JP2006294710A - 傾き補正方法、ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワーク上で電極部とリードフレームをワイヤで電気的に接続する際に適用するに好適な傾き補正方法、ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置の提供。
【解決手段】コントローラー11は供給された位置補正についての情報に基づき、ダイスの被ボンディング部がボンディングツール13の直下に位置するようにXYθステージ8を移動させる。また供給された傾き補正についての情報に基づき、ボンディングツール13のフェース14とダイスの被ボンディング面とが平行になるよう傾き補正ステージ9を駆動させボンディングし、同様にXYθステージ8、傾き補正ステージ9を駆動させボンディングツール13のフェース14とリードフレームの被ボンディング部の被ボンディング面とが平行になるように傾き補正を行う。
【選択図】図1
【解決手段】コントローラー11は供給された位置補正についての情報に基づき、ダイスの被ボンディング部がボンディングツール13の直下に位置するようにXYθステージ8を移動させる。また供給された傾き補正についての情報に基づき、ボンディングツール13のフェース14とダイスの被ボンディング面とが平行になるよう傾き補正ステージ9を駆動させボンディングし、同様にXYθステージ8、傾き補正ステージ9を駆動させボンディングツール13のフェース14とリードフレームの被ボンディング部の被ボンディング面とが平行になるように傾き補正を行う。
【選択図】図1
Description
本発明は、ワーク上で電極部とリードフレームをワイヤで電気的に接続する際に適用するに好適な傾き補正方法、ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置等に関するものである。
従来のワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置においては、被ボンディング面が傾いている場合、傾きの度合いによっては、ボンディングが不可能である。
そこで、ワイヤボンディングする際、リードフレームの先端面の傾きを検出し、検出結果に基づいてリードフレームの先端面とボンディングツールのフェースとが平行になるように、ボンディングツールの補正を行うワイヤボンディング方法が提供されている。(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−67810号公報
そこで、ワイヤボンディングする際、リードフレームの先端面の傾きを検出し、検出結果に基づいてリードフレームの先端面とボンディングツールのフェースとが平行になるように、ボンディングツールの補正を行うワイヤボンディング方法が提供されている。(例えば、特許文献1参照)。
しかし、これでは次のような不都合があった。
上記技術においては、一方の被ボンディング面(リードの先端面)の傾きを検出するのみであるため、他方(電極部)の被ボンディング面が傾いている場合には正確にボンディングすることができないという問題があった。
本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたものであり、その目的は、上記問題点を解決できる技術を提供する点にある。
上記技術においては、一方の被ボンディング面(リードの先端面)の傾きを検出するのみであるため、他方(電極部)の被ボンディング面が傾いている場合には正確にボンディングすることができないという問題があった。
本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたものであり、その目的は、上記問題点を解決できる技術を提供する点にある。
本発明は上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
請求項1記載の発明の要旨は、電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出工程と、
リードフレームの被ボンディング面の前記基準面に対する傾きを検出するリード検出工程と、
前記各検出工程にて検出された前記各傾きに基づきワークの傾きを補正する補正工程とを備えたことを特徴とする傾き補正方法に存する。
請求項2記載の発明の要旨は、前記各検出工程のうち少なくとも1つは、被ボンディング部の周辺の複数箇所の位置を検出することにより前記傾きを測定することを特徴とする請求項1に記載の傾き補正方法に存する。
請求項3記載の発明の要旨は、前記基準面は、ボンディングツールのフェースであることを特徴とする請求項1又は2に記載の傾き補正方法に存する。
請求項4記載の発明の要旨は、請求項1乃至3のいずれかに記載の傾き補正方法を備えたことを特徴とする画像処理による自動認識方法に存する。
請求項5記載の発明の要旨は、電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出工程と、
リードフレームの被ボンディング面の前記基準面に対する傾きを検出するリード検出工程とを備え、
前記電極部をボンディングする際に、前記電極部の被ボンディング面とボンディングツールのフェースとが平行になるようにワークを傾斜させ、
前記リードフレームをボンディングする際に、前記リードフレームの被ボンディング面と前記ボンディングツールのフェースとが平行になるように前記ワークを傾斜させる補正工程を含むことを特徴とするワイヤボンディング方法に存する。
請求項6記載の発明の要旨は、前記電極部検出工程及び/又は前記リード検出工程は、被ボンディング部の周辺の複数箇所の位置を検出することにより前記傾きを測定することを特徴とする請求項5に記載のワイヤボンディング方法に存する。
請求項7記載の発明の要旨は、前記基準面は、ボンディングツールのフェースであることを特徴とする請求項5又は6に記載のワイヤボンディング方法に存する。
請求項8記載の発明の要旨は、電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出手段と、
リードフレームの被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出するリード検出手段と、
前記各検出手段にて検出された傾きに基づきワークの傾きを補正する補正手段とを備えたことを特徴とするワイヤボンディング装置に存する。
請求項9記載の発明の要旨は、電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出手段と、
リードフレームの被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出するリード検出手段と、
前記各検出手段にて検出された傾きに基づきワークの傾きを補正する補正手段とを備えたことを特徴とする画像処理による自動認識装置に存する。
請求項10記載の発明の要旨は、請求項4乃至6のいずれかに記載のワイヤボンディング方法を用いて製造された半導体装置に存する。
請求項1記載の発明の要旨は、電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出工程と、
リードフレームの被ボンディング面の前記基準面に対する傾きを検出するリード検出工程と、
前記各検出工程にて検出された前記各傾きに基づきワークの傾きを補正する補正工程とを備えたことを特徴とする傾き補正方法に存する。
請求項2記載の発明の要旨は、前記各検出工程のうち少なくとも1つは、被ボンディング部の周辺の複数箇所の位置を検出することにより前記傾きを測定することを特徴とする請求項1に記載の傾き補正方法に存する。
請求項3記載の発明の要旨は、前記基準面は、ボンディングツールのフェースであることを特徴とする請求項1又は2に記載の傾き補正方法に存する。
請求項4記載の発明の要旨は、請求項1乃至3のいずれかに記載の傾き補正方法を備えたことを特徴とする画像処理による自動認識方法に存する。
請求項5記載の発明の要旨は、電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出工程と、
リードフレームの被ボンディング面の前記基準面に対する傾きを検出するリード検出工程とを備え、
前記電極部をボンディングする際に、前記電極部の被ボンディング面とボンディングツールのフェースとが平行になるようにワークを傾斜させ、
前記リードフレームをボンディングする際に、前記リードフレームの被ボンディング面と前記ボンディングツールのフェースとが平行になるように前記ワークを傾斜させる補正工程を含むことを特徴とするワイヤボンディング方法に存する。
請求項6記載の発明の要旨は、前記電極部検出工程及び/又は前記リード検出工程は、被ボンディング部の周辺の複数箇所の位置を検出することにより前記傾きを測定することを特徴とする請求項5に記載のワイヤボンディング方法に存する。
請求項7記載の発明の要旨は、前記基準面は、ボンディングツールのフェースであることを特徴とする請求項5又は6に記載のワイヤボンディング方法に存する。
請求項8記載の発明の要旨は、電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出手段と、
リードフレームの被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出するリード検出手段と、
前記各検出手段にて検出された傾きに基づきワークの傾きを補正する補正手段とを備えたことを特徴とするワイヤボンディング装置に存する。
請求項9記載の発明の要旨は、電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出手段と、
リードフレームの被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出するリード検出手段と、
前記各検出手段にて検出された傾きに基づきワークの傾きを補正する補正手段とを備えたことを特徴とする画像処理による自動認識装置に存する。
請求項10記載の発明の要旨は、請求項4乃至6のいずれかに記載のワイヤボンディング方法を用いて製造された半導体装置に存する。
本発明によれば、電極部及びリードフレームの両方の被ボンディング面の傾きを検出し、両方の傾きに基づきワークを制御するため、電極部及びリードフレームの両方が傾いている場合にも正確にボンディングすることができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
本実施形態にかかるボンディング装置は、図1に示されるように、変位計5と、画像処理を行う画像処理装置6と、変位演算処理装置7と、XYθステージ8と、傾き補正ステージ9、ワーク1を支持する載物台10と、コントローラー11と、ボンディングアーム12と、ボンディングツール13とを備える。
本実施形態にかかるボンディング装置は、図1に示されるように、変位計5と、画像処理を行う画像処理装置6と、変位演算処理装置7と、XYθステージ8と、傾き補正ステージ9、ワーク1を支持する載物台10と、コントローラー11と、ボンディングアーム12と、ボンディングツール13とを備える。
ワーク1は、載物台10に設置されており、載物台10の移動及び傾斜に伴って、移動及び傾斜する。ワーク1の上面には、リードフレームやダイス等の回路部品が搭載されている。以下、このうち図2に示される1つのダイス2の電極3及びリードフレーム4の一部を被ボンディング部として説明する。
画像処理装置6は、ワーク1上に搭載されたダイス2やリードフレーム4等の被ボンディング部の画像を取得し、画像認識処理を行い、画像認識処理にて生成した情報を変位演算処理装置7に送信する。
変位計5は、例えばレーザー変位系や白色変位計5等であり、ダイス2及びリードフレーム4等の、例えば被ボンディング部の中心から100μm程度の範囲での周辺複数箇所における高さを測定し、測定した情報を変位演算処理装置7に送信する。
変位計5は、例えばレーザー変位系や白色変位計5等であり、ダイス2及びリードフレーム4等の、例えば被ボンディング部の中心から100μm程度の範囲での周辺複数箇所における高さを測定し、測定した情報を変位演算処理装置7に送信する。
変位演算処理装置7は、画像処理装置6及び変位計5からの画像情報や高さ(位置)情報を基に、ボンディングツール13のフェース14に対する被ボンディング面の傾きを計算する等の演算処理を行い、被ボンディング面の傾きや位置についての情報を生成する。また、被ボンディング面の傾きや位置についての情報に基づき、演算処理を行い、ボンディングツール13のフェース14と被ボンディング面とが平行になるようにXYθステージ8や傾き補正ステージ9を駆動させるための駆動信号を生成し、生成した駆動信号をコントローラに送信する。
コントローラー11は、変位演算処理装置7にて生成された駆動信号に応じて傾き補正ステージ9を駆動する。また、コントローラー11は、変位演算処理装置7にて生成された駆動信号や、装置に予め登録されたボンディング位置座標に応じてXYθステージ8を駆動する。
XYθステージ8は、コントローラー11により制御され、前後左右方向に移動及びθ方向に回転する。また、XYθステージ8は、前後、左右方向の移動及び回転に伴い、その上面に取り付けられた傾き補正ステージ9を移動させる。
傾き補正ステージ9は、XYθステージ8の上方に取り付けられXYθステージ8の移動に伴い移動及び回転する。また、コントローラー11に制御されて傾斜する。また、傾き補正ステージ9は、移動、回転及び傾斜に伴い、その上面に取り付けられた載物台10移動及び傾斜させる。
載物台10は、傾き補正ステージ9の上方に取り付けられ、傾き補正ステージ9の移動及び傾斜に伴い移動、回転及び傾斜する。また、載物台10は、その上に備えられたワーク1を移動及び傾斜させる。
ボンディングアーム12は、細長い棒状を呈し、上記XYθステージ8、傾き補正ステージ9、載物台10及びワーク1の上方において水平に延びて位置している。ボンディングアーム12はコントローラー11に制御されて上下方向において可動に構成されている。また、先端においてボンディングツール13を支持している。
ボンディングツール13は、ボンディングアーム12の先端において鉛直に延び、ボンディングアーム12の上下動に伴って上下に移動する。ボンディングツール13は略筒状を成し、その内部にはワイヤ15が挿通されている。ボンディングツール13の上方にはクランプ16が設けられている。
クランプ16は、2つの挟部材を備えており、コントローラに制御されて2つの挟部材を開閉することにより、ボンディングツール13の上方のワイヤ15を挟持し、または開放する。
クランプ16は、2つの挟部材を備えており、コントローラに制御されて2つの挟部材を開閉することにより、ボンディングツール13の上方のワイヤ15を挟持し、または開放する。
次に本実施の形態にかかるボンディング装置を用いたワイヤボンディング方法について説明する。ここでは、ダイス2とリードフレーム4をワイヤ15によって電気的に接続する場合について説明する。
まず、ボンディング動作の前に行われるボンディング位置補正及び傾き補正についての情報生成動作について説明する。
図2に示すように、コントローラー11は、装置に予め登録されたボンディング位置座標に応じて、ダイス2の電極3の被ボンディング部が画像処理装置6及び変位計5の直下に位置するように、XYθステージ8を移動させる。このとき、XYθステージ8の移動及び回転に伴い、上面に設置された傾き補正ステージ9及びその上面に設置されたワーク1が移動及び回転し、ワーク1に搭載されたダイス2の被ボンディング部が画像処理装置6及び変位計5の直下に配される。その後変位計5によりダイス2の被ボンディング部の周囲3カ所の高さ測定が行われるとともに、画像処理装置6によりダイス2の被ボンディング部周辺の画像認識処理が行われる。
まず、ボンディング動作の前に行われるボンディング位置補正及び傾き補正についての情報生成動作について説明する。
図2に示すように、コントローラー11は、装置に予め登録されたボンディング位置座標に応じて、ダイス2の電極3の被ボンディング部が画像処理装置6及び変位計5の直下に位置するように、XYθステージ8を移動させる。このとき、XYθステージ8の移動及び回転に伴い、上面に設置された傾き補正ステージ9及びその上面に設置されたワーク1が移動及び回転し、ワーク1に搭載されたダイス2の被ボンディング部が画像処理装置6及び変位計5の直下に配される。その後変位計5によりダイス2の被ボンディング部の周囲3カ所の高さ測定が行われるとともに、画像処理装置6によりダイス2の被ボンディング部周辺の画像認識処理が行われる。
ついで、図3に示すように、コントローラは装置に予め登録された被ボンディング位置座標に応じて、リードフレーム4の被ボンディング部が画像処理装置6及び変位計5の直下に位置するようにXYθステージ8を移動させる。リードフレーム4の被ボンディング部が画像処理装置6及び変位計5の直下に配されると、変位計5によりリードフレーム4の被ボンディング部の周辺3カ所の高さ測定が行われるとともに、画像処理装置6によりリードフレーム4の被ボンディング部の周辺の画像認識処理が行われる。
以上により認識された画像は、画像処理装置6において処理され、各被ボンディング部についての画像情報として変位演算処理装置7に供給される。また、測定された高さ情報も同様に変位演算処理装置7に供給される。ここで、変位演算処理装置7は、取得した画像情報、高さ情報及び装置に予め登録された被ボンディング位置座標等の情報に基づき演算処理を行い、位置補正及び傾き補正についての情報を生成する。生成された位置補正及び傾き補正についての情報は、コントローラに供給される。
以上により認識された画像は、画像処理装置6において処理され、各被ボンディング部についての画像情報として変位演算処理装置7に供給される。また、測定された高さ情報も同様に変位演算処理装置7に供給される。ここで、変位演算処理装置7は、取得した画像情報、高さ情報及び装置に予め登録された被ボンディング位置座標等の情報に基づき演算処理を行い、位置補正及び傾き補正についての情報を生成する。生成された位置補正及び傾き補正についての情報は、コントローラに供給される。
次に、ボンディング動作について図に従って説明する。
コントローラー11は供給された位置補正についての情報に基づき、ダイス2の被ボンディング部がボンディングツール13の直下に位置するようにXYθステージ8を移動させる(図4)。またコントローラー11は、供給された傾き補正についての情報に基づき、ボンディングツール13のフェース14とダイス2の被ボンディング部の被ボンディング面とが平行になるように傾き補正ステージ9を駆動させる。
ついで図5に示すように、ボンディングが行われる。ここでのボンディングはボールボンディングである。まず、コントローラー11により、ボンディングアーム12が下方向に移動する。これに伴いボンディングツール13が下降し、クランプ16によって挟持されているワイヤ15の先端にボールを形成し、そのボールをボンディング部であるダイス2の被ボンディング部にボンディングする。このとき、クランプ16は閉じており、ワイヤ15を挟持している。
コントローラー11は供給された位置補正についての情報に基づき、ダイス2の被ボンディング部がボンディングツール13の直下に位置するようにXYθステージ8を移動させる(図4)。またコントローラー11は、供給された傾き補正についての情報に基づき、ボンディングツール13のフェース14とダイス2の被ボンディング部の被ボンディング面とが平行になるように傾き補正ステージ9を駆動させる。
ついで図5に示すように、ボンディングが行われる。ここでのボンディングはボールボンディングである。まず、コントローラー11により、ボンディングアーム12が下方向に移動する。これに伴いボンディングツール13が下降し、クランプ16によって挟持されているワイヤ15の先端にボールを形成し、そのボールをボンディング部であるダイス2の被ボンディング部にボンディングする。このとき、クランプ16は閉じており、ワイヤ15を挟持している。
図6に示すように、ダイス2の被ボンディング部へのボンディング終了後、クランプ16を開き、ボンディングをワイヤ15を開放し、リードフレーム4の被ボンディング部がボンディングツール13の直下に位置するようにXYθステージ8を移動させる。また、図7に示すように、XYθステージ8の移動、回転とともに、傾き補正ステージ9を駆動させることによりボンディングツール13のフェース14とリードフレーム4の被ボンディング部の被ボンディング面とが平行になるように傾き補正を行う。このとき、クランプ16が開きワイヤ15が開放されているため、ワイヤ15は、ワーク1が移動し、ダイス2の被ボンディング部がボンディングツール13から離れるにしたがって、下方向に導出され、供給される。その後、図8に示すように、ワイヤ15をリードフレーム4の被ボンディング部に押し付け、超音波振動を印可し、ワイヤ15をリードフレーム4の被ボンディング部に接着する。ボンディング終了後クランプ16が閉じ、ボンディングアーム12が上昇することでワイヤ15カットされる(図9)。
以上によりダイス2の被ボンディング部である電極3とリードフレーム4とが、ワイヤ15により電気的に接続される。
以上によりダイス2の被ボンディング部である電極3とリードフレーム4とが、ワイヤ15により電気的に接続される。
上記した本実施の形態に係るワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置は、以下に掲げる効果を奏する。
ボンディングツール13のフェース14と被ボンディング面が平行になることで安定し、且つ信頼性の高いボンディングが得られる。
また、被ボンディング面の傾きが補正されることで、画像処理の精度も高まり、認識エラーの発生も回避可能となる。
すべての電極部を傾き補正の対象としたことにより、従来技術のようにリードに限定されることなく、リード以外の回路部品の電極にも適用できる。したがって、搭載部品に限定されず、あらゆるパッケージに対応することができる。
また、ワーク1の傾きを補正する構成により、特別なボンディングツール13が不要であり、既存のボンディングツール13を使用することができる。
ボンディングツール13のフェース14と被ボンディング面が平行になることで安定し、且つ信頼性の高いボンディングが得られる。
また、被ボンディング面の傾きが補正されることで、画像処理の精度も高まり、認識エラーの発生も回避可能となる。
すべての電極部を傾き補正の対象としたことにより、従来技術のようにリードに限定されることなく、リード以外の回路部品の電極にも適用できる。したがって、搭載部品に限定されず、あらゆるパッケージに対応することができる。
また、ワーク1の傾きを補正する構成により、特別なボンディングツール13が不要であり、既存のボンディングツール13を使用することができる。
本発明が上記各実施形態に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は適宜変更され得ることは明らかである。
上記実施形態において、ボールボンディングについて説明したが、ワーク1の傾きを補正する構成により、ボンディングツール13になんの細工も施さず、既存のボンディングツール13を使用することができる。したがって、ボールボンディングのみならず、例えばウエッジボンディング等にも適用可能である。
また、基準面はフェースとしたが、例えば水平面等他の面を基準としてもよい。
本発明にかかる傾き補正方法は、上記実施形態において説明したワイヤボンディング方法のみでなく、画像処理による自動認識方法への応用にも適用することができる。すなわち例えばダイス2等の傾きを補正することにより、正確な画像を得ることができ、認識エラーを回避することができるため、例えば、部品搭載のチップダイマウンター、フリップチップマウンター等で水平が求められる場合にも適用可能である。
上記実施形態において、ボールボンディングについて説明したが、ワーク1の傾きを補正する構成により、ボンディングツール13になんの細工も施さず、既存のボンディングツール13を使用することができる。したがって、ボールボンディングのみならず、例えばウエッジボンディング等にも適用可能である。
また、基準面はフェースとしたが、例えば水平面等他の面を基準としてもよい。
本発明にかかる傾き補正方法は、上記実施形態において説明したワイヤボンディング方法のみでなく、画像処理による自動認識方法への応用にも適用することができる。すなわち例えばダイス2等の傾きを補正することにより、正確な画像を得ることができ、認識エラーを回避することができるため、例えば、部品搭載のチップダイマウンター、フリップチップマウンター等で水平が求められる場合にも適用可能である。
1……ワーク
2……ダイス
3……電極
4……リードフレーム
5……変位計
6……画像処理装置
7……変位演算処理装置
8……XYθステージ
9……傾き補正ステージ
10……載物台
11……コントローラー
12……ボンディングアーム
13……ボンディングツール
14……フェース
15……ワイヤ
16……クランプ
2……ダイス
3……電極
4……リードフレーム
5……変位計
6……画像処理装置
7……変位演算処理装置
8……XYθステージ
9……傾き補正ステージ
10……載物台
11……コントローラー
12……ボンディングアーム
13……ボンディングツール
14……フェース
15……ワイヤ
16……クランプ
Claims (10)
- 電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出工程と、
リードフレームの被ボンディング面の前記基準面に対する傾きを検出するリード検出工程と、
前記各検出工程にて検出された前記各傾きに基づきワークの傾きを補正する補正工程とを備えたことを特徴とする傾き補正方法。 - 前記各検出工程のうち少なくとも1つは、被ボンディング部の周辺の複数箇所の位置を検出することにより前記傾きを測定することを特徴とする請求項1に記載の傾き補正方法。
- 前記基準面は、ボンディングツールのフェースであることを特徴とする請求項1又は2に記載の傾き補正方法。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の傾き補正方法を備えたことを特徴とする画像処理による自動認識方法。
- 電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出工程と、
リードフレームの被ボンディング面の前記基準面に対する傾きを検出するリード検出工程とを備え、
前記電極部をボンディングする際に、前記電極部の被ボンディング面とボンディングツールのフェースとが平行になるようにワークを傾斜させ、
前記リードフレームをボンディングする際に、前記リードフレームの被ボンディング面と前記ボンディングツールのフェースとが平行になるように前記ワークを傾斜させる補正工程を含むことを特徴とするワイヤボンディング方法。 - 前記電極部検出工程及び/又は前記リード検出工程は、被ボンディング部の周辺の複数箇所の位置を検出することにより前記傾きを測定することを特徴とする請求項5に記載のワイヤボンディング方法。
- 前記基準面は、ボンディングツールのフェースであることを特徴とする請求項5又は6に記載のワイヤボンディング方法。
- 電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出手段と、
リードフレームの被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出するリード検出手段と、
前記各検出手段にて検出された傾きに基づきワークの傾きを補正する補正手段とを備えたことを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 電極部の被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出する電極部検出手段と、
リードフレームの被ボンディング面の基準面に対する傾きを検出するリード検出手段と、
前記各検出手段にて検出された傾きに基づきワークの傾きを補正する補正手段とを備えたことを特徴とする画像処理による自動認識装置。 - 請求項4乃至6のいずれかに記載のワイヤボンディング方法を用いて製造された半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005110366A JP2006294710A (ja) | 2005-04-06 | 2005-04-06 | 傾き補正方法、ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2005110366A JP2006294710A (ja) | 2005-04-06 | 2005-04-06 | 傾き補正方法、ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置 |
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JP2006294710A true JP2006294710A (ja) | 2006-10-26 |
Family
ID=37414983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005110366A Pending JP2006294710A (ja) | 2005-04-06 | 2005-04-06 | 傾き補正方法、ワイヤボンディング方法及びワイヤボンディング装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2006294710A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2346103A3 (en) * | 2010-01-15 | 2014-04-23 | LG Innotek Co., Ltd. | Light emitting device and backlight unit |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH06112260A (ja) * | 1992-09-25 | 1994-04-22 | Fujitsu Ltd | ワイヤボンディング装置 |
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-
2005
- 2005-04-06 JP JP2005110366A patent/JP2006294710A/ja active Pending
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