JP2006346753A - 金属汚染された研磨スラリーの除染方法 - Google Patents
金属汚染された研磨スラリーの除染方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006346753A JP2006346753A JP2005172013A JP2005172013A JP2006346753A JP 2006346753 A JP2006346753 A JP 2006346753A JP 2005172013 A JP2005172013 A JP 2005172013A JP 2005172013 A JP2005172013 A JP 2005172013A JP 2006346753 A JP2006346753 A JP 2006346753A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal
- polishing slurry
- polishing
- slurry
- contaminated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
【解決手段】金属汚染を受けたpH8〜14に調整された研磨スラリーを、金属汚染を受けたときから24時間以内に金属キレート形成能を有する官能基が少なくとも表面に固定化されている繊維もしくは粒状体と接触させる。これによって、従来再生が事実上不可能だったタンク保管の研磨スラリーについても除染することが可能になる。
【選択図】図1
Description
半導体装置に多層積層構造を採用するには、基材となるウェーハそのものや多層積層構の各層の凹凸をこれまで以上に小さくする必要がある。凹凸による段差が大きくなると、膜形成時の段差部での被覆性(ステップカバレッジ)の悪化、あるいはリソグラフィ工程における段差部でのフォトレジストの塗布膜厚変動など、種々の不具合が生じるようになる。
タンクに保管されている研磨スラリーや研磨工程で使用されて廃液タンクに保管されているような研磨スラリーの汚染金属を除染して、再使用を可能とする金属汚染された研磨スラリーの除染方法を提供することを目的とする。
また、基材に用いる粒状体の形状は通常、直径0.3〜1.2mmの球である。
Claims (3)
- 金属汚染を受けたpH8〜14に調整された研磨スラリーを、金属キレート形成能を有する官能基が少なくとも表面に固定化されている繊維もしくは粒状体と接触させて、前記研磨スラリーの金属成分を除去するにあたり、前記繊維素材との接触を、金属汚染を受けたときから24時間以内に行うことを特徴とする金属汚染された研磨スラリーの除染方法。
- 前記研磨スラリーが、スラリー製造、スラリー貯留・移送時に受けた汚染、もしくは、半導体ウェーハ製造、半導体デバイス製造における研磨工程時の汚染を受けた研磨スラリーであることを特徴とする請求項1記載の金属汚染された研磨スラリーの除染方法。
- 研磨スラリーの汚染金属の濃度が0.1ppb〜100ppmであることを特徴とする請求項1乃至2のいずれか1項記載の金属汚染された研磨スラリーの除染方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005172013A JP2006346753A (ja) | 2005-06-13 | 2005-06-13 | 金属汚染された研磨スラリーの除染方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005172013A JP2006346753A (ja) | 2005-06-13 | 2005-06-13 | 金属汚染された研磨スラリーの除染方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006346753A true JP2006346753A (ja) | 2006-12-28 |
Family
ID=37643128
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005172013A Pending JP2006346753A (ja) | 2005-06-13 | 2005-06-13 | 金属汚染された研磨スラリーの除染方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006346753A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09314466A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-12-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体ウェーハの研磨装置および研磨方法 |
-
2005
- 2005-06-13 JP JP2005172013A patent/JP2006346753A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09314466A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-12-09 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体ウェーハの研磨装置および研磨方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5107407B2 (ja) | 半導体研磨スラリーの精製方法 | |
JP2010167551A (ja) | 使用済みスラリーの再生方法 | |
JP2009505821A (ja) | 交換樹脂を含有する多孔性膜 | |
TW468219B (en) | Method for making a semiconductor device | |
JP2007319974A (ja) | 半導体研磨用スラリーの回収方法及び回収システム並びに再生方法及び再生システム | |
JP2018099662A (ja) | 土壌浄化方法 | |
TWI705937B (zh) | 金屬污染防止劑、金屬污染防止膜、金屬污染防止方法及製品洗淨方法 | |
JP4580433B2 (ja) | 研磨用スラリーの再生方法 | |
JP5260880B2 (ja) | ポリッシング剤 | |
JP4472391B2 (ja) | 使用済み半導体研磨用スラリーの再生方法 | |
JP2006346753A (ja) | 金属汚染された研磨スラリーの除染方法 | |
TW201808437A (zh) | 濕式洗淨裝置及濕式洗淨方法 | |
KR101422876B1 (ko) | 킬레이트제 첨가 약액의 정제 방법 | |
JP4081503B2 (ja) | 混床式イオン交換樹脂 | |
JP3678743B2 (ja) | コロイド状物質を除去するための濾過材による流体処理 | |
JP6296269B1 (ja) | 土壌浄化方法 | |
JP6296266B1 (ja) | 土壌浄化方法 | |
TWI362963B (en) | Method of cleaning storage case | |
JP2003334550A (ja) | 超純水及びその製造方法 | |
JP2018099681A (ja) | 土壌浄化方法 | |
JP6241697B1 (ja) | 土壌浄化システム及び土壌浄化方法 | |
JP6210253B1 (ja) | 土壌浄化方法 | |
JPH11309318A (ja) | フィルター装置および該フィルター装置を用いた液体の清浄化法 | |
JPH08148456A (ja) | 処理液による半導体処理方法及び半導体処理装置 | |
JP2009130321A (ja) | 半導体ウエハの研磨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080514 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100824 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101025 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20101025 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110301 |