JP2006330361A - 垂直配列型液晶配向層の製作方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は基板11をチャンバ10に提供するステップと、フィルム12を該基板11上に形成するステップと、プラズマ13で該フィルムを処理して垂直配列型液晶配向層を形成するステップとを備えてなる。
【選択図】図2
Description
上記本発明の製作方法において、
該フィルムは有機材料、無機材料及び多層材料フィルムの中のいずれカーフであり、 該有機材料はポリイミド、ポリビニルシンナメート(polyvinylcinnamate,PVNC)及びポリメチルメタクリレート(polymethylmethacrylate,PMMA)の中のいずれカーフであり、
該無機材料はガラス、石英、含フッ素材料、酸化インジウムチン(ITO)、珪素、酸化珪素(Si O2 、Si Ox )、ダイヤモンドーライクカーボン(DLC)及びアモルファスシリコンの中のいずれカーフである。(請求項2)
又、上記本発明の製作方法において、
該プラズマはアルゴン(Ar)プラズマビーム、及び水素・アルゴン混合ガスプラズマビームの中のいずれカーフであり、
該プラズマは陽極層粒子ビーム源装置により提供される。(請求項3)
又、上記本発明の製作方法において、
該プラズマビームの入射角範囲は20度ないし80度であり、
該チャンバ内のイオン電流密度範囲は0.1uA/cm2 ないし10uA/cm2 、イオンエネルギー範囲は300eVないし900eV、及び放射時間範囲は10秒ないし5分間である。
上記本発明の液晶セルの製作方法において、
該第1のフィルム及び該第2のフィルムは有機材料、無機材料及び多層材料フィルムの中のいずれカーフであり、
該有機材料はポリイミド、ポリビニルシンナメート(polyvinylcinnamate,PVNC)及びポリメチルメタクリレート(polymethylmethacrylate,PMMA)の中のいずれカーフであり、
該無機材料はガラス、石英、含フッ素材料、酸化インジウムチン(ITO)、珪素、酸化珪素(Si O2 、Si Ox )、ダイヤモンドーライクカーボン(DLC)及びアモルファスシリコンの中のいずれカーフである。(請求項6)
又、上記本発明の液晶セルの製作方法において、
該プラズマはアルゴン(Ar)プラズマビーム、及び水素・アルゴン混合ガスプラズマビームの中のいずれカーフであり、
該プラズマは陽極層粒子ビーム源装置により提供される。(請求項7)
又、上記本発明の液晶セルの製作方法において、
該プラズマビームの入射角範囲は20度ないし80度であり、
該チャンバ内のイオン電流密度範囲は0.1uA/cm2 ないし10uA/cm2 、イオンエネルギー範囲は300eVないし900eV、及び放射時間範囲は10秒ないし5分間である。
第1の実施例
フッ化ポリイミド(F−PI)をジメチルホルムアミドに溶解して濃度が2%の溶液を形成した。この溶液をガラス基板31上に滴下した後、基板31を5分間90℃の状態に置き、180℃の温度で1.5時間反応して、基板31上にF−PIフィルム32を沈積形成した。しかる後、図3に示すように、チャンバ30において、プラズマ源により提供されたアルゴン(Ar)プラズマビーム34により、F−PIフィルム32を処理して垂直配列型液晶配向層を得た。その中、プラズマビーム34の、F−PIフィルム32に対する入射角度αは70°、チャンバ30中のイオン電流密度は10uA/cm2 、イオンエネルギーは600eV、プラズマ放射時間は0.5分間であった。
第2の実施例
図6(a)及び図6(b)は本発明の第2の実施例であって、垂直配列型液晶表示器の液晶セルの製作方法を説明する図である。図6(a)に示すように、チャンバ60において第1の基板61及び第2の基板62を提供し、該第1の基板61上に第1の電極63及び第1のフィルム64を形成させ、第2の基板62上に少なくとも2個の第2の電極65及び第2のフィルム66を形成した。しかる後、チャンバ60において、プラズマ源(図示せず)により低剤量のアルゴンプラズマビームを提供、又は低剤量のアルゴン及び水素の混合プラズマビームを提供して、該第1のフィルム64及び第2のフィルム66を衝撃すると同時に、第1のフィルム64及び第2のフィルム66に対して垂直配向作用を進行した。プラズマ源は陽イオン発射器(anode layer thruster,ALT)、プラズマビーム源又はプラズマ源が使用される。しかる後、垂直配向の第1のフィルム64と第2のフィルム66との間に液晶層67を注入してからシーリングコンパウンド38で封じた後液晶セル600を得た。
11 基板
12 フィルム
12′ 垂直配列型液晶配向層
13 プラズマ源
30 チャンバ
31 ガラス基板
32 F−PIフィルム
33 プラズマ源
34 プラズマビーム
60 真空チャンバ
61 第1の基板
62 第2の基板
63 第1の電極
64 第1のフィルム
65 第2の電極
66 第2のフィルム
67 液晶層
68 シーリングコンパワンド
600 液晶セル
Claims (7)
- 基板をチャンバに提供するステップと、
フィルムを該基板上に形成するステップと、
プラズマで該フィルムを処理して垂直配列型液晶配向層を形成するステップと、
を備えてなることを特徴とする垂直配列型液晶配向層の製作方法。 - 前記フィルムは有機材料、無機材料及び多層材料フィルムの中のいずれカーフであり、 前記有機材料はポリイミド、ポリビニルシンナメート(polyvinylcinnamate,PVNC)及びポリメチルメタクリレート(polymethylmethacrylate,PMMA)の中のいずれカーフであり、及び/又は
前記無機材料はガラス、石英、含フッ素材料、酸化インジウムチン(ITO)、珪素、酸化珪素(Si O2 、Si Ox )、ダイヤモンドーライクカーボン(DLC)及びアモルファスシリコンの中のいずれカーフである。
ことを特徴とする請求項1記載の製作方法。 - 前記プラズマはアルゴン(Ar)プラズマビーム、及び水素・アルゴン混合ガスプラズマビームの中のいずれカーフであり、及び/又は
前記プラズマは陽極層粒子ビーム源装置により提供される、
ことを特徴とする請求項1記載の製作方法。 - 垂直配向型液晶表示器に用いられる液晶セルの製作方法であって、
第1の電極及び第2の電極を提供するステップと、
第1のフィルム及び第2のフィルムをそれぞれ前記第1の電極及び該第2の電極上に形成するステップと、
前記第1のフィルム及び前記第2のフィルムをプラズマ中に暴露して、第1の垂直配向層及び第2の垂直配向層を形成するステップと、
前記第1の垂直配向層と前記第2の垂直配向層との間に位置する液晶層を提供するステップと、
を備えてなることを特徴とする液晶セルの製作方法。 - 前記第1のフィルム及び前記第2のフィルムは有機材料、無機材料及び多層材料フィルムの中のいずれカーフである、
ことを特徴とする請求項4記載の製作方法。 - 前記有機材料はポリイミド、ポリビニルシンナメート(polyvinylcinnamate,PVNC)及びポリメチルメタクリレート(polymethylmethacrylate,PMMA)の中のいずれカーフであり、及び/又は
前記無機材料はガラス、石英、含フッ素材料、酸化インジウムチン(ITO)、珪素、酸化珪素(Si O2 、Si Ox )、ダイヤモンドーライクカーボン(DLC)及びアモルファスシリコンの中のいずれカーフである。
ことを特徴とする請求項5記載の製作方法。 - 前記プラズマはアルゴン(Ar)プラズマビーム、及び水素・アルゴン混合ガスプラズマビームの中のいずれカーフであり、及び/又は
前記プラズマは陽極層粒子ビーム源装置により提供される、
ことを特徴とする請求項4記載の製作方法。
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