JP2006346859A - 研磨装置の研磨面ドレッシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨パッド2又は砥粒を含んだ研磨プレートを有するターンテーブル1と、被研磨基板を保持するトップリング3を具備する研磨装置において、研磨パッド2又は研磨プレートの研磨面に当接し研磨面をドレッシングするドレッサーツール5と、ドレッサーシャフト6と、ドレッサーツール5の研磨パッド2又は研磨プレートの研磨面への押圧力を該ドレッサーツール5の自重による押圧力以下の所定値からそれ以上の任意の値に調整できるコントローラ8及びレギュレータ10からなる押圧力調整手段を具備する。
【選択図】図3
Description
前記ドレッシング開始前に、前記空気シリンダに前記コントロールを介して前記ピストンを上昇させる方向に前記ドレッサーの自重を打ち消すだけの空気を供給し、前記ドレッシング中に前記空気シリンダに前記コントローラを介して前記ピストンを下降させる方向の空気の供給量を調整することにより前記ドレッサーツールを前記研磨面にゼロからそれ以上の任意の押圧力で当接させて該研磨面をドレッシングすることを特徴とする。
また、空気シリンダにコントローラを介してピストンを上昇させる方向の空気を供給しドレッサーの自重による研磨面の押圧力をゼロとすると、動摩擦抵抗の大きい空気シリンダであると、ドレッサーツールの該研磨パッド又は研磨プレートの研磨面への押圧力を低く設定すると実際の押圧力にバラツキが発生するという問題があるが、ここでは動摩擦抵抗が0.5kg以下の低摩擦型の空気シリンダを用いるので、ドレッサーツールをバラツキのない一定の小さい(低い)押圧力で研磨パッド又は研磨プレートの研磨面に当接させてドレッシングすることができる。
2 研磨パッド
3 トップリング
4 ドレッサー
5 ドレッサーツール
6 ドレッサーシャフト
7 空気シリンダ
8 コントローラ
9 空気シリンダ
10 レギュレータ
11 回転力伝達ピン
12 ボール軸受
13 自動調芯コロ軸受
14 摺動部材
15 軸受支持部材
Claims (1)
- 研磨パッド又は砥粒を含んだ研磨プレートを有するターンテーブルの該研磨パッド又は砥粒を含んだ研磨プレートの研磨プレートの研磨面に基板保持機構で保持した被研磨基板を押圧し、該研磨面と被研磨基板の相対運動により該被研磨基板を研磨する研磨装置の該研磨面をドレッサーツールとドレッサーシャフトシャフトからなるドレッサーによりドレッシングする研磨装置の研磨面ドレッシング方法において、
前記ドレッサーツールの押圧力調整手段として動摩擦抵抗が0.5kg以下の低摩擦型空気シリンダを用い、該空気シリンダはピストンを下降させる方向と上昇させる方向にそれぞれコントローラ及びレギュレータを介して空気を供給するように構成されており、前記ドレッサーツールはドレッサーシャフトを介して前記ピストンに接続されており、
前記ドレッシング開始前に、前記空気シリンダに前記コントロールを介して前記ピストンを上昇させる方向に前記ドレッサーの自重を打ち消すだけの空気を供給し、前記ドレッシング中に前記空気シリンダに前記コントローラを介して前記ピストンを下降させる方向の空気の供給量を調整することにより前記ドレッサーツールを前記研磨面にゼロからそれ以上の任意の押圧力で当接させて該研磨面をドレッシングすることを特徴とする研磨装置の研磨面ドレッシング方法。
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