して結合する。

マイクロ片持ばりを用いた検知器技術の最も有効的な使用のために、多数のマイクロ片持ばりの偏向を同時に読み取る装置が望ましい。さらに、有用な出力を取り出すために、データを記録し分析するシステムとこのような装置を一体化することが望ましい。

この発明の一つの実施形態は、 素子内に含まれる検出器のアレイの読取方法と、検出器から反射された複数の電磁光線の検知方法を提供すること目的にする。この読取方法は、少なくとも一つの電磁光線が少なくとも一つの検出器アレイを照らすように、アレイに配列される複数の電磁光線を用いて素子内の各検出器アレイを照らすことを含んでいる。関連した実施形態において、照らすことは、縦型空洞表面放出レーザー（以下、ＶＣＳＥＬという）アレイから電磁光線を送ることを含む。一般に、この検出器は、素子内のマイクロ片持ばりである。そして、素子の各セルが複数のマイクロ片持ばりを有する。

このマイクロ片持ばりから反射される光線が位置検出検出器（以下、ＰＳＤという）によって電流に変わるように、マイクロ片持ばりの検知偏向は、少なくとも一つのＰＳＤを用いることを含む。なお、この電流の大きさは、ＰＳＤに入射する光線の位置によって測定できる。他の実施例では、検知偏向を電荷結合素子（以下、ＣＣＤという）によって行ってもよい。さらに、マイクロフルイディックス素子は、ＶＣＳＥＬアレイから少なくとも約３ｍｍ、または少なくとも約５ｍｍ離れる。例えば、この距離が、最低約２０ｍｍ、または最低約３０ｍｍ、または約９０ｍｍでもよい。

第１の実施例において、検出器を照らすことは、 電磁光線を発生させることによって行われる 。多重照明器は、この素子読取装置内の半組立品である。この照明器は、基板に取り付けられたＶＣＳＥＬアレイから電磁光線を発生させる。さらに、この検出器を照らすことには、ＶＣＳＥＬと検出器との間に、少なくとも一つの光線分割器を組み込んでもよい。照明の波長は、約６７０ｎｍから約８５０ｎｍ、または約１，２００ｎｍプラスマイナス２０ｍｎから約１，５５０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍでもよい。例えば、照明の波長は、７６０ｎｍプラスマイナス約２０ｎｍでも、８５０ｎｍプラスマイナス約２０ｎｍでもよい。

さらに、この明細書に記載の読取方法と検知方法の実施例は、 液体の分析のために素子内に試料液を入れるようにしてもよい。適当な素子は、２００３年５月１５日に公開された米国特許出願１０／０５４，７６０（公開番号米国２００３−００９２０１６に記載されている。この試料液は、生物学的な試料や環境的な試料である。この試料液は、マイクロ片持ばりに結合する生物学的な成分や分子でもよい。例えばこの生物学的な成分や分子は、核酸や、タンパク質や、脂質や、薬品や、毒物である。また、ウイルスや細胞の全体や一部でもよい。この実施形態において、照明器は、マイクロフルイディックス素子の中に設置されたマイクロ片持ばりの偏向を、読み取るのために利用される。このマイクロ片持ばりの偏向の検出は、マイクロ片持ばりの表面の分子に結合するマイクロフルイディックス素子の中に含まれる試料中の成分の結合を検出するために利用できる。

この発明の他の実施形態は、素子読取装置を目的とする。この素子読取装置は、 マイクロフルイディックス素子に含まれるマイクロ力検出器アレイを読み取るための装置であり、マイクロフルイディックス素子を収容するために開口を有する筐体を備える装置である。素子読取装置は、筐体の中に置かれる複数の照明器を有する多重照明器を備える。この多重照明器を構成する各照明器は、検出器アレイの中の検出器の少なくとも一つの検出器に電磁光線を提供するように構成される。検出器アレイは、筐体に含まれる位置検出素子であり、検出器から反射される少なくとも一つの電磁光線を受けるために配置される。一般に、検出器はマイクロ片持ばりであり、照明器は複数の縦型空洞表面放出レーザー（以下、ＶＣＳＥＬという）を直線的に配列したものである。マイクロフルイディックス素子は、ＶＣＳＥＬから所定の距離をおいて設置してもよい、例えば、その距離は、約３ｍｍ、または約５ｍｍである。例えば、その距離は、約２０ｍｍまたは、約３０ｍｍから約９０ｍｍである。例えば、その距離は、約２０ｍｍ、または約３０ｍｍでもよい。この素子読取装置は、照明器から電磁光線を導くための光線割器を備えてもよい。この照明器は、約７６０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍや、約８５０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍの波長の電磁光線を発生させてもよい。

このマイクロフルイディックス素子は、少なくとも一つの相互作用セルと、試料液を相互作用セルに入れるための少なくとも一つの出入口と、ポンプと、マイクロフルイディックス素子の中で液体の動きを制御するための少なくとも一つの弁とを備えてもよい。相互作用セルの中の複数のマイクロ片持ばねは、試料液の成分に結合するように構成されてもよい 。例えば、マイクロ片持ばりは、生物学的な試料や環境的な試料の分子に結合するように構成されてもよい。この生物学的な試料は、核酸や、タンパク質や、脂質や、薬品や、毒物であってもよい。また、微生物自体や微生物の一部分でもよい。

多重照明器は、ＶＣＳＥＬとマイクロ片持ばり検出器との間に設置されるマイクロレンズ・アレイを備えてもよい。このＶＣＳＥＬは、半組立品の内部の表面の上の熱伝導性基板と電気伝導基板に取り付けてもよい。そして、この熱伝導性基板と導電性基板基坂は、照明器の筐体の内部表面であるコバーでもよい。この電気伝導基板は、ＶＣＳＥＬ型の一般的な陰極を動かないように結合させるために利用される。この装置は、電気相互接続回路であるマイクロフレックス回路を備えてもよい。このマイクロマイクロフレックス回路は、例えばカプトン・イー（登録商標）のようなポリイミドフィルム上の電着銅である。
マイクロフレックス回路の代替金属は、例えば、銅、ニッケル、金、またはこれらの金属から成る層である。このマイクロフレックス回路は、ＶＣＳＥＬ陽極に対する接点の導線結合を容易にするために配列される複数の電気的接点を備えてもよい。ＶＣＳＥＬ出力開口部の直径は、約１μｍから１０μｍであり、例えば約１．５μｍか、約２μｍか、約３μｍか、約４μｍか、約５μｍである。このＶＣＳＥＬ出力開口部の直径は、例えば約５μｍの大きさに統一してもよい。または、この開口部の直径が、異なる大きさになるように配列してもよい。

電磁光線のアレイは、少なくとも約２０個の光線、例えば少なくとも約３０個の光線、または少なくとも６０個の光線から成る。位置高感度素子（以下、ＰＳＤという）は、少なくとも一つの感光性の素子から成る。そして、マイクロ片持ばりの一つ以上から反射される一つ以上の電磁光線の位置が、マイクロ片持ばりの偏向の程度を示すことを特徴にする。一つの実施例において、ＰＳＤの総数がマイクロフルイディックス素子の相互作用セルの総数と一致するように、相互作用素子の中の複数のマイクロ片持ばりからの電磁光線は、一つのＰＳＤに導かれる。具体例では、マイクロフルイディックス素子は、４つの相互作用セルを備え、素子読取装置は４つのＰＳＤを備えている。他の実施例では、４つの標的から反射される光は、一つのＰＳＤに導かれる。

この発明の一つの実施形態は、複数の標的を照らすためのマイクロ光学の半組立品である多重照明器である。この多重照明器は、マイクロレンズを直線に配列したマイクロレンズ・アレイにおいて、複数の電磁光線を発生させ、伝達させる手段を備える。ここで、マイクロレンズ・アレイは、複数の各標的に照明のスポットを出力するために各電磁光線の焦点を合わせるためのものである。また、マイクロレンズ・アレイは、電子部品と制御と配線ハーネスとインターフェースコネクターとを備えた電気回路でもある。標的は、電磁光線のスポットが標的上に形成されて、その電磁光線が標的から反射するように、マイクロレンズ・アレイから一定距離に設置される。この多重照明器は、半組立品用の筐体をさらに備える。この筐体の中には、標的を保持する素子読取装置と、標的からの電磁光線の反射を読み取るための追加的な構成部品が据え付けられる。ある実施例では、電子部品と制御と配線ハーネスとインターフェースコネクターとを備えた電気回路は、電力を発生させるための手段に連結する電力を受けるためのコネクターである。

一般に、標的は、マイクロ力検出器の一つのアレイであってもよい。例えば、複数のマイクロ片持ばりとマイクロ片持ばりは、筐体の中に配置される取り外し可能なマイクロフルイディックス素子の中に設置されてもよい。この素子読取装置は、マイクロフルイディックス素子の中の複数の相互作用セルに設置される標的から反射される電磁光線を受け、そして処理するための一つまたは複数の位置高感度素子を備えていてもよい 。マイクロ片持ばりのこの表面は、 マイクロ力に力を与える物質を含んでもよい。このマイクロ力は、化学的なマイクロ力や、磁気のマイクロ力や、熱的なマイクロ力や、圧電性のマイクロ力や、ピエゾ抵抗素子のマイクロ力でもよい。

この発明は、他の実施形態において、複数の検出器を読み取るための電磁光線の一つのアレイを発生させるために、多重照明器を提供する。この多重照明器は、複数の縦型空洞表面放出レーザー（以下、ＶＣＳＥＬという）と、電子回路と制御を有する回路と、筐体とを備える。この検出器は、一般に、マイクロ片持ばりである。この照明器は、光線分割器を備えてもよい。この照明器は、約６７０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍから約１，５５０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍの波長の電磁光線のアレイを発生する 。一般に、この照明器は、約８５０ｎｍプラスマイナス約２０ｎｍの波長の電磁光線のアレイを発生する。
他の実施例では、この照明器は、約７６０ｎｍプラスマイナス約２０ｍｎの波長の電磁光線のアレイを発生する。この照明器は、ＶＣＳＥＬとマイクロ力検出器との間に、マイクロレンズ・アレイを備えてもよい。

この照明器は、この明細書において記載される素子読取装置の半組立品である。この照明器半組立品を組み立てる際に、ＶＣＳＥＬアレイ・チップは、熱と電気によって伝導基板に取り付けてもよい。例えば、ＶＣＳＥＬアレイ集積回路は、コバー筐体に直接に取り付けてもよい。この半組立品は、複数のＶＣＳＥＬ出力開口部を備える。 そして、このＶＣＳＥＬ出力開口部は、約１．５μｍと約２．０μｍと約３．０μｍと約４．０μｍと約５．０μｍとからなる集団から選ばれた直径を有する。他の実施例において、ＶＣＳＥＬ出力開口部は、少なくとも約１．５μｍから約５μｍの直径でも、少なくとも約５μｍから約１０μｍの直径でも、少なくとも約１０μｍから約１５μｍの直径でも、少なくとも約１５μｍから約２０μｍの直径でもよい。この半組立品は、例えばコバー（登録商標）から成る筐体に設置されてもよい。マイクロ保定器ねじ根止め材を有する窓が付けられた蓋は、筐体に取り付けられる。マイクロレンズ・アレイを備えたマイクロレンズ保持具は、マイクロ保定器ねじ根止め材に取り付けられる。

この半組立品は、照明器が複数の、例えば少なくとも３０個、または少なくとも６０個のＶＣＳＥＬを備える多重照明器である。それぞれのＶＣＳＥＬは、一つずつ、あるいは使用者が定めたグループごとに、オンとオフが切り替えられるように、それぞれにアドレス指定ができる。この多重照明器を、素子読取装置内に置いてもよい。この素子読取装置は、マイクロ片持ばりアレイが置かれた複数の相互作用セルを有するマイクロフルイディックス素子も収容している。各電磁光線は、各マイクロ片持ばりの上に焦点を合わせた直径の中に、約２０μｍから約１００μｍのスポットを照らす。さらに、ＶＣＳＥＬからマイクロ片持ばりまでの距離は、約３０ｍｍである。

この発明の各実施形態に関する物質的な仕組みを、図１を参照しながら説明する。図１は、この発明の一つ実施形態の素子読取装置１００の機能的構成図である。この素子読取装置１００は、電磁光線１０１ｂを放射する縦型空洞表面放出レーザー１０１ａ（以下、ＶＣＳＥＬという）のアレイ１０１と、この電磁光線１０１ｂが通過するマイクロレンズ１０９と、第１光線分割器１０２と、第２光線分割器１０４に電磁光線１０１ｂを反射させるマイクロ片持ばり１０３ａのアレイ１０３と、円柱レンズ１０５の組立体と、光または光電子検出器１０６ａを備える線形位置高感知素子（以下、ＰＳＤという）アレイ１０６と、図１において画面として示す画像１０７ａを検出するテレビカメラ１０７とを備える。図１に示すように、この電磁光線１０１ｂが、 図示しない筐体の上に取り付けることができる干渉フィルター１０８を通過するようにしてもよい。図１に示さないが、このマイクロ片持ばりは、この明細書において記載するように、一般的にマイクロフルイディックス素子の中に含められる。

ＶＣＳＥＬアレイ１０１は、直線配列の複数の電磁光線１０１ｂを発生する。一つの実施例において、この電磁光線１０１ｂの波長は、約７６０ｎｍプラスマイナス約２０ｎｍである。別の波長は、他の実施例ために考え出される。別の波長は、以下のものに限定されないが、例えば約６７０ｎｍプラスマイナス ２０ｎｍから約８５０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍまで、または 約６７０ｎｍプラスマイナス ２０ｎｍから約１，５５０mnプラスマイナス ２０ｎｍまでである。一つの実施例において、電磁光線１０１ｂの配列は、約２５０μｍの距離を保っている。そして、この電磁光線１０１ｂの配列は、マイクロ片持ばり１０３ａの幅の和、さらに隣接したマイクロ片持ばり１０３ａの間隔と一致する。
一つの実施例において、各マイクロ片持ばり１０３ａ上の光のスポットの直径は、約１００μｍであり（最大値の半分における光線強度プロファイルの全幅、いわゆるＦＷＨＭ）、ＶＣＳＥＬ１０１ａと標的であるマイクロ片持ばり１０３ａとの間が約２９ｍｍ離れたところで、約４μｍから約５μｍの直径のＶＣＳＥＬ口径を使用している。

このＶＣＳＥＬ１０１ａから放射された電磁光線１０１ｂは、マイクロ片持ばり１０３ａを照らす前に、マイクロレンズ・アレイ１０９と、第１光線分割器１０２を通過する。なお、各電磁光線１０１ｂは、対応する各マイクロレンズ１０９ａを通過する。そして、この電磁光線１０１ｂは、マイクロ片持ばり１０３ａによって第１光線分割器１０２に反射する。なお、この反射した電磁光線１０１ｂの経路は、 マイクロ片持ばり１０３ａの偏向に左右される。この反射した電磁光線１０１ｂは、第１光線分割器１０２の部分的に反射する内面１０２ａに反射して、第２光線分割器１０４を通過する。電磁光線１０１ｂは、第２光線分割器１０４において、その一部が部分的に反射する表面１０４ａを通過してＰＳＤアレイ１０６の方へ進み、他の一部が部分的に反射する表面１０４ａによって反射してカメラ１０７の方へ進む。第２光線分割器１０４を通過した電磁光線１０１ｂは、ＰＳＤアレイ１０６に当たる前に、干渉フィルター１０８と円柱レンズアレイ１０５とを通過する。円柱レンズアレイ組立体１０５は、電磁光線１０１ｂをＰＳＤアレイ１０６上に焦点を合わせる。第２光線分割器１０４とテレビカメラ１０７は、操作者が視覚的に確認するための、任意の素子である。このレーザースポットの位置は、ＰＳＤアレイ１０６を使用して生じる自動検知と連動して、マイクロ片持ばり１０３ａ上の所定の位置にある。

ＰＳＤアレイ１０６の各光検出器１０６ａは、光電流を発生する。この光電流は、光検出器１０６ａ上の入射光の位置と強度に応じ、光検出器１０６ａで２つの電極に分配される。この２つの光電流の測定量と光検出器の周知の形状は、光検出器上の光スポットの重心を算出することを必要とする 。マイクロ片持ばり１０３ａの偏向の変化は、光検出器１０６ａ上の光スポット位置の変化を検出し、測定することによって決定することができる。マイクロ力を検出する表面を有するように製造されたマイクロ片持ばりを備えるこの明細書の実施例では、マイクロ力検出器の偏向の大きさは、光線検出器であるＰＳＤによって読み取られ、電流に変わる。いくつかの実施例において、この電流量は、コンピュータのデータベースの情報として測定され、保存される。

一つの実施例において、マイクロレンズ・アレイ１０９ は、基部と遠心面との距離が約０．５ｍｍである、複数のマイクロレンズ１０９ａから成る。典型的なマイクロレンズ・アレイ１０９の寸法は、５ｍｍ×１８ｍｍ×０．５ｍｍである。適当なマイクロレンズ・アレイは、商業的に入手可能であり、マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム オプティカル（205 Import Circle, Huntsville, AL, 35806）のような製造者から入手してもよい。この適当なマイクロレンズ・アレイは、例えば、石英ガラス７９８０由来のような物質からなる成形加工品である。マイクロレンズ・アレイを改良した別の実施例、例えば段階的な屈折率の物質によって組み立てられたマイクロレンズ・アレイは、エヌエスジー・アメリカ（28 World's Fair Drive, Somerset, NJ 08873）から入手してもよい。

この明細書において記載する一般の仕組みを利用して操作する素子読取装置１００の具体例を、図２に記載する。図２Ａと図２Ｂは、素子読取装置１００の等角図を示す。また、図３は、主な部品がより詳細に見えるように、いくつかの主でない部品と外側の筐体を取り外した素子読取装置１００の等角図を示す。この素子読取装置１００は、電源モジュール２０５と、照明器素子４００を備える照明器組立体載物台２０９と、エンベッデドコンピュータシステム電子回路標準器であるＰＣ１０４対応電子回路組立体２０２と、ＣＣＤカメラ組立体２０３と、マイクロフルイディックス・システム集合体２０４と、熱電冷却器に電力を供給するための交流直流供電モジュール２０７と、図２に図示しないが図１４に図示した図１の符号１０６で示したＰＳＤ組立体とを備える。素子読取装置１００の構成部品は、公知の床板２０６とフレーム２０１とを備える筐体に取り付けられる。そして、この床板２０６とフレーム２０１に、公知の側壁とドアと蓋と点検口と他の収容される構成部品がワッシャとねじによって位置決めされる。

マイクロ力を発生する成分を有する被試験未知試料は、その成分に反応するために特製されたマイクロ片持ばりアレイを有するマイクロフルイディックス素子の相互作用セルの中に入れられる。ここでは、マイクロフルイディックス素子は、マイクロフルイディックス・システム集合体２０４である。この素子の使用者は、電気的に直列インタフェースを通じて通信する。この直列インタフェースは、例えばＲＳ２３２やＲＳ４８５やイーサネットのようなものである。電源モジュール２０５と供電モジュール２０７は、電子回路組立体２０２に直流電力を供電し、調整して電力を照明器半組立品４００に分配する。そして、図１に記載の電磁光線アレイは、マイクロフルイディックス素子の標的であるマイクロ片持ばりを照らすために、発生し照明器において焦点を合わせられる。そのマイクロフルイディックス素子は、図１に示したＰＳＤ組立体へ電磁光線を反射する。図１４には、他の構成部品について詳細に示す。光電流の発生は、マイクロ片持ばりの偏向に関係している。

照明器半組立品４００は、フルイディックス素子を据え付けたときに、フルイディックス集合体に近づくように、鉛直の位置決めのためのプラグの差込み口で支えられるフルイディックス集合体の上に、周知の一定距離で吊り下げられる。ＰＳＤ組立体上の感光性のＰＳＤ１０６は、照明器とマイクロフルイディックス集合体に隣接して、内部に配列される。この構成によれば、照明器半組立品で発生した電磁光線は、図２と図３の装置の方位に従って、下方への方向に、半組立品筐体の中に出て行く。そして、この電磁光線は、上と右の方向にＰＳＤ載物台まで反射する。

一つの実施例では、全体の装置は、実験台や工作台に合うように、都合よくその大きさを決める。例えば、この装置の最も長い側の大きさを約２１インチにした。図２と図３は、この素子読取装置の上蓋と側壁を取り除いた状態を示す。一つの実施例では、上蓋と側壁を、電磁光線が主な構成部品や各操作間で進みやすいように、蝶番によってフレーム２０１に取り付けた。

入射光線の位置の関数としてのＰＳＤによって発生した光電流は、アナログ式の処理装置の中に取り付けることによって、更に処理できる。このアナログ式の処理装置は、ホストコンピュータ運搬用に、光電流をデジタル信号に変換するために電子回路を使用する。
例えば、米国特許出願１０／０５４，７６０において、マイクロフルイディックス・システムの相互作用セルの中のマイクロ片持ばりは、 さまざまな流体と経路を利用して装填される。なお、別の流体と経路は、弁を開閉するために利用される 。また、このマイクロ片持ばりは、マイクロ片持ばりの面の設計に従って溶液内の一連の反応物によって処理される。そして、このマイクロ片持ばりは、複数の相互セルの中に、少なくとも一つの試料や対照や追加試料を装填する。マイクロフルイディックス・システムは、図２と図３に示すように、マイクロフルイディックス・システム集合体２０４の状態で、 素子読取装置１００に積み込むことができる。マイクロフルイディックス素子は、一つの相互作用セルの中の全てのマイクロ片持ばりが、同じように装填され、同じように試料または対照に感光するように、各相互作用セルにマイクロ片持ばりアレイを含む複数の相互セルを有する。相互作用セルの中のマイクロ片持ばりを照らす照明器４００から電磁光線は、相互作用セルの中の複数のマイクロ片持ばりの反射光線と組み合わされ、焦点が合わせられる。または、ＶＣＳＥＬを順番に配列することによって、別々に焦点を合わせてもよい。なお、この実施例では、統計学的に有意なデータを取得のために、ＰＳＤアレイ１０６の一つのＰＳＤについて行った。

図４から図１０は、一般的な実施形態の照明器素子４００の構造と構成と、操作と、使用を記載する。そして、補足的な実施例を、この明細書の中に記載する。図４は、照明器素子４００の構成部品の平面図４Ａと断面図４Ｂ，４Ｃである。各断面図４Ｂ，４Ｃは、筐体の縁または照明器の底部に平行する対称軸に沿って切り取った断面図である。一般的な実施形態において、照明器の筐体や底部４０７は、コバー（鉄合金）によって形成される。そして、図４の照明器素子４００の構成部品は、組み立てられ、筐体の中に配置される。コバーの熱膨張係数（ＣＴＥ）が半導体材料の熱膨張係数と適度に適合するために、コバールは、金属基質に結合される大表面積を有する半導体素子を有する用途に有効である。したがって、熱的な可動域の間に、この半導体材料で引き起こされるストレスは、この素子を傷つけない。

図４Ａは、完備した状態の照明器４００の平面図である、図４Ｂと図４Ｃは、それぞれ図４Ａの水平と鉛直の破線に沿った断面図である。この平面図である図４Ａは、底部筐体４０７が、マイクロ保定器やマイクロレンズ・アレイ１０９に取り付けられるマイクロレンズ取付台４１７を調整するために、組合せ窓を付けた蓋とマイクロ保定器ねじ根止め材４１５とを付けていることを示す。図４Ｂは、図６Ａで示す温度高感度半導体４０１と図７Ａで示すＳＭＴコネクター４０２とを通して切り取った断面図である。図４Ｃは、ＶＣＳＥＬアレイ１０１とマイクロレンズ・アレイ１０９の長手方向に沿って切り取った断面図である。図４Ａに示される主要な構成は、マイクロ保定器と、周囲の蓋４１５と、窓４０５との組合せである。これらの主要な構成は、図４Ｂと図４Ｃにおいても、図４Ａと同様に示すことができる。また、図４Ａの蓋の上に、円形のステンレス網防塵カバー４２０がある。内部のばね４１０は、マイクロレンズ取付台４１７をマイクロ保定器ねじブロック４１５に連結する。温度検出器４０１を、図４Ｂに示す。ＶＣＳＥＬ光線１０１ｂがマイクロレンズ・アレイ１０９によって焦点を合わされ後に通過する窓４０５を、図４Ａと図４Ｂに示す。

また、図４Ａに、蓋４００の上部から取り付けられ、ＳＭＴコネクター４０２にねじ込まれる２本のねじ４３０を示す。そして、図８で詳しく説明する取付孔は、コバー・パッケージ４０７の空隙孔を通り底部から取り付けられ、マイクロ保定器ねじ根止め材４１５のねじ孔にねじ込まれる２本のねじ４４０用である。

この明細書において示さない別の実施例において、コバー床の上のセラミック基板は、２つのスペーサーを支える。このスペーサーは、図４Ｂの断面図でＶＣＳＥＬアレイ１０１の右側に置かれる。照明器の実施例の中で一般的なマイクロレンズ・アレイ１０９と、仮に存在するとしたならばマイクロレンズ・アレイを支持するため一つ以上のスペーサーは、ＶＣＳＥＬアレイ１０１の側面か、コバー筐体の床、またはセラミック基板に置かれる。なお、セラミック基板は、この明細書において示さない実施例に存在し、ＶＣＳＥＬアレイの上にマイクロレンズ・アレイを支えている。この明細書の図４Ａから図４Ｃで示した実施例において、マイクロレンズ・アレイ１０９は、周囲の蓋とマイクロ保定器ねじ根止め材４１５との組合せによって所定の位置に保持される。なお、マイクロ保定器ねじ根止め材４１５は、図４Ｂに示すように、マイクロレンズ・アレイ１０９のためにマイクロレンズ取付台４１７を調整する 。ＳＭＴコネクター４０２とＶＣＳＥＬアレイ１０１の両方を備えた電気接点のフレックス回路４０３は、コバー・パッケージ４０７の底部に取り付けられる。このマイクロレンズ・アレイ１０９は、ＶＣＳＥＬアレイ１０１の上に取り付けられる。そして、マイクロレンズ・アレイの位置の調整は、図４Ａの蓋４１５の上部に示される３つのミニチュアねじ４２１，４２２，４２３と、蓋４１５の側面の３つのミニチュアねじ４３１，４３２，４３３とを利用して行われる。これらのねじの調整は、取り付けられたマイクロレンズ・アレイ１０９を備えたアルミニウム・マイクロレンズ取付台４１７の６つの軸（ｘとｙとｚと横揺れと縦揺れと偏揺れ）において移動ができるようにする。マイクロレンズ・アレイ１０９を保持するマイクロレンズ取付台４１７は、照明器に着脱自在に付けるか、照明器と一体になるように構成する。この明細書では、横揺れはｙ軸の回転を意味し、縦揺れはｘ軸の回転を意味し、偏揺れはｚ軸の回転を意味する。

図４Ｃでは、コバー筐体４０７の側面は、断面図の上下に示される。そして、この筐体４０７の底部は、照明器の床（電磁光線を放射する側に）に相当する右側である。その床の直ぐ上である、図４Ｃに示す左側には、銀が装填されたエポキシ・ボンド４１４がある。このエポキシ・ボンド４１４はこの型の凹部のＶＣＳＥＬアレイ１０１とマイクロレンズ１０９の右側にある。ＶＣＳＥＬアレイ１０１は、型ネスティング、または凹部４１２の壁に密着させることによって正確に据え付けられる。そして、ＶＣＳＥＬアレイ１０１は、所定の位置に、図示しない精度ガラス・スペーサービーズが混ぜられた銀が装填されたエボキシ４１４層によって保持される。さらに、接地ピン４１９を、図４Ｂと図４Ｃに示す。

さらに、図示しない実施例において、セラミック基板は、コバー筐体の底部の左側にある。そして、このセラミック基板に、金属で被膜した薄層と、ＶＣＳＥＬアレイと、スペーサーと、マイクロレンズ・アレイが続く。

図５に、照明器半組立品４００（別名照明器チップ）に取り付けられる、マイクロ・フレックス相互接続回路４０３が示される。このマイクロ・フレックス相互接続回路４０３は、ＶＣＳＥＬの直線配列における、使用可能なＶＣＳＥＬ陽極用に、独立した電気導線を提供する。ＶＣＳＥＬアレイ・チップ１０１は、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）、またはアルミニウム・ヒ化ガリウム（ＡｌＧａＡｓ）から製造される。このＶＣＳＥＬは、酸化物を閉じ込めたものである。しかし、陽子を入れられたＶＣＳＥＬも、この素子に含まれる。図１に示すように、一つの態様のＶＣＳＥＬは、複数のマイクロ片持ばり１０３ａ上の照明の各スポットに対して、ガウス曲線を生じる。

マイクロ・フレックス相互接続回路４０３は、ポリイミドフィルム基板５０３、例えばカプトン・イー（登録商標、デュポン）上の電着する銅と金属コーティング５００から作られる。この金属コーティング５００は、ＳＭＴコネクター・パッド５０２と、ＶＣＳＥＬコネクター・パッド５０１とを備える。一つの実施例において、皮膜層と隣接した各層は、銅１８μｍと、ニッケル０．２５μｍから０．７５μｍと、金１μｍから１．５μｍとの金属層によって成る。例えば、カプトン・イー（登録商標、ポリイミド）では、２５μｍの基板である。典型的な相互接続は、例えば６５μｍの間隔を有する２５０μｍの内側の導線ピッチと、３１７．５μｍの外側の導線ピッチと、１００μｍの列幅を有する。銅が電着した特注のエッチングを備える製品は、商業的に入手可能であり、例えば、マイクロ・コネックス（34935 SE Douglas St. , Snoqualmie, WA）から商業的に入手できる。

照明器の実施例において、図４Ｂに示すように、フレックス回路は、ＳＭＴコネクター４０２の左側に接し、ＶＣＳＥＬアレイ１０１の右側に接した状態で、コバー・パッケージ４０７の床の上に直接取り付けられる。他の実施例では、ＶＣＳＥＬアレイ・チップ、またはＶＣＳＥＬアレイ金型と接触しているＳＭＴコネクターは、セラミック基板の上に置かれる。図５に示した実施例では、図５の右側に、ＶＣＳＥＬ１０１に接触する奥側の導線が７２本示される。この明細書において、アレイの中のＶＣＳＥＬ電極の典型的な総数は、２０個以上、または３０個以上であり、例えば、６４個である。しかし、ＶＣＳＥＬ電極の総数が、２０個以上であれば、 この発明の目的を達成することができる。

導線は、ＶＣＳＥＬ電極の総数と一致していれば、この発明の目的を達成することができる。各導線の長方形の接地位置と試験位置は、図５の左側に示す。図５に示される相互接続回路４０３のアレイの各相互接続は、ＳＭＴコネクター・パッド５０２のアレイから、ＶＣＳＥＬアレイ１０１の一つのＶＣＳＥＬまで通じる。ＭＴコネクター・パッド５０２のうち、図５の左側である手前の２列のパットは、コネクター・パッドである。そして、図５の右側である奥側の３番目の列は、試験用パッドである。マイクロ・フレックス相互接続回路４０３ は、全てのＶＣＳＥＬ、または選択した一部のＶＣＳＥＬに電力を供給する。この供給は、図５に示すように、ＶＣＳＥＬコネクター・パッド５０１と接触することによって行われる。この選択される部分は、電磁光線のアレイから成る照明器電極の所望の数と所望の位置を発生させるために、照明器半組立品４００と素子読取装置１００の使用者によって制御される。

図５に関して、基板５０３の上に金属層が重ねられたＳＭＴコネクター・パッド５０２は、１２．７μｍの厚みの接着材層が重ねられ、１２．７μｍの厚みのカバー・フイルム、カプトン・イー(登録商標、デュポン）で覆われる。外部の供給源からアレイの各ＶＣＳＥＬに電力を供給する回路において、これらのパットの機能は、図５のマイクロ・フレックス相互接続回路金属コーティング５００を利用するＶＣＳＥＬに通じる。左側と中央の列のパッドは、導線をＳＭＴコネクター４０２に、はんだ付けをするために利用される。一方、 奥側の列のパットは、試験ポイントとして利用される。

図６は、ＶＣＳＥＬアレイ金型１０１のコバー・パッケージ４０７の中の配置と凹部金型４１２を示す。この凹部金型、またはネスティング４１２は、ＶＣＳＥＬアレイ１０１を正確に据え付けるために、コバー筐体の床に切り開かれている。適所にエポキシ層４１４によって保持されるＶＣＳＥＬアレイ１０１を備える凹部４１２の形状を、図６に示す。図７に示すように、一つのワイヤー接合６０１は、各ＶＣＳＥＬ電極と連結しており、電流を提供する。

この明細書の実施例において、ＶＣＳＥＬ金型は、銀が装填されたエポキシを有する筐体に取り付けられる。例えば、エポテックＨ２０Ｅ（Epoxy Technology, 14 Fortune Drive, Billerica, MA）である。ＶＣＳＥＬ金型が一列に並べられ、筐体に接合された後に、ジョハンスン・ブロック（ジョ−ブロック）は、エポキシ混合物に埋め込まれる精度ガラス玉の直径によって制御される均等に厚いボンドラインを確実にするために、ＶＣＳＥＬ金型の上に置かれる。ジョ−ブロックを備える組立体は、エポキシを硬化させるために、炉の中に置かれる。

ＶＣＳＥＬ電極上の金製の鋲こぶの使用のような、ここで示さない電気接続の別の実施例は、この明細書の照明器に含まれる。この金製の鋲こぶは、ＶＣＳＥＬ陽極に結合される金製の導線の短い長さを使用しているＶＣＳＥＬアレイ・チップに組み立てられる。そして、この金製の鋲こぶは、 所望の直径と高さに鋳造、または成形される。

ここで記載しない別の実施例において、細長い窓は、ＶＣＳＥＬ光線の経路が遮られないようにするために、フレックス回路に切り開けられる。この明細書に示さない別の実施例において、各フレックス回路の口径のアレイは、一つの細長い口径の代わりになる。この口径アレイが、２５０μｍのピッチ（ここで、ピッチとは口径距離に対する口径を意味する）を有する場合に、各ＶＣＳＥＬ光線が遮られないようにするために、ＶＣＳＥＬ口径の中心から中心への距離と、十分な口径直径と一致するようにした。この明細書に示さない実施例において、フレックス回路の口径は、一つの細長い窓がカプトン・ポリイミド基板とカバー層を切り開いて形成される。

ＳＭＴコネクター４０２は、ＶＣＳＥＬ陽極にフレックス回路４０３を結合するような同一のステップ間、または追加したステップ間で、フレックス回路に結合される。このＳＴＭコネクターは、エポキシ硬化の間、またはその後で、フレックス回路に取り付けられる。硬化した後に、取り付けられたコネクターを備えたフレックス回路は、一列に並べられる。そして、低応力エポキシ、例えばエポテック３０１−２ＦＬを使用しているコバー筐体に結合され、それはまた硬化させられる。そして、組立体は、ワイヤ・ボンディング素子読取装置の被加熱載物台に置かれる。このワイヤ・ボンディング素子読取装置は、ＶＣＳＥＬ陽極と、集積回路製造の当業者にとって周知のフレックス回路である奥側の導線結合パッドと間の結合を成し遂げるために作動する。このＳＭＴコネクターは、商業的に入手可能であり、例えば、エアーボーン社（4321 Airborn Drive, Addison, TX）から商業的に入手できる。典型的なＳＭＴコネクターは、２列であり、水平面実装であり、６５個の接点を有し、１Ａ接触定格である。

この明細書に示さない他の実施例において、フレックス回路と金の金属化を有するセラミック熱分散部材の上面は、アース線付属品の部分を、必要に応じてあらかじめメッキした。この作業は、商業的に入手可能なサービスであり、例えば、プロタッチ・エレクトロニクス・アッセンブリ（Sterling, VA）によって商業的に提供される。この明細書に示した、または酸化ベリリウム基板上に示した実施例におけるフレックス回路の組立体と、コバー・パッケージ上のＳＭＴコネクターとＶＣＳＥＬアレイ・チップは、商業的に行われるサービスであり、例えばマルチチップ・アッセンブリ社（San Jose, CA）によって行われる。

ＶＣＳＥＬ金型１０１と、温度検出器４０１と、ＳＭＴコネクター４０２と、フレックス回路４０３は、コバー・パッケージ４０７に取り付けられる。ＶＣＳＥＬは、電気接続が完了した位置の電磁光線の供給源として、機能的に試験される。

図７は、ＳＭＴコネクターと、フレックス回路と、ＶＣＳＥＬアレイとを備えるコバー筐体パッケージ４０７を示す。このコバー・パッケージは、オーリン・イージス（50 Welby Road, New Bedford MA）から入手できる。典型的なコバー・バスタブ差込み口ＰＢ１２５１２５ＥＣ１５７は、入手可能であり、ＳＭＴコネクター用に改良した。特注のコバー・パッケージは、オーリン・イージスから入手した。

温度検出器４０１と温度高感度半導体は、ＴＲＡ−ＢＯＮＤ２１５１を用いて、筐体の床の表面の縁に取り取り付けられる。ここで、温度検出器４０１は、例えば、ＣＹ７（オメガ・エンジニアリング社、One Omega Drive, Stamford, Connecticut）、またはＤＴ４７１（レイク・ショート・クライオトロニックス社、575 McCorkle Blvd, Westerville, OH）である。ＴＲＡ−ＢＯＮＤ２１５１は、例えば、ＴＲＡ−ＣＯＮ社（45 Wiggins Avenue, Bedford, MA）の製品である。

図８から図１０は、照明器の蓋４１５とその蓋４１５に取り付けられる構成部品の構成と機能を示す。図８は、蓋４１５の下の、位置決め用の載物台であるアルミニウム・マイクロレンズ取付台４１７の据え付け場所を示す。この載物台４１７は、光学の配列のための蓋（マイクロ保定器ねじ根止め材ともいう）４１５に取り付けられる。複数の双凸面マイクロレンズから成るマイクロレンズ・アレイ１０９は、ＶＣＳＥＬ口径からの各光線の焦点を合わせ、標的であるマイクロ片持ばり上へ適当な大きさの照明のスポットを当てる働きをする。照明のスポットの適当な大きさは、マイクロ片持ばりの幅と同じ、またはマイクロ片持ばりの幅よりも小さい。図８のマイクロレンズ・アレイ１０９を保持するマイクロレンズ取付台４１７と、ねじ根止め材４１５は、図４Ｂに示すように２つの機械加工されたアルミニウム部分を有する。なお、この実施例では、ねじ根止め材４１５は、蓋の一部である。その蓋は、６本の調整ねじを保持するねじ根止め材でもある。マイクロレンズ・アレイ１０９は、マイクロレンズ取付台４１７に、ＮＯＡ８１接着剤（ノーランド・オプティカル・アドヒーシブ、Cranbury, NJ）とＵＶ硬化によって取り付けられる。

６本の小さなねじは、マイクロレンズの位置を制御する。３本のねじ４２１，４２２，４２３は、マイクロ保定器ねじ根止め材４１５の上にある。そして、ねじ４３２は、図４Ａに示すように、コバー筐体の右側、または正面の側面にある。２本のねじ４３１，４３３は、コバー筐体の裏にある。これらのねじは、ｘとｙとｚと回転と縦揺れと横揺れの範囲におけるマイクロレンズ・アレイの位置決め用と調整を行う。マイクロ保定器上の３本のねじ４２１，４２２，４２３は、回転と縦揺れとｚ軸の調整を行う。コバー・パッケージの裏面に取り付けられる２本の調整ねじ４３１，４３３は、偏揺れとｙ軸の調整を行う。コバー・パッケージの正面に取り付かれる調整ねじ４３２は、ｘ軸の調整を行う。図８に示すように、２本のねじ４３０のために、取付孔８３０と８４０が、蓋４１５の表面に設けられる。そして、４本のねじの内で２本のねじ４４０と４５０のために、２個の取付孔が底部に設けられる。この実施例の照明器において、合計６本のねじは、蓋４１５と底部４０７とを合わせて保持するために使われる。２本のねじ４４０は、蓋の表面から底部に貫通して取り付けられる。そして、２本のねじ４５０は、底部からＳＭＴコネクターの中に、２本のねじ４３０は、蓋の表面からＳＭＴコネクターの中に取り付けられる。

この明細書で図示しない別の実施例において、マイクロレンズ・アレイの位置決めのために、マイクロ保定器に代えて、２個のガラス・スペーサーがＶＣＳＥＬアレイに隣接して置かれるさらに別の実施例では、１個のスペーサー、または２個以上のスペーサーが用いられる。このスペーサーは、硼珪酸ガラス（例えば、ＡＦ４５硼珪酸ガラス）であり、商業的に入手できる（Pr zision Glas & Optik Gmbh,Hegestuck11, D-58640, Iserlohn, Germany）。典型的なスペーサーの大きさは、０．５ｍｍと、５ｍｍと、１４ｍｍである。このスペーサーは、据え付け場所に、機械的に一列に並べられ、固定される。この固定は、例えば、室温条件下７２時間で硬化するエポック３０１‐２ＦＬ光学エボキシ（14 Fortune Drive, Billerica, MA）によって行われる。このスペーサーは、マイクロレンズ・アレイを据え付け場所に固定するために働く。ガラス・スペーサー、またはスペーサーへのマイクロレンズ・アレイの据え付け場所は、さらに作動中の光学の配列によって決められる。この作動中の光学の配列は、ＶＣＳＥＬを作動させること、またはレーザービームを走査している計測器でその光線縦断面図と他の関連した特徴を測定することによって得ることができる。アレイは、適所に置かれて、エポック３０１−２ＦＬと室温硬化によって固定される。なお、スペーサーは、この明細書に記載した実施例では用いられていない。

図９は、構成部品を見ることができるようにした、蓋（マイクロ保定器ねじ根止め材）の組立体４１５の底部裏面図である。この図９には、蓋（マイクロ保定器）４１５をマイクロレンズ取付台４１７に連結するばね４１０も示される。

図１０は、組み立てられた照明器４００を示す。蓋（マイクロ保定器）４１５は、６本のねじ４２１，４２２，４２３と４３１，４３２，４３３（ねじ４３１，４３２，４３３の内で、ねじ４３２のみが図示される）によって、マイクロレンズ・アレイ１０９を保持するマイクロレンズ取付台４１７と連動して機能する。組み立てられた蓋は、コバー筐体４０７の上部に置かれ、６本ねじ４３０，４４０，４５０によって取り付けられる。透明な窓は、取り付けられた蓋の矩形開口部４０５に、ＮＯＡ８１接着剤（Norland Optical Adhesive, Norland Products, Cranbury, NJ）とＵＶ硬化によって取り付けられる。この窓の取付けによって、多重照明器半組立品の組立体が完成する。蓋はアルミニウムから製造され、窓はＡＦ４５硼珪酸ガラスから製造される。光線は、マイクロレンズ・アレイ１０９から、窓と第１光線分割器を通り、標的まで通過する。それから、この光線は、第１光線分割器の対角線に戻って反射し、第１光線分割器から位置高感度素子（線形ＰＳＤ）１０６まで通過する。この光線の動きを図１に示し、図１４には組み立てられたＰＤＳアレイ１４０５を示す。

この完成した照明器半組立品４００は、標的に電磁照明の収束ビームを提供するための構成部品を備え、図２と図３に示した素子読取装置装置１００の照明器載物台２０９に着脱自在に取り付けられる。

図１１から１８は、この発明の素子読取装置１００の補足的な構成部品とその構成とその機能における、照明器４００の据付け場所と機能を示す。

図１１は、ＺＩＦソケット１１０２に照明器４００を着脱自在に挿入するためのクランプ１１００を示す。このクランプ１１００は、開いたときに、コバー・バスタブ差込み口のピンを放出するものである。この実施例において、ＺＩＦソケットは、１３×１３の行列と３Ｍ接点を有する３Ｍ テクスツールＰＧＡ用具であり、 エルメッチ社（8700 Waukegan Rd. , Suite 127, Morton Grove, IL.）から入手できる。この実施例において、ＺＩＦソケット１１０２は、エポキシ・ガラス（ＦＲ−４）に１オンス／平方フート（one oz./sq. ft. ）の銅を有する配線ボード（ＰＷＢ）１１０３を印刷した２層板であり、例えばシエラ・サーキット社（1108 West Evelyn Ave. , Sunnyvale, CA）で製造されている。電気的導線は、ＺＩＦソケットからＰＷＢまで伝導する。

図１１に示すように、照明器とＺＩＦソケットとの組立体は、マイクロＤ接地帰還路コネクター１１０４に取り付けられる。そして、ＩＴＴキャノンは、ＰＥＴジェネシス（2180Hornig Road, Philadelphia, PA.）から入手できる。接地帰還路コネクターのバス導線は、ＶＣＳＥＬアレイからの戻り経路を電流に提供する。

図１２に示すように、照明器組立体は、さらに熱電気冷却器（ＴＥＣ）と脱熱器１２００を備える。そのＴＥＣは、メリコル（1040 SpruceSt. , Trenton, NJ）から入手できる。図１４に図示されないメルコルＴＥＣとメルコル接着剤接続器パッドも商業的に入手できる。脱熱器１２００は、図１２に示す上部プレート１２０２を備える。この上部プレート１２０２は、照明器からの電磁光線の伝達を可能にためと、素子読取装置の構成部品である照明器の撤去と取換えを可能にするために、窓１２０４を有する。

図１３は、ＴＥＣ冷却器の組立体と上部プレート１２０４を備えた脱熱器１２００に、第１光線分割器１０２と第１光線分割器取付台１３００を取り付けた状態を示す。第１光線分割器１０２は、例えば、長さと高さと奥行が２０ｍｍの非分極性誘電立方体光線分割器と、ヘーバー多層反射防止コーティングであり、メレス・グリオ（16542 Millikan Ave. , Irvine, CA）から入手できる。

図１３は、さらに、着脱自在のマイクロ片持ばりマイクロフルイディックス素子の配置と、第１光線分割器の下に位置するマイクロ片持ばりチップ１３０２を示す。典型的なマイクロ片持ばりチップ１３０２は、複数の相互作用セル１３０１を有する。この相互作用セル１３０１は、例えば複数のマイクロ片持ばりを有する４つの相互作用セルである。このマイクロ片持ばりは、照らされる標的センサーであり、素子読取装置によって読み取られる偏向である。例えば、このセルは、４、５、８、１２、または１６個のマイクロ片持ばりを有する。第１光線分割器１０２と、図１３に示すマイクロ片持ばり１３０２との間の距離は、５．５ｍｍである。電磁光線は、照明器のＶＣＳＥＬアレイから第１光線分割器の中に向けられる。それから、その光線の一部は、チップの相互作用セルに位置するマイクロ片持ばり標的の表面に向けられる。マイクロ片持ばりは、電磁光線を反射することができる表面を有する。

図１４に、第２光線分割器１０４と、その位置を固定する第２光線分割器取付台１４００を示す。この第２光線分割器１０４は、第１光線分割器と同じ大きさであり、同じ光学特性を有する。図１４には、干渉フィルター取付台１４１０を備えた干渉フィルター１０８と、円柱レンズ１０５と、円柱レンズ取付台１４２０が示される。干渉フィルター取付台１４１０は、機械加工された円筒形空洞を有するアルミニウム部材であり、厚さ３ｍｍで直径２４ｍｍのフィルターが入るように構成される。なお、このフィルターは、先端にナイロンを被せた４本の取付ねじによって、適所に保持される。この干渉フィルター取付台１４１０は、その裏面に円柱レンズ・アレイを取り付けるための４つのねじ孔を有する

このフィルターは、７６０ｎｍの透過波長を有する近赤外干渉フィルターであり、その直径が２５ｍｍで厚さが６．９ｍｍである。そして、このフィルターは、例えばメレス・グリオ（Irvine, CA）から入手できる。４つの円柱レンズ１０５のアレイは、例えば多層誘電反反射コーティングを有する精密な平面円筒状石英ガラス・レンズが取り付けられる。この石英ガラス・レンズは、波長透過が７５０ｎｍから１，１００ｎｍであり、長さが１２．５ｍｍで、高さが３．２ｍｍで、厚みが２ｍｍであり、曲率半径が２ｍｍである。そして、この石英ガラス・レンズも、メレス・グリオから入手できる。干渉フィルターは、例えば７６０ｎｍのような、この出願で使用可能な限られた波長の中核になる、スペクトルの限られた部分を通過させる。この帯域幅は、例えば４０ｎｍである。干渉フィルターは、検出器（ＰＳＤ）まで光を通過させるため、およびこのシステムに不要な反射のようなこの出願の波長から外れた軸光線を排除するために、環境照明のようなこの帯域幅の外の光を通過させない。

図１４に示すように、４つの位置検出素子（ＰＳＤ）１０６のアレイ１４０５は、円柱レンズ１０５の末端に取り付けられる。このＰＳＤ１０６は、一つの軸でもよく、エルコス・エイ・ジー（Luitpoldstrasse 6, D-85276 Pfaffenhofen, Germany）から入手できる。このＰＳＤアレイ１４０５は、図１５に示されるＳＭＴコネクター（ ＰＷＢ）１５００を有するＰＳＤプリント配線板に、はんだ付けされる。このＰＳＤ、ＰＷＢは、一つの層を有し、エポキシ・ガラス（ＥＲ−４）の１オンス／平方フィート（one oz. /sq. ft. ）の銅から成る。そして、これは、シエラ・サーキット（Sunnyvale, CA）から商業的に入手できる。マイクロ片持ばり標的から反射した電磁光線は、第２光線分割器に入る。それから、この光線の一部分は、円柱レンズを通過してＰＳＤアレイに進む。ＰＳＤ１０６は、ＳＭＴコネクターを経て、入力光線の位置と強さの関数として、入射した電磁光線を電気信号に変換する。実施例において、ＳＭＴコネクターは、２５個の接点を有する２列の水平表面取付台であり、ナノニックス社（Phoenix, AZ）から商業的に入手できる。図２２に示される延長ロッド１５０２は、 フィルター取付台ケージ・プレート１５０４とＰＳＤ・ ＰＷＢケージ・プレート１５０６を固定するために用いられる。延長ロッド１５０２は、長さが３インチであり、直径が６ｍｍである。ＰＳＤ・ＰＷＢケージ・プレート１５０６は、 フィルター取付台ケージ・プレート１５０４と同じように、３５ｍｍの口径を有する。ロッドとケージ・プレートは、ソーラバス社（435 Route 206, Newton, NJ）から商業的に入手できる。

図１５に示すように、第２光線分割器１０４からの電磁光線の一部は、ＣＣＤカメラ１０７に取り付けられるビデオ顕微鏡レンズ１５４０に向けられる。ＣＣＤカメラは、 相互に対する、および標的マイクロ片持ばりに対するさまざまな光学構成部品の配置を補助するために用いられるＣＣＤカメラは、例えばＬ５５−６９５日立モノクロ型ＫＰ−Ｍ２２（エドモンド・インダストリアル・オプティクス、101 East Gloucester Pike, Barrington, NJ）である。ビデオ顕微鏡レンズは、９４ｍｍ／１．５Ｘインフィニスティックス・ ビデオ・レンズ、およびＤＬＣマウント２Ｘインフィニスティックス・ダブラー管でもよく、両方ともハドソン・インストルメント社（9607 Doctor Perry Rd. , Ijamsville, MD）から商業的に入手できる。

図１６に示すように、ＣＣＤカメラ１０７ は、アダプタープレート１６００と、Ｚ−動程移動載物台１６０４とを備えている。このＺ−動程移動載物台１６０４は、例えば長い動程と側面駆動装置を有する６５ｍｍの鋼鉄載物台であり、オプトシグマ社（ 2001 Deere Ave. , Santa Ana, CA）から入手できる。また、図１６に示すように、ＣＣＤカメラ１０７は、Ｚ−載物台・アダプター・ブラケット１６０２を備える。図１７に示すように、カメラ１０７は、さらにＸとＹ−動程載物台１７０２，１７０４をそれぞれ取り付ける。このＸとＹ−動程載物台１７０２，１７０４は、例えば、マイクロメーターとＭＴ連続ベースプレートを有する１／２インチ移動載物台であり、ソーアブス社（Newton, NJ）から商業的に入手できる。

図１７に示すように、マイクロ片持ばりチップ１３０２は、流体セル根止め材１７００に、さらに差し込まれる。このセル根止め材は、成形可能な機械加工可能なポリマーでもよい。このポリマーは、溶解力のある防染剤であり、例えばＰＥＥＫ（登録商標、ポリエーテルエーテルケトン）であり、例えばエンテグリス（Chaska, MN）から入手できる。マイクロ・フルイディックス・チップ１３０２は、透明なアクリルから成るセルカバー１７１０を備える流体セル根止め材１７００のポケットに差し込まれる。セル根止め材１７００は、溶液の入口と出口のための出入口１７２０を有する。流体セルカバー１７１０は、操作の間に流体量の損失を防ぐガスケット、またはＯリングを有する相互作用セルのための密封可能な流体検査済みの部品を備える。

図１８は、フルイディックス加熱器組立体１８０２を示す。そして、フルイディックス加熱器組立体１８０２は、マイクロ・フルイディックス装置の使用者が選択した一定温度で分析を行えるように、アルミニウムのような熱伝導物質の固体ブロック１８０４を備える。この固体ブロック１８０４は、流体セル根止め材１７００の下であって、加熱アセンブリ１８００の上に直接置かれる。

図１８に示すように、素子読取装置には、ＴＥＣ組立体角度計傾斜載物台１８３０，１８３２が備わる。ＴＥＣ組立体角度計傾斜載物台１８３０，１８３２は、それぞれ、縁上の大きさが４０ｍｍであり、載物台に１５度、および回転と縦ゆれの軸に２０度の動きを与える。このＴＥＣ組立体角度計傾斜載物台は、エドモンド・インダスティアル・オプティス（Barrington, NJ）から商業的に入手できる。図３０に示すように、直径が６０ｍｍのＴＥＣ組立体回転式載物台１８１０も利用できる。このＴＥＣ組立体回転式載物台１８１０も、エドモンド・インダスティアル・オプティス（Barrington, NJ）から商業的に入手できる。ＴＥＣ組立体ＸＹＺ屈曲載物台１８２０は、標的上のスポットの位置の手動確認のために用意できる。このＴＥＣ組立体ＸＹＺ屈曲載物台１８２０は、ソーアブス社（Newton, NJ）から入手できる。他の実施例では、スポットの位置の確認する機能は、自動化された方法である。

図１８のアタプタープレート１８５０は、マイクロ・フルイディックス・チップからの照明器組立体の様々な高さを提供するために、研究室プラグの差込み口１８４０と連結する。筐体の床板２０６も、図示される。

等しい機能を有する同じ、または類似する構成部品を備えるこの明細書の照明器に類似した素子を、この発明の補足的な実施例と請求項において説明する。多くの別の用途は、案出される。考えられる用途は、対象縦断面図スキャナー、レーザープリンタ、自由空間光通信、ホログラフィック・データ収納部、フルオレセイン、タグ刺激、表面プラスモン共鳴である。

一つの態様では、システムは、素子読取装置ＰＣＤからのデータ検索と記憶を実行するために、提供される。このデータは、電流の量の形で受け取られ、位置高感度素子（ＰＳＤ）に入射する光線の角度に関係がある。

このシステムは、データ管理のためのモジュールから成る。例えばこのモジュールは、データ入力手段と、データ記憶手段と、データ検索手段と、データ出力手段と、指示設定および処理手段である。このシステムのための適当な処理装置は、適当な言語で書かれる指示設定を認識することができるあらゆる処理装置を含む。 例えば、この処理装置は、パワーピーシー基づいたアップル・コンピュータ（登録商標）のペンティアム（登録商標）に限定されず、類似するパソコン型コンピューターのサン、またはシリコン・ グラフィックス（登録商標）のワークステーション、またはリナックスやユニックスを動かすシステムでもよい。このシステムは、拠点を置くコンピューターであって、独立型コンピューター、または一つ以上のネットワーク化されたコンピューター、例えばリレーショナル・データベース・プログラムを動かしているパケット交換ネットワークを含んでもよい。
一般に好ましい実施例において、このシステムは、ネットワークと通信する複数のコンピューターである。そして、分析は、このネットワーク上のどこでも行うことができる。

指示設定は、電流から成るコンピューター読み込み可能なアルゴリズムから成る。そして、このアルゴリズムは、コンピューター読み込み可能な媒体において適当な言語、例えばＣ、Ｃ＋＋、ユニックス、フォートラン、ベーシック、パスカルなどで書かれるプログラムの一部として保存される。このプログラムは、一つ以上のモジュール、またはサブルーチンに含まれる他の機能素子、例えば関係のあるデータベース機能、検索機能、および他の使用者が定義した機能に加えて、入力データ上の算出を実行するために、指示を有する処理装置を提供する。 このアルゴリズムは、 コンピューター読み込み可能なフォーマットのシステムにデータを入力するために、入力モジュールを備える。また、このアルゴリズムは、一つ以上の環境、または生物学的な試料、例えば患者からの試料、または使用者やオートメーション化した手段によって入力される複数のデータ源からの試料に関するデータを選択し、入力するためにシステムに指示する選択モジュールを備える。また、このアルゴリズムは、サンプル情報と参照サンプル情報をさらに備え、これによってサンプル情報と参照サンプル情報との統計学的に有意な類似点や相違点を検出する、入力されたデータのバイオ統計分析を実行するためにシステムに指示する分析モジュールを備える。
また、このアルゴリズムは、サンプル情報と参照サンプル情報との統計学的に有意な類似点や相違点を特定の状態に関するデータに関連づけるためにシステムに指示する関連検出モジュールを備える。関連の検出のためのプログラムは、指示設定のサブルーチンとして使用されてもよい。そして、モジュールが、試験サンプルの分析によって、マイクロフルイディックス素子の相互作用セルの片持ばりの偏向の程度を測定することによって、少なくとも一つの片持ばりアレイ偏向と検出可能な少なくとも一つの状態との間の関連、および偏向量と他の相互作用セルにおける片持ばりのために観察される偏向との間のあらゆる相違を検出する。この検出は、一つ以上の、使用者が選択可能なプログラム化できる公式によって実行される。ある種の実施形態では、関連検出が、自動的に使用者干渉なしに行うことができ、そして、予め定められた日常業務に基づいて行うことができる。そして、使用者に、試料の間、および試料情報と参照試料との間の統計学的に有意な類似点と相違点を示すためにシステムに指示している提示モジュールである。

一つの態様では、このシステムは、入力モジュールを備える。このシステムの使用者は、コンピューター読み込み可能な形式のシステムにデータを入力することができる。また、作動している素子読取装置から直接に、このシステムに現在の情報を置きなおすことができる。このシステムに入力されるデータは、ラムやロム、またはより永久的な永久記憶媒体、例えばディスクやテープ装置に保存してもよい。入力モジュールによって入力される情報は、例えばシステム・プロセッサにアクセスできる。入力モジュールによってシステムに入力されるデータの実施例は、試料履歴情報と公共データベースからの医療データを含むが、これに限定されるものではない。ここで、試料履歴情報は、例えば遺伝情報と、患者の家族と家族の医療履歴に関する情報と、一つ以上の遺伝子場所または調節エレメントのためのポリヌクレオチド配列情報と、遺伝学的な病気標識である。また、公共データベースからの医療データは、例えばＰＵＢＭＥＤと、ＢＬＡＳＴと、ＳＷＩＳＳＰＲＯＴと、類似した公共と個人的なデータベースである。使用者は、一般的なデータ入力手段、例えばキーボードと、グラフィカル・ユーザー・インターフェースと、マウスと、音声コマンドと、無線デバイスと、遠隔データリンクによって情報を入力することができる。

一つの態様では、このシステムは、選択モジュールを備える。この選択モジュールは、入力されたデータを選択し、読み取るためにシステムに指示する。使用者によって入力された情報は、メモリからの検索され、処理装置読取り可能なルーチンやプログラムによって処理装置に伝えられる。これらの処理装置読取り可能なルーチン、または、プログラムは、一つ以上のユーザ・インタフェース、好ましくはグラフィカル・ユーザ・インタフェースと通信することができる。使用者は、一つ以上のインターフェース、例えば一つ以上の試料からの得られた情報、または環境と参照試料からの得られた情報もデータを入力することができる。選択モジュールによってシステムに伝えられる使用者が選択するデータは、このシステムによって処理のためのメモリに保存される。

このシステムは、分析モジュールをさらに備える。この分析モジュールは、この明細書で開示した統計アルゴリズムに従って算出される、サンプル情報と参照サンプル情報との間の入力されたデータの相違点と類似点の統計分析を実行するために、システムに指示する指示設定である。すなわち、関連試験と、カイ・スクエア試験と、他の統計学的に関連した情報科学算出である。これによって、サンプル情報と参照サンプル情報との統計学的に有意な類似点や相違点を検出する。

このシステムは、提示モジュールをさらに備える。提示モジュールは、使用者に、試料情報と参照試料情報との間のあらゆる統計学的に有意な類似点と相違点、および、例えば、生物学的なまたは環境の試料の特定の条件に関するデータを提示するためにシステムに指示する。このコンピュータシステムの出力は、文書処理テキストファイルが代表的であり、商業的に入手可能なソフトウェア、例えばワード・パーフェクト（登録商標）とマイクロソフト・ワード（登録商標）で書式を設定する。または、データベース・アプリケーション、例えばＤＢ２や、サイベースや、オラクルなどで保存するアスキー・ファイルが代表的である。熟練した職人は、その上にこの発明の表現情報を記録するコンピューター読取り可能な媒体を得るために、多くのデータ処理装置を構築している書式、例えばテキストファイルやデータベースを直ちに適応させることができる。このシステムは、あらゆる統計学的に関連した相互や結合に関連する使用者情報に与える。

この発明の実施形態は、この発明を限定するものではない。引用した参考文献の情報は、その全てをこの明細書に、取り入れる。

照明器は、完備した素子読取装置のための同じ構成を備える構成部品であって、５つのマイクロ片持ばりアレイを有するマイクロ片持ばりチップを備える孔であって、照明標的として４つの相互作用孔を有するマイクロフルイディックス素子を備える試験設備に取り付けられた。

マイクロレンズ・アレイは、他の実施例として説明されるエポキシ被保持スペーサーよりも、着脱自在の位置決め用載物台（マイクロ保定器）を使用する図１０で示した実施例のように取り付けられた。

図１９は、図１０の照明器からの光線の点を示す。この点は、図１０に示すように、マイクロ保定器によってマイクロ・フルイディックス・カードに埋め込まれるマイクロ片持ばりチップの孔の５つのマイクロ片持ばりに焦点を合わせるたものである。マイクロ片持ばりは、図１９に示す右側（図２０も参照）にある自由端と、左側に基部に有するマイクロ片持ばりアレイの固定端を備える。

図１９の写真は、明るい焦点を合わせられた点を示される。そして、一つの点が５つのマイクロ片持ばりの一つを照らす。この点は、円形であり、その直径がマイクロ片持ばりの幅よりも小さい。これらの結果は、この照明器が、この明細書で説明するようなＰＳＤを使用して点の反射角の分析によって、別の光線から干渉されずに別々に監視できる、マイクロ片持ばりの偏向の測定に用いることができることを示す。

図２０は、光線がない場合の図１９に示すマイクロ片持ばりチップ１３０２を示す。これらのデータは、 この明細書の照明器が、マイクロ片持ばりの偏向の検出のために有効なことを示す。

この発明の実施例に従う素子読取装置の機能的構成図である。 図１の素子読取装置の第１の等角図を示す。 図１の素子読取装置の第２の等角図を示す。 図４Ａは、照明器の実施例の平面図であり、図４Ｂと図４Ｃは、図４Ａの破線で切り取った断面図である。 表面取付台技術（ＳＭＴ）コネクター・パッドと試験用パッドを有する照明器のマイクロ・フレックス相互接続回路の３次元ソリッド・モデルである。 金型凹部（ネスティング）の２×７２電極ＶＣＳＥＬアレイと、照明器のコバー筐体パッケージの基板の温度検出器付属品を示す斜視図である。 フレックス回路から凹部のＶＣＳＥＬアレイまでのワイヤー接合を有するコバー筐体を示す図である。 照明器の蓋を上から見た斜視図である。この蓋は、その下にマイクロレンズ・アレイを取り付けたマイクロレンズ保持具を有するアルミニウム・マイクロ保定器ねじ根止め材でもあり、照明器の上のふたとして置かれる。 マイクロレンズ取付台によって保持されるマイクロレンズ・アレイの照明器の蓋を下方から見た斜視図であり、マイクロ保定器ばねと調整装置ねじを示す。 照明器のコバー筐体に取り付けられる蓋の斜視図である。マイクロレンズ・アレイの上にある透明な窓を、ＶＣＳＥＬ光線のアレイが通過する。 照明器の付属品である、把持機構を有するＺＩＦソケットと、接地帰還路コネクターを有するプリント配線板とを示す斜視図である。 照明器の付属品である、熱電気冷却器（ＴＥＣ）と、脱熱器と、脱熱器上部プレーとを示す斜視図である。 照明器の付属品である、第１光線分割器と、取付台と、素子読取装置に着脱自在のマイクロ片持ばりチップの付属品とを示す斜視図である。 照明器の付属品である、第２光線分割器と、取付台と、円柱レンズ・アレイと、位置検出素子（ＰＳＤ）アレイとを示す斜視図である。 照明器の付属品である、ＰＳＤアレイ・プリント配線板（ＰＷＢ）と、ＳＭＴコネクターと、ＰＳＤ，ＰＷＢケージ・プレートの取付けのための一組の延長ロッドと、フィルターと、フィルター取付台ケージ・プレートと、ＣＣＤカメラと、ビデオ顕微鏡レンズとを示す斜視図である。 照明器の付属品である、ＣＣＤカメラ・アタプタープレートと、ＣＣＤカメラＺ動程移動ステージとＺ載物台アダプタブラケットとを示す斜視図である。 照明器の付属品である、一組のＣＣＤカメラ１０７Ｙ−動程移動ステージと、マイクロ片持ばりチップのための流体セル根止め材、流体セルカバーとを示す斜視図である。 照明器の付属品である、フルイディックス加熱器組立体と、一組のＴＥＣ組立体角度計傾斜載物台と、ＴＥＣ組立体回転式載物台と、ＴＥＣ組立体屈曲載物台、アタプタープレート、研究室プラグの差込み口と、計測器ベースプレートとを示す斜視図である。 図１３に示すマイクロ片持ばりチップの相互作用セルに位置する５つのマイクロ片持ばり上に、マイクロ保定器を使用している照明器から向けられる光線の５つの光線の写真である。 光線がない場合の図１９に示す５つのマイクロ片持ばりの写真である。

Claims (51)

1. 素子の中に備えられる検出器アレイの読取方法が、
   少なくとも一つの電磁光線が前記検出器アレイの少なくとも一つの検出器を照らすものであって、アレイに配列した複数の電磁光線によって前記各検出器アレイを照らすことと、
   前記検出器から反射した複数の電磁光線を検出することとを含むことを特徴とする。
2. 前記照らすことが、縦型空洞表面放出レーザー（ＶＣＳＥＬ）アレイから電磁光線を送ることであることを特徴とする請求項１に記載の読取方法。
3. 前記検出器が、マイクロ片持ばりであることを特徴とする請求項１に記載の読取方法。
4. 前記素子が、マイクロフルイディックス素子であることを特徴とする請求項１に記載の読取方法。
5. 前記検出することが、複数の位置検出器（ＰＳＤ）によって行われることを特徴とする請求項１に記載の読取方法。
6. 前記照らすことが、電磁光線を発生させることであることを特徴とする請求項２に記載の読取方法。
7. 前記電磁光線を発生させることが、基板に前記ＶＣＳＥＬリニア・アレイを取り付けることであることを特徴とする請求項６に記載の読取方法。
8. 前記マイクロフルイディックス素子が、前記ＶＣＳＥＬアレイから離れていることを特徴とする請求項７に記載の読取方法。
9. 前記照らすことが、前記ＶＣＳＥＬと前記検出器との間に光線分割器があることを特徴とする請求項７に記載の読取方法。
10. 前記照らすことが、約７６０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍの波長であることを特徴とする請求項１に記載の読取方法。
11. 前記素子の中に試料液を入れることを特徴とする請求項１に記載の読取方法。
12. 前記試料液が、生体分子であることを特徴とする請求項１１に記載の読取方法。
13. 前記検出することが、 電磁光線が前記生体分子を、前記マイクロ片持ばりの表面の成分に力を与えるマイクロ力に、結びつけることを検出することを特徴とする請求項１２に記載の読取方法。
14. マイクロフルイディックス素子の中に備えられる検出器アレイを読み取る素子読取装置が、
    マイクロフルイディックス素子を収納する開口部を有する筐体と、
    各照明器が前記検出器アレイの中の少なくとも一つの検出器を照らすように構成される前記筐体の中に置かれる照明器アレイと、
    前記検出器から反射する少なくとも一つの電磁光線を受け止める前記筐体の中に置かれる位置検出素子（ＰＳＤ）とを備えることを特徴とする素子読取装置。
15. 前記照明器が、縦型空洞表面放出レーザー（ＶＣＳＥＬ）アレイであること特徴とする請求項１４に記載の素子読取装置。
16. 前記検出器が、マイクロ片持ばりであること特徴とする請求項１４に記載の素子読取装置。
17. 前記マイクロフルイディックス素子が、 前記ＶＣＳＥＬから約３０ｍｍから約６０ｍｍ離れて置かれること特徴とする請求項１５に記載の素子読取装置。
18. 前記素子読取装置が、光線分割器を備えることを特徴とする請求項１０に記載の素子読取装置。
19. 前記検出器の表面が、試料の中の生体分子に結合することができる成分に力を与えるマイクロ力を有することを特徴とする請求項１８に記載の素子読取装置。
20. 前記ＶＣＳＥＬと前記検出器の間にマイクロレンズ・アレイを備えることを特徴とする請求項１５に記載の素子読取装置。
21. 前記照明器アレイが、少なくとも約３０個の照明器を有することを特徴とする請求項１５に記載の素子読取装置。
22. 前記照明器アレイが、少なくとも約６０個の照明器を有することを特徴とする請求項１５に記載の素子読取装置。
23. 前記ＶＣＳＥＬは、それぞれ電気接続していることを特徴とする請求項１６に記載の素子読取装置。
24. 前記電気接続が、金製の鋲こぶを有することを特徴とする請求項２３に記載の素子読取装置。
25. 前記電気接続が、ワイヤー接合を有することを特徴とする請求項２３に記載の素子読取装置。
26. 前記ＰＳＤが、少なくとも一つの感光性の素子を有し、前記マイクロ片持ばりから反射される前記電磁光線の強度と位置が、前記マイクロ片持ばりの偏向の程度を示すことを特徴とする請求項１７に記載の素子読取装置。
27. 複数のマイクロ片持ばりを照らすマイクロ光学の半組立品の照明装置が、
    直線配列の複数の電磁光線を発生させて送るための手段と
    電子回路と制御装置と配線装備とインターフェース・コネクターとを有する電力供給源と、
    各マイクロ片持ばりの標的に照明のスポットが当たり、電磁光線が標的から反射するように電磁光線の焦点を合わせるマイクロレンズ・アレイと
    素子読取装置用の筐体とを備えることを特徴とする照明装置。
28. 前記マイクロ片持ばりが、前記筐体の中に着脱自在に置かれるマイクロフルイディックス素子の中に置かれることを特徴とする請求項２７に記載の照明装置。
29. 前記マイクロ片持ばりが、マイクロ力検出物質を有することを特徴とする請求項２７に記載の照明装置。
30. 前記マイクロ力が、化学的なマイクロ力と、磁気のマイクロ力と、熱的なマイクロ力と、圧電性のマイクロ力と、ピエゾ抵抗素子のマイクロ力とを有する集団から選択されることを特徴とする請求項２９に記載の照明装置。
31. 複数の検出器を読み取るために電磁光線のアレイを発生させるための照明器が、複数の縦型空洞表面放出レーザー（ＶＣＳＥＬ）を備える照明器と、電子回路と制御に関する回路と、筐体とを備えることを特徴とする照明器。
32. 前記検出器が、マイクロ片持ばりであることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
33. 光線分割器を備えることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
34. 前記照明器の波長が、約６７０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍと、約７６０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍと、約８５０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍと、約１，２００ｎｍプラスマイナス２０ｎｍと、約１，３５０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍと、約１，５５０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍとを有する集団から選択されることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
35. 前記照明器の波長が、約７６０ｎｍプラスマイナス２０ｎｍであることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
36. 前記ＶＣＳＥＬと前記検出器との間に、マイクロレンズ・アレイを備えることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
37. 前記ＶＣＳＥＬが、熱、および電気伝導基板に取り付けられることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
38. 前記基板にマイクロ・フレックス回路を有することを特徴とする請求項３７に記載の照明器。
39. 前記マイクロ・フレックス回路が、接着剤によって前記基板に取り付けられることを特徴とする請求項３８に記載の照明器。
40. 前記マイクロ・フレックス回路が、銅とニッケルと金との層を有することを特徴とする請求項３８に記載の照明器。
41. ＶＣＳＥＬアレイ金型が、金の合金、または銀が加えられたエポキシを有する前記電気伝導基板に取り付けられることを特徴とする請求項３７に記載の照明器。
42. 一般的なＶＣＳＥＬ陰極が、前記合金、または前記エポキシと接触していることを特徴とする請求項４１に記載の照明器。
43. 前記ＶＳＣＥＬアレイ金型の出力口径が、少なくとも約１．５μｍから約２０μｍであることを特徴とする請求項４１に記載の照明器。
44. 前記ＶＣＳＥＬから前記マイクロ片持ばりまでの距離が、約３０ｍｍであることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
45. マイクロ保定器台を備えることを特徴とする請求項３６に記載の照明器。
46. 前記マイクロ保定器台が、前記基板に取り付けられることを特徴とする請求項４５に記載の照明器。
47. 窓のある蓋を備えることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
48. 前記基板に取り付けられるマイクロ保定器ねじ止め材を備えることを特徴とする請求項４７に記載の照明器。
49. マイクロレンズ・アレイを備えたマイクロレンズ保持具を備えることを特徴とする請求項４６に記載の照明器。
50. 前記複数のＶＣＳＥＬが、少なくとも約２０個のＶＣＳＥＬを備えることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
51. 前記複数のＶＣＳＥＬが、少なくとも約６０個のＶＣＳＥＬを備えることを特徴とする請求項３１に記載の照明器。
    

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