JP2006344725A - 回路基板の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 113
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 28
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims abstract description 21
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 71
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 71
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 71
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000002788 crimping Methods 0.000 claims 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 37
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 35
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】 基板10にスルーホール10xを形成し、基板10の一方の面に金属箔14を配置し、弾性体22を介在させた状態で基板10及び金属箔14を押圧して基板10と金属箔14とを圧着する。さらに、金属箔14をめっき給電電極に利用する電解めっきにより、スルーホール10x内に導電体16を充填した後に、基板10から金属箔14を剥離する。
【選択図】 図7
Description
Claims (7)
- 基板に該基板を貫通するスルーホールを形成する工程と、
前記基板の一方の面に金属箔を配置し、弾性体を介在させた状態で前記基板及び金属箔を押圧して前記基板と前記金属箔とを圧着する工程と、
前記金属箔をめっき給電電極に利用する電解めっきにより、前記スルーホール内に導電体を充填する工程と、
前記基板から前記金属箔を剥離する工程とを有することを特徴とする回路基板の製造方法。 - 前記基板と前記金属箔とを圧着する工程において、保持部材の上に前記弾性体を介して前記金属箔及び前記基板を配置し、前記基板の上面側から押え部材によって前記基板を押圧することを特徴とする請求項1に記載の回路基板の製造方法。
- 前記電解めっきにより前記スルーホール内に導電体を充填する工程は、
前記基板及び前記金属箔を、前記保持部材と前記押え部材とで挟んだ状態で、電解めっき装置のめっき液の中に浸漬して行うことを特徴とする請求項2に記載の回路基板の製造方法。 - 前記押え部材は、前記保持部材の周縁部に設けられた孔に固定される固定手段が先端部に設けられた複数の突起部を周縁側に備えていると共に、前記基板のスルーホール領域を除く部分に接触して前記基板を押圧する突起状の複数の押圧部を備え、かつ中央主要部に複数の開口部が設けられており、前記押え部材の上面側及び側面側から前記めっき液が前記基板に供給されることを特徴とする請求項3に記載の回路基板の製造方法。
- 前記基板は厚みが100乃至200μmのシリコン基板であり、前記スルーホールを形成する工程の後に、前記シリコン基板の両面及びスルーホールの内面に絶縁層を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の回路基板の製造方法。
- 前記弾性体は、シリコン系スポンジ又はゴムからなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の回路基板の製造方法。
- 前記基板はガラスからなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の回路基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005168135A JP4509869B2 (ja) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | 回路基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005168135A JP4509869B2 (ja) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | 回路基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006344725A true JP2006344725A (ja) | 2006-12-21 |
JP4509869B2 JP4509869B2 (ja) | 2010-07-21 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005168135A Expired - Fee Related JP4509869B2 (ja) | 2005-06-08 | 2005-06-08 | 回路基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4509869B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008214679A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Shinko Electric Ind Co Ltd | スルーホールの充填方法 |
JP2009110983A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-05-21 | Shinko Electric Ind Co Ltd | シリコンインターポーザとこれを用いた半導体装置用パッケージおよび半導体装置 |
JP2010219513A (ja) * | 2009-02-23 | 2010-09-30 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及びその製造方法 |
KR101090999B1 (ko) * | 2008-12-04 | 2011-12-08 | 삼성전기주식회사 | 전해도금장치 및 웨이퍼 관통전극 제조방법 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58181898A (ja) * | 1982-04-14 | 1983-10-24 | Fujitsu Ltd | メツキ用給電装置 |
JPH01258457A (ja) * | 1988-04-08 | 1989-10-16 | Nec Corp | 半導体集積回路の実装構造およびその製造方法 |
JP2004119606A (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Canon Inc | 半導体基板の貫通孔埋め込み方法および半導体基板 |
JP2006161124A (ja) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Canon Inc | 貫通電極の形成方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58181898A (ja) * | 1982-04-14 | 1983-10-24 | Fujitsu Ltd | メツキ用給電装置 |
JPH01258457A (ja) * | 1988-04-08 | 1989-10-16 | Nec Corp | 半導体集積回路の実装構造およびその製造方法 |
JP2004119606A (ja) * | 2002-09-25 | 2004-04-15 | Canon Inc | 半導体基板の貫通孔埋め込み方法および半導体基板 |
JP2006161124A (ja) * | 2004-12-09 | 2006-06-22 | Canon Inc | 貫通電極の形成方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008214679A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Shinko Electric Ind Co Ltd | スルーホールの充填方法 |
JP2009110983A (ja) * | 2007-10-26 | 2009-05-21 | Shinko Electric Ind Co Ltd | シリコンインターポーザとこれを用いた半導体装置用パッケージおよび半導体装置 |
KR101090999B1 (ko) * | 2008-12-04 | 2011-12-08 | 삼성전기주식회사 | 전해도금장치 및 웨이퍼 관통전극 제조방법 |
JP2010219513A (ja) * | 2009-02-23 | 2010-09-30 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及びその製造方法 |
US8777638B2 (en) | 2009-02-23 | 2014-07-15 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Wiring board and method of manufacturing the same |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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