JP2006313783A - 圧電/電歪デバイスの検査方法、及び圧電/電歪デバイス - Google Patents
圧電/電歪デバイスの検査方法、及び圧電/電歪デバイス Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】印刷によって形成された圧電/電歪層及び電極層を具備する複数の圧電/電歪素子が、列状に配設された圧電/電歪デバイスの検査方法である。この圧電/電歪デバイスの検査方法では、圧電/電歪デバイスを構成する複数の圧電/電歪素子のうち両方の最外の圧電/電歪素子を検査用素子とし、その他の圧電/電歪素子を製品素子とする。そして、検査用素子における例えば下部電極層について、製品素子の下部電極層に対し、その長さを、一方の検査用素子では短くし、他方の検査用素子では長くする。そのような圧電/電歪デバイスに対し両方の検査用素子の圧電層の静電容量を測定する手段Aを行うことにより、印刷のズレが静電容量に感度よく示され、ズレを検査出来る。
【選択図】なし
Description
Claims (19)
- 印刷によって形成された1以上の圧電/電歪層及び2以上の電極層を具備する複数の圧電/電歪素子が、列状に配設された圧電/電歪デバイスの検査方法であって、
前記列状に配設された複数の圧電/電歪素子のうち少なくとも一方の最外の圧電/電歪素子を検査用素子とし、その他の圧電/電歪素子を製品素子として、
前記検査用素子における1以上の圧電/電歪層又は2以上の電極層のうち何れかの層について、前記製品素子において対応する層に対し、その長さの変更を行い、
前記検査用素子の圧電層の静電容量を測定する手段Aを行うことにより、前記1以上の圧電/電歪層及び2以上の電極層の形成にかかる印刷のズレを検査する圧電/電歪デバイスの検査方法。 - 前記列状に配設された複数の圧電/電歪素子のうち両方の最外の圧電/電歪素子を検査用素子とする請求項1に記載の圧電/電歪デバイスの検査方法。
- 前記両方の最外の圧電/電歪素子で構成される2つの検査用素子のうち、少なくとも一の検査用素子における一の電極層について、前記製品素子において対応する層に対し、その長さの変更を行う請求項2に記載の圧電/電歪デバイスの検査方法。
- 前記変更が、その長さを長くすることである請求項3に記載の圧電/電歪デバイスの検査方法。
- 前記両方の最外の圧電/電歪素子で構成される2つの検査用素子のうち、少なくとも一の検査用素子における全ての電極層について、前記製品素子において対応する層に対し、その長さの変更を行う請求項2〜4の何れか一項に記載の圧電/電歪デバイスの検査方法。
- 前記変更が、その長さを短くすることである請求項5に記載の圧電/電歪デバイスの検査方法。
- 前記長さの変更が、印刷方向にかかる長さの変更乃至列方向にかかる長さの変更である請求項1〜6の何れか一項に記載の圧電/電歪デバイスの検査方法。
- 前記手段Aの代わりに、又は前記手段Aと併用して、
製品素子及び検査用素子からなる前記複数の圧電/電歪素子を振動させたときの、各圧電/電歪素子の共振周波数を測定する手段Bを行う請求項1〜7の何れか一項に記載の圧電/電歪デバイスの検査方法。 - 検査対象である圧電/電歪デバイスは、複数のキャビティが列状に形成された基体を備え、その基体の一の面に、前記キャビティに対応して前記圧電/電歪素子が列状に配設されたものである請求項1〜8の何れか一項に記載の圧電/電歪デバイスの検査方法。
- 印刷によって形成された1以上の圧電/電歪層及び2以上の電極層を具備する複数の圧電/電歪素子が、列状に配設された圧電/電歪デバイスであって、
前記列状に配設された複数の圧電/電歪素子のうち少なくとも一方の最外の圧電/電歪素子が検査用素子として、その他の圧電/電歪素子が製品素子として構成され、
前記検査用素子における1以上の圧電/電歪層又は2以上の電極層のうち何れかの層が、前記製品素子において対応する層に対し、その長さの変更がなされていることにより、前記1以上の圧電/電歪層及び2以上の電極層の形成にかかる印刷のズレを感度よく検査可能とした圧電/電歪デバイス。 - 前記列状に配設された複数の圧電/電歪素子のうち両方の最外の圧電/電歪素子が検査用素子である請求項10に記載の圧電/電歪デバイス。
- 前記両方の最外の圧電/電歪素子で構成される2つの検査用素子のうち、少なくとも一の検査用素子における一の電極層が、前記製品素子において対応する層に対し、その長さの変更がなされている請求項11に記載の圧電/電歪デバイス。
- 前記変更が、その長さを長くすることである請求項12に記載の圧電/電歪デバイス。
- 前記両方の最外の圧電/電歪素子で構成される2つの検査用素子のうち、少なくとも一の検査用素子における全ての電極層が、前記製品素子において対応する層に対し、その長さの変更がなされている請求項11〜13の何れか一項に記載の圧電/電歪デバイス。
- 前記変更が、その長さを短くすることである請求項14に記載の圧電/電歪デバイス。
- 前記長さの変更が、印刷方向にかかる長さの変更乃至列方向にかかる長さの変更である請求項10〜15の何れか一項に記載の圧電/電歪デバイス。
- 複数のキャビティが列状に形成された基体を備え、その基体の一の面に、前記キャビティに対応して前記圧電/電歪素子が列状に配設されている請求項10〜16の何れか一項に記載の圧電/電歪デバイス。
- 印刷によって形成された2以上の圧電/電歪層及び2以上の電極層を具備する圧電/電歪素子が配設された圧電/電歪デバイスを製造する方法であって、
予め導通回路パターンを形成しておき、その導通回路パターンにおける中間部の異なる位置に、前記2以上の圧電/電歪層の形成にかかる印刷の度に、前記導通回路パターンを遮断するような絶縁パターンを印刷し、
前記2以上の圧電/電歪層の形成にかかる印刷を終えた後に、前記導通回路パターンの2つの両端部、及び前記導通回路パターンの中間部の異なる位置に印刷された2以上の前記絶縁パターンの間で、相互に導通検査を行うことにより、前記2以上の圧電/電歪層の形成にかかる印刷の刷り忘れを検査する工程を含む圧電/電歪デバイスの製造方法。 - 印刷によって形成された2以上の圧電/電歪層及び2以上の電極層を具備する圧電/電歪素子が配設された圧電/電歪デバイスを製造する方法であって、
予め中間に電極層の数に対応する数の分断部を有する導通回路パターンを形成しておき、その導通回路パターンにおける分断部の異なる位置に、前記2以上の電極層の形成にかかる印刷の度に、前記導通回路パターンを接続させるような導通パターンを印刷し、
前記2以上の電極層の形成にかかる印刷を終えた後に、前記導通回路パターンの2つの両端部、及び前記導通回路パターンの分断部の異なる位置に印刷された2以上の前記導通パターンの間で、相互に導通検査を行うことにより、前記2以上の電極層の形成にかかる印刷の刷り忘れを検査する工程を含む圧電/電歪デバイスの製造方法。
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