JP2006303020A - Capacitor built-in printed wiring board - Google Patents

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茂 内海
Toshiyuki Toyoshima
利之 豊島
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a capacitor built-in printed wiring board wherein first and second signal wires are hard to interfere each other or no change occurs in impedance of a transmission path because of downsizing and high density, even if a second signal wire is close to an electrode of a built-in capacitor connected to the first signal wire. <P>SOLUTION: The capacitor built-in printed wiring board is provided with a first insulating layer wherein a signal wire is provided on its surface, a capacitor which is provided in contact with the first insulating layer, and a second insulating layer which is provided in contact with the capacitor. In this case, the ground layer of the capacitor is in contact with the first insulating layer, and the capacitor electrode of the capacitor is in contact with the second insulating layer. The signal wire is electrically connected with the capacitor electrode through a via penetrating the first insulating layer, the ground layer and the capacitor layer, and the via is electrically insulated from the ground layer by a gap made of an insulating material. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、コンデンサを内蔵したプリント配線板に関し、特に、高周波機器に用いられ、内蔵コンデンサが高周波信号線に接続されたプリント配線板に関するものである。   The present invention relates to a printed wiring board with a built-in capacitor, and more particularly to a printed wiring board used in a high-frequency device and having a built-in capacitor connected to a high-frequency signal line.

従来、コンデンサ内蔵プリント配線板は、配線板の表面には信号線が設けられ、配線板の内部には誘電体層とそれを挟持する一対の電極からなるコンデンサが形成されている。そして、この配線板に内蔵されたコンデンサは、上記信号線に接続され、上記信号線に発生するノイズの除去などに用いられている。(例えば、特許文献1参照)。   Conventionally, in a printed wiring board with a built-in capacitor, a signal line is provided on the surface of the wiring board, and a capacitor including a dielectric layer and a pair of electrodes sandwiching the dielectric layer is formed inside the wiring board. A capacitor built in the wiring board is connected to the signal line and is used for removing noise generated in the signal line. (For example, refer to Patent Document 1).

特許第3033972号公報(第2頁、第2図)Japanese Patent No. 3033972 (second page, FIG. 2)

コンデンサ内蔵プリント配線板は、その小型・高密度化に伴い、各配線間の間隔が狭くなってきている。また、電子機器の多様化に伴い、内蔵されるコンデンサも多様化しており、特に、コンデンサの高容量化の要求に伴い、コンデンサ電極の面積が増大している。
このため、高周波機器に用いるコンデンサ内蔵プリント配線板では、高周波信号を伝達する第1の信号線に接続された内蔵コンデンサの電極と、第1の信号線に隣接する第2の信号線との距離が近くなっている。例えば、第1の信号線が接続された内蔵コンデンサの電極の直上にある配線板面に第2の信号線が設けられるようになっている。
その結果、第1の信号線と第2の信号線との電磁結合量が大きくなり、第1の信号線と第2の信号線とが互いに干渉し、これら信号線に接続された機器が誤動作するという問題があった。
さらに、第2の信号線の直下にコンデンサ電極が存在するため、第2の信号線とグラウンドとからなる伝送線路の特性インピーダンスが変動し、信号伝送効率が悪くなるという問題があった。
As the size and density of the printed wiring board with a built-in capacitor are reduced, the interval between the wirings is becoming narrower. In addition, with the diversification of electronic devices, the built-in capacitors are also diversifying. In particular, the area of the capacitor electrode is increasing with the demand for higher capacity of the capacitors.
For this reason, in a printed wiring board with a built-in capacitor used in a high-frequency device, the distance between the electrode of the built-in capacitor connected to the first signal line that transmits a high-frequency signal and the second signal line adjacent to the first signal line. Is close. For example, the second signal line is provided on the wiring board surface immediately above the electrode of the built-in capacitor to which the first signal line is connected.
As a result, the amount of electromagnetic coupling between the first signal line and the second signal line increases, the first signal line and the second signal line interfere with each other, and a device connected to these signal lines malfunctions. There was a problem to do.
Furthermore, since the capacitor electrode exists immediately below the second signal line, the characteristic impedance of the transmission line composed of the second signal line and the ground fluctuates, resulting in a problem that the signal transmission efficiency deteriorates.

この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は小型・高密度化により、第1の信号線に接続された内蔵コンデンサの電極と第2の信号線とが近接していても、第1の信号線と第2の信号線とが互いに干渉せず、また、第2の信号線による伝送路のインピーダンスが変動しない、コンデンサ内蔵プリント配線板を得ることである。   The present invention has been made to solve the above-described problems. The purpose of the present invention is to reduce the size and increase the density of the built-in capacitor electrode connected to the first signal line and the second signal line. To obtain a printed wiring board with a built-in capacitor in which the first signal line and the second signal line do not interfere with each other even when they are close to each other, and the impedance of the transmission line by the second signal line does not fluctuate. .

本発明のコンデンサ内蔵プリント配線板は、表面に信号線が設けられた第1の絶縁層と、この第1の絶縁層に接して設けられ、且つグラウンド層とコンデンサ層とコンデンサ電極とを積層して形成されたコンデンサと、このコンデンサに接して設けられた第2の絶縁層とを備えたコンデンサ内蔵プリント配線板であって、上記グラウンド層が上記第1の絶縁層と接しており、上記コンデンサ電極が上記第2の絶縁層と接しており、上記信号線が上記第1の絶縁層と上記グラウンド層と上記コンデンサ層とを貫通するビアで上記コンデンサ電極と電気的に接続されており、上記ビアが絶縁材で形成された間隙部により上記グラウンド層と電気的に絶縁されたものである。   The printed wiring board with a built-in capacitor according to the present invention is provided with a first insulating layer having a signal line on the surface thereof, and in contact with the first insulating layer, and a ground layer, a capacitor layer, and a capacitor electrode are laminated. And a second insulating layer provided in contact with the capacitor, wherein the ground layer is in contact with the first insulating layer. The electrode is in contact with the second insulating layer, and the signal line is electrically connected to the capacitor electrode through a via penetrating the first insulating layer, the ground layer, and the capacitor layer; A via is electrically insulated from the ground layer by a gap formed of an insulating material.

本発明のコンデンサ内蔵プリント配線板は、表面に信号線が設けられた第1の絶縁層と、この第1の絶縁層に接して設けられ、且つグラウンド層とコンデンサ層とコンデンサ電極とを積層して形成されたコンデンサと、このコンデンサに接して設けられた第2の絶縁層とを備えたコンデンサ内蔵プリント配線板であって、上記グラウンド層が上記第1の絶縁層と接しており、上記コンデンサ電極が上記第2の絶縁層と接しており、上記信号線が上記第1の絶縁層と上記グラウンド層と上記コンデンサ層とを貫通するビアで上記コンデンサ電極と電気的に接続されており、上記ビアが絶縁材で形成された間隙部により上記グラウンド層と電気的に絶縁されたものであり、信号線(第1の信号線と記す)を設けた第1の絶縁層の表面に、第2の信号線を設けても、第1の信号線につながるコンデンサ電極と第2の信号線との電磁結合が抑制される。すなわち第1の信号線と第2の信号線との電磁結合が抑制され、第2の信号線につながる回路の誤動作が防止できる。   The printed wiring board with a built-in capacitor according to the present invention is provided with a first insulating layer having a signal line on the surface thereof, and in contact with the first insulating layer, and a ground layer, a capacitor layer, and a capacitor electrode are laminated. And a second insulating layer provided in contact with the capacitor, wherein the ground layer is in contact with the first insulating layer. The electrode is in contact with the second insulating layer, and the signal line is electrically connected to the capacitor electrode through a via penetrating the first insulating layer, the ground layer, and the capacitor layer; A via is electrically insulated from the ground layer by a gap formed of an insulating material, and a second insulating layer is provided on the surface of the first insulating layer provided with a signal line (referred to as a first signal line). The faith It is provided a line, and a capacitor electrode connected to the first signal line electromagnetically coupled to the second signal line is suppressed. That is, electromagnetic coupling between the first signal line and the second signal line is suppressed, and malfunction of a circuit connected to the second signal line can be prevented.

実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1のコンデンサ内蔵プリント配線板を示す断面図である。図1に示すように、本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板20は、このプリント配線板20における第1の絶縁層5の表面(E面)に、第1の信号線10と、第1の信号線に流れる信号と異なる信号が流れる第2の信号線12とが設けられている。図1に示すように、第2の信号線12は一本のみならず複数本であっても良い。この第1の信号線10は、第1の絶縁層5のE面と対向する面(F面)に設けられたグラウンド層2と対になり、第1の伝送線路を形成している。また、第2の信号線12も、第1の絶縁層5のF面に設けられたグラウンド層2と対になり、第2の伝送線路を形成している。
また、グラウンド層2のF面に接する面と対向する面にコンデンサ層1が接して設けられており、コンデンサ層1のグラウンド層2に接する面と対向する面には、コンデンサ電極4が設けられている。そして、コンデンサ電極4とコンデンサ層1とグラウンド層2とで、内蔵コンデンサ9を形成している。コンデンサ電極4が設けられたコンデンサ層1の面には、第2の絶縁層3が接して設けられいる。すなわち、第1および第2の信号線が設られた第1の絶縁層5と、グラウンド層2とコンデンサ層1とコンデンサ電極4とからなる内蔵コンデンサ9と、第2の絶縁層3とが積層されてコンデンサ内蔵プリント配線板20を形成している。
そして、本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板20では、第1の信号線10が、第1の絶縁層5とグラウンド層2とコンデンサ層1とを貫通し、且つグラウンド層2から絶縁されたビア6によって、コンデンサ電極4と電気的に接続されており、内蔵コンデンサ9は、例えば第1の信号線10に流れる信号の高周波ノイズの除去に用いられる。
Embodiment 1.
1 is a cross-sectional view showing a printed wiring board with a built-in capacitor according to a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the capacitor-embedded printed wiring board 20 of the present embodiment has a first signal line 10 and a first signal line on the surface (E surface) of the first insulating layer 5 in the printed wiring board 20. And a second signal line 12 through which a signal different from the signal flowing through the signal line flows. As shown in FIG. 1, the number of the second signal lines 12 may be not only one but also a plurality. The first signal line 10 is paired with the ground layer 2 provided on the surface (F surface) facing the E surface of the first insulating layer 5 to form a first transmission line. The second signal line 12 is also paired with the ground layer 2 provided on the F surface of the first insulating layer 5 to form a second transmission line.
The capacitor layer 1 is provided in contact with the surface of the ground layer 2 that faces the F surface, and the capacitor electrode 4 is provided on the surface of the capacitor layer 1 that faces the ground layer 2. ing. The capacitor electrode 4, the capacitor layer 1, and the ground layer 2 form a built-in capacitor 9. A second insulating layer 3 is provided in contact with the surface of the capacitor layer 1 on which the capacitor electrode 4 is provided. That is, the first insulating layer 5 provided with the first and second signal lines, the built-in capacitor 9 composed of the ground layer 2, the capacitor layer 1, and the capacitor electrode 4, and the second insulating layer 3 are laminated. Thus, a printed wiring board 20 with a built-in capacitor is formed.
In the printed wiring board 20 with a built-in capacitor according to the present embodiment, the first signal line 10 penetrates the first insulating layer 5, the ground layer 2, and the capacitor layer 1 and is insulated from the ground layer 2. The internal capacitor 9 is electrically connected to the capacitor electrode 4 through the via 6, and the built-in capacitor 9 is used, for example, to remove high-frequency noise of a signal flowing through the first signal line 10.

図2は、図1のコンデンサ内蔵プリント配線板における、A−A面(a)とB−B面(b)とC−C面(c)との、各々の上面図である。
図1と図2とに示すように、第1の信号線10とビア6とは、第1の信号線10に設けたランド15で接続されている。また、グラウンド層2には、ビア6より大きな孔が設けられ、ビア6とグラウンド層2との間隙部7には、絶縁材が存在し、ビア6とグラウンド層2とは電気絶縁されている。上記絶縁材は、第1の絶縁層5であっても良く、または、コンデンサ層1の誘電体であっても良い。
コンデンサ内蔵プリント配線板をこのような構造にすることにより、コンデンサ電極4の第1の絶縁層5のE面への投影領域が、第2の信号線12と重なっても、グラウンド層2が遮蔽体となり、第1の信号線10につながるコンデンサ電極4と第2の信号線12との電磁結合が抑制される。すなわち第1の信号線10と第2の信号線12との電磁結合が抑制され、第2の信号線につながる回路の誤動作が防止できる。また、第2の信号線12とグラウンド層2とで形成される伝送線路の特性インピーダンスの変動が防止され、伝送効率が向上する。
2 is a top view of each of the AA plane (a), the BB plane (b), and the CC plane (c) in the capacitor-embedded printed wiring board of FIG.
As shown in FIGS. 1 and 2, the first signal line 10 and the via 6 are connected by a land 15 provided in the first signal line 10. The ground layer 2 is provided with a hole larger than the via 6, an insulating material is present in the gap 7 between the via 6 and the ground layer 2, and the via 6 and the ground layer 2 are electrically insulated. . The insulating material may be the first insulating layer 5 or the dielectric of the capacitor layer 1.
By configuring the capacitor-embedded printed wiring board in such a structure, the ground layer 2 is shielded even if the projection area of the capacitor electrode 4 on the E surface of the first insulating layer 5 overlaps the second signal line 12. The electromagnetic coupling between the capacitor electrode 4 connected to the first signal line 10 and the second signal line 12 is suppressed. That is, electromagnetic coupling between the first signal line 10 and the second signal line 12 is suppressed, and malfunction of a circuit connected to the second signal line can be prevented. In addition, fluctuations in the characteristic impedance of the transmission line formed by the second signal line 12 and the ground layer 2 are prevented, and transmission efficiency is improved.

本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板20おいて、絶縁材で形成される間隙部7の幅が、コンデンサ層1の厚さ(t1)の2倍以上であると、ビア6とグラウンド層2との電磁結合による内蔵コンデンサ9の容量が不安定になることを防止できるので、好ましい。また、間隙部7の外径の上限は、コンデンサ電極4の面の対角線の2/3下であると、グラウンド層2による電磁遮蔽効果が低下せず好ましい。この間隙部7の第1の絶縁層5のE面への投影領域が、第2の信号線12と重ならない範囲であると、グラウンド層2による電磁遮蔽効果が高く好ましい。そして、間隙部7の外周から第2の信号線までの距離が第1の絶縁層5の厚さ(t5)の1/2乗以上であると、第2の信号線12とコンデンサ電極4とを結ぶ線上にグラウンド層2が必ず存在し、グラウンド層2による電磁結合の電磁遮蔽効果がさらに高くなり、より好ましい。
本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板20では、第2の絶縁層3のコンデンサ電極4が設けられた面(G面と記す)と対向する面(H面と記す)には何もないが、コンデンサ電極4と十分に離れた位置に第3の信号線や回路を設けても良く、さらに、コンデンサ電極4と十分に離れた位置に回路が設けられた基板層を設けても良い。
In the printed wiring board 20 with a built-in capacitor according to the present embodiment, when the width of the gap 7 formed of an insulating material is at least twice the thickness (t1) of the capacitor layer 1, the via 6 and the ground layer 2 It is preferable to prevent the capacitance of the built-in capacitor 9 from becoming unstable due to the electromagnetic coupling. The upper limit of the outer diameter of the gap 7 is preferably 2/3 below the diagonal of the surface of the capacitor electrode 4 because the electromagnetic shielding effect by the ground layer 2 is not lowered. It is preferable that the projected area of the gap portion 7 on the E plane of the first insulating layer 5 does not overlap the second signal line 12 because the electromagnetic shielding effect by the ground layer 2 is high. When the distance from the outer periphery of the gap 7 to the second signal line is equal to or greater than the half power of the thickness (t5) of the first insulating layer 5, the second signal line 12, the capacitor electrode 4, The ground layer 2 always exists on the line connecting the two, and the electromagnetic shielding effect of the electromagnetic coupling by the ground layer 2 is further enhanced, which is more preferable.
In the printed wiring board 20 with a built-in capacitor according to the present embodiment, there is nothing on the surface (denoted as H surface) opposite to the surface (denoted as G surface) on which the capacitor electrode 4 of the second insulating layer 3 is provided. The third signal line or circuit may be provided at a position sufficiently separated from the capacitor electrode 4, and a substrate layer provided with a circuit may be provided at a position sufficiently separated from the capacitor electrode 4.

以下に本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板20の製造方法を説明する。
まず、コンデンサ電極4を写真製版法で形成した第2の絶縁層3となるコア基板を準備する。このコア基板のコンデンサ電極4が設けられた面に、接着性を有するコンデンサ層1とグラウンド層2となる銅箔とを、この順に積層する。この銅箔を写真製版法により加工しグラウンド層2とするとともに、グラウンド層2に間隙部7を形成する。
次に、グラウンド層2の面に、第1の絶縁層5となる基材と信号線となる銅箔とを、この順に積層する。写真製版法によりビア6を形成する位置の銅箔を除去し、この位置にコンデンサ電極4に到達する孔をあける。この時、上記孔は、間隙部7を貫通させる。
次に、上記孔に、例えばパネル銅めっきを行い、銅によるビア6を形成する。ビア6は銅めっき以外、導電性樹脂などの導電性材料で形成しても良い。
最後に、第1の絶縁層5のE面に積層された銅箔を、写真製版法により加工し、第1の信号線10とランド15と第2の信号線12とを形成する。
このようにして、本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板20が得られる。
Hereinafter, a method for manufacturing the printed wiring board 20 with a built-in capacitor according to the present embodiment will be described.
First, a core substrate to be the second insulating layer 3 in which the capacitor electrode 4 is formed by photolithography is prepared. On the surface of the core substrate on which the capacitor electrode 4 is provided, the capacitor layer 1 having adhesiveness and the copper foil to be the ground layer 2 are laminated in this order. The copper foil is processed by the photoengraving method to form the ground layer 2, and the gap 7 is formed in the ground layer 2.
Next, a base material to be the first insulating layer 5 and a copper foil to be a signal line are laminated in this order on the surface of the ground layer 2. The copper foil at the position where the via 6 is formed is removed by photolithography, and a hole reaching the capacitor electrode 4 is opened at this position. At this time, the hole penetrates the gap 7.
Next, for example, panel copper plating is performed on the hole to form a via 6 made of copper. The via 6 may be formed of a conductive material such as a conductive resin other than copper plating.
Finally, the copper foil laminated on the E surface of the first insulating layer 5 is processed by photolithography to form the first signal line 10, the land 15, and the second signal line 12.
Thus, the printed wiring board 20 with a built-in capacitor according to the present embodiment is obtained.

本実施の形態では、第2の絶縁層3となるコア基板には、一般的な両面銅張板を用いることができ、例えば、松下電工株式会社製R1766(絶縁層厚さ0.2mm、銅箔厚さ0.012mm)などが使用できる。
また、コンデンサ層1には、一般的な絶縁性の接着フィルムを用いることができ、例えば、松下電工株式会社製R1661(厚さ0.1mm)などが使用できる。単位面積あたりの容量が大きいコンデンサを得るためには、厚さが0.1mm以下の接着フィルムを用いるのが好ましく、厚さが0.02mm以下の接着フィルムを用いるのがより好ましい。また、比誘電率の高い材料を用いてもかまわない。
第1の絶縁層5には、一般的な多層プリント配線板用の基材を用いることができ、たとえば、松下電工株式会社製R1661(厚さ0.2mm)などが使用できる。
銅箔にはプリント配線板用の一般的な材料を用いることができ、たとえば、古河電工株式会社製のF3‐WS(厚さ0.012mm)などが使用できる。
In the present embodiment, a general double-sided copper-clad plate can be used for the core substrate to be the second insulating layer 3. For example, R1766 (insulating layer thickness: 0.2 mm, copper) manufactured by Matsushita Electric Works, Ltd. A foil thickness of 0.012 mm) can be used.
Moreover, a general insulating adhesive film can be used for the capacitor layer 1, and for example, R1661 (thickness 0.1 mm) manufactured by Matsushita Electric Works, Ltd. can be used. In order to obtain a capacitor having a large capacity per unit area, an adhesive film having a thickness of 0.1 mm or less is preferably used, and an adhesive film having a thickness of 0.02 mm or less is more preferably used. Further, a material having a high relative dielectric constant may be used.
For the first insulating layer 5, a general base material for a multilayer printed wiring board can be used. For example, R1661 (thickness 0.2 mm) manufactured by Matsushita Electric Works, Ltd. can be used.
A general material for a printed wiring board can be used for the copper foil. For example, F3-WS (thickness 0.012 mm) manufactured by Furukawa Electric Co., Ltd. can be used.

実施の形態2.
図3は、本発明の実施の形態2のコンデンサ内蔵プリント配線板を示す断面図である。図3に示すように、本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板30は、実施の形態1のコンデンサ内蔵プリント配線板20において、第2の絶縁層3におけるコンデンサ電極4が設けられた面(G面)と対向する面(H面)に、第2のグラウンド層32と第3の絶縁層35とをこの順に積層したものであり、第3の絶縁層35の第2のグラウンド層32が接する面(I面)と対向する面(J面)に、第3の信号線11が設けられたものである。本実施の形態では、実施の形態1におけるグラウンド層2を第1のグラウンド層2bとしている。
このような構成にすることにより、第3の絶縁層35におけるJ面へのコンデンサ電極4の投影領域内に、第3の信号線11が設けらていても、第1の信号線10につながるコンデンサ電極4と第3の信号線11との電磁結合が抑制される。すなわち第1の信号線10と第3の信号線11との電磁結合が抑制され、第3の信号線につながる回路の誤動作が防止できる。また、第3の信号線11とグラウンド層とで形成される伝送線路の特性インピーダンスの変動が防止され、伝送効率が向上する。
Embodiment 2.
FIG. 3 is a sectional view showing a printed wiring board with a built-in capacitor according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the capacitor built-in printed wiring board 30 according to the present embodiment is the same as the surface (G) of the second insulating layer 3 in the capacitor built-in printed wiring board 20 according to the first embodiment (G The second ground layer 32 and the third insulating layer 35 are laminated in this order on the surface (H surface) facing the surface), and the second ground layer 32 of the third insulating layer 35 is in contact therewith. The third signal line 11 is provided on the surface (J surface) opposite to the surface (I surface). In the present embodiment, the ground layer 2 in the first embodiment is the first ground layer 2b.
With such a configuration, even if the third signal line 11 is provided in the projection region of the capacitor electrode 4 onto the J plane in the third insulating layer 35, the third signal line 11 is connected to the first signal line 10. Electromagnetic coupling between the capacitor electrode 4 and the third signal line 11 is suppressed. That is, the electromagnetic coupling between the first signal line 10 and the third signal line 11 is suppressed, and the malfunction of the circuit connected to the third signal line can be prevented. In addition, variation in characteristic impedance of the transmission line formed by the third signal line 11 and the ground layer is prevented, and transmission efficiency is improved.

実施の形態3.
図4は、本発明の実施の形態3のコンデンサ内蔵プリント配線板を示す断面図である。図4に示すように、本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板40は、実施の形態1のコンデンサ内蔵プリント配線板20における第2の絶縁層43のH面に、第2のコンデンサ電極44が設けられている。さらに、この第2のコンデンサ電極44が設けられた第2の絶縁層43のH面に、第2のコンデンサ層41と第2のグラウンド層42とが、この順に積層され、第2のコンデンサ49が形成されている。さらに、第2のグラウンド層42における第2のコンデンサ層41に接する面と対向する面に、第3の絶縁層45が設けられている。
さらに、第2の絶縁層43には、第1のコンデンサ電極4bと第2のコンデンサ電極44とを電気的に接続する第2のビア46が設けられている。
Embodiment 3.
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a printed wiring board with a built-in capacitor according to the third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 4, the capacitor built-in printed wiring board 40 of the present embodiment has the second capacitor electrode 44 on the H surface of the second insulating layer 43 in the capacitor built-in printed wiring board 20 of the first embodiment. Is provided. Further, the second capacitor layer 41 and the second ground layer 42 are laminated in this order on the H surface of the second insulating layer 43 provided with the second capacitor electrode 44, and the second capacitor 49 Is formed. Furthermore, a third insulating layer 45 is provided on the surface of the second ground layer 42 that faces the surface in contact with the second capacitor layer 41.
Further, the second insulating layer 43 is provided with a second via 46 that electrically connects the first capacitor electrode 4 b and the second capacitor electrode 44.

このような構成にすることにより、内蔵コンデンサの容量を大きくすることができる。さらに、第3の絶縁層45における第3の信号線11が設けられた面(J面)への、第2のコンデンサ電極44の投影領域内に、第3の信号線11が設けらていても、第1の信号線10につながる第2のコンデンサ電極44と第3の信号線11との電磁結合が抑制される。すなわち第1の信号線10と第3の信号線11との電磁結合が抑制され、第3の信号線につながる回路の誤動作が防止できる。また、第3の信号線11とグラウンド層とで形成される伝送線路の特性インピーダンスの変動が防止され、伝送効率が向上する。   With this configuration, the capacity of the built-in capacitor can be increased. Further, the third signal line 11 is provided in the projection region of the second capacitor electrode 44 on the surface (J plane) where the third signal line 11 is provided in the third insulating layer 45. In addition, the electromagnetic coupling between the second capacitor electrode 44 connected to the first signal line 10 and the third signal line 11 is suppressed. That is, the electromagnetic coupling between the first signal line 10 and the third signal line 11 is suppressed, and the malfunction of the circuit connected to the third signal line can be prevented. In addition, variation in characteristic impedance of the transmission line formed by the third signal line 11 and the ground layer is prevented, and transmission efficiency is improved.

以下に本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板40の製造方法を説明する。
まず、第2のグラウンド層42を写真製版法で形成した第3の絶縁層45となるコア基板を準備する。
次に、両面の銅箔を備えた基板の各々面を写真製版法で加工し、第1のコンデンサ電極4bと第2のコンデンサ電極44とを備えた第2の絶縁層43を準備する。このコア基板の電極部を孔あけ加工し、実施の形態1に記載の方法により第2のビア46を形成して、第1のコンデンサ電極4bと第2のコンデンサ電極44とを電気的に接続する。
次に、第3の絶縁層45に設けられた第2のグラウンド層42の面に、接着性を有する第2のコンデンサ層41、および、上記の電気的に接続された第1のコンデンサ電極4bと第2のコンデンサ電極44とを備えた第2の絶縁層43を、この順に積層する。
次に、第1のコンデンサ電極4bが設けられた第2の絶縁層43上に、実施の形態1と同様にして、第1のコンデンサ層1b、第1のグラウンド層2b、第1の絶縁層5、第1のビア6b、第1の信号線10および第2の信号線を12を設けて、本実施の形態のコンデンサ内蔵プリント配線板40を得る。
A method for manufacturing the capacitor built-in printed wiring board 40 of the present embodiment will be described below.
First, a core substrate to be the third insulating layer 45 in which the second ground layer 42 is formed by photolithography is prepared.
Next, each surface of the substrate including the copper foils on both sides is processed by a photoengraving method to prepare a second insulating layer 43 including a first capacitor electrode 4b and a second capacitor electrode 44. A hole is formed in the electrode portion of the core substrate, the second via 46 is formed by the method described in the first embodiment, and the first capacitor electrode 4b and the second capacitor electrode 44 are electrically connected. To do.
Next, the second capacitor layer 41 having adhesiveness on the surface of the second ground layer 42 provided on the third insulating layer 45, and the first capacitor electrode 4b electrically connected as described above. And a second insulating layer 43 including the second capacitor electrode 44 are laminated in this order.
Next, the first capacitor layer 1b, the first ground layer 2b, the first insulating layer are formed on the second insulating layer 43 provided with the first capacitor electrode 4b in the same manner as in the first embodiment. 5, the first via 6b, the first signal line 10 and the second signal line 12 are provided to obtain the capacitor built-in printed wiring board 40 of the present embodiment.

次に、実施例にて、本発明のコンデンサ内蔵プリント配線板の効果を詳細に説明する。   Next, the effect of the printed wiring board with a built-in capacitor according to the present invention will be described in detail in Examples.

実施例1.
実施の形態1のコンデンサ内蔵プリント配線板20、すなわち、図1に示す構造のコンデンサ内蔵プリント配線板20を準備した。
具体的には、第1の絶縁層5は厚さ0.2mmのプリント配線板の基材とし、グラウンド層2は厚さ0.012mmのプリント配線板用銅箔とした。また、コンデンサ層1は厚さ0.1mmの接着フィルムとし、第2の絶縁層3はコア基板の厚さ0.2mmの基材層とし、コンデンサ電極4は厚さ0.012mmの銅箔とした。そして、コンデンサ電極4は、4mm角の正方形とした。
第1の信号線10と第2の信号線12とは、厚さ0.012mmの銅箔を写真製版法で加工した幅0.286mmの配線とした。
ビア6の直径は0.1mmとし、ビア6の中心から信号線12までの距離を1mmとし、間隙部7の外径を2.3mmとした。
Example 1.
The capacitor built-in printed wiring board 20 of the first embodiment, that is, the capacitor built-in printed wiring board 20 having the structure shown in FIG. 1 was prepared.
Specifically, the first insulating layer 5 was a substrate of a printed wiring board having a thickness of 0.2 mm, and the ground layer 2 was a copper foil for a printed wiring board having a thickness of 0.012 mm. The capacitor layer 1 is an adhesive film having a thickness of 0.1 mm, the second insulating layer 3 is a base layer having a core substrate thickness of 0.2 mm, and the capacitor electrode 4 is a copper foil having a thickness of 0.012 mm. did. The capacitor electrode 4 was a 4 mm square.
The first signal line 10 and the second signal line 12 were wirings having a width of 0.286 mm obtained by processing a copper foil having a thickness of 0.012 mm by a photoengraving method.
The diameter of the via 6 was 0.1 mm, the distance from the center of the via 6 to the signal line 12 was 1 mm, and the outer diameter of the gap 7 was 2.3 mm.

このような構造のコンデンサ内蔵プリント配線板20の第1の信号線10に、強度がS1である1GHzの高周波信号を入力し、電磁結合により第2の信号線12に発生する信号出力の強度S2を測定し、S1とS2との比から電磁結合量C1(dB)を求めた。得られた電磁結合量C1を、間隙部7の外径D(mm)とともに、表1に示した。   A high-frequency signal of 1 GHz having an intensity of S1 is input to the first signal line 10 of the printed wiring board 20 with a capacitor having such a structure, and the intensity S2 of the signal output generated on the second signal line 12 by electromagnetic coupling And the amount of electromagnetic coupling C1 (dB) was determined from the ratio between S1 and S2. The obtained electromagnetic coupling amount C1 is shown in Table 1 together with the outer diameter D (mm) of the gap 7.

実施例2〜7.
間隙部7の外径D(mm)を表1に示すものにした以外、実施例1と同様なコンデンサ内蔵プリント配線板20を、準備した。
各コンデンサ内蔵プリント配線板20について、実施例1と同様にして、電磁結合量C1(db)を求め、表1に示した。
Examples 2-7.
A capacitor-embedded printed wiring board 20 similar to that in Example 1 was prepared except that the outer diameter D (mm) of the gap 7 was changed to that shown in Table 1.
For each printed wiring board 20 with a built-in capacitor, the electromagnetic coupling amount C1 (db) was determined in the same manner as in Example 1 and shown in Table 1.

比較例1.
図5は、実施例1〜7のコンデンサ内蔵プリント配線板と対比する比較例1のコンデンサ内蔵プリント配線板である。
図5に示すように、比較例1のコンデンサ内蔵プリント配線板50は、第1の絶縁層5の面にコンデンサ電極4を設け、第2の絶縁層3の面にグラウンド層2を設け、第1の絶縁層5に設けられたコンデンサ電極4と第2の絶縁層3に設けられたグラウンド層2とで、コンデンサ層4を挟持して内蔵コンデンサ9を形成した以外、実施例1のコンデンサ内蔵プリント配線板と同様である。
そして、比較例1のコンデンサ内蔵プリント配線板50について、実施例1と同様にして、電磁結合量C1(db)を求め、表1に示した。
Comparative Example 1
FIG. 5 is a printed wiring board with a built-in capacitor of Comparative Example 1 compared with the printed wiring boards with a built-in capacitor of Examples 1 to 7.
As shown in FIG. 5, the capacitor built-in printed wiring board 50 of Comparative Example 1 is provided with the capacitor electrode 4 on the surface of the first insulating layer 5, the ground layer 2 on the surface of the second insulating layer 3, The built-in capacitor 9 of Example 1 is formed except that the capacitor layer 4 is sandwiched between the capacitor electrode 4 provided in the first insulating layer 5 and the ground layer 2 provided in the second insulating layer 3 to sandwich the capacitor layer 4. It is the same as a printed wiring board.
And about the printed wiring board 50 with a built-in capacitor of the comparative example 1, it carried out similarly to Example 1, calculated | required electromagnetic coupling amount C1 (db), and showed in Table 1.

表1から明らかなように、比較例1の従来の構造のコンデンサ内蔵プリント配線板に比べ、実施例1〜7のコンデンサ内蔵プリント配線板は、第1の信号線10と第2の信号線12との電磁結合量C1が小さくなった。
すなわち、実施例1〜実施例7のコンデンサ内蔵プリント配線板では、第1のグラウンド層2が、第2の信号線12への電磁結合の有効な遮蔽体として作用している。
特に、間隙部7の第1の絶縁層5のE面への投影領域が、第2の信号線12と重ならない範囲である実施例2〜7のコンデンサ内蔵プリント配線板は、電磁結合量C1がさらに小さくなる。
そして、間隙部7の外周から第2の信号線までの距離が第1の絶縁層5の厚さ(t5)の1/2乗以上となる実施例3〜7では、電磁結合量C1がより一層小さくなる。










As is apparent from Table 1, the capacitor-embedded printed wiring boards of Examples 1 to 7 have the first signal line 10 and the second signal line 12 as compared with the conventional capacitor-embedded printed wiring board of Comparative Example 1. The amount of electromagnetic coupling C1 was reduced.
That is, in the printed wiring board with a built-in capacitor according to the first to seventh embodiments, the first ground layer 2 acts as an effective shield for electromagnetic coupling to the second signal line 12.
In particular, the capacitor-embedded printed wiring board according to Examples 2 to 7 in which the projected area of the gap 7 on the E surface of the first insulating layer 5 does not overlap the second signal line 12 has the electromagnetic coupling amount C1. Becomes even smaller.
In Examples 3 to 7 in which the distance from the outer periphery of the gap 7 to the second signal line is equal to or more than a half power of the thickness (t5) of the first insulating layer 5, the electromagnetic coupling amount C1 is further increased. Even smaller.










Figure 2006303020
Figure 2006303020

実施例8.
実施の形態2のコンデンサ内蔵プリント配線板30、すなわち、図3に示す構造のコンデンサ内蔵プリント配線板を準備した。
本実施例、すなわち実施の形態2のコンデンサ内蔵プリント配線板30において、実施の形態1のコンデンサ内蔵プリント配線板20に相当する部分は、実施例6と同様にした。そして、第2のグラウンド層32には厚さ0.012mmのプリント配線板用銅箔とし、第3の絶縁層35は、厚さ0.2mmのプリント配線板の基材とし、第3の信号線11は、厚さ0.012mmの銅箔を写真製版法で加工した幅0.286mmの配線とした。
本実施例のコンデンサ内蔵プリント配線板30の第1の信号線10に、強度がS1である1GHzの高周波信号を入力し電磁結合により、第2の信号線12に発生する信号出力の強度S2と第3の信号線11に発生する信号出力の強度S3とを測定した。そして、S1とS2との比から電磁結合量C1(dB)を求め、S1とS3との比から電磁結合量C2(dB)を求めた。得られた電磁結合量C1とC2とを、間隙部7の外径D(mm)とともに、表2に示した。
Example 8 FIG.
A capacitor built-in printed wiring board 30 according to the second embodiment, that is, a capacitor built-in printed wiring board having the structure shown in FIG. 3 was prepared.
In this example, that is, in the printed wiring board 30 with a built-in capacitor according to the second embodiment, the part corresponding to the printed wiring board with a built-in capacitor 20 according to the first embodiment is the same as that in the sixth example. The second ground layer 32 is a copper foil for a printed wiring board having a thickness of 0.012 mm, the third insulating layer 35 is a substrate for a printed wiring board having a thickness of 0.2 mm, and a third signal The line 11 was a wiring having a width of 0.286 mm obtained by processing a copper foil having a thickness of 0.012 mm by a photoengraving method.
A high frequency signal of 1 GHz having an intensity of S1 is input to the first signal line 10 of the printed wiring board 30 with a built-in capacitor according to the present embodiment, and the signal output intensity S2 generated on the second signal line 12 by electromagnetic coupling The intensity S3 of the signal output generated on the third signal line 11 was measured. Then, the electromagnetic coupling amount C1 (dB) was obtained from the ratio between S1 and S2, and the electromagnetic coupling amount C2 (dB) was obtained from the ratio between S1 and S3. The obtained electromagnetic coupling amounts C1 and C2 are shown in Table 2 together with the outer diameter D (mm) of the gap 7.

実施例9.
実施の形態3のコンデンサ内蔵プリント配線板40、すなわち、図4に示す構造のコンデンサ内蔵プリント配線板を準備した。
本実施例、すなわち実施の形態3のコンデンサ内蔵プリント配線板30では、第2のコンデンサ電極44は厚さ0.012mmで4mm角の正方形の銅箔とし、第2のコンデンサ層41は厚さ0.1mmの接着フィルムとし、第2のビア46は第1のビア6bと同様とした。これ以外の部分の材料構成は、実施例8と同様とした。
Example 9.
A capacitor built-in printed wiring board 40 of Embodiment 3, that is, a capacitor built-in printed wiring board having the structure shown in FIG. 4 was prepared.
In the present example, that is, the printed wiring board 30 with a built-in capacitor according to the third embodiment, the second capacitor electrode 44 is 0.012 mm thick and 4 mm square copper foil, and the second capacitor layer 41 is 0 mm thick. A 1 mm adhesive film was used, and the second via 46 was the same as the first via 6b. The material configuration of the other parts was the same as in Example 8.

本実施例のコンデンサ内蔵プリント配線板40について、実施例8と同様にして電磁結合量C1とC2とを求め、間隙部7の外径D(mm)とともに、表2に示した。   The electromagnetic coupling amounts C1 and C2 of the printed wiring board 40 with a built-in capacitor according to this example were obtained in the same manner as in Example 8, and are shown in Table 2 together with the outer diameter D (mm) of the gap 7.

比較例2.
本比較例のコンデンサ内蔵プリント配線板は、第2のグラウンド層32を設けなかった以外、実施例8のコンデンサ内蔵プリント配線板30と同様にした。
このコンデンサ内蔵プリント配線板について、実施例8と同様にして、電磁結合量C1とC2とを求め、間隙部7の外径D(mm)とともに、表2に示した。
Comparative Example 2.
The printed wiring board with a built-in capacitor of this comparative example was the same as the printed wiring board with a built-in capacitor 30 of Example 8 except that the second ground layer 32 was not provided.
About this printed wiring board with a built-in capacitor, the electromagnetic coupling amounts C1 and C2 were determined in the same manner as in Example 8, and are shown in Table 2 together with the outer diameter D (mm) of the gap 7.

表2から明らかなように、第1の信号線10と第2の信号線12との電磁結合量C1は実施例8と実施例9とのコンデンサ内蔵プリント配線板も比較例2のコンデンサ内蔵プリント配線板も同じであり、十分に小さかった。しかし、第1の信号線10と第3の信号線12との電磁結合量C2は、第2のグラウンド層32を設けた実施例8と実施例9とのコンデンサ内蔵プリント配線板のほうが小さかった。
すなわち、実施例8と実施例9とのコンデンサ内蔵プリント配線板では、第2のグラウンド層32または42が、第3の信号線11への電磁結合の有効な遮蔽体として作用している。
As is apparent from Table 2, the electromagnetic coupling amount C1 between the first signal line 10 and the second signal line 12 is the same as that of the printed wiring board with a built-in capacitor in the eighth and ninth embodiments. The wiring board was the same and was small enough. However, the amount of electromagnetic coupling C2 between the first signal line 10 and the third signal line 12 was smaller in the printed wiring board with a built-in capacitor in Example 8 and Example 9 in which the second ground layer 32 was provided. .
That is, in the printed wiring board with a built-in capacitor in the eighth and ninth embodiments, the second ground layer 32 or 42 acts as an effective shield for electromagnetic coupling to the third signal line 11.

Figure 2006303020
Figure 2006303020

実施の形態1のコンデンサ内蔵プリント配線板を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the printed wiring board with a built-in capacitor according to the first embodiment. 図1に示すコンデンサ内蔵プリント配線板における、A−A面(a)とB−B面(b)とC−C面(c)との、各々の上面図である。It is each a top view of AA surface (a), BB surface (b), and CC surface (c) in the printed wiring board with a built-in capacitor shown in FIG. 実施の形態2のコンデンサ内蔵プリント配線板を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a printed wiring board with a built-in capacitor according to a second embodiment. 実施の形態3のコンデンサ内蔵プリント配線板を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a printed wiring board with a built-in capacitor according to a third embodiment. 比較例1のコンデンサ内蔵プリント配線板を示す断面図である。6 is a cross-sectional view illustrating a printed wiring board with a capacitor according to Comparative Example 1. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 コンデンサ層、1b 第1のコンデンサ層、2 グラウンド層、2b 第1のグラウンド層、3,43 第2の絶縁層、4 コンデンサ電極、4b 第1のコンデンサ電極、5 第1の絶縁層、6 ビア、6b 第1のビア、7 間隙部、9 コンデンサ、9b 第1のコンデンサ、10 第1の信号線、11 第3の信号線、12 第2の信号線、20,30,40,50 コンデンサ内蔵プリント配線板、32,42 第2のグラウンド層、35,45 第3の絶縁層、41 第2のコンデンサ層、44 第2のコンデンサ電極、46 第2のビア、49 第2のコンデンサ。



DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Capacitor layer, 1b 1st capacitor layer, 2 Ground layer, 2b 1st ground layer, 3,43 2nd insulating layer, 4 Capacitor electrode, 4b 1st capacitor electrode, 5 1st insulating layer, 6 Via, 6b First via, 7 Gap, 9 Capacitor, 9b First capacitor, 10 First signal line, 11 Third signal line, 12 Second signal line, 20, 30, 40, 50 Capacitor Built-in printed wiring board, 32, 42 Second ground layer, 35, 45 Third insulating layer, 41 Second capacitor layer, 44 Second capacitor electrode, 46 Second via, 49 Second capacitor



Claims (4)

表面に信号線が設けられた第1の絶縁層と、この第1の絶縁層に接して設けられ、且つグラウンド層とコンデンサ層とコンデンサ電極とを積層して形成されたコンデンサと、このコンデンサに接して設けられた第2の絶縁層とを備えたコンデンサ内蔵プリント配線板であって、上記グラウンド層が上記第1の絶縁層と接しており、上記コンデンサ電極が上記第2の絶縁層と接しており、上記信号線が上記第1の絶縁層と上記グラウンド層と上記コンデンサ層とを貫通するビアで上記コンデンサ電極と電気的に接続されており、上記ビアが絶縁材で形成された間隙部により上記グラウンド層と電気的に絶縁されたことを特徴とするコンデンサ内蔵プリント配線板。   A first insulating layer having a signal line on the surface, a capacitor provided in contact with the first insulating layer and formed by stacking a ground layer, a capacitor layer, and a capacitor electrode; A printed circuit board with a built-in capacitor having a second insulating layer provided in contact therewith, wherein the ground layer is in contact with the first insulating layer, and the capacitor electrode is in contact with the second insulating layer. And the signal line is electrically connected to the capacitor electrode by a via passing through the first insulating layer, the ground layer, and the capacitor layer, and the via is formed of an insulating material. A printed wiring board with a built-in capacitor, wherein the printed wiring board is electrically insulated from the ground layer. ビアの外周とこのビアが貫通するグラウンド層の孔の内周との間隙部の幅が、コンデンサ層の厚さの2倍以上であり、コンデンサ電極面の対角線の2/3以下であることを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ内蔵プリント配線板。   The width of the gap between the outer periphery of the via and the inner periphery of the hole in the ground layer through which the via passes is at least twice the thickness of the capacitor layer and not more than 2/3 of the diagonal of the capacitor electrode surface. The printed wiring board with a built-in capacitor according to claim 1. 第2の絶縁層におけるコンデンサに接する面と対向する面に積層された第2のグラウンド層と、この第2のグラウンド層に積層された第3の絶縁層とを備えたことを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ内蔵プリント配線板。   A second ground layer stacked on a surface facing the capacitor in the second insulating layer, and a third insulating layer stacked on the second ground layer. Item 8. A printed wiring board with a built-in capacitor according to Item 1. 第2の絶縁層におけるコンデンサに接する面と対向する面に、第2のコンデンサ電極と第2のコンデンサ層と第2のグラウンド層とがこの順に積層されて形成された第2のコンデンサと、上記第2のグラウンド層に接して形成された第3の絶縁層と、コンデンサ電極と上記第2のコンデンサ電極とを電気的に接続する第2のビアとを備えたことを特徴とする請求項1に記載のコンデンサ内蔵プリント配線板。

A second capacitor formed by laminating a second capacitor electrode, a second capacitor layer, and a second ground layer in this order on a surface of the second insulating layer facing the surface in contact with the capacitor; 2. A third insulating layer formed in contact with the second ground layer, and a second via for electrically connecting the capacitor electrode and the second capacitor electrode. The printed wiring board with a built-in capacitor described in 1.

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013539218A (en) * 2010-08-26 2013-10-17 コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Multi-plane printed wiring board for use in high frequency

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08139503A (en) * 1994-11-15 1996-05-31 Mitsubishi Electric Corp Substrate for high frequency semiconductor device
JPH098482A (en) * 1995-06-19 1997-01-10 Oki Electric Ind Co Ltd Heat dissipating method of switching element
JP2004087589A (en) * 2002-08-23 2004-03-18 Oki Electric Ind Co Ltd Printed board having reduced emi
JP2004172602A (en) * 2002-10-30 2004-06-17 Kyocera Corp Capacitor and its manufacturing method, wiring board, decoupling circuit, and high frequency circuit

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08139503A (en) * 1994-11-15 1996-05-31 Mitsubishi Electric Corp Substrate for high frequency semiconductor device
JPH098482A (en) * 1995-06-19 1997-01-10 Oki Electric Ind Co Ltd Heat dissipating method of switching element
JP2004087589A (en) * 2002-08-23 2004-03-18 Oki Electric Ind Co Ltd Printed board having reduced emi
JP2004172602A (en) * 2002-10-30 2004-06-17 Kyocera Corp Capacitor and its manufacturing method, wiring board, decoupling circuit, and high frequency circuit

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013539218A (en) * 2010-08-26 2013-10-17 コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング Multi-plane printed wiring board for use in high frequency

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