CN213580651U - 一种多功能光电流测试平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种多功能光电流测试平台，包括光学隔振平台，所述光学隔振平台上通过支撑柱设置有双层光学平台，所述双层光学平台的上层上设置有激光模组，所述双层光学平台的上层上设置有激光输入模组，所述激光输入模组与激光模组相对间隔设置，所述激光模组通过外光路连接器引入至激光输入模组，所述激光输入模组上设置有显微镜主体，所述显微镜主体上设置有显微目镜模组，所述双层光学平台的下层上设置有样品台，所述样品台的上方设置有显微镜主体，所述双层光学平台的下层上设置有探测模组，用于探测样品台的样品，所述探测模组与样品台相对间隔设置。本实用新型能满足对光电材料的光电响应进行测试的需求。

Description

一种多功能光电流测试平台

技术领域

本实用新型涉及一种多功能光电流测试平台。

背景技术

光电流检测是对光电效应产生的微弱电流进行检测的技术，是光电检测的重要手段，具有精度高、自动化程度高、信息效率高等特点。光电流检测不仅应用于科学研究领域，如物理学、地磁学、电化学等，而且在生活检测领域，如大气检测、水质，都具有非常广泛的应用。随着二维材料研究的蓬勃发展，其材料性能及器件工作机制都与传统半导体材料和器件有很大差异，光电流成像显微系统成为研究材料性能和检测材料光电流强度分布的重要设备，既可以用于测量光电材料的光电响应信号，又可以表征材料的光电性质。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的一种多功能光电流测试平台，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种多功能光电流测试平台。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种多功能光电流测试平台，包括光学隔振平台，所述光学隔振平台上通过支撑柱设置有双层光学平台，所述双层光学平台的上层上设置有激光模组，所述双层光学平台的上层上设置有激光输入模组，所述激光输入模组与激光模组相对间隔设置，所述激光模组通过外光路连接器引入至激光输入模组，所述激光输入模组上设置有显微镜主体，所述显微镜主体上设置有显微目镜模组，所述双层光学平台的下层上设置有样品台，所述样品台的上方设置有显微镜主体，所述双层光学平台的下层上设置有探测模组，用于探测样品台的样品，所述探测模组与样品台相对间隔设置。

优选地，所述的一种多功能光电流测试平台，所述的激光模组为超连续激光器，或为激光合束模组，或为单个激光器。

优选地，所述的一种多功能光电流测试平台，所述显微目镜模组上设置有彩色CMOS相机。

优选地，所述的一种多功能光电流测试平台，所述显微镜主体为尼康显微镜，或为奥林巴斯显微镜，或为卡尔蔡司显微镜。

优选地，所述的一种多功能光电流测试平台，所述样品台上设置有精密平移台，所述精密平移台上设置有PCB板，或为探针台。

优选地，所述的一种多功能光电流测试平台，所述探测模组包括光电探测器，放大并探测反射光信号；或者源表，测量光电材料的光电流信号；或者光谱仪，测试谱线不同波长位置强度。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型能具有多种设备组合方式，根据客户需求进行设备搭建和功能实现，更加实用和灵活，同时具有多种功能，可用于探测光电流信号，可用于探测反射信号，可用于探测光谱信号。满足对光电材料的光电响应进行测试的需求，本实用新型具有高灵活性，提供多功能分区多种仪器设备组合，本实用新型结构简单，安装和维护方便。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

实施例

如图1所示，一种多功能光电流测试平台，包括光学隔振平台1，所述光学隔振平台1上通过支撑柱8设置有双层光学平台2，所述双层光学平台2的上层上设置有激光模组3，所述双层光学平台2的上层上设置有激光输入模组4，所述激光输入模组4与激光模组3相对间隔设置，所述激光模组3通过外光路连接器9引入至激光输入模组4，所述激光输入模组4上设置有显微镜主体5，所述显微镜主体5上设置有显微目镜模组10，所述双层光学平台2的下层上设置有样品台6，所述样品台6的上方设置有显微镜主体5，所述双层光学平台2的下层上设置有探测模组7，用于探测样品台6的样品，所述探测模组7与样品台6相对间隔设置。

本实用新型中所述的激光模组3为超连续激光器，或为激光合束模组，或为单个激光器。

本实用新型中所述显微目镜模组10上设置有彩色CMOS相机11。

本实用新型中所述显微镜主体5为尼康显微镜，或为奥林巴斯显微镜，或为卡尔蔡司显微镜。

本实用新型中所述样品台6上设置有精密平移台，所述精密平移台上设置有PCB板，或为探针台。

上述的样品台6上可以安装需要的装置(PCB板或探针台)来进行固定检测，这是都是本领域技术人员已知的安装方式，在这边不作任何的赘述。

本实用新型中所述探测模组7包括光电探测器，放大并探测反射光信号；或者源表，测量光电材料的光电流信号；或者光谱仪，测试谱线不同波长位置强度。

针对上述的探测模组7，本实用新型可以采用上述不同的装置来进行不同功能的检测，主要是依据客户的需求进行安装，安装的方式也是本领域技术人员已知的技术，这边不作任何的赘述。

本实用新型的工作原理如下：

具体工作时，工作光路由激光模组3发出激光，激光模组3包括多个激光器，内部光路已实现准直共路，通过外光路连接器9引入到激光输入模组4，经由显微镜主体5聚焦在样品面。待探测的样品放置在样品台6上的PCB板上，PCB板固定在精密平移台上，精密平移台上电后，带动样品进行XY方向的运动扫描，PCB板经由锁相放大器连接至探测模组7，探测模组7有Keithley源表，Keithley源表可提供电压/电流，亦可测量电压/电流；

样品台6还可采用探针台，通过探针压住样品，再外接Keithley源表测量电压/电流，样品台6还可搭配电磁铁，用于提供可控磁场，还可搭配低温恒温系统，用于提供可控温度，探测模组7可以放置光谱仪，用于测试谱线不同波长位置强度。还有一路反射信号，激光到达样品表面后，反射通过显微镜及激光输入模组，在激光输入模组4的背面连接探测模组7光电探测器，再经由锁相放大器对信号进行放大滤波处理。

本实用新型具有多种设备组合方式，根据客户需求进行设备搭建和功能实现，更加实用和灵活，同时具有多种功能，可用于探测光电流信号，可用于探测反射信号，可用于探测光谱信号。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，并不用于限制本实用新型，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种多功能光电流测试平台，其特征在于：包括光学隔振平台(1)，所述光学隔振平台(1)上通过支撑柱(8)设置有双层光学平台(2)，所述双层光学平台(2)的上层上设置有激光模组(3)，所述双层光学平台(2)的上层上设置有激光输入模组(4)，所述激光输入模组(4)与激光模组(3)相对间隔设置，所述激光模组(3)通过外光路连接器(9)引入至激光输入模组(4)，所述激光输入模组(4)上设置有显微镜主体(5)，所述显微镜主体(5)上设置有显微目镜模组(10)，所述双层光学平台(2)的下层上设置有样品台(6)，所述样品台(6)的上方设置有显微镜主体(5)，所述双层光学平台(2)的下层上设置有探测模组(7)，用于探测样品台(6)的样品，所述探测模组(7)与样品台(6)相对间隔设置。

2.根据权利要求1所述的一种多功能光电流测试平台，其特征在于：所述的激光模组(3)为超连续激光器，或为激光合束模组，或为单个激光器。

3.根据权利要求1所述的一种多功能光电流测试平台，其特征在于：所述显微目镜模组(10)上设置有彩色CMOS相机(11)。

4.根据权利要求1所述的一种多功能光电流测试平台，其特征在于：所述显微镜主体(5)为尼康显微镜，或为奥林巴斯显微镜，或为卡尔蔡司显微镜。

5.根据权利要求1所述的一种多功能光电流测试平台，其特征在于：所述样品台(6)上设置有精密平移台，所述精密平移台上设置有PCB板，或为探针台。

6.根据权利要求1所述的一种多功能光电流测试平台，其特征在于：所述探测模组(7)包括光电探测器，放大并探测反射光信号；或者源表，测量光电材料的光电流信号；或者光谱仪，测试谱线不同波长位置强度。

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