JP2006337355A - 3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システム及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定対象物の3次元形状情報をスキャナーで検出し、データ貯蔵部に貯蔵された測定対象物の形状情報及び検査案内情報や、上記スキャナーから検出された上記測定情報の有効性を判断するための上記測定対象物の検査情報を表示部で確認してから、上記スキャナーを動作させ、上記スキャナーから検出された測定情報を検査情報と比較して上記測定の有効性を判断する。
【効果】設計者の検査意図を検査実施者が正確に把握して測定を実施することができる利点がある。
【選択図】図1
Description
このような3次元スキャナーを用いる測定は、半導体ウエハーの生産、精密機器の測定、3次元映像の復元等、測定対象物に外的な力が加えられた場合、破損が発生しやすい物体、又は高精度の小型部品等の形状情報を得ようとするに際して使用される。
また、3次元非接触式で測定対象物の形状情報を測定する場合、対象物を測定する検査実施者は、スキャナーの光源が届かない死角地域を測定するため、測定対象物を様々な角度で回転させた後、スキャナーを用いて測定対象物を測定する作業を繰り返して行うことになる。
また、上記測定対象物の形状情報は、CADプログラムでモデリングされた設計データであることを特徴とする。
また、上記データ貯蔵部は、ハードディスク、半導体メモリ、CDロムのいずれかであることを特徴とする。
また、上記制御部が3次元スキャナーから上記測定対象物の形状を測定し検出するステップは、上記制御部が、上記3次元スキャナーから測定された情報を、上記測定対象物の測定案内のための形状情報と重ねて上記表示部に出力するステップをさらに含む。
また、上記測定された情報の計算結果が有効でない場合、上記制御部が3次元スキャナーから上記測定対象物の形状を測定し検出するステップを行う。
図1は、本発明による3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システムの構成を示すブロック図であり、図2は、図1の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システムを用いる検査案内システムの測定過程を示す例示図であり、図3は、図1の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システムを用いる検査案内システムの測定過程を示す他の例示図である。
本発明による3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システムは、測定対象物をスキャニングする3次元スキャナー100と、上記測定対象物の形状情報、検査情報及び検査案内情報を貯蔵するデータ貯蔵部300と、3次元スキャナー100から検出された測定情報やデータ貯蔵部300に貯蔵された上記測定対象物の検査案内情報を出力する表示部400と、検査案内システムの全般的な動作を制御する制御部500を含む。
一方、本発明において使用する3次元スキャナー100は、携帯が可能な3次元スキャナー100を使用し、3次元スキャナー100で獲得された測定対象物の測定情報は制御部500に提供される。
表示部400は、3次元スキャナー100を介して測定された上記測定対象物の形状情報や、データ貯蔵部300に貯蔵された上記検査案内情報、検査情報及び測定結果情報を、検査実施者が確認することができるように出力する。
図4は、本発明による3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法を示すフロー図である。図1乃至図4を用いて次のように説明する。
上記S100において、制御部500が、データ貯蔵部300に定義された上記測定対象物の形状情報と測定要素を検出し(S110)、上記S110において検出された上記測定対象物の形状情報及び測定要素から、上記測定対象物の形状情報及び上記測定対象物の形状測定に必要なスキャニング領域を設定して上記表示部に出力し(S120)、上記測定対象物の形状情報及び測定要素から、上記測定対象物の測定位置及び測定寸法情報を検出する(S130)。
上記S150において、制御部500は、3次元スキャナー100の測定情報から算出された有効データ数を、上記算出された有効データ数の有効性を判断するための第1基準値と比較する(S160)。上記S160の第1基準値は上記データ貯蔵部300に貯蔵された検査情報であって、3次元スキャナー100を介して検出された測定情報が有効な情報であるか否かを判断するための最小限の有効データ個数である。
上記S180において測定対象物の追加測定がある場合、制御部500は上記S130を行い、測定対象物の追加測定がない場合、検査案内及び測定対象物の測定を終了する。
また、検査実施者の3次元スキャナー操作熟練度と関係なく、設計者が意図した検査事項を容易に検査することができるため、検査の誤謬が防止される利点がある。
以上においては、本発明を、特定の好ましい実施の形態について図示し説明した。しかし、本発明は、上述の実施の形態に限られるものではなく、本発明の属する技術分野で通常の知識を有する者なら以下の特許請求範囲に記載の本発明の技術的な思想を逸脱することなく、多様な変更を実施することが可能である。
表示部 500・・・制御部
Claims (14)
- 測定対象物の3次元形状情報を検出するスキャナー;
上記スキャナーを操作する検査実施者が測定する上記測定対象物の検査案内情報や、上記スキャナーから検出された上記測定情報の有効性を判断するための上記測定対象物の検査情報を貯蔵するデータ貯蔵部;
上記スキャナーから検出される測定情報や、上記データ貯蔵部に貯蔵された上記測定対象物の検査案内情報を出力する表示部;及び
上記データ貯蔵部に貯蔵された上記測定対象物の検査案内情報を上記表示部に伝送し、上記スキャナーから検出された上記測定情報を上記検査情報と比較して上記測定の有効性を判断する制御部を含む3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システム。 - 上記検査案内情報は、上記測定対象物の形状情報、上記測定対象物を測定するためのスキャニング領域情報及び測定過程を案内するための順序情報を含むことを特徴とする請求項1に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システム。
- 上記形状情報は、CADプログラムでモデリングされた設計データであることを特徴とする請求項2に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システム。
- 上記検査情報は、上記スキャナーを介して検出した測定情報のデータ数が有効であるか否かを判断するための基準データ情報や、上記測定された情報の形状誤差を評価するための許容公差情報を含むことを特徴とする請求項1に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システム。
- 上記データ貯蔵部は、ハードディスク、半導体メモリ、CDロムのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内システム。
- a)データ貯蔵部に測定対象物の形状情報や上記測定対象物の測定要素を定義し貯蔵するステップ;
b)上記データ貯蔵部に貯蔵された上記測定対象物の形状情報及び測定要素を用いて、制御部が、上記測定対象物の測定案内のための形状情報及び検査案内情報を表示部に出力するステップ;
c)上記制御部が3次元スキャナーから上記測定対象物の形状を測定し検出するステップ;
d)上記制御部が上記3次元スキャナーから検出された上記測定情報の有効性を判断するステップ;及び、
e)ステップd)の判断結果として上記測定情報が有効である場合、上記制御部が上記測定対象物の測定を終了するステップをさらに含む3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法。 - ステップb)は、上記制御部が上記データ貯蔵部に貯蔵された上記測定対象物の測定位置及び測定寸法情報を検出するステップ;及び、
上記測定対象物の形状情報及び上記測定対象物の形状測定に必要なスキャニング領域を設定して上記表示部に出力するステップを含む請求項6に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法。 - ステップc)は、上記制御部が上記3次元スキャナーから検出される空間移動情報を検出するステップ;
上記制御部は上記3次元スキャナーから検出された上記空間移動情報を分析して、上記3次元スキャナーが上記測定対象物の近所に位置したか否かを判断するステップ;及び、
上記3次元スキャナーが上記測定対象物の近所に位置した場合、上記制御部が上記表示部を介して測定対象物であることを表示するステップを含む請求項6に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法。 - 上記3次元スキャナーが上記測定対象物の近所に位置したか否かを判断するステップは、上記3次元スキャナーが上記測定対象物の近所に位置しない場合、上記制御部が上記表示部を介して測定対象物でないことを表示するステップを含む請求項8に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法。
- ステップc)は、上記制御部が、上記3次元スキャナーから測定された情報を、上記測定対象物の測定案内のための形状情報と重ねて上記表示部に出力するステップをさらに含む請求項6に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法。
- ステップd)は、上記制御部が上記3次元スキャナーから測定された情報のデータ数を、上記測定された情報の有効性判断用の第1基準値と比較するステップ;
上記比較結果により上記測定された情報のデータ数が有効である場合、上記制御部が、上記測定された情報から測定要素の数値情報を計算して、上記測定された情報の有効性判断用の第2基準値と比較するステップを含む請求項6に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法。 - 上記測定された情報のデータ数が有効でない場合、ステップc)を行う請求項11に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法。
- 上記測定された情報の計算結果が有効でない場合、ステップc)を行う請求項11に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法。
- ステップe)は、上記制御部が測定対象物の追加測定がある場合、ステップb)を行う請求項6に記載の3次元スキャナーを用いる実時間検査案内方法。
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