JP2006301040A - Method for manufacturing deep color pixel barrier and pixel barrier, method for manufacturing color filter having the barrier and color filter, and display apparatus having the color filter - Google Patents

Method for manufacturing deep color pixel barrier and pixel barrier, method for manufacturing color filter having the barrier and color filter, and display apparatus having the color filter Download PDF

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Akira Hatakeyama
晶 畠山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a deep color pixel barrier for manufacturing a color filter having pixels without color mixing, to provide a deep color pixel barrier manufactured by the method, to provide a color filter manufactured by the method, and to provide a display apparatus having the color filter. <P>SOLUTION: The deep color pixel barrier is formed by exposing and developing a photosensitive resin composition layer containing a colorant in an oxygen poor atmosphere, and the wall has ≥1.0 μm height and satisfies the following conditions (1). (1) Intersections A<SB>1</SB>, A<SB>2</SB>of a substrate and the cross section of the deep color pixel barrier are determined, as well as the highest point H of the deep color pixel barrier, an intersection G of the substrate with a vertical line from the point H, a straight line L<SB>0</SB>passing H and parallel to the substrate surface, a point P internally dividing between H and G into a proportion of HP:PG=1:3, a straight line L<SB>2</SB>passing P and parallel to the substrate, and intersections B<SB>1</SB>, B<SB>2</SB>of L<SB>2</SB>with the cross section of the deep color pixel barrier; wherein the distance (a) between A<SB>1</SB>and A<SB>2</SB>and the distance b between B<SB>1</SB>, B<SB>2</SB>satisfy b/a≥0.8. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、表示装置用に特に適したカラーフィルタに用いられる濃色離隔壁およびその製造方法、それを用いたカラーフィルタおよびその製造方法、及びカラーフィルタを有する表示装置に関する。   The present invention relates to a dark color separation partition wall used for a color filter particularly suitable for a display device and a manufacturing method thereof, a color filter using the same, a manufacturing method thereof, and a display device having a color filter.

表示装置用カラーフィルタは、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックス等の濃色離画壁で区分した構造である。このようなカラーフィルタの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、1)染色法、2)印刷法、3)着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法(着色レジスト法)(例えば、特許文献1参照。) 、4)仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法 、5)予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法(転写方式)が知られている(例えば、特許文献2参照。)。またインクジェット法を用いる方法(特許文献3参照。)も知られている。   The color filter for a display device has a structure in which red, green, and blue dot-like images are arranged in a matrix on a substrate such as glass, and the boundary is divided by a dark color separation wall such as a black matrix. As a manufacturing method of such a color filter, conventionally, a substrate such as glass is used as a support, 1) a dyeing method, 2) a printing method, 3) application of a colored photosensitive resin solution, and repeated exposure and development. Colored photosensitive resin liquid method (colored resist method) (see, for example, Patent Document 1) 4) Method of sequentially transferring images formed on a temporary support onto the final or temporary support 5) Pre-coloring A method in which a colored layer is formed by applying the photosensitive resin liquid on a temporary support, and the photosensitive colored layer is sequentially transferred directly onto the substrate, exposed, and developed for the number of colors. There is known a method (transfer method) for forming a multicolor image by the above (see, for example, Patent Document 2). A method using an ink jet method (see Patent Document 3) is also known.

これらの方法のうち、着色レジスト法は位置精度高くカラーフィルタを作製できるものの、感光層樹脂液の塗布にロスが多くコスト的には有利とは言えない。一方インクジェット法は樹脂液のロスが少なくコスト的に有利ではあるものの、画素の位置精度が悪いという問題がある。
これらを克服すべく、ブラックマトリックスを着色レジスト法で形成し、RGB画素をインクジェット法で作製するカラーフィルタ製造法も提案されているが、作成されたブラックマトリックスの断面形状を観察すると、上端やそのエッジが丸くなっており、後に打滴された各色インクがブラックマトリックスをのり越えやすいために、隣接画素と混色を起こし表示品位を低下させる。これを防ぐ為、ブラックマトリックスとインクとの間に、お互いはじきあう性質を持たせたり、ブラックマトリックス間隙部のインクの濡れ性を高めたりする方法が開示されている(特許文献4〜6参照)が、これらの方法では、ブラックマトリックス用着色レジストやインクに特殊な素材が必要であったり、ブラックマトリックス間隙部の表面エネルギーを高める工程(表面改質処理)が必要であり、コスト的な問題がなお残されている。
特開平1− 152449号公報 特開昭61−99102号公報 特開平8−227012号公報 特開平6−347637号公報 特開平7−35915号公報 特開平10−142418号公報
Among these methods, although the color resist method can produce a color filter with high positional accuracy, it is not advantageous in terms of cost due to a large loss in application of the photosensitive layer resin solution. On the other hand, the ink-jet method has a problem that the positional accuracy of the pixels is poor, although the loss of the resin liquid is small and advantageous in terms of cost.
In order to overcome these problems, a color filter manufacturing method in which a black matrix is formed by a colored resist method and an RGB pixel is manufactured by an ink jet method has been proposed. Since the edges are rounded and each of the color inks that are subsequently ejected easily passes over the black matrix, color mixing occurs with adjacent pixels and the display quality is degraded. In order to prevent this, a method is disclosed in which the black matrix and the ink have a repelling property or the ink wettability of the black matrix gap is increased (see Patent Documents 4 to 6). However, these methods require special materials for the black matrix coloring resist and ink, and require a step of increasing the surface energy of the black matrix gap (surface modification treatment), which is a cost problem. It is still left.
JP-A-1-152449 JP-A-61-99102 JP-A-8-227010 JP-A-6-347637 JP-A-7-35915 JP-A-10-142418

本発明は、混色の無い画素を有するカラーフィルタを製造する為の濃色離画壁の製造方法及び該製造方法により製造される該濃色離画壁、混色の無い画素を有するカラーフィルタの製造方法及び該製造方法により製造されるカラーフィルタ、並びに該カラーフィルタを有する表示装置を提供することを目的とする。   The present invention relates to a method for producing a dark color separation wall for producing a color filter having pixels having no color mixture, and a production of a color filter having pixels having no color mixture and the dark color separation wall produced by the production method. It is an object to provide a method, a color filter manufactured by the manufacturing method, and a display device having the color filter.

前記実情に鑑み本発明者らは、鋭意研究を行ったところ、上記課題を解決しうることを見出し本発明を完成した。
即ち、本発明は下記の手段により達成されるものである。
In view of the above circumstances, the present inventors have conducted intensive research and found that the above problems can be solved, thereby completing the present invention.
That is, the present invention is achieved by the following means.

<1> 基板上に形成される濃色離画壁の製造方法であって、該濃色離画壁が着色剤を含有する感光性樹脂組成物層を貧酸素雰囲気下で露光し現像して、1.0μm以上の高さを有し、かつ、下記条件(1)を満たして形成されることを特徴とする濃色離画壁の製造方法。
(1)基板と濃色離画壁の断面の交点をA1及びA2とする。該濃色離画壁の最も高さの高い点をHとし、Hから基板に下ろした垂線の足をGとし、Hを通り基板表面に平行な直線をL0とする。HとGをHP:PG=1:3に内分する点をPとし、Pを通り基板表面に平行な直線をL2とし、L2が濃色離画壁の断面と交わる点をB1、B2とする。A1とA2の距離をa、B1とB2の距離をbとするとき、b/aの値が0.8以上である。
<2> 前記b/aの値が0.85以上であることを特徴とする上記<1>に記載の濃色離画壁の製造方法。
<3> 前記濃色離画壁の光学濃度が2.5以上であることを特徴とする上記<1>又は<2>に記載の濃色離画壁の製造方法。
<4> 上記<1>〜<3>のいずれか1項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする濃色離画壁。
<5> 前記基板上に、請求項1〜3のいずれか1項に記載の濃色離画壁の製造方法により製造された濃色離画壁と、2色以上の色を有する、複数の画素からなる画素群とを有するカラーフィルタの製造方法であって、前記複数の画素が、前記濃色離画壁を形成した後、着色液体組成物を液滴を付与することにより形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
<6> 前記複数の画素がインクジェット法により形成されることを特徴とする上記<5>に記載のカラーフィルタの製造方法。
<7> 上記<5>又は<6>に記載の製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルタ。
<8> 上記<7>に記載のカラーフィルタを有することを特徴とする表示装置。
<1> A method for producing a dark color separation wall formed on a substrate, wherein the dark color separation wall exposes and develops a photosensitive resin composition layer containing a colorant in an oxygen-poor atmosphere. A method for producing a dark color separation wall, characterized by having a height of 1.0 μm or more and satisfying the following condition (1).
(1) Let the intersections of the cross-section of the substrate and the dark color separation wall be A 1 and A 2 . Let H be the highest point of the dark color separation wall, G be the leg of the perpendicular line from H to the substrate, and L 0 be a straight line passing through H and parallel to the substrate surface. A point that internally divides H and G into HP: PG = 1: 3 is defined as P, a straight line passing through P and parallel to the substrate surface is defined as L 2 , and a point where L 2 intersects the cross section of the dark color separation wall is represented by B 1. , and B 2. When the distance between A 1 and A 2 is a and the distance between B 1 and B 2 is b, the value of b / a is 0.8 or more.
<2> The method for producing a dark color separation wall according to <1>, wherein the value of b / a is 0.85 or more.
<3> The method for producing a dark color separation wall according to <1> or <2>, wherein the optical density of the dark color separation wall is 2.5 or more.
<4> A dark color separation wall produced by the production method according to any one of <1> to <3>.
<5> On the said board | substrate, it is the dark color separation wall manufactured by the manufacturing method of the dark color separation wall of any one of Claims 1-3, and several color which has two or more colors A method of manufacturing a color filter having a pixel group consisting of pixels, wherein the plurality of pixels are formed by applying droplets of a colored liquid composition after forming the dark color separation wall. A method for producing a color filter.
<6> The method for producing a color filter according to <5>, wherein the plurality of pixels are formed by an inkjet method.
<7> A color filter produced by the production method according to <5> or <6> above.
<8> A display device comprising the color filter according to <7>.

本発明によれば、混色等の欠陥の無い画素を有するカラーフィルタを低コストかつ高効率に製造するカラーフィルタの製造方法を提供することができる。
さらに、本発明によれば、前記製造方法により製造されたカラーフィルタを提供することを目的とする。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of the color filter which manufactures the color filter which has a pixel without defects, such as color mixing, at low cost and high efficiency can be provided.
Furthermore, according to this invention, it aims at providing the color filter manufactured by the said manufacturing method.

本発明の濃色離画壁の製造方法は、基板上に形成される濃色離画壁の製造方法であって、該濃色離画壁が着色剤を含有する感光性樹脂組成物層を、貧酸素雰囲気下で露光し現像して、1.0μm以上の高さを有し、かつ、下記条件(1)を満たして形成されるとを特徴とする。
(1)基板と濃色離画壁の断面の交点をA1及びA2とする。該濃色離画壁の最も高さの高い点をHとし、Hから基板に下ろした垂線の足をGとし、Hを通り基板表面に平行な直線をL0とする。HとGをHP:PG=1:3に内分する点をPとし、Pを通り基板表面に平行な直線をL2とし、L2が濃色離画壁の断面と交わる点をB1、B2とする。A1とA2の距離をa、B1とB2の距離をbとするとき、b/aの値が0.8以上である。
The method for producing a dark color separation wall according to the present invention is a method for producing a dark color separation wall formed on a substrate, wherein the dark color separation wall comprises a photosensitive resin composition layer containing a colorant. It is characterized in that it is exposed and developed in a poor oxygen atmosphere, has a height of 1.0 μm or more, and satisfies the following condition (1).
(1) The intersections of the cross section of the substrate and the dark color separation wall are A 1 and A 2 . Let H be the highest point of the dark color separation wall, G be the leg of the perpendicular line from H to the substrate, and L 0 be a straight line passing through H and parallel to the substrate surface. A point that internally divides H and G into HP: PG = 1: 3 is defined as P, a straight line passing through P and parallel to the substrate surface is defined as L 2 , and a point where L 2 intersects the cross section of the dark color separation wall is represented by B 1. , and B 2. When the distance between A 1 and A 2 is a and the distance between B 1 and B 2 is b, the value of b / a is 0.8 or more.

前記濃色離画壁の製造方法は、前記基板上に着色剤を含有する感光性樹脂組成物層(濃色感光性樹脂組成物層)を形成後、貧酸素雰囲気下で露光現像する方法である。前記感光性樹脂組成物層は、濃色感光性樹脂組成物を塗布する方法(塗布法)及び感光性転写材料を転写する方法(転写法)により形成される。
以下、濃色感光性樹脂組成物及び感光性転写材料について説明する。
The method for producing the dark color separation wall is a method in which a photosensitive resin composition layer (dark color photosensitive resin composition layer) containing a colorant is formed on the substrate and then exposed and developed in an oxygen-poor atmosphere. is there. The photosensitive resin composition layer is formed by a method of applying a dark photosensitive resin composition (coating method) and a method of transferring a photosensitive transfer material (transfer method).
Hereinafter, the dark color photosensitive resin composition and the photosensitive transfer material will be described.

[濃色感光性樹脂組成物]
基板上の濃色離画壁は、着色剤を含有する感光性樹脂組成物(「濃色感光性樹脂組成物」又は「濃色組成物」ともいう。)から形成される。ここで、濃色組成物とは、高い光学濃度を有する組成物のことであり、その値は2.5以上が好ましく、2.5〜10.0がより好ましく、2.5〜6.0が更に好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。また、この濃色組成物は、後述するように好ましくは光開始系で硬化させる為、露光波長(一般には紫外域)に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は2.0〜10.0であり、好ましくは2.5〜6.0、最も好ましいのは3.0〜5.0である。2.0未満では離画壁形状が望みのものとならない恐れがあり、10.0を超えると、重合を開始することができず離画壁そのものを作ることが困難となる。
以下、該組成物中の成分について説明する。
[Dark color photosensitive resin composition]
The dark color separation wall on the substrate is formed from a photosensitive resin composition containing a colorant (also referred to as “dark color photosensitive resin composition” or “dark color composition”). Here, the dark color composition is a composition having a high optical density, and the value is preferably 2.5 or more, more preferably 2.5 to 10.0, and 2.5 to 6.0. Is more preferable, and 3.0 to 5.0 is particularly preferable. Further, since this dark color composition is preferably cured by a photoinitiating system as described later, the optical density with respect to the exposure wavelength (generally the ultraviolet region) is also important. That is, the value is 2.0 to 10.0, preferably 2.5 to 6.0, and most preferably 3.0 to 5.0. If it is less than 2.0, the shape of the separation wall may not be as desired, and if it exceeds 10.0, polymerization cannot be started and it is difficult to produce the separation wall itself.
Hereinafter, the components in the composition will be described.

(着色剤)
本発明に用いる着色剤としては、具体的には、下記染料、顔料に記載のカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。
本発明の濃色組成物には、有機顔料、無機顔料、染料等を好適に用いることができ、感光性樹脂層に遮光性が要求される際には、カーボンブラック、酸化チタン、4酸化鉄等の金属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉といった遮光剤の他に、赤、青、緑色等の顔料の混合物等を用いることができる。公知の着色剤(染料、顔料)を使用することができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、濃色組成物中に均一に分散されていることが好ましい。
前記濃色組成物の固形分中の着色剤の比率は、十分に現像時間を短縮する観点から、30〜70質量%であることが好ましく、40〜60質量%であることがより好ましく、50〜55質量%であることが更に好ましい。
上記公知の染料ないし顔料としては、ビクトリア・ピュアーブルーBO(C.I.42595)、オーラミン(C.I.41000)、ファット・ブラックHB(C.I.26150)、C.I.ピグメント・イエロー1、C.I.ピグメント・イエロー3、C.I.ピグメント・イエロー12、C.I.ピグメント・イエロー13、C.I.ピグメント・イエロー14、C.I.ピグメント・イエロー5、C.I.ピグメント・イエロー16、C.I.ピグメント・イエロー17、C.I.ピグメント・イエロー20、C.I.ピグメント・イエロー24、C.I.ピグメント・イエロー31、C.I.ピグメント・イエロー55、C.I.ピグメント・イエロー60、C.I.ピグメント・イエロー61、C.I.ピグメント・イエロー65、C.I.ピグメント・イエロー71、C.I.ピグメント・イエロー73、C.I.ピグメント・イエロー74、C.I.ピグメント・イエロー81、C.I.ピグメント・イエロー83、C.I.ピグメント・イエロー93、C.I.ピグメント・イエロー95、C.I.ピグメント・イエロー97、C.I.ピグメント・イエロー98、C.I.ピグメント・イエロー100、C.I.ピグメント・イエロー101、C.I.ピグメント・イエロー104、C.I.ピグメント・イエロー106、C.I.ピグメント・イエロー108、C.I.ピグメント・イエロー109、C.I.ピグメント・イエロー110、C.I.ピグメント・イエロー113、C.I.ピグメント・イエロー114、C.I.ピグメント・イエロー116、C.I.ピグメント・イエロー117、C.I.ピグメント・イエロー119、C.I.ピグメント・イエロー120、C.I.ピグメント・イエロー126、C.I.ピグメント・イエロー127、C.I.ピグメント・イエロー128、C.I.ピグメント・イエロー129、C.I.ピグメント・イエロー138、C.I.ピグメント・イエロー139、C.I.ピグメント・イエロー150、C.I.ピグメント・イエロー151、C.I.ピグメント・イエロー152、C.I.ピグメント・イエロー153、C.I.ピグメント・イエロー154、C.I.ピグメント・イエロー155、C.I.ピグメント・イエロー156、C.I.ピグメント・イエロー166、C.I.ピグメント・イエロー168、C.I.ピグメント・イエロー175、C.I.ピグメント・イエロー180、C.I.ピグメント・イエロー185;
C.I.ピグメント・オレンジ1、C.I.ピグメント・オレンジ5、C.I.ピグメント・オレンジ13、C.I.ピグメント・オレンジ14、C.I.ピグメント・オレンジ16、C.I.ピグメント・オレンジ17、C.I.ピグメント・オレンジ24、C.I.ピグメント・オレンジ34、C.I.ピグメント・オレンジ36、C.I.ピグメント・オレンジ38、C.I.ピグメント・オレンジ40、C.I.ピグメント・オレンジ43、C.I.ピグメント・オレンジ46、C.I.ピグメント・オレンジ49、C.I.ピグメント・オレンジ51、C.I.ピグメント・オレンジ61、C.I.ピグメント・オレンジ63、C.I.ピグメント・オレンジ64、C.I.ピグメント・オレンジ71、C.I.ピグメント・オレンジ73;C.I.ピグメント・バイオレット1、C.I.ピグメント・バイオレット19、C.I.ピグメント・バイオレット23、C.I.ピグメント・バイオレット29、C.I.ピグメント・バイオレット32、C.I.ピグメント・バイオレット36、C.I.ピグメント・バイオレット38;
C.I.ピグメント・レッド1、C.I.ピグメント・レッド2、C.I.ピグメント・レッド3、C.I.ピグメント・レッド4、C.I.ピグメント・レッド5、C.I.ピグメント・レッド6、C.I.ピグメント・レッド7、C.I.ピグメント・レッド8、C.I.ピグメント・レッド9、C.I.ピグメント・レッド10、C.I.ピグメント・レッド11、C.I.ピグメント・レッド12、C.I.ピグメント・レッド14、C.I.ピグメント・レッド15、C.I.ピグメント・レッド16、C.I.ピグメント・レッド17、C.I.ピグメント・レッド18、C.I.ピグメント・レッド19、C.I.ピグメント・レッド21、C.I.ピグメント・レッド22、C.I.ピグメント・レッド23、C.I.ピグメント・レッド30、C.I.ピグメント・レッド31、C.I.ピグメント・レッド32、C.I.ピグメント・レッド37、C.I.ピグメント・レッド38、C.I.ピグメント・レッド40、C.I.ピグメント・レッド41、C.I.ピグメント・レッド42、C.I.ピグメント・レッド48:1、C.I.ピグメント・レッド48:2、C.I.ピグメント・レッド48:3、C.I.ピグメント・レッド48:4、C.I.ピグメント・レッド49:1、C.I.ピグメント・レッド49:2、C.I.ピグメント・レッド50:1、C.I.ピグメント・レッド52:1、C.I.ピグメント・レッド53:1、C.I.ピグメント・レッド57、C.I.ピグメント・レッド57:1、C.I.ピグメント・レッド57:2、C.I.ピグメント・レッド58:2、C.I.ピグメント・レッド58:4、C.I.ピグメント・レッド60:1、C.I.ピグメント・レッド63:1、C.I.ピグメント・レッド63:2、C.I.ピグメント・レッド64:1、C.I.ピグメント・レッド81:1、C.I.ピグメント・レッド83、C.I.ピグメント・レッド88、C.I.ピグメント・レッド90:1、C.I.ピグメント・レッド97、C.I.ピグメント・レッド101、C.I.ピグメント・レッド102、C.I.ピグメント・レッド104、C.I.ピグメント・レッド105、C.I.ピグメント・レッド106、C.I.ピグメント・レッド108、C.I.ピグメント・レッド112、C.I.ピグメント・レッド113、C.I.ピグメント・レッド114、C.I.ピグメント・レッド122、C.I.ピグメント・レッド123、C.I.ピグメント・レッド144、C.I.ピグメント・レッド146、C.I.ピグメント・レッド149、C.I.ピグメント・レッド150、C.I.ピグメント・レッド151、C.I.ピグメント・レッド166、C.I.ピグメント・レッド168、C.I.ピグメント・レッド170、C.I.ピグメント・レッド171、C.I.ピグメント・レッド172、C.I.ピグメント・レッド174、C.I.ピグメント・レッド175、C.I.ピグメント・レッド176、C.I.ピグメント・レッド177、C.I.ピグメント・レッド178、C.I.ピグメント・レッド179、C.I.ピグメント・レッド180、C.I.ピグメント・レッド185、C.I.ピグメント・レッド187、C.I.ピグメント・レッド188、C.I.ピグメント・レッド190、C.I.ピグメント・レッド193、C.I.ピグメント・レッド194、C.I.ピグメント・レッド202、C.I.ピグメント・レッド206、C.I.ピグメント・レッド207、C.I.ピグメント・レッド208、C.I.ピグメント・レッド209、C.I.ピグメント・レッド215、C.I.ピグメント・レッド216、C.I.ピグメント・レッド220、C.I.ピグメント・レッド224、C.I.ピグメント・レッド226、C.I.ピグメント・レッド242、C.I.ピグメント・レッド243、C.I.ピグメント・レッド245、C.I.ピグメント・レッド254、C.I.ピグメント・レッド255、C.I.ピグメント・レッド264、C.I.ピグメント・レッド265;
C.I.ピグメント・ブルー15、C.I.ピグメント・ブルー15:3、C.I.ピグメント・ブルー15:4、C.I.ピグメント・ブルー15:6、C.I.ピグメント・ブルー60
C.I.ピグメント・グリーン7、C.I.ピグメント・グリーン36
C.I.ピグメント・ブラウン23、C.I.ピグメント・ブラウン25
C.I.ピグメント・ブラック1、C.I.ピグメント・ブラック7等が挙げられる。
本発明においては、前記着色剤の中でも黒色着色剤であることが好ましい。黒色着色剤として、更に例示すると、カーボンブラック、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン、黒鉛などが挙げられ、中でも、カーボンブラックが好ましい。
上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する有機溶媒(又はビヒクル)に添加して分散させることによって調製することができる。前記ビビクルとは、塗料が液体状態にある時に顔料を分散させている媒質の部分をいい、液状であって前記顔料と結合して塗膜を固める部分(バインダー)と、これを溶解希釈する成分(有機溶媒)とを含む。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献310項記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
本発明で用いる着色剤(顔料)は、分散安定性の観点から、数平均粒径0.001〜0.1μmのものが好ましく、更に0.01〜0.08μmのものが好ましい。また、顔料数平均粒径が0.1μmを超えると、顔料による偏光の解消が生じ、コントラストが低下し、好ましくない。尚、ここで言う「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この100個平均値をいう。
(Coloring agent)
Specific examples of the colorant used in the present invention include those given the color index (CI) numbers described in the following dyes and pigments.
For the dark color composition of the present invention, organic pigments, inorganic pigments, dyes, and the like can be suitably used. When light-shielding properties are required for the photosensitive resin layer, carbon black, titanium oxide, and iron oxide tetraoxide. In addition to light-shielding agents such as metal oxide powder, metal sulfide powder, and metal powder, a mixture of pigments such as red, blue, and green can be used. Known colorants (dyes and pigments) can be used. Among the known colorants, when a pigment is used, it is preferably dispersed uniformly in the dark color composition.
From the viewpoint of sufficiently shortening the development time, the ratio of the colorant in the solid content of the dark color composition is preferably 30 to 70% by mass, more preferably 40 to 60% by mass, and 50 More preferably, it is -55 mass%.
Examples of the known dyes or pigments include Victoria Pure Blue BO (C.I. 42595), Auramine (C.I. 41000), Fat Black HB (C.I. 26150), C.I. I. Pigment yellow 1, C.I. I. Pigment yellow 3, C.I. I. Pigment yellow 12, C.I. I. Pigment yellow 13, C.I. I. Pigment yellow 14, C.I. I. Pigment yellow 5, C.I. I. Pigment yellow 16, C.I. I. Pigment yellow 17, C.I. I. Pigment yellow 20, C.I. I. Pigment yellow 24, C.I. I. Pigment yellow 31, C.I. I. Pigment yellow 55, C.I. I. Pigment yellow 60, C.I. I. Pigment yellow 61, C.I. I. Pigment yellow 65, C.I. I. Pigment yellow 71, C.I. I. Pigment yellow 73, C.I. I. Pigment yellow 74, C.I. I. Pigment yellow 81, C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 93, C.I. I. Pigment yellow 95, C.I. I. Pigment yellow 97, C.I. I. Pigment yellow 98, C.I. I. Pigment yellow 100, C.I. I. Pigment yellow 101, C.I. I. Pigment yellow 104, C.I. I. Pigment yellow 106, C.I. I. Pigment yellow 108, C.I. I. Pigment yellow 109, C.I. I. Pigment yellow 110, C.I. I. Pigment yellow 113, C.I. I. Pigment yellow 114, C.I. I. Pigment yellow 116, C.I. I. Pigment yellow 117, C.I. I. Pigment yellow 119, C.I. I. Pigment yellow 120, C.I. I. Pigment yellow 126, C.I. I. Pigment yellow 127, C.I. I. Pigment yellow 128, C.I. I. Pigment yellow 129, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 151, C.I. I. Pigment yellow 152, C.I. I. Pigment yellow 153, C.I. I. Pigment yellow 154, C.I. I. Pigment yellow 155, C.I. I. Pigment yellow 156, C.I. I. Pigment yellow 166, C.I. I. Pigment yellow 168, C.I. I. Pigment yellow 175, C.I. I. Pigment yellow 180, C.I. I. Pigment yellow 185;
C. I. Pigment orange 1, C.I. I. Pigment orange 5, C.I. I. Pigment orange 13, C.I. I. Pigment orange 14, C.I. I. Pigment orange 16, C.I. I. Pigment orange 17, C.I. I. Pigment orange 24, C.I. I. Pigment orange 34, C.I. I. Pigment orange 36, C.I. I. Pigment orange 38, C.I. I. Pigment orange 40, C.I. I. Pigment orange 43, C.I. I. Pigment orange 46, C.I. I. Pigment orange 49, C.I. I. Pigment orange 51, C.I. I. Pigment orange 61, C.I. I. Pigment orange 63, C.I. I. Pigment orange 64, C.I. I. Pigment orange 71, C.I. I. Pigment orange 73; C.I. I. Pigment violet 1, C.I. I. Pigment violet 19, C.I. I. Pigment violet 23, C.I. I. Pigment violet 29, C.I. I. Pigment violet 32, C.I. I. Pigment violet 36, C.I. I. Pigment violet 38;
C. I. Pigment red 1, C.I. I. Pigment red 2, C.I. I. Pigment red 3, C.I. I. Pigment red 4, C.I. I. Pigment red 5, C.I. I. Pigment red 6, C.I. I. Pigment red 7, C.I. I. Pigment red 8, C.I. I. Pigment red 9, C.I. I. Pigment red 10, C.I. I. Pigment red 11, C.I. I. Pigment red 12, C.I. I. Pigment red 14, C.I. I. Pigment red 15, C.I. I. Pigment red 16, C.I. I. Pigment red 17, C.I. I. Pigment red 18, C.I. I. Pigment red 19, C.I. I. Pigment red 21, C.I. I. Pigment red 22, C.I. I. Pigment red 23, C.I. I. Pigment red 30, C.I. I. Pigment red 31, C.I. I. Pigment red 32, C.I. I. Pigment red 37, C.I. I. Pigment red 38, C.I. I. Pigment red 40, C.I. I. Pigment red 41, C.I. I. Pigment red 42, C.I. I. Pigment red 48: 1, C.I. I. Pigment red 48: 2, C.I. I. Pigment red 48: 3, C.I. I. Pigment red 48: 4, C.I. I. Pigment red 49: 1, C.I. I. Pigment red 49: 2, C.I. I. Pigment red 50: 1, C.I. I. Pigment red 52: 1, C.I. I. Pigment red 53: 1, C.I. I. Pigment red 57, C.I. I. Pigment red 57: 1, C.I. I. Pigment red 57: 2, C.I. I. Pigment red 58: 2, C.I. I. Pigment red 58: 4, C.I. I. Pigment red 60: 1, C.I. I. Pigment red 63: 1, C.I. I. Pigment red 63: 2, C.I. I. Pigment red 64: 1, C.I. I. Pigment red 81: 1, C.I. I. Pigment red 83, C.I. I. Pigment red 88, C.I. I. Pigment red 90: 1, C.I. I. Pigment red 97, C.I. I. Pigment red 101, C.I. I. Pigment red 102, C.I. I. Pigment red 104, C.I. I. Pigment red 105, C.I. I. Pigment red 106, C.I. I. Pigment red 108, C.I. I. Pigment red 112, C.I. I. Pigment red 113, C.I. I. Pigment red 114, C.I. I. Pigment red 122, C.I. I. Pigment red 123, C.I. I. Pigment red 144, C.I. I. Pigment red 146, C.I. I. Pigment red 149, C.I. I. Pigment red 150, C.I. I. Pigment red 151, C.I. I. Pigment red 166, C.I. I. Pigment red 168, C.I. I. Pigment red 170, C.I. I. Pigment red 171, C.I. I. Pigment red 172, C.I. I. Pigment red 174, C.I. I. Pigment red 175, C.I. I. Pigment red 176, C.I. I. Pigment red 177, C.I. I. Pigment red 178, C.I. I. Pigment red 179, C.I. I. Pigment red 180, C.I. I. Pigment red 185, C.I. I. Pigment red 187, C.I. I. Pigment red 188, C.I. I. Pigment red 190, C.I. I. Pigment red 193, C.I. I. Pigment red 194, C.I. I. Pigment red 202, C.I. I. Pigment red 206, C.I. I. Pigment red 207, C.I. I. Pigment red 208, C.I. I. Pigment red 209, C.I. I. Pigment red 215, C.I. I. Pigment red 216, C.I. I. Pigment red 220, C.I. I. Pigment red 224, C.I. I. Pigment red 226, C.I. I. Pigment red 242, C.I. I. Pigment red 243, C.I. I. Pigment red 245, C.I. I. Pigment red 254, C.I. I. Pigment red 255, C.I. I. Pigment red 264, C.I. I. Pigment red 265;
C. I. Pigment blue 15, C.I. I. Pigment blue 15: 3, C.I. I. Pigment blue 15: 4, C.I. I. Pigment blue 15: 6, C.I. I. Pigment Blue 60
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment Green 36
C. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment Brown 25
C. I. Pigment black 1, C.I. I. Pigment black 7 and the like.
In the present invention, among the colorants, a black colorant is preferable. Illustrative examples of the black colorant include carbon black, titanium carbon, iron oxide, titanium oxide, and graphite. Among these, carbon black is preferable.
The pigment is desirably used as a dispersion. This dispersion can be prepared by adding and dispersing a composition obtained by previously mixing the pigment and the pigment dispersant in an organic solvent (or vehicle) described later. The vehicle refers to a portion of a medium in which the pigment is dispersed when the paint is in a liquid state. The portion is a liquid that binds to the pigment and hardens the coating film (binder), and a component that dissolves and dilutes the portion. (Organic solvent). The disperser used for dispersing the pigment is not particularly limited. For example, the kneader described in Kazuzo Asakura, “Encyclopedia of Pigments”, first edition, Asakura Shoten, 2000, 438, Known dispersing machines such as a roll mill, an atrider, a super mill, a dissolver, a homomixer, and a sand mill can be used. Further, fine grinding may be performed using frictional force by mechanical grinding described in Item 310 of the document.
The colorant (pigment) used in the present invention preferably has a number average particle size of 0.001 to 0.1 μm, more preferably 0.01 to 0.08 μm, from the viewpoint of dispersion stability. On the other hand, if the number average particle diameter of the pigment exceeds 0.1 μm, the polarization is canceled by the pigment, and the contrast is lowered. The “particle diameter” as used herein refers to the diameter when the electron micrograph image of the particle is a circle of the same area, and the “number average particle diameter” is the above-mentioned particle diameter for a number of particles, This 100 average value is said.

本発明における濃色組成物は前記着色剤以外に、バインダー・樹脂・ポリマー、重合開始剤、モノマーを少なくとも含んでなることが好ましい。また、必要に応じて更に公知の添加剤、例えば、可塑剤、充填剤、安定化剤、重合禁止剤、界面活性剤、溶剤、密着促進剤等を含有させることができる。さらに濃色組成物は少なくとも150℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。かかる観点からは、相溶性の可塑剤を添加することで改質することができる。   The dark composition in the present invention preferably comprises at least a binder / resin / polymer, a polymerization initiator, and a monomer in addition to the colorant. Further, if necessary, a known additive such as a plasticizer, a filler, a stabilizer, a polymerization inhibitor, a surfactant, a solvent, an adhesion promoter, and the like can be further contained. Furthermore, the dark color composition is preferably softened or tacky at a temperature of at least 150 ° C., and is preferably thermoplastic. From such a viewpoint, it can be modified by adding a compatible plasticizer.

(バインダー・樹脂・ポリマー)
濃色組成物に用いるバインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭59−44615号公報、特公昭54−34327号公報、特公昭58−12577号公報、特公昭54−25957号公報、特開昭59−53836号公報、及び特開昭59−71048号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができる。この他に水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。また、特に好ましい例として、米国特許第4139391号明細書に記載のベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸との共重合体や、ベンジル(メタ)アクリレートと(メタ)アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよい。
(Binder / Resin / Polymer)
The binder used in the dark color composition is preferably a polymer having a polar group such as a carboxylic acid group or a carboxylic acid group in the side chain. Examples thereof include JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, JP-B-54-25957, JP-A-59-53836, and JP-A-59-53836. A methacrylic acid copolymer, an acrylic acid copolymer, an itaconic acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, a partially esterified maleic acid copolymer as described in JP-A-59-71048 A coalescence etc. can be mentioned. Moreover, the cellulose derivative which has a carboxylic acid group in a side chain can also be mentioned. In addition, a polymer having a hydroxyl group added to a cyclic acid anhydride can also be preferably used. Further, as particularly preferred examples, copolymers of benzyl (meth) acrylate and (meth) acrylic acid described in US Pat. No. 4,139,391, benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid and other monomers And a multi-component copolymer. These binder polymers having a polar group may be used alone or in a composition used in combination with a normal film-forming polymer.

(開始剤)
濃色組成物を硬化させる方法としては、熱開始剤を用いる熱開始系や光開始剤を用いる光開始系が一般的であるが、本発明では、光開始系を用いることが好ましい。ここで用いる光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X 線等の放射線の照射(露光ともいう) により、後述の多官能性モノマーの重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤若しくは光重合開始剤系の中から適宜選択することができる。
(Initiator)
As a method for curing the dark color composition, a thermal initiation system using a thermal initiator and a photoinitiation system using a photoinitiator are generally used. In the present invention, it is preferable to use a photoinitiation system. The photopolymerization initiator used here generates an active species that initiates polymerization of a polyfunctional monomer, which will be described later, upon irradiation with radiation such as visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, or X-ray (also referred to as exposure). It is a compound to be obtained and can be appropriately selected from known photopolymerization initiators or photopolymerization initiator systems.

例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビスイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α − ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、等を挙げることができる。   For example, trihalomethyl group-containing compounds, acridine compounds, acetophenone compounds, bisimidazole compounds, triazine compounds, benzoin compounds, benzophenone compounds, α-diketone compounds, polynuclear quinone compounds, xanthone compounds, diazo compounds Compound, etc. can be mentioned.

具体的には、特開2001 −117230公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体又はs − トリアジン誘導体、米国特許第42398 50号明細書に記載のトリハロメチル−s−トリアジン化合物、米国特許第421297 6号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物;   Specifically, the trihalomethyl group substituted trihalomethyloxazole derivatives or s-triazine derivatives described in JP-A No. 2001-117230, trihalomethyl-s-triazine compounds described in US Pat. No. 4239850, Trihalomethyl group-containing compounds such as the trihalomethyloxadiazole compounds described in US Pat. No. 4,212,976;

9 − フェニルアクリジン、9 − ピリジルアクリジン、9 − ピラジニルアクリジン、1 , 2− ビス( 9 − アクリジニル) エタン、1 , 3 − ビス( 9 − アクリジニル) プロパン、1 ,4 − ビス( 9 − アクリジニル) ブタン、1 , 5 − ビス( 9 − アクリジニル) ペンタン、1, 6 − ビス( 9 − アクリジニル) ヘキサン、1 , 7 − ビス( 9 − アクリジニル) ヘプタン、1 , 8 − ビス( 9 − アクリジニル) オクタン、1 , 9 − ビス( 9 − アクリジニル) ノナン、1 , 1 0 − ビス( 9 − アクリジニル) デカン、1 , 1 1 − ビス( 9 − アクリジニル)ウンデカン、1 , 1 2 − ビス( 9 − アクリジニル) ドデカン等のビス( 9 − アクリジニル) アルカン、などのアクリジン系化合物;   9-phenylacridine, 9-pyridylacridine, 9-pyrazinylacridine, 1,2-bis (9-acridinyl) ethane, 1,3-bis (9-acridinyl) propane, 1,4-bis (9-acridinyl) ) Butane, 1,5-bis (9-acridinyl) pentane, 1,6-bis (9-acridinyl) hexane, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, 1,8-bis (9-acridinyl) octane 1,9-bis (9-acridinyl) nonane, 1,10-bis (9-acridinyl) decane, 1,11-bis (9-acridinyl) undecane, 1,1,2-bis (9-acridinyl) Acridine compounds such as bis (9-acridinyl) alkane, such as dodecane;

6 − ( p − メトキシフェニル) − 2 , 4 − ビス( トリクロロメチル) − s − トリアジン、6 − 〔p − ( N , N − ビス( エトキシカルボニルメチル) アミノ) フェニル〕− 2 , 4 − ビス( トリクロロメチル) − s − トリアジンなどのトリアジン系化合物; その他、9 , 10 − ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン/ ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビスイミダゾール/ メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン/ アミン、2 , 2 ’ − ビス( 2 , 4 − ジクロロフェニル) − 4 ,4 ’ , 5 , 5 ’ − テトラフェニル− 1 , 2 ’ − ビスイミダゾールなどが挙げられる。   6- (p-methoxyphenyl) -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis ( Triazine compounds such as (trichloromethyl) -s-triazine; 9,10-dimethylbenzphenazine, Michler's ketone, benzophenone / Michler's ketone, hexaarylbisimidazole / mercaptobenzimidazole, benzyldimethyl ketal, thioxanthone / amine, 2, 2 ′ -Bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-bisimidazole and the like.

上記のうち、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビスイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択される少なくとも一種が好ましく、特に、トリハロメチル基含有化合物及びアクリジン系化合物から選択される少なくとも一種を含有することが好ましい。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。   Among the above, at least one selected from a trihalomethyl group-containing compound, an acridine compound, an acetophenone compound, a bisimidazole compound, and a triazine compound is preferable, and in particular, selected from a trihalomethyl group-containing compound and an acridine compound. It is preferable to contain at least one kind. Trihalomethyl group-containing compounds and acridine compounds are also useful in that they are versatile and inexpensive.

特に好ましいのは、トリハロメチル基含有化合物としては、2 − トリクロロメチル− 5 −( p − スチリルスチリル) − 1 , 3 , 4 − オキサジアゾールであり、アクリジン系化合物としては、9 − フェニルアクリジンであり、更に、6 − 〔p − ( N , N − ビス( エトキシカルボニルメチル) アミノ) フェニル〕− 2 , 4 − ビス( トリクロロメチル) − s − トリアジン、2 − ( p − ブトキシスチリル) − 5 − トリクロロメチル− 1 , 3 , 4 − オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合物、及びミヒラーズケトン、2 , 2 ’ − ビス(2 , 4 − ジクロロフェニル) − 4 , 4 ’ , 5 , 5 ’ − テトラフェニル− 1 , 2 ’ − ビスイミダゾールである。   Particularly preferred as the trihalomethyl group-containing compound is 2-trichloromethyl-5- (p-styrylstyryl) -1,3,4-oxadiazole, and the acridine compound is 9-phenylacridine. Further, 6- [p- (N, N-bis (ethoxycarbonylmethyl) amino) phenyl] -2,4-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-butoxystyryl) -5- Trihalomethyl group-containing compounds such as trichloromethyl-1,3,4-oxadiazole, and Michler's ketone, 2,2′-bis (2,4-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenyl- 1,2′-bisimidazole.

前記光重合開始剤は、単独で用いてもよいし、2 種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の濃色組成物における総量としては、濃色組成物の全固形分(質量) の0 .1〜20質量% が好ましく、0 .5 〜 10 質量% が特に好ましい。前記総量が、0 .1 質量% 未満であると、組成物の光硬化の効率が低く露光に長時間を要することがあり、20 質量% を超えると、現像する際に、形成された画像パターンが欠落したり、パターン表面に荒れが生じやすくなることがある。   The said photoinitiator may be used independently and may use 2 or more types together. The total amount of the photopolymerization initiator in the dark color composition is 0. 0 of the total solid content (mass) of the dark color composition. 1 to 20% by mass is preferable. 5 to 10% by mass is particularly preferable. The total amount is 0. If the amount is less than 1% by mass, the photocuring efficiency of the composition is low and exposure may take a long time. If the amount exceeds 20% by mass, the formed image pattern may be lost or the pattern may be lost during development. Roughness may occur on the surface.

前記光重合開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの「水素供与体」とは、露光により前記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。   The photopolymerization initiator may be configured using a hydrogen donor in combination. The hydrogen donor is preferably a mercaptan-based compound or an amine-based compound defined below from the viewpoint that sensitivity can be further improved. Here, the “hydrogen donor” refers to a compound that can donate a hydrogen atom to a radical generated from the photopolymerization initiator by exposure.

前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環或いは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1 個以上、好ましくは1 〜 3 個、更に好ましくは1 〜 2 個有する化合物( 以下、「メルカプタン系水素供与体」という) である。また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環或いは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を1 個以上、好ましくは1 〜 3 個、更に好ましくは1 〜 2 個有する化合物( 以下、「アミン系水素供与体」という) である。尚、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していてもよい。   The mercaptan compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 mercapto groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as “ A mercaptan-based hydrogen donor). In addition, the amine compound is a compound having a benzene ring or a heterocyclic ring as a mother nucleus and having 1 or more, preferably 1 to 3, more preferably 1 to 2 amino groups directly bonded to the mother nucleus (hereinafter referred to as the following). "Amine-based hydrogen donor"). These hydrogen donors may have a mercapto group and an amino group at the same time.

上記のメルカプタン系水素供与体の具体例としては、2 − メルカプトベンゾチアゾール、2 − メルカプトベンゾオキサゾール、2 − メルカプトベンゾイミダゾール、2 , 5 − ジメルカプト− 1 , 3 , 4 − チアジアゾール、2 − メルカプト− 2 , 5 − ジメチルアミノピリジン、等が挙げられる。これらのうち、2 − メルカプトベンゾチアゾール、2 − メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に2 − メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。   Specific examples of the mercaptan hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2,5-dimercapto-1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-2. , 5-dimethylaminopyridine, and the like. Of these, 2-mercaptobenzothiazole and 2-mercaptobenzoxazole are preferable, and 2-mercaptobenzothiazole is particularly preferable.

上記のアミン系水素供与体の具体例としては、4 、4 ’ − ビス( ジメチルアミノ) ベンゾフェノン、4 、4 ’ − ビス( ジエチルアミノ) ベンゾフェノン、4 − ジエチルアミノアセトフェノン、4 − ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル− 4 − ジメチルアミノベンゾエート、4 − ジメチルアミノ安息香酸、4 − ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのうち、4 , 4 ’ − ビス( ジメチルアミノ) ベンゾフェノン、4 , 4 ’ − ビス( ジエチルアミノ) ベンゾフェノンが好ましく、特に4 , 4 ’ − ビス( ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。   Specific examples of the amine-based hydrogen donor include 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 4-diethylaminoacetophenone, 4-dimethylaminopropiophenone, ethyl. -4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzonitrile and the like. Of these, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone are preferable, and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is particularly preferable.

前記水素供与体は、単独で又は2 種以上を混合して使用することができ、形成された画像が現像時に永久支持体上から脱落し難く、かつ強度及び感度も向上させ得る点で、1 種以上のメルカプタン系水素供与体と1 種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。   The hydrogen donors can be used alone or in admixture of two or more, and the formed image is difficult to drop off from the permanent support at the time of development, and can be improved in strength and sensitivity. It is preferable to use a combination of one or more mercaptan hydrogen donors and one or more amine hydrogen donors.

前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組合せの具体例としては、2 −メルカプトベンゾチアゾール/ 4 , 4 ’ − ビス( ジメチルアミノ) ベンゾフェノン、2 −メルカプトベンゾチアゾール/ 4 , 4 ’ − ビス( ジエチルアミノ) ベンゾフェノン、2 −メルカプトベンゾオキサゾール/ 4 , 4 ’ − ビス( ジメチルアミノ) ベンゾフェノン、2− メルカプトベンゾオキサゾール/ 4 , 4 ’ − ビス( ジエチルアミノ) ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、2 − メルカプトベンゾチアゾール/ 4 , 4 ’ − ビス( ジエチルアミノ) ベンゾフェノン、2 − メルカプトベンゾオキサゾール/ 4 , 4 ’ −ビス( ジエチルアミノ) ベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、2 − メルカプトベンゾチアゾール/ 4 , 4 ’ − ビス( ジエチルアミノ) ベンゾフェノンである。   Specific examples of the combination of the mercaptan-based hydrogen donor and the amine-based hydrogen donor include 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-. Bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and the like. A more preferable combination is 2-mercaptobenzothiazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, 2-mercaptobenzoxazole / 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone, and a particularly preferable combination is 2-mercaptobenzo Thiazole / 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone.

前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体( M ) とアミン系水素供与体( A ) との質量比( M : A ) は、通常1 : 1 〜1 : 4 が好ましく、1 : 1 〜 1 : 3 がより好ましい。前記水素供与体の濃色組成物における総量としては、濃色組成物の全固形分( 質量)の0 . 1 〜 2 0 質量% が好ましく、0 . 5 〜 1 0 質量% が特に好ましい。   When the mercaptan hydrogen donor and the amine hydrogen donor are combined, the mass ratio (M: A) of the mercaptan hydrogen donor (M) to the amine hydrogen donor (A) is usually 1: 1: 1 to 4: 4 are preferable, and 1: 1 to 1: 3 are more preferable. The total amount of the hydrogen donor in the dark color composition is 0. 0 of the total solid content (mass) of the dark color composition. 1 to 20% by mass is preferable. 5 to 10% by mass is particularly preferable.

(モノマー)
濃色組成物に用いる多官能性モノマーとしては、下記化合物を単独で又は他のモノマーとの組合わせて使用することができる。具体的には、t − ブチル( メタ) アクリレート、エチレングリコールジ( メタ) アクリレート、2 − ヒドロキシプロピル( メタ) アクリレート、トリエチレングリコールジ( メタ) アクリレート、トリメチロールプロパントリ( メタ) アクリレート、2 − エチル− 2 − ブチル− プロパンジオールジ( メタ) アクリレート、ペンタエリスリトールトリ( メタ) アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ( メタ) アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ( メタ) アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ( メタ) アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ( メタ) アクリレート、トリス( 2 − ( メタ) アクリロイルオキシエチル) イソシアヌレート、1 , 4 − ジイソプロペニルベンゼン、1 , 4 − ジヒドロキシベンゼンジ( メタ) アクリレート、デカメチレングリコールジ( メタ) アクリレート、スチレン、ジアリルフマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル( メタ) アクリレート、( メタ) アクリルアミド、キシリレンビス( メタ) アクリルアミド、等が挙げられる。
(monomer)
As the polyfunctional monomer used in the dark color composition, the following compounds can be used alone or in combination with other monomers. Specifically, t-butyl (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, 2- Ethyl-2-butyl-propanediol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, polyoxy Ethylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tris (2- (meth) acryloyloxyethyl) isocyanurate, 1,4-diisopropenyl vinyl Zen, 1,4-dihydroxybenzene di (meth) acrylate, decamethylene glycol di (meth) acrylate, styrene, diallyl fumarate, triallyl trimellitic acid, lauryl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, xylylenebis (meth) acrylamide , Etc.

また、2 − ヒドロキシエチル( メタ) アクリレート、2 − ヒドロキシプロピル( メタ) アクリレート、ポリエチレングリコールモノ( メタ) アクリレート等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。   Reaction of a compound having a hydroxyl group such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate with a diisocyanate such as hexamethylene diisocyanate, toluene diisocyanate, xylene diisocyanate Things can also be used.

これらのうち、特に好ましいのは、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリス( 2 − アクリロイルオキシエチル) イソシアヌレートである。   Of these, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, and tris (2-acryloyloxyethyl) isocyanurate are particularly preferable.

多官能性モノマーの濃色組成物における含有量としては、濃色組成物の全固形分(質量) に対して、5 〜 8 0 質量% が好ましく、1 0 〜 7 0 質量% が特に好ましい。前記含有量が、5 質量% 未満であると、組成物の露光部でのアルカリ現像液への耐性が劣ることがあり、8 0 質量% を越えると、濃色組成物とした時のタッキネスが増加してしまい、取扱い性に劣ることがある。   The content of the polyfunctional monomer in the dark color composition is preferably 5 to 80% by mass, particularly preferably 10 to 70% by mass, based on the total solid content (mass) of the dark color composition. When the content is less than 5% by mass, the resistance to an alkali developer at the exposed portion of the composition may be inferior. When the content exceeds 80% by mass, the tackiness when a dark color composition is obtained is obtained. It may increase and may be inferior in handleability.

(溶剤)
本発明の濃色組成物においては、上記成分の他に、更に有機溶媒を用いてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
(solvent)
In the dark color composition of the present invention, an organic solvent may be used in addition to the above components. Examples of the organic solvent include methyl ethyl ketone, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, cyclohexanone, cyclohexanol, methyl isobutyl ketone, ethyl lactate, methyl lactate, caprolactam and the like.

(界面活性剤)
本発明における濃色離画壁又は感光性転写材料においては、後述するスリット状ノズル等を用いることにより、濃色組成物を基板又は仮支持体に塗布することができるが、該濃色組成物中に適切な界面活性剤を含有させることにより、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラを効果的に防止することができる。
上記界面活性剤としては、特開2003−337424号公報、特開平11−133600号公報に開示されている界面活性剤が、好適なものとして挙げられる。
尚、濃色組成物の全固形分に対する界面活性剤の含有量は、0.001〜1%が一般的であり、0.01〜0.5%が好ましく、0.03〜0.3%が特に好ましい。
(Surfactant)
In the dark color separation image wall or photosensitive transfer material in the present invention, the dark color composition can be applied to a substrate or a temporary support by using a slit-like nozzle or the like described later. By containing an appropriate surfactant therein, the film thickness can be controlled to be uniform, and coating unevenness can be effectively prevented.
Preferred examples of the surfactant include surfactants disclosed in JP-A Nos. 2003-337424 and 11-133600.
The surfactant content with respect to the total solid content of the dark color composition is generally 0.001 to 1%, preferably 0.01 to 0.5%, and 0.03 to 0.3%. Is particularly preferred.

(紫外線吸収剤)
本発明の濃色組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、特開平5−72724号公報記載の化合物の他、サリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系などが挙げられる。
具体的には、フェニルサリシレート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3’,5’−ジ−t−4’−ヒドロキシベンゾエート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、エチル−2−シアノ−3,3−ジ−フェニルアクリレート、2,2’−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピリジン)−セバケート、4−t−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、4−ヒドロキシ−2,2,6,6−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス(2,2,6,6−テトラメチル−4−ピペリデニル)−エステル、2−[2−ヒドロキシ−3,5−ビス(α,α−ジメチルベンジル)フェニル]−2H−ベンゾトリアゾール、7−{[4−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−5−トリアジン−2−イル]アミノ}−3−フェニルクマリン等が挙げられる。
尚、濃色組成物の全固形分に対する紫外線吸収剤の含有量は、0.5〜15%が一般的であり、1〜12%が好ましく、1.2〜10%が特に好ましい。
(UV absorber)
The dark color composition of the present invention may contain an ultraviolet absorber as necessary. Examples of the ultraviolet absorber include salicylate series, benzophenone series, benzotriazole series, cyanoacrylate series, nickel chelate series, hindered amine series and the like in addition to the compounds described in JP-A-5-72724.
Specifically, phenyl salicylate, 4-t-butylphenyl salicylate, 2,4-di-t-butylphenyl-3 ′, 5′-di-t-4′-hydroxybenzoate, 4-t-butylphenyl salicylate 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2 '-Hydroxy-3'-t-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, ethyl-2-cyano-3,3-di-phenyl acrylate, 2,2'-hydroxy-4-methoxybenzophenone , Nickel dibutyldithiocarbamate, bis (2,2,6,6-tetramethyl-4-pyridine) -Sebake 4-t-butylphenyl salicylate, phenyl salicylate, 4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidine condensate, succinic acid-bis (2,2,6,6-tetramethyl-4- Piperidenyl) -ester, 2- [2-hydroxy-3,5-bis (α, α-dimethylbenzyl) phenyl] -2H-benzotriazole, 7-{[4-chloro-6- (diethylamino) -5-triazine -2-yl] amino} -3-phenylcoumarin and the like.
In addition, the content of the ultraviolet absorber with respect to the total solid content of the dark color composition is generally 0.5 to 15%, preferably 1 to 12%, and particularly preferably 1.2 to 10%.

(その他)
−熱重合防止剤−
また、本発明の濃色組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
尚、濃色組成物の全固形分に対する熱重合防止剤の含有量は、0.01〜1%が一般的であり、0.02〜0.7%が好ましく、0.05〜0.5%が特に好ましい。
また、本発明の濃色組成物においては、上記添加剤の他に、特開平11−133600号公報に記載の「接着助剤」や、その他の添加剤等を含有させることができる。
(Other)
-Thermal polymerization inhibitor-
Moreover, it is preferable that the dark color composition of this invention contains a thermal-polymerization inhibitor. Examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl). -6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, phenothiazine and the like.
The content of the thermal polymerization inhibitor with respect to the total solid content of the dark color composition is generally 0.01 to 1%, preferably 0.02 to 0.7%, and preferably 0.05 to 0.5. % Is particularly preferred.
In addition to the above additives, the dark color composition of the present invention may contain “adhesion aid” described in JP-A No. 11-133600, other additives, and the like.

[感光性転写材料]
本発明における離画壁の形状を容易且つ低コストで実現するものとして、仮支持体上に少なくとも濃色感光性樹脂組成物からなる層と、必要に応じて更に、酸素遮断層とを、この順に有してなる濃色感光性転写材料(以下、「感光性転写材料」ともいう。)を使用するという後述の手法(3),(4)がある。酸素遮断層を有する材料を用いた場合、濃色感光性樹脂組成物からなる層は酸素遮断層に保護されるため自動的に貧酸素雰囲気下となる。そのため露光工程を不活性ガス下や減圧下で行う必要がないため、現状の工程をそのまま利用できる利点がある。
[Photosensitive transfer material]
In order to realize the shape of the separation wall in the present invention easily and at low cost, a layer comprising at least a dark color photosensitive resin composition on the temporary support, and an oxygen blocking layer as necessary, There are methods (3) and (4) described later in which a dark color photosensitive transfer material (hereinafter, also referred to as “photosensitive transfer material”) is used. When a material having an oxygen blocking layer is used, the layer made of the dark color photosensitive resin composition is protected by the oxygen blocking layer and thus automatically becomes in an oxygen-poor atmosphere. Therefore, there is no need to carry out the exposure process under an inert gas or under reduced pressure, so that there is an advantage that the current process can be used as it is.

(仮支持体)
上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン(登録商標) 、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、5〜300 μ m が適当であり、好ましくは20 〜 150 μm である。中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
(Temporary support)
The temporary support in the above photosensitive transfer material can be appropriately selected from those that are chemically and thermally stable and composed of a flexible substance. Specifically, a thin sheet such as Teflon (registered trademark), polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, or a laminate thereof is preferable. The thickness of the temporary support is suitably 5 to 300 μm, preferably 20 to 150 μm. Among them, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is particularly preferable.

(濃色感光性樹脂組成物層)
上記の感光性転写材料における濃色感光性樹脂組成物層は、前記濃色組成物から形成され、その形状等の特性、形成方法等については、前記塗布法により形成された層と同様であり、好ましい態様も同様である。
(Dark color photosensitive resin composition layer)
The dark color photosensitive resin composition layer in the above photosensitive transfer material is formed from the dark color composition, and the characteristics such as the shape, the formation method, and the like are the same as those formed by the coating method. The preferred embodiment is also the same.

(酸素遮断層)
本発明における感光性樹脂転写材料においては、露光時の酸素を遮断する目的から、仮支持体上に形成された感光性樹脂層上に酸素遮断層を設けることが好ましい。該酸素遮断層は後述の濃色離画壁の項に記載した酸素遮断層と、物性、特性等が全て同様であり好ましい態様も同様である。
(Oxygen barrier layer)
In the photosensitive resin transfer material in the present invention, it is preferable to provide an oxygen blocking layer on the photosensitive resin layer formed on the temporary support for the purpose of blocking oxygen during exposure. The oxygen barrier layer has the same physical properties and characteristics as the oxygen barrier layer described in the section of the deep color separation wall described later, and the preferred embodiment is also the same.

(熱可塑性樹脂層)
上記の感光性転写材料は、必要に応じて熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層とは、アルカリ可溶性であることが好ましく、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が80℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、後述する濃色離画壁形成方法において、永久支持体との良好な密着性を発揮することができる。
軟化点が80 ℃ 以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと( メタ) アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと(メタ)アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ( メタ) アクリル酸エステル、( メタ) アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の( メタ) アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。
熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」( 日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、1 9 6 8 年1 0 月2 5 日発行) による、軟化点が約8 0 ℃ 以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。
また、軟化点が80 ℃ 以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を8 0 ℃ 以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が80 ℃ を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤或いは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェートビフェニルジフェニルフォスフェートを挙げることができる。
(Thermoplastic resin layer)
The photosensitive transfer material may have a thermoplastic resin layer as necessary. Such a thermoplastic resin layer is preferably alkali-soluble and comprises at least a resin component, and the resin component preferably has a substantial softening point of 80 ° C. or less. By providing such a thermoplastic resin layer, it is possible to exhibit good adhesion to a permanent support in the dark color separation wall forming method described later.
Examples of alkali-soluble thermoplastic resins having a softening point of 80 ° C. or lower include saponified products of ethylene and acrylate copolymers, saponified products of styrene and (meth) acrylate esters, vinyltoluene and (meth) acrylic. Examples include saponified products of acid ester copolymers, saponified products such as poly (meth) acrylic acid esters, (meth) acrylic acid ester copolymers such as (meth) butyl acrylate and vinyl acetate, and the like.
For the thermoplastic resin layer, at least one of the above-mentioned thermoplastic resins can be appropriately selected and used. Furthermore, “Plastic Performance Handbook” (edited by the Japan Plastics Industry Federation, All Japan Plastics Molding Industry Federation, published by the Industrial Research Council, Of organic polymers having a softening point of about 80 ° C. or less according to 1 9 6 8 1/25 25) can be used.
In addition, for an organic polymer material having a softening point of 80 ° C. or higher, various plasticizers compatible with the polymer material are added to the organic polymer material, so that the substantial softening point is 80 ° C. It can also be used as lowered below. In addition, these organic polymer substances include various polymers, supercooling substances, adhesion improvers, or interfaces within a range where the substantial softening point does not exceed 80 ° C. for the purpose of adjusting the adhesive force with the temporary support. Activators, mold release agents, etc. can also be added.
Specific examples of preferable plasticizers include polypropylene glycol, polyethylene glycol, dioctyl phthalate, diheptyl phthalate, dibutyl phthalate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate biphenyl diphenyl phosphate.

(保護フイルム)
感光性樹脂組成物層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フイルムを設けることが好ましい。保護フイルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、感光性樹脂組成物層から容易に分離されねばならない。保護フイルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。尚、保護フイルムの厚さは、4〜40μmが一般的であり、5〜30μmが好ましく、10〜25μmが特に好ましい。
(Protective film)
It is preferable to provide a thin protective film on the photosensitive resin composition layer in order to protect it from contamination and damage during storage. The protective film may be made of the same or similar material as the temporary support, but it must be easily separated from the photosensitive resin composition layer. For example, silicone paper, polyolefin or polytetrafluoroethylene sheet is suitable as the protective film material. The thickness of the protective film is generally 4 to 40 μm, preferably 5 to 30 μm, and particularly preferably 10 to 25 μm.

(感光性転写材料の作製方法)
本発明の感光性転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の添加剤を溶解した塗布液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる酸素遮断層材料の溶液を塗布、乾燥し、その後濃色感光性樹脂組成物用塗布液を、中間層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。なお、熱可塑性樹脂層を設けない場合には酸素遮断層の溶剤の制約は特に必要がない。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層及び酸素遮断層を設けたシート、及び保護フイルム上に感光性樹脂層を設けたシートを用意し、中間層と濃色感光性樹脂組成物層が接するように相互に貼り合わせることによっても、更には、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び保護フイルム上に濃色感光性樹脂組成物層及び酸素遮断層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と酸素遮断層が接するように相互に貼り合わせることによっても、作製することができる。
尚、上記作製方法における塗布は、公知の塗布装置等によって行うことができるが、本発明においては、スリット状ノズルを用いた塗布装置(スリットコータ)によって行うことが好ましい。
(Method for producing photosensitive transfer material)
The photosensitive transfer material of the present invention is provided with a thermoplastic resin layer by applying a coating liquid (thermoplastic resin layer coating liquid) in which a thermoplastic resin layer additive is dissolved on a temporary support, followed by drying. After that, apply a solution of oxygen barrier layer material consisting of a solvent that does not dissolve the thermoplastic resin layer on the thermoplastic resin layer, dry it, and then apply the coating solution for the dark color photosensitive resin composition with a solvent that does not dissolve the intermediate layer. It can be prepared by drying. In the case where the thermoplastic resin layer is not provided, there is no particular restriction on the solvent for the oxygen blocking layer.
Further, a sheet provided with a thermoplastic resin layer and an oxygen blocking layer on the temporary support and a sheet provided with a photosensitive resin layer on a protective film are prepared, and an intermediate layer and a dark photosensitive resin composition layer are prepared. Further, the sheet is provided with a thermoplastic resin layer on the temporary support, and a dark photosensitive resin composition layer and an oxygen blocking layer are provided on the protective film. It is also possible to prepare the sheet by sticking them together so that the thermoplastic resin layer and the oxygen blocking layer are in contact with each other.
In addition, although application | coating in the said preparation method can be performed with a well-known coating apparatus etc., in this invention, it is preferable to perform with the coating apparatus (slit coater) using a slit-shaped nozzle.

[基板]
前記基板(永久支持体)としては、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラスや透明合成樹脂フィルムが挙げられる。
[substrate]
As the substrate (permanent support), a metallic support, a metal bonded support, glass, ceramic, a synthetic resin film, or the like can be used. Particularly preferred is a glass or a transparent synthetic resin film having transparency and good dimensional stability.

[濃色離画壁]
各画素の濃色離画壁は、上記濃色感光性樹脂組成物(濃色組成物)を用いた塗布法又は後述の感光性転写材料を用いた転写法で、貧酸素雰囲気下形成する態様がある。
ここで、前記貧酸素雰囲気下とは、本発明における濃色組成物又は濃色組成物層を光硬化させる際の酸素の分圧が0.15気圧以下、又は、酸素を遮断しうる酸素遮断層下のことを指しており、これらは詳しくは以下の通りである。
通常、大気(1気圧)下では酸素の分圧は0.21気圧であるので、酸素の分圧を0.15気圧以下に下げるためには、(a)露光時の大気を減圧して0.71気圧以下にするか、(b)空気と酸素以外の気体(例えば、窒素やアルゴン等の不活性ガス)を空気に対して40vol%以上混合することにより達成できる。
本発明における貧酸素雰囲気については、特に限定されず前記いずれの方法も用いることが出来る。
前記酸素分圧は0.15気圧以下とする方法を用いる場合、0.10気圧以下が好ましく、0.08気圧以下がより好ましく、0.05気圧以下が特に好ましい。酸素分圧が0.15気圧より高いとb/aの値が0.8未満になり、画素形成時に不都合が発生する場合がある。
酸素分圧の下限には特に制限はない。真空又は雰囲気を空気以外の気体(例えば窒素)で置換することにより酸素分圧を事実上0にすることができるが、これも好ましい方法である。酸素分圧は酸素計を用いて測定することができる。
[Dark color separation wall]
A mode in which the dark color separation wall of each pixel is formed in a poor oxygen atmosphere by a coating method using the above-described dark color photosensitive resin composition (dark color composition) or a transfer method using a photosensitive transfer material described later. There is.
Here, under the oxygen-poor atmosphere, the partial pressure of oxygen at the time of photocuring the dark color composition or the dark color composition layer in the present invention is 0.15 atm or less, or an oxygen barrier capable of blocking oxygen. Refers to the layer below, and these are as follows in detail.
Normally, the partial pressure of oxygen is 0.21 atm under the atmosphere (1 atm). Therefore, in order to reduce the partial pressure of oxygen to 0.15 atm or less, (a) the atmosphere at the time of exposure is reduced to 0 0.7 b or less, or (b) a gas other than air and oxygen (for example, an inert gas such as nitrogen or argon) is mixed by 40 vol% or more with respect to air.
The poor oxygen atmosphere in the present invention is not particularly limited, and any of the above methods can be used.
When using the method in which the oxygen partial pressure is 0.15 atm or less, 0.10 atm or less is preferable, 0.08 atm or less is more preferable, and 0.05 atm or less is particularly preferable. If the oxygen partial pressure is higher than 0.15 atm, the b / a value is less than 0.8, which may cause inconvenience during pixel formation.
There is no particular limitation on the lower limit of the oxygen partial pressure. By substituting the vacuum or atmosphere with a gas other than air (eg, nitrogen), the oxygen partial pressure can be effectively reduced to zero, which is also a preferred method. The oxygen partial pressure can be measured using an oximeter.

前記不活性ガスとは、N2、H2、CO2、などの一般的な気体や、He、Ne、Arなどの希ガス類をいう。この中でも、安全性や入手の容易さ、コストの問題から、N2が好適に利用される。 The inert gas refers to a general gas such as N 2 , H 2 , or CO 2 or a rare gas such as He, Ne, or Ar. Among these, N 2 is preferably used because of safety, availability, and cost.

前記減圧下とは、500hPa以下、好ましくは100hPa以下の状態を指す。   The term “under reduced pressure” refers to a state of 500 hPa or less, preferably 100 hPa or less.

以上より、本発明の濃色離画壁は、前記濃色組成物を用いて形成されるが、下記(1)及び(2)の塗布法、並びに下記(3)及び(4)の転写法で製造することが好ましい。
即ち、(1)濃色離画壁は、着色剤を含有する濃色感光性樹脂組成物を、基板に塗布乾燥した後、貧酸素雰囲気下(酸素分圧が0.15気圧以下)で露光し現像して形成する。
また、(2)濃色離画壁は、着色剤を含有する濃色感光性樹脂組成物を、基板に塗布乾燥した後、貧酸素雰囲気下(前記濃色感光性樹脂組成物層上に酸素遮断層を設けた状態)で露光し現像して形成する。
(3)前記濃色感光性樹脂組成物により仮支持体上に形成された濃色感光性転写層(濃色感光性樹脂組成物層)を有する感光性転写材料を、前記基板上に転写した後、貧酸素雰囲気下(酸素分圧が0.15気圧以下)で露光し現像して形成する。
(4)前記濃色感光性樹脂組成物により仮支持体上に形成された濃色感光性転写層(濃色感光性樹脂組成物層)を有する感光性転写材料を、前記基板上に転写した後、貧酸素雰囲気下(前記濃色感光性樹脂組成物層上に酸素遮断層を設けた状態)で露光し現像して形成する。
前記濃色離画壁は、2以上の画素群を離画するものであり、一般には黒であることが多いが、黒に限定されるものではない。
As described above, the dark color separation wall of the present invention is formed using the dark color composition, and the following (1) and (2) coating methods, and the following (3) and (4) transfer methods. It is preferable to manufacture by.
That is, (1) the dark color separation wall is exposed to an oxygen-poor atmosphere (oxygen partial pressure of 0.15 atm or less) after the dark color photosensitive resin composition containing the colorant is applied to the substrate and dried. And developed to form.
In addition, (2) the dark color separation wall is formed by applying a dark photosensitive resin composition containing a colorant onto a substrate and drying it, and then in an oxygen-poor atmosphere (on the dark photosensitive resin composition layer, oxygen It is formed by exposure and development in a state in which a blocking layer is provided.
(3) A photosensitive transfer material having a dark color photosensitive transfer layer (dark color photosensitive resin composition layer) formed on a temporary support by the dark color photosensitive resin composition was transferred onto the substrate. Thereafter, it is formed by exposure and development in an oxygen-poor atmosphere (oxygen partial pressure of 0.15 atm or less).
(4) A photosensitive transfer material having a dark color photosensitive transfer layer (dark color photosensitive resin composition layer) formed on a temporary support by the dark color photosensitive resin composition was transferred onto the substrate. Thereafter, it is formed by exposure and development in an oxygen-poor atmosphere (in the state where an oxygen blocking layer is provided on the dark color photosensitive resin composition layer).
The dark color separation wall separates two or more pixel groups and is generally black in many cases, but is not limited to black.

(酸素遮断層)
本発明で言う酸素遮断層とは、500cm3/(m2・day・atm)以下の酸素透過
率を有する層であるが、酸素透過率は100cm3/(m2・day・atm)以下である
ことが好ましく、50cm3/(m2・day・atm)以下であることがより好ましい。
酸素透過率が500cm3/(m2・day・atm)より多い場合は効率的に酸素を遮
断することができないため、離画壁を前記所望の形状にすることが困難となる。
具体的にはポリエチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコールなどを主成分とする層が好ましいが、このうちポリビニルアルコールを主成分とするものが好ましい。
ポリビニルアルコールとしては鹸化度が80%以上のものが好ましい。本発明の酸素遮断層における前記ポリビニルアルコールの含有量としては、25質量%〜99質量%が好ましく、50質量%〜90質量%ががより好ましく、50質量%〜80質量%が特に好ましい。また、必要に応じてポリビニルピロリドン、ポリアクリルアミドなどのポリマーを添加してもよいが、このうちポリビニルピロリドンが好ましい。これらのポリマーの添加量は層全体の1〜40質量%、より好ましくは10〜35質量%である。ポリビニルピロリドンの添加量が多すぎると酸素遮断性が不充分になる場合がある。
(Oxygen barrier layer)
The oxygen barrier layer referred to in the present invention is a layer having an oxygen permeability of 500 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less, but the oxygen permeability is 100 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less. It is preferably 50 cm 3 / (m 2 · day · atm) or less.
When the oxygen permeability is higher than 500 cm 3 / (m 2 · day · atm), it is difficult to efficiently block oxygen, so that it is difficult to make the separation wall have the desired shape.
Specifically, a layer mainly composed of polyethylene, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol or the like is preferable, and among these, a layer mainly composed of polyvinyl alcohol is preferable.
The polyvinyl alcohol preferably has a saponification degree of 80% or more. As content of the said polyvinyl alcohol in the oxygen interruption layer of this invention, 25 mass%-99 mass% are preferable, 50 mass%-90 mass% are more preferable, 50 mass%-80 mass% are especially preferable. Further, polymers such as polyvinyl pyrrolidone and polyacrylamide may be added as necessary, and among them, polyvinyl pyrrolidone is preferable. The addition amount of these polymers is 1-40 mass% of the whole layer, More preferably, it is 10-35 mass%. If the amount of polyvinylpyrrolidone added is too large, oxygen barrier properties may be insufficient.

本発明において、基板上に形成された濃色離画壁の断面形状は、図1に示す如く、基板と濃色離画壁の断面の交点をA1及びA2、該濃色離画壁の最も高さの高い点をH、Hから基板に下ろした垂線の足をG、Hを通り基板表面に平行な直線をL0、HとGをHP:PG=1:3に内分する点をP、Pを通り基板表面に平行な直線をL2、L2が濃色離画壁の断面と交わる点をB1及びB2とし、A1とA2の距離をa、B1とB2の距離をbとするとき、b/aの値を0.8以上であることを特徴とする。 In the present invention, as shown in FIG. 1, the cross-sectional shape of the dark color separation wall formed on the substrate is defined as A 1 and A 2 at the intersection of the cross section of the substrate and the dark color separation wall. The vertical point of the vertical line from H to the substrate is G, the straight line passing through H and parallel to the substrate surface is L 0 , and H and G are internally divided into HP: PG = 1: 3. A point is P, a line passing through P and parallel to the substrate surface is L 2 , and a point where L 2 intersects the cross section of the dark color separation wall is B 1 and B 2, and the distance between A 1 and A 2 is a, B 1 When the distance between B and B 2 is b, the value of b / a is 0.8 or more.

基板上において、上記で説明したような高光学濃度感光性濃色組成物を、同じく上記で説明した貧酸素雰囲気下で光重合した場合、組成物自身の吸収により組成物表面から基板方向への露光量は減衰するため、結果として表面の硬化がより進む。さらに、貧酸素雰囲気下であるために組成物表面での重合阻害が抑制され、こちらも結果として表面の硬化がより進む。
基板上に形成される濃色離画壁の断面形状において、基板と濃色離画壁の断面の交点をA1及びA2、該濃色離画壁の最も高さの高い点をH、Hから基板に下ろした垂線の足をG、Hを通り基板表面に平行な直線をL0、HとGをHP:PG=1:3に内分する点をP、Pを通り基板表面に平行な直線をL2、L2が濃色離画壁の断面と交わる点をB1及びB2とし、A1とA2の距離をa、B1とB2の距離をbとするとき、前記貧酸素雰囲気下の二つの寄与により、b/aの値を0.8以上に調整することができる。
これらの値は、実際には基板上に形成された濃色離画壁を、基板ごと垂直にカットして断面を露出させ、顕微鏡等で直接観察することで測定する。こうして得られた離画壁形状を固定化する工程を経ることで、例えば、カラーフィルタに用いた場合、一旦その空隙に打滴されたインクは該濃色離画壁を乗り越えにくくなる。その結果、隣接画素との混色などを防いで良好なカラーフィルタを得ることができる。前記b/aの値は0.8以上であることが必要であるが、0.8以上1.4以下であることが好ましく、0.85以上1.2以下であることがより好ましく、0.9以上1.1以下であることが特に好ましい。
On the substrate, when the high optical density photosensitive dark composition as described above is photopolymerized under the poor oxygen atmosphere described above, the composition itself absorbs from the surface of the composition toward the substrate. Since the exposure dose is attenuated, the surface is hardened as a result. Furthermore, since it is under an oxygen-poor atmosphere, inhibition of polymerization on the surface of the composition is suppressed, and as a result, the surface is further cured.
In the cross-sectional shape of the dark color separation wall formed on the substrate, the intersection points of the cross section of the substrate and the dark color separation wall are A 1 and A 2 , and the highest point of the dark color separation wall is H, A vertical line extending from H to the substrate is G, a straight line passing through H and parallel to the substrate surface is L 0 , and a point dividing H and G into HP: PG = 1: 3 is P, and P is passed through P to the substrate surface. When the parallel straight line is L 2 , the point where L 2 intersects the cross section of the dark separation wall is B 1 and B 2 , the distance between A 1 and A 2 is a, and the distance between B 1 and B 2 is b The value of b / a can be adjusted to 0.8 or more by two contributions under the poor oxygen atmosphere.
These values are measured by actually observing the dark color separation wall formed on the substrate vertically by cutting the substrate vertically to expose the cross section and directly observing with a microscope or the like. By passing through the step of fixing the shape of the separation wall obtained in this way, for example, when used in a color filter, it is difficult for the ink once deposited in the gap to get over the dark separation wall. As a result, it is possible to obtain a good color filter while preventing color mixing with adjacent pixels. The b / a value needs to be 0.8 or more, preferably 0.8 or more and 1.4 or less, more preferably 0.85 or more and 1.2 or less. It is particularly preferable that the ratio is from 9 to 1.1.

本発明において、前記濃色離画壁の高さh(前記濃色離画壁の最も高さの高い点をHと、Hから基板におろした垂線の足Gとの距離)は、1.0μm以上であることが必要であるが、より好ましくは1.5μm以上10μm以下であり、更に好ましくは1.8μm以上7.0μm以下、特に好ましくは2.0μm以上5.0μm以下である。中でも、1.5μm以上10μm以下とすることにより、より効果的に混色を防止できる。高さが1.5μm未満であると混色が起こりやすく、10μmを超えると濃色離隔壁の形成が難しくなる。   In the present invention, the height h of the dark color separation wall (the distance between the highest point of the dark color separation wall H and the foot G of the perpendicular line from the H to the substrate) is 1. Although it is necessary to be 0 μm or more, it is more preferably 1.5 μm or more and 10 μm or less, further preferably 1.8 μm or more and 7.0 μm or less, and particularly preferably 2.0 μm or more and 5.0 μm or less. Especially, color mixing can be more effectively prevented by setting the thickness to 1.5 μm or more and 10 μm or less. If the height is less than 1.5 μm, color mixing tends to occur, and if it exceeds 10 μm, it becomes difficult to form a dark color separation wall.

本発明の濃色離画壁の光学濃度は、2.5以上が好ましく、2.5〜10.0がより好ましく、2.5〜6.0が更に好ましく、3.0〜5.0が特に好ましい。
前記光学濃度の範囲とすることにより、コントラストの高い表示装置がえられて好ましい。また、表示装置の表示品位の点から濃色離隔壁の色は黒であることが好ましい。
The optical density of the dark color separation wall of the present invention is preferably 2.5 or more, more preferably 2.5 to 10.0, further preferably 2.5 to 6.0, and 3.0 to 5.0. Particularly preferred.
By setting the optical density range, a display device having a high contrast is obtained. Moreover, it is preferable that the color of a dark color separation partition is black from the point of the display quality of a display apparatus.

(濃色離画壁の形成)
−濃色組成物を用いる濃色離画壁の形成−
まず、基板を洗浄した後、該基板を熱処理して表面状態を安定化させる。該基板を温調後、前記濃色組成物を塗布する。引き続き、溶媒の1部を乾燥して塗布層の流動性をなくした後、EBR(エッジ・ビード・リムーバー)等にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、プリベークして濃色感光性樹脂組成物層を得る。
前記塗布としては、特に限定されず、公知のスリット状ノズルを有するガラス基板用コーター(例えば、エフ・エー・エス・ジャパン社製、商品名:MH−1600)等を用いて行うことができる。
前記乾燥は、公知の乾燥装置(例えば、VCD(真空乾燥装置;東京応化工業社製)等)を用いて行うことができる、
プリベークとしては、特に限定されないが、例えば、120℃3分間することにより達成することができる。前記得られた濃色感光性樹脂組成物層の膜厚は、前述の通りである。
(Formation of dark color separation wall)
-Formation of dark color separation wall using dark color composition-
First, after cleaning the substrate, the substrate is heat-treated to stabilize the surface state. After the temperature of the substrate is adjusted, the dark color composition is applied. Subsequently, after part of the solvent is dried to eliminate the fluidity of the coating layer, the unnecessary coating solution around the substrate is removed by EBR (edge bead remover), etc., and pre-baked to dark-color photosensitive resin. A composition layer is obtained.
The application is not particularly limited, and can be performed using a known coater for glass substrates having a slit-like nozzle (for example, product name: MH-1600, manufactured by F.S. Japan).
The drying can be performed using a known drying apparatus (for example, VCD (vacuum drying apparatus; manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.)).
Although it does not specifically limit as prebaking, For example, it can achieve by making 120 degreeC 3 minutes. The film thickness of the obtained dark color photosensitive resin composition layer is as described above.

続いて、基板と画像パターンを有するマスク(例えば、石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該濃色感光性樹脂組成物層の間の距離を適宜(例えば、200μm)に設定し、窒素パージして前記酸素分圧を制御して窒素雰囲気下露光する。
該露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(例えば、日立電子エンジニアリング株式会社製)等で行い、露光量としては適宜(例えば、300mJ/cm2)選択することができる。また、このときの酸素分圧は酸素計(G−102型、飯島電子工業製等)を用いて測定することができる。
Subsequently, with the substrate and a mask having an image pattern (for example, a quartz exposure mask) standing vertically, the distance between the exposure mask surface and the dark color photosensitive resin composition layer is appropriately set (for example, 200 μm). The exposure is performed in a nitrogen atmosphere by setting and purging with nitrogen to control the oxygen partial pressure.
The exposure is performed, for example, with a proximity type exposure machine (for example, manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp, and the exposure amount can be appropriately selected (for example, 300 mJ / cm 2 ). . Moreover, the oxygen partial pressure at this time can be measured using an oximeter (G-102, manufactured by Iijima Electronics Co., Ltd.).

次に、現像液で現像してパターニング画像を得、引き続き必要に応じて、水洗処理して濃色離画壁を得る。
前記現像の前には、純水をシャワーノズル等にて噴霧して、該濃色感光性樹脂組成物層の表面を均一に湿らせることが好ましい。前記現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。
光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
Next, it develops with a developing solution, a patterning image is obtained, and if necessary, it wash-processes and obtains a deep color separation wall.
Prior to the development, it is preferable to spray pure water with a shower nozzle or the like to uniformly wet the surface of the dark color photosensitive resin composition layer. As the developer used in the development process, a dilute aqueous solution of an alkaline substance is used, but it may be further added with a small amount of an organic solvent miscible with water.
Examples of the light source used for the light irradiation include medium to ultrahigh pressure mercury lamps, xenon lamps, metal halide lamps, and the like.

前記濃色組成物の塗布による方法及び後述感光性転写材料を用いる方法におけるアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類(例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム)、アルカリ金属炭酸塩類(例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム)、アルカリ金属重炭酸塩類(例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム)、アルカリ金属ケイ酸塩類(例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム)、アルカリ金属メタケイ酸塩類(例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム)、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類(例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド)、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。アルカリ性物質の濃度は、0.01〜30質量%が好ましく、pHは8〜14が好ましい。   Examples of the alkaline substance in the method of applying the dark color composition and the method of using a photosensitive transfer material described later include alkali metal hydroxides (for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide), alkali metal carbonates (for example, carbonic acid). Sodium, potassium carbonate), alkali metal bicarbonates (eg, sodium bicarbonate, potassium bicarbonate), alkali metal silicates (eg, sodium silicate, potassium silicate), alkali metal metasilicates (eg, metasilicate) Sodium, potassium metasilicate), triethanolamine, diethanolamine, monoethanolamine, morpholine, tetraalkylammonium hydroxides (for example, tetramethylammonium hydroxide), trisodium phosphate, and the like. The concentration of the alkaline substance is preferably 0.01 to 30% by mass, and the pH is preferably 8 to 14.

前記「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、2−プロパノール、1−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノn−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、N−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。水と混和性の有機溶剤の濃度は0.1〜30質量%が好ましい。更に、公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては0.01〜10質量%が好ましい。   Examples of the “water-miscible organic solvent” include, for example, methanol, ethanol, 2-propanol, 1-propanol, butanol, diacetone alcohol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol mono n-butyl ether. Benzyl alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ε-caprolactone, γ-butyrolactone, dimethylformamide, dimethylacetamide, hexamethylphosphoramide, ethyl lactate, methyl lactate, ε-caprolactam, N-methylpyrrolidone and the like are preferable. . The concentration of the organic solvent miscible with water is preferably 0.1 to 30% by mass. Furthermore, a known surfactant can be added, and the concentration of the surfactant is preferably 0.01 to 10% by mass.

前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性樹脂層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組合わせることができる。現像液の液温度は、通常室温付近から40℃が好ましい。現像時間は、感光性樹脂層の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依るが、通常10秒〜2分程度である。短すぎると非露光部の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると露光部もエッチングされることがある。いずれの場合にも、離画壁形状を好適なものとすることが困難となる。この現像工程にて、離画壁形状は前述のごとく形成される。   The developer can be used as a bath solution or a spray solution. When removing the uncured portion of the photosensitive resin layer, methods such as rubbing with a rotating brush or a wet sponge in the developer can be combined. The liquid temperature of the developer is usually preferably from about room temperature to 40 ° C. The development time is usually about 10 seconds to 2 minutes, depending on the composition of the photosensitive resin layer, the alkalinity and temperature of the developer, and the type and concentration when an organic solvent is added. If it is too short, the development of the non-exposed area may be insufficient, and the absorbance of ultraviolet rays may be insufficient, and if it is too long, the exposed area may be etched. In either case, it is difficult to make the separation wall shape suitable. In this developing step, the separating wall shape is formed as described above.

−感光性転写材料を用いた濃色離画壁の形成−
まず、前述の感光性転写材料の保護フィルムを剥離除去した後、露出した濃色感光性樹脂組成物層の表面を永久支持体(基板)上に貼り合わせ、ラミネータ等を通して加熱、加圧して積層する(積層体)。ラミネータには、従来公知のラミネーター、真空ラミネーター等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。
-Formation of dark color separation walls using photosensitive transfer material-
First, after peeling off and removing the protective film of the photosensitive transfer material described above, the surface of the exposed dark photosensitive resin composition layer is bonded onto a permanent support (substrate), and heated and pressed through a laminator or the like for lamination. (Laminated body). As the laminator, those appropriately selected from conventionally known laminators, vacuum laminators and the like can be used, and an auto-cut laminator can also be used in order to further increase the productivity.

次いで、仮支持体を除去する。続いて、仮支持体除去後の除去面の上方に所望のフォトマスクを配置し、貧酸素雰囲気下にて、光源より紫外線を照射し、照射後所定の処理液を用いて現像処理して、パターニング画像を得て、引き続き必要に応じて、水洗処理して、濃色離画壁を得る。
現像処理に用いる現像液及び光照射に用いる光源は、前記塗布法を用いた形成における現像液及び光源が同様に用いられる。
Next, the temporary support is removed. Subsequently, a desired photomask is disposed above the removal surface after removal of the temporary support, irradiated with ultraviolet light from a light source in a poor oxygen atmosphere, and developed using a predetermined processing solution after irradiation, A patterning image is obtained and subsequently washed with water as necessary to obtain a dark color separation wall.
As the developer used for the development process and the light source used for the light irradiation, the developer and the light source in the formation using the coating method are similarly used.

[カラーフィルタの製造方法]
(各画素の形成)
本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記基板上に、前記濃色離画壁の製造方法により製造された濃色離画壁と、2色以上の色を有する、複数の画素からなる画素群とを有し、前記複数の画素が、前記濃色離画壁を形成した後、着色液体組成物を液滴付与することにより形成させることを特徴とする。
即ち、前記現像工程にて基板上に形成された濃色離画壁間の空隙に対し、2色以上の画素(例えば、RGB各画素)を形成する為の着色液体組成物を液滴付与することにより濃色離各壁の空隙に侵入させて2色以上の色を有する複数の画素を形成する。
この着色液体組成物を離画壁空隙に侵入させる方法としては、インクジェット法やストライプギーサー塗布法など公知のものを使用することができ、インクジェット法がコスト的に好ましい。
また、このように各画素を形成する前に、濃色離画壁の形状を固定化してもよく、その手段は特に限定されないが以下のようなものが挙げられる。
すなわち、1)現像後、再露光を行う(ポスト露光と呼ぶことがある)、2)現像後、比較的低い温度で加熱処理を行う等である。ここで言う加熱処理とは濃色離画壁を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射するということをさす。
[Color filter manufacturing method]
(Formation of each pixel)
The color filter manufacturing method of the present invention is a pixel group comprising a dark color separation wall manufactured by the dark color separation wall manufacturing method and a plurality of pixels having two or more colors on the substrate. The plurality of pixels are formed by applying a droplet of a colored liquid composition after forming the dark color separation wall.
That is, droplets of a colored liquid composition for forming pixels of two or more colors (for example, RGB pixels) are applied to the gaps between the dark color separation walls formed on the substrate in the development process. As a result, a plurality of pixels having two or more colors are formed by intruding into the gaps in the walls of the dark color separation.
As a method for causing the colored liquid composition to enter the separation wall gap, a known method such as an ink jet method or a stripe Geyser coating method can be used, and the ink jet method is preferable in terms of cost.
In addition, before forming each pixel in this way, the shape of the dark color separation wall may be fixed, and the means is not particularly limited, but includes the following.
That is, 1) re-exposure after development (sometimes referred to as post-exposure), and 2) heat treatment at a relatively low temperature after development. The heat treatment here refers to heating a substrate having a dark color separation wall in an electric furnace, a dryer or the like, or irradiating an infrared lamp.

ここで、上記1)を行う場合の露光量は、大気下であれば500〜3000mJ/cm2、好ましくは1000〜2000mJ/cm2であり、貧酸素雰囲気下である場合にはそれより低い露光量で露光することも可能である。また、同じく2)を行う場合の加熱温度は50〜120℃、好ましくは70〜100℃程度であり、その加熱時間は、10〜40分程度である。温度が50℃より低い場合には濃色離画壁の硬化が進まない懸念があり、120℃より大きい場合には濃色離画壁形状が崩れてしまう懸念がある。 Here, the exposure amount when performing the above 1) is 500 to 3000 mJ / cm 2 , preferably 1000 to 2000 mJ / cm 2 in the atmosphere, and lower exposure in the poor oxygen atmosphere. It is also possible to expose in quantity. Similarly, the heating temperature in the case of 2) is 50 to 120 ° C., preferably about 70 to 100 ° C., and the heating time is about 10 to 40 minutes. When the temperature is lower than 50 ° C., there is a concern that the dark color separation wall will not be cured, and when it is higher than 120 ° C., there is a concern that the dark color separation wall shape may be broken.

各画素形成のために用いるインクジェット法に関しては、インクを熱硬化させる方法、光硬化させる方法、あらかじめ基板上に透明な受像層を形成しておいてから打滴する方法など、公知の方法を用いることができる。   Regarding the ink jet method used for forming each pixel, a known method such as a method of thermally curing ink, a method of photocuring, or a method of performing droplet ejection after forming a transparent image receiving layer on a substrate in advance is used. be able to.

好ましくは、各画素を形成した後、加熱処理(いわゆるベーク処理)する加熱工程を設ける。即ち、光照射により光重合した層を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射する。加熱の温度及び時間は、濃色感光性樹脂組成物の組成や形成された層の厚みに依存するが、一般に充分な耐溶剤性、耐アルカリ性、及び紫外線吸光度を獲得する観点から、約120℃〜約250℃で約10分〜約120分間加熱することが好ましい。   Preferably, after each pixel is formed, a heating step of performing a heat treatment (so-called baking treatment) is provided. That is, a substrate having a layer photopolymerized by light irradiation is heated in an electric furnace, a dryer or the like, or an infrared lamp is irradiated. The heating temperature and time depend on the composition of the dark color photosensitive resin composition and the thickness of the formed layer, but are generally about 120 ° C. from the viewpoint of obtaining sufficient solvent resistance, alkali resistance, and ultraviolet absorbance. Heating at about 250 ° C. for about 10 minutes to about 120 minutes is preferred.

このようにして形成されたカラーフィルタのパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。   The pattern shape of the color filter thus formed is not particularly limited, and may be a general black matrix shape such as a stripe shape, a lattice shape, or a delta arrangement. May be.

(インクジェット方式)
本発明に用いるインクジェット方式としては、帯電したインクを連続的に噴射し電場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等、各種の方法を採用できる。
用いるインクは油性、水性であっても使用できる。また、そのインクに含まれる着色材は染料、顔料ともに使用でき、耐久性の面からは顔料の使用がより好ましい。また、公知のカラーフィルタ作製に用いる、塗布方式の着色インク(着色樹脂組成物、例えば、特開2005−3861号公報[0034]〜[0063]記載)や、特開平10−195358号公報[0009]〜[0026]に記載のインクジェット用組成物を使用することもできる。
本発明におけるインクには、着色後の工程を考慮し、加熱によって硬化する、又は紫外線などのエネルギー線によって硬化する成分を添加することもできる。加熱によって硬化する成分としては各種の熱硬化性樹脂が広く用いられ、またエネルギー線によって硬化する成分としては例えばアクリレート誘導体又はメタクリレート誘導体に光反応開始剤を添加したものを例示できる。特に耐熱性を考慮してアクリロイル基、メタクリロイル基を分子内に複数有するものがより好ましい。これらのアクリレート誘導体、メタクリレート誘導体は水溶性のものが好ましく使用でき、水に難溶性のものでもエマルション化するなどして使用できる。
この場合、上記<濃色組成物>の項で挙げた、顔料などの着色剤を含有させた感光性樹脂組成物を、好適なものとして用いることができる。
(Inkjet method)
The ink jet system used in the present invention includes a method in which charged ink is continuously ejected and controlled by an electric field, a method in which ink is ejected intermittently using a piezoelectric element, and an ink is intermittently heated by using its foam. Various methods such as a method of injecting the ink can be employed.
The ink used may be oily or water-based. The coloring material contained in the ink can be used for both dyes and pigments, and the use of pigments is more preferable from the viewpoint of durability. In addition, a coating-type colored ink (colored resin composition, for example, described in JP-A No. 2005-3861 [0034] to [0063]) or JP-A No. 10-195358 [0009] is used for producing a known color filter. ]-[0026] The inkjet composition as described above can also be used.
In consideration of the process after coloring, a component that is cured by heating or that is cured by energy rays such as ultraviolet rays can be added to the ink in the present invention. Various thermosetting resins are widely used as components that are cured by heating, and examples of components that are cured by energy rays include those obtained by adding a photoinitiator to an acrylate derivative or a methacrylate derivative. In particular, in view of heat resistance, those having a plurality of acryloyl groups and methacryloyl groups in the molecule are more preferable. These acrylate derivatives and methacrylate derivatives are preferably water-soluble, and even those that are sparingly soluble in water can be used after being emulsified.
In this case, the photosensitive resin composition containing a colorant such as a pigment, as mentioned in the section <Deep color composition>, can be used as a suitable one.

また、本発明において用いることができるインクとしては、少なくともバインダー、及び、2官能乃至3官能のエポキシ基含有モノマーを含有するカラーフィルタ用熱硬化性インクも好適なものとして用いることができる。   Further, as the ink that can be used in the present invention, a thermosetting ink for a color filter containing at least a binder and a bifunctional to trifunctional epoxy group-containing monomer can also be used as a suitable ink.

本発明におけるカラーフィルタは、インクジェット方式で画素形成されたカラーフィルタであることが好ましく、RGB3色のインクを吹き付けて3色のカラーフィルタを形成することが好ましい。
このカラーフィルタは、液晶表示素子、電気泳動表示素子、エレクトロクロミック表示素子、PLZT等と組合せて表示素子として用いられる。カラーカメラやその他のカラーフィルタを用いる用途にも使用できる。
The color filter in the present invention is preferably a color filter in which pixels are formed by an inkjet method, and it is preferable to form three color filters by spraying RGB three color inks.
This color filter is used as a display element in combination with a liquid crystal display element, an electrophoretic display element, an electrochromic display element, PLZT, or the like. It can also be used for applications using color cameras and other color filters.

[表示装置]
本発明の表示装置としては液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、EL表示装置、CRT表示装置などの表示装置などを言う。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木 昭夫著、(株)工業調査会 1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹 順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。
本発明の表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田 龍男編集、(株)工業調査会 1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーTFT方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーTFT方式の液晶表示装置については例えば「カラーTFT液晶ディスプレイ(共立出版(株)1996年発行)」に記載されている。さらに本発明はもちろんIPSなどの横電界駆動方式、MVAなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「EL、PDP、LCDディスプレイ−技術と市場の最新動向−(東レリサーチセンター調査研究部門 2001年発行)」の43ページに記載されている。
[Display device]
The display device of the present invention refers to a display device such as a liquid crystal display device, a plasma display display device, an EL display device, or a CRT display device. For the definition of display devices and explanation of each display device, refer to “Electronic Display Devices (Akio Sasaki, published by Industrial Research Institute 1990)”, “Display Devices (Junaki Ibuki, Industrial Books Co., Ltd.) Issue)).
Among the display devices of the present invention, a liquid crystal display device is particularly preferable. The liquid crystal display device is described in, for example, “Next-generation liquid crystal display technology (edited by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Kenkyukai 1994)”. The liquid crystal display device to which the present invention can be applied is not particularly limited, and can be applied to various types of liquid crystal display devices described in, for example, the “next generation liquid crystal display technology”. Among these, the present invention is particularly effective for a color TFT liquid crystal display device. The color TFT liquid crystal display device is described in, for example, “Color TFT liquid crystal display (issued in 1996 by Kyoritsu Publishing Co., Ltd.)”. Further, the present invention can be applied to a liquid crystal display device with a wide viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS and a pixel division method such as MVA. These methods are described, for example, on page 43 of "EL, PDP, LCD display-latest technology and market trends-(issued in 2001 by Toray Research Center Research Division)".

液晶表示装置はカラーフィルタ以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角補償フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明のブラックマトリックスはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’94液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズ
の市場(島 健太郎 (株)シーエムシー 1994年発行)」、「2003液晶関連市場の現状と将来展望(下巻)(表 良吉 (株)富士キメラ総研 2003年発行)」に記載されている。
In addition to the color filter, the liquid crystal display device includes various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, and a viewing angle compensation film. The black matrix of the present invention can be applied to a liquid crystal display device composed of these known members. For example, “'94 Liquid Crystal Display Peripheral Materials and Chemicals Market (Kentaro Shima, CMC Co., Ltd., 1994)”, “2003 Liquid Crystal Related Market Status and Future Prospects (Volume 2)” (Table Yoshiyoshi) Fuji Chimera Research Institute, published in 2003) ”.

[対象用途]
本発明は、テレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなどの用途に特に制限なく適用できる。
[Target use]
The present invention can be applied to a use such as a portable terminal such as a television, a personal computer, a liquid crystal projector, a game machine, and a mobile phone, a digital camera, and a car navigation system without particular limitation.

以下に、実施例を用いて本発明を詳細に説明する。本発明はこれらに限定されるものではない。なお、特に断りのない限り「%」および「部」は、「質量%」および「質量部」を表し、「分子量」とは「質量平均分子量」のことを示す。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. The present invention is not limited to these. Unless otherwise specified, “%” and “part” represent “% by mass” and “part by mass”, and “molecular weight” means “mass average molecular weight”.

[濃色感光性樹脂組成物の製法]
濃色感光性樹脂組成物は、まず下記濃色感光性樹脂組成物処方に記載の量のカーボンブラック分散液、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度24℃(±2℃)で混合して150RPM10分間攪拌し、次いで、メチルエチルケトン、バインダーP−1、ハイドロキノンモノメチルエーテル、DPHA液、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチル)−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン、界面活性剤1をはかり取り、温度25℃(±2℃)でこの順に添加して、温度40℃(±2℃)で150RPM30分間攪拌することによって得られる。
[Production method of dark photosensitive resin composition]
The dark color photosensitive resin composition is first weighed in the amount of carbon black dispersion and propylene glycol monomethyl ether acetate described in the following dark color photosensitive resin composition formulation and mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.). Stir at 150 RPM for 10 minutes, then methyl ethyl ketone, binder P-1, hydroquinone monomethyl ether, DPHA solution, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [4 '-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) -3' -Bromophenyl] -s-triazine and surfactant 1 are weighed out, added in this order at a temperature of 25 ° C. (± 2 ° C.), and stirred at a temperature of 40 ° C. (± 2 ° C.) for 150 RPM for 30 minutes.

<濃色感光性樹脂組成物処方>
・カーボンブラック分散液 25部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 8部
・メチルエチルケトン 53部
・バインダーP−1 9.1部
・ハイドロキノンモノメチルエーテル 0.002部
・DPHA液 4.2部
・2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[4’−(N,N−ビスエトキシカルボニルメチル)−3’−ブロモフェニル]−s−トリアジン 0.16部
・界面活性剤1 0.045部
<Dark color photosensitive resin composition formulation>
・ Carbon black dispersion 25 parts ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 8 parts ・ Methyl ethyl ketone 53 parts ・ Binder P-1 9.1 parts ・ Hydroquinone monomethyl ether 0.002 parts ・ DPHA liquid 4.2 parts ・ 2,4-bis ( Trichloromethyl) -6- [4 ′-(N, N-bisethoxycarbonylmethyl) -3′-bromophenyl] -s-triazine 0.16 parts Surfactant 1 0.045 parts

<カーボンブラック分散液>
・カーボンブラック(デグッサ社製 Nipex35) 13.1%
・分散剤 0.65%
<Carbon black dispersion>
・ Carbon black (Nippex 35 manufactured by Degussa) 13.1%
・ Dispersant 0.65%

Figure 2006301040
Figure 2006301040

・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比のランダム共重合物、分子量3.7万) 6.72%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 79.53%
-Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 72/28 molar ratio random copolymer, molecular weight 37,000) 6.72%
Propylene glycol monomethyl ether acetate 79.53%

<バインダーP−1>
・ポリマー(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=78/22モル比のランダム共重合物、分子量3.8万) 27%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 73%
<Binder P-1>
・ Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 molar ratio random copolymer, molecular weight 38,000) 27%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 73%

<DPHA液>
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
(重合禁止剤MEHQ 500ppm含有、日本化薬(株)製、商品名:KAYARAD DPHA) 76%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 24%
<DPHA solution>
Dipentaerythritol hexaacrylate (containing polymerization inhibitor MEHQ 500 ppm, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: KAYARAD DPHA) 76%
・ Propylene glycol monomethyl ether acetate 24%

<界面活性剤1>
・下記構造物1 30%
・メチルエチルケトン 70%
<Surfactant 1>
・ The following structure 1 30%
・ Methyl ethyl ketone 70%

Figure 2006301040
Figure 2006301040

[実施例1]
(濃色離画壁の形成)
無アルカリガラス基板を、UV洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。該基板を120℃3分熱処理して表面状態を安定化させた。
該基板を冷却し23℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター(エフ・エー・エス・ジャパン社製、商品名:MH−1600)にて、前記濃色感光性樹脂組成物を塗布した。引き続きVCD(真空乾燥装置;東京応化工業社製)で30秒間、溶媒の1部を乾燥して塗布層の流動性をなくした後、EBR(エッジ・ビード・リムーバー)にて基板周囲の不要な塗布液を除去し、120℃3分間プリベークして膜厚2.2μmの濃色感光性樹脂組成物層を得た。
[Example 1]
(Formation of dark color separation wall)
The alkali-free glass substrate was cleaned with a UV cleaning apparatus, then brush-cleaned with a cleaning agent, and further ultrasonically cleaned with ultrapure water. The substrate was heat-treated at 120 ° C. for 3 minutes to stabilize the surface state.
After cooling the substrate and adjusting the temperature to 23 ° C., the dark color photosensitive resin composition was prepared with a glass substrate coater (manufactured by FS Japan, trade name: MH-1600) having a slit-like nozzle. The object was applied. Subsequently, after part of the solvent was dried by VCD (vacuum drying apparatus; manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) for 30 seconds to eliminate the fluidity of the coating layer, the substrate periphery was unnecessary with EBR (edge bead remover). The coating solution was removed and prebaked at 120 ° C. for 3 minutes to obtain a dark photosensitive resin composition layer having a thickness of 2.2 μm.

超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機(日立電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該濃色感光性樹脂組成物層の間の距離を200μmに設定し、露光量300mJ/cm2でパターン露光した。なお露光は、窒素パージして窒素雰囲気下で行った。このときの酸素分圧(飯島電子工業製酸素計 G−102型を用いて測定)は0.01気圧であった。 With a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) with an ultra-high pressure mercury lamp, with the substrate and mask (quartz exposure mask having an image pattern) standing vertically, the exposure mask surface and the dark color photosensitive The distance between the conductive resin composition layers was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 300 mJ / cm 2 . The exposure was performed in a nitrogen atmosphere with a nitrogen purge. The oxygen partial pressure at this time (measured using Iijima Electronics Co., Ltd. oxygen meter G-102 type) was 0.01 atm.

次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、該濃色感光性樹脂組成物層の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン性界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)にて23℃80秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行い、引き続き220℃で30分間熱処理して濃色離画壁を得た。   Next, pure water is sprayed with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the dark color photosensitive resin composition layer, and then a KOH developer (KOH, containing nonionic surfactant, trade name: CDK-1 and Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd. were used for shower development at 23 ° C. for 80 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to obtain a patterning image. Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure washing nozzle to remove the residue, and subsequently heat treated at 220 ° C. for 30 minutes to obtain a dark color separation wall.

(画素形成)
次いで、インクジェット装置を用いR、G、Bそれぞれのインクをブラックマトリックスパターン様離画壁の間隙に付与して着色した。
このインクは、下記の成分のうち、先ず、顔料、高分子分散剤及び溶剤を混合し、3本ロールとビーズミルを用いて顔料分散液を得、その顔料分散液をディソルバー等で十分攪拌しながら、その他の材料を少量ずつ添加し、R(赤色)インクを調製した。
〈Rインクの組成〉
・顔料(C.I.ピグメントレッド254) 5部
・高分子分散剤(AVECIA社製ソルスパース24000) 1部
・バインダー(グリシジルメタクリレート−スチレン共重合体) 3部
・第一エポキシ樹脂(ノボラック型エポキシ樹脂、油化シェル社製エピコート154)
2部
・第二エポキシ樹脂(ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル) 5部
・硬化剤(トリメリット酸) 4部
・溶剤:3−エトキシプロピオン酸エチル 80部
(Pixel formation)
Next, each of R, G, and B inks was applied to the gaps between the black matrix pattern-like separation walls using an inkjet device, and colored.
In this ink, among the following components, first, a pigment, a polymer dispersant and a solvent are mixed, and a pigment dispersion is obtained using a three roll and a bead mill, and the pigment dispersion is sufficiently stirred with a dissolver or the like. While adding other materials little by little, R (red) ink was prepared.
<R ink composition>
・ Pigment (CI Pigment Red 254) 5 parts ・ Polymer dispersant (Solsperse 24000 manufactured by AVECIA) 1 part ・ Binder (glycidyl methacrylate-styrene copolymer) 3 parts ・ First epoxy resin (novolak type epoxy resin) Epicoat 154 manufactured by Yuka Shell
2 parts, 2nd epoxy resin (neopentyl glycol diglycidyl ether) 5 parts, curing agent (trimellitic acid) 4 parts, solvent: 80 parts ethyl 3-ethoxypropionate

さらに、上記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントグリーン36を同量用いるほかはRインクの場合と同様にしてG(緑色)インキを調製した。さらに、下記組成中のC.I.ピグメントレッド254に代えてC.I.ピグメントブルー15:6を同量用いるほかはRインクの場合と同様にしてB(青色)インクを調製した。
画素着色後のカラーフィルタを230℃オーブン中で30分ベークすることで、ブラックマトリックス、各画素共に完全に硬化させて、カラーフィルタを得た。
Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. G (green) ink was prepared in the same manner as the R ink except that the same amount of Pigment Green 36 was used. Further, C.I. I. Pigment Red 254 instead of C.I. I. B (blue) ink was prepared in the same manner as in the R ink except that the same amount of Pigment Blue 15: 6 was used.
The color filter after pixel coloring was baked in an oven at 230 ° C. for 30 minutes, whereby both the black matrix and each pixel were completely cured to obtain a color filter.

こうして得られたカラーフィルタの、各画素を構成するインクは濃色離画壁間隙にぴったり収まり、隣接画素との混色などの欠陥となる不良は見つからなかった。また、カラーフィルタのITO抵抗を測定した(三菱油化「ロレスタ」;四探針法でシート抵抗を測定)ところ、12Ω/□という非常に低い値を示した。これは、本発明を用いることで予期せずブラックマトリックス表面の平坦性が高まったためと考えられる。   In the color filter thus obtained, the ink constituting each pixel fits exactly in the dark color separation wall gap, and no defect such as a color mixture with adjacent pixels was found. In addition, the ITO resistance of the color filter was measured (Mitsubishi Yuka "Loresta"; the sheet resistance was measured by the four probe method), and it showed a very low value of 12Ω / □. This is presumably because the flatness of the black matrix surface was unexpectedly increased by using the present invention.

[評価]
(b/a値)
得られたカラーフィルタを基板ごと垂直にカットして断面を露出させ、走査型電子顕微鏡で撮影(倍率20000倍)した。基板と濃色離画壁の断面の交点をA1及びA2とし、該濃色離画壁の最も高さの高い点をH、Hから基板に下ろした垂線の足をG、Hを通り基板表面に平行な直線をL0、HとGをHP:PG=1:3に内分する点をP、Pを通り基板表面に平行な直線をL1、L1が濃色離画壁の断面と交わる点をB1及びB2、A1とA2の距離をa、B1とB2の距離をbとして、b/a値を求めた。測定はランダムに選んだ10点について行い、それらの値を平均して求めた値を表1に示す。
[Evaluation]
(B / a value)
The obtained color filter was cut vertically along with the substrate to expose the cross section, and photographed with a scanning electron microscope (magnification 20000 times). The intersections of the cross-section of the substrate and the dark separation wall are A 1 and A 2 , the highest point of the dark separation wall is H, and the perpendicular foot from H to the substrate passes through G and H A straight line parallel to the substrate surface is L 0 , a point dividing H and G into HP: PG = 1: 3 is P, a straight line passing through P and parallel to the substrate surface is L 1 , and L 1 is a dark color separation wall B / a value was obtained by setting B 1 and B 2 as the points crossing the cross section, a as the distance between A 1 and A 2 , and b as the distance between B 1 and B 2 . The measurement was performed on 10 points selected at random, and the values obtained by averaging these values are shown in Table 1.

(濃色離画壁の上端角部の形状の評価)
上記の走査型電子顕微鏡写真から以下の方法で濃色離画壁の上端角部の形状を評価した。該離画壁の基板からの高さが最も高い点における基板からの高さをH、Hから基板に下ろした垂線の足をG、直線HG上にありHとGをHP:PG=1:4に内分する点をQとして、Qを通り基板表面に平行な直線をL2とする。L2が濃色離画壁の断面と交わる点をR、Rにおける接線をL3とする。L3とL0の交点Sとする。濃色離画壁の高さをh、Sから濃色離画壁の断面までの距離をdとした時、d/hの値を濃色離画壁の上端角部の形状の尺度とした。d/hの値が、0.06以下であれば混色が起こりにくく、更にこの値が0.04以下であればより混色が起こりにくくなることがわかる。
(Evaluation of the shape of the upper corner of the dark separation wall)
From the above scanning electron micrograph, the shape of the upper corner of the dark color separation wall was evaluated by the following method. The height from the substrate at the highest height of the separation wall from the substrate is H, the foot of the perpendicular line from the H to the substrate is G, the line is on the straight line HG, and H and G are HP: PG = 1: A point that is internally divided into 4 is Q, and a straight line that passes through Q and is parallel to the substrate surface is L 2 . Let R 2 be the point where L 2 intersects the cross section of the dark separation wall, and L 3 be the tangent line at R. Let it be the intersection S of L 3 and L 0 . When the height of the dark color separation wall is h and the distance from S to the cross section of the dark color separation wall is d, the value of d / h is a measure of the shape of the upper corner of the dark color separation wall. . It can be seen that color mixing is unlikely to occur if the value of d / h is 0.06 or less, and color mixing is less likely to occur if this value is 0.04 or less.

(画素間の混色評価)
得られたカラーフィルタを200倍の光学顕微鏡で目視観察して画素間の混色の有無を調べた。1000画素観察して下記のランクに分けた。結果を表1に示す。許容されるのはAランクとBランクのものである。
Aランク:混色が全くないもの
Bランク:混色が1〜2箇所のもの
Cランク:混色が3〜10箇所のもの
Dランク:混色が11箇所以上のもの
(Evaluation of color mixture between pixels)
The obtained color filter was visually observed with a 200 × optical microscope to examine the presence or absence of color mixture between pixels. 1000 pixels were observed and divided into the following ranks. The results are shown in Table 1. Allowable are those of A rank and B rank.
Rank A: No color mixing B Rank: Color mixing 1-2 places C Rank: Color mixing 3-10 places D Rank: Color mixing 11 places or more

[実施例2]
実施例1において、ガラス基板上に形成された濃色感光性樹脂組成物層K1の上に下記の酸素遮断層を設けることと、前記濃色感光性樹脂組成物層K1の露光の際に窒素パージを行わないこと以外は、実施例1と同様にして実施してカラーフィルタを得、同様に評価した。結果を表1に示す。
[Example 2]
In Example 1, the following oxygen blocking layer was provided on the dark color photosensitive resin composition layer K1 formed on the glass substrate, and nitrogen was exposed during the exposure of the dark color photosensitive resin composition layer K1. A color filter was obtained in the same manner as in Example 1 except that the purging was not performed, and was similarly evaluated. The results are shown in Table 1.

(酸素遮断層の形成)
濃色感光性樹脂組成物層K1の上に、下記酸素遮断層を乾燥膜厚が1.6μmになるよう塗布して100℃で3分間乾燥した。なお塗布方法は感光性樹脂層と同じである。
<酸素遮断層用処方>
・ポリビニルアルコール 32.2部
(PVA205(鹸化率=88%);(株)クラレ製)
・ポリビニルピロリドン 14.9部
(PVP、K−30;アイエスピー・ジャパン社製)
・メタノール 429部
・蒸留水 524部
(Formation of oxygen barrier layer)
On the dark color photosensitive resin composition layer K1, the following oxygen barrier layer was applied so that the dry film thickness was 1.6 μm and dried at 100 ° C. for 3 minutes. The application method is the same as that for the photosensitive resin layer.
<Prescription for oxygen barrier layer>
Polyvinyl alcohol 32.2 parts (PVA205 (saponification rate = 88%); manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
-14.9 parts of polyvinylpyrrolidone (PVP, K-30; manufactured by ASP Japan)
・ Methanol 429 parts ・ Distilled water 524 parts

[実施例3]
(濃色感光性樹脂転写材料−1の作製)
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて濃色感光性樹脂組成物K1を塗布して、100℃で3分間乾燥して乾燥膜厚が2.2μmの濃色感光性樹脂組成物層を設け、この上に保護フイルム(厚さ12μmポリプロピレンフィルム)を圧着して、濃色感光性樹脂転写材料−1を得た。
[Example 3]
(Preparation of dark photosensitive resin transfer material-1)
On the temporary support of polyethylene terephthalate film having a thickness of 75 μm, the dark color photosensitive resin composition K1 was applied using a slit-like nozzle and dried at 100 ° C. for 3 minutes to obtain a thick film having a dry film thickness of 2.2 μm. A color photosensitive resin composition layer was provided, and a protective film (12 μm thick polypropylene film) was pressure-bonded thereon to obtain a dark photosensitive resin transfer material-1.

(濃色離画壁の形成)
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3%水溶液、商品名:KBM603、信越化学)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
(Formation of dark color separation wall)
The alkali-free glass substrate was washed with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds by showering, and after washing with pure water shower, silane coupling solution (N-β (aminoethyl)) A 0.3% aqueous solution of γ-aminopropyltrimethoxysilane (trade name: KBM603, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.

前記濃色感光性樹脂転写材料−1の保護フイルムを剥離後、ラミネータ(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂組成物層の間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cm2でパターン露光した。なお露光は窒素パージして窒素雰囲気下で行った。このときの酸素分圧は0.02気圧であった。
After peeling off the protective film of the dark color photosensitive resin transfer material-1, a substrate heated at 100 ° C. for 2 minutes using a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)) has a rubber roller temperature of 130 ° C. Lamination was performed at a linear pressure of 100 N / cm and a conveyance speed of 2.2 m / min.
After peeling the temporary support, the exposure mask with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing upright with a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra high pressure mercury lamp. The distance between the surface and the photosensitive resin composition layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 70 mJ / cm 2 . The exposure was performed in a nitrogen atmosphere with a nitrogen purge. The oxygen partial pressure at this time was 0.02 atm.

引き続き炭酸Na系現像液(0.06モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム株式会社製)を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し濃色感光性樹脂組成物層を現像しパターニング画素を得た。
その後更に、該基板に対して該濃色感光性樹脂組成物層の側から超高圧水銀灯で500mJ/cm2の光でポスト露光後、220℃、15分熱処理し、濃色離画壁を得た。
この後、実施例1と同様にしてカラーフィルタを作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示す。
Subsequently, a sodium carbonate developer (0.06 mol / liter sodium bicarbonate, sodium carbonate of the same concentration, 1% sodium dibutylnaphthalene sulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer contained, trade name: T -CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.), shower development was performed at 29 ° C. for 30 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.15 MPa to develop the dark color photosensitive resin composition layer to obtain a patterned pixel.
Thereafter, post-exposure is performed on the substrate from the dark color photosensitive resin composition layer side with an ultra-high pressure mercury lamp with light of 500 mJ / cm 2 , followed by heat treatment at 220 ° C. for 15 minutes to obtain a dark color separation wall. It was.
Thereafter, a color filter was prepared in the same manner as in Example 1, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 1.

[実施例4]
(濃色感光性樹脂転写材料−2の作製)
実施例3において、仮支持体と感光性樹脂層の間に仮支持体から近い順に下記熱可塑性樹脂層と中間層(酸素遮断層)を設ける以外は、実施例3と同様にして行い濃色感光性樹脂転写材料−2を得た。
[Example 4]
(Preparation of dark photosensitive resin transfer material-2)
In Example 3, the same procedure as in Example 3 was performed except that the following thermoplastic resin layer and intermediate layer (oxygen barrier layer) were provided in the order closer to the temporary support between the temporary support and the photosensitive resin layer. Photosensitive resin transfer material-2 was obtained.

(熱可塑性樹脂層の形成)
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて下記熱可塑性樹脂層塗布液を乾燥膜厚が3μmになるよう塗布して100℃で3分間乾燥した。
<熱可塑性樹脂層用塗布液処方>
・メタノール 11.1部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 6.4部
・メチルエチルケトン 52.4部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=55/11.7/4.5/28.8、分子量=10万、Tg≒70℃) 5.83部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=63/37、分子量=1万、Tg≒100℃) 13.6部
・2,2−ビス[4−(メタクリロキシポリエトキシ)フェニル]プロパン(新中村化学工業(株)製) 9.1部
・界面活性剤1 0.54部
*界面活性剤1:メガファックF−780−F(大日本インキ化学工業(株)製)の組成は、
・C613CH2CH2OCOCH=CH2 : 40部と H(OCH(CH3)CH27OCOCH=CH2 : 55部と H(OCH2CH27OCOCH=CH2:5部との共重合体、分子量3万 30部
・メチルエチルケトン 70部
(Formation of thermoplastic resin layer)
The following thermoplastic resin layer coating solution was applied to a 75 μm thick polyethylene terephthalate film temporary support using a slit nozzle so that the dry film thickness was 3 μm and dried at 100 ° C. for 3 minutes.
<Coating liquid formulation for thermoplastic resin layer>
Methanol 11.1 parts Propylene glycol monomethyl ether acetate 6.4 parts Methyl ethyl ketone 52.4 parts Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 55) /11.7/4.5/28.8, molecular weight = 100,000, Tg≈70 ° C.) 5.83 parts styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 63/37, molecular weight = 10,000, Tg≈100 ° C.) 13.6 parts 2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.) 9.1 parts Surfactant 1 0.54 parts * Surfactant 1: Megafac F-780-F (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.)
· C 6 F 13 CH 2 CH 2 OCOCH = CH 2: 40 parts of H (OCH (CH 3) CH 2) 7 OCOCH = CH 2: 55 parts of H (OCH 2 CH 2) 7 OCOCH = CH 2: 5 Part copolymer, molecular weight 30,000 30 parts, methyl ethyl ketone 70 parts

(酸素遮断層の形成)
前述の熱可塑性樹脂層の上にスリット状ノズルを用いて下記酸素遮断層用塗布液を乾燥膜厚が1.6μmになるよう塗布して100℃で3分間乾燥した。
<酸素遮断層用塗布液処方>
・ポリビニルアルコール 32.2部
(PVA205(鹸化率=88%);(株)クラレ製)
・ポリビニルピロリドン 14.9部
(PVP、K−30;アイエスピー・ジャパン社製)
・メタノール 429部
・蒸留水 524部
(Formation of oxygen barrier layer)
The following oxygen barrier layer coating solution was applied onto the thermoplastic resin layer using a slit nozzle so that the dry film thickness was 1.6 μm and dried at 100 ° C. for 3 minutes.
<Prescription of coating solution for oxygen barrier layer>
Polyvinyl alcohol 32.2 parts (PVA205 (saponification rate = 88%); manufactured by Kuraray Co., Ltd.)
-14.9 parts of polyvinylpyrrolidone (PVP, K-30; manufactured by ASP Japan)
・ Methanol 429 parts ・ Distilled water 524 parts

(濃色離画壁の形成)
無アルカリガラス基板を、25℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより20秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液(N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン0.3%水溶液、商品名:KBM603、信越化学)をシャワーにより20秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で100℃2分加熱した。
(Formation of dark color separation wall)
The alkali-free glass substrate was washed with a rotating brush having nylon hair while spraying a glass detergent solution adjusted to 25 ° C. for 20 seconds by showering, and after washing with pure water shower, silane coupling solution (N-β (aminoethyl)) A 0.3% aqueous solution of γ-aminopropyltrimethoxysilane (trade name: KBM603, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds with a shower and washed with pure water. This substrate was heated at 100 ° C. for 2 minutes by a substrate preheating apparatus.

前記濃色感光性樹脂転写材料−2の保護フイルムを剥離後、ラミネータ(株式会社日立インダストリイズ製(LamicII型))を用い、前記100℃で2分間加熱した基板に、ゴムローラー温度130℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分でラミネートした。
仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機(日立電子エンジニアリング株式会社製)で、基板とマスク(画像パターンを有す石英露光マスク)を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該濃色感光性樹脂組成物層の間の距離を200μmに設定し、露光量70mJ/cm2でパターン露光した。
次に、トリエタノールアミン系現像液(2.5%のトリエタノールアミン含有、ノニオン性界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有、商品名:T−PD1、富士写真フイルム株式会社製)にて30℃50秒、フラットノズル圧力0.04MPaでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と酸素遮断層を除去した。
引き続き炭酸Na系現像液(0.06モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン性界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム株式会社製)を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.15MPaでシャワー現像し濃色感光性樹脂組成物層を現像しパターニング画素を得た。
After peeling off the protective film of the dark color photosensitive resin transfer material-2, a laminator (manufactured by Hitachi Industries, Ltd. (Lamic II type)) and a substrate heated at 100 ° C. for 2 minutes to a rubber roller temperature of 130 ° C. Lamination was performed at a linear pressure of 100 N / cm and a conveyance speed of 2.2 m / min.
After peeling the temporary support, the exposure mask with the substrate and mask (quartz exposure mask with image pattern) standing upright with a proximity type exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) having an ultra high pressure mercury lamp. The distance between the surface and the dark color photosensitive resin composition layer was set to 200 μm, and pattern exposure was performed at an exposure amount of 70 mJ / cm 2 .
Next, with a triethanolamine developer (2.5% triethanolamine-containing, nonionic surfactant-containing, polypropylene-based antifoamer-containing, trade name: T-PD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) Shower development was performed at 30 ° C. for 50 seconds and a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to remove the thermoplastic resin layer and the oxygen barrier layer.
Subsequently, a sodium carbonate-based developer (0.06 mol / liter sodium bicarbonate, sodium carbonate of the same concentration, 1% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer, trade name: T-CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.) was used for shower development at 29 ° C. for 30 seconds and a cone-type nozzle pressure of 0.15 MPa to develop the dark photosensitive resin composition layer to obtain a patterned pixel.

引き続き洗浄剤(燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「T−SD1(富士写真フイルム製)」を用い、33℃20秒、コーン型ノズル圧力0.02MPaでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行い、ブラック(K)の画像を得た。
その後更に、該基板に対して該濃色感光性樹脂組成物層の側から超高圧水銀灯で500mJ/cm2の光でポスト露光後、220℃、15分熱処理し、濃色離画壁を得た。
この後、実施例1と同様にカラーフィルタを作成し、実施例1と同様の評価を行った。結果を表1に示す。
Subsequently, using a detergent (containing phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer, trade name “T-SD1 (manufactured by Fuji Photo Film)” at 33 ° C. for 20 seconds, cone type nozzle pressure of 0. Residue removal was performed with a rotating brush having a shower and nylon hair at 02 MPa to obtain a black (K) image.
Thereafter, post-exposure is performed on the substrate from the dark color photosensitive resin composition layer side with an ultra-high pressure mercury lamp with light of 500 mJ / cm 2 , followed by heat treatment at 220 ° C. for 15 minutes to obtain a dark color separation wall. It was.
Thereafter, a color filter was prepared in the same manner as in Example 1, and the same evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 1.

[実施例5]
実施例1において、露光時に空気と窒素の混合気体によりパージして酸素分圧0.08気圧にすることと、現像条件を下記のように変更すること以外は、実施例1と同様に実施し、同様に評価した。結果を表1に示す。
純水をシャワーノズルにて噴霧して、該濃色感光性樹脂組成物層の表面を均一に湿らせた後、KOH系現像液(KOH、ノニオン性界面活性剤含有、商品名:CDK−1、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ製)にて23℃80秒、フラットノズル圧力0.10MPaでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて9.8MPaの圧力で噴射して残渣除去を行った。
[Example 5]
In Example 1, it was carried out in the same manner as Example 1 except that it was purged with a mixed gas of air and nitrogen at the time of exposure to make the oxygen partial pressure 0.08 atm, and the development conditions were changed as follows. , Evaluated in the same way. The results are shown in Table 1.
After spraying pure water with a shower nozzle to uniformly wet the surface of the dark color photosensitive resin composition layer, KOH developer (KOH, containing nonionic surfactant, trade name: CDK-1) , Manufactured by Fuji Film Electronics Materials Co., Ltd.) and subjected to shower development at 23 ° C. for 80 seconds and a flat nozzle pressure of 0.10 MPa to obtain a patterning image. Subsequently, ultrapure water was sprayed at a pressure of 9.8 MPa with an ultrahigh pressure washing nozzle to remove residues.

[実施例6]
実施例3において、露光時に空気と窒素の混合気体によりパージして酸素分圧0.08気圧にすることと、現像条件を下記のように変更すること以外は、実施例3と同様に実施し、同様に評価した。結果を表1に示す。
炭酸Na系現像液(0.06モル/リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、1%のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン性界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名:T−CD1、富士写真フイルム株式会社製)を用い、29℃30秒、コーン型ノズル圧力0.22MPaでシャワー現像し濃色感光性樹脂組成物層を現像しパターニングした。
[Example 6]
In Example 3, the same procedure as in Example 3 was performed except that the exposure was purged with a mixed gas of air and nitrogen to make the oxygen partial pressure 0.08 atm, and the development conditions were changed as follows. , Evaluated in the same way. The results are shown in Table 1.
Sodium carbonate developer (0.06 mol / liter sodium bicarbonate, sodium carbonate of the same concentration, 1% sodium dibutylnaphthalene sulfonate, anionic surfactant, antifoaming agent, stabilizer, trade name: T -CD1, manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd.), shower development was performed at 29 ° C. for 30 seconds and a cone type nozzle pressure of 0.22 MPa, and the dark photosensitive resin composition layer was developed and patterned.

[実施例7]
濃色離画壁の高さを2.7μmとした以外、は実施例4と同様に実施し、同様に評価した。結果を表1に示す。
[Example 7]
The evaluation was performed in the same manner as in Example 4 except that the height of the dark color separation wall was 2.7 μm. The results are shown in Table 1.

[実施例8]
濃色離画壁の高さを3.3μmとした以外は、実施例4と同様に実施し、同様に評価した。結果を表1に示す。
[Example 8]
The evaluation was performed in the same manner as in Example 4 except that the height of the dark color separation wall was changed to 3.3 μm. The results are shown in Table 1.

[実施例9]
濃色離画壁の高さを4.5μmとした以外は、実施例4と同様に実施し、同様に評価した。結果を表1に示す。
[Example 9]
The evaluation was performed in the same manner as in Example 4 except that the height of the dark color separation wall was 4.5 μm. The results are shown in Table 1.

[比較例1]
実施例1において、窒素パージを行わずに露光する以外は実施例1と同様に実施し、同様に評価した。結果を表1に示す。
[Comparative Example 1]
In Example 1, it implemented like Example 1 except having exposed without performing nitrogen purge, and evaluated similarly. The results are shown in Table 1.

Figure 2006301040
Figure 2006301040

上記表1から明らかな通り、b/a値が0.8未満である比較例1は、画素面状が不良となり、混色も認められたが、実施例1〜9のいずれにおいても、画素面状及び混色共に良好であった。   As is clear from Table 1 above, Comparative Example 1 having a b / a value of less than 0.8 was found to have a poor pixel surface shape and color mixing, but in any of Examples 1 to 9, the pixel surface Both the shape and color mixture were good.

[実施例10]
実施例4、7〜9で得られたカラーフィルタを用い、下記のようにして液晶表示装置4、7〜9を作成した。
[Example 10]
Using the color filters obtained in Examples 4 and 7 to 9, liquid crystal display devices 4 and 7 to 9 were prepared as follows.

(オーバーコート層形成)
得られたカラーフィルタを低圧水銀灯(有効波長254nm)UV洗浄装置で洗浄し残渣及び異物を除去してから、下記透明オーバーコート剤を塗布・ベークする。膜の厚さが1.5μmになるように前面塗布後、230℃で40分間ベークした。この時、透明オーバーコート層を形成する塗布液は、下記の化学式6のポリアミック酸と化学式7のエポキシ化合物を3:1の重量比で混合して使用した。
(Overcoat layer formation)
The obtained color filter is cleaned with a low-pressure mercury lamp (effective wavelength 254 nm) UV cleaning device to remove residues and foreign matters, and then the following transparent overcoat agent is applied and baked. After coating the front surface so that the thickness of the film was 1.5 μm, it was baked at 230 ° C. for 40 minutes. At this time, the coating liquid for forming the transparent overcoat layer was prepared by mixing a polyamic acid of the following chemical formula 6 and an epoxy compound of the chemical formula 7 in a weight ratio of 3: 1.

Figure 2006301040
Figure 2006301040

(ITOの形成)
前記オーバーコート層が形成されたカラーフィルタ上に、ITO(インジウム錫酸化物)をスパッタリングにより形成して、ITO透明電極基板を得た。
(Formation of ITO)
ITO (indium tin oxide) was formed on the color filter on which the overcoat layer was formed by sputtering to obtain an ITO transparent electrode substrate.

(スペーサの形成)
特開2004−240335号公報の[実施例1]に記載のスペーサ形成方法と同様の方法で、上記で作製したITO透明電極上にスペーサを形成した。
(Spacer formation)
A spacer was formed on the ITO transparent electrode prepared above by the same method as the spacer forming method described in [Example 1] of JP-A-2004-240335.

(液晶配向制御用突起の形成)
下記のポジ型感光性樹脂層用塗布液を用いて、前記スペーサを形成したITO透明電極上に液晶配向制御用突起を形成した。
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から100μmの距離となるようにプロキシミティ露光機(日立電子エンジニアリング株式会社製)を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー150mJ/cm2でプロキシミティ露光した。
続いて、2.38%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて33℃で30秒間基板に噴霧しながら現像した。こうして、感光性樹脂層の不要部(露光部)を現像除去することにより、カラーフィルタ側基板上に、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板4、7〜9を得た。
次いで、該液晶配向制御用突起が形成された液晶表示装置用基板を230℃下で30分ベークすることにより、液晶表示装置用基板上に硬化された液晶配向制御用突起を形成した。
(Formation of liquid crystal alignment control protrusions)
A liquid crystal alignment control protrusion was formed on the ITO transparent electrode on which the spacer was formed, using the following positive photosensitive resin layer coating solution.
However, the following methods were used for exposure, development, and baking.
A proximity exposure machine (manufactured by Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd.) is arranged so that the predetermined photomask is at a distance of 100 μm from the surface of the photosensitive resin layer, and the irradiation energy is 150 mJ / cm with an ultrahigh pressure mercury lamp through the photomask. Proximity exposure at 2 .
Subsequently, a 2.38% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution was developed by spraying it on a substrate at 33 ° C. for 30 seconds in a shower type developing device. In this way, by removing the unnecessary portion (exposed portion) of the photosensitive resin layer by developing and removing the liquid crystal, the liquid crystal alignment control protrusions made of the photosensitive resin layer patterned into a desired shape are formed on the color filter side substrate. Display device substrates 4 and 7 to 9 were obtained.
Next, the liquid crystal alignment control projection on which the liquid crystal alignment control protrusion was formed was baked at 230 ° C. for 30 minutes to form a cured liquid crystal alignment control protrusion on the liquid crystal display substrate.

<ポジ型感光性樹脂層用塗布液処方>
・ポジ型レジスト液(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製FH−2413F) 53.3部
・メチルエチルケトン 46.7部
・メガファックF−780F(大日本インキ化学工業(株)製) 0.04部
<Positive photosensitive resin layer coating solution formulation>
・ Positive type resist solution (FH-2413F manufactured by Fujifilm Electronics Materials Co., Ltd.) 53.3 parts ・ Methyl ethyl ketone 46.7 parts ・ Megafac F-780F (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) 0.04 parts

(液晶表示装置の作成)
上記で得られた液晶表示装置用基板4、7〜9を用いて、特開平11−242243号公報の第一実施例[0079]〜[0082]に記載の方法を用いて、液晶表示装置4、7〜9を作製した。
(Creation of liquid crystal display device)
Using the liquid crystal display device substrates 4 and 7 to 9 obtained above, the liquid crystal display device 4 using the method described in the first embodiment [0079] to [0082] of JP-A-11-242243. 7-9 were produced.

(評価)
液晶表示装置4、7〜9の画面は、いずれも混色が無く良好な画面であった。また、黒色表示の品位は、液晶表示装置4、7、8、9の順に黒色のしまりが良くなった。
(Evaluation)
The screens of the liquid crystal display devices 4 and 7 to 9 were all good colors with no color mixing. In addition, the black display quality improved in the order of the liquid crystal display devices 4, 7, 8, and 9.

本発明の濃色離画壁の断面形状を示す模式図の一例である。It is an example of the schematic diagram which shows the cross-sectional shape of the deep color separation wall of this invention. 本発明の濃色離画壁の断面形状を示す模式図の別の一例である。It is another example of the schematic diagram which shows the cross-sectional shape of the deep color separation wall of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、A2 基板と濃色離画壁の断面の交点
H 濃色離画壁の最も高さの高い点
G Hから基板に下ろした垂線の足
0 Hを通り基板表面に平行な直線
1 Pを通り基板表面に平行な直線を
P HとGをHP:PG=1:3に内分する点
1及びB22が濃色離画壁の断面と交わる点
a A1とA2の距離
b B1とB2の距離
Q 直線HG上にありHGをHP:PG=1:4に内分する点
2 Qを通り基板表面に平行な直線
3 Rにおける接線
R L2が濃色離画壁の断面と交わる点
S L3とL0の交点
h 濃色離画壁の高さ
d Sから濃色離画壁の断面までの距離
Crossing point H of the cross section of A 1 and A 2 substrate and dark color separation wall H A straight line parallel to the substrate surface passing through leg L 0 H of perpendicular line drawn from the highest point GH of dark color separation wall to substrate Points a 1 and B 2 L 2 that internally divide a straight line passing through L 1 P and parallel to the substrate surface into PH and PG = 1: 3 intersect with a cross section of the dark separation wall a A 1 Distance B between B 2 and A 2 distance B between B 1 and B 2 tangent R on straight line L 3 R passing through point L 2 Q which is on straight line HG and HG is internally divided into HP: PG = 1: 4 Point S 2 where L 2 intersects the cross section of the dark color separation wall h Intersection point of L L 3 and L 0 Distance from the height d S of the dark color separation wall to the cross section of the dark color separation wall

Claims (8)

基板上に形成される濃色離画壁の製造方法であって、該濃色離画壁が着色剤を含有する感光性樹脂組成物層を、貧酸素雰囲気下で露光し現像して、1.0μm以上の高さを有し、かつ、下記条件(1)を満たして形成されることを特徴とする濃色離画壁の製造方法。
(1)基板と濃色離画壁の断面の交点をA1及びA2とする。該濃色離画壁の最も高さの高い点をHとし、Hから基板に下ろした垂線の足をGとし、Hを通り基板表面に平行な直線をL0とする。HとGをHP:PG=1:3に内分する点をPとし、Pを通り基板表面に平行な直線をL2とし、L2が濃色離画壁の断面と交わる点をB1、B2とする。A1とA2の距離をa、B1とB2の距離をbとするとき、b/aの値が0.8以上である。
A method for producing a dark color separation wall formed on a substrate, wherein the dark color separation wall has a photosensitive resin composition layer containing a colorant exposed to light and developed in an oxygen-poor atmosphere. A method for producing a dark color separation wall, having a height of 0.0 μm or more and satisfying the following condition (1).
(1) Let the intersections of the cross-section of the substrate and the dark color separation wall be A 1 and A 2 . Let H be the highest point of the dark color separation wall, G be the leg of the perpendicular line from H to the substrate, and L 0 be a straight line passing through H and parallel to the substrate surface. A point that internally divides H and G into HP: PG = 1: 3 is defined as P, a straight line passing through P and parallel to the substrate surface is defined as L 2 , and a point where L 2 intersects the cross section of the dark color separation wall is represented by B 1. , and B 2. When the distance between A 1 and A 2 is a and the distance between B 1 and B 2 is b, the value of b / a is 0.8 or more.
前記b/aの値が0.85以上であることを特徴とする請求項1に記載の濃色離画壁の製造方法。 2. The method for producing a dark color separation wall according to claim 1, wherein the value of b / a is 0.85 or more. 前記濃色離画壁の光学濃度が2.5以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載の濃色離画壁の製造方法。 The method for producing a dark color separation wall according to claim 1 or 2, wherein the optical density of the dark color separation wall is 2.5 or more. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする濃色離画壁。 A dark color separation wall produced by the production method according to claim 1. 前記基板上に、請求項1〜3のいずれか1項に記載の濃色離画壁の製造方法により製造された濃色離画壁と、2色以上の色を有する、複数の画素からなる画素群とを有するカラーフィルタの製造方法であって、前記複数の画素を、前記濃色離画壁を形成した後、着色液体組成物を液滴付与することにより形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 A dark color separation wall produced by the method of producing a dark color separation wall according to any one of claims 1 to 3 and a plurality of pixels having two or more colors on the substrate. A method of manufacturing a color filter having a pixel group, wherein the plurality of pixels are formed by forming droplets of a colored liquid composition after forming the dark color separation wall. A method for manufacturing a filter. 前記複数の画素をインクジェット法により形成することを特徴とする請求項5に記載のカラーフィルタの製造方法。 The method for manufacturing a color filter according to claim 5, wherein the plurality of pixels are formed by an inkjet method. 請求項5又は6に記載の製造方法により製造されたことを特徴とするカラーフィルタ。 A color filter manufactured by the manufacturing method according to claim 5. 請求項7に記載のカラーフィルタを有することを特徴とする表示装置。 A display device comprising the color filter according to claim 7.
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