JP2006322716A - クリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法 - Google Patents
クリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006322716A JP2006322716A JP2005143578A JP2005143578A JP2006322716A JP 2006322716 A JP2006322716 A JP 2006322716A JP 2005143578 A JP2005143578 A JP 2005143578A JP 2005143578 A JP2005143578 A JP 2005143578A JP 2006322716 A JP2006322716 A JP 2006322716A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boron compound
- cellulose
- clean room
- space
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
【解決手段】 クリーンルーム内空間ガスを、セルロース製パウダーを充填したカラムまたはセルロース製メンブレンフィルタを装着した濾過器に、通気することにより、該空間ガスに含まれるホウ素化合物を該セルロース製パウダーまたは該セルロース製メンブレンフィルタに吸着させ、次いで、吸着されたホウ素化合物を、該セルロース製パウダーまたは該セルロース製メンブレンフィルタから脱離させ、脱離したホウ素化合物を分析することを特徴とするクリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法。
【選択図】 なし
Description
かかる状況のもと、本発明が解決しようとする課題は、ホウ素化合物をサンプリングするに際して希酸性溶液を用いることなく、クリーンルーム内空間のホウ素化合物による汚染状態を簡便に評価する方法を提供することにある。
(1)カラムの準備
セルロースパウダー(アドバンテック東洋株式会社製、商品名「濾紙粉末Aタイプ」)5gを7%硝酸100mL中に投入し、攪拌速度140rpmで20時間攪拌後、静置し上澄液を捨てることにより、セルロースパウダーの洗浄操作を行った。かかる洗浄操作を繰り返した後、洗浄後のセルロース製パウダーのスラリーの10%を内径8mmのPFAカラムに充填し、PFAカラムの両端に、石英ガラス繊維を詰め、PTFE製継ぎ手と二方コックを取り付けた。次に、該カラムに7%硝酸100mlを通液し、上下の二方コックを閉め、7%硝酸でカラムを封液して1週間放置した。放置後、該カラムに7%硝酸100mLを通液した後、オールフッ素樹脂タイプのガスラインフィルタ(富士写真フィルム株式会社製、商品名「ミクロフィルタ AstraPore」)を介してアルゴンガスを通気(流速:3L/分、通気時間:3時間)して、セルロースパウダーを乾燥した。
上記の方法で準備したカラムに、吸引ポンプを用いて、クリーンルーム内の空気を0.5L/分の流速で24時間通気した。通気後、セルロースパウダーに吸着したホウ素化合物を希硝酸で溶出し、誘導結合プラズマ質量分析装置(アジレントテクノロジ社製、HP−4500型)で分析した。分析結果を表1に示す。
なお、希硝酸を50gずつ入れたインピンジャーを2個連結し、該インピンジャーにも、カラムへの通気と同時に、クリーンルーム内の空気を通気(流速:2L/分、通気時間:24時間)し、インピンジャー内の希硝酸を誘導結合プラズマ質量分析装置(アジレントテクノロジ社製、HP−4500型)で分析した。
(1)濾過器の準備
セルロース製メンブランフィルタを装着した濾過器(Schleicher&Schuell社製、商品名「SPARTAN30/0.2RC」)に希硝酸25mLを通液し、続いて超純水25mLを通液して洗浄した。洗浄した濾過器の前後に夫々1個の濾過器を連結し、温度60℃で15時間真空乾燥した。
上記の方法で洗浄・乾燥したセルロース製メンブランフィルタ装着濾過器を3個準備し、準備した濾過器を3個直列に連結し、吸引ポンプを用いて、あらたなクリーンルーム内の空気を0.5L/分の流速で8時間通気した。通気後、メンブランフィルタに吸着したホウ素化合物を希硝酸で溶出し、誘導結合プラズマ質量分析装置(アジレントテクノロジ社製、HP−4500型)で分析した。分析結果を表2に示す。
なお、希硝酸を50gずつ入れたインピンジャーを2個連結し、該インピンジャーにも、濾過器への通気と同時に、クリーンルーム内の空気を通気(流速:2L/分、通気時間:8時間)し、インピンジャー内の希硝酸を誘導結合プラズマ質量分析装置(アジレントテクノロジ社製、HP−4500型)で分析した。
Claims (3)
- クリーンルーム内空間ガスを、セルロース製パウダーを充填したカラムまたはセルロース製メンブレンフィルタを装着した濾過器に、通気することにより、該空間ガスに含まれるホウ素化合物を該セルロース製パウダーまたは該セルロース製メンブレンフィルタに吸着させ、次いで、吸着されたホウ素化合物を、該セルロース製パウダーまたは該セルロース製メンブレンフィルタから脱離させ、脱離したホウ素化合物を分析することを特徴とするクリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法。
- クリーンルーム内空間ガスが、気体状のホウ素化合物を含むガスであることを特徴とする請求項1に記載の評価方法。
- 脱離したホウ素化合物を、誘導結合プラズマ質量分析法により分析することを特徴とする請求項1または2に記載の評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005143578A JP2006322716A (ja) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | クリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005143578A JP2006322716A (ja) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | クリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006322716A true JP2006322716A (ja) | 2006-11-30 |
Family
ID=37542523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005143578A Pending JP2006322716A (ja) | 2005-05-17 | 2005-05-17 | クリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006322716A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009014522A (ja) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Sumika Chemical Analysis Service Ltd | カラムおよび気体の汚染状態の評価方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11333233A (ja) * | 1998-05-22 | 1999-12-07 | Mitsubishi Electric Corp | 空気中のホウ素化合物を捕集、脱着する方法およびその分析方法 |
JP2003294597A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-15 | Tokuyama Corp | 揮発性元素の濃縮方法 |
-
2005
- 2005-05-17 JP JP2005143578A patent/JP2006322716A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11333233A (ja) * | 1998-05-22 | 1999-12-07 | Mitsubishi Electric Corp | 空気中のホウ素化合物を捕集、脱着する方法およびその分析方法 |
JP2003294597A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-15 | Tokuyama Corp | 揮発性元素の濃縮方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009014522A (ja) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Sumika Chemical Analysis Service Ltd | カラムおよび気体の汚染状態の評価方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI442969B (zh) | 以吸附方法回收氙 | |
Zhu et al. | Solid phase extraction of trace copper in water samples via modified corn silk as a novel biosorbent with detection by flame atomic absorption spectrometry | |
Zou et al. | Biological cell-sorption for separation/preconcentration of ultra-trace cadmium in a sequential injection system with detection by electrothermal atomic absorption spectrometry | |
Schijf et al. | Determination of stability constants for the mono-and difluoro-complexes of Y and the REE, using a cation-exchange resin and ICP-MS | |
JP2006322716A (ja) | クリーンルーム内空間の汚染状態の評価方法 | |
Idris et al. | A comparative study of selected sorbents for sampling of aromatic VOCs from indoor air | |
JP2007132732A (ja) | ホウ素化合物捕集用パッシブサンプラー | |
Wang et al. | Novel adsorbent based on multi-walled carbon nanotubes bonding on the external surface of porous silica gel particulates for trapping volatile organic compounds | |
JP3641592B2 (ja) | 大気の清浄度評価用捕集剤 | |
JP4075991B2 (ja) | りんの定量方法 | |
JP2017057119A (ja) | 多結晶シリコンの収容治具、多結晶シリコン収容用治具の検査方法、および、多結晶シリコンの製造方法 | |
JP3799446B2 (ja) | 多孔質吸着材の吸着性能予測方法 | |
JP2009014522A (ja) | カラムおよび気体の汚染状態の評価方法 | |
JP2003307511A (ja) | クリーンルーム内の大気中の有機物の分析方法 | |
JPH112607A (ja) | 大気中微量不純物の分析方法 | |
WO2010067464A1 (ja) | カラムおよび気体の汚染状態の評価方法 | |
CN112198096A (zh) | 一种铍粉尘浓度在线监测设备及其监测方法 | |
JP2002214116A (ja) | ケミカルフィルタのガス除去率試験方法および試験装置 | |
JP4512505B2 (ja) | 基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法 | |
Afshar et al. | Amidation of purified carbon nanotubes for selective solid phase extraction of mercury (II) ions from aqueous solution | |
JP3571876B2 (ja) | 気中不純物ガス評価方法及びその装置 | |
Ali et al. | Study on the preparation of a Sol-Gel sorbent based thiosemicarbazone for selective removal of heavy metal ions | |
JP2004226336A (ja) | 揮発有機物の測定方法および測定用サンプリング器具 | |
JP7209994B2 (ja) | アンモニア脱離方法、アンモニア回収方法、及びアンモニア回収装置 | |
CN214683421U (zh) | 一种基于连续流动分析仪除味装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070417 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080122 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080428 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090910 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091013 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100413 |