JP2006292842A - カラーフィルタの製造方法、固体撮像装置の製造方法および固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エッチングマスクを用いたエッチングにより、市松状のグリーンカラーフィルタ31を形成する。グリーンカラーフィルタ31を被覆するように、2色目以降の感光性を有するカラーフィルタ被膜を形成し、カラーフィルタ被膜を露光および現像して、グリーンカラーフィルタ31で囲まれた領域よりも内側に、2色目以降のカラーフィルタ32bを形成する。その後、カラーフィルタ32bをリフローさせて、グリーンカラーフィルタ31で囲まれた領域内をカラーフィルタ32で埋める。
【選択図】図8
Description
2色目以降のカラーフィルタの形成において、露光および現像によりグリーンカラーフィルタにより囲まれる領域の内側にカラーフィルタをパターン形成した後に、リフロー処理を行うことにより、露光のアライメント誤差に影響を受けずに、自己整合的にグリーンカラーフィルタにより囲まれる領域に2色目以降のカラーフィルタが形成される。
2色目以降のカラーフィルタの形成において、露光および現像によりグリーンカラーフィルタにより囲まれる領域の内側にカラーフィルタをパターン形成した後に、リフロー処理を行うことにより、露光のアライメント誤差に影響を受けずに、自己整合的にグリーンカラーフィルタにより囲まれる領域に2色目以降のカラーフィルタが形成される。
本発明の固体撮像装置の製造方法によれば、画素サイズが縮小しても、精度良くカラーフィルタを形成することができ、色再現性に優れた固体撮像装置を製造することができる。
本発明の固体撮像装置によれば、微細な画素に対応した良好なカラーフィルタを備え、色再現性に優れた固体撮像装置を実現することができる。
本実施形態では、インターライントランスファ方式のCCD固体撮像装置について説明したが、フレームインターライントランスファ方式等の他の転送方式のCCD固体撮像装置であってもよい。また、CCD固体撮像装置に限られず、CMOS固体撮像装置に適用することも可能である。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (7)
- 一色目としてグリーンカラーフィルタ被膜を基板上に形成する工程と、
エッチングマスクを用いて前記グリーンカラーフィルタ被膜を選択的にエッチングして、市松状のグリーンカラーフィルタを形成する工程と、
前記グリーンカラーフィルタを被覆するように前記基板上に、2色目以降の感光性を有するカラーフィルタ被膜を形成する工程と、
前記カラーフィルタ被膜を露光および現像して、前記グリーンカラーフィルタで囲まれた領域よりも内側に、2色目以降のカラーフィルタを形成する工程と、
2色目以降の前記カラーフィルタをリフローさせて、前記グリーンカラーフィルタで囲まれた領域内を前記カラーフィルタで埋める工程と
を有するカラーフィルタの製造方法。 - 前記2色目以降のカラーフィルタ被膜を形成する工程において、感光性を有する染料内添型のカラーフィルタ被膜を形成する
請求項1記載のカラーフィルタの製造方法。 - 前記2色目以降のカラーフィルタ被膜を形成する工程において、染料内添型のポジ型カラーフィルタ被膜を形成する
請求項2記載のカラーフィルタの製造方法。 - 画素毎に受光部が形成された基板の上層に、カラーフィルタを有する固体撮像装置の製造方法であって、
基板の上層に、一色目としてグリーンカラーフィルタ被膜を形成する工程と、
エッチングマスクを用いて前記グリーンカラーフィルタ被膜を選択的にエッチングして、市松状のグリーンカラーフィルタを形成する工程と、
前記グリーンカラーフィルタを被覆するように前記基板の上層に、2色目以降の感光性を有するカラーフィルタ被膜を形成する工程と、
前記カラーフィルタ被膜を露光および現像して、前記グリーンカラーフィルタで囲まれた領域よりも内側に、2色目以降のカラーフィルタを形成する工程と、
2色目以降の前記カラーフィルタをリフローさせて、前記グリーンカラーフィルタで囲まれた領域内を前記カラーフィルタで埋める工程と
を有する固体撮像装置の製造方法。 - 前記2色目以降のカラーフィルタ被膜を形成する工程において、感光性を有する染料内添型のカラーフィルタ被膜を形成する
請求項4記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記2色目以降のカラーフィルタ被膜を形成する工程において、染料内添型のポジ型カラーフィルタ被膜を形成する
請求項5記載の固体撮像装置の製造方法。 - 基板に形成され、各画素を構成する受光部と、
前記基板の上層に形成され、各画素に対応して配置されたカラーフィルタとを有し、
前記カラーフィルタは、
市松状に配置され、感光剤を含まないグリーンカラーフィルタと、
市松状の前記グリーンカラーフィルタに囲まれた領域に配置され、感光剤を含む2色目以降のカラーフィルタと
を有する固体撮像装置。
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