JP2006352019A - ヒートシンク並びにこれを有するレーザ装置およびレーザスタック装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ヒートシンク10aは、第1の平板12、仕切り板14および第2の平板16を有している。第1の平板は、第1の凹部22が形成された上面を有する。第2の平板は、第2の凹部30が形成された下面と、半導体レーザ素子2aが搭載される上面を有する。これらの凹部は冷媒用流路の一部を成す。仕切り板は、第1の凹部を覆う下面、第2の凹部を覆う上面、および第1の凹部を第2の凹部に連通させる一つ以上の貫通孔38を有する。第1および第2の平板は、共に第1の熱膨張率を有している。仕切り板は、第1の熱膨張率よりも低い第2の熱膨張率を有している。これにより、ヒートシンク全体の熱膨張率が低減されるので、半導体レーザ素子に生じる応力歪が低減される。
【選択図】図3
Description
Claims (6)
- 発熱体を冷却するヒートシンクであって、
第1の凹部が形成された上面を有する導電性の第1の平板と、
第2の凹部が形成された下面および前記発熱体が搭載されるべき上面を有する導電性の第2の平板と、
前記第1の凹部を覆う下面、前記第2の凹部を覆う上面、および前記第1の凹部を前記第2の凹部に連通させる一つ以上の貫通孔を有する導電性の仕切り板と、
前記第1および第2の凹部の一方から延在し、当該ヒートシンクに冷媒を流入させる冷媒流入口と、
前記第1および第2の凹部の他方から延在し、当該ヒートシンクから冷媒を流出させる冷媒流出口と、
を備え、
前記第1および第2の平板は、共に第1の熱膨張率を有しており、
前記仕切り板は、前記第1の熱膨張率よりも低い第2の熱膨張率を有している、
ヒートシンク。 - 前記第1の平板は、前記仕切り板よりも高い熱伝導率を有している、請求項1に記載のヒートシンク。
- 前記第1および第2の平板は、Cuから構成されている、請求項1または2に記載のヒートシンク。
- 前記仕切り板は、Ni、Au、W、Pt、Tiまたはステンレススチールから構成されている、請求項1〜3のいずれかに記載のヒートシンク。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のヒートシンクと、
前記ヒートシンクの前記第2の平板の上面に搭載され、前記第1の熱膨張率よりも低い熱膨張率を有する半導体レーザ素子と、
を備えるレーザ装置。 - 第1のヒートシンクと、第2のヒートシンクと、第1の半導体レーザ素子と、第2の半導体レーザ素子とを備え、
前記第1のヒートシンクおよび第2のヒートシンクは、それぞれ請求項1〜4のいずれかに記載のヒートシンクであり、
前記第1の半導体レーザ素子は、前記第1のヒートシンクの前記第2の平板の上面と、前記第2のヒートシンクの前記第1の平板の下面との間に配置され、前記第1の熱膨張率よりも低い熱膨張率を有しており、
前記第2の半導体レーザ素子は、前記第2のヒートシンクの前記第2の平板の上面に搭載され、前記第1の熱膨張率よりも低い熱膨張率を有している、
レーザスタック装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005179459A JP4675690B2 (ja) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | レーザスタック装置 |
CN200680012968XA CN101164163B (zh) | 2005-06-20 | 2006-04-27 | 散热器和具有它的激光器装置以及激光器堆栈装置 |
DE112006001602T DE112006001602T5 (de) | 2005-06-20 | 2006-04-27 | Wärmesenke, Laservorrichtung mit einer Wärmesenke und Laserstapelvorrichtung |
PCT/JP2006/308848 WO2006137219A1 (ja) | 2005-06-20 | 2006-04-27 | ヒートシンク並びにこれを有するレーザ装置およびレーザスタック装置 |
US11/917,971 US7944956B2 (en) | 2005-06-20 | 2006-04-27 | Heat sink, laser apparatus provided with such heat sink, and laser stack apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005179459A JP4675690B2 (ja) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | レーザスタック装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006352019A true JP2006352019A (ja) | 2006-12-28 |
JP4675690B2 JP4675690B2 (ja) | 2011-04-27 |
Family
ID=37570255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005179459A Expired - Fee Related JP4675690B2 (ja) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | レーザスタック装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7944956B2 (ja) |
JP (1) | JP4675690B2 (ja) |
CN (1) | CN101164163B (ja) |
DE (1) | DE112006001602T5 (ja) |
WO (1) | WO2006137219A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE112021005832T5 (de) | 2020-11-04 | 2023-08-24 | Hamamatsu Photonics K.K. | Halbleiter-laservorrichtung |
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-
2005
- 2005-06-20 JP JP2005179459A patent/JP4675690B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-04-27 DE DE112006001602T patent/DE112006001602T5/de not_active Withdrawn
- 2006-04-27 CN CN200680012968XA patent/CN101164163B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-27 US US11/917,971 patent/US7944956B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-27 WO PCT/JP2006/308848 patent/WO2006137219A1/ja active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4675690B2 (ja) | 2011-04-27 |
DE112006001602T5 (de) | 2008-04-30 |
US20100202479A1 (en) | 2010-08-12 |
US7944956B2 (en) | 2011-05-17 |
WO2006137219A1 (ja) | 2006-12-28 |
CN101164163B (zh) | 2010-04-07 |
CN101164163A (zh) | 2008-04-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080123 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110126 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |