JP2006340035A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】 樹脂基板を用いた圧電デバイスにおいて、圧電素子を配置する空間の気密性を保持しつつ、組み立てが容易で特性の良好な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 第1の樹脂基板10上に形成されたマウント用電極13と、マウント用電極13に接続される水晶振動片14と、樹脂基板10を貫通する環状の封止用ビア20と、マウント用電極13と導通し第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11を貫通する導通用ビア22と、水晶振動片14の配置される空間を保って封止用ビア20に密着するシールリング17と蓋板18から構成される蓋体と、第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11の間で、かつ封止用ビア20に囲まれる領域に対応し導通用ビア22の周辺部を除き設けられた金属層21と、を備え、蓋体と封止用ビア20および封止用ビア20と金属層21が密着することにより蓋体と第1の樹脂基板10との間に形成される空間が気密に保たれる。
【選択図】 図1
【解決手段】 第1の樹脂基板10上に形成されたマウント用電極13と、マウント用電極13に接続される水晶振動片14と、樹脂基板10を貫通する環状の封止用ビア20と、マウント用電極13と導通し第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11を貫通する導通用ビア22と、水晶振動片14の配置される空間を保って封止用ビア20に密着するシールリング17と蓋板18から構成される蓋体と、第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11の間で、かつ封止用ビア20に囲まれる領域に対応し導通用ビア22の周辺部を除き設けられた金属層21と、を備え、蓋体と封止用ビア20および封止用ビア20と金属層21が密着することにより蓋体と第1の樹脂基板10との間に形成される空間が気密に保たれる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、樹脂基板を用い圧電素子を封止する気密構造を備えた圧電デバイスに関するものである。
近年、電子機器の小型化・薄型化に伴い、それに対応して水晶振動片などの圧電素子を備えた圧電デバイスも小型化・薄型化が図られている。従来の圧電デバイスは主にセラミック基板に圧電素子と回路素子などを配置し構成されているが、薄型化するためにセラミック基板の厚みを薄くすると、落下などの衝撃によりセラミック基板が破損するおそれがあった。このため、セラミック基板を用いて、さらなる圧電デバイスの薄型化には限界があった。
圧電デバイスのさらなる薄型化に対応するために、特許文献1の図5に示すような樹脂基板であるフレキシブル配線基板を用いた圧電デバイスが提案されている。このようなフレキシブル配線基板を用いた場合、基板の厚みを薄くすることが可能となるが、基板が高分子材料であるため多数の空孔を有している点と、基板がフレキシブル性を有する点から、圧電素子が配置される空間の気密性を保つことが課題となっている。
この特許文献1の圧電デバイスは、積層されたフレキシブル配線基板の最上層に導体層を設け、蓋体とこの導体層を半田にて接合し、その蓋体とフレキシブル配線基板により形成される空間を気密封止する構成となっている。このとき、圧電素子は蓋体側に実装され、蓋体からフレキシブル配線基板に配線が接続されている。
この特許文献1の圧電デバイスは、積層されたフレキシブル配線基板の最上層に導体層を設け、蓋体とこの導体層を半田にて接合し、その蓋体とフレキシブル配線基板により形成される空間を気密封止する構成となっている。このとき、圧電素子は蓋体側に実装され、蓋体からフレキシブル配線基板に配線が接続されている。
このような従来の圧電デバイスの構成において、圧電素子を蓋体側に実装する必要があり、圧電デバイスの組み立て性を低下させている。また、蓋体に配線を形成してフレキシブル配線基板との導通をとらなくてはならないため、蓋体とフレキシブル配線基板の接続位置精度を厳しく管理しなくてはならなかった。
また、このようなフレキシブル配線基板を用いた場合、基板が薄く、かつフレキシブル性を有しているため基板が外力により変形し気密性を損なうおそれがあることに加え、基板が変形することにより圧電素子に応力がかかり、発振周波数が安定しないという問題があった。
また、このようなフレキシブル配線基板を用いた場合、基板が薄く、かつフレキシブル性を有しているため基板が外力により変形し気密性を損なうおそれがあることに加え、基板が変形することにより圧電素子に応力がかかり、発振周波数が安定しないという問題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、樹脂基板を用い小型化・薄型化された圧電デバイスにおいて、圧電素子を配置する空間の気密性を保持しつつ、組み立てが容易で特性の良好な圧電デバイスを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明の圧電デバイスは、少なくとも第1の樹脂基板と第2の樹脂基板とが積層され、前記第1の樹脂基板上に形成されたマウント用電極と、前記マウント用電極に接続される圧電素子と、前記第1の樹脂基板の平面視において前記圧電素子を囲み前記第1の樹脂基板を貫通する環状の封止用ビアと、前記マウント用電極と導通し前記第1の樹脂基板と前記第2の樹脂基板を貫通する導通用ビアと、前記圧電素子の配置される空間を保って前記封止用ビアに密着する蓋体と、前記第1の樹脂基板と前記第2の樹脂基板の間で、かつ前記封止用ビアに囲まれる領域に対応し前記導通用ビアの周辺部を除き設けられた金属層と、を備え、前記蓋体と前記封止用ビアおよび前記封止用ビアと前記金属層が密着することにより前記蓋体と前記第1の樹脂基板との間に形成される空間が気密に保たれることを特徴とする。
この構成によれば、圧電素子を積層された樹脂基板側に実装することができ、圧電デバイスの組み立て性を容易にする。また、蓋体と封止用ビアおよび封止用ビアと金属層が密着することにより圧電素子を配置する空間の気密性を保持でき、小型化・薄型化された圧電デバイスを提供することができる。
本発明の圧電デバイスは、前記第1の樹脂基板表面から前記蓋体を覆う樹脂モールド部が形成されていることが望ましい。
この構成によれば、例えば圧電デバイスとしての圧電振動子は樹脂モールド部がその表面を覆うことになり、積層された樹脂基板の剛性を向上させることができ、樹脂基板の変形を防止することにより、気密性の確保および圧電素子の発振周波数を安定させることができる。
本発明の圧電デバイスは、前記第1の樹脂基板上に配置された回路素子をさらに備え、前記第1の樹脂基板表面から前記蓋体および前記回路素子を覆う樹脂モールド部が形成されていることが望ましい。
この構成によれば、例えば圧電デバイスとしての圧電発振器は樹脂モールド部がその表面を覆うことになり、積層された樹脂基板の剛性を向上させることができ、樹脂基板の変形を防止することにより、気密性の確保および圧電素子の発振周波数を安定させることができる。
本発明の圧電デバイスは、前記第1の樹脂基板と前記第2の樹脂基板の間における前記マウント用電極に接続する前記導通用ビアの周辺部にコーティング層が形成されたことが望ましい。
この構成によれば、前記導通用ビアの周辺部にコーティング層を設けることにより、気密を損なうおそれのある部分をシールすることができ、気密の信頼性を向上させることができる。
本発明の圧電デバイスは、前記第1の樹脂基板上における前記封止用ビアの内側の領域に前記マウント用電極の一部を除きコーティング層が形成されたことが望ましい。
この構成によれば、前記第1の樹脂基板上における前記封止用ビアの内側の領域に前記マウント用電極の一部を除きコーティング層を設けることにより、気密を損なうおそれのある部分をシールすることができ、気密の信頼性を向上させることができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
(第1の実施形態)
(第1の実施形態)
図1は本実施形態の圧電デバイスとしての水晶発振器を示し、図1(a)は、正面断面図、図1(b)は、側面断面図である。ここで、図1(a)は、同図(b)のA−A断面図である。また、図2は図1(b)におけるB−B線に沿う正面断面図であり、図3は図1(b)のC−C線に沿う正面断面図である。
水晶発振器1における基板は、第1の樹脂基板10、第2の樹脂基板11、第3の樹脂基板12を積層して形成されている。これらの樹脂基板10,11,12はポリイミドテープなどのフレキシブル性を有する樹脂基板で構成され、積層後の基板の厚みは約200μmから300μmに形成されている。
第1の樹脂基板10上にはマウント用電極13が形成され、その上に圧電素子としてATカットなどの水晶振動片14が導電性接着剤15により固定されている。水晶振動片14の表裏には電極16が設けられ、電極16とマウント用電極13が導電性接着剤15を介して電気的に接続されている。
さらに、第1の樹脂基板10および第2の樹脂基板11を貫通しマウント用電極13に接続する導通用ビア22が形成されている。そして、この導通用ビア22は第2の樹脂基板11と第3の樹脂基板12の間に形成された配線23に接続している。
第1の樹脂基板10上にはマウント用電極13が形成され、その上に圧電素子としてATカットなどの水晶振動片14が導電性接着剤15により固定されている。水晶振動片14の表裏には電極16が設けられ、電極16とマウント用電極13が導電性接着剤15を介して電気的に接続されている。
さらに、第1の樹脂基板10および第2の樹脂基板11を貫通しマウント用電極13に接続する導通用ビア22が形成されている。そして、この導通用ビア22は第2の樹脂基板11と第3の樹脂基板12の間に形成された配線23に接続している。
また、第1の樹脂基板10には、水晶振動片14を配置した状態で第1の樹脂基板10の平面視において、水晶振動片14を囲み第1の樹脂基板10を貫通する環状の封止用ビア20が形成されている(図2参照)。この封止用ビア20は、Cuなどの金属材料で形成されている。
封止用ビア20の上には、封止用ビア20に沿うようにシールリング17が密着し、そのシールリング17の上には蓋板18が密着している。このシールリング17および蓋板18はコバールなどの金属材料で形成されている。このように、シールリング17と蓋板18で、水晶振動片14の配置される空間を保つ蓋体を構成している。
封止用ビア20の上には、封止用ビア20に沿うようにシールリング17が密着し、そのシールリング17の上には蓋板18が密着している。このシールリング17および蓋板18はコバールなどの金属材料で形成されている。このように、シールリング17と蓋板18で、水晶振動片14の配置される空間を保つ蓋体を構成している。
第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11の間には、封止用ビア20により囲まれる領域に対応する、金属層21が形成されている。この金属層21は、Cuなどの金属をスパッタリング法などの手法により形成されている。そして、この金属層21は、図3に示すように、マウント用電極13に接続される導通用ビア22の周辺部を除き形成され、金属層21と封止用ビア20が密着している。
さらに第1の樹脂基板10上には、回路素子としてのIC(半導体集積回路)24が配置されている。このIC24には水晶振動片14を発振させる発振回路を含んでいる。
IC24は金属ワイヤ25により、第1の樹脂基板10上に形成されたそれぞれの電極パッド26に接続されている。それぞれの電極パッド26からは第1の樹脂基板10を貫通する導通用ビアを介して、第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11の間に形成された配線29に接続され、あるいは第1の樹脂基板10、第2の樹脂基板11を貫通する導通用ビア27を介して配線23に接続されている。そして、配線23,29から所定の導通経路を確保して、第3の樹脂基板12の外部接続用端子28との接続が果たされている。
IC24は金属ワイヤ25により、第1の樹脂基板10上に形成されたそれぞれの電極パッド26に接続されている。それぞれの電極パッド26からは第1の樹脂基板10を貫通する導通用ビアを介して、第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11の間に形成された配線29に接続され、あるいは第1の樹脂基板10、第2の樹脂基板11を貫通する導通用ビア27を介して配線23に接続されている。そして、配線23,29から所定の導通経路を確保して、第3の樹脂基板12の外部接続用端子28との接続が果たされている。
このような積層された樹脂基板に、例えば、マウント用電極13に水晶振動片14を導電性接着剤15にて接続し、シールリング17を封止用ビア20に密着させ、蓋板18にて、真空または不活性ガス雰囲気で封止すれば、水晶振動片14が配置される空間を真空または不活性ガス雰囲気で気密に保持することができる。
そして、第1の樹脂基板10の表面からシールリング17および蓋板18で構成される蓋体および、回路素子であるIC24を覆う樹脂モールド部30が形成されている。なお、この樹脂モールド部30はエポキシ樹脂などの樹脂で形成されている。
なお、封止用ビア20とシールリング17、シールリング17と蓋板18を密着させる手法としては、接着剤、半田、低融点ガラスなどを介して密着させる手法および圧着、溶接などの手法を用いることができる。
なお、封止用ビア20とシールリング17、シールリング17と蓋板18を密着させる手法としては、接着剤、半田、低融点ガラスなどを介して密着させる手法および圧着、溶接などの手法を用いることができる。
以上の構成の圧電デバイスとしての水晶発振器1は、封止用ビア20とシールリング17と蓋板18から構成される蓋体と、封止用ビア20と金属層21が密着することにより水晶振動片14を配置する空間の気密性を保持することができ、小型化・薄型化された水晶発振器1を提供することができる。また、水晶振動片14を積層された樹脂基板側に実装することができるため、水晶発振器1の組み立て性を容易にすることができる。
さらに、水晶発振器1は樹脂モールド部30がその表面を覆うことになり、積層された樹脂基板の剛性を向上させることができ、樹脂基板の変形を防止することにより、気密性の確保および水晶振動片14の発振周波数を安定させることができる。
(変形例)
さらに、水晶発振器1は樹脂モールド部30がその表面を覆うことになり、積層された樹脂基板の剛性を向上させることができ、樹脂基板の変形を防止することにより、気密性の確保および水晶振動片14の発振周波数を安定させることができる。
(変形例)
図4は、第1の実施形態における水晶発振器の変形例を示す側面断面図である。
第1の実施形態と同じ構成要素については同符号を付し、説明を省略する。この変形例の水晶発振器2では、水晶振動片14の配置される空間を保つ蓋体として、フランジ付の蓋体32を用いている。
この蓋体32のフランジを封止用ビア20に密着させることにより、水晶振動片14が配置される空間を気密に保持することが可能であり、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
(第2の実施形態)
第1の実施形態と同じ構成要素については同符号を付し、説明を省略する。この変形例の水晶発振器2では、水晶振動片14の配置される空間を保つ蓋体として、フランジ付の蓋体32を用いている。
この蓋体32のフランジを封止用ビア20に密着させることにより、水晶振動片14が配置される空間を気密に保持することが可能であり、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
(第2の実施形態)
図5は、第2の実施形態における水晶発振器を示す側面断面図である。
第2の実施形態は第1の実施形態に加えて、第1の樹脂基板と第2の樹脂基板の間におけるマウント用電極に接続される導通用ビアの周辺部に、コーティング層を備えた構成である。第1の実施形態と同じ構成要素については同符号を付し、説明を省略する。
この第2の実施形態の水晶発振器3は、第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11の間における、マウント用電極13に接続される導通用ビア22の周辺部に、コーティング材が塗布されコーティング層34が形成されている。なお、コーティング材としては、ガラスなどを主成分とするコーティング材が用いられている。
第2の実施形態は第1の実施形態に加えて、第1の樹脂基板と第2の樹脂基板の間におけるマウント用電極に接続される導通用ビアの周辺部に、コーティング層を備えた構成である。第1の実施形態と同じ構成要素については同符号を付し、説明を省略する。
この第2の実施形態の水晶発振器3は、第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11の間における、マウント用電極13に接続される導通用ビア22の周辺部に、コーティング材が塗布されコーティング層34が形成されている。なお、コーティング材としては、ガラスなどを主成分とするコーティング材が用いられている。
このように、第1の樹脂基板10と第2の樹脂基板11の間におけるマウント用電極13に接続される導通用ビア22の周辺部にコーティング層34を設けることにより、気密を損なうおそれのある部分をシールすることができ、気密の信頼性を向上させることができる。
(第3の実施形態)
(第3の実施形態)
図6は、第3の実施形態における水晶発振器を示す側面断面図である。
第3の実施形態は第1の実施形態に加えて、第1の樹脂基板上における封止用ビアの内側領域にマウント用電極の一部を除きコーティング層を備えた構成である。第1の実施形態と同じ構成要素については同符号を付し、説明を省略する。
この第3の実施形態の水晶発振器4は、第1の樹脂基板10上における封止用ビア20の内側の領域に、マウント用電極13の一部を除きコーティング材が塗布されコーティング層36が形成されている。
第3の実施形態は第1の実施形態に加えて、第1の樹脂基板上における封止用ビアの内側領域にマウント用電極の一部を除きコーティング層を備えた構成である。第1の実施形態と同じ構成要素については同符号を付し、説明を省略する。
この第3の実施形態の水晶発振器4は、第1の樹脂基板10上における封止用ビア20の内側の領域に、マウント用電極13の一部を除きコーティング材が塗布されコーティング層36が形成されている。
このように、第1の樹脂基板10上における封止用ビア20の内側の領域にマウント用電極13の一部を除きコーティング層36を設けることにより、第1の樹脂基板10の気密を損なうおそれのある部分をシールすることができ、気密の信頼性を向上させることができる。
(第4の実施形態)
(第4の実施形態)
図7は、圧電デバイスとしての水晶振動子を示す側面断面図である。
水晶振動子5における基板は、第1の樹脂基板40、第2の樹脂基板41、第3の樹脂基板42を積層して形成されている。これらの樹脂基板40,41,42はポリイミドテープなどのフレキシブル性を有する樹脂基板で構成され、積層後の基板の厚みは約200μmから300μmに形成されている。
第1の樹脂基板40上にはマウント用電極43が形成され、その上に圧電素子としてATカットなどの水晶振動片44が導電性接着剤45により固定されている。水晶振動片44の表裏には電極(図示せず)が形成され、電極とマウント用電極43が導電性接着剤45を介して電気的に接続されている。
さらに、第1の樹脂基板40および第2の樹脂基板41を貫通し、マウント用電極43に接続する導通用ビア52が形成されている。そして、この導通用ビア52は第2の樹脂基板41と第3の樹脂基板42の間に形成された配線53に接続している。配線53は第3の樹脂基板42を貫通する導通用ビア54により外部接続用端子55に接続されている。
水晶振動子5における基板は、第1の樹脂基板40、第2の樹脂基板41、第3の樹脂基板42を積層して形成されている。これらの樹脂基板40,41,42はポリイミドテープなどのフレキシブル性を有する樹脂基板で構成され、積層後の基板の厚みは約200μmから300μmに形成されている。
第1の樹脂基板40上にはマウント用電極43が形成され、その上に圧電素子としてATカットなどの水晶振動片44が導電性接着剤45により固定されている。水晶振動片44の表裏には電極(図示せず)が形成され、電極とマウント用電極43が導電性接着剤45を介して電気的に接続されている。
さらに、第1の樹脂基板40および第2の樹脂基板41を貫通し、マウント用電極43に接続する導通用ビア52が形成されている。そして、この導通用ビア52は第2の樹脂基板41と第3の樹脂基板42の間に形成された配線53に接続している。配線53は第3の樹脂基板42を貫通する導通用ビア54により外部接続用端子55に接続されている。
また、第1の樹脂基板40には、水晶振動片44を配置した状態で第1の樹脂基板40の平面視において、水晶振動片44を囲み第1の樹脂基板40を貫通する環状の封止用ビア50が形成されている。この封止用ビア50は、Cuなどの金属材料で形成されている。
封止用ビア50の上には、封止用ビア50に沿うようにシールリング47が密着し、そのシールリング47の上には蓋板48が密着している。このシールリング47および蓋板48はコバールなどの金属材料で形成されている。このように、シールリング47と蓋板48で、水晶振動片44の配置される空間を保つ蓋体を構成している。
封止用ビア50の上には、封止用ビア50に沿うようにシールリング47が密着し、そのシールリング47の上には蓋板48が密着している。このシールリング47および蓋板48はコバールなどの金属材料で形成されている。このように、シールリング47と蓋板48で、水晶振動片44の配置される空間を保つ蓋体を構成している。
第1の樹脂基板40と第2の樹脂基板41の間には、封止用ビア50により囲まれる領域に対応する、金属層51が形成されている。この金属層51はCuなどの金属をスパッタリング法などの手法により形成されている。そして、この金属層51は、マウント用電極43に接続される導通用ビア52の周辺部を除き形成され、金属層51と封止用ビア50が密着している。
このような積層された樹脂基板に、例えば、マウント用電極43に水晶振動片44を導電性接着剤45にて接続し、シールリング47を封止用ビア50に密着させ、蓋板48にて、真空または不活性ガス雰囲気で封止すれば、水晶振動片44が配置される空間を真空または不活性ガス雰囲気で気密に保持することができる。
そして、第1の樹脂基板40の表面からシールリング47および蓋板48で構成される蓋体を覆う樹脂モールド部60が形成されている。なお、この樹脂モールド部60はエポキシ樹脂などの樹脂で形成されている。
以上の構成の圧電デバイスとしての水晶振動子5は、封止用ビア50とシールリング47と蓋板48から構成される蓋体と、封止用ビア50と金属層51が密着することにより水晶振動片44を配置する空間の気密性を保持することができ、小型化・薄型化された水晶振動子5を提供することができる。また、水晶振動片44を積層された樹脂基板側に実装することができるため、水晶振動子5の組み立て性を容易にすることができる。
さらに、水晶振動子5は樹脂モールド部60がその表面を覆うことになり、積層された樹脂基板の剛性を向上させることができ、樹脂基板の変形を防止することにより、気密性の確保および水晶振動片44の発振周波数を安定させることができる。
さらに、水晶振動子5は樹脂モールド部60がその表面を覆うことになり、積層された樹脂基板の剛性を向上させることができ、樹脂基板の変形を防止することにより、気密性の確保および水晶振動片44の発振周波数を安定させることができる。
なお、本発明に係る上記実施形態で、樹脂基板としてポリイミド樹脂などのフレキシブル性を有する基板を用い説明したが、樹脂基板としてガラスエポキシ基板を利用しても実施することが可能である。
また、上記実施形態では圧電素子としてATカットの水晶振動片としたが、音叉型水晶振動片としても良い。また、圧電素子の材料として水晶だけでなく、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電振動片を利用することも可能である。さらに、圧電素子として、弾性表面波素子を用いることもできる。
このように、圧電発振器、SAW発振器、圧電振動子などの圧電デバイスに本発明は適用できる。
このように、圧電発振器、SAW発振器、圧電振動子などの圧電デバイスに本発明は適用できる。
1,2,3,4…圧電デバイスとしての水晶発振器、5…圧電デバイスとしての水晶振動子、10…第1の樹脂基板、11…第2の樹脂基板、12…第3の樹脂基板、13…マウント用電極、14…圧電素子としての水晶振動片、17…シールリング、18…蓋板、20…封止用ビア、21…金属層、22…導通用ビア、24…回路素子としてのIC、30…樹脂モールド部、34,36…コーティング層。
Claims (5)
- 少なくとも第1の樹脂基板と第2の樹脂基板とが積層され、
前記第1の樹脂基板上に形成されたマウント用電極と、
前記マウント用電極に接続される圧電素子と、
前記第1の樹脂基板の平面視において前記圧電素子を囲み前記第1の樹脂基板を貫通する環状の封止用ビアと、
前記マウント用電極と導通し前記第1の樹脂基板と前記第2の樹脂基板を貫通する導通用ビアと、
前記圧電素子の配置される空間を保って前記封止用ビアに密着する蓋体と、
前記第1の樹脂基板と前記第2の樹脂基板の間で、かつ前記封止用ビアに囲まれる領域に対応し前記導通用ビアの周辺部を除き設けられた金属層と、を備え、
前記蓋体と前記封止用ビアおよび前記封止用ビアと前記金属層が密着することにより前記蓋体と前記第1の樹脂基板との間に形成される空間が気密に保たれることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第1の樹脂基板表面から前記蓋体を覆う樹脂モールド部が形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第1の樹脂基板上に配置された回路素子をさらに備え、
前記第1の樹脂基板表面から前記蓋体および前記回路素子を覆う樹脂モールド部が形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第1の樹脂基板と前記第2の樹脂基板の間における前記マウント用電極に接続する前記導通用ビアの周辺部にコーティング層が形成されたことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第1の樹脂基板上における前記封止用ビアの内側の領域に前記マウント用電極の一部を除きコーティング層が形成されたことを特徴とする圧電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005162218A JP2006340035A (ja) | 2005-06-02 | 2005-06-02 | 圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005162218A JP2006340035A (ja) | 2005-06-02 | 2005-06-02 | 圧電デバイス |
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JP2006340035A true JP2006340035A (ja) | 2006-12-14 |
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JP2005162218A Withdrawn JP2006340035A (ja) | 2005-06-02 | 2005-06-02 | 圧電デバイス |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010177981A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶発振器を備えた電子カード |
-
2005
- 2005-06-02 JP JP2005162218A patent/JP2006340035A/ja not_active Withdrawn
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