JP2008166555A - Flexible printed wiring board - Google Patents

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JP2008166555A JP2006355334A JP2006355334A JP2008166555A JP 2008166555 A JP2008166555 A JP 2008166555A JP 2006355334 A JP2006355334 A JP 2006355334A JP 2006355334 A JP2006355334 A JP 2006355334A JP 2008166555 A JP2008166555 A JP 2008166555A
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Masahiro Kokuni
昌宏 小國
Koichi Sawazaki
孔一 沢崎
Shu Maeda
周 前田
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Du Pont Toray Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flexible printed wiring board in which minute wiring can be formed and which has proper running performance (easy slidability) and will not deform, even if lead-free solder is used. <P>SOLUTION: The flexible printed wiring board contains a polyimide film, principally comprising 3,4'-diaminophenylether and 4,4'-diaminodiphenylether as a diamine component and a pyromellitic acid dihydride as an acid dihydride component, and further containing minute inorganic particles, wherein wiring is formed on one surface or on both surfaces of the polyimide film, with or without an adhesive. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、プリント配線板に関するものであり、更に詳しくは、ポリイミドフィルムを基材として、その片面或いは両面に配線を形成することにより得られる微細な配線形成が可能で、走行性(易滑性)が良好であり、かつ鉛フリー半田を用いても変形しないフレキシブルプリント配線板に関するものである。   The present invention relates to a printed wiring board, and more specifically, it is possible to form fine wiring obtained by forming wiring on one side or both sides of a polyimide film as a base material, and runnability (sliding property). ) And a flexible printed wiring board that does not deform even when lead-free solder is used.

近年では、プリント配線板が広く電子・電機機器に使用されている。中でも、折り曲げ可能なフレキシブルプリント配線板は、パーソナルコンピューターや携帯電話等の折り曲げ部分、ハードディスク等の屈曲が必要な部分に広く使用されており、このようなフレキシブルプリント配線板の基材としては、通常各種のポリイミドフィルムが使用されている。   In recent years, printed wiring boards have been widely used in electronic and electrical equipment. In particular, foldable flexible printed wiring boards are widely used in bent parts of personal computers and mobile phones, and parts that need to be bent such as hard disks. Various polyimide films are used.

ポリイミドフィルムの代表的なものは、酸二無水物成分としてピロメリット酸ニ無水物を用い、ジアミン成分として4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを用いるポリイミドフィルムが挙げられる。このようなポリイミドフィルムは機械的、熱的特性のバランスに優れた構造を有しており、汎用の製品として広く工業的に用いられている。しかしながら、ピロメリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとからなるポリイミドフィルムは曲げやすい長所を有する反面、柔らかすぎて半導体を搭載する際に基材が曲がってしまい、接合不良となるになるという問題点を有していた。また、ピロメリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとからなるポリイミドフィルムは、熱膨張係数(CTE)や吸湿膨張係数(CHE)が大きく、吸水率も高い為、熱や吸水による寸法変化が大きく、微細な配線形成を行った場合に狙い通りの配線幅や配線間を形成できないという問題を有していた。   A typical polyimide film includes a polyimide film using pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component and 4,4'-diaminodiphenyl ether as the diamine component. Such a polyimide film has a structure with an excellent balance between mechanical and thermal properties, and is widely used industrially as a general-purpose product. However, a polyimide film composed of pyromellitic dianhydride and 4,4′-diaminodiphenyl ether has an advantage that it is easy to bend, but it is too soft and the substrate is bent when mounting a semiconductor, resulting in poor bonding. Had the problem of becoming. In addition, polyimide film consisting of pyromellitic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether has a large coefficient of thermal expansion (CTE) and hygroscopic expansion coefficient (CHE), and a high water absorption rate. There is a problem that when the fine wiring is formed, the change is large and the desired wiring width and wiring cannot be formed.

このような問題を解決するための手段としては、ポリイミドフィルム以外の寸法変化が小さい基材、例えば液晶フィルム等を用いてフレキシブルプリント配線板を形成する方法(例えば、特許文献1参照)等が知られているが、液晶フィルムはポリイミドフィルムに比べて耐熱性が劣っており、半田付けの際に基材が変形するという問題を有していた。とりわけ近年は環境の問題から鉛を使用しない鉛フリー半田が広がっているが、鉛フリー半田のほとんどは融点が鉛含有半田よりも高いため、液晶フィルムの基材変形の問題は一層深刻となっていた。   As a means for solving such a problem, a method of forming a flexible printed wiring board using a base material having a small dimensional change other than a polyimide film, for example, a liquid crystal film (see, for example, Patent Document 1) is known. However, the liquid crystal film is inferior in heat resistance to the polyimide film, and has a problem that the base material is deformed during soldering. Especially in recent years, lead-free solders that do not use lead have spread due to environmental problems, but since most of the lead-free solders have a higher melting point than lead-containing solders, the problem of liquid crystal film base deformation has become more serious. It was.

また、ポリイミドフィルムにおいては、プリント配線板用途に用いられる際に重要な実用特性として、フィルムの滑り性(易滑性)が挙げられる。様々なフィルム加工工程において、フィルム支持体(たとえばロール)とフィルムの易滑性、またフィルム同志の易滑性が確保されることにより、各工程における操作性、取り扱い性を向上させ、更にはフィルム上にシワ等の不良個所の発生が回避できるからである。   Moreover, in a polyimide film, the slipperiness (slidability) of a film is mentioned as an important practical characteristic when used for a printed wiring board use. In various film processing steps, the film support (for example, rolls) and the slipperiness of the film and the slipperiness of the films are ensured, thereby improving the operability and handleability in each step. This is because the occurrence of defective parts such as wrinkles can be avoided.

従来のポリイミドフィルムにおける易滑化技術としては、不活性無機化合物(例えばアルカリ土類金属のオルトリン酸塩、第2リン酸カルシウム無水物、ピロリン酸カルシウム、シリカ、タルク)をポリアミック酸に添加する方法(例えば、特許文献2参照)、更には微細粒子によってフィルム表面に微細な突起を形成後、プラズマ処理を施す方法(例えば、特許文献3参照)が知られている。しかし、これらに示される無機粒子は粒子径が大きく、自動光学検査システムには適応しないという問題があった。   As an easy lubrication technique in a conventional polyimide film, a method of adding an inert inorganic compound (for example, an alkaline earth metal orthophosphate, dicalcium phosphate anhydrate, calcium pyrophosphate, silica, talc) to a polyamic acid (for example, Further, a method of performing plasma treatment after forming fine protrusions on the film surface with fine particles (see, for example, Patent Document 3) is known. However, these inorganic particles have a problem that they have a large particle size and are not suitable for automatic optical inspection systems.

さらに、ポリイミドフィルムの表層に平均粒子径が0.01〜100μmの無機質粒子が各粒子の一部をそれぞれ埋設させて保持されていて、一部露出した無機質粒子からなる多数の突起をフィルムの表面層に1×10〜5×10個/mm存在させる方法(例えば、特許文献4参照)が知られている。この方法は、積極的に表面に突起を露出させ、フィルム表面の摩擦係数を低減させることにより、易滑性効果を効果的に得るものであるが、無機質粒子がフィルム表面に一部露出しているため、フィルム表面へのすり傷が発生し、外観不良をきたすといった問題を抱えていた。
特開2000−343610号公報 特開昭62−68852号公報 特開2000−191810号公報 特開平5−25295号公報 特開昭62−68852号公報
In addition, inorganic particles having an average particle diameter of 0.01 to 100 μm are held on the surface layer of the polyimide film by embedding a part of each particle, and a large number of protrusions made of partially exposed inorganic particles are formed on the surface of the film. A method (for example, see Patent Document 4) in which 1 × 10 to 5 × 10 8 pieces / mm 2 exists in a layer is known. This method effectively obtains a slippery effect by actively exposing protrusions on the surface and reducing the coefficient of friction on the film surface, but the inorganic particles are partially exposed on the film surface. For this reason, there was a problem that the film surface was scratched, resulting in poor appearance.
JP 2000-343610 A JP-A-62-68852 JP 2000-191810 A Japanese Patent Laid-Open No. 5-25295 JP-A-62-68852

本発明は、上述した従来技術における問題点の解決を課題として検討した結果達成されたものである。   The present invention has been achieved as a result of studying the solution of the problems in the prior art described above as an issue.

したがって、本発明の目的は、寸法変化と耐熱性の両方を満足して、微細な配線形成が可能で、走行性(易滑性)が良好であり、かつ鉛フリー半田を用いても変形しないフレキシブルプリント配線板を提供することにある。   Therefore, the object of the present invention is to satisfy both dimensional change and heat resistance, enable fine wiring formation, good running property (sliding property), and no deformation even when lead-free solder is used. It is to provide a flexible printed wiring board.

上記の目的を達成するために本発明によれば、
ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなり、かつ粒子径0.01〜1.5μmで平均粒子径0.05〜0.7μmである無機粒子を主体とする粉体がフィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%の割合でフィルム中に分散されているポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面または両面に、接着剤を介して配線が形成されていることを特徴とするフレキシブルプリント配線板、
ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなり、かつ粒子径0.01〜1.5μmで平均粒子径0.05〜0.7μmである無機粒子を主体とする粉体がフィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%の割合でフィルム中に分散されているポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面または両面に、接着剤を介することなく配線が形成されていることを特徴とするフレキシブルプリント配線板、および
ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなり、かつ粒子径0.01〜1.5μmで平均粒子径0.05〜0.7μmである無機粒子を主体とする粉体がフィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%の割合でフィルム中に分散されているポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面に接着剤を介し、他方の片面に接着剤を介することなく、それぞれ配線が形成されていることを特徴とするフレキシブルプリント配線板
が提供される。
In order to achieve the above object, according to the present invention,
3,4′-diaminodiphenyl ether and 4,4′-diaminodiphenyl ether as the diamine component, pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component, and an average particle size of 0.01 to 1.5 μm. Using a polyimide film in which a powder mainly composed of inorganic particles of 0.05 to 0.7 μm is dispersed in the film at a ratio of 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight, A flexible printed wiring board characterized in that wiring is formed on one or both sides via an adhesive,
3,4′-diaminodiphenyl ether and 4,4′-diaminodiphenyl ether as the diamine component, pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component, and an average particle size of 0.01 to 1.5 μm. Using a polyimide film in which a powder mainly composed of inorganic particles of 0.05 to 0.7 μm is dispersed in the film at a ratio of 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight, A flexible printed wiring board characterized in that wiring is formed on one or both sides without an adhesive, and 3,4′-diaminodiphenyl ether and 4,4′-diaminodiphenyl ether as diamine components, acid dianhydride It is mainly composed of pyromellitic dianhydride as a physical component and has a particle size of 0.01 to 1.5 μm. Use a polyimide film in which a powder mainly composed of inorganic particles having an average particle diameter of 0.05 to 0.7 μm is dispersed in a film at a ratio of 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight There is provided a flexible printed wiring board characterized in that a wiring is formed on one side of the polyimide film without an adhesive and on the other side without an adhesive.

さらに、本発明のフレキシブルプリント配線板においては、
前記ポリイミドフィルムにおける各構成成分の割合が、ジアミン成分として10〜50モル%のパラフェニレンジアミン及び50〜90モル%の4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分として100モル%のピロメリット酸二無水物とからなること、
前記ポリイミドフィルムの弾性率が3〜6GPa、50〜200℃での線膨張係数が5〜20ppm/℃、湿度膨張係数が25ppm/%RH以下、吸水率が3%以下、200℃1時間での加熱収縮率が0.10%以下であること、
配線が主として銅からなること、
接着剤が、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、及びポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種から主としてなること、
配線が金属層をエッチングすることにより形成されたものであること、
配線が鍍金により形成されたものであること、
配線の上にカバーレイが積層されていること、
無機粒子の粒度分布において、粒子径0.15〜0.60μmの粒子が全粒子中80体積%以上の割合を占めること、および
無機粒子に起因したフィルム表面突起において、高さ2μm以上の突起数が5個/40cm角以下であること
が、いずれも好ましい条件として挙げられる。
Furthermore, in the flexible printed wiring board of the present invention,
The proportion of each component in the polyimide film is 10 to 50 mol% paraphenylenediamine and 50 to 90 mol% 4,4'-diaminodiphenyl ether as a diamine component, and 100 mol% pyromellitic as an acid dianhydride component. Consisting of acid dianhydride,
The elastic modulus of the polyimide film is 3 to 6 GPa, the linear expansion coefficient at 50 to 200 ° C. is 5 to 20 ppm / ° C., the humidity expansion coefficient is 25 ppm /% RH or less, the water absorption is 3% or less, and 200 ° C. for 1 hour. The heat shrinkage is 0.10% or less,
The wiring is mainly made of copper,
The adhesive mainly comprises at least one selected from an epoxy resin, an acrylic resin, and a polyimide resin;
The wiring is formed by etching a metal layer,
The wiring is formed by plating,
The coverlay is stacked on top of the wiring,
In the particle size distribution of the inorganic particles, particles having a particle size of 0.15 to 0.60 μm account for a proportion of 80% by volume or more of all particles, and the number of protrusions having a height of 2 μm or more in the film surface protrusions caused by the inorganic particles. Is 5 pieces / 40 cm square or less in any case.

本発明によれば、以下に説明するとおり、微細な配線形成が可能で、走行性(易滑性)が良好であり、かつ鉛フリー半田を用いても変形しないフレキシブルプリント配線板を得ることができる。   According to the present invention, as described below, it is possible to obtain a flexible printed wiring board capable of forming fine wiring, having good running properties (slidability), and not deforming even when lead-free solder is used. it can.

以下、本発明について詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明のフレキシブルプリント配線板は、基材としてポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面または両面に配線を形成したものである。   The flexible printed wiring board of the present invention uses a polyimide film as a base material, and wiring is formed on one or both sides of this polyimide film.

本発明において基材として用いるポリイミドフィルムは、ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物を用いて形成してなるポリイミドフィルムである。すなわち、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4、4’−ジアミノジフェニルエーテル、ピロメリット酸二無水物の3種類を必須成分とし、これら3種類のみ、あるいはこれら3種類に加えて少量の別成分を加えることにより得られるポリイミドフィルムである。好ましくはジアミン成分として10〜50モル%の3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び50〜90モル%の4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを用い、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物を用いてなるポリイミドフィルムである。更に好ましくは、弾性率が3〜6GPa、50〜200℃での線膨張係数が5〜20ppm/℃、湿度膨張係数が25ppm/%RH以下、吸水率が3%以下、200℃1時間での加熱収縮率が0.10%以下であるポリイミドフィルムである。   The polyimide film used as a substrate in the present invention is a polyimide formed using 3,4'-diaminodiphenyl ether and 4,4'-diaminodiphenyl ether as the diamine component, and pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component. It is a film. That is, three types of 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, and pyromellitic dianhydride are essential components, and only these three types or a small amount of another component is added to these three types. It is a polyimide film obtained by this. Preferably, 10 to 50 mol% of 3,4′-diaminodiphenyl ether and 50 to 90 mol% of 4,4′-diaminodiphenyl ether are used as the diamine component, and pyromellitic dianhydride is used as the acid dianhydride component. It is the polyimide film which becomes. More preferably, the elastic modulus is 3 to 6 GPa, the linear expansion coefficient at 50 to 200 ° C. is 5 to 20 ppm / ° C., the humidity expansion coefficient is 25 ppm /% RH or less, the water absorption is 3% or less, and 200 ° C. for 1 hour. It is a polyimide film having a heat shrinkage rate of 0.10% or less.

上記のポリイミドフィルムにおいて、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルが多すぎると硬くなり、少なすぎると柔らかすぎるので、1〜70モル%が好ましく、更に好ましくは5〜60モル%、より好ましくは10〜50モル%である。   In said polyimide film, since it will become hard when there are too many 3,4'- diamino diphenyl ethers and it will be too soft when there are too few, 1-70 mol% is preferable, More preferably, it is 5-60 mol%, More preferably, it is 10-50. Mol%.

4,4’−ジアミノジフェニルエーテルが多すぎると柔らかくなり、少なすぎると硬くなるので、20〜99モル%が好ましく、更に好ましくは40〜95モル%、より好ましくは50〜90モル%である。   When the amount of 4,4'-diaminodiphenyl ether is too much, it becomes soft, and when it is too little, it becomes hard, so 20 to 99 mol% is preferable, 40 to 95 mol% is more preferable, and 50 to 90 mol% is more preferable.

ポリイミドフィルムの硬さの指標である弾性率は、3〜6GPaの範囲が好ましく、6GPaを超えると硬すぎ、3GPaより小さいと柔らかすぎる。   The elastic modulus, which is an index of the hardness of the polyimide film, is preferably in the range of 3 to 6 GPa. If it exceeds 6 GPa, it is too hard, and if it is less than 3 GPa, it is too soft.

線膨張係数は5〜20ppm/℃が好ましく、20ppm/℃を超えると熱による寸法変化が大き過ぎ、5ppm/℃より小さくなると、配線に使用される金属との線膨張係数との差が大きくなるため反りが生じてしまう。   The linear expansion coefficient is preferably 5 to 20 ppm / ° C., and if it exceeds 20 ppm / ° C., the dimensional change due to heat is too large, and if it is smaller than 5 ppm / ° C., the difference from the linear expansion coefficient with the metal used for the wiring increases. Therefore, warping occurs.

湿度膨張係数が25ppm/%RHを超えると湿度による寸法変化が大き過ぎるので、湿度膨張係数は25ppm/%RH以下が好ましい。   When the humidity expansion coefficient exceeds 25 ppm /% RH, the dimensional change due to humidity is too large. Therefore, the humidity expansion coefficient is preferably 25 ppm /% RH or less.

吸水率が3%を超えると、吸い込んだ水の影響でフィルムの寸法変化が大きくなるので3%以下が好ましい。   If the water absorption rate exceeds 3%, the dimensional change of the film becomes large due to the influence of the sucked water, so 3% or less is preferable.

200℃1時間の加熱収縮率が0.10%を超えるとやはり熱による寸法変化が大きくなるので、加熱収縮率は0.10%以下が好ましい。   When the heat shrinkage rate at 200 ° C. for 1 hour exceeds 0.10%, the dimensional change due to heat becomes large, so the heat shrinkage rate is preferably 0.10% or less.

本発明におけるポリイミドフィルムには、上述の通り、3,4’−ジアミノジフェニルエーテルや4,4’―ジアミノジフェニルエーテル以外に少量のジアミンを添加してもよい。また、ピロメリット酸二無水物以外に少量の酸二無水物を添加してもよい。具体的なジアミン及び酸二無水物としては以下のものが挙げられるが、これらに限定されない。   As described above, a small amount of diamine may be added to the polyimide film of the present invention in addition to 3,4'-diaminodiphenyl ether and 4,4'-diaminodiphenyl ether. In addition to pyromellitic dianhydride, a small amount of acid dianhydride may be added. Specific examples of diamines and acid dianhydrides include, but are not limited to:

(1)酸二無水物
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3’,3,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンジカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル、ピリジン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−デカヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8−ジメチル−1,2,5,6−ヘキサヒドロナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,6−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,7−ジクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−テトラクロロ−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,8,9,10−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、3,4,3’,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物等。
(1) Acid dianhydride 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3 ′, 3,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenedicarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether, pyridine-2,3,5 6-tetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-deca Hydronaphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,5,6-hexahydronaphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,6-dichloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic Acid dianhydride, 2,7-dichloro B-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-tetrachloro-1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,8,9 , 10-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, , 1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis ( 3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ′, 4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, and the like.

(2)ジアミン
パラフェニレンジアミン、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、メタフェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3,4’−ジアミノジフェニルプロパン、3,3’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、ベンチジン、4,4’−ジアミノジフェニルサルファイド、3,4’−ジアミノジフェニルサルファイド、3,3’−ジアミノジフェニルサルファイド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、2,6−ジアミノピリジン、ビス−(4−アミノフェニル)ジエチルシラン、3,3’−ジクロロベンチジン、ビス−(4−アミノフェニル)エチルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)フェニルホスフィノキサイド、ビス−(4−アミノフェニル)−N−フェニルアミン、ビス−(4−アミノフェニル)−N−メチルアミン、1,5−ジアミノナフタレン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,4’−ジメチル−3’,4−ジアミノビフェニル3,3’−ジメトキシベンチジン、2,4−ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、ビス(p−β−アミノ−t−ブチルフェニル)エーテル、p−ビス(2−メチル−4−アミノペンチル)ベンゼン、p−ビス−(1,1−ジメチル−5−アミノペンチル)ベンゼン、m−キシリレンジアミン、p−キシリレンジアミン、1,3−ジアミノアダマンタン、3,3’−ジアミノ−1,1’−ジアミノアダマンタン、3,3’−ジアミノメチル1,1’−ジアダマンタン、ビス(p−アミノシクロヘキシル)メタン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3−メチルヘプタメチレンジアミン、4,4’−ジメチルヘプタメチレンジアミン、2,11−ジアミノドデカン、1,2−ビス(3−アミノプロポキシ)エタン、2,2−ジメチルプロピレンジアミン、3−メトキシヘキサエチレンジアミン、2,5−ジメチルヘキサメチレンジアミン、2,5−ジメチルヘプタメチレンジアミン、5−メチルノナメチレンジアミン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、1,12−ジアミノオクタデカン、2,5−ジアミノ−1,3,4−オキサジアゾール、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、N−(3−アミノフェニル)−4−アミノベンズアミド、4−アミノフェニル−3−アミノベンゾエート等。
(2) Diamine Paraphenylenediamine, 3,3′-diaminodiphenyl ether, metaphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 3,4′-diaminodiphenylpropane, 3,3′-diaminodiphenylpropane, 4,4 '-Diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, benzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 2,6-diaminopyridine, bis- (4-aminophenyl) diethylsilane, 3,3′- Dichlorobenzidine, bis- (4 Aminophenyl) ethylphosphinoxide, bis- (4-aminophenyl) phenylphosphinoxide, bis- (4-aminophenyl) -N-phenylamine, bis- (4-aminophenyl) -N-methylamine 1,5-diaminonaphthalene, 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,4′-dimethyl-3 ′, 4-diaminobiphenyl 3,3′-dimethoxybenzidine, 2,4- Bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, p-bis (2-methyl-4-aminopentyl) benzene, p-bis- ( 1,1-dimethyl-5-aminopentyl) benzene, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 1,3-diaminoadamantane, 3,3′-diamino 1,1'-diaminoadamantane, 3,3'-diaminomethyl 1,1'-diadamantane, bis (p-aminocyclohexyl) methane, hexamethylenediamine, heptamethylenediamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine, decamethylene Diamine, 3-methylheptamethylenediamine, 4,4'-dimethylheptamethylenediamine, 2,11-diaminododecane, 1,2-bis (3-aminopropoxy) ethane, 2,2-dimethylpropylenediamine, 3-methoxy Hexaethylenediamine, 2,5-dimethylhexamethylenediamine, 2,5-dimethylheptamethylenediamine, 5-methylnonamethylenediamine, 1,4-diaminocyclohexane, 1,12-diaminooctadecane, 2,5-diamino-1, 3,4-oxa Azole, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, N-(3- aminophenyl) -4-aminobenzamide, 4-aminophenyl-3-aminobenzoate and the like.

ポリイミドフィルムを製造する際には、通常まずジアミンと酸二無水物との重合から前駆体であるポリアミック酸を合成し、しかる後にフィルム状にしながら、或いはフィルム状にした後にイミド化してポリイミドフィルムとする。本発明においては、ジアミン成分を最低2種類、酸二無水物を最低1種類用いるが、これらの成分を一度に混合してランダムに重合させてもよく、また適当な組み合わせで順に混合し、ブロック重合してもよい。例えば、まず3,4’−ジアミノジフェニルエーテルとピロメリット酸二無水物とを反応させ、しかる後に4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを加えるブロック重合、あるいはまず4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとピロメリット酸二無水物とを反応させ、しかる後に3,4’−ジアミノジフェニルエーテルを加えるブロック重合などが挙げられる。重合の際に用いる溶媒としては、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N−メチルホルムアミド、ジメチルスルホキシドなどが挙げられるが、これらに限定されない。また、β−ピコリンのような第三級アミン類に代表される各種触媒、無水酢酸のような有機カルボン酸無水物に代表される各種脱水剤などを適宜使用してもよい。   When manufacturing a polyimide film, usually, first, a polyamic acid that is a precursor is synthesized from polymerization of diamine and acid dianhydride, and then formed into a film, or after being formed into a film and then imidized to form a polyimide film. To do. In the present invention, at least two types of diamine components and at least one type of acid dianhydride are used, but these components may be mixed at once and polymerized at random, or may be mixed in order in an appropriate combination and blocked. Polymerization may be performed. For example, block polymerization in which 3,4′-diaminodiphenyl ether is first reacted with pyromellitic dianhydride, and then 4,4′-diaminodiphenyl ether is added, or first, 4,4′-diaminodiphenyl ether and pyromellitic acid two are added. Examples thereof include block polymerization in which an anhydride is reacted and then 3,4'-diaminodiphenyl ether is added. Examples of the solvent used in the polymerization include, but are not limited to, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N-methylformamide, dimethyl sulfoxide and the like. Further, various catalysts typified by tertiary amines such as β-picoline, various dehydrating agents typified by organic carboxylic acid anhydrides such as acetic anhydride, and the like may be used as appropriate.

本発明で使用するポリイミドフィルムにおいては、走行性(易滑性)を良好なものにするために、無機粒子を添加することが必須である。ここで言う走行性とは、静摩擦係数に現れてくるものであり、静摩擦係数が1を越えると極端に走行性が悪くなるので、静摩擦係数を1未満にすることを目的としている。   In the polyimide film used in the present invention, it is essential to add inorganic particles in order to improve the running property (slidability). The travelability mentioned here appears in the static friction coefficient, and when the static friction coefficient exceeds 1, the travelability is extremely deteriorated. Therefore, the purpose is to make the static friction coefficient less than 1.

このような無機粒子においては、粉体粒子径が0.01〜1.5μmの範囲内にあること、かつ平均粒子径が0.05μm〜0.7μmの範囲、より好ましくは0.1〜0.6μmの範囲、さらにより好ましくは0.3〜0.5μmの範囲にある場合には、該ポリイミドフィルムの自動光学検査システムでの検査に問題なく適応できる。また、フィルムの機械物性等の低下を発生させずに使用可能である。逆に、これらの範囲より平均粒子径が下回ると、フィルムへの充分な易滑性が得られず、上回ると、自動検査システムで該無機粒子が異物と判断され障害を来すことになるため好ましくない。   In such inorganic particles, the powder particle diameter is in the range of 0.01 to 1.5 μm, and the average particle diameter is in the range of 0.05 μm to 0.7 μm, more preferably 0.1 to 0. When the thickness is in the range of .6 μm, and more preferably in the range of 0.3 to 0.5 μm, the polyimide film can be adapted to inspection with an automatic optical inspection system without any problem. Further, the film can be used without causing deterioration of mechanical properties of the film. Conversely, if the average particle size is below these ranges, sufficient slipperiness to the film cannot be obtained, and if it exceeds, the inorganic particles will be judged as foreign matter by the automatic inspection system and cause trouble. It is not preferable.

無機粒子の含有量は、フィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%が好ましく、0.3〜0.8重量%の割合で含まれていることがより好ましい。含有量が0.1重量%以下では、フィルム表面の突起数が不足することによってフィルムへの充分な易滑性が得られないばかりか、搬送性が悪化し、ロールに巻いた時のフィルム巻姿も悪化するため好ましくない。また、0.9重量%以上であると、フィルムの易滑性は良化するものの、粒子の異常凝集による粗大突起が増加し、これが結果的に自動検査システムで異物と判断され障害を来すことになるため好ましくない。   The content of the inorganic particles is preferably from 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight, and more preferably from 0.3 to 0.8% by weight. When the content is 0.1% by weight or less, not only the film surface has a sufficient number of protrusions, but sufficient slipperiness to the film cannot be obtained. It is not preferable because the appearance deteriorates. On the other hand, if it is 0.9% by weight or more, the slipperiness of the film will be improved, but the coarse protrusions due to abnormal aggregation of particles will increase, and this will be judged as a foreign object by the automatic inspection system and cause trouble. This is not preferable.

無機粒子の含有量は、フィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%が好ましく、0.3〜0.8重量%の割合で含まれていることがより好ましい。含有量が0.1重量%以下では、フィルム表面の突起数が不足することによってフィルムへの充分な易滑性が得られないばかりか、搬送性が悪化し、ロールに巻いた時のフィルム巻姿も悪化するため好ましくない。また、0.9重量%以上であると、フィルムの易滑性は良化するものの、粒子の異常凝集による粗大突起が増加し、これが結果的に自動検査システムで異物と判断され障害を来すことになるため好ましくない。   The content of the inorganic particles is preferably from 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight, and more preferably from 0.3 to 0.8% by weight. When the content is 0.1% by weight or less, not only the film surface has a sufficient number of protrusions, but sufficient slipperiness to the film cannot be obtained. It is not preferable because the appearance deteriorates. On the other hand, if it is 0.9% by weight or more, the slipperiness of the film will be improved, but the coarse protrusions due to abnormal aggregation of particles will increase, and this will be judged as a foreign object by the automatic inspection system and cause trouble. This is not preferable.

無機粒子による表面突起により、フィルム表面積も拡大し、十分に粗面化されアンカー効果が見られ接着性を損なうこともなくなる。   The surface protrusion due to the inorganic particles also increases the film surface area, and the surface is sufficiently roughened to show an anchor effect without impairing the adhesiveness.

無機粒子の粒度分布においては狭い分布であること、つまり類似の大きさの粒子が全粒子に占める割合が高い方が良く、具体的には粒子径0.15〜0.60μmの粒子が全粒子中80体積%以上の割合を占めることが好ましい。この範囲を下回り0.15μm以下の粒子の占める割合が高くなると、フィルムの易滑性が低下するため好ましくない。また、無機粒子送液の際には5μmカットフィルターや10μmカットフィルターにより粗粒を除去することが可能であるが、0.60μm以上の粒子の占める割合が高くなると、フィルターの目詰まりを頻発させてしまい、工程安定性を損ねるばかりか、粒子の粗大凝集が生じやすくなるため好ましくない。   It is better that the inorganic particles have a narrow particle size distribution, that is, the proportion of particles having similar sizes in the total particles is preferably high. Specifically, particles having a particle size of 0.15 to 0.60 μm are all particles. It is preferable to occupy a ratio of 80% by volume or more. If the proportion of particles below this range and 0.15 μm or less increases, the slipperiness of the film decreases, which is not preferable. In addition, it is possible to remove coarse particles with a 5 μm cut filter or a 10 μm cut filter when feeding inorganic particles, but if the proportion of particles of 0.60 μm or more increases, the filter will frequently clog. As a result, not only the process stability is impaired, but also coarse aggregation of particles tends to occur.

無機粒子に起因したフィルム表面突起においては、高さ2μm以上の突起数が5個/40cm角以下であること、より好ましくは3個/40cm角以下、さらにより好ましくは1個/40cm角以下であることが望ましい。これよりも多いと自動検査システムで該無機粒子が異物と判断され障害を来すことになるため好ましくない。   In the film surface protrusion caused by the inorganic particles, the number of protrusions having a height of 2 μm or more is 5 pieces / 40 cm square or less, more preferably 3 pieces / 40 cm square or less, and even more preferably 1 piece / 40 cm square or less. It is desirable to be. If it is more than this, it is not preferable because the inorganic particles are judged as foreign substances by the automatic inspection system and cause trouble.

このような無機粒子を、ポリイミドの製造に使用される有機溶媒と同じ極性溶媒に分散させたスラリーを、ポリイミド製造工程中のポリアミド酸溶液に添加した後、脱環化脱溶媒させてポリイミドフィルムを得ることが好ましいが、ポリアミド酸重合前の有機溶媒中に無機粒子スラリーを添加した後、ポリアミド酸重合、脱環化脱溶媒を経てポリイミドフィルムを得ることなど、脱環化脱溶媒前の工程であればいかなる工程においても無機粒子スラリーを添加することが可能である。   A slurry in which such inorganic particles are dispersed in the same polar solvent as the organic solvent used for the production of polyimide is added to the polyamic acid solution in the polyimide production process, followed by decyclization and desolvation to obtain a polyimide film. Although it is preferable to obtain, after adding inorganic particle slurry in the organic solvent before polyamic acid polymerization, polyamic acid polymerization, decyclization and desolvation, etc., to obtain a polyimide film, etc. in the step before decyclization and desolvation It is possible to add the inorganic particle slurry in any process.

次に、ポリイミドの重合方法について説明する。重合方法は公知のいずれの方法で行ってもよく、例えば(1)〜(5)が挙げられる。
(1)先にジアミン成分全量を溶媒中に入れ、その後酸二無水物成分をジアミン成分全量と当量になるよう加えて重合する方法。
(2)先に酸二無水物成分全量を溶媒中に入れ、その後ジアミン成分を酸二無水物成分と等量になるよう加えて重合する方法。
(3)一方のジアミン成分を溶媒中に入れた後、反応成分に対して酸二無水物成分が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、もう一方のジアミン化合物を添加し、続いて酸二無水物成分を全ジアミン成分と全酸二無水物成分とがほぼ等量になるよう添加して重合する方法。
(4)酸二無水物成分を溶媒中に入れた後、反応成分に対して一方のジアミン成分が95〜105モル%となる比率で反応に必要な時間混合した後、酸二無水物成分を添加し、続いてもう一方のジアミン化合物を全ジアミン成分と全酸二無水物成分とがほぼ等量になるよう添加して重合する方法。
(5)溶媒中で一方のジアミン成分と酸二無水物成分をどちらかが過剰になるよう反応させてポリアミド酸溶液(A)を調整し、別の溶媒中でもう一方のジアミン成分と酸二無水物成分をどちらかが過剰になるよう反応させポリアミド酸溶液(B)を調整する。こうして得られた各ポリアミド酸溶液(A)と(B)を混合し、重合を完結する方法。(この時ポリアミド酸溶液(A)を調整するに際し芳香族ジアミン成分が過剰の場合、ポリアミド酸溶液(B)では芳香族テトラカルボン酸成分を過剰に、またポリアミド酸溶液(A)で芳香族テトラカルボン酸成分が過剰の場合、ポリアミド酸溶液(B)では芳香族ジアミン成分を過剰にし、ポリアミド酸溶液(A)と(B)を混ぜ合わせこれら反応に使用される全芳香族ジアミン成分と全芳香族テトラカルボン酸類成分とがほぼ等量になるよう調整する。)
等が挙げられる。
Next, a method for polymerizing polyimide will be described. The polymerization method may be performed by any known method, and examples thereof include (1) to (5).
(1) A method in which the total amount of the diamine component is first put in a solvent, and then the acid dianhydride component is added so as to be equivalent to the total amount of the diamine component and polymerized.
(2) A method in which the total amount of the acid dianhydride component is first put in a solvent, and then the diamine component is added in an amount equivalent to that of the acid dianhydride component to polymerize.
(3) After putting one diamine component in a solvent, after mixing for the time required for reaction in the ratio which an acid dianhydride component becomes 95-105 mol% with respect to the reaction component, the other diamine compound is added. And then polymerizing by adding the acid dianhydride component so that the total diamine component and the total acid dianhydride component are substantially equal.
(4) After the acid dianhydride component is put in the solvent, the diamine component is mixed for a time necessary for the reaction at a ratio of 95 to 105 mol% of one diamine component with respect to the reaction component, and then the acid dianhydride component is added. And then polymerizing the other diamine compound so that the total diamine component and total acid dianhydride component are approximately equal.
(5) A polyamic acid solution (A) is prepared by reacting one of the diamine components and the acid dianhydride component in a solvent so that either one is excessive, and the other diamine component and the acid dianhydride in another solvent. The polyamic acid solution (B) is prepared by reacting either one of the anhydride components in excess. A method of mixing the polyamic acid solutions (A) and (B) thus obtained to complete the polymerization. (At this time, when the polyamic acid solution (A) is prepared, if the aromatic diamine component is excessive, the polyamic acid solution (B) contains excessive aromatic tetracarboxylic acid component, and the polyamic acid solution (A) contains aromatic tetracarboxylic acid component. When the carboxylic acid component is excessive, the polyamic acid solution (B) makes the aromatic diamine component excessive, mixes the polyamic acid solutions (A) and (B), and the wholly aromatic diamine component and total fragrance used in these reactions. (Adjust so that the amount of the tetracarboxylic acid component in the group is approximately equal.)
Etc.

なお、重合方法はこれらに限定されることはなく、その他公知の方法を用いてもよい。   The polymerization method is not limited to these, and other known methods may be used.

こうして得られるポリアミック酸溶液は、固形分を5〜40重量%、好ましくは10〜30重量%を含有しており、またその粘度はブルックフィールド粘度計による測定値で10〜2000Pa・s、好ましくは、100〜1000Pa・sのものが、安定した送液のために好ましく使用される。また、有機溶媒溶液中のポリアミック酸は部分的にイミド化されていてもよい。   The polyamic acid solution thus obtained contains a solid content of 5 to 40% by weight, preferably 10 to 30% by weight, and its viscosity is 10 to 2000 Pa · s as measured by a Brookfield viscometer, preferably 100-1000 Pa · s is preferably used for stable liquid feeding. Moreover, the polyamic acid in the organic solvent solution may be partially imidized.

次いで、ポリアミック酸溶液を口金から押し出し、例えばドラム上やベルト上にキャストしてフィルムの形状とし、しかる後にドラムあるいはベルトから引き剥がし、適当な温度をかけてポリイミドに変換させる。ドラムあるいはベルト上にキャストする際、適当な温度をかけてイミド化や溶媒除去を促進させてもよい。   Next, the polyamic acid solution is extruded from the die, cast onto a drum or belt, for example, to form a film, then peeled off from the drum or belt, and converted to polyimide by applying an appropriate temperature. When casting on a drum or belt, imidization and solvent removal may be promoted by applying an appropriate temperature.

ポリイミドフィルムの厚みについては特に限定されないが、好ましくは1〜225μm、より好ましくは3〜175μm、更に好ましくは5〜125μmである。厚すぎるとロール状にした際に巻きずれが発生しやすくなり、薄すぎるとしわなどが入りやすくなる。   Although it does not specifically limit about the thickness of a polyimide film, Preferably it is 1-225 micrometers, More preferably, it is 3-175 micrometers, More preferably, it is 5-125 micrometers. When it is too thick, it becomes easy to cause winding slip when it is made into a roll, and when it is too thin, wrinkles and the like are likely to enter.

本発明においては、上記のようなポリイミドフィルムの片面あるいは両面に、接着剤を介して、あるいは接着剤無しで配線を形成し、フレキシブルプリント配線板を形成する。   In the present invention, wiring is formed on one side or both sides of the polyimide film as described above via an adhesive or without an adhesive to form a flexible printed wiring board.

接着剤を用いる場合の接着剤としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、及びポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種が好ましい。これらの中でも、特にエポキシ樹脂やポリイミド樹脂が好ましい。これらの接着剤には、柔軟性を持たせる目的で、各種ゴム、可塑剤、硬化剤、リン系等の難燃剤、その他の各種添加物が付与されていてもよい。また、ポリイミド樹脂は主として熱可塑性ポリイミドが用いられることが多いが、熱硬化性ポリイミドであってもよい。ポリイミド樹脂の場合、通常は溶媒不要な場合が多いが、適当な有機溶媒に可溶なポリイミドを用いてもよい。   As an adhesive in the case of using an adhesive, at least one selected from an epoxy resin, an acrylic resin, and a polyimide resin is preferable. Among these, epoxy resins and polyimide resins are particularly preferable. For the purpose of imparting flexibility, these adhesives may be provided with various rubbers, plasticizers, curing agents, phosphorus-based flame retardants, and other various additives. The polyimide resin is mainly thermoplastic polyimide in many cases, but may be thermosetting polyimide. In the case of a polyimide resin, a solvent is usually unnecessary, but a polyimide soluble in an appropriate organic solvent may be used.

配線形成の方法としては、サブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法等が挙げられる。サブトラクティブ法とは、接着剤を介してポリイミドフィルム上に銅箔を貼り、銅箔を配線パターン状にエッチング処理することで配線を形成する方法、或いは接着剤を介さずに直接銅層をポリイミドフィルム上に形成し、銅層を配線パターン状にエッチング処理することで配線を形成する方法を意味する。   Examples of the wiring formation method include a subtractive method, a semi-additive method, a full additive method, and the like. The subtractive method is a method of forming a wiring by attaching a copper foil on a polyimide film via an adhesive and etching the copper foil into a wiring pattern. Alternatively, the copper layer is polyimide directly without using an adhesive. It means a method of forming a wiring by forming on a film and etching a copper layer into a wiring pattern.

銅箔を貼り付ける場合の銅箔としては、圧延銅箔又は電解銅箔が用いられる。   A rolled copper foil or an electrolytic copper foil is used as the copper foil when the copper foil is attached.

また、配線を形成する際には、通常フォトレジスト層を銅箔上に形成し、このフォトレジスト層を選択露光及び現像処理することで配線状にパターニングし、パターニングしたフォトレジスト層をエッチングマスクとして銅をエッチング処理し、その後にフォトレジスト層を完全に除去する。ここで、フォトレジストとしては、液状あるいはドライフィルムレジストが用いられ、エッチング液としては、塩化鉄系、塩化銅系、過酸系等の溶液が用いられる。   Also, when forming wiring, a photoresist layer is usually formed on a copper foil, and this photoresist layer is subjected to selective exposure and development to be patterned into a wiring shape, and the patterned photoresist layer is used as an etching mask. The copper is etched and then the photoresist layer is completely removed. Here, a liquid or dry film resist is used as the photoresist, and a solution such as iron chloride, copper chloride, or peracid is used as the etchant.

セミアディティブ法とは、まずポリイミドフィルム上に直接、或いは接着剤を介してシード層となる金属層を形成し、このシード層の上にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層を選択露光及び現像処理することで配線状にパターニングし、パターニングしたフォトレジスト層を鍍金マスクとしてシード層上に無電解鍍金或いは電解鍍金にて配線を形成し、その後にフォトレジストを完全に除去し、最後に配線以外の部分のシード層をエッチング除去する方法を意味する。ここで、シード層金属としては、ニッケル、クロム、アルミニウム、鉛、銅、錫、亜鉛、鉄、銀、金等が単独或いは合金として使用される。また、フォトレジストとしては液状あるいはドライフィルムレジストが用いられ、無電解鍍金或いは電解鍍金の金属としては鉛、銅、ニッケル、クロム、錫、亜鉛、銀、金等が用いられ、エッチング液としては、シード層の金属に合わせたエッチング液が用いられる。   In the semi-additive method, a metal layer to be a seed layer is first formed directly on a polyimide film or via an adhesive, a photoresist layer is formed on the seed layer, and the photoresist layer is selectively exposed and developed. By patterning into a wiring shape by processing, using the patterned photoresist layer as a plating mask, wiring is formed on the seed layer by electroless plating or electrolytic plating, and then the photoresist is completely removed, and finally other than wiring This means that the seed layer is removed by etching. Here, as the seed layer metal, nickel, chromium, aluminum, lead, copper, tin, zinc, iron, silver, gold or the like is used alone or as an alloy. In addition, a liquid or dry film resist is used as a photoresist, lead, copper, nickel, chromium, tin, zinc, silver, gold or the like is used as a metal for electroless plating or electrolytic plating, and as an etching solution, An etchant that matches the metal of the seed layer is used.

フルアディティブ法とは、ポリイミドフィルム上に直接、或いは接着剤の上にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層を選択露光及び現像処理することで配線状にパターニングし、パターニングしたフォトレジスト層を鍍金マスクとして無電解鍍金にて配線を形成し、その後にフォトレジストを完全に除去する方法を意味する。ここでフォトレジストとしては液状あるいはドライフィルムレジストが用いられ、無電解鍍金の金属としては銅、ニッケル、鉛、クロム、錫、亜鉛、銀、金等が用いられる。   In the full additive method, a photoresist layer is formed directly on a polyimide film or on an adhesive, and the photoresist layer is subjected to selective exposure and development to pattern it into a wiring, and the patterned photoresist layer is plated. It means a method of forming a wiring by electroless plating as a mask and then completely removing the photoresist. Here, a liquid or dry film resist is used as the photoresist, and copper, nickel, lead, chromium, tin, zinc, silver, gold or the like is used as the electroless plating metal.

上記のような各種配線形成の方法に用いられる金属としては、主として銅が好ましい。形成された配線は電気・電子回路として用いられるが、銅よりも抵抗の高い金属では、電気伝導性が悪なるため好ましくない。また、銅に比べて密度が疎になる金属では、やはり電気伝導性が悪くなるため好ましくない。但し、銅は錆びやすく腐食されやすい欠点も有しているので、銅を保護する目的で、錫や鉛、アルミニウム、ニッケル、銀、金等の金属を銅の上に形成することは任意である。また、銅はポリイミドフィルム中に拡散しやすいため、銅の拡散を防ぐ目的で、ニッケルやクロム、銀、金、錫等をポリイミドフィルムと銅との間にバリア層としてかませることも任意である。   As a metal used for the above-mentioned various wiring formation methods, copper is mainly preferred. The formed wiring is used as an electric / electronic circuit, but a metal having a higher resistance than copper is not preferable because electric conductivity is deteriorated. In addition, a metal having a density lower than that of copper is not preferable because electric conductivity is deteriorated. However, since copper also has the disadvantage of being easily rusted and corroded, it is optional to form a metal such as tin, lead, aluminum, nickel, silver, or gold on copper for the purpose of protecting copper. . Also, since copper easily diffuses into the polyimide film, nickel, chromium, silver, gold, tin, or the like can be arbitrarily placed as a barrier layer between the polyimide film and copper in order to prevent copper diffusion. .

以上のように形成されたフレキシブル配線板は、そのまま用いてもよいが、好ましくは保護の為にカバーレイを貼り付けて用いることが好ましい。この場合のカバーレイは、通常ポリイミドフィルム上に接着剤層が形成されたものを用いる。ここで、カバーレイに用いられるポリイミドフィルムは特に限定されないが、好ましくはフレキシブル配線板に用いたものと同一あるいは類似の組成を有するポリイミドフィルムを用いるのがよい。また、カバーレイの接着剤としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等が用いられる。カバーレイは配線全部を保護してもよく、また半導体搭載部分等を除いた部分だけを保護してもよい。カバーレイはあらかじめポリイミドフィルムの上に接着剤が塗布されたものを、配線板に貼り合わせるのが通常であるが、場合によっては配線板の上に接着剤を塗布し、その後にポリイミドフィルムを貼り付けてもよい。   The flexible wiring board formed as described above may be used as it is, but preferably it is used with a coverlay attached for protection. In this case, a coverlay in which an adhesive layer is formed on a polyimide film is usually used. Here, the polyimide film used for the coverlay is not particularly limited, but a polyimide film having the same or similar composition as that used for the flexible wiring board is preferably used. Moreover, as a coverlay adhesive, an epoxy resin, an acrylic resin, a polyimide resin, or the like is used. The coverlay may protect the entire wiring, or may protect only the portion excluding the semiconductor mounting portion. The coverlay is usually bonded to the wiring board with a polyimide film pre-applied on the wiring board. In some cases, the adhesive is applied to the wiring board, and then the polyimide film is applied. May be attached.

以下、実施例にて具体的に説明する。なお、実施例で用いるポリイミドフィルムは合成例1〜4の方法により製膜したものを用いるが、これらに限定されない。また、比較例1〜4で用いるポリイミドフィルムは合成例5〜8により製膜したものを用いる。更に、実施例で用いる接着剤としては、合成例9〜10により調合したものを用いるが、これらに限定されない。なお、フィルム厚さ、線膨張係数、弾性率、湿度膨張係数、吸水率、加熱収縮率、摩擦係数(静摩擦係数)、自動光学検査(AOI)、無機粒子の評価、異常突起数については以下の(1)〜(10)の方法で測定した。   Hereinafter, specific examples will be described. In addition, although the polyimide film used by the Example uses what was formed into a film by the method of the synthesis examples 1-4, it is not limited to these. Moreover, the polyimide film used by Comparative Examples 1-4 uses what was formed by the synthesis examples 5-8. Furthermore, as an adhesive used in the examples, those prepared in Synthesis Examples 9 to 10 are used, but are not limited thereto. The film thickness, linear expansion coefficient, elastic modulus, humidity expansion coefficient, water absorption rate, heat shrinkage rate, friction coefficient (static friction coefficient), automatic optical inspection (AOI), inorganic particle evaluation, and the number of abnormal protrusions are as follows. It measured by the method of (1)-(10).

(1)フィルム厚
Mitutoyo製ライトマチック(Series318 )を使用して測定した。
(1) Film thickness It measured using the lightmatic (Series318) made from Mitutoyo.

(2)線膨張係数
島津製作所製TMA−50を使用し、測定温度範囲:50〜200℃、昇温速度:10℃/minの条件で測定した。
(2) Linear expansion coefficient TMA-50 manufactured by Shimadzu Corporation was used, and measurement was performed under the conditions of a measurement temperature range: 50 to 200 ° C and a temperature increase rate: 10 ° C / min.

(3)弾性率
エー・アンド・デイ製RTM−250を使用し、引張速度:100mm/minの条件で測定した。
(3) Elastic modulus RTM-250 manufactured by A & D was used, and measurement was performed under the condition of a tensile speed of 100 mm / min.

(4)湿度膨張係数
25℃にてTM7000炉内にフィルムを取り付け、炉内にドライガスを送り込んで乾燥させた後、HC−1型水蒸気発生装置からの給気によりTM7000炉内を90%RHに加湿させ、その間の寸法変化から湿度膨張係数を求めた。
(4) Humidity expansion coefficient A film was installed in a TM7000 furnace at 25 ° C., dried by sending dry gas into the furnace, and then the inside of the TM7000 furnace was 90% RH by supplying air from an HC-1 type steam generator. The humidity expansion coefficient was determined from the dimensional change during the period.

(5)吸水率
98%RH雰囲気下のデシケーター内に2日間静置し、乾燥時重量に対しての増加重量%で評価した。
(5) Water absorption rate It left still in the desiccator of 98% RH atmosphere for 2 days, and evaluated by the weight increase with respect to the weight at the time of drying.

(6)加熱収縮率
20cm×20cmのフィルムを用意し、25℃、60%RHに調整された部屋に2日間放置した後のフィルム寸法(L1)を測定し、続いて200℃60分間加熱した後再び25℃、60%RHに調整された部屋に2日間放置した後フィルム寸法(L2)を測定し、下記式計算により評価した。
加熱収縮率 = −[(L2−L1)/L1]×100
(6) Heat shrinkage rate A film of 20 cm × 20 cm was prepared, and the film size (L1) after being left in a room adjusted to 25 ° C. and 60% RH for 2 days was measured, followed by heating at 200 ° C. for 60 minutes. Thereafter, the film size (L2) was measured after being left in a room adjusted to 25 ° C. and 60% RH for 2 days, and evaluated by the following formula calculation.
Heat shrinkage rate = − [(L2−L1) / L1] × 100

(7)摩擦係数(静摩擦係数)
フィルムの処理面同士を重ね合わせ、JIS K−7125(1999)に基づき測定した。すなわち、スベリ係数測定装置Slip Tester(株式会社テクノニーズ製)を使用し、フィルム処理面同士を重ね合わせて、その上に200gのおもりを載せ、フィルムの一方を固定、もう一方を100mm/分で引っ張り、摩擦係数を測定した。
(7) Friction coefficient (Static friction coefficient)
The processed surfaces of the films were overlapped and measured according to JIS K-7125 (1999). That is, using a slip coefficient measuring apparatus Slip Tester (manufactured by Technonez Co., Ltd.), the film processing surfaces are overlapped with each other, a 200 g weight is placed thereon, one of the films is fixed, and the other is fixed at 100 mm / min. Tensile and friction coefficients were measured.

(8)自動光学検査(AOI)
オルボテックのSK−75を使用してベースフィルムを検査した。異物と微粒子の区別の付く場合を「○」評価、一方異物と微粒子の大きさが類似していて、両者の区別が付かない場合を「×」評価とした。
(8) Automatic optical inspection (AOI)
The base film was inspected using an Orbotech SK-75. The case where a foreign substance and a fine particle could be distinguished was evaluated as “◯”, while the case where the size of the foreign substance and the fine particle was similar and could not be distinguished from each other was evaluated as a “x” evaluation.

(9)無機粒子の評価
堀場製作所のレーザ回析/散乱式粒度分布測定装置LA−910を用い、極性溶媒に分散させた試料を測定、解析した結果から粒子径範囲、平均粒子径、粒子径0.15〜0.60μmの全粒子中に対する占有率を読み取った。
(9) Evaluation of inorganic particles Using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus LA-910 manufactured by Horiba, Ltd., a sample dispersed in a polar solvent was measured and analyzed, and the particle size range, average particle size, and particle size were determined. The occupancy ratio for all particles of 0.15 to 0.60 μm was read.

(10)異常突起数
フィルム40cm角面積当たりにおいて、高さ2μm以上の突起数をカウントした。高さ測定は、レーザーテック(株)製走査型レーザー顕微鏡「1LM15W」にて、ニコン製100倍レンズ(CF Plan 100×/0.95 ∞/0 EPI)を用いて、「SURFACE1」モードにてフィルム表面を撮影・解析することにより確認した。
(10) Number of abnormal protrusions The number of protrusions having a height of 2 μm or more was counted per 40 cm square area of the film. The height is measured with a scanning laser microscope “1LM15W” manufactured by Lasertec Co., Ltd., using a Nikon 100 × lens (CF Plan 100 × / 0.95∞ / 0 EPI) in the “SURFACE1” mode. This was confirmed by photographing and analyzing the surface.

(合成例1)
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)/3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)をモル比で4/3/1の割合で混合し、DMAc(N,N−ジメチルアセトアミド)18.5重量%溶液にして重合し、ポリアミド酸を得た。無水酢酸(分子量102.09)とイソキノリンからなる転化剤を、ポリアミド酸溶液に対し50重量%の割合で混合、攪拌した。この時、ポリアミド酸のアミド酸基に対し、無水酢酸及びイソキノリンがそれぞれ2.0及び0.4モル当量になるように調製した。この混合物に、粒径が0.01μm以上1.5μm以下に収まっており、平均粒子径が0.30μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中87.2体積%のシリカのN,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.3重量%添加し、十分攪拌、分散させた後、T型スリットダイより回転する100℃のステンレス製ドラム上にキャストし、残揮発成分が55重量%、厚み約0.20mmの自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをドラムから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて200℃×30秒、350℃×30秒、550℃×30秒処理し、厚さ25μmのポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 1)
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) / 3,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) in a molar ratio of 4/3/1. The mixture was mixed at a ratio and polymerized with a DMAc (N, N-dimethylacetamide) 18.5 wt% solution to obtain polyamic acid. A conversion agent composed of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight to the polyamic acid solution. At this time, it prepared so that acetic anhydride and isoquinoline might be 2.0 and 0.4 molar equivalent with respect to the amic acid group of a polyamic acid, respectively. In this mixture, particles having a particle size of 0.01 μm or more and 1.5 μm or less, an average particle size of 0.30 μm, and a particle size of 0.15 to 0.60 μm were 87.2% by volume in all particles. The N, N-dimethylacetamide slurry of silica was added to the varnish-like polyamic acid solution in an amount of 0.3% by weight per resin weight, sufficiently stirred and dispersed, and then rotated by a T-type slit die made of stainless steel at 100 ° C. Casting on a drum, a gel film having a self-supporting property of 55% by weight of residual volatile components and a thickness of about 0.20 mm was obtained. This gel film was peeled off from the drum, and both ends thereof were gripped and treated in a heating furnace at 200 ° C. for 30 seconds, 350 ° C. for 30 seconds, and 550 ° C. for 30 seconds to obtain a polyimide film having a thickness of 25 μm. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例2)
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)/3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)をモル比で10/7/3の割合で混合し、DMF(N,N−ジメチルホルムアミド)18.5重量%溶液にして重合し、ポリアミド酸を得た。この際、まずピロメリット酸二無水物と4,4’−ジアミノジフェニルエーテルとを先に反応させ、しかる後に3,4’−ジアミノジフェニルエーテルを添加するブロック重合を行った。無水酢酸(分子量102.09)とイソキノリンからなる転化剤を、ポリアミド酸溶液に対し50重量%の割合で混合、攪拌した。この時、ポリアミド酸のアミド酸基に対し、無水酢酸及びイソキノリンがそれぞれ2.0及び0.4モル当量になるように調製した。この混合物に、粒径が0.01μm以上1.5μm以下に収まっており、平均粒子径が0.38μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中86.3体積%のシリカのN,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.35重量%添加し、十分攪拌、分散させた後、T型スリットダイより回転する100℃のステンレス製ドラム上にキャストし、残揮発成分が55重量%、厚み約0.10mmの自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをドラムから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて200℃×30秒、350℃×30秒、550℃×30秒処理し、厚さ12.5μmのポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 2)
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) / 3,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) in a molar ratio of 10/7/3 The mixture was mixed at a ratio and polymerized with a DMF (N, N-dimethylformamide) 18.5 wt% solution to obtain a polyamic acid. At this time, pyromellitic dianhydride and 4,4′-diaminodiphenyl ether were first reacted, and then block polymerization was performed in which 3,4′-diaminodiphenyl ether was added. A conversion agent composed of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight to the polyamic acid solution. At this time, it prepared so that acetic anhydride and isoquinoline might be 2.0 and 0.4 molar equivalent with respect to the amic acid group of a polyamic acid, respectively. In this mixture, particles having a particle size of 0.01 μm or more and 1.5 μm or less, an average particle size of 0.38 μm, and a particle size of 0.15 to 0.60 μm were 86.3% by volume in all particles. The N, N-dimethylacetamide slurry of silica was added to the varnish-like polyamic acid solution in an amount of 0.35% by weight per resin weight, sufficiently stirred and dispersed, and then rotated by a T-type slit die made of stainless steel at 100 ° C. The gel film was cast on a drum to obtain a self-supporting gel film having a residual volatile component of 55% by weight and a thickness of about 0.10 mm. The gel film was peeled off from the drum, and both ends thereof were gripped and treated in a heating furnace at 200 ° C. for 30 seconds, 350 ° C. for 30 seconds, 550 ° C. for 30 seconds to obtain a polyimide film having a thickness of 12.5 μm. . Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例3)
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)/3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)をモル比で5/4/1の割合で混合し、DMAc(N,N−ジメチルアセトアミド)18.5重量%溶液にして重合し、ポリアミド酸を得た。この際、まずピロメリット酸二無水物と3,4’−ジアミノジフェニルエーテルとを先に反応させ、しかる後に4,4’−ジアミノジフェニルエーテルを添加するブロック重合を行った。無水酢酸(分子量102.09)とイソキノリンからなる転化剤を、ポリアミド酸溶液に対し50重量%の割合で混合、攪拌した。この時、ポリアミド酸のアミド酸基に対し、無水酢酸及びイソキノリンがそれぞれ2.0及び0.4モル当量になるように調製した。この混合物に、粒径が0.01μm以上1.5μm以下に収まっており、平均粒子径が0.45μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中87.7体積%のシリカのN,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.3重量%添加し、十分攪拌、分散させた後、T型スリットダイよりエンドレスベルト上にキャストし、70℃の熱風にて加熱し、残揮発成分が55重量%、厚み約1.00mmの自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて200℃×60秒、350℃×60秒、550℃×45秒処理し、厚さ125μmのポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 3)
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) / 3,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) in a molar ratio of 5/4/1 The mixture was mixed at a ratio and polymerized with a DMAc (N, N-dimethylacetamide) 18.5 wt% solution to obtain a polyamic acid. At this time, pyromellitic dianhydride and 3,4'-diaminodiphenyl ether were first reacted, and then block polymerization was performed by adding 4,4'-diaminodiphenyl ether. A conversion agent composed of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight to the polyamic acid solution. At this time, it prepared so that acetic anhydride and isoquinoline might be 2.0 and 0.4 molar equivalent with respect to the amic acid group of a polyamic acid, respectively. In this mixture, the particle size is 0.01 μm or more and 1.5 μm or less, the average particle size is 0.45 μm, and the particle size is 0.15 to 0.60 μm. The silica N, N-dimethylacetamide slurry was added to the varnish-like polyamic acid solution in an amount of 0.3% by weight per resin weight, sufficiently stirred and dispersed, and then cast onto an endless belt from a T-shaped slit die. The gel film was heated with hot air at 70 ° C. to obtain a self-supporting gel film having a residual volatile component of 55% by weight and a thickness of about 1.00 mm. This gel film was peeled off from the endless belt, and both ends thereof were gripped and treated in a heating furnace at 200 ° C. for 60 seconds, 350 ° C. for 60 seconds, and 550 ° C. for 45 seconds to obtain a 125 μm thick polyimide film. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例4)
ピロメリット酸二無水物(分子量218.12)/3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(分子量322.20)/4,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)/3,4’−ジアミノジフェニルエーテル(分子量200.20)をモル比で9/1/8/2の割合で混合し、DMAc(N,N−ジメチルアセトアミド)18.5重量%溶液にして重合し、ポリアミド酸を得た。無水酢酸(分子量102.09)とイソキノリンからなる転化剤を、ポリアミド酸溶液に対し50重量%の割合で混合、攪拌した。この時、ポリアミド酸のアミド酸基に対し、無水酢酸及びイソキノリンがそれぞれ2.0及び0.4モル当量になるように調製した。この混合物に、粒径が0.01μm以上1.5μm以下に収まっており、平均粒子径が0.35μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中87.0体積%のシリカのN,Nージメチルアセトアミドスラリーを、前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.5重量%添加し、十分攪拌、分散させた後、T型スリットダイよりエンドレスベルト上にキャストし、50℃の熱風にて加熱し、残揮発成分が55重量%、厚み約0.20mmの自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィルムをエンドレスベルトから引き剥がし、その両端を把持し、加熱炉にて150℃×30秒、300℃×30秒、400℃×20秒、550℃×20秒処理し、厚さ12.5μmのポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 4)
Pyromellitic dianhydride (molecular weight 218.12) / 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (molecular weight 322.20) / 4,4′-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) / 3,4'-diaminodiphenyl ether (molecular weight 200.20) is mixed at a molar ratio of 9/1/8/2 and polymerized to a DMAc (N, N-dimethylacetamide) 18.5 wt% solution. A polyamic acid was obtained. A conversion agent composed of acetic anhydride (molecular weight 102.09) and isoquinoline was mixed and stirred at a ratio of 50% by weight to the polyamic acid solution. At this time, it prepared so that acetic anhydride and isoquinoline might be 2.0 and 0.4 molar equivalent with respect to the amic acid group of a polyamic acid, respectively. In this mixture, particles having a particle size of 0.01 μm or more and 1.5 μm or less, an average particle size of 0.35 μm, and a particle size of 0.15 to 0.60 μm are 87.0% by volume in all particles. The N, N-dimethylacetamide slurry of silica was added to the varnish-like polyamic acid solution in an amount of 0.5% by weight per resin weight, sufficiently stirred and dispersed, and then cast onto an endless belt from a T-shaped slit die. The gel film was heated with hot air at 50 ° C. to obtain a self-supporting gel film having a residual volatile component of 55% by weight and a thickness of about 0.20 mm. This gel film is peeled off from the endless belt, both ends thereof are gripped, and processed in a heating furnace at 150 ° C. × 30 seconds, 300 ° C. × 30 seconds, 400 ° C. × 20 seconds, 550 ° C. × 20 seconds, and a thickness of 12. A 5 μm polyimide film was obtained. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例5)
合成例1において、シリカを添加しないこと以外は、全て合成例1と同様の方法でポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 5)
In Synthesis Example 1, a polyimide film was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1 except that silica was not added. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例6)
合成例2において使用したシリカを、粒径が0.1μm以上4.5μm以下に収まっており、平均粒子径が1.1μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中27.3体積%のシリカに変更し、N,Nージメチルアセトアミドスラリーを前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.2重量%添加した以外は、全て合成例2と同様の方法でポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 6)
The silica used in Synthesis Example 2 has a particle diameter of 0.1 μm or more and 4.5 μm or less, particles having an average particle diameter of 1.1 μm and a particle diameter of 0.15 to 0.60 μm in all particles. A polyimide film was prepared in the same manner as in Synthesis Example 2, except that the silica was changed to 27.3% by volume and 0.2% by weight of N, N-dimethylacetamide slurry was added to the varnish-like polyamic acid solution per resin weight. Got. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例7)
合成例3において使用したシリカを、粒径が0.01μm以上0.3μm以下に収まっており、平均粒子径が0.03μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中31.4体積%のシリカに変更し、N,Nージメチルアセトアミドスラリーを前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.35重量%添加した以外は、全て合成例3と同様の方法でポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 7)
The silica used in Synthesis Example 3 has a particle size of 0.01 μm or more and 0.3 μm or less, particles having an average particle size of 0.03 μm and a particle size of 0.15 to 0.60 μm in all particles. A polyimide film was prepared in the same manner as in Synthesis Example 3, except that the silica was changed to 31.4% by volume and N, N-dimethylacetamide slurry was added to the varnish-like polyamic acid solution at 0.35% by weight per resin weight. Got. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例8)
合成例4において使用したシリカを、粒径が0.01μm以上2.0μm以下に収まっており、平均粒子径が0.4μm、粒子径が0.15〜0.60μmである粒子が全粒子中72.6体積%のシリカに変更し、N,Nージメチルアセトアミドスラリーを前記ワニス状ポリアミド酸溶液に樹脂重量当たり0.35重量%添加した以外は、全て合成例4と同様の方法でポリイミドフィルムを得た。このポリイミドフィルムの物性を表1に示す。
(Synthesis Example 8)
The silica used in Synthesis Example 4 has a particle diameter of 0.01 μm or more and 2.0 μm or less, particles having an average particle diameter of 0.4 μm and a particle diameter of 0.15 to 0.60 μm in all particles. A polyimide film was prepared in the same manner as in Synthesis Example 4 except that 72.6% by volume of silica was used and 0.35% by weight of N, N-dimethylacetamide slurry was added to the varnish-like polyamic acid solution per resin weight. Got. Table 1 shows the physical properties of this polyimide film.

(合成例9)
油化シェル(株)製エポキシ樹脂“エピコート”834の50重量部、東都化成(株)リン含有エポキシ樹脂FX279BEK75の100重量部、住友化学(株)製硬化剤4,4’−DDSの6重量部、JSR(株)NBR(PNR−1H)の100重量部、昭和電工(株)製水酸化アルミニウムの30重量部を、メチルイソブチルケトン600重量部に30℃で攪拌、混合し、接着剤溶液を得た。
(Synthesis Example 9)
50 parts by weight of epoxy resin “Epicoat” 834 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd., 100 parts by weight of phosphorus-containing epoxy resin FX279BEK75 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., 6 weights of curing agent 4,4′-DDS manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. Part, JSR NBR (PNR-1H) 100 parts by weight, Showa Denko Co., Ltd. aluminum hydroxide 30 parts by weight methyl isobutyl ketone 600 parts by stirring at 30 ° C. and mixed, adhesive solution Got.

(合成例10)
油化シェル(株)製エポキシ樹脂“エピコート”828の50重量部、東都化成(株)リン含有エポキシ樹脂FX279BEK75の80重量部、住友化学(株)製硬化剤4,4’−DDSの6重量部、JSR(株)NBR(PNR−1H)の100重量部、昭和電工(株)製水酸化アルミニウムの10重量部を、メチルイソブチルケトン600重量部に30℃で攪拌、混合し、接着剤溶液を得た。
(Synthesis Example 10)
50 parts by weight of epoxy resin “Epicoat” 828 manufactured by Yuka Shell Co., Ltd., 80 parts by weight of phosphorus-containing epoxy resin FX279BEK75 manufactured by Tohto Kasei Co., Ltd., 6 weights of curing agent 4,4′-DDS manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. Part, JSR Co., Ltd. NBR (PNR-1H) 100 parts by weight, Showa Denko Co., Ltd. 10 parts by weight of aluminum hydroxide was mixed with methyl isobutyl ketone 600 parts by weight at 30 ° C., and the adhesive solution Got.

[実施例1]
合成例1で製膜したポリイミドフィルムを用い、この片面に合成例9の接着剤を塗布し、150℃×5分間加熱乾燥し、乾燥膜厚10μmの接着剤層を形成した。この片面接着剤付きポリイミドフィルムと1/2オンス銅箔(日鉱グールド・フォイル(株)製、JTC箔)とを、熱ロールラミネート機を用いてラミネート温度160℃、ラミネート圧力196N/cm(20kgf/cm)、ラミネート速度1.5m/分の条件で熱ラミネートを行い、片面フレキシブル銅張板を作製した。
[Example 1]
Using the polyimide film formed in Synthesis Example 1, the adhesive of Synthesis Example 9 was applied to one side of the polyimide film and dried by heating at 150 ° C. for 5 minutes to form an adhesive layer having a dry film thickness of 10 μm. This polyimide film with a single-sided adhesive and 1/2 ounce copper foil (manufactured by Nikko Gould Foil Co., Ltd., JTC foil) were laminated at a laminating temperature of 160 ° C. and a laminating pressure of 196 N / cm (20 kgf / cm) using a hot roll laminator. cm) and laminating speed of 1.5 m / min, thermal lamination was performed to produce a single-sided flexible copper-clad plate.

得られた銅張板を用い、片面の銅箔の上にクラリアントジャパン(株)製フォトレジストAZP4620を、105℃10分間の乾燥後膜厚10μmで形成し、ライン幅/スペース幅=35μm/35μmの櫛形パターンが配置されている三谷電子工業(株)製ガラスフォトマスクを用いて400mJ/cm(全波長)で露光、AZ400K/水=25/75(重量比)の現像液で現像し、フォトレジストを櫛形状にパターニングした。その後、塩化鉄30重量%水溶液を用い、40℃90秒間で銅エッチングを行い、フォトレジストが形成されていない部分の銅を除去した。銅エッチング終了後、水酸化ナトリウム2.5重量%水溶液を用い、40℃1分間でフォトレジストを剥離した。このようにして、片面にライン/スペース=35/35μmの回路パターンを形成し、片面フレキシブルプリント配線板を得た。 Using the obtained copper-clad plate, a photoresist AZP4620 manufactured by Clariant Japan Co., Ltd. was formed on a single-sided copper foil with a film thickness of 10 μm after drying at 105 ° C. for 10 minutes, and line width / space width = 35 μm / 35 μm. Using a glass photomask manufactured by Mitani Electronics Co., Ltd. in which a comb-shaped pattern of No. 1 is disposed, exposure is performed at 400 mJ / cm 2 (full wavelength), and development is performed with a developer of AZ400K / water = 25/75 (weight ratio). The photoresist was patterned into a comb shape. Then, copper etching was performed at 40 ° C. for 90 seconds using a 30 wt% aqueous solution of iron chloride to remove the copper where the photoresist was not formed. After the copper etching was completed, the photoresist was peeled off at 40 ° C. for 1 minute using a 2.5 wt% sodium hydroxide aqueous solution. In this way, a circuit pattern of line / space = 35/35 μm was formed on one side to obtain a single-sided flexible printed wiring board.

得られた片面フレキシブルプリント配線板のポリイミドフィルム部分の静摩擦係数、AOI、異常突起数を測定した。結果を表1に示す。   The static friction coefficient, AOI, and number of abnormal protrusions of the polyimide film part of the obtained single-sided flexible printed wiring board were measured. The results are shown in Table 1.

[比較例1]
実施例1において、合成例1で製膜したポリイミドフィルムを合成例5で製膜したポリイミドフィルムに変更した以外は、全て実施例1と同様にしてフレキシブル配線板を形成し、実施例1と同様の評価を実施した。結果を表1に示す。静摩擦係数が1を越えており、走行性が極端に悪かった。
[Comparative Example 1]
In Example 1, a flexible wiring board was formed in the same manner as in Example 1 except that the polyimide film formed in Synthesis Example 1 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 5, and the same as in Example 1. Evaluation was conducted. The results are shown in Table 1. The coefficient of static friction exceeded 1 and the running performance was extremely bad.

[実施例2]
合成例2で製膜したポリイミドフィルムを用い、この両面に合成例10の接着剤を塗布し、150℃×5分間加熱乾燥し、乾燥膜厚10μmの接着剤層を形成した。この両面接着剤付きポリイミドフィルムと、1/2オンス銅箔(日鉱グールド・フォイル(株)製、JTC箔)とを、熱ロールラミネート機を用いてラミネート温度160℃、ラミネート圧力196N/cm(20kgf/cm)、ラミネート速度1.5m/分の条件で熱ラミネートを行い、両面フレキシブル銅張板を作製した。
[Example 2]
The polyimide film formed in Synthesis Example 2 was used, and the adhesive of Synthesis Example 10 was applied to both sides of the polyimide film, followed by heating and drying at 150 ° C. for 5 minutes to form an adhesive layer having a dry film thickness of 10 μm. This polyimide film with double-sided adhesive and 1/2 ounce copper foil (manufactured by Nikko Gould Foil Co., Ltd., JTC foil) were laminated at a laminating temperature of 160 ° C. and a laminating pressure of 196 N / cm (20 kgf) using a hot roll laminator. / Cm) and a laminating speed of 1.5 m / min were used for thermal lamination to produce a double-sided flexible copper-clad plate.

得られた銅張板を用い、両面の銅箔の上にクラリアントジャパン(株)製フォトレジストAZP4620を、105℃10分間の乾燥後膜厚10μmで形成し、ライン幅/スペース幅=25μm/25μmの櫛形パターンが配置されている三谷電子工業(株)製ガラスフォトマスクを用いて400mJ/cm(全波長)で露光、AZ400K/水=25/75(重量比)の現像液で現像し、フォトレジストを櫛形状にパターニングした。その後、塩化銅30重量%水溶液を用い、40℃2分間で銅エッチングを行い、フォトレジストが形成されていない部分の銅を除去した。銅エッチング終了後、水酸化ナトリウム2.5重量%水溶液を用い、40℃1分間でフォトレジストを剥離した。このようにして、両面にライン/スペース=25/25μmの回路パターンを形成し、両面フレキシブルプリント配線板を得た。 Using the obtained copper-clad plate, a photoresist AZP4620 manufactured by Clariant Japan Co., Ltd. was formed on both sides of the copper foil with a film thickness of 10 μm after drying at 105 ° C. for 10 minutes, and line width / space width = 25 μm / 25 μm. Using a glass photomask manufactured by Mitani Electronics Co., Ltd. in which a comb-shaped pattern of No. 1 is disposed, exposure is performed at 400 mJ / cm 2 (full wavelength), and development is performed with a developer of AZ400K / water = 25/75 (weight ratio). The photoresist was patterned into a comb shape. Thereafter, copper etching was performed at 40 ° C. for 2 minutes using a 30% by weight aqueous solution of copper chloride to remove the copper where the photoresist was not formed. After the copper etching was completed, the photoresist was peeled off at 40 ° C. for 1 minute using a 2.5 wt% sodium hydroxide aqueous solution. In this way, a circuit pattern of line / space = 25/25 μm was formed on both sides to obtain a double-sided flexible printed wiring board.

得られた両面フレキシブルプリント配線板のポリイミドフィルム部分の静摩擦係数、AOI、異常突起数を測定した。結果を表1に示す。   The static friction coefficient, AOI, and number of abnormal protrusions of the polyimide film portion of the obtained double-sided flexible printed wiring board were measured. The results are shown in Table 1.

[比較例2]
実施例2において、合成例2で製膜したポリイミドフィルムを合成例6で製膜したポリイミドフィルムに変更した以外は、全て実施例2と同様にしてフレキシブル配線板を形成し、実施例2と同様の評価を実施した。結果を表1に示す。異常突起が多く、AOIも不良であった。
[Comparative Example 2]
In Example 2, a flexible wiring board was formed in the same manner as in Example 2 except that the polyimide film formed in Synthesis Example 2 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 6, and the same as in Example 2. Evaluation was conducted. The results are shown in Table 1. There were many abnormal protrusions and the AOI was also poor.

[実施例3]
合成例3で製膜したポリイミドフィルムを用い、真空槽を到達圧力1×10−3Paにした後、アルゴンガス圧1×10−1PaにてDCマグネトロンスパッタによりニッケル/クロム=95/5(重量比)のニクロム合金を厚さ5nmになるように片面にスパッタリングし、更に銅を厚さ50nmになるようにスパッタリングした。次に、硫酸銅浴による電解鍍金で6μmの厚さの銅層を、2A/dmの電流密度の条件により積層し、片面フレキシブル銅張板を作製した。なお、硫酸銅浴の組成は、硫酸銅五水和物80g/リットル、硫酸200g/リットル、塩酸50mg/リットルに適宜量の添加剤を加えた溶液を用いた。
[Example 3]
The polyimide film formed in Synthesis Example 3 was used, the vacuum chamber was brought to an ultimate pressure of 1 × 10 −3 Pa, and then nickel / chromium = 95/5 by DC magnetron sputtering at an argon gas pressure of 1 × 10 −1 Pa. (Weight ratio) nichrome alloy was sputtered on one side so as to have a thickness of 5 nm, and copper was further sputtered so as to have a thickness of 50 nm. Next, a copper layer having a thickness of 6 μm was laminated by electrolytic plating using a copper sulfate bath under the condition of a current density of 2 A / dm 2 to prepare a single-sided flexible copper-clad plate. The composition of the copper sulfate bath was a solution in which an appropriate amount of additives was added to copper sulfate pentahydrate 80 g / liter, sulfuric acid 200 g / liter, and hydrochloric acid 50 mg / liter.

得られた銅張板を用い、片面の銅箔の上にクラリアントジャパン(株)製フォトレジストAZP4620を105℃10分間の乾燥後膜厚5μmで形成し、ライン幅/スペース幅=15μm/15μmの櫛形パターンが配置されている三谷電子工業(株)製ガラスフォトマスクを用いて400mJ/cm(全波長)で露光、AZ400K/水=25/75(重量比)の現像液で現像し、フォトレジストを櫛形状にパターニングした。その後、塩化鉄30重量%水溶液を用い、40℃90秒間で銅エッチングを行い、フォトレジストが形成されていない部分の銅を除去した。銅エッチング終了後、水酸化ナトリウム2.5重量%水溶液を用い、40℃1分間でフォトレジストを剥離した。このようにして、片面にライン/スペース=15/15μmの回路パターンを形成し、片面フレキシブルプリント配線板を得た。 Using the obtained copper-clad plate, a photoresist AZP4620 made by Clariant Japan Co., Ltd. was formed on a single-sided copper foil with a film thickness of 5 μm after drying at 105 ° C. for 10 minutes, and the line width / space width = 15 μm / 15 μm Using a glass photomask manufactured by Mitani Electronics Co., Ltd., in which a comb-shaped pattern is arranged, exposure is performed at 400 mJ / cm 2 (full wavelength), development is performed with a developer of AZ400K / water = 25/75 (weight ratio), and photo The resist was patterned into a comb shape. Then, copper etching was performed at 40 ° C. for 90 seconds using a 30 wt% aqueous solution of iron chloride to remove the copper where the photoresist was not formed. After the copper etching was completed, the photoresist was peeled off at 40 ° C. for 1 minute using a 2.5 wt% sodium hydroxide aqueous solution. In this way, a circuit pattern of line / space = 15/15 μm was formed on one side to obtain a single-sided flexible printed wiring board.

得られた片面フレキシブルプリント配線板のポリイミドフィルム側の静摩擦係数、AOI、異常突起数を測定した。結果を表1に示す。   The static friction coefficient, AOI, and number of abnormal protrusions on the polyimide film side of the obtained single-sided flexible printed wiring board were measured. The results are shown in Table 1.

[比較例3]
実施例3において、合成例3で製膜したポリイミドフィルムを合成例7で製膜したポリイミドフィルムに変更した以外は、全て実施例3と同様にしてフレキシブル配線板を形成し、実施例3と同様の評価を実施した。結果を表1に示す。静摩擦係数が1を越えており、走行性が極端に悪かった。
[Comparative Example 3]
In Example 3, a flexible wiring board was formed in the same manner as in Example 3 except that the polyimide film formed in Synthesis Example 3 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 7, and the same as in Example 3. Evaluation was conducted. The results are shown in Table 1. The coefficient of static friction exceeded 1 and the running performance was extremely bad.

[実施例4]
合成例4で製膜したポリイミドフィルムを用い、真空槽を到達圧力1×10−3Paにした後、アルゴンガス圧1×10−1PaにてDCマグネトロンスパッタによりニッケル/クロム=90/10(重量比)のニクロム合金を厚さ3nmになるように両面にスパッタリングし、更に銅を厚さ10nmになるようにスパッタリングした。次に、硫酸銅浴による電解鍍金で5μmの厚さの銅層を、2A/dmの電流密度の条件により積層し、両面フレキシブル銅張板を作製した。なお、硫酸銅浴の組成は、硫酸銅五水和物80g/リットル、硫酸200g/リットル、塩酸50mg/リットルに適宜量の添加剤を加えた溶液を用いた。
[Example 4]
The polyimide film formed in Synthesis Example 4 was used, the vacuum chamber was brought to the ultimate pressure of 1 × 10 −3 Pa, and then nickel / chromium = 90/10 (by DC magnetron sputtering at an argon gas pressure of 1 × 10 −1 Pa. (Weight ratio) nichrome alloy was sputtered on both sides to a thickness of 3 nm, and copper was further sputtered to a thickness of 10 nm. Next, a copper layer having a thickness of 5 μm was laminated by electrolytic plating using a copper sulfate bath under the condition of a current density of 2 A / dm 2 to prepare a double-sided flexible copper-clad plate. The composition of the copper sulfate bath was a solution in which an appropriate amount of additives was added to copper sulfate pentahydrate 80 g / liter, sulfuric acid 200 g / liter, and hydrochloric acid 50 mg / liter.

得られた銅張板を用い、両面の銅箔の上に日本ペイント(株)製フォトレジストオプトER N−350を105℃5分間の乾燥後膜厚5μmで形成し、ライン幅/スペース幅=35μm/35μmの櫛形パターンが配置されている三谷電子工業(株)製ガラスフォトマスクを用いて50mJ/cm(全波長)で露光、炭酸ナトリウム1重量%水溶液の現像液で現像し、フォトレジストを櫛形状にパターニングした。その後、塩化鉄30重量%水溶液を用い、40℃90秒間で銅エッチングを行い、フォトレジストが形成されていない部分の銅を除去した。銅エッチング終了後、水酸化ナトリウム2.5重量%水溶液を用い、40℃1分間でフォトレジストを剥離した。このようにして、両面にライン&スペース=35/35μmの回路パターンを形成し、両面フレキシブルプリント配線板を得た。 Using the obtained copper-clad plate, a photoresist Opt ER N-350 made by Nippon Paint Co., Ltd. was formed on a double-sided copper foil with a film thickness of 5 μm after drying at 105 ° C. for 5 minutes, and the line width / space width = Using a glass photomask manufactured by Mitani Electronics Co., Ltd., on which a 35 μm / 35 μm comb-shaped pattern is arranged, exposure is performed at 50 mJ / cm 2 (full wavelength), and development is performed using a 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate. Was patterned into a comb shape. Then, copper etching was performed at 40 ° C. for 90 seconds using a 30 wt% aqueous solution of iron chloride to remove the copper where the photoresist was not formed. After the copper etching was completed, the photoresist was peeled off at 40 ° C. for 1 minute using a 2.5 wt% sodium hydroxide aqueous solution. In this way, a circuit pattern of line & space = 35/35 μm was formed on both sides to obtain a double-sided flexible printed wiring board.

得られた 両面シブルプリント配線板のポリイミドフィルム側の静摩擦係数、AOI、異常突起数を測定した。結果を表1に示す。   The static friction coefficient, AOI, and number of abnormal protrusions on the polyimide film side of the obtained double-sided sibling printed wiring board were measured. The results are shown in Table 1.

[比較例4]
実施例4において、合成例4で製膜したポリイミドフィルムを合成例8で製膜したポリイミドフィルムに変更した以外は、全て実施例4と同様にしてフレキシブル配線板を形成し、実施例4と同様の評価を実施した。結果を表1に示す。異常突起が多く、AOIも不良であった。
[Comparative Example 4]
In Example 4, a flexible wiring board was formed in the same manner as in Example 4 except that the polyimide film formed in Synthesis Example 4 was changed to the polyimide film formed in Synthesis Example 8, and the same as in Example 4. Evaluation was conducted. The results are shown in Table 1. There were many abnormal protrusions and the AOI was also poor.

Figure 2008166555
Figure 2008166555

本発明のフレキシブル配線板は、AOIに適応可能な特性を備えると共に、微細な配線形成が可能で、走行性(易滑性)が良好であり、かつ鉛フリー半田を用いても変形しないことから、微細な配線を形成する高性能のフレキシブルプリント配線基板(FPC)として極めて有用である。   The flexible wiring board of the present invention has characteristics that can be applied to AOI, can form fine wiring, has good running properties (slidability), and does not deform even when lead-free solder is used. It is extremely useful as a high-performance flexible printed circuit board (FPC) that forms fine wiring.

Claims (12)

ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなり、かつ粒子径0.01〜1.5μmで平均粒子径0.05〜0.7μmである無機粒子を主体とする粉体がフィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%の割合でフィルム中に分散されているポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面または両面に、接着剤を介して配線が形成されていることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。 3,4′-diaminodiphenyl ether and 4,4′-diaminodiphenyl ether as the diamine component, pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component, and an average particle size of 0.01 to 1.5 μm. Using a polyimide film in which a powder mainly composed of inorganic particles of 0.05 to 0.7 μm is dispersed in the film at a ratio of 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight, A flexible printed wiring board, wherein wiring is formed on one side or both sides via an adhesive. ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなり、かつ粒子径0.01〜1.5μmで平均粒子径0.05〜0.7μmである無機粒子を主体とする粉体がフィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%の割合でフィルム中に分散されているポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面または両面に、接着剤を介することなく配線が形成されていることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。 3,4′-diaminodiphenyl ether and 4,4′-diaminodiphenyl ether as the diamine component, pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component, and an average particle size of 0.01 to 1.5 μm. Using a polyimide film in which a powder mainly composed of inorganic particles of 0.05 to 0.7 μm is dispersed in the film at a ratio of 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight, A flexible printed wiring board, wherein wiring is formed on one side or both sides without an adhesive. ジアミン成分として3,4’−ジアミノジフェニルエーテル及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分としてピロメリット酸二無水物とから主としてなり、かつ粒子径0.01〜1.5μmで平均粒子径0.05〜0.7μmである無機粒子を主体とする粉体がフィルム樹脂重量当たり0.1〜0.9重量%の割合でフィルム中に分散されているポリイミドフィルムを用い、このポリイミドフィルムの片面に接着剤を介し、他方の片面に接着剤を介することなく、それぞれ配線が形成されていることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。 3,4′-diaminodiphenyl ether and 4,4′-diaminodiphenyl ether as the diamine component, pyromellitic dianhydride as the acid dianhydride component, and an average particle size of 0.01 to 1.5 μm. Using a polyimide film in which a powder mainly composed of inorganic particles of 0.05 to 0.7 μm is dispersed in the film at a ratio of 0.1 to 0.9% by weight per film resin weight, A flexible printed wiring board, wherein wiring is formed on one side without an adhesive and on the other side without an adhesive. 前記ポリイミドフィルムにおける各構成成分の割合が、ジアミン成分として10〜50モル%のパラフェニレンジアミン及び50〜90モル%の4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、酸二無水物成分として100モル%のピロメリット酸二無水物とからなることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。 The proportion of each component in the polyimide film is 10 to 50 mol% paraphenylenediamine and 50 to 90 mol% 4,4'-diaminodiphenyl ether as a diamine component, and 100 mol% pyromellitic as an acid dianhydride component. It consists of an acid dianhydride, The flexible printed wiring board of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. ポリイミドフィルムの弾性率が3〜6GPa、50〜200℃での線膨張係数が5〜20ppm/℃、湿度膨張係数が25ppm/%RH以下、吸水率が3%以下、200℃1時間での加熱収縮率が0.10%以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。 Polyimide film has an elastic modulus of 3 to 6 GPa, a linear expansion coefficient at 50 to 200 ° C. of 5 to 20 ppm / ° C., a humidity expansion coefficient of 25 ppm /% RH or less, a water absorption of 3% or less, and heating at 200 ° C. for 1 hour. The flexible printed wiring board according to claim 1, wherein the shrinkage rate is 0.10% or less. 配線が主として銅からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。 The flexible printed wiring board according to any one of claims 1 to 5, wherein the wiring is mainly made of copper. 接着剤がエポキシ樹脂、アクリル樹脂、及びポリイミド樹脂から選ばれる少なくとも1種から主としてなることを特徴とする請求項1,3、4、5のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。 The flexible printed wiring board according to any one of claims 1, 3, 4, and 5, wherein the adhesive mainly comprises at least one selected from an epoxy resin, an acrylic resin, and a polyimide resin. 配線が、金属層をエッチングすることにより形成されたものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。 The flexible printed wiring board according to claim 1, wherein the wiring is formed by etching a metal layer. 配線が、鍍金により形成されたものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のフレキシブルプリント配線板。 The flexible printed wiring board according to claim 1, wherein the wiring is formed by plating. 配線の上にカバーレイが積層されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載のフレキシブルプリント配線板。 The flexible printed wiring board according to any one of claims 1 to 9, wherein a coverlay is laminated on the wiring. 無機粒子の粒度分布において、粒子径0.15〜0.60μmの粒子が全粒子中80体積%以上の割合を占めることを特徴とする請求項1〜10いずれか1項に記載のフレキシブル配線板。 11. The flexible wiring board according to claim 1, wherein in the particle size distribution of the inorganic particles, particles having a particle size of 0.15 to 0.60 μm occupy a ratio of 80% by volume or more in all particles. . 無機粒子に起因したフィルム表面突起において、高さ2μm以上の突起数が5個/40cm角以下であることを特徴とする請求項1〜11いずれか1項に記載フレキシブル配線板。 The flexible wiring board according to any one of claims 1 to 11, wherein in the film surface protrusions caused by the inorganic particles, the number of protrusions having a height of 2 µm or more is 5 pieces / 40 cm square or less.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011143595A (en) * 2010-01-14 2011-07-28 Sumitomo Metal Mining Co Ltd Metallized polyimide film, and flexible wiring board using the same

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