JP2006339564A - 縦型cvd装置 - Google Patents
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Abstract
耐震性に優れ、定期的な治具の交換頻度の削減を可能とすると共に、被処理基板において面内均一性および炉内均一性の優れた酸化膜を形成することが可能な縦型CVD装置を提供する。
【解決手段】
本発明の縦型CVD装置は、垂直に保持されるアウターチューブと、このアウターチューブ内側に同心状に配されるインナーチューブ1と、インナーチューブ1の内側に配され、複数の被処理基板を保持するためのカバーボートと、前記インナーチューブの内側に配され、カバーボートに対向して配されるボートカバー2とを備え、ボートカバー2が、その上端部及び下端部においてインナーチューブ1に固定される。そして、ボートカバー2下端部のインナーチューブ1への固定が行われる固定部におけるインナーチューブ1径方向断面内に、インナーチューブ1内に供給される成膜ガスの一部がボートカバー2とインナーチューブ1との間に形成される空間に供給される開口を有する。
【選択図】図1
Description
以上、本発明の縦型CVD装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよい。
2 ボートカバー
3 下部固定部材
4 上部固定部材
5 開口
Claims (2)
- 垂直に保持されるアウターチューブと、該アウターチューブ内側に同心状に配されるインナーチューブと、該インナーチューブの内側に配され、複数の被処理基板を保持するためのカバーボートと、前記インナーチューブの内側に配され、前記カバーボートに対向して配されるボートカバーとを備え、
前記ボートカバーが、その上端部及び下端部において前記インナーチューブに固定された縦型CVD装置であって、
前記ボートカバー下端部において前記インナーチューブへの固定が行われる固定部におけるインナーチューブ径方向断面内に、前記インナーチューブ内に供給される成膜ガスの一部が前記ボートカバーと前記インナーチューブとの間に形成される空間に供給される開口を設けたことを特徴とする縦型CVD装置。
- 前記固定部におけるインナーチューブ径方向断面において、前記ボートカバーと前記インナーチューブとの隙間の面積に占める前記開口の面積の割合が30%以上であることを特徴とする請求項1に記載の縦型CVD装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005165173A JP2006339564A (ja) | 2005-06-06 | 2005-06-06 | 縦型cvd装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005165173A JP2006339564A (ja) | 2005-06-06 | 2005-06-06 | 縦型cvd装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006339564A true JP2006339564A (ja) | 2006-12-14 |
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ID=37559826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005165173A Pending JP2006339564A (ja) | 2005-06-06 | 2005-06-06 | 縦型cvd装置 |
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JP (1) | JP2006339564A (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06338490A (ja) * | 1993-05-28 | 1994-12-06 | Shinko Electric Co Ltd | 三重槽構造の減圧cvd装置 |
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2005
- 2005-06-06 JP JP2005165173A patent/JP2006339564A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH06338490A (ja) * | 1993-05-28 | 1994-12-06 | Shinko Electric Co Ltd | 三重槽構造の減圧cvd装置 |
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