JP2006311792A - 弾性表面波モータ - Google Patents

Abstract

【課題】エネルギ回収型の弾性表面波モータにおいて、弾性表面波に生じる位相変化を調整してエネルギ効率の向上を図る。
【解決手段】弾性表面波モータ１は、弾性表面波素子基板２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓの弾性表面波進行方向の前後に配置されてエネルギの回収と供給を行うことによりエネルギの環流を行う一方向性櫛形電極３１，３２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓであって一方向性櫛形電極３１，３２の間に配置され外部電源Ｖ１，Ｖ２に接続されるエネルギ補填用櫛形電極４１，４２と、予圧Ｆが付与された状態で表面Ｓ部分に接触、配置されるスライダ５と、を備えている。スライダ５の接触面５０の弾性表面波の進行方向と直交する幅方向の全幅ａと、各一方向性櫛形電極３１，３２及びエネルギ補填用櫛形電極４１，４２における電極重なり幅ｂとは略等しい寸法とされている。
【選択図】図１

Description

本発明は、弾性表面波モータに関し、特にエネルギ回収型弾性表面波モータに関する。

従来から、弾性体の表面を伝搬するレイリー波（弾性表面波）の楕円振動を利用したリニアモータ形式の弾性表面波モータがあり、このような弾性表面波モータとして、リニアモータの一端から弾性表面波を生成するために供給したエネルギを他端で回収して再利用するエネルギ回収型の弾性表面波モータが知られている（例えば、特許文献１参照）。従来のエネルギ回収型の弾性表面波モータを、図４（ａ）（ｂ）を参照して説明する。この弾性表面波モータは、ステータとなる弾性表面波素子基板２と弾性表面波素子基板２の表面Ｓ上で駆動されて直線移動を行うスライダ５とを備えたリニアモータである。弾性表面波素子基板２の表面Ｓには、互いに離れて配置された弾性表面波のエネルギを回収すると共に弾性表面波を発生させるエネルギを供給するための一対の一方向性櫛形電極３１，３２と、この一方向性櫛形電極３１，３２の間に配置された一対のエネルギ補填用櫛形電極４１，４２が設けられ、これらにより弾性表面波素子が形成されている。スライダ５は、エネルギ補填用櫛形電極４２と一方向性櫛形電極３２の間に設けられた走行部２１に配置されている。

弾性表面波素子基板２は、厚さ１ｍｍ程度の圧電材料（例えば、ＬｉＮｂＯ_３）からなる。その表面Ｓ上の一方向性櫛形電極３１，３２とエネルギ補填用櫛形電極４１，４２とは、互いに噛み合わせるように薄膜導体をパターニングして形成した電極からなる弾性表面波励振用のいわゆる櫛形電極（ＩＤＴ：インター・ディジタル・トランスジューサ）である。一対のエネルギ補填用櫛形電極４１，４２は、弾性表面波の波長をλとし整数をｎとしたとき、（１／４＋ｎ）×λの距離だけ互いに離れた位置に配置されている。また、各一方向性櫛形電極３１，３２に反射器（不図示）を付属させて設けることも行われる。スライダ５は、予圧付与手段６によって予圧Ｆを加えられて弾性表面波素子基板２の表面に押圧されている。この予圧Ｆはスライダ５を駆動する摩擦力の発生に必要である。

上述の状態で、エネルギ補填用櫛形電極４１に外部電源Ｖ１からｖ１＝ｖ０・ｃｏｓωｔ、エネルギ補填用櫛形電極４２に外部電源Ｖ２からｖ２＝ｖ０・ｓｉｎωｔの所定の周波数の高周波（ＭＨｚ帯）電圧を印加すると、櫛形電極４１，４２によって電気的エネルギが波の機械的エネルギに変換され、表面Ｓ上を図の右向きに進む弾性表面波Ｗ１が発生する。また、どちらかの電圧入力を反転させることにより左向きの波を励振できる。そこで、例えば右向きの弾性表面波Ｗ１が励振されると、弾性表面波Ｗ１の楕円振動が摩擦力を介してスライダ５に伝達され、スライダ５が、弾性表面波Ｗ１の進行方向とは逆の方向（図の左方）に駆動される。弾性表面波Ｗ１は、スライダ５を駆動するためエネルギを消費しつつスライダ５の右側に通過して弾性表面波Ｗ２となってさらに右方に進む。

上述の一方向性櫛形電極３２は、弾性表面波Ｗ２から機械的エネルギを受け取って電気的エネルギとする、いわゆる機械電気変換を行う。電気的エネルギとして回収されたエネルギは、配線７を介して電気接続された一方向性櫛形電極３１に送られる。一方向性櫛形電極３１は、この電気的エネルギを機械的エネルギとする電気機械変換を行って、弾性表面波Ｗ０を生成するため弾性表面波素子基板２上に供給（再放射）する。従って、一方向性櫛形電極３１，３２を用いてエネルギ還流（エネルギの回収と再放射）を行い、エネルギの消費分をエネルギ補填用櫛形電極４１，４２を用いて補填するので、一方向性櫛形電極３１，３２を用いない場合に比べて、より少ないエネルギで波を励振でき、エネルギ効率の向上がなされている。このような構成による弾性表面波モータは、高速、高応答、高推力という優れた動作特性を有する小型リニアモータとして、その応用が期待されている。その特性として、例えば、１ｍ／秒の移動速度が実現されており、また、自重の３０倍以上の推力を発生できることが実証されている。
特開平１１−１４６６６５号公報

しかしながら、上述した図４や特許文献１に示されるような弾性表面波モータにおいては、以下に示すような問題がある。これを図５、図６、図７を参照して説明する。図５は、スライダ５が表面Ｓに接触している部分の拡大イメージであり、表面Ｓに発生している弾性表面波の振幅が拡大して示されている。スライダ５が弾性表面波素子基板２の表面Ｓと接触する部分において、もとの弾性表面波Ｗ１に対して位相差ΔＸの位相変化を受けた弾性表面波Ｗ２２が発生し、この波が弾性表面波Ｗ１と同位相の弾性表面波Ｗ２１とともに弾性表面波Ｗ２に含まれている。このため、一方向性櫛形電極３２に到達した弾性表面波Ｗ２は、弾性表面波Ｗ２の進行方向に直交する幅方向に沿って位相が異なり、一方向性櫛形電極３２において機械的エネルギから電気的エネルギに変換されるときに一部の波が打ち消しあい、エネルギ損失が生じる。弾性表面波Ｗ２が弾性表面波Ｗ２１，Ｗ２２の混合状態となって表面Ｓに発生するのは、前出の図４（ａ）に示すように、櫛形電極３１，３２，４１，４２によって形成される弾性表面波の幅ｇよりもスライダ５の幅ｆが小さいからである。

上述の弾性表面波Ｗ２２の存在によるによるエネルギの損失発生をさらに説明する。ここで、図６（ａ）に示すように、弾性表面波Ｗ２１，Ｗ２２に位相変化がないとした場合にそれぞれの波のエネルギＥ２１，Ｅ２２から回収される波のエネルギをエネルギＥ２とし、図６（ｂ）に示すように、弾性表面波Ｗ２１，Ｗ２２に位相差Δｔ１（図５における位相差ΔＸに対応する）がある場合のそれぞれの波のエネルギＥ２１，Ｅ２２から回収される波のエネルギをエネルギＥαとする。すると、エネルギＥαはエネルギＥ２よりも小さく、また、エネルギＥαにはエネルギＥ２（上述のエネルギ補填用櫛形電極４１，４２から供給される補填エネルギＥ０の位相と同相）に対して位相差Δｔ２が発生している。

また、図７（ａ）に示すように、エネルギ補填用櫛形電極４１，４２から供給される補填エネルギＥ０と一方向性櫛形電極３１から供給される環流エネルギＥ２が同相であるとした場合に、補填エネルギＥ０と環流エネルギＥ２とが互いに悪影響を及ぼすことはない。そこで、エネルギ補填用櫛形電極４１，４２によって生成される弾性表面波と一方向性櫛形電極３１によって生成される弾性表面波とが重ね合わされて生成される弾性表面波Ｗ１のエネルギをエネルギＥ１とし、図７（ｂ）に示すように、補填エネルギＥ０と補填エネルギＥ０に対して位相差Δｔ２が存在する環流エネルギＥαとによって生成される弾性表面波Ｗ１のエネルギをエネルギＥβとする。すると、エネルギＥβがエネルギＥ１よりも小さく、また、エネルギＥβにはエネルギＥ１に対して位相差Δｔ３が発生している。

上述のように、スライダ５が弾性表面波素子基板２の表面Ｓと接触することにより発生する位相差ΔＸに起因して、環流エネルギＥαや弾性表面波Ｗ１を生成するエネルギＥβの低下及び位相差Δｔ１，Δｔ２，Δｔ３によるエネルギ損失や駆動特性の劣化が発生する。また、このような位相差は、スライダ５が表面Ｓに接触すること以外に、例えば、周囲の温度変化によって弾性表面波素子基板２の特性が変化したり、表面Ｓに設けられた櫛形電極のパターンが設計値からずれたりすることによっても生じる。このため、従来の弾性表面波モータにおいて、依然として、スライダ５を駆動する際に大きな駆動電力を必要とする。

本発明は、上記課題を解消するものであって、弾性表面波に生じる位相変化を調整してエネルギ効率の向上を実現できるエネルギ回収型の弾性表面波モータを提供することを目的とする。

上記課題を達成するために、請求項１の発明は、弾性表面波素子基板と、前記弾性表面波素子基板表面の弾性表面波進行方向の前後に配置されて電気的エネルギと機械的エネルギの電気機械変換を行ってエネルギの回収と供給を行うことによりエネルギの環流を行う一方向性櫛形電極と、前記弾性表面波素子基板表面であって前記一方向性櫛形電極の間に配置され外部電源に接続されるエネルギ補填用櫛形電極と、予圧が付与された状態で前記弾性表面波素子基板の表面部分に接触、配置されるスライダと、を備え、前記弾性表面波素子基板に発生した弾性表面波と前記スライダに対する予圧とに基づいて前記弾性表面波素子基板と接触しているスライダの接触面に発生する摩擦力によりスライダを駆動する弾性表面波モータであって、前記弾性表面波に生じる位相変化を調整する位相調整手段を備えるものである。

請求項２の発明は、請求項１に記載の弾性表面波モータにおいて、前記位相調整手段は、前記一方向性櫛形電極及びエネルギ補填用櫛形電極を構成する櫛形電極のいずれかにより挟まれて前記弾性表面波素子基板の表面部分に設定された走行部により構成されており、前記走行部を挟む櫛形電極間の距離である走行部の長さを、当該走行部に前記スライダを配置しない状態で当該走行部に共振状態の弾性表面波を発生する電極間の距離に、当該走行部に前記スライダを配置することにより弾性表面波に生じる位相変化分に相当する距離を加えた長さとしたものである。

請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の弾性表面波モータにおいて、前記スライダの前記走行部と接触する部分の、弾性表面波の進行方向と直交する方向の幅は、前記櫛形電極における電極重なり幅と略等しいものである。

請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の弾性表面波モータにおいて、前記スライダは、当該スライダの前記走行部と接触する部分に、弾性表面波の進行方向と直交する方向に一様に分布した接触突起を持つものである。

請求項５の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の弾性表面波モータにおいて、前記位相調整手段は、機械的エネルギから電気的エネルギに変換する一方向性櫛形電極と電気的エネルギから機械的エネルギに変換する一方向性櫛形電極との間に設けられ、電気的エネルギの位相調整を行う電気回路であるものである。

請求項１の発明によれば、位相調整手段によって弾性表面波の位相変化を調整するので、従来損失となっていたエネルギを回収でき、また、供給するエネルギの位相に対して環流するエネルギの位相を同じくできるので、弾性表面波を生成するときに干渉によるエネルギ損失を抑制でき、エネルギ効率を向上できる。

請求項２の発明によれば、スライダの配置によって弾性表面波に生じる位相変化分に相当する距離を予め走行部の長さに加えることにより位相調整手段を構成するので、弾性表面波組織板の表面に配置する櫛形電極のパターン設計によって容易にエネルギ効率の向上を実現できる。

請求項３の発明によれば、櫛形電極によって生成される弾性表面波の幅とスライダの弾性表面波素子基板への接触部分の幅とを略等しくできるので、一方向櫛形電極に到達する弾性表面波は同一位相の弾性表面波となって効率良くエネルギ回収ができる。

請求項４の発明によれば、スライダが走行部と接触する部分が、弾性表面波の進行方向と直交する幅方向の全幅にわたり一様な構造とされているので、スライダの幅方向において生じる位相変化は略等しくなって効率良くエネルギ回収ができる。

請求項５の発明によれば、電気回路により電気的エネルギの状態で位相調整を行うので、適宜の位相調整が容易であり、スライダの寸法変更への対応や、機械的な位相調整に対する微調整への対応が容易である。

以下、本発明の一実施形態に係るエネルギ回収型の弾性表面波モータについて、図面を参照して説明する。図１（ａ）（ｂ）は弾性表面波モータ１を示し、図２（ａ）（ｂ）はスライダ５の詳細構造を示す。弾性表面波モータ１のリニアモータとしての基本的な構成は、従来例と同様であり、図１（ａ）（ｂ）に示すように、弾性表面波素子基板２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓの弾性表面波進行方向（図の左右方向）の前後に配置されて電気的エネルギと機械的エネルギの電気機械変換を行ってエネルギの回収と供給を行うことによりエネルギの環流を行う一方向性櫛形電極３１，３２と、弾性表面波素子基板２の表面Ｓであって一方向性櫛形電極３１，３２の間に配置され外部電源Ｖ１，Ｖ２に接続されるエネルギ補填用櫛形電極４１，４２と、予圧付与手段６によって予圧Ｆが付与された状態で弾性表面波素子基板２の表面Ｓ部分に接触、配置されるスライダ５と、を備えている。なお、各一方向性櫛形電極３１，３２に反射器を付属させて設けてもよい。

上述のスライダ５の弾性表面波素子基板２の表面Ｓとの接触面５０の弾性表面波の進行方向と直交する幅方向の全幅ａと、各一方向性櫛形電極３１，３２、及びエネルギ補填用櫛形電極４１，４２における弾性表面波を有効に生成する部分、又はエネルギを回収する部分である電極が重なった電極重なり幅ｂと、は略等しい寸法とされている。

また、スライダ５が配置され駆動されて走行する走行部２１が、一方向性櫛形電極３２とエネルギ補填用櫛形電極４２とにより挟まれた弾性表面波素子基板２の表面部分として設定されている。この走行部２１を挟む櫛形電極間の距離である走行部長ｄは、走行部２１にスライダ５を配置しない状態で走行部２１に共振状態の弾性表面波を発生する電極間の距離をｄ０とし、走行部２１にスライダ５を配置することにより共振状態の弾性表面波に生じる位相変化分に相当する距離である位相差ΔＸ（図５参照）を加えた長さ、すなわちｄ＝ｄ０＋ΔＸ、とされている。ここで、ΔＸは、その正負の符号を考慮してｄ０に加えられる。

また、スライダ５の弾性表面波素子基板２の表面Ｓとの接触面５０、すなわち表面Ｓに対向している面には、図２（ａ）（ｂ）に示すように、スライダ５の接触面５０の全幅ａにわたって一様に分布すると共に、所定の間隔で配置された接触突起５１が設けられている。接触突起５１の先端部分の接触突起面５２が、スライダ５の接触面５０の中で実質的に弾性表面波素子基板２の表面Ｓに接触する部分であり、駆動力となる摩擦力が発生する部分である。

次に、弾性表面波モータ１の動作を説明する。上述の状態で、エネルギ補填用櫛形電極４１，４２に、例えば、それぞれ外部電源Ｖ１，Ｖ２からｖ１＝ｖ０・ｃｏｓωｔ、ｖ２＝ｖ０・ｓｉｎωｔの所定の周波数の高周波（ＭＨｚ帯）電圧を印加すると、櫛形電極４１，４２によって、表面Ｓ上を図の右向きの進行波である弾性表面波Ｗ１が発生する。右向きの弾性表面波Ｗ１が励振されると、スライダ５が図の左方に向けて駆動される。この状態において、スライダ５の駆動に一部のエネルギを消費した弾性表面波Ｗ１は、弾性表面波Ｗ２となってスライダ５の右方に進む。

また、どちらかの外部電源Ｖ１，Ｖ２の電圧入力を反転させることにより左向きの進行波を励振できる。この場合、一方向性櫛形電極３１が、弾性表面波から機械的エネルギを受け取って電気的エネルギとして回収し、一方向性櫛形電極３２は、配線７を介して受け取った電気的エネルギを機械的エネルギとして弾性表面波素子基板２上に再放射する。この状態では、スライダ５は右方に進む。

ここで、図１（ａ）（ｂ）の場合に戻ると、一方向性櫛形電極３２は、弾性表面波Ｗ２から機械的エネルギを受け取って電気的エネルギとして回収し、そのエネルギを、配線７を介して電気接続された一方向性櫛形電極３１に送る。一方向性櫛形電極３１は、受け取った電気的エネルギを弾性表面波Ｗ０を生成するためのエネルギとして弾性表面波素子基板２上に供給（再放射）する。すなわち、一方向性櫛形電極３１，３２によりエネルギ還流を行い、エネルギの消費分がエネルギ補填用櫛形電極４１，４２から補填される。

このように、一対の一方向性櫛形電極３１，３２は、弾性表面波素子基板２の表面と配線７とともに、閉回路を形成して、エネルギの環流を行う。ここで、一方向性櫛形電極３１，３２間のインピーダンス整合について述べる。一対の一方向性櫛形電極３１，３２は、通常同一形状に形成されており、その対称性、及び相対性から、抵抗成分のインピーダンス整合は自然に満足されている。そこで、一方向性櫛形電極３１，３２の、それぞれの制動容量を打ち消すためのインダクタンスＬを一方向性櫛形電極３１，３２と並列に挿入することにより、インピーダンス整合が実現される（詳細は、特許文献１参照）。

上述の、スライダ５の接触面５０の全幅ａが電極重なり幅ｂと略等しく、接触面５０に設けられた接触突起５１が接触面５０の全幅ａにわたって一様に分布しており、さらに、スライダ５の走行部２１の走行部長ｄが、ｄ＝ｄ０＋ΔＸであるというこれらの構成要件は、全て位相調整手段を構成し、スライダ５の弾性表面波素子基板２への接触により生じる弾性表面波の位相変化を調整する。

すなわち、通常、櫛形電極の電極重なり幅ｂと略同一の幅の弾性表面波が生成されるので、弾性表面波の幅とスライダ５の弾性表面波素子基板２への接触部分の全幅ａとを略等しくでき、一方向櫛形電極３１又は３２に到達する弾性表面波は（図５における弾性表面波Ｗ２１がない）同一位相の弾性表面波となり、効率良くエネルギ回収ができ、エネルギ効率の向上を実現できる。

また、スライダ５が走行部２１と接触する部分が、弾性表面波の進行方向と直交する幅方向の全幅ａにわたり一様な構造とされているので、スライダ５の幅方向において生じる位相変化は略等しくなり、一方向櫛形電極３１又は３２によって効率良くエネルギ回収ができ、エネルギ効率の向上を実現できる。

また、スライダ５を表面Ｓに接触して配置することによって弾性表面波に生じる位相変化分に相当する距離を、予め走行部長ｄに加えることにより位相を調整して、位相差のない状態で機械的エネルギを回収すると共に、位相差のない電気エネルギとして、環流して再放射することができる。従って、弾性表面波モータ１において、エネルギ損失の少ない効率的な動作を実現して、エネルギ効率の向上を実現できる。

次に、図３により、他の実施形態に係る弾性表面波モータ１を説明する。この弾性表面波モータ１は、機械的エネルギから電気的エネルギに変換する一方向性櫛形電極３２又は３１と電気的エネルギから機械的エネルギに変換する一方向性櫛形電極３１又は３２との間に設けられ、電気的エネルギの位相調整を行う電気回路である位相調整回路８を位相調整手段として備えている。他の構造は、上述のいずれかと同様であり説明は省略する。位相調整回路８は、一方向性櫛形電極３１，３２を接続する配線７に挿入された４端子回路であり、例えば、抵抗、コンデンサ、インダクタ等の素子を、直列乃至並列に接続して構成されている。このような位相調整回路８によれば、エネルギ効率の向上を実現できると共に、電気回路により電気的エネルギの状態で位相調整を行うので、適宜の位相調整が容易であり、スライダ５の寸法変更への対応や、機械的な位相調整に対する微調整への対応が容易である。従って、このような位相調整回路８による位相調整手段は、周囲の温度変化によって弾性表面波素子基板２の特性が変化したり、表面Ｓに設けられた櫛形電極のパターンが設計値からずれたりして生じる位相差に対して、容易に位相調整をすることができる。なお、本発明は、上記構成に限られることなく種々の変形が可能である。

（ａ）は本発明の一実施形態に係る弾性表面波モータの平面図、（ｂ）は同弾性表面波モータの断面図。 （ａ）は同上弾性表面波モータにおけるスライダの弾性表面波素子との接触部分とその拡大部分の断面図、（ｂ）は同スライダの接触面の平面図。 本発明の他の実施形態に係る弾性表面波モータの平面図。 （ａ）は従来の弾性表面波モータの平面図、（ｂ）は同弾性表面波モータの断面図。 従来の弾性表面波モータにおけるスライダと弾性表面波の関係を示す模式的斜視図。 （ａ）は同位相の２つの弾性表面波のエネルギの時間変化、及び前記２つの弾性表面波を合成した波のエネルギの時間変化をそれぞれ示す図、（ｂ）は位相差のある２つの弾性表面波のエネルギの時間変化、及び前記２つの弾性表面波を合成した波のエネルギの時間変化をそれぞれ示す図。 （ａ）は２つの位相の揃ったエネルギ源から供給される弾性表面波生成用のエネルギの時間変化、及び前記２つのエネルギにより生成された弾性表面波のエネルギの時間変化をそれぞれ示す図、（ｂ）は位相差のある２つの弾性表面波のエネルギの時間変化、及び前記２つのエネルギにより生成された弾性表面波のエネルギの時間変化をそれぞれ示す図。

符号の説明

１ 弾性表面波モータ
２ 弾性表面波素子基板
５ スライダ
８ 位相調整回路
２１ 走行部
３１，３２ 一方向性櫛形電極
４１，４２ エネルギ補填用櫛形電極
５０ 接触面
５１ 接触突起
ａ 幅（電極重なり幅）
ｂ 幅（スライダの接触部分の幅）
ｄ 走行部長
Ｆ 予圧
Ｓ 表面
Ｖ１，Ｖ２ 外部電源
Ｗ１，Ｗ２ 弾性表面波
λ 波長
ΔＸ 位相差

Claims (5)

1. 弾性表面波素子基板と、
   前記弾性表面波素子基板表面の弾性表面波進行方向の前後に配置されて電気的エネルギと機械的エネルギの電気機械変換を行ってエネルギの回収と供給を行うことによりエネルギの環流を行う一方向性櫛形電極と、
   前記弾性表面波素子基板表面であって前記一方向性櫛形電極の間に配置され外部電源に接続されるエネルギ補填用櫛形電極と、
   予圧が付与された状態で前記弾性表面波素子基板の表面部分に接触、配置されるスライダと、を備え、
   前記弾性表面波素子基板に発生した弾性表面波と前記スライダに対する予圧とに基づいて前記弾性表面波素子基板と接触しているスライダの接触面に発生する摩擦力によりスライダを駆動する弾性表面波モータであって、
   前記弾性表面波に生じる位相変化を調整する位相調整手段を備えることを特徴とする弾性表面波モータ。
2. 前記位相調整手段は、前記一方向性櫛形電極及びエネルギ補填用櫛形電極を構成する櫛形電極のいずれかにより挟まれて前記弾性表面波素子基板の表面部分に設定された走行部により構成されており、前記走行部を挟む櫛形電極間の距離である走行部の長さを、当該走行部に前記スライダを配置しない状態で当該走行部に共振状態の弾性表面波を発生する電極間の距離に、当該走行部に前記スライダを配置することにより弾性表面波に生じる位相変化分に相当する距離を加えた長さとしたことを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波モータ。
3. 前記スライダの前記走行部と接触する部分の、弾性表面波の進行方向と直交する方向の幅は、前記櫛形電極における電極重なり幅と略等しいことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の弾性表面波モータ。
4. 前記スライダは、当該スライダの前記走行部と接触する部分に、弾性表面波の進行方向と直交する方向に一様に分布した接触突起を持つことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の弾性表面波モータ。
5. 前記位相調整手段は、機械的エネルギから電気的エネルギに変換する一方向性櫛形電極と電気的エネルギから機械的エネルギに変換する一方向性櫛形電極との間に設けられ、電気的エネルギの位相調整を行う電気回路であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の弾性表面波モータ。

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