JP2006350047A

JP2006350047A - 導波路素子の光結合モジュールおよびその光軸調整方法

Info

Publication number: JP2006350047A
Application number: JP2005177242A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Murakami; 和宏村上; Satoshi Ueda; 智上田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2005-06-17
Filing date: 2005-06-17
Publication date: 2006-12-28

Abstract

【課題】高精度な光軸調整および確実な接続強度が可能で、光結合モジュールの小型化を実現する導波路素子の光結合モジュールおよびその光軸調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】片面に導波路１１を有し筐体１８の所定箇所に載置される導波路素子１０、ピン挿入を可能とするコリメータレンズホルダ１およびフォーカスレンズホルダ２および出射レンズホルダ１２を内部に収納し光軸調整した後固着する筐体１８と、チャック２７により把持可能で筐体１８の一端面へボルト３１の締付けにより光軸調整され組立保持される半導体レーザホルダ１４により構成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、導波路型ＳＨＧレーザの基本波の光結合などに関するものであり、特に半導体レーザと導波路素子の高効率光結合を実現する導波路素子の光結合モジュールおよびその光軸調整方法に関するものである。

従来における、この種の導波路素子の光結合モジュールならびに光軸調整方法としては、導波路素子の光結合モジュールおよびその光軸調整方法を説明する要部概要断面図である図８に示すような構造を有していた。

図８において１０３はコリメータレンズ、そして１０４はフォーカスレンズであり、光学用樹脂材や光学用ガラス材などでなり、非球面の形状にて加工形成されている。１００はＬｉＮｂＯ₃材などの光学結晶からなる導波路素子であり、この導波路素子１００における片面中央部の長手方向に、例えば３×５μｍの導波路１０１が形成されている。

１０６は長方形面状の発光部１０５が内蔵されたＣＡＮパッケージ構造の半導体レーザ、１０８はアルミニウム材や亜鉛材あるいはそれらの合金材などでなる筐体であり、導波路１０１が下方となるように、導波路素子１００が載置部１０９を介して筐体１０８の内部に固着されており、導波路素子１００の載置部１０９における固定部前面には、コリメータレンズ１０３およびフォーカスレンズ１０４が、筐体１０８の内部に収納配設されており、また筐体１０８の片端面には半導体レーザ１０６が圧入されている。

筐体１０８は、発光部１０５、コリメータレンズ１０３、フォーカスレンズ１０４および導波路１０１の各中心あるいは中心線と合致する構造体であり、コリメータレンズ１０３およびフォーカスレンズ１０４をＺ軸の移動のみにて光軸調整を行い、導波路素子１００の光結合がなされていた。

なお、この出願発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
特開平５−２７３６２４号公報

しかしながら、前記従来の光結合モジュール構造および光軸調整では、３×５μｍの導波路１０１において、導波路素子１００に対する導波路１０１の位置バラツキ、厚みバラツキおよび半導体レーザ１０６に内蔵された発光部１０５のＸ，ＹおよびＺにおける３軸位置バラツキが大きく、導波路素子１００への所定かつ充分なレーザ光の集光が得られないという課題を有していた。

本発明は、前記従来の課題を解決しようとするものであり、高精度な光軸調整および確実な接続強度が可能で、光結合モジュールの小型化を実現する導波路素子の光結合モジュールおよびその光軸調整方法を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。

本発明の請求項１に記載の発明は、特に、筐体の内部中央に設けられるとともに導波路素子を位置決めして固定する素子固定部と、位置決め保持用のピンが挿入可能で前記素子固定部の前方に設けられたＶ溝と板バネにより挟持し固定される円筒状のコリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダと、前記素子固定部の後方に固定される出射レンズホルダと、光軸調整用のチャックによる把持が可能で前記筐体の一端面に装着し固定される半導体レーザホルダとからなるという構成を有しており、これにより、各レンズホルダの浮上りを防止した状態で焦点距離の光軸調整や、半導体レーザホルダ煽りを防止した状態で導波路面に対する高精度な光軸調整が可能となり、導波路素子への高効率光結合が得られ、かつ光結合モジュールの小型化が図れるという作用効果を有する。

本発明の請求項２に記載の発明は、特に、筐体内におけるＶ溝は、各レンズホルダの外周円中心および導波路素子の導波路面の中心と合致させるという構成を有しており、これにより、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダの焦点距離調整が１軸での光軸調整となり、光軸調整の作業性が向上するという作用効果を有する。

本発明の請求項３に記載の発明は、特に、筐体内の素子固定部は、導波路素子の外形端面が当接する溝を有する形状としてなるという構成を有しており、これにより、導波路素子挿入時の位置ズレおよび回転ズレを防止し、導波路面の組立固定精度が向上するという作用効果を有する。

本発明の請求項４に記載の発明は、特に、筐体内における板バネの装着固定部分には、板バネの一端外形部と当接する溝を有する形状としてなるという構成を有しており、これにより、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダの焦点距離調整のための移動に伴う板バネの回転位置ズレによる板バネの押え力の不均一を防止し、各レンズホルダの浮上りを防止できるという作用効果を有する。

本発明の請求項５に記載の発明は、特に、半導体レーザホルダ、コリメータレンズホルダ、フォーカスレンズホルダ、板バネおよび筐体は、アルミニウム材あるいはアルミニウム合金材としてなるという構成を有しており、これにより、ダイカストおよびプレス加工などによる量産加工性が向上し、低コスト化が図れるという作用効果を有する。

本発明の請求項６に記載の発明は、特に、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダの外周円と前記における各レンズの固着孔とは同一軸であるという構成を有しており、これにより、独立したコリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダを筐体内のＶ溝へ組立固定する際、同一の光軸に設定できるという作用効果を有する。

本発明の請求項７に記載の発明は、特に、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダにおけるピンの挿入穴は、前記各レンズホルダの長手方向中央で円筒外周方向に長穴加工された形状としてなるという構成を有しており、これにより、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダの焦点距離調整時の移動において、筐体内のＶ溝方向へ各レンズホルダが外周方向へ回転しても支障なく移動でき、光軸調整の作業性が向上するという作用を有する。

本発明の請求項８に記載の発明は、特に、板バネは、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダに対する押えの中央部分に、角穴加工が施された形状としてなるという構成を有しており、これにより、各レンズホルダへのピン挿入を可能かつ容易とし、各レンズホルダの小型化が図れるという作用効果を有する。

本発明の請求項９に記載の発明は、特に、板バネは厚みが０．５〜１ｍｍで、１３０度の曲げ加工がなされた形状で、各レンズホルダへの押え量が０．３ｍｍであるという構成を有しており、これにより、板バネの押え力により各レンズホルダへの応力の発生を防止し、円滑に各レンズホルダがＶ溝上を摺動できるという作用効果を有する。

本発明の請求項１０に記載の発明は、特に、半導体レーザホルダにおけるボスの円筒形状の外周をＤ状にカット加工した形状としてなるという構成を有しており、これにより、半導体レーザホルダの寸法バラツキに係らずボス部をチャックにて把持することが可能となり、筐体のＶ溝前方端面と半導体レーザホルダの角形状フランジが擦り合せた状態にて、光軸の直交２軸を光軸調整した際の半導体レーザホルダの回転を防止できるという作用効果を有する。

本発明の請求項１１に記載の発明は、特に、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダの接着剤による固着箇所は、前記各レンズホルダと筐体内におけるＶ溝の当接部としてなるという構成を有しており、これにより、紫外線硬化接着剤などによる固着時の硬化収縮において、各レンズホルダの筐体内のＶ溝からの浮上りを防止できるという作用効果を有する。

本発明の請求項１２に記載の発明は、特に、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダは、円筒外周の２面をカット加工した形状としてなるという構成を有しており、これにより、紫外線硬化接着剤などの流動性が良くなり、塗布作業性が向上するという作用効果を有する。

本発明の請求項１３に記載の発明は、特に、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダにおける円筒外周に、溝加工を施した形状としてなるという構成を有しており、これにより、紫外線硬化接着剤などの固着材が各レンズホルダと筐体内のＶ溝との当接部への注入性が良くなり、接続強度が向上するという作用効果を有する。

本発明の請求項１４に記載の発明は、特に、半導体レーザホルダの接着剤による固着箇所は、角形状フランジの外周部としてなるという構成を有しており、これにより、接着剤の塗布面が確保され、半導体レーザホルダの導波路面に対する直交２軸の接続強度が向上するという作用効果を有する。

本発明の請求項１５に記載の発明は、特に、導波路素子、出射レンズホルダ、半導体レーザホルダおよびコリメータレンズホルダを筐体の所定箇所に設定し保持した後、コリメータレンズホルダをレーザ光の平行光による光軸調整を行い、次にフォーカスレンズホルダの所定箇所の設定およびレーザ光の所定の干渉縞による光軸調整を行い、次に半導体レーザホルダの光軸調整をレーザ光の所定の干渉縞および最大値により行い、次に接着剤の塗布硬化によりコリメータレンズホルダ、フォーカスレンズホルダおよび半導体レーザホルダを接着固定してなるという構成を有しており、これにより、操作と設定が容易かつ確実で、高精度な光軸調整ができるという作用を有する。

本発明における導波路素子の光結合モジュールおよびその光軸調整方法は、筐体の内部中央に設けた導波路素子を位置決めして固定する素子固定部、素子固定部の前方に設けられたＶ溝と板バネにより挟持し固定され、かつ位置決め保持用のピンが挿入可能な円筒状のコリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダ、素子固定部の後方に載置し固定する出射レンズホルダ、および光軸調整用のチャックによる把持が可能で筐体の一端面に装着し固定される半導体レーザホルダからなるという構成であり、導波路素子の光結合に対して高精度な光軸調整および確実な接続強度が可能となり、光結合モジュールの小型化が図れるという効果を有するものである。

（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における導波路素子の光結合モジュールおよびその光軸調整方法について、図面を参照しながら説明する。

図１は本発明の実施の形態１における導波路素子の光結合モジュールの要部概要斜視図、図２は同導波路素子の光結合の平行光アライメントの要部概要組立工程断面図、図３は同要部概要調整工程断面図、図４は導波路素子の光結合の導波路アライメントの要部概要組立工程断面図、図５は同要部概要調整工程断面図、図６は同導波路素子の光結合の光量最大化アライメントの要部概要工程断面図、そして図７は同導波路素子の光結合のための固着の要部概要工程断面図である。

図１において、１および２は亜鉛材、アルミニウム材あるいはそれらの合金材などのダイカスト加工あるいは切削加工で形成した円筒状のコリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダであり、このコリメータレンズホルダ１およびフォーカスレンズホルダ２の端面部における固着孔５の所定箇所には、コリメータレンズ３およびフォーカスレンズ４が、各レンズ３，４の中心と各レンズホルダ１，２の外周円の中心線と一致させて紫外線硬化接着剤などによりそれぞれ固着されている。

また、コリメータレンズ３およびフォーカスレンズ４における外周円とそれぞれの固着孔５とは同一軸であり、円筒外周は２面がカット加工され、かつ２列の溝６の加工を施した形状で、長手方向中央部の円筒外周方向に長穴７がそれぞれ設けられた構造となっている。

８はアルミニウム材あるいはアルミニウム合金材を、プレス加工で形成した板バネであり、その厚みは０．５〜１ｍｍとし、その中央部は１３０度程度の曲げ加工が施されており、さらにコリメータレンズホルダ１およびフォーカスレンズホルダ２への押え量が０．３ｍｍとし、かつ押えの中央部分に角穴９の加工がなされた形状である。

１２は亜鉛材、アルミニウム材あるいはそれらの合金材などのダイカスト加工あるいは切削加工で形成した出射レンズホルダであり、この出射レンズホルダ１２の端面に設けた孔には、光学用樹脂材あるいは光学用ガラス材などで形成した出射レンズ１３が紫外線硬化接着剤などにより固着されている。

１４は亜鉛材やアルミニウム材あるいはそれらの合金材などのダイカスト加工あるいは切削加工で形成した半導体レーザホルダであり、この半導体レーザホルダ１４には半導体レーザ１６の本体部が圧入保持されており、また、半導体レーザホルダ１４の片面には円筒形状の外周をＤ状にカット加工されたボス１７を有している。

１８は亜鉛材、アルミニウム材あるいはそれらの合金材などのダイカスト加工あるいは切削加工で形成した筐体であり、この筐体１８には前記導波路素子１０、コリメータレンズホルダ１、フォーカスレンズホルダ２、板バネ８および出射レンズホルダ１２が組立収納できる構造である。

また、この筐体１８の内部中央には導波路素子１０を搭載し固着する保持台３２が設けられており、この保持台３２の上面に導波路素子１０の外形端面である下面を当接させて位置決めし、導波路素子１０における導波路１１が嵌まり込む溝１９が設けられた構成によって素子固定部を形成している。

また、筐体１８の片端前部にコリメータレンズホルダ１およびフォーカスレンズホルダ２が接地（当接）可能とし、９０度の開口角度を有したＶ溝２０を有しており、このＶ溝２０はコリメータレンズ３およびフォーカスレンズ４の中心線と導波路素子１０の導波路面中心が合致する寸法形状とし、Ｖ溝２０の上方の板バネ８の装着固定部分には、板バネ８の一端外形部を当接可能とした溝２１が設けられている。

さらに、筐体１８の片端前部には半導体レーザホルダ１４が複数本のボルト３１にて取付け組立可能とする端面２２を有している。

以上のように構成された導波路素子の光結合モジュールにおける光軸調整（光軸調芯）方法、すなわち請求項１５に記載の発明について図面を参照しながら説明する。図２〜図５は導波路素子の光結合の要部概要光軸調整工程を示している。

まず、図２に示すように、導波路素子１０に形成された導波路１１が筐体１８の中央部に設けられた溝１９の底面に対応するように位置決め固着され、出射レンズ１３を装着した出射レンズホルダ１２を所定の焦点距離となるようにボルトにて筐体１８の内部で素子固定部の後方所定箇所に取付け収納し、さらに筐体１８の端面２２に半導体レーザホルダ１４をボルト３１にて締付けて固定する。

また、筐体１８の内部におけるＶ溝２０の上部に、コリメータレンズホルダ１を長穴７が上方となるように接地させて装着し、コリメータレンズホルダ１の上方より溝２１へ板バネ８の一端を挿入してボルトで締付けることによりコリメータレンズホルダ１をＶ溝２０と板バネ８にて挟持して固定する。

なお、この板バネ８の角穴９の中心位置とコリメータレンズホルダ１の長穴７の中心位置が合致するように組立てるものであり、そのとき、各ボルトの締付けトルクは、例えばトルクドライバの目盛１〜２ｃＮ・ｍとし、半導体レーザホルダ１４は筐体１８の端面２２に密着してＸおよびＹ軸への滑らかな摺動移動が可能であり、コリメータレンズホルダ１は、筐体１８のＶ溝２０の上部に密着してＺ軸への滑らかな摺動移動が可能な状態である。

次に図３に示すように、Ｚ軸への移動が可能な金属材からなるピン２３を、挿入穴であるコリメータレンズホルダ１の長穴７に、上方より移動して挿入（駆動機構は図示せず）する。また、筐体１８の内部に配置したコリメータレンズホルダ１と導波路素子１０の間に、４５度カットされた全反射ミラー２４を挿入する。

そして、この全反射ミラー２４の上方にはＣＣＤカメラ２５が設置されており、光ビームの形状確認を可能としている。その状態にて半導体レーザ１６を発光し、ピン２３を例えば０．１μｍ単位のＺ軸への移動により、コリメータレンズホルダ１をＶ溝２０の上部で摺動するとともに、所定の光ビームの形状寸法となるように平行光２６を形成させる。

そして、平行光２６が光軸調整（光軸調芯）されたなら、全反射ミラー２４を除去する。

次に図４に示すように、平行光２６が形成されたコリメータレンズホルダ１と導波路素子１０の間（前記における全反射ミラー２４が挿入されていた箇所）における筐体１８のＶ溝２０の上部に、フォーカスレンズホルダ２を長穴７が上方となるように接地させて装着し、フォーカスレンズホルダ２の上方より溝２１へ板バネ８の一端を挿入してボルトで締付けることによりフォーカスレンズホルダ２をＶ溝２０と板バネ８にて挟持して固定する。

なお、この板バネ８の角穴９の中心位置とフォーカスレンズホルダ２の長穴７の中心位置が合致するように組立てるものであり、そのとき、各ボルトの締付けトルクは、例えばトルクドライバの目盛１〜２ｃＮ・ｍとし、フォーカスレンズホルダ２は、筐体１８のＶ溝２０の上部に密着しＺ軸への滑らかな摺動移動が可能な状態である。

次に図５に示すように、半導体レーザホルダ１４におけるボス１７をＸおよびＹ軸への移動可能なチャック２７にて把持（駆動機構は図示せず）し、Ｚ軸への移動可能なピン２３を、挿入穴であるフォーカスレンズホルダ２の長穴７に、上方より移動して挿入（駆動機構は図示せず）する。

また、筐体１８の片端後部には出射レンズ１３との同軸線上に、ＣＣＤカメラ２５を設置して、導波路素子１０へ入射する干渉縞を利用した光軸位置の調整および確認を可能とする。

その状態にて半導体レーザ１６を発光し、チャック２７を０．１μｍ単位のＹ軸への移動により半導体レーザホルダ１４を摺動、かつピン２３を０．１μｍ単位のＺ軸への移動によりフォーカスレンズホルダ２をＶ溝２０の上部で摺動させると共に、所定の干渉縞となるように、導波路素子１０に形成された導波路１１のＹ軸への集光すなわち調整を行う。

さらに、チャック２７を０．１μｍ単位のＸ軸への移動により半導体レーザホルダ１４を摺動するとともに、所定の光ビームの形状が得られるように、導波路１１のＸおよびＹ軸への集光２８を形成させる。

そして、その集光２８を、導波路１１を通過させて出射レンズ１３を経由することにより出射ビーム２９が形成される。

次に図６に示すように、筐体１８の片端後部には出射レンズ１３との同軸線上にパワーメータ３０を設置して、出射ビーム２９の光量確認および調整を可能とする。その状態にて半導体レーザ１６を発光し、チャック２７を０．１μｍ単位のＸおよびＹ軸への移動により半導体レーザホルダ１４を摺動し、そしてピン２３を０．１μｍ単位のＺ軸への移動によりフォーカスレンズホルダ２をＶ溝２０の上部で摺動することにより出射ビーム２９の光量を最大値にする。

最後に図７に示すように、コリメータレンズホルダ１およびフォーカスレンズホルダ２における２面カット部分、および溝６とＶ溝２０との当接部の空間へ紫外線硬化接着剤などを注入し、紫外線を照射して所定の硬化を行う。

そして、半導体レーザホルダ１４の角形状フランジの外周部へ紫外線硬化接着剤などを注入あるいは塗布した後、紫外線を照射して所定の硬化を行い導波路素子の光結合モジュールの光軸調整（光軸調芯）を完了する。

本発明にかかる導波路素子の光結合モジュールおよびその光軸調整方法は、導波路素子の光結合に対して高精度な光軸調整および確実な接続強度が可能となり、光結合モジュールの小型化が図れるという効果を有し、各種光学機器や光結合モジュールおよびそれらの光軸調整などの用途として有用である。

本発明の実施の形態１における導波路素子の光結合モジュールの要部概要斜視図同導波路素子の光結合の平行光アライメントの要部概要組立工程断面図同要部概要調整工程断面図同導波路素子の光結合の導波路アライメントの要部概要組立工程断面図同要部概要調整工程断面図同導波路素子の光結合の光量最大化アライメントの要部概要工程断面図同導波路素子の光結合のための固着の要部概要工程断面図従来における導波路素子の光結合モジュールおよびその光軸調整を説明する要部概要断面図

符号の説明

１コリメータレンズホルダ
２フォーカスレンズホルダ
３コリメータレンズ
４フォーカスレンズ
５固着孔
６溝
７長穴
８板バネ
９角穴
１０導波路素子
１１導波路
１２出射レンズホルダ
１３出射レンズ
１４半導体レーザホルダ
１５発光部
１６半導体レーザ
１７ボス
１８筐体
１８ａ載置部
１９溝
２０Ｖ溝
２１溝
２２端面
２３ピン
２４全反射ミラー
２５ＣＣＤカメラ
２６平行光
２７チャック
２８集光
２９出射ビーム
３０パワーメータ
３１ボルト
３２保持台

Claims

コリメータレンズと、フォーカスレンズと、導波路素子と、出射レンズと、半導体レーザとからなる導波路素子の光結合モジュールであって、筐体の内部中央に設けられるとともに導波路素子を位置決めして固定する素子固定部と、位置決め保持用のピンが挿入可能で前記素子固定部の前方に設けられたＶ溝と板バネにより挟持し固定される円筒状のコリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダと、前記素子固定部の後方に固定される出射レンズホルダと、光軸調整用のチャックによる把持が可能で前記筐体の一端面に装着し固定される半導体レーザホルダとにより構成される導波路素子の光結合モジュール。
筐体内におけるＶ溝は、各レンズホルダの外周円中心および導波路素子の導波路面の中心と合致させることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
筐体内の素子固定部は、導波路素子の外形端面が当接する溝を有する形状としてなることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
筐体内における板バネの装着固定部分には、板バネの一端外形部と当接する溝を有する形状としてなることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
半導体レーザホルダ、コリメータレンズホルダ、フォーカスレンズホルダ、板バネおよび筐体は、アルミニウム材あるいはアルミニウム合金材からなることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダの外周円と前記における各レンズの固着孔とは同一軸であることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダにおけるピンの挿入穴は、前記各レンズホルダの長手方向中央で円筒外周方向に長穴加工された形状としてなることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
板バネは、コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダに対する押えの中央部分に、角穴加工が施された形状としてなることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
板バネは厚みが０．５〜１ｍｍで、１３０度の曲げ加工がなされた形状で、各レンズホルダへの押え量が０．３ｍｍであることを特徴とする請求項１または８に記載の導波路素子の光結合モジュール。
半導体レーザホルダにおけるボスの円筒形状の外周をＤ状にカット加工した形状としてなることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダの接着剤による固着箇所は、前記各レンズホルダと筐体内におけるＶ溝の当接部としてなることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダは、円筒外周の２面をカット加工した形状としてなることを特徴とする請求項１または１１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
コリメータレンズホルダおよびフォーカスレンズホルダにおける円筒外周に、溝加工を施した形状としてなることを特徴とする請求項１，１１，１２のいずれか１つに記載の導波路素子の光結合モジュール。
半導体レーザホルダの接着剤による固着箇所は、角形状フランジの外周部としてなることを特徴とする請求項１に記載の導波路素子の光結合モジュール。
導波路素子、出射レンズホルダ、半導体レーザを搭載した半導体レーザホルダおよびコリメータレンズを搭載したコリメータレンズホルダを筐体の所定箇所に保持した後、このコリメータレンズホルダをレーザ光の平行光による光軸調整を行い、フォーカスレンズを搭載したフォーカスレンズホルダの所定箇所の設定およびレーザ光の所定の干渉縞による光軸調整を行い、半導体レーザの光軸調整をレーザ光の所定の干渉縞および光量の最大値化により行い、接着剤の塗布硬化によりコリメータレンズホルダ、フォーカスレンズホルダおよび半導体レーザホルダを接着固定してなる導波路素子の光結合モジュールの光軸調整方法。