JP2006343327A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. エアで基板を浮上させる浮上ステージと、
   前記浮上ステージ上を搬送される前記基板を観察する観察手段と、
   前記基板に対して下面から照明光を照射する透過照明光源と、
   前記浮上ステージを上下に貫通し、前記照明光が通過可能な隙間からなる照明光通過部と、
   前記照明光通過部の隙間を塞ぐように嵌め込まれ前記照明光を透過させる透過部材とを備え、
   前記透過部材の上面は、前記浮上ステージの上面とほぼ同じ高さ、もしくは前記浮上ステージの上面よりも下に配置されることを特徴とする基板検査装置。
2. 前記透過部材は、前記照明光を透過させる透明なガラス板からなる請求項１に記載の基板検査装置。
3. 前記透過部材は、前記照明光を散乱させる散乱板からなる請求項１に記載の基板検査装置。
4. 前記透過部材は、前記照明光を散乱させる散乱状態、または前記照明光を透過させる透過状態に切り換え可能な透過型液晶散乱板からなる請求項１に記載の基板検査装置。
5. 前記透過部材は、前記浮上ステージに固定する固定手段と、前記固定手段に設けられ、前記浮上ステージに対する前記透過部材の高さを調整する調整手段とを備えることを請求項１から４のいずれか一項に記載の基板検査装置。
6. 前記固定手段は、前記浮上ステージに形成された基板固定用のネジ孔と、前記ネジ孔に締結される締結部材とを備え、前記調整手段は、前記固定手段に形成された基板の高さを調整する高さ調整用のネジ孔と、前記ネジ孔に螺入される高さ調整ビスとを備え、前記高さ調整ビスの前記ネジ孔に対する押し込み量を変化させることにより前記浮上ステージに対する前記透過部材の高さを調整し、前記基板固定用のネジ孔に前記締結部材を締結することにより、前記透過部材が前記固定手段を介して前記浮上ステージに固定される請求項５に記載の基板検査装置。
7. 前記浮上ステージは、搬送方向に対して平行に複数条に形成した凹部を有し、前記固定手段は、前記透過部材の縁部に沿って複数個所に設けられ、前記固定手段を前記凹部に嵌め込んで前記透過部材を前記浮上ステージに固定する請求項５に記載の基板検査装置。
   
8. 前記観察手段は、前記透過部材に向けてエアを吹き付けるエアブローユニットを備える請求項１に記載の基板検査装置。