JP2006304379A - 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、静電アクチュエータ搭載デバイス、液滴吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、静電アクチュエータ搭載デバイス、液滴吐出ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
な静電アクチュエータを提案する。
【解決手段】シリコンからなる振動板12と、振動板12にギャップ10を隔てて対向し
振動板12との間で電圧が印加される対向電極17と、振動板12の対向電極17との対
向面に形成された絶縁層16とを備え、絶縁層16が、振動板12に成膜された酸化シリ
コンよりも比誘電率が高い物質からなる誘電体層16Bと、誘電体層16Bに成膜された
誘電体層16Bより表面電荷密度の抑制率の高い表面層16Cとの積層構造となっている
静電アクチュエータ。
【選択図】図2
Description
搭載したデバイス並びに液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。
自由度が高い、安価な普通紙を使用できる等の多くの利点を有する。近年、インクジェッ
ト記録装置の中でも、記録が必要なときにのみインク液滴を吐出する、いわゆるインク・
オン・デマンド方式のインクジェット記録装置が主流となっている。このインク・オン・
デマンド方式のインクジェット記録装置は、記録に不要なインク液滴の回収を必要としな
い等の利点がある。
せる方法として、駆動手段に静電気力を利用した、いわゆる静電駆動方式のインクジェッ
ト記録装置がある。また、駆動手段に圧電素子(ピエゾ素子)を利用した、いわゆる圧電
駆動方式のインクジェット記録装置や、発熱素子等を利用した、いわゆるバブルジェット
(登録商標)方式のインクジェット記録装置等がある。
いう)を帯電させることにより振動板を対向電極側に吸引して撓ませる。このように小型
の装置において2つの物を帯電させることにより、駆動を行う機構を一般的に静電アクチ
ュエータと呼んでいる。インクジェット記録装置等の静電アクチュエータを適用した装置
では、一般的に帯電した振動板と対向電極との間に、絶縁破壊やショートを防止するため
のシリコン酸化膜の絶縁膜が形成されている(例えば、特許文献1)。
引圧力が安定せず、アクチュエータの安定駆動が確保できないという課題があった。また
、絶縁膜が厚くなると静電吸引力が低下し、静電アクチュエータの小型化や高密度化が難
しくなるという課題があった。さらに、従来は、振動板の基板と対向電極が形成された基
板とを接合する際に、絶縁膜に起因して接合強度の低下や接合不良が発生するという課題
もあった。
の低減を実現して、安定した駆動が可能な静電アクチュエータを得ることを第1の目的と
する。また、アクチュエータ駆動電圧の低電圧化を可能にして、小型でしかも駆動耐久性
に優れた静電アクチュエータを得ることを第2の目的とする。さらに、絶縁層が形成され
た基板と対向電極が形成された基板とを接合する場合には、その接合力を向上させること
を第3の目的とする。また、これらに併せて、上記静電アクチュエータを備えた液滴吐出
ヘッド、液滴吐出装置、静電アクチュエータ搭載デバイス、並びに液滴吐出ヘッドの製造
方法も提案する。
板との間で電圧が印加される対向電極と、前記振動板の前記対向電極との対向面に形成さ
れた絶縁層とを備え、該絶縁層は、前記振動板に成膜された酸化シリコンよりも比誘電率
が高い物質からなる誘電体層と、前記誘電体層に成膜された前記誘電体層より表面電荷密
度の抑制率の高い表面層との積層構造となっているものである。
この構成によれば、振動板の表面を構成している絶縁層表面での残留電荷影響が低減さ
れ、安定した駆動が可能な静電アクチュエータが実現できる。また、誘電体層により絶縁
層の誘電率が高まり、薄い絶縁膜で高い絶縁耐圧を得ることや、静電圧力の向上が可能と
なる。従って、振動板と対向電極との間に必要な絶縁耐圧を確保しつつ、アクチュエータ
駆動電圧の低電圧化が実現されて、小型でしかも駆動耐久性に優れた静電アクチュエータ
が得られる。
シリケート、または酸窒化ハフニウムシリケート等の比誘電率の高い物質から構成する。
また、前記表面層は、酸化シリコン膜または窒化シリコン等の表面電荷密度の抑制率の
高い物質から構成する。
なお、前記ギャップを構成している内壁面は疎水化処理が施されていることが好ましい
。これにより、残留電荷の蓄積を更に抑制できるからである。
板が形成されたキャビティ基板と、対向電極が形成された電極基板とが接合され、振動板
が吐出液滴を貯える液滴吐出室の底面を構成しているものである。
本発明の液滴吐出装置は、上記の液滴吐出ヘッドが搭載されているものである。
本発明のデバイスは、上記いずれかの静電アクチュエータが搭載されているデバイスで
ある。
これらの装置やデバイスでも、搭載されている静電アクチュエータによる上記効果が享
受できる。
化シリコンよりも比誘電率が高い物質からなる誘電体層を成膜し、前記誘電体層の表面に
前記誘電体層より表面電荷密度の抑制率の高い表面層を成膜して、積層された絶縁層を前
記キャビティ基板に形成する絶縁層形成工程と、前記絶縁層が形成された前記キャビティ
基板と、前記振動板に対応する対向電極が溝内に形成された電極基板とを、前記振動板の
形成領域と前記対向電極とを前記溝内の空間を介して対向させ接合する第1の接合工程と
、前記電極基板と接合された前記キャビティ基板をエッチングして前記振動板を含む液滴
吐出室を形成するキャビテイ基板エッチング工程と、前記キャビティ基板の前記電極基板
が接合されている側と反対側にノズル基板を接合する第2の接合工程と、を備えたもので
ある。
また、振動板が形成されるキャビティ基板の表面に酸化シリコンよりも比誘電率が高い
物質からなる誘電体層を成膜し、前記誘電体層の表面に前記誘電体層より表面電荷密度の
抑制率の高い表面層を成膜して、積層された絶縁層を前記キャビティ基板に形成する絶縁
層形成工程と、前記絶縁層が形成された前記キャビティ基板をエッチングして前記振動板
を含む液滴吐出室を形成するキャビテイ基板エッチング工程と、前記液滴吐出室が形成さ
れた前記キャビティ基板と、前記振動板に対応する対向電極が溝内に形成された電極基板
とを、前記振動板と前記対向電極とを前記溝内の空間を介して対向させ接合する第1の接
合工程と、前記キャビティ基板の前記電極基板が接合されている側と反対側にノズル基板
を接合する第2の接合工程と、を備えたものである。
これらの方法により、絶縁層表面での残留電荷影響の低減が可能となり、安定した駆動
を可能とする静電アクチュエータが製造できる。また、振動板と対向電極との間に必要な
絶縁耐圧を確保しつつ、アクチュエータ駆動電圧を低くでき、小型でしかも駆動耐久性に
優れた静電アクチュエータが製造できる。
とし、該ボロンがドープされたシリコン基板の表面を前記振動板に形成することが好まし
い。これによれば、シリコン基板をエッチングして液滴吐出室の底面を形成する際、ボロ
ンドープ層をエッチストップとして利用できるので、振動板の形成が容易になる。
なお、第1の接合工程の前に、表面層の表面を水酸基で活性化する処理を行うことで、
絶縁層が形成された基板と対向電極が形成された基板との接合力を高めることができる。
また、第1の接合工程の後に、溝内空間を構成している内壁面に疎水化処理を行うこと
で、残留電荷の蓄積が更に抑制できる。
図1は本発明の実施形態1に係る静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドを示す概
略縦断面図である。なお、図1の電圧印加に供される駆動回路20の部分は模式的に示し
ている。本実施形態1に係る液滴吐出ヘッド1は、主にキャビティ基板2、電極基板3、
及びノズル基板4が接合されて構成されている。
2として形成されて液滴の吐出室13となっている凹部が複数形成されている。吐出室1
3は図1の紙面手前側から紙面奥側にかけて平行に並んで形成されており、吐出室13の
底面を構成する振動板12は、シリコン基板表面からボロン(B)を拡散させて、ウェッ
トエッチングによりエッチストップして薄く仕上げられている。また、キャビティ基板2
には、各吐出室13にインク等の液滴を供給するためのリザーバ14となる凹部と、この
リザーバ14と各吐出室13を連通する細溝状のオリフィス15となる凹部が形成されて
いる。図1に示す液滴吐出ヘッド1では、リザーバ14は単一の凹部から形成されており
、オリフィス15は各吐出室13に対して1つずつ形成されている。オリフィス15はノ
ズル基板4の方に形成しても良い。
絶縁破壊やショートを防止する絶縁層16が形成されている。絶縁層16については後で
詳細に説明する。キャビティ基板2のノズル基板4が接合される側の面には、耐液滴保護
膜19が形成されている。この耐液滴保護膜19は、吐出室13やリザーバ14の内部の
液滴によりキャビティ基板2がエッチングされるのを防止するためのものである。
されている。電極基板3には、振動板12とギャップ10を隔てて対向する複数の対向電
極17が形成されている。ギャップ10は例えば100〜200nmの間に設定されてい
る。対向電極17は、例えばITO(Indium Tin Oxide)をスパッタすることにより形
成する。また電極基板3には、リザーバ14と連通するインク供給孔18が形成されてい
る。このインク供給孔18は、リザーバ14の底壁に設けられた孔と繋がっており、リザ
ーバ14にインク等の液滴を外部から供給するために設けられている。
反対側のキャビティ基板2に接合されている。ノズル基板4には、例えば円筒状の第1の
ノズル孔と、第1のノズル孔と連通し第1のノズル孔よりも径の大きい円筒状の第2のノ
ズル孔を有するノズル8が形成されている。
の液滴吐出ヘッド1の静電アクチュエータ部分、すなわち振動板12、絶縁層16、対向
電極17及び駆動回路20の部分を拡大して示す模式図である。絶縁層16は、シリコン
(Si)からなる振動板12の表面に、酸化シリコンより比誘電率が高い酸化アルミニウ
ム(Al2O3)等からなる誘電体層16Bが成膜され、その誘電体層16Bの表面に、誘
電体層16Bより表面電荷密度の抑制率が高くて、絶縁層16の表面電荷密度を抑制する
ことが可能な酸化シリコン(SiO2)等からなる表面層16Cが成膜された積層構造と
なっている。
電率が高まるので絶縁層を薄くでき、また静電吸引圧力が高まるのでアクチュエータの低
電圧駆動及び高密度化が可能となる。さらに、表面層16Cにより、絶縁層16表面での
電荷密度や残留電荷が抑制され、振動板12の対向電極17への吸着が防止されて、静電
アクチュエータの安定駆動が可能となる。
)より高い比誘電率を有するもので形成する。それらには、酸化アルミニウム(Al2O3
)、酸窒化シリコン(SiON)、酸化タンタル(Ta2O5)、窒化ハフニウムシリケー
ト(HfSiN)、または酸窒化ハフニウムシリケート(HfSiON)等が挙げられる
。これらは一般的にHigh−k材と呼ばれる絶縁材料でり、絶縁層の酸化膜換算厚み(
ETO)を薄くして必要な絶縁耐圧を確保することを可能とし、また静電圧力を高める作
用も果たす。この他、ハフニウム−アルミニウム酸化物(HfAlOx)やハフニウム酸
化物(HfOx)等を用いることも可能である。
層16Cの表面に、水酸基密度を増加させる(表面を水酸基で活性化する)処理をしてお
くと、表面層16Cと電極基板3との接合がより容易になる。また、ギャップ10の内部
表面(または内壁面)をシラン系またはフッ素系の処理剤で疎水化処理しておくと、水酸
基が疎水基で置換されて吸着水分子による帯電を防止し、残留電荷の蓄積がさらに抑制で
きる。この場合、表面層16Cの表面電荷密度の抑制率は、水酸基密度によって決まる。
ギャップ10の内部表面の疎水化処理により、表面電荷密度は表面の水酸基が疎水基によ
って置換されて、吸着水分子による帯電の影響が排除され、残留電荷の蓄積が防止されて
抑制される。従って、表面電荷密度の抑制のし易さは、表面の水酸基の疎水化処理による
疎水基への置換のされ易さによる。このような、表面層16Cの材料としては、酸化シリ
コンが好適である。
層16Bを約80nm、表面層16Cを約10nmとすることができる。しかしながら、
これらの値は絶縁層16に求められる絶縁耐圧と静電圧力の向上を考慮して、適宜決定さ
れて良い。
の対向電極17には駆動回路20が接続されている。駆動回路20によりキャビティ基板
2と対向電極17の間にパルス電圧が印加されると、振動板12が対向電極17に引き寄
せられて、振動板12の表面の表面層16Cは対向電極17に吸着する。これにより吐出
室13の内部に負圧が発生し、リザーバ14の内部に溜まっていたインク等の液滴が吐出
室13に流れ込む。流れ込んだインクにより吐出室13の内部の圧力が上昇に向かうタイ
ミングで、キャビティ基板2と電極17の間に印加されていた電圧が解除されると、振動
板12が元の位置に戻って吐出室13の内部の圧力が更に上昇して高くなるため、ノズル
8からインク等の液滴が吐出される。以上の動作を行う静電アクチュエータにおいて、絶
縁層16は、振動板12と対向電極17が吸着したときの放電によるアクチュエータの破
壊を防止し、更に、表面層16Cは残留電荷による発生圧力の変動を抑制している。
図である。なお、キャビティ基板2及び電極基板3の製造方法は、図3及び図4に示され
たものに限定されるものではない。
基板2aを用意する。そして、シリコン基板2aの片側表面にボロンをドープして、例え
ば2μm程度の厚さのボロンドーブ層を形成する。このボロンドーブ層は、後に振動板1
2となるものである。
(b)次に、シリコン基板2aのボロンドーブ層が形成されている表面に誘電体層16B
を形成する。誘電体層16Bの形成は、前述した酸化アルミニウムや酸窒化シリコンを、
ECRスパッタまたはプラズマCVDにより成膜して行う。
(c)続いて、誘電体層16Bの表面に表面層16Cを形成し、積層構造の絶縁層16を
得る。表面層16Cの形成は、TESOプラズマCVD等により緻密な酸化シリコンとし
て成膜する。なお、成膜された表面層16Cの表面は、酸素プラズマ、UV照射、あるい
は硝酸系洗浄液による洗浄とリンス等により表面処理を行って、その表面を水酸基で活性
化しておくと、その面を電極基板3に接合し易くなる。
に形成される振動板12に対応する対向電極17が形成された電極基板3とを接合する。
ここでは、電極基板3を例えば360℃に加熱し、シリコン基板2aに陽極、電極基板3
に陰極をそれぞれ接続して800V程度の電圧を印加して陽極接合を行う。
なお、陽極接合の前に、表面層16Cの表面に、水酸基密度を増加させる(表面を水酸
基で活性化する)処理をしておくと、表面層16Cと電極基板3との接合がより容易にな
る。また、この陽極接合の後に、ギャップ10の内部表面(または内壁面)をシラン系ま
たはフッ素系の処理剤で疎水化処理しておくと、残留電荷の蓄積を抑制するのに有益であ
る。
ところで、電極基板3は、例えば金・クロムのエッチングマスクを使用してホウ珪酸ガ
ラスからなる基板をフッ酸水溶液等でエッチングして凹部を形成した後に、凹部内にスパ
ッタ等によりITOからなる対向電極17を形成することで作成することができる。
よって、厚さ140μm程度になるまで薄板化する。なお、機械研削を行った後には、加
工変質層を除去するため水酸化カリウム水溶液等でライトエッチングを行うのが望ましい
。なお機械研削の代わりに、水酸化カリウム水溶液によるウェットエッチングによってシ
リコン基板2aの薄板化を行っても良い。
全面にTEOSプラズマCVDによって例えば厚さ1.5μmの酸化シリコン膜22を形
成する。
(g)そして、この酸化シリコン膜22に、吐出室13となる凹部、リザーバ14となる
凹部及びオリフィスとなる凹部となる部分を形成するためのレジストをパターニングし、
この部分の酸化シリコン膜をエッチングして除去する。
(h)その後、シリコン基板2aを水酸化カリウム水溶液等で異方性ウェットエッチング
することにより、吐出室13となる凹部13a、リザーバ14となる凹部(図示せず)及
びオリフィスとなる凹部(図示せず)を形成した後、酸化シリコン膜を除去する。このウ
ェットエッチングの工程では、例えば初めに35重量%の水酸化カリウム水溶液を使用し
、その後3重量%の水酸化カリウム水溶液を使用する2段階のエッチングを実施するのが
好ましい。これにより、振動板12の面荒れを抑制することができるからである。以上の
エッチング処理においては、先に形成していたボロンドープ層がエッチストップとして作
用し、残ったボロンドープ層が振動板12として形成される。
この後、シリコン基板2aの吐出室13となる凹部13a等の形成された面に、例えば
CVDによって酸化シリコン等からなる耐液滴保護膜(図1の符号19)を例えば厚さ0
.1μmで形成するが、それについては図示を省略する。
よってノズル8が形成されたノズル基板4を、シリコン基板2a(キャビティ基板2と同
じ)の電極基板3が接合されている側と反対側に接着剤等により接合する。
最後に、例えばキャビティ基板2、電極基板3、及びノズル基板4が接合された接合基
板をダイシング(切断)により分離して、液滴吐出ヘッド1が完成する。
る絶縁層形成工程と、絶縁層16が形成されたシリコン基板2aと、振動板12に対応す
る対向電極17が形成された電極基板3とを、振動板12の形成領域と対向電極17を対
向させて接合する第1の接合工程と、電極基板3と接合されたシリコン基板2aをエッチ
ングして振動板12を含む吐出室13やリザーバ14等を形成するキャビティ基板2の形
成工程と、キャビティ基板2にノズル基板4を接合する第2の接合工程とが順次実行され
るものである。この方法では、電極基板3と接合されたシリコン基板2aをエッチングし
て振動板12を含む吐出室13やリザーバ14等を形成しているため、割れ易いシリコン
基板2aの取り扱いが比較的容易にできるという利点がある。
形成工程と、絶縁層16が形成されたシリコン基板2aをエッチングして振動板12を含
む吐出室13やリザーバ14等を形成するキャビティ基板2の形成工程と、吐出室13等
が形成されたキャビティ基板2と、振動板12に対応する対向電極17が形成された電極
基板3とを、振動板12と対向電極17を対向させて接合する第1の接合工程と、キャビ
ティ基板2にノズル基板4を接合する第2の接合工程とを、順次実行して液滴吐出ヘッド
1を製造しても良い。
響の抑制が可能となり、安定した駆動を可能とする静電アクチュエータが製造できる。ま
た、振動板12と対向電極17との間に必要な絶縁耐圧が確保され、かつアクチュエータ
駆動電圧の低電圧化が実現された、小型でしかも駆動耐久性に優れた静電アクチュエータ
が製造できる。
図5は実施形態1の液滴吐出ヘッドを搭載した本発明の実施形態2に係る液滴吐出装置
の一例を示した斜視図である。図5に示す液滴吐出装置100は、液滴としてインクを吐
出するインクジェットプリンタである。
実施形態2に示す液滴吐出装置100は、それに搭載されている静電アクチュエータ及
び液滴吐出ヘッドの作用により、静電アクチュエータ部分の残留電荷影響が低減されるた
め、安定した駆動による高精度のインク吐出が可能となる。さらに、液滴吐出装置100
は、小型でしかも駆動耐久性に優れたものとなる。
なお、実施形態1に示す液滴吐出ヘッド1は、図5に示すインクジェットプリンタの他
に、吐出する液滴を種々変更することで、カラーフィルタのマトリクスパターンの形成、
有機EL表示装置の発光部の形成、生体液体試料の吐出等を行う液滴吐出装置にも適用す
ることができる。
本発明に係る静電アクチュエータは、液滴吐出ヘッドへの適用に限られるものではなく
、様々なデバイスに適用することができる。図6は本発明に係る静電アクチュエータを搭
載した本発明の実施形態3に係るデバイスの一例を示す斜視図である。図6に示す静電ア
クチュエータ搭載デバイスは波長可変フィルタ200であり、これは、駆動電極部210
、可動部220及びパッケージ部230を備え、可動部220の位置変動を利用して、入
射した光から特定の波長の光をフィルタリングして、それを出射させるものである。
変位することで所定の波長の光を透過させ所定の波長以外の光を反射させる可動体221
aと、可動体221aを変位可能に支持する連結部221b及び支持部221cと、可動
反射面223の反対側に空間を形成するスペーサ221eとが一体形成されている。可動
体221aは、例えば厚さが1μm〜10μmのシリコン活性層からなる。
駆動電極部210は、可動体221aと静電ギャップをEGを有して配置され、可動体
221aに対向してもう一方の電極を構成している駆動電極212と、可動反射面223
と光学ギャップOGを有して配置され、可動反射面223で反射された光をさらに反射す
る固定反射面218とを有し、可動反射面223と固定反射面218とが対向するように
、スペーサ221eを形成した側と反対側で可動部220と接合されている。駆動電極部
210の基材には、例えばガラス基板を用いることができる。
パッケージ部230は、可動部220のスペーサ221eにより形成された空間を塞ぐ
ように、スペーサ221eの先端に接合されている。
12に、駆動電極212は実施形態1の対向電極17にそれぞれ対応しており、それらが
静電アクチュエータを構成している。従って、可動体221aの駆動電極212側表面に
、実施形態1の絶縁層16に相当する絶縁層を形成することで、静電アクチュエータの残
留電荷影響が低減されて、可動体221aの動作が安定し、高精度の光フィルタリングが
可能となる。また、静電アクチュエータの絶縁耐圧及び静電圧力が向上し、波長可変フィ
ルタ200を小型でしかも駆動耐久性に優れたものとすることができる。
のアクチュエータとしての利用が可能である。それらの例を挙げれば、マイクロポンプの
ポンプ部、光スイッチのスイッチ駆動部、超小型のミラーを多数配置しそれらのミラーを
傾けて光の方向を制御するミラーデバイスのミラー駆動部に、更にレーザプリンタのレー
ザ操作ミラーの駆動部等に本発明に係る静電アクチュエータを適用することができる。
ノズル基板、8 ノズル、10 ギャップ、12 振動板、13 吐出室、14 リザー
バ、15 オリフィス、16 絶縁層、16B 誘電体層、16C 表面層、17 対向
電極、18 インク供給孔、19 耐液滴保護膜、20 駆動回路、100 液滴吐出装
置、200 波長可変フィルタ。
Claims (12)
- 振動板と、該振動板にギャップを隔てて対向し該振動板との間で電圧が印加される対向
電極と、前記振動板の前記対向電極との対向面に形成された絶縁層とを備え、
該絶縁層は、前記振動板に成膜された酸化シリコンよりも比誘電率が高い物質からなる
誘電体層と、前記誘電体層に成膜された前記誘電体層より表面電荷密度の抑制率の高い表
面層との積層構造となっていることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記誘電体層は、酸化アルミニウム、酸窒化シリコン、酸化タンタル、窒化ハフニウム
シリケート、または酸窒化ハフニウムシリケートのいずれかからなることを特徴とする請
求項1記載の静電アクチュエータ。 - 前記表面層は、酸化シリコンまたは窒化シリコンのいずれかからなることを特徴とする
請求項1または2記載の記載の静電アクチュエータ。 - 前記ギャップを構成している内壁面は疎水化処理が施されていることを特徴とする請求
項1ないし3のいずれかに記載の静電アクチュエータ。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の静電アクチュエータを備え、前記振動板が形成さ
れたキャビティ基板と、前記対向電極が形成された電極基板とが接合され、前記振動板が
吐出液滴を貯える液滴吐出室の底面を構成していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項5記載の液滴吐出ヘッドが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の静電アクチュエータが搭載されていることを特徴
とするデバイス。 - 振動板が形成されるキャビティ基板の表面に酸化シリコンよりも比誘電率が高い物質か
らなる誘電体層を成膜し、前記誘電体層の表面に前記誘電体層より表面電荷密度の抑制率
の高い表面層を成膜して、積層された絶縁層を前記キャビティ基板に形成する絶縁層形成
工程と、
前記絶縁層が形成された前記キャビティ基板と、前記振動板に対応する対向電極が溝内
に形成された電極基板とを、前記振動板の形成領域と前記対向電極とを前記溝内の空間を
介して対向させ接合する第1の接合工程と、
前記電極基板と接合された前記キャビティ基板をエッチングして前記振動板を含む液滴
吐出室を形成するキャビテイ基板エッチング工程と、
前記キャビティ基板の前記電極基板が接合されている側と反対側にノズル基板を接合す
る第2の接合工程と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 振動板が形成されるキャビティ基板の表面に酸化シリコンよりも比誘電率が高い物質か
らなる誘電体層を成膜し、前記誘電体層の表面に前記誘電体層より表面電荷密度の抑制率
の高い表面層を成膜して、積層された絶縁層を前記キャビティ基板に形成する絶縁層形成
工程と、
前記絶縁層が形成された前記キャビティ基板をエッチングして前記振動板を含む液滴吐
出室を形成するキャビテイ基板エッチング工程と、
前記液滴吐出室が形成された前記キャビティ基板と、前記振動板に対応する対向電極が
溝内に形成された電極基板とを、前記振動板と前記対向電極とを前記溝内の空間を介して
対向させ接合する第1の接合工程と、
前記キャビティ基板の前記電極基板が接合されている側と反対側にノズル基板を接合す
る第2の接合工程と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 表面にボロンがドープされたシリコン基板を前記キャビティ基板とし、該ボロンがドー
プされたシリコン基板の表面を前記振動板に形成することを特徴とする請求項8または9
記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第1の接合工程の前に、前記表面層の表面を水酸基で活性化する処理を行うことを
特徴とする請求項8ないし10のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第1の接合工程の後に、前記溝内空間を構成している内壁面に疎水化処理を行うこ
とを特徴とする請求項8ないし11のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
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