JP2006501525A - コーナー・フィーチャ装飾をプロセス制御するための方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
Description
この例の場合、f(x,y)は、図8の楕円810が全体を示している、長軸および短軸、または50nmの半長軸および1nmの半短軸を有し、45度回転した楕円である。関数g(x,y)は、この実施形態のピクセルの投影画像に対応する80×80nmの正方形である。結果としての相互相関h(x,y)は、正方形が距離(x,y)だけ移動した場合の、正方形g(x,y)と楕円f(x,y)間の重なり面積である。次に、これらの値には、それぞれ内側のコーナーおよび外側のコーナーの調整をスケールするために、係数gliまたはgloが掛けられる。
dx:コーナー・フィーチャからピクセルの中心までの距離または変位x
dy:コーナーからピクセルまでの距離y
pV:現在のピクセルの調整していないラスタ値
cV:コーナー・フィーチャを含むピクセルの調整していないラスタ値
cT:内側/外側およびNE、SE、SWまたはNWのようなコーナーのタイプおよび向き
a:LUTを形成するために使用した楕円の長半軸または主半軸の長さ
b:ある値または他の値に設定することができるがglをパスできないLUTを形成するために使用した楕円の短半軸の長さ
gl:内側のコーナーに対してはgliであり、外側のコーナーに対してはgloであるグレー・レベル調整パラメータ
cInP:コーナーがピクセルpV内に位置しているかどうかを示すオプション・フラッグ
いくつかのグローバルな変数(ライン13〜16)を使用することができる。これらはx楕円、y楕円、s楕円およびa楕円を含む。最初の3つのグローバル変数は、参照テーブルとしてコーナー調整プロファイルを実施するアレイである。a楕円パラメータは、LUTを形成するために使用したパラメータ「a」の値である。所与のパラメータ「a」に対するライン17〜30においては、例えば、ディスク・ファイル内にLUTがロードされているか、または依然として存在する場合には、現在のLUTが使用される。そうでない場合には、scEllipseCreateを呼び出すと、新しいLUTが形成される。
Claims (42)
- ラスタ化したデータ領域内において、コーナー・フィーチャのところでの露出をプロセス制御するための方法であって、
コーナー境界露出調整プロファイルを供給するステップと、
前記コーナー・フィーチャの所定の境界内で、加工部材の放射エネルギーに対する露出を調整するために、ラスタ化した露出パターン・データ内のコーナー・フィーチャに前記露出調整プロファイルを適用するステップと、
前記調整した露出パターン・データにより、前記加工部材上にパターンを生成するステップとを含む方法。 - 前記コーナー境界露出調整プロファイルが、高アスペクト比の装飾および代表的ピクセル面積の相互相関に対応する、請求項1に記載の方法。
- 前記コーナー境界露出調整プロファイルが、前記コーナー・フィーチャがピクセル面積内に位置する位置とはほぼ独立している調整を行う、請求項1に記載の方法。
- 前記コーナー境界露出調整プロファイルが、+/−1nmまたはそれより優れたピクセル面積内で、前記コーナー・フィーチャの位置に依存する露出を行う、請求項1に記載の方法。
- 前記代表的ピクセル面積が、ピクセルの露出を制御する素子の断面に対応する、請求項2に記載の方法。
- 前記代表的ピクセル面積が、ピクセルの露出を制御する素子の前記加工部材上への放射線の断面に対応する、請求項2に記載の方法。
- 前記コーナー境界露出調整プロファイルが、高アスペクト比の装飾と代表的ピクセル面積間の組合わせに対応する、請求項1に記載の方法。
- 前記コーナー境界露出調整プロファイルが、前記コーナー・フィーチャのところで重畳する高アスペクト比の装飾に対応する、請求項1に記載の方法。
- 前記コーナー境界露出プロファイルが、参照テーブルとして実施される、請求項1に記載の方法。
- 前記コーナー境界露出プロファイルが、参照テーブルとして実施される、請求項2に記載の方法。
- 前記適用および生成ステップが、ラスタ化した露出パターン・データの流れを処理する際に並列に行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記ラスタ化した露出パターン・データが、ベクトル・パターン・データから生成され、前記ベクトル・パターン・データが前記適用ステップにより修正されない、請求項11に記載の方法。
- 前記適用ステップが、前記ラスタ化した露出パターン・データ内の特定のピクセルに対して、前記特定のピクセルの前記所定の境界内の1つまたはそれ以上のコーナー・フィーチャを識別するステップと、前記特定のピクセルに対する前記調整した露出を決定するために、前記コーナー・フィーチャを処理するステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記適用ステップが、前記ラスタ化した露出パターン・データ内の特定のコーナー・フィーチャに対して、前記所定の境界内に中心を有する1つまたはそれ以上のピクセルを識別するステップと、前記識別したピクセルに対する前記調整した露出に対する前記特定のコーナー・フィーチャの影響を決定するために、前記ピクセルを処理するステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記適用ステップが、前記ラスタ化した露出パターン・データ内の特定のコーナー・フィーチャに対して、前記所定の境界内の1つまたはそれ以上のピクセルを識別するステップと、前記識別したピクセルに対する前記調整した露出に対する前記特定のコーナー・フィーチャの影響を決定するために、前記ピクセルを処理するステップとをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- ラスタ化したデータの流れ内で識別した1つまたはそれ以上のコーナー・フィーチャのところで、高アスペクト比の装飾を動的に追加する方法であって、
前記コーナー・フィーチャのところで高アスペクト比の装飾を重畳するステップと、
前記重畳した高アスペクト比の装飾に対応する前記コーナー・フィーチャの所定の境界内の露出を調整するステップとを含む方法。 - 前記所定の境界内で露出を調整するステップが、前記コーナー・フィーチャおよび特定のピクセル面積の相対的位置に対応する露出調整を決定するために、コーナー境界露出調整プロファイルを適用するステップを含む、請求項16に記載の方法。
- 前記コーナー境界露出調整プロファイルが、前記高アスペクト比の装飾および代表的ピクセル面積の相互相関に対応する、請求項17に記載の方法。
- 前記コーナー境界露出プロファイルが、参照テーブルとして実施される、請求項17に記載の方法。
- 前記高アスペクト比の装飾が、少なくとも4:1のアスペクト比を有する、請求項16に記載の方法。
- 前記高アスペクト比の装飾が、少なくとも10:1のアスペクト比を有する、請求項16に記載の方法。
- 前記高アスペクト比の装飾が、少なくとも25:1のアスペクト比を有する、請求項16に記載の方法。
- 前記高アスペクト比の装飾が、少なくとも50:1のアスペクト比を有する、請求項16に記載の方法。
- 前記コーナー・フィーチャの縁部が、第1および第2の軸の方を向いていて、前記高アスペクト比の装飾が、前記第1および第2の軸を横切る方向を向いている、請求項20に記載の方法。
- 露出を調整するステップが、露出調整の程度を制御するために、調整パラメータを適用するステップをさらに含む、請求項16に記載の方法。
- 露出を調整するステップが、前記コーナー境界露出調整プロファイルと一緒に調整パラメータを適用するステップをさらに含む、請求項18に記載の方法。
- ピクセル指向露出システムのコーナー・フィーチャのところで、高アスペクト比の装飾を動的に追加するための方法であって、
特定のコーナー・フィーチャのところで、動的に追加した高アスペクト比の装飾に対応する特定のコーナー・フィーチャの所定の境界内で、ピクセルの露出値を調整するためにコーナー境界露出調整プロファイルを適用するステップと、
前記調整したピクセル露出値により加工部材上にパターンを生成するステップとを含む方法。 - ピクセルを有するパターン・ゼネレータにより加工部材を露出するための方法であって、
少なくとも3回の露出パス中にレジスト層を露出するステップを含み、前記ピクセルが、前記4回の露出パスの少なくとも3回中に露出した前記ピクセルの中心を通る平行な軸が一致しないように千鳥状になっている方法。 - 前記露出パスが重なり面積を定義するピクセルの重なりを形成し、前記ピクセルの中心が前記重なり面積の中心を中心にして本質的に均一な角度分布を有する、請求項28に記載の方法。
- 前記ピクセルの中心が、前記重なり面積の中心からほぼ等距離にある、請求項29に記載の方法。
- 前記露出パスが重なり面積を定義するピクセルの重なりを形成し、前記ピクセルの中心が前記重なり面積の中心からほぼ等距離にある、請求項28に記載の方法。
- 2つのパターン・ゼネレータのうちの少なくとも一方の1つまたはそれ以上の制御パラメータを調整することにより、前記パターン・ゼネレータを一致させる方法であって、
そのうちの一方が前記プロセス制御パラメータを使用する前記パターン・ゼネレータにより加工部材上に生成したパターンの露出パターンの特性を比較するステップと、
前記露出パターンがほぼ一致するまで、前記プロセス制御パラメータを調整するステップと、
前記プロセス制御パラメータにより、前記パターン・ゼネレータのうちの少なくとも一方のラスタ領域データを変更するステップとを含む方法。 - 前記プロセス・パラメータが、コーナー・フィーチャ露出特性に関連する、請求項32に記載の方法。
- 前記比較ステップが、シミュレーションにより行われる、請求項32に記載の方法。
- 前記比較ステップが、実験的露出により行われる、請求項32に記載の方法。
- 前記パターン・ゼネレータがマスク・ライタである、請求項32に記載の方法。
- 前記パターン・ゼネレータが直接ライタである、請求項32に記載の方法。
- 前記比較ステップが、前記加工部材を露出するための前記パターン・ゼネレータにより生成されたパターンに基づいて行われる、請求項32に記載の方法。
- 前記比較ステップが、前記加工部材を露出するために使用するマスクを露出するための前記パターン・ゼネレータにより生成されたパターンに基づいて行われる、請求項32に記載の方法。
- 少なくとも3回の露出パス中にレジスト層を露出するステップを含む、ピクセル指向のパターン・ゼネレータにより加工部材を露出する方法であって、前記露出パスが、重なり面積を定義するピクセルの重なりを形成し、重なっているピクセルの中心が、前記重なり面積の中心を中心にしてほぼ均一な角度分布を有する方法。
- 前記ピクセルが、変調装置の物理素子である、請求項40に記載の方法。
- 前記ピクセルが、露出放射線の変調の論理的位置である、請求項40に記載の方法。
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