JP2006332548A - Wiring circuit board - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、配線回路基板、詳しくは、電気機器や電子機器に装備される配線回路基板に関する。 The present invention relates to a printed circuit board, and more particularly to a printed circuit board equipped in an electric device or an electronic device.
フレキシブル配線回路基板や回路付サスペンション基板などの配線回路基板は、通常、ポリイミドからなるベース層と、そのベース層の上に形成された銅箔からなる導体回路と、ベース層の上および導体回路の上に形成されたポリイミドからなるカバー層とを備えており、電子部品を実装して、各種の電気機器や電子機器に搭載されている。
このような配線回路基板において、実装された電子部品の静電破壊を防止するために、カバー層の上に、導電ポリマー層を形成して、その導電ポリマー層によって静電気の帯電を除去することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
A wired circuit board such as a flexible printed circuit board or a suspension board with circuit is usually a base layer made of polyimide, a conductor circuit made of copper foil formed on the base layer, and a base layer and conductor circuit. And a cover layer made of polyimide formed thereon, mounted with various electronic devices and electronic devices by mounting electronic components.
In such a printed circuit board, in order to prevent electrostatic breakdown of the mounted electronic component, it is possible to form a conductive polymer layer on the cover layer and remove the static charge by the conductive polymer layer. It has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
また、静電気防止特性を付与するために、ポリイミドフィルムに、導電性粒子を含有させることが知られている（例えば、特許文献２参照）。
しかし、上記の配線回路基板では、導体回路の上にカバー層および導電ポリマー層の２層を形成するので、導体回路の上に層を形成する工程が２回必要となり、製造コストがかかるという不具合がある。
また、上記の配線回路基板では、端子部における電荷を完全に除去できないという不具合もある。
However, in the above-described wired circuit board, since the cover layer and the conductive polymer layer are formed on the conductor circuit, the process of forming the layer on the conductor circuit is required twice, which increases the manufacturing cost. There is.
In addition, the above-described wired circuit board has a problem that electric charges in the terminal portion cannot be completely removed.
一方、配線回路基板において、例えば、カバー層を、導電性粒子を含有するポリイミドフィルムからなる半導電性層として形成すると、その半導電性層から、導電性粒子が脱離する可能性がある。
例えば、そのような配線回路基板が、ハードディスクドライブに搭載される回路付サスペンション基板である場合には、導電性粒子が脱離すると、ハードディスクドライブが破損するおそれがある。
On the other hand, in the printed circuit board, for example, when the cover layer is formed as a semiconductive layer made of a polyimide film containing conductive particles, the conductive particles may be detached from the semiconductive layer.
For example, when such a wired circuit board is a suspension board with circuit mounted on a hard disk drive, the hard disk drive may be damaged if the conductive particles are detached.
本発明の目的は、静電気の帯電を効率的に除去して、実装される電子部品の静電破壊を有効に防止しつつ、製造コストを低減することができ、しかも、樹脂層を形成する半導電性層に含まれる導電性粒子の脱離を防止して、配線回路基板の耐久性の向上を図ることのできる、配線回路基板を提供することにある。 An object of the present invention is to efficiently remove static charges and effectively prevent electrostatic breakdown of electronic components to be mounted, while reducing the manufacturing cost, and to form a resin layer. An object of the present invention is to provide a printed circuit board capable of preventing the detachment of conductive particles contained in the conductive layer and improving the durability of the printed circuit board.
上記目的を達成するために、本発明の配線回路基板は、導体層と、前記導体層に隣接する樹脂層と、前記樹脂層が開口されることにより露出される導体層からなる端子部とを備える配線回路基板において、前記樹脂層が、導電性粒子を含む半導電性層からなり、前記樹脂層に隣接する保護層を、さらに備えていることを特徴としている。
また、本発明の配線回路基板は、金属支持基板と、前記金属支持基板の上に形成されるベース層と、前記ベース層の上に形成される導体層と、前記導体層の上に形成されるカバー層と、前記カバー層が開口されることにより露出される導体層からなる端子部とを備える配線回路基板において、少なくとも前記カバー層が、導電性粒子を含む半導電性層からなり、前記カバー層の上に形成される保護層を、さらに備えていることを特徴としている。
In order to achieve the above object, a printed circuit board according to the present invention comprises a conductor layer, a resin layer adjacent to the conductor layer, and a terminal portion comprising a conductor layer exposed by opening the resin layer. In the printed circuit board provided, the resin layer is made of a semiconductive layer containing conductive particles, and further includes a protective layer adjacent to the resin layer.
The wired circuit board of the present invention is formed on a metal support substrate, a base layer formed on the metal support substrate, a conductor layer formed on the base layer, and the conductor layer. A printed circuit board comprising a cover layer and a terminal portion made of a conductor layer exposed by opening the cover layer, wherein at least the cover layer is made of a semiconductive layer containing conductive particles, A protective layer formed on the cover layer is further provided.
また、本発明の配線回路基板では、前記半導電性層は、導電性粒子が樹脂中に分散されてなり、前記導電性粒子が、前記導電性粒子および前記樹脂の総量１００重量部に対して１０〜５０重量部の割合で含まれていることが好適である。
また、本発明の配線回路基板では、前記導電性粒子が、カーボンブラックであることが好適である。
In the wired circuit board of the present invention, the semiconductive layer is formed by dispersing conductive particles in a resin, and the conductive particles are in a total amount of 100 parts by weight of the conductive particles and the resin. It is preferable that it is contained at a ratio of 10 to 50 parts by weight.
In the wired circuit board of the present invention, it is preferable that the conductive particles are carbon black.
本発明の配線回路基板では、樹脂層、具体的には、少なくともカバー層が、導電性粒子を含む半導電性層からなるので、その半導電性層によって、静電気の帯電を除去して、実装される電子部品の静電破壊を防止することができる。また、この配線回路基板では、樹脂層が半導電性層であるため、樹脂層の上に、さらに半導電性層を形成する必要がなく、製造コストの低減を図ることができる。しかも、この配線回路基板では、樹脂層に隣接して保護層が設けられているので、その保護層によって、樹脂層を形成する半導電性層に含まれる導電性粒子の脱離を防止することができる。その結果、配線回路基板の耐久性の向上を図ることができる。 In the printed circuit board of the present invention, since the resin layer, specifically, at least the cover layer is composed of a semiconductive layer containing conductive particles, the semiconductive layer is used to remove static electricity and mount It is possible to prevent electrostatic breakdown of the electronic components. Moreover, in this wired circuit board, since the resin layer is a semiconductive layer, it is not necessary to form a semiconductive layer on the resin layer, and the manufacturing cost can be reduced. Moreover, in this wired circuit board, since a protective layer is provided adjacent to the resin layer, the protective layer prevents the detachment of the conductive particles contained in the semiconductive layer forming the resin layer. Can do. As a result, the durability of the printed circuit board can be improved.
図１は、本発明の配線回路基板の一実施形態である回路付サスペンション基板を示す概略平面図、図２は、図１に示す回路付サスペンション基板の長手方向に沿う部分断面図である。
図１において、この回路付サスペンション基板１は、ハードディスクドライブに搭載され、磁気ヘッド（図示せず）を実装して、その磁気ヘッドを、磁気ディスクとの間で相対的に走行させるときの空気流に抗して、磁気ディスクとの間に微小間隔を保持しながら支持する金属支持基板２に、磁気ヘッドとリード・ライト基板とを接続するための導体層としての導体パターン４が一体的に形成されている。
FIG. 1 is a schematic plan view showing a suspension board with circuit as an embodiment of the wired circuit board of the present invention, and FIG. 2 is a partial sectional view along the longitudinal direction of the suspension board with circuit shown in FIG.
In FIG. 1, this suspension board with
なお、図１では、金属支持基板２に対する導体パターン４の相対配置を明確に示すために、後述するベース層３およびカバー層５を省略して示している。
導体パターン４は、磁気ヘッド側接続端子部６Ａと、外部側接続端子部６Ｂと、これら磁気ヘッド側接続端子部６Ａおよび外部側接続端子部６Ｂを接続するための配線７とを、一体的に連続して備えている。
In FIG. 1, in order to clearly show the relative arrangement of the
The
配線７は、金属支持基板２の長手方向に沿って複数設けられ、幅方向（長手方向に直交する方向）において互いに間隔を隔てて並列配置されている。
磁気ヘッド側接続端子部６Ａは、金属支持基板２の先端部に配置され、各配線７の先端部がそれぞれ接続されるように、複数設けられている。この磁気ヘッド側接続端子部６Ａには、磁気ヘッドの端子部（図示せず）が接続される。
A plurality of
A plurality of magnetic head side connection
外部側接続端子部６Ｂは、金属支持基板２の後端部に配置され、各配線７の後端部がそれぞれ接続されるように、複数設けられている。この外部側接続端子部６Ｂには、リード・ライト基板の端子部（図示せず）が接続される。
また、金属支持基板２の先端部には、磁気ヘッドを実装するためのジンバル８が設けられている。ジンバル８は、磁気ヘッド側接続端子部６Ａを長手方向において挟むように、金属支持基板２を切り抜くことによって形成されている。
A plurality of external connection
A
この回路付サスペンション基板１は、図２に示すように、金属支持基板２と、金属支持基板２の上に形成されたベース層３と、ベース層３の上に形成された導体パターン４と、導体パターン４を被覆するように、ベース層３の上に形成されたカバー層５とを備えている。
また、カバー層５には、磁気ヘッド側接続端子部６Ａまたは外部側接続端子部６Ｂが配置される部分に対応して、厚さ方向を貫通する開口部９が形成されており、この開口部９から露出する導体パターン４が、磁気ヘッド側接続端子部６Ａまたは外部側接続端子部６Ｂ（以下、総称して端子部６とする。）として設けられている。なお、図２では、磁気ヘッド側接続端子部６Ａおよび外部側接続端子部６Ｂのいずれか一方のみが示されている。
As shown in FIG. 2, the suspension board with
The
そして、この回路付サスペンション基板１では、カバー層５を被覆するように、保護層１５が形成されている。この保護層１５は、端子部６の表面および金属支持基板２の表面を除くカバー層５の表面に形成されている（但し、カバー層５の表面には、カバー層５の外周側面および端子部６を囲む内周側面が含まれており、また、ベース層３の外周側面と、端子部６および金属支持基板２の表面の周縁部とには、保護層１５が形成されている。以下同様）。
In the suspension board with
次に、この回路付サスペンション基板１の製造方法について、図３を参照して説明する。
この方法では、図３（ａ）に示すように、まず、金属支持基板２を用意する。金属支持基板２としては、例えば、ステンレス箔、４２アロイ箔、アルミニウム箔、銅−ベリリウム箔、りん青銅箔などが用いられる。好ましくは、ステンレス箔が用いられる。また、その厚みは、例えば、１５〜３０μｍ、好ましくは、２０〜２５μｍである。
Next, a method for manufacturing the suspension board with
In this method, as shown in FIG. 3A, first, a
次に、この方法では、図３（ｂ）に示すように、金属支持基板２の上に、ベース層３を、導体パターン４を積層可能な所望のパターンとして、形成する。
ベース層３は、半導電性層または樹脂層から、その目的および用途により適宜選択して形成する。
ベース層３を半導電性層から形成する場合には、例えば、まず、図４（ａ）に示すように、半導電性層形成用樹脂組成物を、金属支持基板２の表面に均一に塗布し、乾燥後、必要により加熱硬化させて、半導電性層からなるベース層３を形成する。
Next, in this method, as shown in FIG. 3B, the
The
When the
半導電性層形成用樹脂組成物は、樹脂として、イミド樹脂またはイミド樹脂前駆体と、導電性粒子と、溶媒とを含有している。
イミド樹脂としては、例えば、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミドなどが挙げられる。これらは、市販品として入手でき、そのような市販品として、ポリイミドとして、例えば、ＰＩ−１１３、ＰＩ−１１７、ＰＩ−２１３Ｂ（以上、丸善石油化学社製）、リカコート−２０（新日本理化社製）が挙げられる。また、ポリエーテルイミドとして、ウルテム１０００、ウルテムＸＨ６０５０（以上、日本イージープラスチック社製）が挙げられる。また、ポリアミドイミドとして、例えば、ＨＲ１６ＮＮ、ＨＲ１１ＮＮ（東洋紡績社製）が挙げられる。
The resin composition for forming a semiconductive layer contains an imide resin or an imide resin precursor, conductive particles, and a solvent as a resin.
Examples of the imide resin include polyimide, polyether imide, and polyamide imide. These are available as commercial products, and as such commercial products, for example, PI-113, PI-117, PI-213B (manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.), Rika Coat-20 (Shin Nihon Rika Co., Ltd.) as polyimide. Manufactured). Examples of the polyetherimide include Ultem 1000 and Ultem XH6050 (manufactured by Nippon Easy Plastic Co., Ltd.). Examples of the polyamideimide include HR16NN and HR11NN (manufactured by Toyobo Co., Ltd.).
また、イミド樹脂前駆体としては、例えば、ポリアミック酸が挙げられる。ポリアミック酸は、通常、有機テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを反応させることによって得ることができる。
有機テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、３，３'，４，４'−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２，２−ビス（２，３−ジカルボキシフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン二無水物、２，２−ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン二無水物、３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物、ビス（３，４−ジカルボキシフェニル）スルホン酸二無水物などが挙げられる。また、これら有機テトラカルボン酸二無水物は、単独使用または２種以上併用することができる。
Moreover, as an imide resin precursor, a polyamic acid is mentioned, for example. The polyamic acid can be usually obtained by reacting an organic tetracarboxylic dianhydride with a diamine.
Examples of the organic tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl). ) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoro Propane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfonic acid And dianhydrides. Moreover, these organic tetracarboxylic dianhydrides can be used alone or in combination of two or more.
また、ジアミンとしては、例えば、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、３，４'−ジアミノジフェニルエーテル、４，４'−ジアミノジフェニルエーテル、４，４'−ジアミノジフェニルスルホン、３，３'−ジアミノジフェニルスルホン、２，２−ビス（４−アミノフェノキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−アミノフェノキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、１，３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１，４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、２，４−ジアミノトルエン、２，６−ジアミノトルエン、ジアミノジフェニルメタン、４，４'−ジアミノ−２，２−ジメチルビフェニル、２，２−ビス（トリフルオロメチル）−４，４'−ジアミノビフェニルなどが挙げられる。また、これらジアミンは、単独使用または２種以上併用することができる。 Examples of the diamine include m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, and 3,3'-diaminodiphenyl. Sulfone, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) hexafluoropropane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 2,4-diaminotoluene, 2,6-diaminotoluene, diaminodiphenylmethane, 4,4′-diamino-2,2-dimethylbiphenyl, 2,2-bis (trifluoromethyl)- 4,4′-diaminobiphenyl and the like can be mentioned. These diamines can be used alone or in combination of two or more.
そして、ポリアミック酸は、これら有機テトラカルボン酸二無水物とジアミンとを、実質的に等モル比となるような割合で、適宜の有機溶媒、例えば、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシドなどの非プロトン性極性溶媒中で、通常、０〜９０℃で１〜２４時間反応させることよって、ポリアミック酸の溶液として得ることができる。なお、ポリアミック酸の重量平均分子量は、例えば、５０００〜２０００００程度、好ましくは、１００００〜１０００００程度である。 The polyamic acid is an appropriate organic solvent such as N-methyl-2-pyrrolidone, N, N, in such a ratio that the organic tetracarboxylic dianhydride and diamine are substantially equimolar. -It can obtain as a solution of a polyamic acid by making it react normally at 0-90 degreeC in aprotic polar solvents, such as a dimethylacetamide, N, N- dimethylformamide, and dimethylsulfoxide. In addition, the weight average molecular weight of polyamic acid is about 5000-200000, for example, Preferably, it is about 10000-100000.
導電性粒子としては、例えば、カーボンブラック粒子、例えば、カーボンナノファイバー、例えば、酸化インジウムと酸化スズとの複合酸化物の粒子（ＩＴＯ粒子）、酸化スズと酸化リンとの複合酸化物の粒子（ＰＴＯ粒子）などの金属酸化物粒子が挙げられる。また、これら導電性粒子は、単独使用または２種以上併用することができる。好ましくは、カーボンブラックが挙げられる。 Examples of the conductive particles include carbon black particles, for example, carbon nanofibers, for example, composite oxide particles of indium oxide and tin oxide (ITO particles), composite oxide particles of tin oxide and phosphorus oxide ( Metal oxide particles such as PTO particles). These conductive particles can be used alone or in combination of two or more. Preferably, carbon black is used.
また、導電性粒子は、その平均粒子径が、例えば、１０ｎｍ〜１μｍ、好ましくは、１０ｎｍ〜４００ｎｍ、さらに好ましくは、１０ｎｍ〜１００ｎｍである。なお、導電性粒子がカーボンナノファイバーである場合には、例えば、その直径が１００〜２００ｎｍであり、その長さが、５〜２０μｍである。
平均粒子径（直径）がこれより小さいと、平均粒子径（直径）の調整が困難となる場合があり、また、これより大きいと、塗布に不向きとなる場合がある。
The average particle diameter of the conductive particles is, for example, 10 nm to 1 μm, preferably 10 nm to 400 nm, and more preferably 10 nm to 100 nm. In addition, when electroconductive particle is carbon nanofiber, the diameter is 100-200 nm, and the length is 5-20 micrometers, for example.
If the average particle diameter (diameter) is smaller than this, it may be difficult to adjust the average particle diameter (diameter), and if it is larger than this, it may be unsuitable for coating.
溶媒は、樹脂（イミド樹脂またはイミド樹脂前駆体）を溶解でき、導電性粒子を分散できれば、特に制限されないが、例えば、Ｎ−メチル−２ピロリドン（ＮＭＰ）、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシドなどの非プロトン性極性溶媒が挙げられる。また、これら溶媒は、単独使用または２種以上併用することができる。なお、樹脂として、ポリアミック酸が用いられる場合には、ポリアミック酸を溶解する反応溶媒を、そのまま溶媒として用いることができる。 The solvent is not particularly limited as long as the resin (imide resin or imide resin precursor) can be dissolved and the conductive particles can be dispersed. For example, N-methyl-2pyrrolidone (NMP), N, N-dimethylacetamide, N, Examples include aprotic polar solvents such as N-dimethylformamide and dimethyl sulfoxide. These solvents can be used alone or in combination of two or more. In addition, when a polyamic acid is used as the resin, a reaction solvent that dissolves the polyamic acid can be used as it is.
そして、半導電性層形成用樹脂組成物は、樹脂（イミド樹脂またはイミド樹脂前駆体）、導電性粒子および溶媒を配合することによって、調製することができる。
導電性粒子の配合割合は、例えば、導電性粒子および樹脂（イミド樹脂またはイミド樹脂前駆体）の総量１００重量部に対して、導電性粒子が、例えば、１０〜５０重量部、好ましくは、２０〜４０重量部である。導電性粒子の配合割合が、これより少ないと、表面抵抗値が１０11Ω／□より大きくなる場合がある。また、これより多いと、表面抵抗値が１０5Ω／□より小さくなる場合がある。また、溶媒は、樹脂および導電性粒子が、半導電性層形成用樹脂組成物に対して、５〜４０重量％（固形分濃度）、好ましくは、１０〜３０重量％（固形分濃度）となるように、配合する。固形分濃度がこれより小さいと、半導電性層形成用樹脂組成物の均一な塗布が困難となる場合がある。また、固形分濃度がこれより大きいと、溶媒に対する導電性粒子の分散性が不良となる場合がある。
And the resin composition for semiconductive layer formation can be prepared by mix | blending resin (imide resin or imide resin precursor), electroconductive particle, and a solvent.
The blending ratio of the conductive particles is, for example, 10 to 50 parts by weight, preferably 20 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total amount of the conductive particles and the resin (imide resin or imide resin precursor). ~ 40 parts by weight. When the blending ratio of the conductive particles is less than this, the surface resistance value may be larger than 10 11 Ω / □. On the other hand, the surface resistance value may be smaller than 10 5 Ω / □ when the amount is larger than this. The solvent is such that the resin and the conductive particles are 5 to 40% by weight (solid content concentration), preferably 10 to 30% by weight (solid content concentration) with respect to the resin composition for forming a semiconductive layer. It mix | blends so that it may become. If the solid content concentration is smaller than this, it may be difficult to uniformly apply the resin composition for forming a semiconductive layer. Moreover, when solid content concentration is larger than this, the dispersibility of the electroconductive particle with respect to a solvent may become bad.
また、半導電性層形成用樹脂組成物の調製は、特に制限されず、例えば、樹脂（イミド樹脂またはイミド樹脂前駆体）および導電性粒子を、溶媒に配合して、樹脂が溶媒に対して均一に溶解し、導電性粒子が溶媒に対して均一に分散するまで、攪拌混合する。また、予め樹脂を溶媒に溶解した樹脂溶液と、予め導電性粒子を溶媒に分散させた粒子分散液とを、混合することもできる。これによって、溶媒中において、樹脂が溶解され、導電性粒子が分散する半導電性層形成用樹脂組成物が調製される。 Moreover, the preparation of the resin composition for forming a semiconductive layer is not particularly limited. For example, a resin (imide resin or imide resin precursor) and conductive particles are blended in a solvent, and the resin is used with respect to the solvent. Stir and mix until it is uniformly dissolved and the conductive particles are uniformly dispersed in the solvent. In addition, a resin solution in which a resin is previously dissolved in a solvent and a particle dispersion in which conductive particles are previously dispersed in a solvent can be mixed. Thus, a resin composition for forming a semiconductive layer in which the resin is dissolved in the solvent and the conductive particles are dispersed is prepared.
そして、このようにして得られた半導電性層形成用樹脂組成物を、金属支持基板２の表面に均一に塗布するには、特に制限されず、例えば、ロールコート法、グラビアコート法、スピンコート法、バーコート法など公知の塗布方法が用いられる。
次いで、塗布された半導電性層形成用樹脂組成物の乾燥は、溶媒の種類によって適宜決定されるが、例えば、６０〜２５０℃、好ましくは、８０〜２００℃で、例えば、１〜３０分間、好ましくは、３〜１５分間加熱する。乾燥時間が、これより短いと、溶媒の除去が不十分となり、半導電性層の表面抵抗値が大きく変化する場合がある。また、これより長いと、生産効率が低下する場合がある。
And in order to apply | coat uniformly the resin composition for semiconductive layer formation obtained in this way on the surface of the
Next, the drying of the applied resin composition for forming a semiconductive layer is appropriately determined depending on the type of the solvent, and is, for example, 60 to 250 ° C., preferably 80 to 200 ° C., for example, 1 to 30 minutes. Preferably, heating is performed for 3 to 15 minutes. If the drying time is shorter than this, the removal of the solvent becomes insufficient, and the surface resistance value of the semiconductive layer may change greatly. On the other hand, if it is longer than this, the production efficiency may decrease.
なお、半導電性層形成用樹脂組成物が、イミド樹脂前駆体を含有する場合には、乾燥後、そのイミド樹脂前駆体を、例えば、減圧下、２５０℃以上で加熱することにより、硬化（イミド化）させる。
これによって、半導電性層からなるベース層３が形成される。また、この半導電性層の表面抵抗値は、例えば、１０5〜１０11Ω／□、好ましくは、１０6〜１０10Ω／□である。半導電性層の表面抵抗値が、これより小さいと、実装された電子部品（磁気ヘッドやリード・ライト基板の端子部、以下同様。）の誤動作を生じる場合があり、また、これより大きいと、静電気の帯電を有効に除去できない場合がある。
In addition, when the resin composition for forming a semiconductive layer contains an imide resin precursor, after drying, the imide resin precursor is cured (for example, by heating at 250 ° C. or higher under reduced pressure). Imidization).
Thereby, the
なお、表面抵抗値は、例えば、ＭＩＴＳＵＢＩＳＨＩ ＰＥＴＲＯＣＨＥＭＩＣＡＬ社製のＨｉｒｅｓｔａ ＩＰ ＭＣＰ−ＨＴ２６０（プローブ：ＨＲＳ）を用いて測定することができる。
次いで、上記のようにして形成されたベース層３を、所望のパターンに形成するには、図４（ｂ）に示すように、ベース層３の表面を、所望のパターンに対応してエッチングレジスト１０で被覆し、図４（ｃ）に示すように、エッチングレジスト１０から露出するベース層３をエッチングにより除去した後、図４（ｄ）に示すように、エッチングレジスト１０を、エッチングまたは剥離により除去する。
The surface resistance value can be measured using, for example, Hiresta IP MCP-HT260 (probe: HRS) manufactured by MITSUBISHI PETROCHEMICAL.
Next, in order to form the
エッチングレジスト１０は、例えば、ドライフィルムフォトレジストをベース層３の表面に積層し、露光および現像する公知の方法により形成する。
ベース層３のエッチングは、例えば、エッチング液として水酸化カリウム水溶液などのアルカリ現像液を用いて、浸漬法またはスプレー法によって、ウエットエッチングする。
これによって、金属支持基板２の上に、半導電性層からなるベース層３が、導体パターン４を積層可能な所望のパターンとして形成される。
The etching resist 10 is formed by, for example, a known method of laminating a dry film photoresist on the surface of the
The
Thereby, the
また、上記した半導電性層形成用樹脂組成物に、感光剤を含有させれば、ベース層３をエッチングせずとも、ベース層３を所望のパターンとして形成することができる。
半導電性層形成用樹脂組成物に含有させる感光剤としては、例えば、４−ｏ−ニトロフェニル−３，５−ジメトキシカルボニル−２，６−ジメチル−１，４−ジヒドロピリジン（ニフェジピン）、４−ｏ−ニトロフェニル−３，５−ジメトキシカルボニル−２，６−ジメチル−１−メチル−４−ヒドロピリジン（Ｎ−メチル体）、４−ｏ−ニトロフェニル−３，５−ジアセチル−１，４−ジヒドロピリジン（アセチル体）などのジヒドロピリジン誘導体が挙げられる。また、これら感光剤は、単独使用または２種以上併用することができる。なお、感光剤は、例えば、ポリエチレングリコールなどの溶媒に溶解して、溶液として調製することもできる。
Moreover, if a photosensitive agent is contained in the above-described resin composition for forming a semiconductive layer, the
Examples of the photosensitive agent contained in the resin composition for forming a semiconductive layer include 4-o-nitrophenyl-3,5-dimethoxycarbonyl-2,6-dimethyl-1,4-dihydropyridine (nifedipine), 4- o-nitrophenyl-3,5-dimethoxycarbonyl-2,6-dimethyl-1-methyl-4-hydropyridine (N-methyl), 4-o-nitrophenyl-3,5-diacetyl-1,4- And dihydropyridine derivatives such as dihydropyridine (acetyl). These photosensitizers can be used alone or in combination of two or more. The photosensitizer can also be prepared as a solution by dissolving it in a solvent such as polyethylene glycol.
感光剤は、上記した樹脂（イミド樹脂またはイミド樹脂前駆体）、および、導電性粒子とともに、溶媒に配合する。感光剤の配合割合は、樹脂１００重量部に対して、例えば、０．１〜１００重量部、好ましくは、０．５〜７５重量部である。感光剤の樹脂に対する配合割合が、これより多くても少なくても、露光部と未露光部との適切な溶解速度差が得られず、パターンニングが困難な場合がある。なお、感光剤が配合される場合でも、溶媒は、樹脂、導電性粒子および感光剤が、半導電性層形成用樹脂組成物に対して、５〜３０重量％（固形分濃度）、好ましくは、５〜２０重量％（固形分濃度）となるように、配合する。 A photosensitive agent is mix | blended with a solvent with above-described resin (imide resin or imide resin precursor), and electroconductive particle. The blending ratio of the photosensitive agent is, for example, 0.1 to 100 parts by weight, preferably 0.5 to 75 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the resin. Even if the blending ratio of the photosensitive agent to the resin is larger or smaller than this, an appropriate difference in dissolution rate between the exposed portion and the unexposed portion cannot be obtained, and patterning may be difficult. Even when a photosensitizer is blended, the solvent is a resin, conductive particles, and photosensitizer in an amount of 5 to 30% by weight (solid content concentration), preferably with respect to the resin composition for forming a semiconductive layer. 5 to 20% by weight (solid content concentration).
なお、感光剤を配合する場合には、上記した樹脂として、好ましくは、イミド樹脂前駆体が用いられる。
そして、このように調製された感光剤を含む半導電性層形成用樹脂組成物（以下、感光性半導電性層形成用樹脂組成物という。）から、所望のパターンでベース層３を形成するには、図５（ａ）に示すように、まず、感光性半導電性層形成用樹脂組成物を、金属支持基板２の表面に、上記と同様の方法により、均一に塗布し、次いで、塗布された感光性半導電性層形成用樹脂組成物を、上記と同様に、乾燥して、ベース皮膜１１を形成する。
In addition, when mix | blending a photosensitive agent, Preferably, an imide resin precursor is used as above-mentioned resin.
Then, the
次いで、図５（ｂ）に示すように、ベース皮膜１１を、フォトマスク１２を介して露光する。フォトマスク１２は、光を透過しない遮光部分１２ａと、光を透過する光透過部分１２ｂとを所定のパターンで備えており、ネガ画像でパターンニングする場合には、図５（ｂ）に示すように、ベース層３を形成しない部分には、遮光部分１２ａが対向し、それ以外のベース層３を形成する部分には、光透過部分１２ｂが対向するように、フォトマスク１２を配置して、露光する。
Next, as shown in FIG. 5B, the
次いで、必要によりネガ画像を形成するために所定温度で加熱後、図５（ｃ）に示すように、ベース皮膜１１における遮光部分１２ａが対向していた未露光部分を、現像により除去する。現像は、例えば、現像液としてアルカリ現像液などを用いて、浸漬法またはスプレー法などが用いられる。これによって、ベース皮膜１１が、所望のパターンに形成される。
Next, if necessary, after heating at a predetermined temperature to form a negative image, as shown in FIG. 5 (c), the unexposed portion of the
なお、ポジ画像でパターンニングする場合には、上記した逆、すなわち、ベース層３を形成しない部分には、光透過部分１０ｂが対向し、それ以外のベース層３を形成する部分には、遮光部分１２ａが対向するように、フォトマスク１２を配置して、露光した後、必要によりポジ画像を形成するために所定温度で加熱後、現像する。
その後、図５（ｄ）に示すように、感光性半導電性層形成用樹脂組成物が、イミド樹脂前駆体を含有する場合には、ベース皮膜１１を、例えば、減圧下、２５０℃以上で加熱することにより、硬化（イミド化）させて、ベース層３を形成する。
In the case of patterning with a positive image, the light transmission portion 10b is opposite to the above-described portion, that is, the portion where the
Then, as shown in FIG.5 (d), when the resin composition for photosensitive semiconductive layer formation contains an imide resin precursor, the base membrane | film |
これによって、上記と同様に、ベース層３が、所望のパターンとして形成される。
また、ベース層３を樹脂層から形成する場合には、公知の方法に準拠すればよく、例えば、まず、図４（ａ）に示すように、ポリイミド（上記したイミド樹脂前駆体を含む。）、ポリアミドイミド、アクリル、ポリエーテルニトリル、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂のワニスを調製して、そのワニスを、例えば、ロールコート法、グラビアコート法、スピンコート法、バーコート法など公知の塗布方法により、金属支持基板２の表面に均一に塗布し、乾燥後、必要により加熱硬化させて、樹脂層からなるベース層３を形成する。
Thereby, the
Moreover, when forming the
そして、上記と同様の方法により、図４（ｂ）に示すように、ベース層３の表面を、所望のパターンに対応してエッチングレジスト１０で被覆し、図４（ｃ）に示すように、エッチングレジスト１０から露出するベース層３をエッチングにより除去した後、図４（ｄ）に示すように、エッチングレジスト１０を、エッチングまたは剥離により除去する。
これによって、金属支持基板２の上に、樹脂層からなるベース層３が、導体パターン４を積層可能な所望のパターンとして形成される。
Then, by the same method as described above, the surface of the
Thereby, the
また、上記したワニスに、感光剤を含有させれば、ベース層３をエッチングせずとも、ベース層３を所望のパターンとして形成することができる。なお、感光剤としては、上記と同様の感光剤が挙げられる。
例えば、感光剤を含むポリイミド前駆体（感光性ポリアミック酸樹脂）のワニスを用いる場合には、図５（ａ）に示すように、まず、感光性ポリアミック酸樹脂のワニスを、金属支持基板２の表面に、上記と同様の方法により、均一に塗布し、次いで、塗布されたワニスを、上記と同様に、乾燥して、ベース皮膜１１を形成する。
Further, if the above varnish contains a photosensitizer, the
For example, when using a varnish of a polyimide precursor (photosensitive polyamic acid resin) containing a photosensitizer, first, as shown in FIG. The
次いで、図５（ｂ）に示すように、上記と同様の方法により、ベース皮膜１１を、フォトマスク１２を介して露光した後、必要により所定温度で加熱後、図５（ｃ）に示すように、上記と同様の方法により、現像により除去する。
その後、図５（ｄ）に示すように、ベース皮膜１１を、例えば、減圧下、２５０℃以上で加熱することにより、硬化（イミド化）させて、ベース層３を形成する。
Next, as shown in FIG. 5 (b), the
Thereafter, as shown in FIG. 5 (d), the
これによって、上記と同様に、ベース層３が、所望のパターンとして形成される。
また、このようにして形成されるベース層３の厚みは、例えば、８〜１５μｍ、好ましくは、９〜１２μｍである。
次いで、この方法では、図３（ｃ）に示すように、ベース層３の上に、導体パターン４を形成する。導体パターン４は、例えば、銅、ニッケル、金、はんだ、またはこれらの合金などの導体からなり、好ましくは、銅からなる。また、導体パターン４を形成するには、ベース層３の表面に、例えば、サブトラクティブ法、アディティブ法などの公知のパターンニング法によって、導体パターン４を、上記した端子部６および配線７が一体的に形成される配線回路パターンとして形成する。
Thereby, the
Moreover, the thickness of the
Next, in this method, a
サブトラクティブ法では、まず、ベース層３の全面に、必要により接着剤層を介して導体層を積層し、次いで、この導体層の上に、配線回路パターンと同一パターンのエッチングレジストを形成し、このエッチングレジストをレジストとして、導体層をエッチングして、その後に、エッチングレジストを除去する。
また、アディティブ法では、まず、ベース層３の全面に、導体薄膜からなる種膜を形成し、次いで、この種膜の表面に、配線回路パターンと逆パターンでめっきレジストを形成した後、めっきレジストから露出する種膜の表面に、電解めっきにより、配線回路パターンとして導体パターン４を形成し、その後に、めっきレジストおよびそのめっきレジストが積層されていた部分の種膜を除去する。
In the subtractive method, first, a conductor layer is laminated on the entire surface of the
In the additive method, first, a seed film made of a conductive thin film is formed on the entire surface of the
このようにして形成される導体パターン３では、その厚みが、５〜２０μｍ、好ましくは、１０〜１５μｍであり、各配線７の幅は、例えば、１〜１０００μｍ、各配線７間の間隔は、例えば、１〜１０００μｍである。
次に、この方法では、図３（ｄ）に示すように、カバー層５を、ベース層３の上に、導体パターン４を被覆し、かつ、開口部９が形成される所望のパターンとして、形成する。
In the
Next, in this method, as shown in FIG. 3 (d), the
カバー層５は、半導電性層から形成する。半導電性層からカバー層５を形成するには、例えば、まず、図６（ａ）に示すように、上記した半導電性層形成用樹脂組成物を、導体パターン４を被覆するように、ベース層３および金属支持基板２の表面に、上記と同様の方法で、均一に塗布し、乾燥後、必要により加熱硬化させて、半導電性層からなるカバー層５を形成する。
The
この半導電性層の表面抵抗値は、上記と同様に、例えば、１０5〜１０11Ω／□、好ましくは、１０6〜１０10Ω／□である。半導電性層の表面抵抗値が、これより小さいと、実装された電子部品の誤動作を生じる場合があり、また、これより大きいと、静電気の帯電を有効に除去できない場合がある。
そして、上記と同様の方法により、図６（ｂ）に示すように、カバー層５の表面を、所望のパターンに対応してエッチングレジスト１０で被覆し、図６（ｃ）に示すように、エッチングレジスト１０から露出するカバー層５をエッチングにより除去した後、図６（ｄ）に示すように、エッチングレジスト１０を、エッチングまたは剥離により除去する。
The surface resistance value of this semiconductive layer is, for example, 10 5 to 10 11 Ω / □, preferably 10 6 to 10 10 Ω / □, as described above. When the surface resistance value of the semiconductive layer is smaller than this, the mounted electronic component may malfunction, and when larger than this, the electrostatic charge may not be effectively removed.
Then, by the same method as described above, the surface of the
これによって、ベース層３の上に、半導電性層からなるカバー層５が、導体パターン４を被覆し、かつ、開口部９が形成される所望のパターンとして形成される。
また、上記と同様に、感光性半導電性層形成用樹脂組成物を用いれば、カバー層５をエッチングせずとも、カバー層５を所望のパターンとして形成することができる。
感光性半導電性層形成用樹脂組成物から、所望のパターンでカバー層５を形成するには、図７（ａ）に示すように、まず、感光性半導電性層形成用樹脂組成物を、導体パターン４を被覆するように、ベース層３および金属支持基板２の表面に、上記と同様の方法により、均一に塗布し、次いで、塗布された感光性半導電性層形成用樹脂組成物を、上記と同様に、乾燥して、カバー皮膜１３を形成する。
As a result, the
Similarly to the above, if the resin composition for forming a photosensitive semiconductive layer is used, the
In order to form the
次いで、図７（ｂ）に示すように、カバー皮膜１３を、フォトマスク１２を介して露光する。例えば、ネガ画像でパターンニングする場合には、図７（ｂ）に示すように、カバー層５を形成しない部分（すなわち、開口部９を形成する部分、および、金属支持基板２におけるベース層３が形成されていない部分）には、遮光部分１２ａが対向し、それ以外のカバー層５を形成する部分には、光透過部分１２ｂが対向するように、フォトマスク１２を配置して、露光する。
Next, as shown in FIG. 7B, the
次いで、必要によりネガ画像を形成するために所定温度で加熱後、図７（ｃ）に示すように、カバー皮膜１３における遮光部分１２ａが対向していた未露光部分を、上記と同様の方法で、現像により除去する。
なお、ポジ画像でパターンニングする場合には、上記した逆、すなわち、カバー層５を形成しない部分には、光透過部分１０ｂが対向し、それ以外のカバー層５を形成する部分には、遮光部分１２ａが対向するように、フォトマスク１２を配置して、露光した後、必要によりポジ画像を形成するために所定温度で加熱後、現像する。
Next, if necessary, after heating at a predetermined temperature to form a negative image, as shown in FIG. 7C, the unexposed part of the
In the case of patterning with a positive image, the light transmission portion 10b faces the reverse of the above, that is, the portion where the
その後、図７（ｄ）に示すように、感光性半導電性層形成用樹脂組成物が、イミド樹脂前駆体を含有する場合には、カバー皮膜１３を、例えば、減圧下、２５０℃以上で加熱することにより、硬化（イミド化）させて、カバー層５を形成する。
これによって、上記と同様に、ベース層３の上に、半導電性層からなるカバー層５が、導体パターン４を被覆し、かつ、開口部９が形成される所望のパターンとして形成される。
Then, as shown in FIG.7 (d), when the resin composition for photosensitive semiconductive layer formation contains an imide resin precursor, the cover membrane | film |
As a result, similarly to the above, the
また、このようにして形成されるカバー層５の厚みは、例えば、３〜５μｍである。
次いで、この方法では、図３（ｅ）に示すように、カバー層５を被覆するように、保護層１５を形成する。
保護層１５を形成するには、図８（ａ）に示すように、まず、保護層形成用樹脂組成物を、カバー層５の表面、端子部６の表面および金属支持基板２の表面に、上記と同様の方法で、均一に塗布し、乾燥後、必要により（イミド樹脂前駆体を含有する場合）加熱硬化させて、保護層１５を形成する。
Moreover, the thickness of the
Next, in this method, as shown in FIG. 3 (e), the
In order to form the
保護層形成用樹脂組成物は、例えば、ポリイミド（上記したイミド樹脂前駆体を含む。）、ポリアミドイミド、アクリル、ポリエーテルニトリル、ポリエーテルスルホン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂を、上記した溶媒に溶解したワニスとして調製することができる。
また、保護層形成用樹脂組成物は、半導電性層形成用樹脂組成物と同様に、樹脂（イミド樹脂またはイミド樹脂前駆体）、必要により導電性粒子および溶媒を配合することによって、調製することもできる。但し、保護層形成用樹脂組成物では、導電性粒子は、含まないか、あるいは、含んでいても、半導電性層形成用樹脂組成物に含まれている導電性粒子よりも少ない割合で含むように、調製する。導電性粒子を含む場合、導電性粒子の配合割合は、例えば、導電性粒子および樹脂（イミド樹脂またはイミド樹脂前駆体）の総量１００重量部に対して、導電性粒子が、例えば、１０重量部未満である。
Examples of the resin composition for forming a protective layer include synthesis of polyimide (including the imide resin precursor described above), polyamideimide, acrylic, polyether nitrile, polyether sulfone, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyvinyl chloride, and the like. The resin can be prepared as a varnish dissolved in the solvent described above.
Moreover, the resin composition for forming a protective layer is prepared by blending a resin (imide resin or imide resin precursor), if necessary, conductive particles and a solvent, similarly to the resin composition for forming a semiconductive layer. You can also However, in the resin composition for forming a protective layer, the conductive particles are not included, or even if included, the conductive particles are included in a smaller proportion than the conductive particles included in the resin composition for forming a semiconductive layer. Prepare as follows. When conductive particles are included, the blending ratio of the conductive particles is, for example, 10 parts by weight of conductive particles with respect to 100 parts by weight of the total amount of conductive particles and resin (imide resin or imide resin precursor). Is less than.
次いで、図８（ｂ）に示すように、保護層１５の表面を、端子部６の表面および金属支持基板２の表面に対応する部分を除いて、上記と同様の方法により、エッチングレジスト１０で被覆する。
その後、図８（ｃ）に示すように、エッチングレジスト１０から露出する端子部６の表面および金属支持基板２の表面に形成されている保護層１５を、上記と同様の方法により、エッチングにより除去する。
Next, as shown in FIG. 8B, the surface of the
Thereafter, as shown in FIG. 8C, the
次いで、図８（ｄ）に示すように、エッチングレジスト１０を、エッチングまたは剥離により除去する。
これによって、保護層１５は、端子部６の表面および金属支持基板２の表面を除くカバー層５の表面に形成される。
また、上記した保護層形成用樹脂組成物に、感光剤を含有させれば、図９に示すように、保護層１５をエッチングせずとも、端子部６の表面および金属支持基板２の表面を、保護層１５から露出させることができる。
Next, as shown in FIG. 8D, the etching resist 10 is removed by etching or peeling.
Thus, the
Further, if the above-described resin composition for forming a protective layer contains a photosensitive agent, the surface of the
保護層形成用樹脂組成物に含有させる感光剤としては、上記と同様の感光剤が挙げられ、上記と同様の調製方法によって、感光剤を含む保護層形成用樹脂組成物（以下、感光性保護層形成用樹脂組成物という。）調製することができる。
そして、まず、図９（ａ）に示すように、感光性保護層形成用樹脂組成物を、端子部６の表面、カバー層５の表面および金属支持基板２の表面に、上記と同様の方法で、均一に塗布する。次いで、塗布された感光性保護層形成用樹脂組成物を、上記と同様に、乾燥させて保護皮膜１６を形成する。
Examples of the photosensitive agent to be contained in the protective layer-forming resin composition include the same photosensitive agents as described above, and the protective layer-forming resin composition containing the photosensitive agent (hereinafter referred to as photosensitive protection) by the same preparation method as described above. It is referred to as a layer-forming resin composition.)
First, as shown in FIG. 9 (a), the photosensitive protective layer-forming resin composition is applied to the surface of the
その後、図９（ｂ）に示すように、保護皮膜１６を、フォトマスク１２を介して露光する。フォトマスク１２は、光を透過しない遮光部分１２ａと、光を透過する光透過部分１２ｂとを所定のパターンで備えており、ネガ画像でパターンニングする場合には、図９（ｂ）に示すように、保護層１５を形成しない部分、すなわち、端子部６の表面および金属支持基板２の表面（これらの周縁部を除く。以下同様。）には、遮光部分１２ａが対向し、それ以外の保護層１５を形成する部分には、光透過部分１２ｂが対向するように、フォトマスク１２を配置して、露光する。
Thereafter, as shown in FIG. 9B, the
次いで、必要によりネガ画像を形成するために所定温度で加熱後、図９（ｃ）に示すように、保護皮膜１６における遮光部分１２ａが対向していた未露光部分、すなわち、保護皮膜１６における端子部６の表面および金属支持基板２の表面に対応する部分を、上記と同様の方法によって、現像により除去する。これによって、保護皮膜１６が、端子部６の表面および金属支持基板２の表面を除くカバー層５の表面に形成される。
Next, if necessary, after heating at a predetermined temperature to form a negative image, as shown in FIG. 9C, the unexposed portion where the light-shielding
なお、ポジ画像でパターンニングする場合には、上記した逆、すなわち、端子部６の表面および金属支持基板２の表面には、光透過部分１２ｂが対向し、それ以外の保護層１５を形成する部分には、遮光部分１２ａが対向するように、フォトマスク１２を配置して、露光した後、必要によりポジ画像を形成するために所定温度で加熱後、現像する。
その後、図９（ｄ）に示すように、感光性保護層形成用樹脂組成物が、イミド樹脂前駆体を含有する場合には、保護皮膜１６を、例えば、減圧下、２５０℃以上で加熱することにより、硬化（イミド化）させて、保護層１５を形成する。
In the case of patterning with a positive image, the
Thereafter, as shown in FIG. 9D, when the photosensitive protective layer-forming resin composition contains an imide resin precursor, the
これによって、上記と同様に、保護層１５が、端子部６の表面および金属支持基板２の表面を除くカバー層５の表面に形成される。
また、このようにして形成される保護層１５の厚みは、例えば、１．０μｍ以下、好ましくは、０．３〜１．０μｍである。
また、保護層１５は、導電性粒子を含有しない場合には、絶縁層からなり、また、導電性粒子を含有する場合でも、その表面抵抗値が、カバー層５の表面抵抗値よりも、大きくなるように設定される。
As a result, the
Moreover, the thickness of the
Further, the
そして、この回路付サスペンション基板１は、その後、金属支持基板２を、化学エッチングによって切り抜いて、ジンバル８を形成するとともに、外形加工することにより、形成される。なお、端子部６には、その表面に、図示しないが、必要に応じて、金やニッケルからなるめっき層を形成する。
そして、この回路付サスペンション基板１では、ベース層３およびカバー層５の両方、または、カバー層の片方が、導電性粒子を含む半導電性層からなるので、その半導電性層によって、静電気の帯電を除去して、実装される電子部品の静電破壊を防止することができる。また、この回路付サスペンション基板１では、ベース層３およびカバー層５の両方、または、カバー層の片方が、半導電性層であるため、カバー層の上に、さらに半導電性層を形成する必要がなく、製造コストの低減を図ることができる。
Then, the suspension board with
In the suspension board with
しかも、この回路付サスペンション基板１では、半導電性層からなるカバー層５の上に保護層１５が形成されているので、その保護層１５によって、カバー層５を形成する半導電性層に含まれる導電性粒子の脱離を防止することができる。その結果、回路付サスペンション基板１の耐久性の向上を図ることができる。
なお、上記の回路付サスペンション基板１では、少なくともカバー層５が半導電性層から形成されていれば、ベース層３は、半導電性層または絶縁層から、その目的および用途によって、適宜選択して形成することができる。
Moreover, in the suspension board with
In the suspension board with
また、上記の説明では、本発明の配線回路基板を、回路付サスペンション基板１を例示して説明したが、本発明の配線回路基板には、片面フレキシブル配線回路基板、両面フレキシブル配線回路基板、さらには、多層フレキシブル配線回路基板などが含まれる。例えば、図１０に示すように、片面フレキシブル配線回路基板２０では、ベース層３、導体パターン４およびカバー層５が順次積層されており、カバー層５が開口されることにより、導体パターン４の露出部分として端子部６が形成されている。
In the above description, the wired circuit board of the present invention has been described by exemplifying the suspension board with
そして、この片面フレキシブル配線回路基板２０では、ベース層３が絶縁層から形成されており、カバー層５が半導電性層から形成されており、そのカバー層５の表面に保護層１５が形成されている。
また、図１１に示す片面フレキシブル配線回路基板２１では、ベース層３、導体パターン４およびカバー層５が順次積層されており、カバー層５が開口されることにより、導体パターン４の露出部分として端子部６が形成されており、ベース層３が半導電性層から形成されており、カバー層５が絶縁層から形成されており、そのベース層３の表面に保護層１５が形成されている。
In this single-sided flexible printed
Moreover, in the single-sided flexible printed
また、図１２に示す片面フレキシブル配線回路基板２２では、ベース層３、導体パターン４およびカバー層５が順次積層されており、カバー層５が開口されることにより、導体パターン４の露出部分として端子部６が形成されており、ベース層３およびカバー層５の両方が、共に半導電性層から形成されており、これらベース層３およびカバー層５の両方に保護層１５が形成されている。
Further, in the single-sided flexible printed
以下に実施例を示し、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明は、何ら実施例に限定されることはない。
製造例１（ポリアミック酸樹脂Ａの製造）
１Ｌのセパラブルフラスコに、ｐ−フェニレンジアミン２７．６ｇ（０．２５ｍｏｌ）と４，４’−ジアミノジフェニルエーテル９．０ｇ（０．０５ｍｏｌ）を入れ、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）７６７ｇを加えて攪拌し、ｐ−フェニレンジアミンと４，４’−ジアミノジフェニルエーテルを溶解させた。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the examples.
Production Example 1 (Production of polyamic acid resin A)
A 1 L separable flask was charged with 27.6 g (0.25 mol) of p-phenylenediamine and 9.0 g (0.05 mol) of 4,4′-diaminodiphenyl ether, and 767 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NMP) was added. In addition, the mixture was stirred to dissolve p-phenylenediamine and 4,4′-diaminodiphenyl ether.
これに、３，３’，４．４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物８８．３ｇ（０．３ｍｏｌ）を徐々に加え、３０℃以下の温度で２時間攪拌を続け、濃度１４重量％のポリアミック酸樹脂Ａの溶液を得た。なお、この溶液の３０℃での粘度は５００Ｐａ・ｓであった。
製造例２（感光性半導電性層形成用樹脂組成物Ａの調製）
合成例１で得られたポリアミック酸樹脂Ａの溶液に、感光剤（ニフェジピン３７．５ｇとアセチル体２５．０ｇ）を添加し、さらに、カーボンブラックの１０重量％ＮＭＰ分散液（デグサ社製、Ｓｐｅｃｉａｌ Ｂｌａｃｋ４）３７４．７ｇを添加し、攪拌して、カーボンブラックが均一に分散した感光性半導電性層形成用樹脂組成物Ａを得た。
To this, 88.3 g (0.3 mol) of 3,3 ′, 4.4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride was gradually added, and stirring was continued for 2 hours at a temperature of 30 ° C. or less. A solution of polyamic acid resin A was obtained. The viscosity of this solution at 30 ° C. was 500 Pa · s.
Production Example 2 (Preparation of Photosensitive Semiconductive Layer-Forming Resin Composition A)
A photosensitizer (37.5 g of nifedipine and 25.0 g of acetyl) was added to the polyamic acid resin A solution obtained in Synthesis Example 1, and a 10 wt% NMP dispersion of carbon black (Degussa, Special, Inc.). Black 4) 374.7 g was added and stirred to obtain a resin composition A for forming a photosensitive semiconductive layer in which carbon black was uniformly dispersed.
実施例１（ベース層：絶縁層／カバー層：半導電性層）
厚み２０μｍのステンレス箔からなる金属支持基板を用意して（図３（ａ）参照）、その金属支持基板の上に、感光性ポリアミック酸樹脂のワニスを均一に塗布し、次いで、塗布されたワニスを、９０℃で１５分加熱することにより、ベース皮膜を形成した（図５（ａ）参照）。
Example 1 (base layer: insulating layer / cover layer: semiconductive layer)
A metal support substrate made of a stainless steel foil having a thickness of 20 μm was prepared (see FIG. 3A), and a varnish of photosensitive polyamic acid resin was uniformly applied on the metal support substrate, and then the applied varnish Was heated at 90 ° C. for 15 minutes to form a base film (see FIG. 5A).
その後、そのベース皮膜を、フォトマスクを介して、７００ｍＪ／ｃｍ2で露光させ（図５（ｂ）参照）、１９０℃で１０分加熱した後、アルカリ現像液を用いて現像した（図５（ｃ）参照）。その後、１．３３Ｐａに減圧した状態で、３８５℃で硬化させることにより、絶縁層からなる厚み１０μｍのベース層を、所望のパターンで形成した（図５（ｄ）、図３（ｂ）参照）。 Thereafter, the base film was exposed at 700 mJ / cm 2 through a photomask (see FIG. 5B), heated at 190 ° C. for 10 minutes, and then developed using an alkali developer (FIG. 5 ( c)). Thereafter, the base layer having a thickness of 10 μm made of an insulating layer was formed in a desired pattern by curing at 385 ° C. in a state where the pressure was reduced to 1.33 Pa (see FIGS. 5D and 3B). .
次いで、磁気ヘッド側接続端子部と、外部側接続端子部と、これらを接続する複数の配線とを一体的に連続して備える配線回路パターンからなる、厚み１０μｍの導体パターンを、アディティブ法により形成した（図３（ｃ）参照）。
次いで、感光性半導電性層形成用樹脂組成物Ａを、導体パターンを被覆するように、ベース層および金属支持基板の表面に、均一に塗布し、次いで、塗布された感光性半導電性層形成用樹脂組成物を、９０℃で１５分加熱することにより、カバー皮膜を形成した（図７（ａ）参照）。
Next, a conductive pattern having a thickness of 10 μm is formed by an additive method, which is composed of a wiring circuit pattern integrally including a magnetic head side connection terminal portion, an external side connection terminal portion, and a plurality of wirings for connecting them. (See FIG. 3C).
Next, the photosensitive semiconductive layer-forming resin composition A is uniformly applied to the surface of the base layer and the metal supporting substrate so as to cover the conductor pattern, and then the applied photosensitive semiconductive layer is coated. The cover resin film was formed by heating the forming resin composition at 90 ° C. for 15 minutes (see FIG. 7A).
その後、そのカバー皮膜を、フォトマスクを介して、７００ｍＪ／ｃｍ2で露光させ（図７（ｂ）参照）、１９０℃で１０分加熱した後、アルカリ現像液を用いて現像した（図７（ｃ）参照）。その後、１．３３Ｐａに減圧した状態で、３８５℃で硬化させることにより、半導電性層からなる厚み３μｍのカバー層を、磁気ヘッド側接続端子部および外部側接続端子部において開口部が形成される所望のパターンで形成した（図７（ｄ）、図３（ｄ）参照）。 Thereafter, the cover film was exposed through a photomask at 700 mJ / cm 2 (see FIG. 7B), heated at 190 ° C. for 10 minutes, and then developed using an alkali developer (FIG. 7 ( c)). Thereafter, by curing at 385 ° C. under a reduced pressure of 1.33 Pa, an opening is formed in the 3 μm thick cover layer made of a semiconductive layer in the magnetic head side connection terminal portion and the external side connection terminal portion. (See FIGS. 7 (d) and 3 (d)).
次いで、感光性ポリアミック酸樹脂のワニスとして調製された感光性保護層形成用樹脂組成物を、磁気ヘッド側接続端子部および外部側接続端子部の表面、カバー層の表面および金属支持基板の表面に、均一に塗布し、次いで、塗布された感光性保護層形成用樹脂組成物を、９０℃で１５分加熱することにより、保護皮膜を形成した（図９（ａ）参照）。
その後、その保護皮膜を、フォトマスクを介して、７００ｍＪ／ｃｍ2で露光させ（図９（ｂ）参照）、１９０℃で１０分加熱した後、アルカリ現像液を用いて現像した（図９（ｃ）参照）。その後、１．３３Ｐａに減圧した状態で、３８５℃で硬化させることにより、厚み１μｍの保護層を、磁気ヘッド側接続端子部および外部側接続端子部の表面および金属支持基板の表面を除くカバー層の表面に形成される所望のパターンで形成した（図９（ｄ）、図３（ｅ）参照）。
Next, the photosensitive protective layer-forming resin composition prepared as a varnish for the photosensitive polyamic acid resin is applied to the surfaces of the magnetic head side connecting terminal portion and the external side connecting terminal portion, the surface of the cover layer, and the surface of the metal support substrate. Then, it was uniformly applied, and then the applied resin composition for forming a photosensitive protective layer was heated at 90 ° C. for 15 minutes to form a protective film (see FIG. 9A).
Thereafter, the protective film was exposed through a photomask at 700 mJ / cm 2 (see FIG. 9B), heated at 190 ° C. for 10 minutes, and then developed using an alkali developer (FIG. 9 ( c)). Thereafter, the protective layer having a thickness of 1 μm is cured at 385 ° C. in a state where the pressure is reduced to 1.33 Pa, thereby removing the surface of the magnetic head side connection terminal portion and the external connection terminal portion and the surface of the metal support substrate. It was formed in a desired pattern formed on the surface (see FIGS. 9D and 3E).
その後、化学エッチングにより、金属支持基板を、化学エッチングによって切り抜いて、ジンバルを形成するとともに、外形加工することにより、ベース層が絶縁層からなり、カバー層が半導電性層からなり、カバー層が保護層で被覆された回路付サスペンション基板を得た。
実施例２（ベース層：半導電性層／カバー層：半導電性層）
厚み２０μｍのステンレス箔からなる金属支持基板を用意して（図３（ａ）参照）、その金属支持基板の上に、感光性半導電性層形成用樹脂組成物Ａを均一に塗布し、次いで、塗布された感光性半導電性層形成用樹脂組成物Ａを、９０℃で１５分加熱することにより、ベース皮膜を形成した（図５（ａ）参照）。
Thereafter, the metal support substrate is cut out by chemical etching to form a gimbal, and the outer shape is processed, whereby the base layer is made of an insulating layer, the cover layer is made of a semiconductive layer, and the cover layer is made of A suspension board with circuit coated with a protective layer was obtained.
Example 2 (base layer: semiconductive layer / cover layer: semiconductive layer)
A metal support substrate made of a stainless steel foil having a thickness of 20 μm was prepared (see FIG. 3A), and the photosensitive semiconductive layer forming resin composition A was uniformly applied on the metal support substrate, The coated resin composition A for forming a photosensitive semiconductive layer was heated at 90 ° C. for 15 minutes to form a base film (see FIG. 5A).
その後、そのベース皮膜を、フォトマスクを介して、７００ｍＪ／ｃｍ2で露光させ（図５（ｂ）参照）、１９０℃で１０分加熱した後、アルカリ現像液を用いて現像した（図５（ｃ）参照）。その後、１．３３Ｐａに減圧した状態で、３８５℃で硬化させることにより、半導電性層からなる厚み１０μｍのベース層を、所望のパターンで形成した（図５（ｄ）、図３（ｂ）参照）。 Thereafter, the base film was exposed at 700 mJ / cm 2 through a photomask (see FIG. 5B), heated at 190 ° C. for 10 minutes, and then developed using an alkali developer (FIG. 5 ( c)). Thereafter, the base layer having a thickness of 10 μm made of a semiconductive layer was formed in a desired pattern by curing at 385 ° C. under a reduced pressure of 1.33 Pa (FIGS. 5D and 3B). reference).
次いで、磁気ヘッド側接続端子部と、外部側接続端子部と、これらを接続する複数の配線とを一体的に連続して備える配線回路パターンからなる、厚み１０μｍの導体パターンを、アディティブ法により形成した（図３（ｃ）参照）。
次いで、感光性半導電性層形成用樹脂組成物Ａを、導体パターンを被覆するように、ベース層および金属支持基板の表面に、均一に塗布し、次いで、塗布された感光性半導電性層形成用樹脂組成物を、９０℃で１５分加熱することにより、カバー皮膜を形成した（図７（ａ）参照）。
Next, a conductive pattern having a thickness of 10 μm is formed by an additive method, which is composed of a wiring circuit pattern integrally including a magnetic head side connection terminal portion, an external side connection terminal portion, and a plurality of wirings for connecting them. (See FIG. 3C).
Next, the photosensitive semiconductive layer-forming resin composition A is uniformly applied to the surface of the base layer and the metal supporting substrate so as to cover the conductor pattern, and then the applied photosensitive semiconductive layer is coated. The cover resin film was formed by heating the forming resin composition at 90 ° C. for 15 minutes (see FIG. 7A).
その後、そのカバー皮膜を、フォトマスクを介して、７００ｍＪ／ｃｍ2で露光させ（図７（ｂ）参照）、１９０℃で１０分加熱した後、アルカリ現像液を用いて現像した（図７（ｃ）参照）。その後、１．３３Ｐａに減圧した状態で、３８５℃で硬化させることにより、半導電性層からなる厚み３μｍのカバー層を、磁気ヘッド側接続端子部および外部側接続端子部において開口部が形成される所望のパターンで形成した（図７（ｄ）、図３（ｄ）参照）。 Thereafter, the cover film was exposed through a photomask at 700 mJ / cm 2 (see FIG. 7B), heated at 190 ° C. for 10 minutes, and then developed using an alkali developer (FIG. 7 ( c)). Thereafter, by curing at 385 ° C. under a reduced pressure of 1.33 Pa, an opening is formed in the 3 μm thick cover layer made of a semiconductive layer in the magnetic head side connection terminal portion and the external side connection terminal portion. (See FIGS. 7 (d) and 3 (d)).
次いで、感光性ポリアミック酸樹脂のワニスとして調製された感光性保護層形成用樹脂組成物を、磁気ヘッド側接続端子部および外部側接続端子部の表面、カバー層の表面および金属支持基板の表面に、均一に塗布し、次いで、塗布された感光性保護層形成用樹脂組成物を、９０℃で１５分加熱することにより、保護皮膜を形成した（図９（ａ）参照）。
その後、その保護皮膜を、フォトマスクを介して、７００ｍＪ／ｃｍ2で露光させ（図９（ｂ）参照）、１９０℃で１０分加熱した後、アルカリ現像液を用いて現像した（図９（ｃ）参照）。その後、１．３３Ｐａに減圧した状態で、３８５℃で硬化させることにより、厚み１μｍの保護層を、磁気ヘッド側接続端子部および外部側接続端子部の表面および金属支持基板の表面を除くカバー層の表面に形成される所望のパターンで形成した（図９（ｄ）、図３（ｅ）参照）。
Next, the photosensitive protective layer-forming resin composition prepared as a varnish for the photosensitive polyamic acid resin is applied to the surfaces of the magnetic head side connecting terminal portion and the external side connecting terminal portion, the surface of the cover layer, and the surface of the metal support substrate. Then, it was uniformly applied, and then the applied resin composition for forming a photosensitive protective layer was heated at 90 ° C. for 15 minutes to form a protective film (see FIG. 9A).
Thereafter, the protective film was exposed through a photomask at 700 mJ / cm 2 (see FIG. 9B), heated at 190 ° C. for 10 minutes, and then developed using an alkali developer (FIG. 9 ( c)). Thereafter, the protective layer having a thickness of 1 μm is cured at 385 ° C. in a state where the pressure is reduced to 1.33 Pa, thereby removing the surface of the magnetic head side connection terminal portion and the external connection terminal portion and the surface of the metal support substrate. It was formed in a desired pattern formed on the surface (see FIGS. 9D and 3E).
その後、化学エッチングにより、金属支持基板を、化学エッチングによって切り抜いて、ジンバルを形成するとともに、外形加工することにより、ベース層およびカバー層が、共に半導電性層からなり、カバー層が保護層で被覆された回路付サスペンション基板を得た。
評価
１）帯電圧測定
各実施例の回路付サスペンション基板について、シシド静電気社製スタチロンＤＳ３を用いて、カバー層の表面とセンサとの間の距離を１ｍｍとして、カバー層の表面の帯電圧（Ｖ）を測定した。その結果を表１に示す。
２）電荷量測定
各実施例の回路付サスペンション基板について、春日電機社製ＮＫ−１００１を用いて、プローブを磁気ヘッド側接続端子部に接触させて、磁気ヘッド側接続端子部の電荷量（ｎＱ）を測定した。その結果を表１に示す。
Thereafter, the metal support substrate is cut out by chemical etching to form a gimbal, and the outer shape is processed so that the base layer and the cover layer are both semiconductive layers, and the cover layer is a protective layer. A coated suspension board with circuit was obtained.
Evaluation 1) Voltage measurement With respect to the suspension board with circuit of each example, the distance between the surface of the cover layer and the sensor was set to 1 mm by using a Staticon DS3 manufactured by Sicid Electrostatic Co., Ltd. ) Was measured. The results are shown in Table 1.
2) Measurement of charge amount With respect to the suspension board with circuit of each example, the probe was brought into contact with the magnetic head side connection terminal portion using NK-1001 manufactured by Kasuga Electric Co., Ltd., and the charge amount of the magnetic head side connection terminal portion (nQ ) Was measured. The results are shown in Table 1.
なお、各実施例の回路付サスペンション基板をハードディスクに搭載して長期使用したが、カーボンブラックの脱離はなく、耐久性に優れていることが確認された。 In addition, although the suspension board | substrate with a circuit of each Example was mounted in the hard disk and used for a long time, it was confirmed that there is no detachment | desorption of carbon black and it is excellent in durability.
１ 回路付サスペンション基板
２ 金属支持基板
３ ベース層
４ 導体パターン
５ カバー層
６ 端子部
１５ 保護層
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記樹脂層が、導電性粒子を含む半導電性層からなり、
前記樹脂層に隣接する保護層を、さらに備えていることを特徴とする、配線回路基板。 In a printed circuit board comprising a conductor layer, a resin layer adjacent to the conductor layer, and a terminal portion made of a conductor layer exposed by opening the resin layer,
The resin layer is composed of a semiconductive layer containing conductive particles,
A printed circuit board, further comprising a protective layer adjacent to the resin layer.
少なくとも前記カバー層が、導電性粒子を含む半導電性層からなり、
前記カバー層の上に形成される保護層を、さらに備えていることを特徴とする、配線回路基板。 A metal support substrate, a base layer formed on the metal support substrate, a conductor layer formed on the base layer, a cover layer formed on the conductor layer, and the cover layer being open In a printed circuit board comprising a terminal portion made of a conductor layer exposed by being,
At least the cover layer comprises a semiconductive layer containing conductive particles;
A printed circuit board, further comprising a protective layer formed on the cover layer.
前記導電性粒子が、前記導電性粒子および前記樹脂の総量１００重量部に対して１０〜５０重量部の割合で含まれていることを特徴とする、請求項１または２に記載の配線回路基板。 The semiconductive layer is formed by dispersing conductive particles in a resin,
3. The printed circuit board according to claim 1, wherein the conductive particles are contained in a ratio of 10 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the total amount of the conductive particles and the resin. .
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