JP2006332677A - インプリント・リソグラフィ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インプリント・テンプレート31を保持するように構成されたテンプレートホルダ32と、基板テーブル33と、光学エンコーダ35とを有するインプリント・リソグラフィ装置が開示されている。光学エンコーダ35は、放射線出力装置43、第1回折格子27および検出器41を有する。放射線出力装置は、第2回折格子を照明するように構成される。検出器は、第1および第2回折格子によって回折された放射線を検出して位置合せ信号を発するように配置される。
【選択図】図4
Description
インプリント・テンプレートを保持するように構成されたテンプレートホルダと、基板テーブルと、光学エンコーダとを含み、
前記光学エンコーダが、放射線出力装置、第1回折格子、および検出器を有し、
前記放射線出力装置は、第2回折格子を照明するように構成され、
前記検出器は、前記第1および第2回折格子によって回折された放射線を検出して位置合せ信号を発するように配置されたインプリント・リソグラフィ装置。
インプリント・テンプレートと、放射線出力装置、第1回折格子および検出器を有する光学エンコーダとを含むインプリント・リソグラフィ装置用位置合わせ方法において、
前記放射線出力装置から出る放射線を第2回折格子上へ奉公づけること、および、
前記第1および第2回折格子によって回折された放射線を検出して位置合わせ信号を発することを含むインプリント・リソグラフィ装置用位置合わせ方法。
を如何に正確に測定するか(これは、フォトダイオードの数および位置に関係する)、拡大係数p1*p2/(p2−p1)(これは、検出器格子と基板格子の周期の間の差から来る)、および検出器格子の周期p1に依ることが分る。これらの格子の周期、および格子間の間隔は、必要な位置合わせ精度に依って、適当に選んでもよい。上の例では、3.95μmおよび3.60μmの周期を有する格子に言及したが、これらの格子は、例えば、50nm〜10μmの周期を持ってもよい。
32 テンプレートホルダ
33 基板テーブル
34 基板
35 光学エンコーダ
36 第2回折格子
37 第1回折格子
41 検出器、フォトダイオード
43 放射線出力装置
50 位置合わせセンサ
51 コンデンサ板
53 容量センサ
Claims (25)
- インプリント・テンプレートを保持するように構成されたテンプレートホルダと、基板テーブルと、光学エンコーダとを含み、
前記光学エンコーダが、放射線出力装置、第1回折格子、および検出器を有し、
前記放射線出力装置は、第2回折格子を照明するように構成され、
前記検出器は、前記第1および第2回折格子によって回折された放射線を検出して位置合せ信号を発するように配置されたインプリント・リソグラフィ装置。 - 前記第2回折格子が前記基板テーブルに設置されている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第2回折格子が前記基板テーブル上に保持された基板に設置されている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第1回折格子が前記テンプレートホルダに固定されている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第1回折格子が前記インプリント・テンプレートに設置されている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第1回折格子が透過性位相格子である請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第1回折格子が振幅格子である請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記放射線出力装置から出た放射線が前記第2回折格子に達する前に前記第1回折格子を通り抜けるように、前記放射線出力装置が構成されている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記検出器が、複数の離間したフォトダイオードを含む請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第2回折格子の周期が50nm〜10μmである請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第1回折格子の周期が50nm〜10μmである請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第2回折格子と前記第1回折格子が50nm〜10μmだけ離れている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第1回折格子に加えて、前記光学エンコーダが別の回折格子を具備し、該別の回折格子が前記第1回折格子よりも長い周期を有する請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- コンデンサ板の存在を検出するように構成された容量センサを含む位置合わせセンサを有する請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記光学エンコーダが線形エンコーダである請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第1回折格子が所定の方向に拡がり、かつ、前記第2回折格子が同じ方向に拡がっている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記第1回折格子(37)および前記第2回折格子(36)が共に2方向に拡がっている請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記検出された放射線がモアレ模様を含む請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 光学部品に第1回折格子を設けて成る請求項1に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- 前記光学部品が、レンズ、回折格子またはプリズムである請求項19に記載されたインプリント・リソグラフィ装置。
- インプリント・テンプレートと、放射線出力装置、第1回折格子および検出器を有する光学エンコーダとを含むインプリント・リソグラフィ装置用位置合わせ方法において、
前記放射線出力装置から出る放射線を第2回折格子上へ方向づけること、および、
前記第1および第2回折格子によって回折された放射線を検出して位置合わせ信号を発することを含むインプリント・リソグラフィ装置用位置合わせ方法。 - 前記放射線出力装置から出る放射線を、前記第2回折格子に入射する前に前記第1回折格子を通るように方向づけすることを含む請求項21に記載されたインプリント・リソグラフィ装置用位置合わせ方法。
- 前記第2回折格子が基板テーブルに設置されている請求項21に記載されたインプリント・リソグラフィ装置用位置合わせ方法。
- 前記第2回折格子(36)が基板に設置されている請求項21に記載されたインプリント・リソグラフィ装置用位置合わせ方法。
- 前記検出された放射線がモアレ模様を含む請求項21に記載されたインプリント・リソグラフィ装置用位置合わせ方法。
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