JP2006351758A - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光電変換領域12及びパッド部15を含む半導体基板11の表面に保護膜14を形成する工程と、保護膜14上にカラーフィルタ層16を有する平坦化層18を形成する工程と、パッド部15にパッド開口14aを形成する工程とを有し、保護膜14を形成した後で、光電変換領域12及び/又はパッド部15上の保護膜14の表面を平坦化し、且つ、保護膜14の膜厚を薄くする工程を有している。
【選択図】 図1
Description
また、2層のポリ電極やパッド部を覆うようにプラズマ窒化膜を形成する場合に、後にパッド部にパッド開口を形成する際に、該パッド開口に残渣が残りやすく、現像によりアルミニウムに面荒れが発生することに起因して、ワイヤボンディングや後の工程に影響を及ぼしてしまうことが懸念されている。
図1及び図2は、本発明に係る固体撮像装置の製造方法の手順を示す図である。
図1(a)を参照すると、固体撮像装置10の半導体基板11は、シリコン基板等からなり、その上面の所定位置にはスパッタリング等によってアルミ膜を形成した後、フォトリソグラフィによってアルミ電極のボンディングパッド部(以下、パッド部という。)15が形成されている。
まず、図2(a)に示すように、保護膜14の上面においてパッド部15が形成された領域を除く領域を覆うようにパターニングされたパッド開口用レジストRを形成する。そして、図2(b)に示すように、このパッド開口用レジストRをマスクとして、パッド部15の上部の保護膜14のみをプラズマドライエッチングにより除去し、パッド開口14aを形成し、パッド部15を露出させる。プラズマドライエッチングは、チャンバー内において、所定のエッチングガスの雰囲気中で行われる。エッチングガスは、パッド部15のアルミニウムが膜減りを防止するように酸素ガスのみからなるものなどを適宜用いられる。
11 半導体基板
14 保護膜(プラズマ窒化膜)
15 パッド部
16 平坦化層
17 マイクロレンズ層
Claims (5)
- 光電変換領域及びパッド部を含む半導体基板の表面に保護膜を形成する工程と、
前記保護膜上にカラーフィルタ層を有する平坦化層を形成する工程と、
前記パッド部にパッド開口を形成する工程とを有し、
前記保護膜を形成した後で、前記光電変換領域上の前記保護膜の表面を平坦化し、且つ、前記保護膜の膜厚を薄くする工程を有していることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 光電変換領域及びパッド部を含む半導体基板の表面に保護膜を形成する工程と、
前記保護膜上にカラーフィルタ層を有する平坦化層を形成する工程と、
前記パッド部にパッド開口を形成する工程とを有し、
前記保護膜を形成した後で、前記パッド部上の前記保護膜の表面を平坦化し、且つ、前記保護膜の膜厚を薄くする工程を有していることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記保護膜がプラズマ窒化膜であることを特徴とする請求項1又は2に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記プラズマ窒化膜の表面をCMPによって平坦化することを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置の製造方法。
- 前記プラズマ窒化膜の表面をエッチバックによって平坦化することを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置の製造方法。
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JP2005174835A JP2006351758A (ja) | 2005-06-15 | 2005-06-15 | 固体撮像装置の製造方法 |
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CN101290944B (zh) * | 2007-04-19 | 2010-06-23 | 夏普株式会社 | 固态图像捕获装置及其制造方法和电子信息装置 |
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