JP2009021350A - Cover lay - Google Patents

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JP2009021350A
JP2009021350A JP2007182276A JP2007182276A JP2009021350A JP 2009021350 A JP2009021350 A JP 2009021350A JP 2007182276 A JP2007182276 A JP 2007182276A JP 2007182276 A JP2007182276 A JP 2007182276A JP 2009021350 A JP2009021350 A JP 2009021350A
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polyimide film
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Masahiro Kokuni
昌宏 小國
Shu Maeda
周 前田
Koichi Sawazaki
孔一 沢崎
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Du Pont Toray Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cover lay which has superior size stability, superior heat resistance, and characteristics adaptive to an AOI and is also superior in traveling property (easy lubricating property) and adhesion. <P>SOLUTION: The cover lay is provided which uses a polyimide film mainly made up of 3,4'-diaminodiphenyl ether and 4,4'-diaminodiphenyl ether as a diamine component and pyromellitic dianhydride as a dianhydride component and has an adhesive layer formed on one surface of the polyimide film, the cover lay is characterized in that power mainly made up of inorganic particles of 0.01 to 1.5 μm in particle size and 0.05 to 0.7 μm in average particle size is dispersed in the film in an amount of 0.1 to 0.9% per film resin weight. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、カバーレイに関するものであり、更に詳しくはポリイミドフィルムを基材として、その片面に接着剤層を形成することにより得られるカバーレイに関するものである。さらに詳しくは、無機微細粉体を添加することにより、無機粉体が露出せず、フィルム中に均一に分散した状態で表面突起を発生させ、表面状態を制御し、フィルムの走行性および接着性、並びにフレキシブルプリント配線基板(FPC)やチップオンフィルム(COF)の自動光学検査システム(AOI)に適応可能な耐熱性ポリイミドフィルムを用いたカバーレイに関するものである。   The present invention relates to a cover lay, and more particularly to a cover lay obtained by forming an adhesive layer on one side of a polyimide film as a base material. More specifically, by adding an inorganic fine powder, the inorganic powder is not exposed and surface protrusions are generated in a state of being uniformly dispersed in the film, the surface state is controlled, and the runnability and adhesiveness of the film are controlled. In addition, the present invention relates to a cover lay using a heat-resistant polyimide film applicable to an automatic optical inspection system (AOI) of a flexible printed circuit board (FPC) and a chip-on-film (COF).

プリント配線板は広く電子・電機機器に使用されている。中でも、折り曲げ可能なフレキシブルプリント配線板は、パーソナルコンピューターや携帯電話等の折り曲げ部分、ハードディスク等の屈曲が必要な部分に広く使用されている。このようなフレキシブルプリント配線板の基材、及び配線板を保護するためのカバーレイの基材としては、通常各種のポリイミドフィルムが使用されている。   Printed wiring boards are widely used in electronic and electrical equipment. Among them, a flexible printed wiring board that can be bent is widely used in bent portions of personal computers and mobile phones, and in portions that require bending such as hard disks. As the base material of such a flexible printed wiring board and the base material of a coverlay for protecting the wiring board, various polyimide films are usually used.

ポリイミドフィルムの代表的なものは、酸二無水物成分としてピロメリット酸ニ無水物を用い、ジアミン成分として4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを用いるポリイミドフィルムが挙げられる。このようなポリイミドフィルムは機械的、熱的特性のバランスに優れた構造を有しており、汎用の製品として広く工業的に用いられている。しかしながら、ピロメリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとからなるポリイミドフィルムは曲げやすい長所を有する反面、カバーレイとして用いる場合には柔らかすぎてしわが発生しやすい。しわが発生すると、その部分に空気が噛み込み、配線の腐食等が起こり、結果として配線に不良を引き起こす問題があった。   A typical polyimide film includes a polyimide film using pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component and 4,4'-diaminodiphenyl ether as the diamine component. Such a polyimide film has a structure with an excellent balance between mechanical and thermal properties, and is widely used industrially as a general-purpose product. However, a polyimide film composed of pyromellitic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether has an advantage that it is easy to bend. However, when used as a coverlay, it is too soft and tends to generate wrinkles. When wrinkles are generated, air is caught in the portions, and the wiring is corroded. As a result, there is a problem that the wiring is defective.

また、ピロメリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとからなるポリイミドフィルムは、熱膨張係数(CTE)や吸湿膨張係数(CHE)が大きく、吸水率も高い為、熱や吸水による寸法変化が大きい。その為、カバーレイとして使用した場合、配線板との寸法変化にずれが起こり、貼り合わせた時に反りが生じる問題点を有していた。   In addition, polyimide film consisting of pyromellitic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether has a large coefficient of thermal expansion (CTE) and hygroscopic expansion coefficient (CHE), and a high water absorption rate. The change is great. For this reason, when used as a cover lay, there has been a problem in that the dimensional change with the wiring board is shifted, and warping occurs when bonded.

このような問題を解決する為、ポリイミドフィルム以外の寸法変化が小さい基材、例えば液晶フィルム等を用いてカバーレイを形成する方法(例えば特許文献1参照)等が開示されているが、液晶フィルムはポリイミドフィルムに比べて耐熱性が劣っており、半田付けの際に基材が変形するという問題を有していた。とりわけ近年は環境の問題から鉛を使用しない鉛フリー半田が広がっているが、鉛フリー半田のほとんどは融点が鉛含有半田よりも高い為、液晶フィルムの基材変形の問題は一層深刻となっていた。   In order to solve such a problem, a method of forming a cover lay using a substrate having a small dimensional change other than a polyimide film, such as a liquid crystal film (see, for example, Patent Document 1) has been disclosed. Has inferior heat resistance compared to polyimide film, and has a problem that the base material is deformed during soldering. Especially in recent years, lead-free solders that do not use lead have spread due to environmental problems, but since most of the lead-free solders have a higher melting point than lead-containing solders, the problem of liquid crystal film substrate deformation has become more serious. It was.

また、ポリイミドフィルムがカバーレイに用いられる際、重要な実用特性の一つとしてフィルムの滑り性(易滑性)が挙げられる。様々なフィルム加工工程において、フィルム支持体(たとえばロール)とフィルムの易滑性、またフィルム同志の易滑性が確保されることにより、各工程における操作性、取り扱い性を向上させ、更にはフィルム上にシワ等の不良個所の発生が回避できる。しかしながら、最近の電子部品のファインピッチ化において、カバーレイを貼り付けたフレキシブルプリント配線板の検査において、従来は目視による配線幅、異物等の検査が主流であったが、自動光学検査システム(AOI)が導入される様になって以降は、易滑性向上の目的で無機粉体を混入する従来処方では、AOIにおいて無機粉体が大きすぎて向き粉体が異物と判断され、大きな障害になっている。従来のポリイミドフィルムにおける易滑化技術では、不活性無機化合物(例えばアルカリ土類金属のオルトリン酸塩、第2リン酸カルシウム無水物、ピロリン酸カルシウム、シリカ、タルク)をポリアミック酸に添加する方法(特許文献2参照)、更には微細粒子によってフィルム表面に微細な突起を形成後、プラズマ処理を施す方法(特許文献3参照)が知られている。しかしこれらに示される粒子は粒子径が大きく、自動光学検査システムには適応しないという問題がある。またポリイミドフィルム表層に平均粒子径が0.01〜100μmである無機質粒子が各粒子の一部をそれぞれ埋設させて保持されていて一部露出した前記無機質粒子からなる多数の突起が該フィルムの表面層に1×10〜5×10個/mm存在させる方法(特許文献4参照)が知られている。この方法は、積極的に表面に突起を露出させ、フィルム表面の摩擦係数を低減させることにより、易滑性効果を効果的に得る物であるが無機質粒子が一部露出しているためフィルム表面へのすり傷が発生し外観不良をきたすといった問題を抱えている。
特開2000−280341号公報 特開昭62−68852号公報 特開2000−191810号公報 特開平5−25295号公報
Moreover, when a polyimide film is used for a coverlay, one of the important practical characteristics is the slipperiness (slidability) of the film. In various film processing steps, the film support (for example, rolls) and the slipperiness of the film and the slipperiness of the films are ensured, thereby improving the operability and handleability in each step. The occurrence of defective parts such as wrinkles can be avoided. However, in recent finer pitches of electronic components, inspection of flexible printed wiring boards with coverlays has been mainly conducted by visual inspection of wiring width, foreign matter, etc., but automatic optical inspection system (AOI) ) Is introduced, the conventional formulation in which the inorganic powder is mixed for the purpose of improving the slipperiness is considered to be a large obstacle because the inorganic powder is too large in the AOI and the facing powder is judged as a foreign substance. It has become. In the conventional smoothing technology for polyimide films, an inert inorganic compound (for example, alkaline earth metal orthophosphate, dibasic calcium phosphate anhydride, calcium pyrophosphate, silica, talc) is added to polyamic acid (Patent Document 2). Further, a method of performing plasma treatment after forming fine protrusions on the film surface with fine particles (see Patent Document 3) is known. However, there is a problem that the particles shown in these figures have a large particle size and cannot be applied to an automatic optical inspection system. In addition, the surface of the film has a large number of protrusions made of the inorganic particles, in which inorganic particles having an average particle diameter of 0.01 to 100 μm are held and embedded in the polyimide film surface layer. A method (see Patent Document 4) in which 1 × 10 to 5 × 10 8 pieces / mm 2 exists in a layer is known. This method is an object that effectively obtains a slippery effect by actively exposing protrusions on the surface and reducing the coefficient of friction on the film surface, but the film surface is exposed because some inorganic particles are exposed. There are problems such as scratches on the skin and poor appearance.
JP 2000-280341 A JP-A-62-68852 JP 2000-191810 A Japanese Patent Laid-Open No. 5-25295

したがって、本発明の目的は、かかるカバーレイの寸法変化と耐熱性の両方の問題を解決し、鉛フリー半田を用いたフレキシブルプリント配線板と貼り合わせるのに適したカバーレイであり、かつ走行性(易滑性)と接着性及び自動光学検査システム(AOI)を同時に満足させることができるカバーレイを提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is a cover lay which is suitable for bonding to a flexible printed wiring board using lead-free solder, which solves both the problem of dimensional change and heat resistance of the cover lay, and is easy to travel. An object of the present invention is to provide a coverlay that can satisfy (slidability), adhesiveness, and automatic optical inspection system (AOI) at the same time.

本発明は、上記の目的を達成するため、以下の構成を採用する。
(1)ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなるポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面に、接着剤層を形成してなるカバーレイであって、粒子径が0.01〜1.5μmの範囲内にあり、かつ平均粒子径が0.05〜0.7μmである無機粒子を主体とする粉体がフィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%の割合で、フィルム中に分散されているポリイミドフィルムを用いることを特徴とするカバーレイ。
(2)ジアミン成分として10〜50モル%の3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び50〜90モル%の4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなるポリイミドフィルムを用いることを特徴とする(1)記載のカバーレイ。
(3)弾性率3〜6GPa、50〜200℃での線膨張係数が5〜20ppm/℃、湿度膨張係数が25ppm/%RH以下、吸水率が3%以下、200℃1時間での加熱収縮率が0.10%以下であるポリイミドフィルムを用いることを特徴とする(1)及び(2)記載のカバーレイ。
(4)接着剤がエポキシ樹脂、アクリル樹脂、及びポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種から主としてなることを特徴とする(1)〜(3)記載のカバーレイ。
(5)無機粒子がフィルム樹脂重量当たり0.3〜0.8重量%の割合で含まれていることを特徴とする(1)〜(4)のいずれかに記載のカバーレイ。
(6)無機粒子の平均粒子径が0.1〜0.6μmであることを特徴とする(1)〜(5)のいずれかに記載のカバーレイ。
(7)無機粒子の平均粒子径が0.3〜0.5μmであることを特徴とする(1)〜(6)のいずれかに記載のカバーレイ。
(8)無機粒子の粒度分布において、粒子径0.15〜0.60μmの粒子が全粒子中80体積%以上の割合を占めることを特徴とする(1)〜(7)のいずれかに記載のカバーレイ。
(9)フィルムの表面に、無機粒子に起因するが無機粒子が表面に露出していない突起が複数個存在することを特徴とする(1)〜(8)のいずれかに記載のカバーレイ。
(10)複数の突起のうち、高さ2μm以上の突起数が5個/40cm角以下であることを特徴とする(9)に記載のカバーレイ。
(11)フィルム厚みが5〜175μmであることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載のカバーレイ。
In order to achieve the above object, the present invention employs the following configuration.
(1) Using a polyimide film mainly composed of 3,4′-diaminodiphenyl ether and 4,4′-diaminodiphenyl ether as a diamine component and pyromellitic dianhydride as an acid dianhydride component, on one side of this polyimide film, A cover lay formed by forming an adhesive layer, mainly composed of inorganic particles having a particle diameter in the range of 0.01 to 1.5 μm and an average particle diameter of 0.05 to 0.7 μm. A cover lay characterized by using a polyimide film in which a powder is dispersed in a film at a ratio of 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight.
(2) Mainly composed of 10 to 50 mol% of 3,4′-diaminodiphenyl ether and 50 to 90 mol% of 4,4′-diaminodiphenyl ether as a diamine component, and pyromellitic dianhydride as an acid dianhydride component. A coverlay according to (1), wherein a polyimide film is used.
(3) Heat shrinkage at an elastic modulus of 3 to 6 GPa, a linear expansion coefficient at 50 to 200 ° C. of 5 to 20 ppm / ° C., a humidity expansion coefficient of 25 ppm /% RH or less, a water absorption of 3% or less, and 200 ° C. for 1 hour. The coverlay according to (1) and (2), wherein a polyimide film having a rate of 0.10% or less is used.
(4) The coverlay according to any one of (1) to (3), wherein the adhesive mainly comprises at least one selected from an epoxy resin, an acrylic resin, and a polyimide resin.
(5) The coverlay according to any one of (1) to (4), wherein inorganic particles are contained at a ratio of 0.3 to 0.8% by weight per film resin weight.
(6) The coverlay according to any one of (1) to (5), wherein the average particle diameter of the inorganic particles is 0.1 to 0.6 μm.
(7) The coverlay according to any one of (1) to (6), wherein the average particle size of the inorganic particles is 0.3 to 0.5 μm.
(8) In the particle size distribution of the inorganic particles, the particles having a particle size of 0.15 to 0.60 μm occupy a ratio of 80% by volume or more in all the particles. Coverlay.
(9) The coverlay according to any one of (1) to (8), wherein there are a plurality of protrusions on the surface of the film that are caused by the inorganic particles but the inorganic particles are not exposed on the surface.
(10) The coverlay according to (9), wherein among the plurality of protrusions, the number of protrusions having a height of 2 μm or more is 5/40 cm square or less.
(11) The coverlay according to any one of claims 1 to 10, wherein the film thickness is 5 to 175 µm.

本発明によれば、鉛フリー半田を用いても変形せず、無機微細粉体を添加することによって、無機粉体が露出せず、フィルム中に均一に分散した状態で微細な表面突起を発現させ、なおかつフィルムの走行性および接着性が向上することから、微細な配線を形成するフレキシブルプリント配線板のカバーレイとして好適である。   According to the present invention, the lead-free solder is not deformed, and by adding the inorganic fine powder, the inorganic powder is not exposed, and fine surface protrusions are expressed evenly dispersed in the film. In addition, since the runnability and adhesiveness of the film are improved, it is suitable as a cover lay for a flexible printed wiring board for forming fine wiring.

本発明のカバーレイは、基材としてポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面に接着剤を形成したものである。   The cover lay of the present invention uses a polyimide film as a base material and has an adhesive formed on one side of the polyimide film.

ここで、基材のポリイミドフィルムとしては、ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなるポリイミドフィルムである。   Here, the polyimide film of the base material is a polyimide film mainly composed of 3,4'-diaminodiphenyl ether and 4,4'-diaminodiphenyl ether as the diamine component, and pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component. .

すなわち、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4、4’−ジアミノジフェニルエーテル、ピロメリット酸二無水物の3種類を必須成分とし、これら3種類のみ、あるいはこれら3種類に加えて少量の別成分を加えることにより得られるポリイミドフィルムである。好ましくはジアミン成分として10〜50モル%の3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び50〜90モル%の4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを用い、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物を用いてなるポリイミドフィルムである。更に好ましくは、弾性率が3〜6GPa、50〜200℃での線膨張係数が5〜20ppm/℃、湿度膨張係数が25ppm/%RH以下、吸水率が3%以下、200℃1時間での加熱収縮率が0.10%以下であるポリイミドフィルムである。3,4’−ジアミノジフェニルエーテルが多すぎると硬くなり、少なすぎると柔らかすぎるので、10〜50モル%が好ましく、更に好ましくは15〜45モル%、より好ましくは20〜40モル%である。4,4’−ジアミノジフェニルエーテルが多すぎると柔らかくなり、少なすぎると硬くなるので、50〜90モル%が好ましく、更に好ましくは55〜85モル%、より好ましくは60〜80モル%である。硬さの指標である弾性率は3〜6GPaの範囲が好ましく、6GPaを超えると硬すぎ、3GPaより小さいと柔らかすぎる。線膨張係数は5〜20ppm/℃が好ましく、20ppm/℃を超えると熱による寸法変化が大き過ぎ、5ppm/℃より小さくなると、配線に使用される金属との線膨張係数との差が大きくなるため反りが生じてしまう。湿度膨張係数が25ppm/%RHを超えると湿度による寸法変化が大き過ぎるので、湿度膨張係数は25ppm/%RH以下が好ましい。吸水率が3%を超えると、吸い込んだ水の影響でフィルムの寸法変化が大きくなるので3%以下が好ましい。200℃1時間の加熱収縮率が0.10%を超えるとやはり熱による寸法変化が大きくなるので、加熱収縮率は0.10%以下が好ましい。   That is, three types of 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, and pyromellitic dianhydride are essential components, and only these three types or a small amount of another component is added to these three types. It is a polyimide film obtained by this. Preferably, 10 to 50 mol% of 3,4′-diaminodiphenyl ether and 50 to 90 mol% of 4,4′-diaminodiphenyl ether are used as the diamine component, and pyromellitic dianhydride is used as the acid dianhydride component. It is the polyimide film which becomes. More preferably, the elastic modulus is 3 to 6 GPa, the linear expansion coefficient at 50 to 200 ° C. is 5 to 20 ppm / ° C., the humidity expansion coefficient is 25 ppm /% RH or less, the water absorption is 3% or less, and 200 ° C. for 1 hour. It is a polyimide film having a heat shrinkage rate of 0.10% or less. When the amount of 3,4'-diaminodiphenyl ether is too much, it becomes hard, and when it is too little, it is too soft, so 10 to 50 mol% is preferable, more preferably 15 to 45 mol%, and more preferably 20 to 40 mol%. When the amount of 4,4'-diaminodiphenyl ether is too much, it becomes soft, and when it is too little, it becomes hard, so it is preferably 50 to 90 mol%, more preferably 55 to 85 mol%, more preferably 60 to 80 mol%. The elastic modulus, which is an index of hardness, is preferably in the range of 3 to 6 GPa. The linear expansion coefficient is preferably 5 to 20 ppm / ° C., and if it exceeds 20 ppm / ° C., the dimensional change due to heat is too large, and if it is smaller than 5 ppm / ° C., the difference from the linear expansion coefficient with the metal used for the wiring increases. Therefore, warping occurs. When the humidity expansion coefficient exceeds 25 ppm /% RH, the dimensional change due to humidity is too large. Therefore, the humidity expansion coefficient is preferably 25 ppm /% RH or less. If the water absorption rate exceeds 3%, the dimensional change of the film becomes large due to the influence of the sucked water, so 3% or less is preferable. When the heat shrinkage rate at 200 ° C. for 1 hour exceeds 0.10%, the dimensional change due to heat becomes large, so the heat shrinkage rate is preferably 0.10% or less.

本発明におけるポリイミドフィルムには、上述の通り、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルや4,4’−ジアミノジフェニルエーテル以外に少量のジアミンを添加してもよい。また、ピロメリット酸二無水物以外に少量の酸二無水物を添加してもよい。具体的なジアミン及び酸二無水物としては以下のものが挙げられるが、これらに限定されない。   As described above, a small amount of diamine may be added to the polyimide film in the present invention in addition to 3,4'-diaminodiphenyl ether and 4,4'-diaminodiphenyl ether. In addition to pyromellitic dianhydride, a small amount of acid dianhydride may be added. Specific examples of diamines and acid dianhydrides include, but are not limited to:

(1)酸二無水物
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3’,3,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンジカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル、ピリジン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−デカヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8−ジメチル−1,2,5,6−ヘキサヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,6−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,7−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−テトラクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,8,9,10−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、3,4,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等。
(1) Acid dianhydride 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3 ′, 3,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenedicarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether, pyridine-2,3,5 6-tetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-deca Hydronaphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,5,6-hexahydronaphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,6-dichloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic Acid dianhydride, 2,7-dichloro B-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,8,9 , 10-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, , 1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis ( 3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ′, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, and the like.

(2)ジアミン
3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、メタフェニレンジアミン、パラフェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、ベンチジン、4,4’−ジアミノジフェニルサルファイド、3,4’−ジアミノジフェニルサルファイド、3,3’−ジアミノジフェニルサルファイド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、2,6−ジアミノピリジン、ビス−(4−アミノフェニル)ジエチルシラン、3,3’−ジクロロベンチジン、ビス−(4−アミノフェニル)エチルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)フェニルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)−N−フェニルアミン、ビス−(4−アミノフェニル)−N−メチルアミン、1,5−ジアミノナフタレン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,4’−ジメチル−3’,4−ジアミノビフェニル3,3’−ジメトキシベンチジン、2,4−ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、p−ビス(2−メチル−4−アミノペンチル)ベンゼン、p−ビス−(1,1−ジメチル−5−アミノペンチル)ベンゼン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、1,3−ジアミノアダマンタン、3,3’−ジアミノ−1,1’−ジアミノアダマンタン、3,3’−ジアミノメチル1,1’−ジアダマンタン、ビス(p−アミノシクロヘキシル)メタン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3−メチルヘプタメチレンジアミン、4,4’−ジメチルヘプタメチレンジアミン、2,11−ジアミノドデカン、1,2−ビス(3−アミノプロポキシ)エタン、2,2−ジメチルプロピレンジアミン、3−メトキシヘキサエチレンジアミン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミン、2,5−ジメチルヘプタメチレンジアミン、5−メチルノナメチレンジアミン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、1,12−ジアミノオクタデカン、2,5−ジアミノ−1,3,4−オキサジアゾール、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、N−(3−アミノフェニル)−4−アミノベンズアミド、4−アミノフェニル−3−アミノベンゾエート等。
(2) Diamine 3,3′-diaminodiphenyl ether, metaphenylenediamine, paraphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 3,4′-diaminodiphenylpropane, 3,3′-diaminodiphenylpropane, 4,4 '-Diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, benzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 2,6-diaminopyridine, bis- (4-aminophenyl) diethylsilane, 3,3′- Dichlorobenzidine, bis- (4 Aminophenyl) ethylphosphinoxide, bis- (4-aminophenyl) phenylphosphinoxide, bis- (4-aminophenyl) -N-phenylamine, bis- (4-aminophenyl) -N-methylamine 1,5-diaminonaphthalene, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,4′-dimethyl-3 ′, 4-diaminobiphenyl 3,3′-dimethoxybenzidine, 2,4- Bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, p-bis (2-methyl-4-aminopentyl) benzene, p-bis- ( 1,1-dimethyl-5-aminopentyl) benzene, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 1,3-diaminoadamantane, 3,3′-diamino 1,1′-diaminoadamantane, 3,3′-diaminomethyl 1,1′-diadamantane, bis (p-aminocyclohexyl) methane, hexamethylenediamine, heptamethylenediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, decamethylene Diamine, 3-methylheptamethylenediamine, 4,4'-dimethylheptamethylenediamine, 2,11-diaminododecane, 1,2-bis (3-aminopropoxy) ethane, 2,2-dimethylpropylenediamine, 3-methoxy Hexaethylenediamine, 2,5-dimethylhexamethylenediamine, 2,5-dimethylheptamethylenediamine, 5-methylnonamethylenediamine, 1,4-diaminocyclohexane, 1,12-diaminooctadecane, 2,5-diamino-1, 3,4-oxa Azole, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, N-(3- aminophenyl) -4-aminobenzamide, 4-aminophenyl-3-aminobenzoate and the like.

ポリイミドフィルムを製造する際には、通常まずジアミンと酸二無水物との重合から前駆体であるポリアミック酸を合成し、しかる後にフィルム状にしながら、或いはフィルム状にした後にイミド化してポリイミドフィルムとする。本発明においては、ジアミン成分を最低2種類、酸二無水物を最低1種類用いるが、これらの成分を一度に混合してランダムに重合させてもよく、また適当な組み合わせで順に混合し、ブロック重合してもよい。例えば、まず3,4’−ジアミノジフェニルエーテルとピロメリット酸二無水物とを反応させ、しかる後に4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを加えるブロック重合、あるいはまず4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとピロメリット酸二無水物とを反応させ、しかる後に3,4’−ジアミノジフェニルエーテルを加えるブロック重合などが挙げられる。重合の際に用いる溶媒としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−メチルホルムアミド、ジメチルスルホキシドなどが挙げられるが、これらに限定されない。また、β−ピコリンのような第三級アミン類に代表される各種触媒、無水酢酸のような有機カルボン酸無水物に代表される各種脱水剤などを適宜使用してもよい。   When manufacturing a polyimide film, usually, first, a polyamic acid that is a precursor is synthesized from polymerization of diamine and acid dianhydride, and then formed into a film, or after being formed into a film and then imidized to form a polyimide film. To do. In the present invention, at least two types of diamine components and at least one type of acid dianhydride are used, but these components may be mixed at once and polymerized at random, or may be mixed in order in an appropriate combination and blocked. Polymerization may be performed. For example, block polymerization in which 3,4′-diaminodiphenyl ether and pyromellitic dianhydride are reacted first and then 4,4′-diaminodiphenyl ether is added, or first, 4,4′-diaminodiphenyl ether and pyromellitic acid two are added. Examples thereof include block polymerization in which an anhydride is reacted and then 3,4'-diaminodiphenyl ether is added. Examples of the solvent used in the polymerization include, but are not limited to, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-methylformamide, dimethyl sulfoxide and the like. Further, various catalysts typified by tertiary amines such as β-picoline, various dehydrating agents typified by organic carboxylic acid anhydrides such as acetic anhydride, and the like may be used as appropriate.

重合方法は公知のいずれの方法で行ってもよく、例えば(1)〜(5)が挙げられる。
(1)先に芳香族ジアミン成分全量を溶媒中に入れ、その後芳香族テトラカルボン酸類成分を芳香族ジアミン成分全量と当量になるよう加えて重合する方法。
(2)先に芳香族テトラカルボン酸類成分全量を溶媒中に入れ、その後芳香族ジアミン成分を芳香族テトラカルボン酸類成分と等量になるよう加えて重合する方法。
(3)一方の芳香族ジアミン化合物を溶媒中に入れた後、反応成分に対して芳香族テトラカルボン酸類化合物が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方の芳香族ジアミン化合物を添加し、続いて芳香族テトラカルボン酸類化合物を全芳香族ジアミン成分と全芳香族テトラカルボン酸類成分とがほぼ等量になるよう添加して重合する方法。
(4)芳香族テトラカルボン酸類化合物を溶媒中に入れた後、反応成分に対して一方の芳香族ジアミン化合物が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、芳香族テトラカルボン酸類化合物を添加し、続いてもう一方の芳香族ジアミン化合物を全芳香族ジアミン成分と全芳香族テトラカルボン酸類成分とがほぼ等量になるよう添加して重合する方法。
(5)溶媒中で一方の芳香族ジアミン成分と芳香族テトラカルボン酸類をどちらかが過剰になるよう反応させてポリアミド酸溶液(A)を調整し、別の溶媒中でもう一方の芳香族ジアミン成分と芳香族テトラカルボン酸類をどちらかが過剰になるよう反応させポリアミド酸溶液(B)を調整する。こうして得られた各ポリアミド酸溶液(A)と(B)を混合し、重合を完結する方法。この時ポリアミド酸溶液(A)を調整するに際し芳香族ジアミン成分が過剰の場合、ポリアミド酸溶液(B)では芳香族テトラカルボン酸成分を過剰に、またポリアミド酸溶液(A)で芳香族テトラカルボン酸成分が過剰の場合、ポリアミド酸溶液(B)では芳香族ジアミン成分を過剰にし、ポリアミド酸溶液(A)と(B)を混ぜ合わせこれら反応に使用される全芳香族ジアミン成分と全芳香族テトラカルボン酸類成分とがほぼ等量になるよう調整する。
The polymerization method may be performed by any known method, and examples thereof include (1) to (5).
(1) A method in which the total amount of the aromatic diamine component is first put in a solvent, and then the aromatic tetracarboxylic acid component is added so as to be equivalent to the total amount of the aromatic diamine component and polymerized.
(2) A method in which the total amount of the aromatic tetracarboxylic acid component is first put in a solvent, and then the aromatic diamine component is added in an amount equivalent to that of the aromatic tetracarboxylic acid component for polymerization.
(3) After one aromatic diamine compound is put in a solvent, the aromatic tetracarboxylic acid compound is mixed at a ratio of 95 to 105 mol% with respect to the reaction components, and then mixed for the other time. A method in which an aromatic diamine compound is added, and then an aromatic tetracarboxylic acid compound is added and polymerized so that the total aromatic diamine component and the total aromatic tetracarboxylic acid component are approximately equal.
(4) After putting the aromatic tetracarboxylic acid compound in the solvent, the aromatic tetracarboxylic acid compound is mixed for a time required for the reaction at a ratio of 95 to 105 mol% of one aromatic diamine compound with respect to the reaction component, and then the aromatic tetracarboxylic acid compound is mixed. A method in which a carboxylic acid compound is added, and then the other aromatic diamine compound is added and polymerized so that the total aromatic diamine component and the total aromatic tetracarboxylic acid component are approximately equal.
(5) A polyamic acid solution (A) is prepared by reacting one aromatic diamine component and an aromatic tetracarboxylic acid in a solvent so that either one becomes excessive, and the other aromatic diamine in another solvent. The polyamic acid solution (B) is prepared by reacting the component and the aromatic tetracarboxylic acid so that either one becomes excessive. A method of mixing the polyamic acid solutions (A) and (B) thus obtained to complete the polymerization. At this time, when adjusting the polyamic acid solution (A), if the aromatic diamine component is excessive, the polyamic acid solution (B) contains excessive aromatic tetracarboxylic acid component, and the polyamic acid solution (A) contains aromatic tetracarboxylic acid. When the acid component is excessive, the polyamic acid solution (B) makes the aromatic diamine component excessive, and the polyamic acid solutions (A) and (B) are combined to form the wholly aromatic diamine component and wholly aromatic compound used in these reactions. Adjustment is made so that the amount of the tetracarboxylic acid component is approximately equal.

なお、重合方法はこれらに限定されることはなく、その他公知の方法を用いてもよい。   The polymerization method is not limited to these, and other known methods may be used.

こうして得られるポリアミック酸溶液は、固形分を5〜40重量%、好ましくは10〜30重量%を含有しており、またその粘度はブルックフィールド粘度計による測定値で10〜2000Pa・s、好ましくは、100〜1000Pa・sのものが、安定した送液のために好ましく使用される。また、有機溶媒溶液中のポリアミック酸は部分的にイミド化されていてもよい。   The polyamic acid solution thus obtained contains a solid content of 5 to 40% by weight, preferably 10 to 30% by weight, and its viscosity is 10 to 2000 Pa · s as measured by a Brookfield viscometer, preferably 100-1000 Pa · s is preferably used for stable liquid feeding. Moreover, the polyamic acid in the organic solvent solution may be partially imidized.

本発明のフィルム表面上に突起を形成させるために添加される無機微粉体は、前記のポリイミドフィルム製造工程で接触する全ての化学物質に対して不溶である必要がある。その点から、シリカ、とりわけゾル・ゲル法で湿式粉砕法で製造したシリカが、ワニス状ポリアミド酸溶液中で安定し、かつ物理的に安定し、ポリイミドの諸物性に影響を与えないので好ましい。   The inorganic fine powder added to form protrusions on the film surface of the present invention needs to be insoluble in all chemical substances that are contacted in the polyimide film manufacturing process. In view of this, silica, particularly silica produced by a wet pulverization method using a sol-gel method, is stable in a varnish-like polyamic acid solution and physically stable, and does not affect various physical properties of the polyimide.

さらに、微細シリカ粉は、N,Nージメチルホルムアミド、N、N-ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホオキサイド、nーメチルピロリドン等の極性溶媒に均一に極性溶媒に分散させたシリカスラリーとして使用することで凝集を防止するため好ましい。このスラリーは、粒子径が非常に小さいため沈降速度が遅く安定している。また、たとえ沈降しても再攪拌する事で容易に再分散可能である。   Furthermore, the fine silica powder is agglomerated by using it as a silica slurry that is uniformly dispersed in a polar solvent such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, and n-methylpyrrolidone. It is preferable to prevent this. Since this slurry has a very small particle size, the sedimentation rate is slow and stable. Even if it settles, it can be easily redispersed by re-stirring.

本発明における、ポリイミドフィルムの表面に突起を形成させる為に添加される無機粉体の粒子径が0.01〜1.5μmの範囲内にあること、かつ平均粒子径が0.05μm〜0.7μmの範囲、より好ましくは0.1〜0.6μmの範囲、さらにより好ましくは0.3〜0.5μmの範囲にある場合、該ポリイミドフィルムの自動光学検査システムでの検査が問題なく適応できる。またフィルムの機械物性等の低下を発生させずに使用可能である。逆にこれらの範囲より平均粒子径が下回るとフィルムへの充分な易滑性が得られなく、上回ると自動検査検査システムで該粒子が異物と判断され障害を来すので好ましくない。また通常のフィルムの厚さは5μm〜175μmであるため、この粒子径範囲での粒子が表面に露出することはない。   In the present invention, the particle diameter of the inorganic powder added to form protrusions on the surface of the polyimide film is in the range of 0.01 to 1.5 μm, and the average particle diameter is 0.05 μm to 0.00. When the thickness is in the range of 7 μm, more preferably in the range of 0.1 to 0.6 μm, and even more preferably in the range of 0.3 to 0.5 μm, the inspection with the automatic optical inspection system of the polyimide film can be applied without any problem. . Further, it can be used without causing deterioration of the mechanical properties of the film. On the other hand, if the average particle diameter is less than these ranges, sufficient slipperiness to the film cannot be obtained, and if it exceeds, the particles are judged to be foreign matter by an automatic inspection and inspection system, which is not preferable. Moreover, since the thickness of a normal film is 5 micrometers-175 micrometers, the particle | grains in this particle diameter range are not exposed to the surface.

無機粒子はフィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%が好ましく、0.3〜0.8重量%の割合で含まれていることがより好ましい。0.1重量%以下であるとフィルム表面の突起数も不足することによってフィルムへの充分な易滑性が得られず、搬送性が悪化し、ロールに巻いた時のフィルム巻姿も悪化するので好ましくない。また0.9重量%以上であるとフィルムの易滑性は良化するものの、粒子の異常凝集による粗大突起が増加し、これが結果的に自動検査検査システムで異物と判断され障害を来すので好ましくない。   The inorganic particles are preferably 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight, and more preferably 0.3 to 0.8% by weight. If the amount is 0.1% by weight or less, the film surface is insufficient in number of protrusions, so that sufficient slipperiness to the film cannot be obtained, the transportability is deteriorated, and the film winding shape when wound on a roll is also deteriorated. Therefore, it is not preferable. If it is 0.9% by weight or more, the slipperiness of the film will be improved, but the coarse protrusions due to abnormal aggregation of particles will increase, and this will be judged as a foreign substance by the automatic inspection system, resulting in an obstacle. It is not preferable.

無機粒子による表面突起により、フィルム表面積も拡大し、十分に粗面化されアンカー効果が見られ接着性も損なうこともなくなる。   The surface protrusions of the inorganic particles also increase the film surface area, and the surface is sufficiently roughened so that the anchor effect is observed and the adhesiveness is not impaired.

無機粒子の粒度分布においては狭い分布であること、つまり類似の大きさの粒子が全粒子に占める割合が高い方が良く、具体的には粒子径0.15〜0.60μmの粒子が全粒子中80体積%以上の割合を占めることが好ましい。この範囲を下回り0.15μm以下の粒子の占める割合が高くなると、フィルムの易滑性が低下し好ましくない。また無機粒子送液の際には5μmカットフィルターや10μmカットフィルターにより粗粒を除去することが可能であるが、0.60μm以上の粒子の占める割合が高くなると、フィルターの目詰まりを頻発させてしまい工程安定性を損ねること、ならびに粒子の粗大凝集が生じやすくなるので好ましくない。   It is better that the particle size distribution of the inorganic particles is narrow, that is, the proportion of particles having a similar size to the whole particles is high. Specifically, particles having a particle size of 0.15 to 0.60 μm are all particles. It is preferable to occupy a ratio of 80% by volume or more. If the ratio of particles below 0.15 μm is higher than this range, the slipperiness of the film decreases, which is not preferable. In addition, it is possible to remove coarse particles with a 5 μm cut filter or a 10 μm cut filter when sending inorganic particles, but if the proportion of particles of 0.60 μm or more increases, the filter will frequently clog. This is not preferable because the process stability is impaired and coarse aggregation of particles is likely to occur.

本発明におけるフィルムは、無機粒子に起因する突起がフィルム表面に複数個存在するが、その突起は無機粒子が表面に露出していないことが重要である。
無機粒子に起因したフィルム表面突起においては、高さ2μm以上の突起数が5個/40cm角以下であること、より好ましくは3個/40cm角以下、さらにより好ましくは1個/40cm角以下であることである。これよりも多いと自動検査検査システムで該粒子が異物と判断され障害を来すので好ましくない。
The film in the present invention has a plurality of protrusions due to inorganic particles on the film surface, but it is important that the protrusions do not have the inorganic particles exposed on the surface.
In the film surface protrusion caused by the inorganic particles, the number of protrusions having a height of 2 μm or more is 5 pieces / 40 cm square or less, more preferably 3 pieces / 40 cm square or less, and even more preferably 1 piece / 40 cm square or less. That is. If it is more than this, the automatic inspection / inspection system determines that the particle is a foreign substance and causes a failure.

このような無機粒子を、ポリイミドの製造に使用される有機溶媒と同じ極性溶媒に分散させたスラリーをポリイミド製造工程中のポリアミド酸溶液に添加して後、脱環化脱溶媒させてポリイミドフィルムを得ることが好ましいが、ポリアミド酸重合前の有機溶媒中に無機粒子スラリーを添加した後、ポリアミド酸重合、脱環化脱溶媒を経てポリイミドフィルムを得ることなど、脱環化脱溶媒前の工程であればいかなる工程において無機粒子スラリーを添加することが可能である。   A slurry in which such inorganic particles are dispersed in the same polar solvent as the organic solvent used in the production of polyimide is added to the polyamic acid solution in the polyimide production process, followed by decyclization and desolvation to obtain a polyimide film. Although it is preferable to obtain, after adding inorganic particle slurry in the organic solvent before polyamic acid polymerization, polyamic acid polymerization, decyclization and desolvation, etc., to obtain a polyimide film, etc. in the step before decyclization and desolvation It is possible to add the inorganic particle slurry in any process.

ポリイミドフィルムの厚みについては特に限定されないが、好ましくは5〜175μm、より好ましくは3〜150μm、更に好ましくは5〜125μmである。厚すぎるとロール状にした際に巻きずれが発生しやすくなり、薄すぎるとしわなどが入りやすくなる。   Although it does not specifically limit about the thickness of a polyimide film, Preferably it is 5-175 micrometers, More preferably, it is 3-150 micrometers, More preferably, it is 5-125 micrometers. When it is too thick, it becomes easy to cause winding slip when it is made into a roll, and when it is too thin, wrinkles and the like are likely to enter.

上記のようなポリイミドフィルムの片面に、接着剤を介し、カバーレイを形成する。接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、及びポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種が好ましい。これらの接着剤には、柔軟性を持たせるなどの目的で、各種ゴム、可塑剤、硬化剤、リン系等の難燃剤、その他の各種添加物が付与されていてもよい。また、ポリイミド樹脂は主として熱可塑性ポリイミドが用いられることが多いが、熱硬化性ポリイミドでもよい。ポリイミド樹脂の場合、通常は溶媒不要な場合が多いが、適当な有機溶媒に可溶なポリイミドを用いてもよい。   A coverlay is formed on one side of the polyimide film as described above via an adhesive. As the adhesive, at least one selected from an epoxy resin, an acrylic resin, and a polyimide resin is preferable. These adhesives may be provided with various rubbers, plasticizers, curing agents, phosphorus-based flame retardants, and other various additives for the purpose of providing flexibility. The polyimide resin is mainly thermoplastic polyimide, but may be thermosetting polyimide. In the case of a polyimide resin, a solvent is usually unnecessary, but a polyimide soluble in an appropriate organic solvent may be used.

接着剤の厚みとしては、フレキシブル配線板の配線を十分に埋め込むことができ、配線を保護できる厚みであれば特に限定されないが、例えば配線厚みが18μmの場合には10〜100μmの接着剤厚みが好ましく、15〜50μmの接着剤厚みが好ましい。また例えば配線厚みが8μmの場合には5〜50μmの接着剤厚みが好ましく、12.5〜25μmの接着剤厚みがより好ましい。接着剤が薄すぎると配線間を十分に埋め込むことができず、空気を噛み込む恐れがある。また接着剤が厚すぎると基材のポリイミドフィルムの寸法変化に影響を及ぼすので、上記範囲の厚みが選ばれる。   The thickness of the adhesive is not particularly limited as long as the wiring of the flexible wiring board can be sufficiently embedded and the wiring can be protected. For example, when the wiring thickness is 18 μm, the adhesive thickness is 10 to 100 μm. An adhesive thickness of 15-50 μm is preferred. For example, when the wiring thickness is 8 μm, an adhesive thickness of 5 to 50 μm is preferable, and an adhesive thickness of 12.5 to 25 μm is more preferable. If the adhesive is too thin, it may not be possible to sufficiently embed between the wirings, and air may be caught. Further, if the adhesive is too thick, it affects the dimensional change of the polyimide film of the base material, so the thickness in the above range is selected.

このようにしてできたカバーレイは、接着剤を保護する目的で、フレキシブル配線板と貼り合わせる直前まで保護シートを付けておくことが好ましい。保護シートとしては、ポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム。ポリ塩化ビニルフィルムなどが挙げられ、これらのフィルムに公知の微粘着剤が塗布されたものが使用される。   The cover lay thus formed is preferably provided with a protective sheet until just before being bonded to the flexible wiring board for the purpose of protecting the adhesive. As the protective sheet, polyester film, polyethylene film, polypropylene film. A polyvinyl chloride film etc. are mentioned, and what coated the well-known slight adhesive on these films is used.

本発明のカバーレイは、フレキシブルプリント配線板と貼り合わせることで使用される。配線板の配線形成の方法としては、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法等が挙げられる。サブトラクティブ法とは、接着剤を介してポリイミドフィルム上に銅箔を貼り、銅箔を配線パターン状にエッチング処理することで配線を形成する方法、或いは接着剤を介さずに直接銅層をポリイミドフィルム上に形成し、銅層を配線パターン状にエッチング処理することで配線を形成する方法を意味する。銅箔を貼り付ける場合、銅箔としては圧延銅箔又は電解銅箔が用いられる。また、配線を形成する際には、通常フォトレジスト層を銅箔上に形成し、このフォトレジスト層を選択露光及び現像処理することで配線状にパターニングし、パターニングしたフォトレジスト層をエッチングマスクとして銅をエッチング処理し、その後にフォトレジスト層を完全に除去する。ここでフォトレジストとしては液状あるいはドライフィルムレジストが用いられ、エッチング液としては、塩化鉄系、塩化銅系、過酸系等の溶液が用いられる。   The coverlay of this invention is used by bonding with a flexible printed wiring board. Examples of the method for forming wiring on the wiring board include a subtractive method, a semi-additive method, and a full additive method. The subtractive method is a method of forming a wiring by attaching a copper foil on a polyimide film via an adhesive and etching the copper foil into a wiring pattern. Alternatively, the copper layer is polyimide directly without using an adhesive. It means a method of forming a wiring by forming on a film and etching a copper layer into a wiring pattern. When affixing a copper foil, a rolled copper foil or an electrolytic copper foil is used as the copper foil. Also, when forming wiring, a photoresist layer is usually formed on a copper foil, and this photoresist layer is subjected to selective exposure and development to be patterned into a wiring shape, and the patterned photoresist layer is used as an etching mask. The copper is etched and then the photoresist layer is completely removed. Here, a liquid or dry film resist is used as the photoresist, and a solution such as iron chloride, copper chloride, or peracid is used as the etchant.

セミアディティブ法とは、まずポリイミドフィルム上に直接、或いは接着剤を介してシード層となる金属層を形成し、このシード層の上にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層を選択露光及び現像処理することで配線状にパターニングし、パターニングしたフォトレジスト層を鍍金マスクとしてシード層上に無電解鍍金或いは電解鍍金にて配線を形成し、その後にフォトレジストを完全に除去し、最後に配線以外の部分のシード層をエッチング除去する方法を意味する。ここで、シード層金属としては、ニッケル、クロム、アルミニウム、鉛、銅、錫、亜鉛、鉄、銀、金等が単独或いは合金として使用される。また、フォトレジストとしては液状あるいはドライフィルムレジストが用いられ、無電解鍍金或いは電解鍍金の金属としては鉛、銅、ニッケル、クロム、錫、亜鉛、銀、金等が用いられ、エッチング液としては、シード層の金属に合わせたエッチング液が用いられる。   In the semi-additive method, a metal layer to be a seed layer is first formed directly on a polyimide film or via an adhesive, a photoresist layer is formed on the seed layer, and the photoresist layer is selectively exposed and developed. By patterning into a wiring shape by processing, using the patterned photoresist layer as a plating mask, wiring is formed on the seed layer by electroless plating or electrolytic plating, and then the photoresist is completely removed, and finally other than wiring This means that the seed layer is removed by etching. Here, as the seed layer metal, nickel, chromium, aluminum, lead, copper, tin, zinc, iron, silver, gold or the like is used alone or as an alloy. In addition, a liquid or dry film resist is used as a photoresist, lead, copper, nickel, chromium, tin, zinc, silver, gold or the like is used as a metal for electroless plating or electrolytic plating, and as an etching solution, An etchant that matches the metal of the seed layer is used.

フルアディティブ法とは、ポリイミドフィルム上に直接、或いは接着剤の上にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層を選択露光及び現像処理することで配線状にパターニングし、パターニングしたフォトレジスト層を鍍金マスクとして無電解鍍金にて配線を形成し、その後にフォトレジストを完全に除去する方法を意味する。ここでフォトレジストとしては液状あるいはドライフィルムレジストが用いられ、無電解鍍金の金属としては銅、ニッケル、鉛、クロム、錫、亜鉛、銀、金等が用いられる。   In the full additive method, a photoresist layer is formed directly on a polyimide film or on an adhesive, and the photoresist layer is subjected to selective exposure and development to pattern it into a wiring, and the patterned photoresist layer is plated. It means a method of forming a wiring by electroless plating as a mask and then completely removing the photoresist. Here, a liquid or dry film resist is used as the photoresist, and copper, nickel, lead, chromium, tin, zinc, silver, gold or the like is used as the electroless plating metal.

上記のような各種配線形成の方法に用いられる金属としては、主として銅が好ましい。形成された配線は電気・電子回路として用いられるが、銅よりも抵抗の高い金属だと電気伝導性が悪なるので好ましくない。また、銅に比べて密度が疎になる金属だとやはり電気伝導性が悪くなるので、好ましくない。但し、銅は錆びやすく腐食されやすい欠点も有しているので、銅を保護する目的で錫や鉛、アルミニウム、ニッケル、銀、金等の金属を銅の上に形成することは任意である。また、銅はポリイミドフィルム中に拡散しやすいため、銅の拡散を防ぐ目的でニッケルやクロム、銀、金、錫等をポリイミドフィルムと銅との間にバリア層としてかませることも任意である。   As a metal used for the above-mentioned various wiring formation methods, copper is mainly preferred. The formed wiring is used as an electric / electronic circuit, but a metal having a higher resistance than copper is not preferable because electric conductivity is deteriorated. In addition, it is not preferable that the metal has a lower density than copper because the electrical conductivity is deteriorated. However, since copper has a drawback that it is easily rusted and corroded, it is optional to form a metal such as tin, lead, aluminum, nickel, silver, or gold on the copper for the purpose of protecting the copper. In addition, since copper easily diffuses into the polyimide film, nickel, chromium, silver, gold, tin, or the like may be arbitrarily placed between the polyimide film and copper as a barrier layer for the purpose of preventing copper diffusion.

以下、実施例にて具体的に説明する。なお、実施例で用いるポリイミドフィルムは合成例1〜4の方法により製膜したものを用いるが、これらに限定されない。また、比較例1〜4で用いるポリイミドフィルムは合成例5〜8により製膜したものを用いる。更に、実施例で用いる接着剤としては合成例9〜10により調合したものを用いるが、これらに限定されない。なお、フィルム厚さ、線膨張係数、弾性率、湿度膨張係数、吸水率、加熱収縮率については以下の(1)〜(10)の方法で測定した。   Hereinafter, specific examples will be described. In addition, although the polyimide film used by the Example uses what was formed into a film by the method of the synthesis examples 1-4, it is not limited to these. Moreover, the polyimide film used by Comparative Examples 1-4 uses what was formed by the synthesis examples 5-8. Furthermore, as the adhesive used in the examples, those prepared in Synthesis Examples 9 to 10 are used, but are not limited thereto. The film thickness, linear expansion coefficient, elastic modulus, humidity expansion coefficient, water absorption rate, and heat shrinkage rate were measured by the following methods (1) to (10).

(1)フィルム厚
Mitutoyo製ライトマチック(Series318 )を使用して測定した。
(1) Film thickness It measured using the lightmatic (Series318) made from Mitutoyo.

(2)線膨張係数
島津製作所製TMA−50を使用し、測定温度範囲:50〜200℃、昇温速度:10℃/分の条件で測定した。
(2) Linear expansion coefficient TMA-50 manufactured by Shimadzu Corporation was used, and measurement was performed under the conditions of measurement temperature range: 50 to 200 ° C and temperature increase rate: 10 ° C / min.

(3)弾性率
エー・アンド・デイ製RTM−250を使用し、引張速度:100mm/minの条件で測定した。
(3) Elastic modulus RTM-250 manufactured by A & D was used, and measurement was performed under the condition of a tensile speed of 100 mm / min.

(4)湿度膨張係数
25℃にてTM7000炉内にフィルムを取り付け、炉内にドライガスを送り込んで乾燥させた後、HC−1型水蒸気発生装置からの給気によりTM7000炉内を90%RHに加湿させ、その間の寸法変化から湿度膨張係数を求めた。
(4) Humidity expansion coefficient A film was installed in a TM7000 furnace at 25 ° C., dried by sending dry gas into the furnace, and then the inside of the TM7000 furnace was 90% RH by supplying air from an HC-1 type steam generator. The humidity expansion coefficient was determined from the dimensional change during the period.

(5)吸水率
98%RH雰囲気下のデシケーター内に2日間静置し、乾燥時重量に対しての増加重量%で評価した。
(5) Water absorption rate It left still in the desiccator of 98% RH atmosphere for 2 days, and evaluated by the weight increase with respect to the weight at the time of drying.

(6)加熱収縮率
20cm×20cmのフィルムを用意し、25℃、60%RHに調整された部屋に2日間放置した後のフィルム寸法(L1)を測定し、続いて200℃60分間加熱した後再び25℃、60%RHに調整された部屋に2日間放置した後フィルム寸法(L2)を測定し、下記式計算により評価した。
加熱収縮率 = −(L2−L1)/L1×100
(6) Heat shrinkage rate A film of 20 cm × 20 cm was prepared, and the film size (L1) after being left in a room adjusted to 25 ° C. and 60% RH for 2 days was measured, followed by heating at 200 ° C. for 60 minutes. Thereafter, the film size (L2) was measured after being left in a room adjusted to 25 ° C. and 60% RH for 2 days, and evaluated by the following formula calculation.
Heat shrinkage rate = − (L2−L1) / L1 × 100

(7)摩擦係数(静摩擦係数)
フィルムの処理面同士を重ね合わせ、JIS K−7125(1999)に基づき測定した。すなわち、スベリ係数測定装置Slip Tester(株式会社テクノニーズ製)を使用し、フィルム処理面同士を重ね合わせて、その上に200gのおもりを載せ、フィルムの一方を固定、もう一方を100mm/分で引っ張り、摩擦係数を測定した。
(7) Friction coefficient (Static friction coefficient)
The processed surfaces of the films were overlapped and measured according to JIS K-7125 (1999). That is, using a slip coefficient measuring apparatus Slip Tester (manufactured by Technonez Co., Ltd.), the film processing surfaces are overlapped with each other, a 200 g weight is placed thereon, one of the films is fixed, and the other is 100 mm / min Tensile and friction coefficients were measured.

(8)自動光学検査(AOI)
オルボテックのSK−75を使用してベースフィルムを検査した。異物と微粒子の区別の付く場合を「○」評価、一方異物と微粒子の大きさが類似していて、両者の区別が付かない場合を「×」評価とした。
(8) Automatic optical inspection (AOI)
The base film was inspected using an Orbotech SK-75. The case where a foreign substance and a fine particle could be distinguished was evaluated as “◯”, while the case where the size of the foreign substance and the fine particle was similar and could not be distinguished from each other was evaluated as a “x” evaluation.

(9)無機粒子の評価
堀場製作所のレーザー回析/散乱式粒度分布測定装置LA−910を用い、極性溶媒に分散させた試料を測定、解析した結果から粒子径範囲、平均粒子径、粒子径0.15〜0.60μmの全粒子中に対する占有率を読み取った。
(9) Evaluation of inorganic particles Using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus LA-910 manufactured by HORIBA, Ltd., a sample dispersed in a polar solvent was measured and analyzed, and the particle size range, average particle size, and particle size were obtained. The occupancy ratio for all particles of 0.15 to 0.60 μm was read.

(10)異常突起数
フィルム40cm角面積当たりにおいて、高さ2μm以上の突起数をカウントした。高さ測定は、レーザーテック(株)製走査型レーザー顕微鏡「1LM15W」にて、ニコン製100倍レンズ(CF Plan 100×/0.95 ∞/0 EPI)を用いて、「SURFACE1」モードにてフィルム表面を撮影・解析することにより確認した。
(10) Number of abnormal protrusions The number of protrusions having a height of 2 μm or more was counted per 40 cm square area of the film. The height is measured with a scanning laser microscope “1LM15W” manufactured by Lasertec Co., Ltd., using a Nikon 100 × lens (CF Plan 100 × / 0.95∞ / 0 EPI) in the “SURFACE1” mode. This was confirmed by photographing and analyzing the surface.

(合成例1)
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)/3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)をモル比で4/3/1の割合で混合し、DMAc(N,N−ジメチルアセトアミド)18.5重量%溶液にして重合し、ポリアミド酸を得た。粒径において0.01μm以上1.5μm以下に収まっており、平均粒子径0.30μm、粒子径0.15〜0.60μmの粒子が全粒子中87.2体積%のシリカのN,Nージメチルアセトアミドスラリーを前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.3重量%添加し、十分攪拌、分散させた。無水酢酸(分子量102.09)とイソキノリンからなる転化剤をポリアミド酸溶液に対し50重量%の割合で混合、攪拌した。この時、ポリアミド酸のアミド酸基に対し、無水酢酸及びイソキノリンがそれぞれ2.0及び0.4モル当量になるように調製した。得られた混合物を、T型スリットダイより回転する100℃のステンレス製ドラム上にキャストし、残揮発成分が55重量%の自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをドラムから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて200℃×30秒、350℃×30秒、550℃×30秒処理し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。物性を表1に示す。
(Synthesis Example 1)
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) / 3,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) in a molar ratio of 4/3/1. The mixture was mixed at a ratio and polymerized with a DMAc (N, N-dimethylacetamide) 18.5 wt% solution to obtain a polyamic acid. The particle size is 0.01 μm or more and 1.5 μm or less, and particles having an average particle size of 0.30 μm and a particle size of 0.15 to 0.60 μm are composed of 87.2% by volume of silica N, N— A dimethylacetamide slurry was added to the varnish-like polyamic acid solution in an amount of 0.3% by weight per resin weight, and was sufficiently stirred and dispersed. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight to the polyamic acid solution. At this time, it prepared so that acetic anhydride and isoquinoline might be 2.0 and 0.4 molar equivalent with respect to the amic acid group of a polyamic acid, respectively. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum at 100 ° C. rotated by a T-shaped slit die to obtain a gel film having a self-supporting property with a residual volatile component of 55% by weight. This gel film was peeled off from the drum, and both ends thereof were gripped and treated in a heating furnace at 200 ° C. for 30 seconds, 350 ° C. for 30 seconds, and 550 ° C. for 30 seconds to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm. The physical properties are shown in Table 1.

(合成例2)
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)/3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)をモル比で10/7/3の割合で混合し、DMF(N,N−ジメチルホルムアミド)18.5重量%溶液にして重合し、ポリアミド酸を得た。粒径が0.01μm以上1.5μm以下に収まっており、平均粒子径が0.38μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中86.3体積%のシリカのN,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.35重量%添加し、十分攪拌、分散させた。この際、まずピロメリット酸二無水物と3,4’−ジアミノジフェニルエーテルとを先に反応させ、しかる後に4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを添加するブロック重合を行った。無水酢酸(分子量102.09)とイソキノリンからなる転化剤をポリアミド酸溶液に対し50重量%の割合で混合、攪拌した。この時、ポリアミド酸のアミド酸基に対し、無水酢酸及びイソキノリンがそれぞれ2.0及び0.4モル当量になるように調製した。得られた混合物を、T型スリットダイより回転する100℃のステンレス製ドラム上にキャストし、残揮発成分が55重量%の自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをドラムから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて200℃×30秒、350℃×30秒、550℃×30秒処理し、厚さ12.5μmのポリイミドフィルムを得た。物性を表1に示す。
(Synthesis Example 2)
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) / 3,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) in a molar ratio of 10/7/3 The mixture was mixed at a ratio and polymerized with a DMF (N, N-dimethylformamide) 18.5 wt% solution to obtain a polyamic acid. Particles having a particle size of 0.01 μm or more and 1.5 μm or less, an average particle size of 0.38 μm, and a particle size of 0.15 to 0.60 μm are composed of 86.3% by volume of silica N , N-dimethylacetamide slurry was added to the varnish-like polyamic acid solution in an amount of 0.35% by weight per resin weight and sufficiently stirred and dispersed. At this time, pyromellitic dianhydride and 3,4'-diaminodiphenyl ether were first reacted, and then block polymerization was performed by adding 4,4'-diaminodiphenyl ether. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight to the polyamic acid solution. At this time, it prepared so that acetic anhydride and isoquinoline might be 2.0 and 0.4 molar equivalent with respect to the amic acid group of a polyamic acid, respectively. The obtained mixture was cast on a stainless steel drum at 100 ° C. rotated by a T-shaped slit die to obtain a gel film having a self-supporting property with a residual volatile component of 55% by weight. The gel film was peeled off from the drum, and both ends thereof were gripped and treated in a heating furnace at 200 ° C. for 30 seconds, 350 ° C. for 30 seconds, 550 ° C. for 30 seconds to obtain a polyimide film having a thickness of 12.5 μm. . The physical properties are shown in Table 1.

(合成例3)
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)/3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)をモル比で5/4/1の割合で混合し、DMAc(N,N−ジメチルアセトアミド)18.5重量%溶液にして重合し、ポリアミド酸を得た。粒径が0.01μm以上1.5μm以下に収まっており、平均粒子径が0.45μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中87.7体積%のシリカのN,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.3重量%添加し、十分攪拌、分散させた。この際、まずピロメリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとを先に反応させ、しかる後に3,4’−ジアミノジフェニルエーテルを添加するブロック重合を行った。無水酢酸(分子量102.09)とイソキノリンからなる転化剤をポリアミド酸溶液に対し50重量%の割合で混合、攪拌した。この時、ポリアミド酸のアミド酸基に対し、無水酢酸及びイソキノリンがそれぞれ2.0及び0.4モル当量になるように調製した。得られた混合物を、T型スリットダイよりエンドレスベルト上にキャストし、70℃の熱風にて加熱し、残揮発成分が55重量%、厚み約1.00mmの自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて200℃×60秒、350℃×60秒、550℃×45秒処理し、厚さ125μmのポリイミドフィルムを得た。物性を表1に示す。
(Synthesis Example 3)
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) / 3,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) in a molar ratio of 5/4/1 The mixture was mixed at a ratio and polymerized with a DMAc (N, N-dimethylacetamide) 18.5 wt% solution to obtain a polyamic acid. N particles of silica having a particle size of 0.01 μm or more and 1.5 μm or less, an average particle size of 0.45 μm, and a particle size of 0.15 to 0.60 μm is 87.7% by volume of all particles. , N-dimethylacetamide slurry was added to the varnish-like polyamic acid solution in an amount of 0.3% by weight per resin weight and sufficiently stirred and dispersed. At this time, pyromellitic dianhydride and 4,4′-diaminodiphenyl ether were first reacted, and then block polymerization was performed in which 3,4′-diaminodiphenyl ether was added. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight to the polyamic acid solution. At this time, it prepared so that acetic anhydride and isoquinoline might be 2.0 and 0.4 molar equivalent with respect to the amic acid group of a polyamic acid, respectively. The obtained mixture is cast on an endless belt from a T-shaped slit die and heated with hot air at 70 ° C. to obtain a gel film having a self-supporting property of 55% by weight of residual volatile components and a thickness of about 1.00 mm. It was. This gel film was peeled off from the endless belt, and both ends thereof were gripped and treated in a heating furnace at 200 ° C. for 60 seconds, 350 ° C. for 60 seconds, and 550 ° C. for 45 seconds to obtain a 125 μm thick polyimide film. The physical properties are shown in Table 1.

(合成例4)
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(分子量322.20)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)/3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)をモル比で9/1/8/2の割合で混合し、DMAc(N,N−ジメチルアセトアミド)18.5重量%溶液にして重合し、ポリアミド酸を得た。粒径が0.01μm以上1.5μm以下に収まっており、平均粒子径が0.35μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中87.0体積%のシリカのN,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.5重量%添加し、十分攪拌、分散させた。無水酢酸(分子量102.09)とイソキノリンからなる転化剤をポリアミド酸溶液に対し50重量%の割合で混合、攪拌した。この時、ポリアミド酸のアミド酸基に対し、無水酢酸及びイソキノリンがそれぞれ2.0及び0.4モル当量になるように調製した。得られた混合物を、T型スリットダイよりエンドレスベルト上にキャストし、50℃の熱風にて加熱し、残揮発成分が55重量%の自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて150℃×30秒、300℃×30秒、400℃×20秒、550℃×20秒処理し、厚さ12.5μmのポリイミドフィルムを得た。物性を表1に示す。
(Synthesis Example 4)
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (molecular weight 322.20) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) / 3,4'-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) is mixed at a molar ratio of 9/1/8/2 and polymerized to a DMAc (N, N-dimethylacetamide) 18.5 wt% solution. A polyamic acid was obtained. N particles of silica having a particle size of 0.01 μm or more and 1.5 μm or less, an average particle size of 0.35 μm, and a particle size of 0.15 to 0.60 μm is 87.0% by volume in all particles. , N-dimethylacetamide slurry was added to the varnish-like polyamic acid solution in an amount of 0.5% by weight per resin weight and sufficiently stirred and dispersed. A conversion agent consisting of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight to the polyamic acid solution. At this time, it prepared so that acetic anhydride and isoquinoline might be 2.0 and 0.4 molar equivalent with respect to the amic acid group of a polyamic acid, respectively. The obtained mixture was cast on an endless belt from a T-shaped slit die and heated with hot air at 50 ° C. to obtain a gel film having a self-supporting property with a residual volatile component of 55% by weight. This gel film is peeled off from the endless belt, both ends thereof are gripped, and processed in a heating furnace at 150 ° C. × 30 seconds, 300 ° C. × 30 seconds, 400 ° C. × 20 seconds, 550 ° C. × 20 seconds, and a thickness of 12. A 5 μm polyimide film was obtained. The physical properties are shown in Table 1.

(合成例5)
合成例1において、シリカを添加しないこと以外は、全て合成例1と同様の方法でポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 5)
In Synthesis Example 1, a polyimide film was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that silica was not added. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例6)
合成例2において使用したシリカを、粒径が0.1μm以上4.5μm以下に収まっており、平均粒子径が1.1μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中27.3体積%のシリカに変更し、N,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.2重量%添加したこと以外は、全て合成例2と同様の方法でポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 6)
The silica used in Synthesis Example 2 has a particle diameter of 0.1 μm or more and 4.5 μm or less, particles having an average particle diameter of 1.1 μm and a particle diameter of 0.15 to 0.60 μm in all particles. In the same manner as in Synthesis Example 2, except that the silica was changed to 27.3% by volume and 0.2% by weight of N, N-dimethylacetamide slurry was added to the varnish-like polyamic acid solution per resin weight. A polyimide film was obtained. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例7)
合成例3において使用したシリカを、粒径が0.01μm以上0.3μm以下に収まっており、平均粒子径が0.03μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中31.4体積%のシリカに変更し、N,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.35重量%添加したこと以外は、全て合成例3と同様の方法でポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 7)
The silica used in Synthesis Example 3 has a particle size of 0.01 μm or more and 0.3 μm or less, particles having an average particle size of 0.03 μm and a particle size of 0.15 to 0.60 μm in all particles. The silica was changed to 31.4% by volume, and N, N-dimethylacetamide slurry was added in the same manner as in Synthesis Example 3 except that 0.35% by weight per resin weight was added to the varnish-like polyamic acid solution. A polyimide film was obtained. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例8)
合成例4において使用したシリカを、粒径が0.01μm以上2.0μm以下に収まっており、平均粒子径が0.4μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中72.6体積%のシリカに変更し、N,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.35重量%添加したこと以外は、全て合成例4と同様の方法でポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 8)
The silica used in Synthesis Example 4 has a particle diameter of 0.01 μm or more and 2.0 μm or less, particles having an average particle diameter of 0.4 μm and a particle diameter of 0.15 to 0.60 μm in all particles. The same procedure as in Synthesis Example 4 was conducted except that the N, N-dimethylacetamide slurry was changed to 72.6% by volume of silica and 0.35% by weight of the varnish-like polyamic acid solution was added to the varnish-like polyamic acid solution. A polyimide film was obtained. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例9)
昭和電工(株)製水酸化アルミニウム「H−43」を19重量部、油化シェル(株)製エポキシ樹脂「エピコート」828を9重量部、東都化成(株)リン含有エポキシ樹脂「FX279BEK」を35重量部、住友化学(株)製硬化剤4,4’−DDS(4,4’−ジアミノジフェニルスルホン)を3.5重量部、JSR(株)「NBR(PNR−1H)」26重量部をメチルイソブチルケトン200重量部に30℃で攪拌、混合し、接着剤溶液を得た。
(Synthesis Example 9)
19 parts by weight of aluminum hydroxide “H-43” manufactured by Showa Denko K.K., 9 parts by weight of epoxy resin “Epicoat” 828 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd., and phosphorus-containing epoxy resin “FX279BEK” manufactured by Toto Kasei Co., Ltd. 35 parts by weight, 3.5 parts by weight of curing agent 4,4′-DDS (4,4′-diaminodiphenylsulfone) manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., 26 parts by weight of JSR “NBR (PNR-1H)” Was mixed with 200 parts by weight of methyl isobutyl ketone at 30 ° C. to obtain an adhesive solution.

(合成例10)
油化シェル(株)製エポキシ樹脂「エピコート」834を9重量部、東都化成(株)リン含有エポキシ樹脂「ZX−1548−3」を17重量部、住友化学(株)製硬化剤4,4’−DDSを3.5重量部、JSR(株)「NBR(PNR−1H)」26重量部、昭和電工(株)製水酸化アルミニウム「H−43」20重量部をメチルエチルケトン200重量部に30℃で攪拌、混合し、接着剤溶液を得た。
(Synthesis Example 10)
9 parts by weight of epoxy resin “Epicoat” 834 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd., 17 parts by weight of phosphorus-containing epoxy resin “ZX-1548-3” manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., curing agent 4,4 manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. '-DDS 3.5 parts by weight, JSR "NBR (PNR-1H)" 26 parts by weight, Showa Denko Co., Ltd. aluminum hydroxide "H-43" 20 parts by weight methyl ethyl ketone 30 parts by weight The mixture was stirred and mixed at 0 ° C. to obtain an adhesive solution.

(実施例1)
合成例1で製膜したポリイミドフィルムを用い、この片面に合成例9の接着剤を塗布し、150℃×5分間加熱乾燥し、乾燥膜厚25μmの接着剤層を形成し、カバーレイを得た。
Example 1
Using the polyimide film formed in Synthesis Example 1, the adhesive of Synthesis Example 9 was applied to one side of the film and dried by heating at 150 ° C. for 5 minutes to form an adhesive layer having a dry film thickness of 25 μm to obtain a coverlay. It was.

ニッカン工業(株)製フレキシブルプリント回路用銅張積層板F−30VC1を用い、銅箔面とカバーレイの接着剤層とを100℃、0.27MPaで貼り合わせた。このようにして貼り合わせた銅張積層板とカバーレイを用い、引き剥がし強度(ピール強度)、半田耐熱性、ULに基づく難燃性を評価した。結果を表1に示す。   Using a copper-clad laminate F-30VC1 for flexible printed circuits manufactured by Nikkan Kogyo Co., Ltd., the copper foil surface and the adhesive layer of the coverlay were bonded at 100 ° C. and 0.27 MPa. Using the copper-clad laminate and coverlay bonded together in this way, peel strength (peel strength), solder heat resistance, and flame retardance based on UL were evaluated. The results are shown in Table 1.

(比較例1)
実施例1において、合成例1で製膜したポリイミドフィルムを合成例5で製膜したポリイミドフィルムに変更する以外は全て実施例1と同様にしてカバーレイを形成し、実施例1と同様の評価を実施した。結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
In Example 1, a coverlay was formed in the same manner as in Example 1 except that the polyimide film formed in Synthesis Example 1 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 5, and the same evaluation as in Example 1 was performed. Carried out. The results are shown in Table 1.

(実施例2)
合成例2で製膜したポリイミドフィルムを用い、この片面に合成例10の着剤を塗布し、150℃×5分間加熱乾燥し、乾燥膜厚15μmの接着剤層を形成し、カバーレイを得た。
(Example 2)
Using the polyimide film formed in Synthesis Example 2, the adhesive of Synthesis Example 10 was applied to one side of the film and dried by heating at 150 ° C. for 5 minutes to form an adhesive layer having a dry film thickness of 15 μm to obtain a coverlay. It was.

ニッカン工業(株)製フレキシブルプリント回路用銅張積層板F−30VC1を用い、銅箔面とカバーレイの接着剤層とを100℃、0.27MPaで貼り合わせた。このようにして貼り合わせた銅張積層板とカバーレイを用い、引き剥がし強度(ピール強度)、半田耐熱性、ULに基づく難燃性、粘着性を評価した。結果を表1に示す。   Using a copper-clad laminate F-30VC1 for flexible printed circuits manufactured by Nikkan Kogyo Co., Ltd., the copper foil surface and the adhesive layer of the coverlay were bonded at 100 ° C. and 0.27 MPa. Using the copper-clad laminate and coverlay bonded together in this way, peel strength (peel strength), solder heat resistance, UL-based flame retardance, and adhesiveness were evaluated. The results are shown in Table 1.

(比較例2)
実施例2において、合成例2で製膜したポリイミドフィルムを合成例6で製膜したポリイミドフィルムに変更する以外は全て実施例2と同様にしてカバーレイを形成し、実施例2と同様の評価を実施した。結果を表1に示す。
(Comparative Example 2)
In Example 2, a coverlay was formed in the same manner as in Example 2 except that the polyimide film formed in Synthesis Example 2 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 6, and the same evaluation as in Example 2 was performed. Carried out. The results are shown in Table 1.

(実施例3)
実施例1において、合成例1で製膜したポリイミドフィルムを合成例3で製膜したポリイミドフィルムに変更する以外は全て実施例1と同様にしてカバーレイを形成し、実施例2と同様の評価を実施した。結果を表1に示す。
(Example 3)
In Example 1, except that the polyimide film formed in Synthesis Example 1 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 3, a coverlay was formed in the same manner as in Example 1, and the same evaluation as in Example 2 was performed. Carried out. The results are shown in Table 1.

(比較例3)
実施例3において、合成例3で製膜したポリイミドフィルムを合成例7で製膜したポリイミドフィルムに変更する以外は全て実施例3と同様にしてカバーレイを形成し、実施例3と同様の評価を実施した。結果を表1示す。
(Comparative Example 3)
In Example 3, a coverlay was formed in the same manner as in Example 3 except that the polyimide film formed in Synthesis Example 3 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 7, and the same evaluation as in Example 3 was performed. Carried out. The results are shown in Table 1.

(実施例4)
実施例1おいて、合成例1製膜したポリイミドフィルムを合成例4で製膜したポリイミドフィルムに変更する以外は全て実施例1同様にしてカバーレイを形成し、実施例1同様の評価を実施した。結果を表1に示す。
Example 4
In Example 1, except that the polyimide film formed in Synthesis Example 1 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 4, a coverlay was formed in the same manner as in Example 1, and the same evaluation as in Example 1 was performed. did. The results are shown in Table 1.

(比較例4)
実施例4において、合成例4で製膜したポリイミドフィルムを合成例8で製膜したポリイミドフィルムに変更する以外は全て実施例4と同様にしてカバーレイを形成し、実施例4と同様の評価を実施した。結果を表1示す。
(Comparative Example 4)
In Example 4, a coverlay was formed in the same manner as in Example 4 except that the polyimide film formed in Synthesis Example 4 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 8, and the same evaluation as in Example 4 was performed. Carried out. The results are shown in Table 1.

Figure 2009021350
Figure 2009021350

本発明によれば、寸法安定性や耐熱性に優れており、AOIに適応可能な特性を備えると共に、走行性(易滑性)、接着性にも優れたカバーレイの提供が可能になる。   According to the present invention, it is possible to provide a cover lay which is excellent in dimensional stability and heat resistance, has characteristics applicable to AOI, and is excellent in running property (easiness of sliding) and adhesiveness.

Claims (11)

ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなるポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面に、接着剤層を形成してなるカバーレイであって、粒子径が0.01〜1.5μmの範囲内にあり、かつ平均粒子径が0.05〜0.7μmである無機粒子を主体とする粉体がフィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%の割合で、フィルム中に分散されているポリイミドフィルムを用いることを特徴とするカバーレイ。 A polyimide film mainly composed of 3,4′-diaminodiphenyl ether and 4,4′-diaminodiphenyl ether as a diamine component and pyromellitic dianhydride as an acid dianhydride component is used, and an adhesive layer is formed on one side of the polyimide film. A powder mainly composed of inorganic particles having a particle diameter in the range of 0.01 to 1.5 μm and an average particle diameter of 0.05 to 0.7 μm. A coverlay comprising a polyimide film dispersed in a film at a ratio of 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight. ジアミン成分として10〜50モル%の3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び50〜90モル%の4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなるポリイミドフィルムを用いることを特徴とする請求項1記載のカバーレイ。 A polyimide film mainly composed of 10 to 50 mol% 3,44'-diaminodiphenyl ether and 50 to 90 mol% 4,4'-diaminodiphenyl ether as a diamine component, and pyromellitic dianhydride as an acid dianhydride component The coverlay according to claim 1, wherein the coverlay is used. 弾性率3〜6GPa、50〜200℃での線膨張係数が5〜20ppm/℃、湿度膨張係数が25ppm/%RH以下、吸水率が3%以下、200℃1時間での加熱収縮率が0.10%以下であるポリイミドフィルムを用いることを特徴とする請求項1及び2記載のカバーレイ。 Elastic modulus 3-6 GPa, linear expansion coefficient at 50-200 ° C. 5-20 ppm / ° C., humidity expansion coefficient 25 ppm /% RH or less, water absorption 3% or less, heating shrinkage at 200 ° C. for 1 hour is 0 3. The coverlay according to claim 1 or 2, wherein a polyimide film of 10% or less is used. 接着剤がエポキシ樹脂、アクリル樹脂、及びポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種から主としてなることを特徴とする請求項1〜3記載のカバーレイ。 The coverlay according to claim 1, wherein the adhesive mainly comprises at least one selected from an epoxy resin, an acrylic resin, and a polyimide resin. 無機粒子がフィルム樹脂重量当たり0.3〜0.8重量%の割合で含まれていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のカバーレイ。 The coverlay according to any one of claims 1 to 4, wherein the inorganic particles are contained in an amount of 0.3 to 0.8% by weight per film resin weight. 無機粒子の平均粒子径が0.1〜0.6μmであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のカバーレイ。 The coverlay according to any one of claims 1 to 5, wherein the average particle diameter of the inorganic particles is 0.1 to 0.6 µm. 無機粒子の平均粒子径が0.3〜0.5μmであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のカバーレイ。 The coverlay according to any one of claims 1 to 6, wherein the average particle diameter of the inorganic particles is 0.3 to 0.5 µm. 無機粒子の粒度分布において、粒子径0.15〜0.60μmの粒子が全粒子中80体積%以上の割合を占めることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のカバーレイ。 8. The coverlay according to claim 1, wherein in the particle size distribution of the inorganic particles, particles having a particle size of 0.15 to 0.60 μm account for 80% by volume or more of all particles. フィルムの表面に、無機粒子に起因するが無機粒子が表面に露出していない突起が複数個存在することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のカバーレイ。 The coverlay according to any one of claims 1 to 8, wherein a plurality of protrusions that are caused by inorganic particles but are not exposed on the surface are present on the surface of the film. 複数の突起のうち、高さ2μm以上の突起数が5個/40cm角以下であることを特徴とする請求項9に記載のカバーレイ。 The coverlay according to claim 9, wherein among the plurality of protrusions, the number of protrusions having a height of 2 μm or more is 5 pieces / 40 cm square or less. フィルム厚みが5〜175μmであることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載のカバーレイ。 The coverlay according to claim 1, wherein the film thickness is 5 to 175 μm.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2023162644A1 (en) * 2022-02-25 2023-08-31 株式会社カネカ Polyimide film for graphite sheet, graphite sheet, and production methods therefor

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