JP2006298751A - ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法 - Google Patents

ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】粒径が均一で相純度が高いナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法の提供。
【解決手段】θ相アルミナ粉末30から95重量%と、べーマイトをアルミナに対して5から70重量%含む混合粉末に、加熱温度、加熱時間、加熱速度、冷却条件を制御して、第1の加熱処理と第2の加熱処理を行なって、2段階の相変態を行うことにより、粒径が均一で相純度が高い、30nmから150nmの粒径のθ相アルミナ微粒子を製造する。
【選択図】図1

Description

本発明は、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法に関し、特に粒径が均一で、相純度が高いナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法に関する。
アルミナ(Al)は、多様な工業的用途において最も普及しているセラミック材料の一つであり、特にナノスケールアルミナ粉末は、例えば広表面、低焼結温度及び良好な靭性などといった多くの長所を有しているため、焼結モノリス、触媒担体、複合材料フィラー、塗料、更には化学的機械研磨溶液にも応用することができる。そのため、現代産業においてアルミナはすでに必要不可欠な材料となっている。
金属酸化物粉末を製造する従来技術には、例えば直接粉砕研磨法、固相反応法、熱分解法など、多くの方法がある。かかる方法の特徴は、粉末の粉砕及び研磨を行ってから、粉末を所定の粒径に篩い分けることにある。例えば、工業上広く利用されている固相反応法は、材料粉末をよく混合することに用いられ、材料粉末は熱処理して所望の粉末化合物となる。この粉末化合物を研磨して篩い分けると、所望の粒径を有する粉末が得られる。しかし、これらの処理は、例えば、粒径が小さくなるほど、研磨が困難で製造工程の汚染が酷くなるなどといった共通の問題を有する。そのため、高純度又はサブミクロンスケールよりも小さい粉末に関しては、例えば化学的方法や物理化学的方法などの最近の方法においては、研磨工程が減らされている。化学的方法では、化学的析出処理において結晶成長を制御することにより、所望の粒径を得ることができる。物理化学的方法では、物理化学的処理により所望の粒径を制御することができる。
工業用アルミナ粉末は、θ相アルミナを熱処理して相変態を行って得られたα相アルミナ粉末から主に構成される。ボーキサイト(鉱物学でボーキサイトとは、ダイアスポア(Diaspore:AlO(OH))、ギブサイト(Gibbsite:Al(OH))及びベーマイト(Boehmite:AlOOH)の混合物をいう)は、α相アルミナ粉末を生成する出発原料に用いられる。そして、その混合物を溶解し、アルミニウムを析出させて水酸化アルミニウム(Al(OH))結晶を得る。続いて、析出したAl(OH)結晶を焼成してアルミナ粗粒子粉末を生成する。そのアルミナ粗粒子粉末は、粉砕されて篩い分けられ、様々な等級の産業用アルミナ粉末が生成される。
α相アルミナは、主に、熱分解工程で約1000摂氏度(℃)から1200℃の焼成温度で水酸化アルミニウムを焼成することにより得ることができる。しかし、α相アルミナを得る前に、水酸化アルミニウムに対し、脱水及び一連の相変態を行わなければならない。約900℃よりも低い温度では、χ相、η相、γ相及びρ相が発生し、約900から約1150℃の間では、δ相、κ相及びθ相が発生する。上記の各転移相は、水酸化アルミニウム結晶の異性体により決定され、最終的にα相アルミナが生成される。これらのうち、θ相アルミナ粉末は、実質上、ベーマイトにより生成されるα相アルミナ粉末の前の転移相である。そのため、θ相アルミナ粉末の製造工程は、低温で実行される点を除いてα相アルミナ粉末と同じである。しかし、θ相アルミナ粉末が生成される温度では、多くのアルミナ転移相が付随して発生し、除去することが困難であり、より純粋なθ相アルミナ粉末や単相のθ相アルミナ粉末を得ることは複雑である。そのため、製造コストが増大し、θ相アルミナ粉末は工業上あまり応用されていない。
上記問題を解決するため、従来技術では様々な技術が提供されていた。例えば、特許文献1では、少なくとも一つの金属カチオン塩を含む水性連続相を親水性有機高分子分散相と混合して金属カチオン塩/高分子ゲルを生成し、ゲル内の水及び有機物を除去するのに十分な温度でゲルを熱処理し、残渣としてナノメートルの粒子サイズの粉末を残す工程を含む、ナノサイズ粉末を製造する方法が開示されている。
特許文献2では、前駆体金属化合物と非反応性希釈剤相とを機械的微粉砕処理に付し、これにより機械的活性化の過程を通じて、該希釈剤相中に均一に分散されている該金属化合物のナノサイズ微粒子形態の混合物の微細構造を小さくする工程を含む、超微粒粉末の製造方法が開示されている。この方法には、該希釈剤相中に均一に分散されている該金属化合物のナノサイズ微粒子の混合物を熱処理し、該金属化合物のナノサイズ微粒子を金属酸化物相へ転化する工程がさらに含まれている。またこの方法には、該希釈剤相を、該金属酸化物相のナノサイズ微粒子が超微粒粉末の形で後に残されるように除去する工程がさらに含まれている。
特許文献3では、金属化合物と適切な試薬との機械的活性化化学反応に基づく超微細粒子の製法が開示されている。機械的活性化中に、ナノ相物質のナノサイズ粒子と反応副生成物相との密接混合物から成る複合構造体が生成される。機械的活性化の後、副生成物相除去工程は、複合構造体を、副生成物相は溶解するが、固体ナノ相物質とは反応しない適切な溶媒に付することを含む。同発明の方法は、超微細金属粉体、ならびに超微細セラミック粉体の生成に使用できる。同方法の利点は、超微細粒子の粒径と粒径分布、及び固体ナノ相物質と反応副生成物相との間に生じた界面の性質に対する制御性に優れていることである。
特許文献4では、以下によりナノ相Cu−Al混合粉末を製造する方法が開示されている。(1)硝酸銅(Cu(NO3HO)及び硝酸アルミニウム(Al(NO9HO)を、最終目的組成(Cu−1wt%/Al)となるまで溶解した水性溶液を用いる遠心噴霧乾燥処理によって、前駆粉末を製造する。(2)加熱処理(脱塩処理)を850℃で30分間、空気雰囲気内で行い、前駆粉末内の水分及びNO基などの揮発性成分を除去すると同時に、対応する金属成分の酸化により、ナノCuO−Al複合粉末を合成する。(3)還元性雰囲気内において200℃で30分間、CuOの還元熱処理を行い、サイズが20nmよりも小さい最終ナノ相Cu−Al複合粉末を生成する。
特許文献5では、1種又は2種以上の金属イオンを含む単成分系又は多成分系の純粋相酸化物セラミックのナノ粒子を合成する単一工程処理が開示されている。この処理には、化学量論比で全ての必要な金属イオンを含む溶液を、それぞれの対応する水溶性塩を有機溶媒中か水中に溶解することにより調製すること、前駆物質を調製すること、系内の硝酸/アンモニア含量を調整すること、及びシステムを加熱することが含まれている。
特許文献6では、シリカなどの障壁形成材料をベーマイトゲルに注入し、次いでこれを乾燥、焼成及び研磨して粉末を生成することにより得られる、ナノサイズαアルミナ粉末が開示されている。
つまり上述の方法では、所望の生成物と異なる成分を、化学反応又は機械力により反応させて、分散性が良好なベーマイトアルミナなどの前駆物質とし、そして、該前駆物質を高温及び/又は高圧の状態で脱水及び相変態に付して様々な酸化アルミニウム粉末を生成する。しかし、上述の方法により得られた粉末は、粒径が不均一であり、δ相又はγ相などの相当量の他の転移相を依然含んでいる。そして、より純粋な、又は単一相のθ相アルミナ粉末を得ようとする場合、処理が非常に複雑となりコストも増大する。
θ相アルミナは、α相アルミナよりも低い温度で生成され、熱に対してα相アルミナよりも安定している。さらにθ相アルミナは、80m/gから150m/gの間のより大きな比表面積を有する。さらにまた、δ相又はγ相のアルミナ粉末よりも、高温における比表面積の減少は小さい。上記の長所から、θ相アルミナは、δ相及びγ相のアルミナ粉末よりも、将来の高温触媒材料の開発において有利に応用されるとみられる。そのため、粒径が不均一で相純度が低いなどの従来法における問題を解決する、高純度のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法が求められていた。
米国特許第5698483号明細書 米国特許第6503475号明細書 米国特許第6203768号明細書 米国特許第6521016号明細書 米国特許第6761866号明細書 米国特許第6048577号明細書
本発明の一側面は、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法であって、θ相アルミナ初期粉末と混合されたベーマイトの比率を制御し、次いで少なくとも一つの相変態を行い、粒径が均一で相純度が高いナノスケールθ相アルミナ微粒子を生成する前記方法を提供する。そのため、本方法により製造されるナノスケールθ相アルミナ微粒子は、粒径がより均一で相純度がより高い。これにより、本方法は、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造において、処理時間及びコストを節減し、クリーンな生産などの利益を提供する。
本発明の上記側面によれば、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法が提供される。先ず、θ相アルミナ初期粉末とベーマイトとをよく混合し、ベーマイトがアルミナ当量で5から70重量%である均一なアルミナ混合粉末を生成する。続いて、アルミナ混合粉末を第1の温度まで加熱した後、第1の温度に第1の期間維持し、アルミナ混合粉末に相変態を発生させ、結晶サイズが100ナノメートル(nm)よりも小さいα’相アルミナ微粒子を生成する。そして、α’相アルミナ微粒子を室温まで急冷した後に第2の温度まで加熱するか、第2の温度まで直接に急冷し、α’相アルミナ微粒子を第2の温度で熱処理して第2の期間維持することにより、別の逆変態を発生させてナノスケールθ相アルミナ微粒子を生成し、得られるナノスケールθ相アルミナ微粒子の粒径が30nmから150nmの間である(θ相アルミナの結晶サイズが100nmよりも小さい)ようにする。
第2の温度は、第1の温度よりも低いことが好ましい。第1の温度は、600℃から1200℃の間であってもよく、第2の温度は、500℃から900℃の間であってもよい。
得られるナノスケールθ相アルミナ微粒子の粒径は、30nmから50nmの間であることが好ましい。或いは、得られるナノスケールθ相アルミナ微粒子の粒径は、50nmから150nmの間である。
このナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法は、θ相アルミナ初期粉末に混合するベーマイトの比率を制御した後に、少なくとも一つの相変態を行うことにより、粒径が均一で相純度が高いナノスケールθ相アルミナ微粒子を生成する。従って、本方法により製造されるナノスケールθ相アルミナ微粒子は、粒径がより均一で相純度がより高い。そのため、本方法は、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造において、処理時間及びコストをより節減し、クリーンな生産などの利益を提供する。
本発明の上記の側面及びこれに伴う多くの利点は、以下の詳細な説明を添付の図面とともに参照することにより一層良好に理解され、より容易に評価できるようになる。
本発明は、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法であって、θ相アルミナ初期粉末と混合されたベーマイトの比率を制御した後に、少なくとも一つの相変態を行い、粒径が均一で相純度が高いナノスケールθ相アルミナ微粒子を生成する前記方法を提供する。以下の記載において、本発明のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法をより詳細かつ完全明確に説明する。
先ず、アルミナ混合粉末を出発原料として提供する。このアルミナ混合粉末は、θ相アルミナ粉末とベーマイトとを含み、アルミナ混合粉末におけるθ相アルミナ粉末の量は30から95重量%の間であり、アルミナ混合粉末におけるベーマイトのアルミナ当量は、5から70重量%の範囲である。続いて、アルミナ混合粉末をよく混合し、第1の温度まで加熱し、第1の期間維持(例えば、600℃から1200℃の間の第1の温度で1から10分間維持)して、アルミナ混合粉末に第1の相変態を発生させる。
第1の期間が過ぎると、アルミナ混合粉末を室温まで直ちに急冷してから第2の温度まで加熱するか、第2の温度まで直接に急冷する。しかし、不安定なα’相アルミナ粉末は、α相アルミナ微粒子への相変態が完全に行われていず、ここでα’相アルミナ微粒子は、結晶サイズlが100nmよりも小さく、粒径が30nmから150nmの間であるナノスケール結晶を示す。続いて、α’相アルミナ微粒子を第1の温度よりも低い第2の温度まで加熱して第2の期間維持し(例えば、500℃から900℃の間である第2の温度で1から10分間維持し)、第2の相変態を発生させる(例えば、α’相アルミナ微粒子に逆変態を発生させて、ナノスケールθ相アルミナ微粒子を生成する)。第2の相変態において、一つのθ相アルミナ結晶が、一つのα’相アルミナ結晶により相変態されるため、得られるナノスケールθ相アルミナ微粒子は、例えば30から150nmなど、変化の少ない粒径となる。一実施態様では、得られるナノスケールθ相アルミナ微粒子は、α’相アルミナ単結晶により直接に相変態され、それらの粒径は30nmから50nmの間である。別の実施態様では、得られるナノスケールθ相アルミナ微粒子は、50nmから150nmの間である。
本発明の一実施態様では、アルミナ混合粉末の加熱工程及びα’相アルミナ微粒子の加熱工程は、いずれも毎分50℃よりも高い加熱速度で行い、α’相アルミナ混合粉末の急冷工程は、毎分50℃よりも高い冷却速度で行う。
ここで注意しなければならないことは、本発明の特徴が、θ相アルミナ初期粉末と混合されたベーマイトの比率を制御してから、少なくとも一つの相変態を行い、粒径が均一で相純度が高いナノスケールθ相アルミナ微粒子を生成することにあるという点である。ナノスケールθ相アルミナ微粒子の相純度は、約90重量%よりも大きく、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の粒径は、30nmから50nmの間及び/又は別の50nmから150nmの間である。これにより、従来の化学処理において発生していた不均一な粒径、低い相純度、高いコスト、そして化学廃液などの問題点が解決される。さらに、ナノスケールθ相アルミナ微粒子は、80m/gから150m/gの間の比表面積を有し、δ相又はγ相のアルミナ微粒子よりも高温下での比表面積の低減が小さい。したがって、ナノスケールθ相アルミナ微粒子は、δ相又はγ相のアルミナ微粒子よりも、将来的に高温触媒材料へ効果的に応用することができる。
以下、図1Aから図7と併せ、好適な実施態様により本発明のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法をより詳細に説明する。しかし、これらの実施態様は、特許請求の範囲をなんら限定するものではなく、単に様々な応用を示すにすぎない。
(比較例)
先ず、未処理の工業用θ相アルミナ粉末の粒径及び相同定を、それぞれ透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscopy:TEM)及びX線回折(X-ray diffraction:XRD)システムで評価した。本発明の実施例において、XRDシステムは、走査速度が毎分4°であり、走査角度(2θ°)は20°から80°の間である。
図1A及び図1Bを参照する。図1A及び図1Bは、粒径が約15nmから100nmの間である未処理の工業用θ相アルミナ粉末のTEM写真を示す。図2を参照する。図2は、未処理の工業用θ相アルミナ粉末のXRDパターンを示し、その縦軸はX線の強度(counts per second:cps)を示し、その横軸は走査角度(2θ°)を示す。図2の相同定から分かるように、未処理の工業用θ相アルミナ粉末は、θ相及びδ相のアルミナ粉末から実質的に構成されていた。
上述の評価を行った後、工業用θ相アルミナ粉末を出発原料に用い、毎分50℃よりも高い加熱速度で1100℃まで加熱した後、1100℃に2分間維持してから、直ちに室温まで急冷した。続いて、得られたアルミナ粉末を毎分50℃よりも高い加熱速度で500℃まで加熱した後、500℃に2分間維持し、得られたアルミナ粉末の相同定をXRDシステムで直ちに分析した。図3を参照する。図3は、処理された工業用θ相アルミナ粉末のXRDパターンを示し、その縦軸はX線の強度(cps)を示し、その横軸は走査角度(2θ°)を示す。図3の相同定から分かるように、θ相及びδ相アルミナの比率は変化していても、工業用θ相アルミナ粉末を唯一の出発原料として用いる熱処理で得られた生成物は、依然としてθ相及びδ相のアルミナ粉末から実質的に構成されていた。
(実施例1)
先ず、約95重量%の工業用θ相アルミナ粉末と約5重量%のベーマイトとの混合物を出発材料に用い、毎分50℃よりも高い加熱速度で1000℃まで加熱した後、1000℃に3分間維持してから、直ちに室温まで急冷した。続いて、得られたアルミナ微粒子を、毎分50℃よりも高い加熱速度で800℃まで加熱した後、800℃に2分間維持してナノスケールθ相アルミナ微粒子を得た。そして、比較例と同じTEM及びXRDシステムを用い、得られたナノスケールθ相アルミナ微粒子の粒径及び相同定を分析した。
図4A及び図4Bを参照する。図4A及び図4Bは、本発明の実施例1により得られたナノスケールθ相アルミナ微粒子のTEMの写真を示し、図4Aは、単一のθ相アルミナ結晶の明視野画像を示し、図4Bは、単一のθ相アルミナ結晶の暗視野画像を示す。図4A及び図4Bから分かるように、実施例1のナノスケールθ相アルミナ微粒子は、30nmから50nmの間の均一な粒径を有した。さらに図5を参照する。図5は、本発明の実施例1によるナノスケールθ相アルミナ微粒子のXRDパターンを示す。なお図5の縦軸はX線の強度(cps)を示し、その横軸は走査角度(2θ°)を示す。図5の相同定から分かるように、実施例1のナノスケールθ相アルミナ微粒子は、多量のθ相アルミナ粉末、少量のα相アルミナ粉末及び微量のδ相アルミナ粉末が混合されたものから実質的に構成されていた。
(実施例2)
先ず、約44重量%の工業用θ相アルミナ粉末と約56重量%のベーマイトとの混合物を出発材料に用い、毎分50℃よりも高い加熱速度で1200℃まで加熱した後、1200℃に4分間維持してから、直ちに室温まで急冷した。続いて、得られたアルミナ微粒子を、毎分50℃よりも高い加熱速度で700℃まで加熱した後、700℃に3分間維持してナノスケールθ相アルミナ微粒子を得た。
続いて、比較例と同じTEM及びXRDシステムを用い、得られたナノスケールθ相アルミナ微粒子の粒径及び相同定を分析した。図6A及び図6Bを参照する。図6A及び図6Bは、本発明の実施例2により得られたナノスケールθ相アルミナ微粒子のTEMの写真を示す。図6A及び図6Bから分かるように、実施例2のナノスケールθ相アルミナ微粒子は、50nmから150nmの間の均一な粒径を有した。さらに図7を参照する。図7は、本発明の実施例2によるナノスケールθ相アルミナ微粒子のXRDパターンを示す。図7の縦軸はX線の強度(cps)を示し、その横軸は走査角度(2θ°)を示す。図7の相同定から分かるように、実施例2のナノスケールθ相アルミナ微粒子は、多量のθ相アルミナ粉末、微量のα相及びδ相のアルミナ粉末が混合されたものから構成されていた。
(実施例3)
先ず、約44重量%の工業用θ相アルミナ粉末と約56重量%のベーマイトとの混合物を出発材料に用い、毎分10℃の加熱速度で1150℃まで加熱した後、1150℃に10分間維持してから直ちに700℃まで急冷し、700℃に4分間維持してナノスケールθ相アルミナ微粒子を得た。
続いて、比較例と同じTEM及びXRDシステムを用い、得られたナノスケールθ相アルミナ微粒子の粒径及び相同定を分析した。実施例3のナノスケールθ相アルミナ微粒子は、50nmから150nmの間の均一な粒径を有した。実施例3のナノスケールθ相アルミナ微粒子は、多量のθ相アルミナ粉末に微量のα相及びδ相のアルミナ粉末が混合されたものから実質的に構成されていた。
(実施例4)
先ず、約40重量%の工業用θ相アルミナ粉末と約60重量%のベーマイトとの混合物を出発材料に用い、毎分20℃の加熱速度で1150℃まで加熱し、1150℃に10分間維持した後に直ちに800℃まで急冷し、800℃に4分間維持してナノスケールθ相アルミナ微粒子を得た。
続いて、比較例と同じTEM及びXRDシステムを用い、得られたナノスケールθ相アルミナ微粒子の粒径及び相同定を分析した。実施例4のナノスケールθ相アルミナ微粒子は、50nmから150nmの間の均一な粒径を有した。実施例4のナノスケールθ相アルミナ微粒子は、多量のθ相アルミナ粉末に微量のα相及びδ相のアルミナ粉末が混合されたものから実質的に構成されていた。
要するに、本発明のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法には、θ相アルミナ初期粉末へ添加するベーマイトの量と相変態中の温度とを制御することにより、特定の粒径を有するナノスケールθ相アルミナ微粒子を生成することができるという特徴がある。したがって、本方法は、従来の化学処理において発生していた不均一な粒径、低い相純度、高いコスト、そして化学廃液などの問題点を克服することができる上、粒径が均一で相純度が高いナノスケールθアルミナ微粒子を製造することもできる。これらは、従来の処理に対する、本発明のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法の長所である。
上述の好適な実施形態から分かるように、θ相アルミナ初期粉末に混合されるベーマイトの比率を制御した後、少なくとも一つの相変態を行う、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法が有する長所の一つは、粒径が均一で相純度が高いナノスケールθ相アルミナ微粒子を生成できることである。従って、本発明の方法により製造されるナノスケールθ相アルミナ微粒子は、粒径がより均一で相純度がより高い。そのため、本方法は、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造において、処理時間及びコストを節減し、クリーンな生産などの利益を提供する。
本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、当業者が理解するとおり、これらは決して本発明を限定するものではなく、特許請求の範囲に記載された主旨と範囲に含まれる各種の変更や修正をカバーするものである。従って本発明の保護の範囲は、これら全ての変更や修正を包含する最も広い解釈によるものでなければならない。
未処理の工業用θ相アルミナ粉末のTEM画像を示した図である。 未処理の工業用θ相アルミナ粉末のXRDパターンを示した図である。 処理された工業用θ相アルミナ粉末のXRDパターンを示した図である。 本発明の実施例1において得られたナノスケールθ相アルミナ微粒子のTEM画像を示した図である。 本発明の実施例1におけるナノスケールθ相アルミナ微粒子のXRDパターンを示した図である。 本発明の実施例2において得られたナノスケールθ相アルミナ微粒子のTEM画像を示した図である。 本発明の実施例2におけるナノスケールθ相アルミナ微粒子のXRDパターンを示した図である。

Claims (10)

  1. θ相アルミナ粉末とベーマイトとを含むアルミナ混合粉末であって、該アルミナ混合粉末における前記θ相アルミナ粉末の含有量が30から95重量%の間であり、該アルミナ混合粉末における前記ベーマイトのアルミナ当量が5から70重量%の間であるものを提供する工程と、
    前記アルミナ混合粉末を第1の温度まで加熱した後、前記第1の温度に第1の期間維持し、前記アルミナ混合粉末に第1の相変態を発生させてα’相アルミナ微粒子を生成する工程と、
    前記アルミナ混合粉末を急冷し、第2の温度に第2の期間維持して、前記α’相アルミナ微粒子に少なくとも一つの第2の相変態を発生させ、粒径が30nmから150nmの間のナノスケールθ相アルミナ微粒子を生成する工程とを含む、ナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
  2. アルミナ混合粉末を加熱する工程を、毎分50℃よりも高い加熱速度で行うことを特徴とする、請求項1に記載のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
  3. 第1の温度が、600℃から1200℃の間であることを特徴とする、請求項1に記載のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
  4. 第1の期間が、1分間から10分間であることを特徴とする、請求項1に記載のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
  5. アルミナ混合粉末を急冷する工程を、毎分50℃よりも高い冷却速度で行うことを特徴とする、請求項1に記載のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
  6. α’相アルミナ微粒子を加熱する工程を、毎分50℃よりも高い加熱速度で行うことを特徴とする、請求項1に記載のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
  7. 第2の温度が、500℃から900℃の間であることを特徴とする、請求項1に記載のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
  8. 第2の期間が、1分間から10分間であることを特徴とする、請求項1に記載のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
  9. ナノスケールθ相アルミナ微粒子の直径が、30nmから50nmの間であることを特徴とする、請求項1に記載のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
  10. ナノスケールθ相アルミナ微粒子の直径が、50nmから150nmの間であることを特徴とする、請求項1に記載のナノスケールθ相アルミナ微粒子の製造方法。
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