JP2006332363A - 露光装置の照明光強度分布測定装置、及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検出部1の下側からは、照明光が照射され、EUV光検出用光センサアレイ3と光センサアレイ5により検出される。レチクルステージ9を矢印のように走査させることにより、EUV光検出用光センサアレイ3と光センサアレイ5により、照射面における図の左右方向の照射領域のEUV光の照度、及び全光照度を測定することができる。EUV光検出用光センサアレイ3と光センサアレイ5の出力は、それぞれプリアンプ4とプリアンプ6とで増幅され、通信装置8によって信号処理装置に無線(電波、赤外線等による)通信されて受信される。必要な電源は充電電池7から供給される。検出部1がこのような構成であるので、検出部1をレチクルステージ9に搭載したとき、配線処理が不要である。
【選択図】 図1
Description
Claims (8)
- 露光装置のレチクルステージに搭載可能とされ、レチクルを照明する照明光学系よりの照明光の強度を測定する光センサが取り付けられた検出部を有することを特徴とする露光装置の照明光強度分布測定装置。
- 前記光センサが、前記レチクルステージの走査方向と直角な方向に長さ方向を有する光センサアレイであることを特徴とする請求項1に記載の露光装置の照明光強度分布測定装置。
- 前記光センサが、2次元光センサアレイであることを特徴とする請求項1に記載の露光装置の照明光強度分布測定装置。
- 前記露光装置がEUV露光装置であり、前記光センサが露光に使用されるEUV光のみを検出する光センサと、当該EUV光を含めた波長域の光を検出するセンサの2種類の光センサであることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の露光装置の照明光強度分布測定装置。
- 前記検出部が、外部との無線信号通信手段を有していることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載の照明光強度分布測定装置。
- 前記検出部が、測定結果を記憶する記憶手段を有していることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか1項に記載の露光装置の照明光強度分布測定装置。
- 前記検出部が、前記露光装置に使用されるレチクルと同一形状であることを特徴とする請求項1から請求項6のうちいずれか1項に記載の露光装置の照明光強度分布測定装置。
- 請求項1から請求項7のうちいずれか1項に記載の露光装置の照明光強度分布測定装置の検出部が、レチクルステージに搭載可能とされていることを特徴とする露光装置。
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- 2005-05-26 JP JP2005154302A patent/JP2006332363A/ja active Pending
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