JP2006302873A - 大気圧プラズマ処理装置 - Google Patents
大気圧プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006302873A JP2006302873A JP2006065234A JP2006065234A JP2006302873A JP 2006302873 A JP2006302873 A JP 2006302873A JP 2006065234 A JP2006065234 A JP 2006065234A JP 2006065234 A JP2006065234 A JP 2006065234A JP 2006302873 A JP2006302873 A JP 2006302873A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- pressure plasma
- atmospheric pressure
- helium
- atmospheric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】容易に効率良くヘリウムガスを回収して、再利用することができる大気圧プラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】開放型の大気圧プラズマ装置1は、搬送路を通じて搬送されるワーク3に対向して大気圧プラズマヘッド2を配置し、ワーク3に向けて処理ガスおよびヘリウムガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、ワーク3をプラズマ処理する。大気圧プラズマヘッド2の上側電極26の周辺位置にガス回収口23a,23bが設けられたガス回収路22a,22bと、処理ガスおよびヘリウムガスを回収するガス回収装置18と、回収されたガスのうちヘリウムガスを再生してヘリウムガス供給部に戻すヘリウム再生装置19とを備える。
【選択図】図2
【解決手段】開放型の大気圧プラズマ装置1は、搬送路を通じて搬送されるワーク3に対向して大気圧プラズマヘッド2を配置し、ワーク3に向けて処理ガスおよびヘリウムガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、ワーク3をプラズマ処理する。大気圧プラズマヘッド2の上側電極26の周辺位置にガス回収口23a,23bが設けられたガス回収路22a,22bと、処理ガスおよびヘリウムガスを回収するガス回収装置18と、回収されたガスのうちヘリウムガスを再生してヘリウムガス供給部に戻すヘリウム再生装置19とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、大気圧プラズマ処理装置に関する。
大気圧プラズマ処理装置は、大気圧チャンバ内に大気圧プラズマヘッドを基板等に対して配置し、大気圧チャンバ内に処理ガスと共に大量のヘリウムガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、基板等をプラズマ処理するように構成されている。近年のディスプレイの大型化に伴い、プラズマ処理面積も大面積化し、大気圧プラズマを発生させるためのヘリウムガスを大量に使用する機会が多くなっている。しかし、ヘリウムガスは高価であるために大量に使用すると大気圧プラズマ処理のコストが高くなる一つの要因となっている。そこで、特許文献1の大気圧プラズマ処理装置では、大気圧チャンバ内に供給されたヘリウムを回収して再利用をする機構を設けている。
しかしながら、上記の大気圧プラズマ処理装置では、チャンバを用いた構造によるもので、ワークの取り出し時に空気がチャンバ内に入り込んでしまい、プラズマ処理するためには、チャンバ内の雰囲気を確保するまでに大量のヘリウムガスを供給しなければならなかった。さらに、ヘリウムガスを回収すべく、チャンバ内の全ての雰囲気を回収するため、ヘリウムの回収率が低くなってしまうという問題があった。また、回収率を上げるためには再利用装置が複雑化して高価な設備となってしまうという問題があった。
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであって、容易に効率良くヘリウムガスを回収して、再利用することができる大気圧プラズマ処理装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明では、搬送路を通じて搬送されるワークに対向して大気圧プラズマヘッドを配置し、ワークに向けて処理ガスおよびヘリウムガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、ワークをプラズマ処理する開放型の大気圧プラズマ処理装置であって、大気圧プラズマヘッドの電極の周辺位置にガス回収口が設けられたガス回収路と、ガス回収路を通じて処理ガスおよびヘリウムガスを回収するガス回収装置と、回収されたガスのうちヘリウムガスを再生してヘリウムガス供給部に戻すヘリウム再生装置とを備えたことを要旨とする。
これによれば、大気圧プラズマ処理に用いられたガスは、大気圧プラズマヘッドとワークの間の局所領域に滞留したガスは、大気圧プラズマヘッドの電極の周辺位置にガス回収口が設けられたガス回収路からガス回収装置によって回収される。回収されたガスのうちヘリウムガスは、ヘリウム再生装置によって再生され、ヘリウムガス供給部に戻される。従って、大気圧プラズマヘッドとワークの間の局所に滞留したガスを回収することにより、効率良く濃度の高いヘリウムガスを回収することができる。さらに、濃度の高いヘリウムガスの回収により、ヘリウム再生装置は、ヘリウムを再生するための負荷が減少するので比較的安価な費用で抑えることができる。
本発明の大気圧プラズマ処理装置のガス回収路は、大気圧プラズマヘッドと一体となるように構成してもよい。
これによれば、大気圧プラズマヘッドの移動に伴って、ガス回収路も移動するので常に局所的にガスを回収することができる。
本発明の大気圧プラズマ処理装置のガス回収口は、大気圧プラズマヘッドに対して搬送方向における前後の二位置のうち少なくとも一方の位置に設けてもよい。
これによれば、大気圧プラズマヘッドに対して搬送方向における前後の二位置のうち少なくとも一方の位置に設けられたガス回収口により、ワークの搬送によって発生する滞留したガスを効率良く回収することができる。
本発明の大気圧プラズマ処理装置は、搬送路にフィンを備えてもよい。
これによれば、フィンによって外部雰囲気の巻き込みを低減させ、回収されるヘリウムの純度の低減を抑えることができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
図1は、大気圧プラズマ処理装置の構成を示す模式図である。本発明の大気圧プラズマ装置1は、プラズマ処理されるワークを搬送する搬送機構を有した開放型の装置である。図1において、ワーク3に対向して大気圧プラズマヘッド2が配置されている。大気圧プラズマヘッド2とワーク3との間隔は狭くなるように設置され、例えば、その間隔はおよそ1mmである。大気圧プラズマヘッド2は、マッチング回路装置4を介して高周波交番電源5に接続されている。また、大気圧プラズマヘッド2には、導管6を介して、マスフローメータ7,8,9が接続されている。マスフローメータ7は、バルブ10を介して放電ガス源であるヘリウムガス源13に接続されている。バルブ10とヘリウムガス源13は、ヘリウムガスの供給を行うヘリウムガス供給部を構成する。マスフローメータ8,9は、それぞれバルブ11,12を介して処理ガス源であるSF6ガス源14,CF4ガス源15に接続されている。
大気圧プラズマヘッド2は、ガスを供給するガス供給路21と、プラズマ放電させるための上側電極26と、ガスを回収する通路となるガス回収路22a,22b等を有している。
また、大気圧プラズマヘッド2のガス回収路22a,22bのそれぞれにガスの回収流量を調整するダンパ16が接続されている。ガス回収路22a,22bは、途中の経路で合流して一本の回収路となりバルブ17を介してポンプ機能を有するガス回収装置18に接続されている。ガス回収装置18は、ヘリウム再生装置19に接続され、ヘリウム再生装置19の出力側はヘリウムガス源13の供給ラインであるマスフローメータ7とバルブ10の間に接続されている。そして、ガス回収装置18とヘリウム再生装置19とによりヘリウム回収・再生機構を構成している。
ヘリウム再生装置19は、例えば、ガス回収装置18によって回収されたヘリウムガスから不純物ガスを吸着および凝縮させるヘリウム冷凍機を備え、吸着には活性炭を用いてヘリウムガスを精製して供給するように構成されている。なお、上記の方法の他に、回収したヘリウムガス中に混入している酸素、窒素、炭化水素、一酸化炭素、二酸化炭素、水素、水分などの不純物を除去するため、加熱ヒータで加熱される反応筒および水素除去装置を備え、反応筒には水分等の不純物を除去するゲッターが組み込まれ、これにより水分等の不純物は反応除去され、ヘリウムガスを精製する構成を採用することもできる。
ワーク3は、ベルト30上に載置された下側電極を有するワークテーブル27の上にセットされ、ベルト30に連結されたモータ31の駆動によって搬送される。
次に、大気圧プラズマヘッド2の構造について説明する。図2は、大気圧プラズマヘッド2の構造を示す断面図である。図2において、大気圧プラズマヘッド2は、ワーク3に対向するように配置されている。ワーク3は、下側電極を有するワークテーブル27に載置され、ワークテーブル27の下方のベルト30がモータ31の駆動によって一定区間を往復移動することができる。大気圧プラズマヘッド2には、プラズマ処理するための放電ガスとしてのヘリウムガスおよび処理ガスとしてのSF6ガス、CF4ガスを供給するためのガス供給路21と、プラズマ放電する上側電極26が設けられている。また、大気圧プラズマヘッド2の両脇には、上記のプラズマ処理に使用されたガスを回収するためのガス回収路22a,22bが設けられている。ガス回収路22a,22bのガス回収口23a,23bは、上側電極26に対してワーク3の搬送方向における前後の位置に配置され、大気圧プラズマヘッド2とワーク3の局所領域に滞留したガスを吸引するようになっている。
また、大気圧プラズマヘッド2で構成される搬送部は、大気圧プラズマヘッド2の上側電極26とガス回収路22a,22bを合わせた長さの部分と、この部分から前後にそれぞれ延出したフィン25a,25bにより形成された部分とにより構成されている。フィン25a,25bは、処理されたガスの回収において外気の巻き込みを防止するために設けられたものであり、ワーク3との間隔は狭くなるように、例えば、その間隔がおよそ1mmになるように設置されている。また、フィン25a,25bの長さは、外気の巻き込みに考慮して巻き込まれた外気がガス回収路22a,22bに至らない長さに設定される。例えば、回収口23a,23bからの長さLが30mm程度に設定されている。
以上のように構成された大気圧プラズマ装置1の動作について説明する。
大気圧プラズマ装置1にヘリウム冷凍機を用いたヘリウム再生装置19を搭載し、電極間すなわち大気圧プラズマヘッド2に高周波交番電源5から100kHz〜100MHz、数10W〜5kWの交番電圧を印加し、ヘリウムガス源13およびSF6ガス源14,CF4ガス源15からバルブ10,11,12およびマスフローメータ7,8,9を介してヘリウムガス流量:1〜10l/min、SF6ガス,CF4ガスのそれぞれ流量10〜100cc/minに調整・混合して、導管6を介してガス供給路21から大気圧プラズマヘッド2に導入し、図示しない複数のガス導入孔から吹出させ、ワーク3に作用するガスをプラズマで解離する大気圧プラズマヘッド2を用いて、ワーク3が処理される。
大気圧プラズマ処理に用したガスは、ガス回収装置18によってガス回収口23a,23bからガス回収路22a,22bを通って回収される。ガス回収時において、ダンパ16によってガスの供給流量に応じて、ガス回収流量が調整される。大気圧プラズマヘッド2とワーク3との間の局所領域に滞留したガスが回収され、さらにフィン25a,25bにより外気の巻き込みを防止することにより、回収されたヘリウムガスの濃度はガス供給時とほぼ同じであり、80%以上の濃度のヘリウムを回収することができる。なお、ダンパ16は、大気圧プラズマ装置1を最初に電源投入した運転開始時においては、搬送路は、空気で満たされているので、ガスの供給によりプラズマ処理ができるようになってから所定の開度に開かれる。
その後、ガスはヘリウム再生装置19に供給され、ヘリウム再生装置19によってヘリウムガスが再生され、放電ガス源としてのヘリウムガスとなるべくマスフローメータ7に供給される。ヘリウムガスの再生は、回収した濃度80%以上のヘリウムガスでそのうちの半分を再生することができる。このようにして、再生されたヘリウムガスは再び導管6を介して大気圧プラズマヘッド2に供給され、ヘリウムガスの供給・再生が繰返し行われる。
本発明による大気圧プラズマ処理装置の応用分野としては、エッチング、CVD、ドーピング、酸化・窒化、クリーニング、アッシング、表面改質、接合等を挙げることができる。
従って、本実施形態によれば、以下に示す効果がある。
(1)大気圧プラズマヘッド2とワーク3との間のヘリウム濃度の高い局所領域からガス回収口23a,23bを通じて回収するので、純度の高いヘリウムガスを効率良く回収することができる。
(2)搬送部外端には、フィンが設けられ、搬送路の搬入口や搬出口からガス回収口23a,23bまでに所定の距離(実施形態では30mm)確保されているので、外気の巻き込みを低減し、ガスの回収効率を高めることができる。
(3)純度の高いヘリウムガスを回収することにより、ヘリウムガス再生装置の再生負荷を低減し、装置コストを比較的安価にすることができる。
(4)ガス回収路22a,22bにはダンパ16が設けられているので、処理したガスの吸引しすぎによるプラズマ処理不足を防止することができる。
(5)回収するガスのヘリウム濃度が高いので、従来のようにヘリウム濃度の比較的薄いガスを再生する装置に比べ、再生装置を小型化にすることにより、大気圧プラズマ装置を小型化することができる。
本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
(変形例1)図2において、ガス回収路22a,22bを2箇所に設けたが、これに限定されない。例えば、1箇所に設けてもよい。このようにしても、局所的にガスを回収することができる。
(変形例2)図2において、ガス回収口23a,23bを大気圧プラズマヘッド2の上側電極26に対して搬送方向の前後方向の二位置に設けたが、これに限定されず、上側電極26の周囲近傍にあればよい。このようにしても、局所領域に滞留したガスを回収することができる。
(変形例3)図2において、ガス回収口23a,23bを大気圧プラズマヘッド2の上側電極26に対して搬送方向の前後方向に設けたがこれに限定されない。例えば、搬送路の幅方向の両側に設けてもよい。このようにしても、局所領域に滞留したガスを回収することができる。
(変形例4)図2において、ガス回収口23a,23bを大気圧プラズマヘッド2の上側電極26に対して搬送方向の前後方向における二位置に設けたが、これに限定されない。例えば、前後方向のうちいずれか一方に設けてもよい。このようにしても、局所領域に滞留したガスを回収することができる。
1…大気圧プラズマ装置、2…大気圧プラズマヘッド、3…ワーク、4…マッチング回路、5…高周波交番電源、6…導管、7,8,9…マスフローメータ、10,11,12,17…バルブ、13…ヘリウムガス源、14…SF6ガス源、15…CF4ガス源、16…ダンパ、18…ガス回収装置、19…ヘリウム再生装置、21…ガス供給路、22a,22b…ガス回収路、23a,23b…ガス回収口、25a,25b…フィン、26…上側電極、27…下側電極を有するワークテーブル、30…ベルト、31モータ。
Claims (4)
- 搬送路を通じて搬送されるワークに対向して大気圧プラズマヘッドを配置し、ワークに向けて処理ガスおよびヘリウムガスを供給して大気圧プラズマを発生させ、ワークをプラズマ処理する開放型の大気圧プラズマ処理装置であって、
前記大気圧プラズマヘッドの電極の周辺位置にガス回収口が設けられたガス回収路と、
前記ガス回収路を通じて前記処理ガスおよびヘリウムガスを回収するガス回収装置と、
前記回収されたガスのうち前記ヘリウムガスを再生してヘリウムガス供給部に戻すヘリウム再生装置と、を備えたことを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。 - 請求項1に記載の大気圧プラズマ処理装置において、
前記ガス回収路は、前記大気圧プラズマヘッドと一体となるように構成されたことを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。 - 請求項1または2に記載の大気圧プラズマ処理装置において、
前記ガス回収口は、前記大気圧プラズマヘッドに対して搬送方向における前後の二位置のうち少なくとも一方の位置に設けられたことを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の大気圧プラズマ処理装置において、
前記搬送路にフィンを備えたことを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006065234A JP2006302873A (ja) | 2005-03-25 | 2006-03-10 | 大気圧プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005087928 | 2005-03-25 | ||
JP2006065234A JP2006302873A (ja) | 2005-03-25 | 2006-03-10 | 大気圧プラズマ処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006302873A true JP2006302873A (ja) | 2006-11-02 |
Family
ID=37470897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006065234A Withdrawn JP2006302873A (ja) | 2005-03-25 | 2006-03-10 | 大気圧プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006302873A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251233A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置 |
WO2010005573A2 (en) * | 2008-07-08 | 2010-01-14 | Chan Albert Tu | Method and system for producing a solar cell using atmospheric pressure plasma chemical vapor deposition |
-
2006
- 2006-03-10 JP JP2006065234A patent/JP2006302873A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008251233A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Sekisui Chem Co Ltd | プラズマ処理装置 |
WO2010005573A2 (en) * | 2008-07-08 | 2010-01-14 | Chan Albert Tu | Method and system for producing a solar cell using atmospheric pressure plasma chemical vapor deposition |
WO2010005573A3 (en) * | 2008-07-08 | 2010-04-22 | Chan Albert Tu | Method and system for producing a solar cell using atmospheric pressure plasma chemical vapor deposition |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7368000B2 (en) | Treatment of effluent gases | |
US8579596B2 (en) | Ejector pump | |
JP4850223B2 (ja) | プラズマ処理方法及び装置 | |
JP2007105657A (ja) | ガス処理装置 | |
JP2010092920A (ja) | 不純物を除去する不純物除去装置およびその運転方法 | |
JP7198676B2 (ja) | 希ガス回収システムおよび希ガス回収方法 | |
JP2006302873A (ja) | 大気圧プラズマ処理装置 | |
KR20190127244A (ko) | 폐가스 처리 장치 | |
KR20180038804A (ko) | 이산화탄소 분리 장치 | |
KR101699480B1 (ko) | 압력-레스 오존화된 di-수 (dio3) 재순환 회수 시스템 및 방법 | |
JPH10137545A (ja) | 有毒物質をガス洗浄する方法 | |
JP4430913B2 (ja) | ガス供給方法及び装置 | |
JP2018195713A (ja) | ガスリサイクル機能を有するエキシマレーザ発振装置 | |
EP1314694A3 (en) | Ozoniser | |
JP2005246137A (ja) | ガス分離方法及び装置 | |
KR102236032B1 (ko) | 헬륨 회수장치 | |
JP5221842B2 (ja) | 排ガス処理方法 | |
JP2006005316A (ja) | プラズマ処理装置 | |
WO2021094709A1 (en) | Inert gas recovery from a semiconductor manufacturing tool | |
JP4276759B2 (ja) | オゾン発生設備の運転方法 | |
JP2012129239A (ja) | エッチング装置及び方法 | |
JP5198426B2 (ja) | 洗浄装置及びオゾン水生成装置 | |
JP2007014919A (ja) | 排ガス処理装置および排ガス処理システム | |
TW201936251A (zh) | 電漿處理系統及電漿處理方法 | |
JP2003117344A (ja) | 除害装置用h2o供給機構及びプラズマ除害方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20070404 |
|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20090512 |