JP2006314859A - 粘性流体塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリンジ20の下部に設けられてノズル19の上端部19aを着脱自在に装着する装着体21と、装着体21の下方に設けられてノズル19の胴部19bを保持してノズル19の下端部19cの位置決めをする保持体25とを備えたので、ノズル19の姿勢を安定させてノズル19の撓みに起因するノズル下端部19cの位置ずれを防止することができる。
【選択図】図2
Description
ニット50は可動部62を備えており、可動部62の移動(矢印a)により管路71と連通する流路65を開閉し、ペースト供給体70から塗布部20へのペースト供給の制御を行う。
正確な位置決めができる。従って、基板Pに粘性流体を塗布し描画する際の移動テーブル11の水平移動に起因するノズル19の撓みによる下端部19cの位置ずれを防止することができる。また、保持体32にノズル19の胴部19bを保持するノズル保持体40を着脱自在に備えたので、ノズル19の着脱の際に工具や熟練した技術を必要とせず作業性がよい。
10 粘性流体塗布部
11 Xテーブル
12 Yテーブル
19 ノズル
19a ノズル上端部
19b ノズル胴部
19c ノズル下端部
20 シリンジ
21 装着体
32 保持体
33 貫通孔
34 縦孔
35 横孔
38 嵌合体
40 ノズル保持体
41 係合子
42 弾性体
43 凹部
Claims (4)
- シリンジと、このシリンジの下部に装着されてこのシリンジに貯溜された粘性流体を被塗布体に塗布するノズルとを備えた粘性流体塗布装置であって、前記シリンジの下部に設けられて前記ノズルの上端部を着脱自在に装着する装着体と、この装着体の下方に設けられて前記ノズルの胴部を保持してノズルの下端部の位置決めをする保持体とを備えたことを特徴とする粘性流体塗布装置。
- 前記保持体が前記ノズルを上方から挿入する貫通孔を備え、この貫通孔に前記ノズルの胴部を保持するノズル保持体を着脱自在に装着することを特徴とする請求項1記載の粘性流体塗布装置。
- 前記ノズル保持体が外面に係合子を突設した筒体から成り、且つ前記保持体が前記貫通孔を縦割りにする縦孔とこの縦孔に連続する横孔とを備え、前記係合子を前記縦孔から嵌入させて前記横孔に係合させることにより前記ノズル保持体を前記保持体に着脱自在に装着することを特徴とする請求項2記載の粘性流体塗布装置。
- 前記ノズル保持体の内面に前記ノズルの胴部に当接する弾性体を備えたことを特徴とする請求項3記載の粘性流体塗布装置。
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